JP2015075370A - Inspection tool, electrode part, probe, and method for manufacturing inspection tool - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure inexpensive and stable in electrical connectivity which is an inspection tool for using a four-terminal method on a small inspection point.SOLUTION: The inspection tool includes a plurality of probes 20 and a plurality of electrode parts 30. The probe 20 includes a core-shaped probe 21 and a cylindrical probe 24. The core shaped probe 21 is electrically connected to an inspection point. The cylindrical probe 24 is arranged outside of the core-shaped probe 21 insulated from the core-shaped probe 21, and electrically connected to the inspection point. The electrode part 30 includes an inner cylindrical electrode part 31 and an outer cylindrical electrode part 34. The inner cylindrical electrode 31 is electrically connected to the core-shaped probe 21 by being kept into contact with the outer peripheral surface of the core-shaped probe 21 which is inserted into the inner cylindrical electrode part 31. The outer cylindrical electrode part 34 is arranged outside of the inner cylindrical electrode part 31 insulated from the inner cylindrical electrode part 31, and electrically connected to the cylindrical probe 24.

Description

本発明は、基板に形成された配線パターンの検査に用いられる検査用治具に関する。   The present invention relates to an inspection jig used for inspecting a wiring pattern formed on a substrate.

従来から、基板が有する配線パターンを検査する基板検査装置が知られている。基板検査装置は、検査用治具を基板の検査点に接触させて配線間の抵抗値を測定することで、配線パターンを検査する。   Conventionally, there has been known a substrate inspection apparatus for inspecting a wiring pattern of a substrate. The board inspection apparatus inspects the wiring pattern by bringing the inspection jig into contact with the inspection point of the board and measuring the resistance value between the wirings.

また、配線間の抵抗値を測定する方法として、４端子法が知られている。４端子法は、電流供給用のプローブと電圧計測用のプローブの２つのプローブを同時に検査点に接触させて検査を行う方法である。４端子法を用いることにより、電圧計測用のプローブと検査点との間に流れる電流を無視できるので、２箇所の検査点間の電圧が正確に計測でき、正確な抵抗値を求めることができる。   Further, a four-terminal method is known as a method for measuring a resistance value between wirings. The 4-terminal method is a method in which two probes, a current supply probe and a voltage measurement probe, are brought into contact with an inspection point at the same time for inspection. By using the four-terminal method, the current flowing between the voltage measurement probe and the inspection point can be ignored, so that the voltage between the two inspection points can be accurately measured and an accurate resistance value can be obtained. .

従来、４端子法を用いる場合、並べて形成された１組の孔（２つの孔）のそれぞれにプローブが取り付けられた検査用治具を用いていた。しかし、近年の配線パターンの微細化によって検査点が小さくなったことにより、プローブ取付用の孔に要求される間隔が非常に狭くなり、加工技術の観点からこの種の検査用治具を製造することが困難となった。   Conventionally, when the four-terminal method is used, an inspection jig in which a probe is attached to each of a pair of holes (two holes) formed side by side has been used. However, since the inspection points have become smaller due to the recent miniaturization of the wiring pattern, the space required for the hole for attaching the probe becomes very narrow, and this type of inspection jig is manufactured from the viewpoint of processing technology. It became difficult.

この点、特許文献１では、このように小さな検査点に対しても４端子法を用いることができる検査用治具を開示する。この検査用治具のプローブは、筒状の第１接触子と、第１接触子に挿入される棒状の第２接触子と、を備える。このような二重構造のプローブを用いることで、狭い間隔の孔を形成することなく、検査点の２箇所と導通を取ることができる。   In this regard, Patent Document 1 discloses an inspection jig that can use the four-terminal method even for such a small inspection point. The probe of this inspection jig includes a cylindrical first contact and a rod-shaped second contact inserted into the first contact. By using such a double-structured probe, it is possible to establish electrical continuity with two inspection points without forming narrow gap holes.

また、このプローブは、検査点の反対側の端部において、電極部に接続される。電極部は、リング状の第１電極部と、第１電極部の内部に配置される断面円形状の第２電極部と、で構成される。第１接触子は第１電極部と接触し、第２接触子は第２電極部と接触する。第１電極部及び第２電極部は、基板の検査処理を行う検査処理部に接続される。   The probe is connected to the electrode portion at the end opposite to the inspection point. The electrode portion includes a ring-shaped first electrode portion and a second electrode portion having a circular cross section disposed inside the first electrode portion. The first contact is in contact with the first electrode part, and the second contact is in contact with the second electrode part. The first electrode unit and the second electrode unit are connected to an inspection processing unit that performs an inspection process on the substrate.

この構成により、小さな検査点に対しても４端子法を用いることができる。   With this configuration, the four-terminal method can be used even for small inspection points.

特開２０１２−１５４６７０号公報JP 2012-154670 A

しかし、特許文献１の検査用治具は、プローブ及び電極部が非常に小さいので、僅かな寸法の誤差があった場合でも、両者が適切に接続されず、電気的接続性が不安定になる。そのため、特許文献１の検査用治具は、高い寸法精度が要求されるため、加工コストが高くなってしまう。特許文献１の検査用治具は、この点において、改善の余地が残されていた。   However, since the inspection jig of Patent Document 1 has a very small probe and electrode portion, even if there is a slight dimensional error, the two are not properly connected and the electrical connectivity becomes unstable. . Therefore, since the inspection jig of Patent Document 1 requires high dimensional accuracy, the processing cost becomes high. In this respect, the inspection jig of Patent Document 1 leaves room for improvement.

また、特許文献１では、第１接触子及び第１電極部プローブと、第２接触子及び第２電極部電極部と、はそれぞれ端面同士で接触しているだけであり、組立時等において位置ズレが生じ、電気的接続性が不安定になることも考えられる。   Moreover, in patent document 1, the 1st contactor and the 1st electrode part probe, and the 2nd contactor and the 2nd electrode part electrode part are each contacting only by end surfaces, respectively, and a position at the time of an assembly etc. It is conceivable that a deviation occurs and the electrical connectivity becomes unstable.

本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、小さな検査点に４端子法を用いるための検査用治具であって、低コストかつ電気的接続性が安定した構成を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and its main purpose is an inspection jig for using the four-terminal method for a small inspection point, which is low in cost and has stable electrical connectivity. To provide a configuration.

課題を解決するための手段及び効果Means and effects for solving the problems

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。   The problems to be solved by the present invention are as described above. Next, means for solving the problems and the effects thereof will be described.

本発明の第１の観点によれば、以下の構成の検査用治具が提供される。即ち、この検査用治具は、基板の検査点に接触する複数のプローブと、前記プローブと、前記基板に形成された配線の検査処理を行う検査処理部と、を電気的に接続する複数の電極部と、を備える。前記プローブは、芯状プローブと、筒状プローブと、を備える。前記芯状プローブは、前記検査点に電気的に接続される。前記筒状プローブは、前記芯状プローブの外側に、当該芯状プローブと絶縁された状態で配置され、前記検査点に電気的に接続される。前記電極部は、内筒電極部と、外筒電極部と、を備える。前記内筒電極部は、挿入された前記芯状プローブの外周面と接触することで、当該芯状プローブに電気的に接続される。前記外筒電極部は、前記内筒電極部の外側に、当該内筒電極部と絶縁された状態で配置され、前記筒状プローブと電気的に接続される。   According to a first aspect of the present invention, an inspection jig having the following configuration is provided. That is, the inspection jig includes a plurality of probes that electrically connect a plurality of probes that are in contact with an inspection point of the substrate, the probe, and an inspection processing unit that performs an inspection process on the wiring formed on the substrate. An electrode part. The probe includes a core probe and a cylindrical probe. The core probe is electrically connected to the inspection point. The cylindrical probe is disposed outside the core probe in a state insulated from the core probe, and is electrically connected to the inspection point. The electrode part includes an inner cylinder electrode part and an outer cylinder electrode part. The inner cylindrical electrode portion is electrically connected to the core probe by contacting the outer peripheral surface of the inserted core probe. The outer cylinder electrode part is disposed outside the inner cylinder electrode part in a state insulated from the inner cylinder electrode part, and is electrically connected to the cylindrical probe.

これにより、仮に芯状プローブ又は内筒電極部の位置がズレていても、芯状プローブが内筒電極部に挿入される（位置決めされる）ので、芯状プローブと内筒電極部とを確実に電気的に接続することができる。更に、内筒電極部と芯状プローブとの接触面積を大きくすることができるので、電気的接続の安定性を向上させることができる。   Thereby, even if the position of the core probe or the inner cylinder electrode portion is shifted, the core probe is inserted (positioned) into the inner cylinder electrode portion, so that the core probe and the inner cylinder electrode portion are securely connected. Can be electrically connected. Furthermore, since the contact area between the inner cylindrical electrode portion and the core probe can be increased, the stability of electrical connection can be improved.

前記の検査用治具においては、前記芯状プローブの前記電極部側の端部には、先端に向かうに従って外径が細くなるテーパ部が形成されていることが好ましい。   In the inspection jig, it is preferable that a taper portion whose outer diameter becomes narrower toward the tip is formed at the end portion on the electrode portion side of the core probe.

これにより、仮に芯状プローブ又は内筒電極部の位置がズレていても、テーパ部によって案内されつつ、芯状プローブが内筒電極部に挿入されるので、芯状プローブと内筒電極部との電気的接続の安定性を向上させることができる。   Thereby, even if the position of the core probe or the inner cylinder electrode portion is shifted, the core probe is inserted into the inner cylinder electrode portion while being guided by the taper portion. The stability of the electrical connection can be improved.

前記の検査用治具においては、前記外筒電極部のプローブ側の端面が、前記内筒電極部のプローブ側の端面よりも、プローブ側に位置していることが好ましい。   In the inspection jig, it is preferable that the end surface on the probe side of the outer cylinder electrode portion is located closer to the probe side than the end surface on the probe side of the inner cylinder electrode portion.

これにより、電極部のプローブ側の端面に外筒電極部のみが位置するので、電極部の端部を大きく開口させることができる。従って、芯状プローブをより確実に内筒プローブに案内することができる。   Thereby, since only the outer cylinder electrode part is located in the end surface at the probe side of an electrode part, the edge part of an electrode part can be opened largely. Therefore, the core probe can be more reliably guided to the inner cylinder probe.

前記の検査用治具においては、前記筒状プローブの前記電極部側の端面と、前記外筒電極部の前記プローブ側の端面と、が接触することで、前記筒状プローブと前記外筒電極部とが電気的に接続されることが好ましい。   In the inspection jig, the cylindrical probe and the outer cylinder electrode are brought into contact with the end face on the electrode side of the cylindrical probe and the end face on the probe side of the outer cylinder electrode part. It is preferable that the part is electrically connected.

これにより、筒状プローブと外筒電極部の端面同士が接触するまで、芯状プローブが内筒電極部に挿入されるので、筒状プローブと外筒電極部を確実に電気的に接続することができる。   As a result, the core probe is inserted into the inner cylindrical electrode portion until the end surfaces of the cylindrical probe and the outer cylindrical electrode portion come into contact with each other, so that the cylindrical probe and the outer cylindrical electrode portion are securely electrically connected. Can do.

前記の検査用治具においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この検査用治具は、前記電極部が挿入される電極部挿入部を備える。前記外筒電極部の前記プローブ側の端部には、他の部分よりも厚み及び外径が大きい電極部側ストッパが形成されている。前記電極部側ストッパにより、前記電極部が前記電極部挿入部に保持される。   The inspection jig preferably has the following configuration. In other words, the inspection jig includes an electrode portion insertion portion into which the electrode portion is inserted. An electrode portion side stopper having a thickness and an outer diameter larger than those of other portions is formed at an end portion of the outer cylinder electrode portion on the probe side. The electrode part is held by the electrode part insertion part by the electrode part side stopper.

これにより、電極部挿入部に電極部を挿入するだけで、当該電極部を保持させることができる。更に、外筒電極部の厚みを大きくすることで、筒状プローブと外筒電極部の電気的接続の安定性を向上させることができる。   Thereby, the said electrode part can be hold | maintained only by inserting an electrode part in an electrode part insertion part. Furthermore, the stability of the electrical connection between the cylindrical probe and the outer cylinder electrode part can be improved by increasing the thickness of the outer cylinder electrode part.

前記の検査用治具においては、前記内筒電極部が絶縁体で被覆されていることが好ましい。   In the inspection jig, it is preferable that the inner cylinder electrode portion is covered with an insulator.

これにより、簡単な構成で、内筒電極部と外筒電極部とを絶縁させることができる。   Thereby, an inner cylinder electrode part and an outer cylinder electrode part can be insulated with a simple structure.

前記の検査用治具においては、前記筒状プローブには、長手方向に弾性変形可能なバネが形成されており、当該バネが縮んだ状態で、前記プローブと前記電極部とが接続されることが好ましい。   In the inspection jig, the cylindrical probe is formed with a spring that is elastically deformable in the longitudinal direction, and the probe and the electrode portion are connected in a state where the spring is contracted. Is preferred.

これにより、筒状プローブと外筒電極部の接圧を大きくすることができるので、筒状プローブと外筒電極部の電気的接続の安定性を向上させることができる。   Thereby, since the contact pressure of a cylindrical probe and an outer cylinder electrode part can be enlarged, the stability of the electrical connection of a cylindrical probe and an outer cylinder electrode part can be improved.

前記の検査用治具においては、以下の構成とすることが好ましい。即ち、この検査用治具は、プローブ挿入部と、プローブ固定部と、を備える。前記プローブ挿入部は、前記プローブが挿入される。前記プローブ固定部は、前記プローブを前記プローブ挿入部に固定する。前記筒状プローブには、他の部分よりも外径が大きいプローブ側ストッパが形成されている。前記プローブ側ストッパと前記プローブ固定部とが接触することで、前記プローブが前記プローブ挿入部に固定される。   The inspection jig preferably has the following configuration. That is, the inspection jig includes a probe insertion portion and a probe fixing portion. The probe is inserted into the probe insertion portion. The probe fixing part fixes the probe to the probe insertion part. The cylindrical probe is formed with a probe-side stopper having an outer diameter larger than that of other portions. The probe is fixed to the probe insertion portion by contacting the probe side stopper and the probe fixing portion.

これにより、プローブを電極部に挿入した後に、プローブ固定部を用いてプローブを固定することができる。従って、プローブと電極部とを確実に電気的に接続させることができる。   Thereby, after inserting a probe in an electrode part, a probe can be fixed using a probe fixing | fixed part. Therefore, the probe and the electrode portion can be reliably electrically connected.

前記の検査用治具においては、前記プローブの配置間隔が１００μｍ以下であることが好ましい。   In the inspection jig, it is preferable that the arrangement interval of the probes is 100 μm or less.

これにより、プローブを並べて配置する構成が困難な状況においても、４端子法を用いることができる。   Accordingly, the four-terminal method can be used even in a situation where it is difficult to arrange the probes side by side.

本発明の第２及び第３の観点によれば、上記と同等の構成の電極部及びプローブが提供される。   According to the 2nd and 3rd viewpoint of this invention, the electrode part and probe of a structure equivalent to the above are provided.

本発明の第４の観点によれば、上記の検査用治具の製造方法において、以下の工程を含む方法が提供される。即ち、この製造方法は、プローブ挿入工程と、プローブ固定工程と、を含む。前記プローブ挿入工程では、前記電極部が挿入された電極部挿入部と、前記プローブを挿入するためのプローブ挿入部と、を重ねた状態において、前記プローブを前記プローブ挿入部に挿入して、前記プローブと前記電極部とを接続する。前記プローブ固定工程では、プローブ固定部を取り付けることで、前記プローブ挿入工程で挿入した前記プローブを固定する。   According to the 4th viewpoint of this invention, in the manufacturing method of said test | inspection jig | tool, the method including the following processes is provided. That is, this manufacturing method includes a probe insertion step and a probe fixing step. In the probe insertion step, in a state where the electrode portion insertion portion into which the electrode portion is inserted and the probe insertion portion for inserting the probe are overlapped, the probe is inserted into the probe insertion portion, The probe and the electrode part are connected. In the probe fixing step, the probe inserted in the probe insertion step is fixed by attaching a probe fixing portion.

これにより、プローブを電極部に挿入した後に、プローブ固定部を用いてプローブを固定することができる。従って、プローブと電極部とを確実に電気的に接続させることができる。   Thereby, after inserting a probe in an electrode part, a probe can be fixed using a probe fixing | fixed part. Therefore, the probe and the electrode portion can be reliably electrically connected.

本発明の一実施形態に係る検査用治具を備える基板検査装置の概略を示す説明図。Explanatory drawing which shows the outline of a board | substrate inspection apparatus provided with the jig | tool for an inspection which concerns on one Embodiment of this invention. プローブ及びその構成要素を示す側面図及び断面図。The side view and sectional drawing which show a probe and its component. 電極部の構成要素を示す側面図及び断面図。The side view and sectional drawing which show the component of an electrode part. 電極部の側面図。The side view of an electrode part. 検査用治具の組立方法を示す説明図。Explanatory drawing which shows the assembly method of the jig | tool for an inspection. プローブと電極部とを接続する様子を示す側面断面図。Side surface sectional drawing which shows a mode that a probe and an electrode part are connected. 電極部とコネクタ部とが接続される様子を示す側面図。The side view which shows a mode that an electrode part and a connector part are connected.

次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。初めに、図１を参照して、検査用治具１及び基板検査装置１００の概要について説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, an outline of the inspection jig 1 and the substrate inspection apparatus 100 will be described with reference to FIG.

基板検査装置１００は、検査対象である基板の検査を行う。具体的には、基板検査装置１００は、基板の所定の検査点間の抵抗値を求め、抵抗値及び導通の有無等を検査する。なお、検査対象の基板としては、通常のプリント基板だけでなく、フレキシブル基板、及び多層基板等も含まれる。   The substrate inspection apparatus 100 inspects a substrate to be inspected. Specifically, the substrate inspection apparatus 100 obtains a resistance value between predetermined inspection points of the substrate, and inspects the resistance value and the presence / absence of conduction. The board to be inspected includes not only a normal printed board but also a flexible board and a multilayer board.

基板検査装置１００は、検査用治具１と、検査処理部２と、を備える。本実施形態では４端子法が用いられており、検査用治具１は、基板の検査点毎に２箇所接触する。図１に示すように検査用治具１は、ベース部１１と、支持部１２と、電極部挿入部１３と、プローブ挿入部１４と、プローブ固定板（プローブ固定部）１５と、を備える。   The substrate inspection apparatus 100 includes an inspection jig 1 and an inspection processing unit 2. In this embodiment, a four-terminal method is used, and the inspection jig 1 comes into contact at two locations for each inspection point of the substrate. As shown in FIG. 1, the inspection jig 1 includes a base portion 11, a support portion 12, an electrode portion insertion portion 13, a probe insertion portion 14, and a probe fixing plate (probe fixing portion) 15.

ベース部１１は、検査用治具１の基台を構成しており、一側に、支持部１２が接続されるとともに、他側に、コネクタ部４０が接続される。   The base portion 11 constitutes a base of the inspection jig 1, and the support portion 12 is connected to one side and the connector portion 40 is connected to the other side.

支持部１２は、ベース部１１から上方に延びる柱状の部材である。検査用治具１は、例えば４本の支持部１２を備える。支持部１２の上側には、電極部挿入部１３が接続されている。   The support portion 12 is a columnar member extending upward from the base portion 11. The inspection jig 1 includes, for example, four support portions 12. An electrode part insertion part 13 is connected to the upper side of the support part 12.

電極部挿入部１３は、無数の貫通孔が形成された直方体状の部材である。電極部挿入部１３の貫通孔には、電極部３０が挿入される。なお、電極部挿入部１３に挿入された電極部３０が保持される構成は後述する。電極部挿入部１３の上側には、プローブ挿入部１４が接続されている。   The electrode part insertion part 13 is a rectangular parallelepiped member in which an infinite number of through holes are formed. The electrode part 30 is inserted into the through hole of the electrode part insertion part 13. In addition, the structure by which the electrode part 30 inserted in the electrode part insertion part 13 is hold | maintained is mentioned later. A probe insertion part 14 is connected to the upper side of the electrode part insertion part 13.

プローブ挿入部１４は、電極部挿入部１３に形成された貫通孔と対応する位置に貫通孔が形成された直方体状の部材である。プローブ挿入部１４の貫通孔には、プローブ２０が挿入される。これにより、プローブ２０と電極部３０とが電気的に接続される。なお、電極部挿入部１３及びプローブ挿入部１４は、直方体ではなく、複数の板状の部材を重ねて構成しても良い。   The probe insertion part 14 is a rectangular parallelepiped member in which a through hole is formed at a position corresponding to the through hole formed in the electrode part insertion part 13. The probe 20 is inserted into the through hole of the probe insertion portion 14. Thereby, the probe 20 and the electrode part 30 are electrically connected. In addition, the electrode part insertion part 13 and the probe insertion part 14 may be configured by stacking a plurality of plate-like members instead of a rectangular parallelepiped.

プローブ固定板１５は、電極部挿入部１３及びプローブ挿入部１４に形成された貫通孔と対応する位置に貫通孔が形成された板状の部材である。プローブ固定板１５は、プローブ挿入部１４に挿入されたプローブ２０を固定する（詳細は後述）。   The probe fixing plate 15 is a plate-like member in which through holes are formed at positions corresponding to the through holes formed in the electrode portion insertion portion 13 and the probe insertion portion 14. The probe fixing plate 15 fixes the probe 20 inserted into the probe insertion portion 14 (details will be described later).

図１に示すように、プローブ固定板１５からは、プローブ２０の一部が露出する。検査用治具１は、この露出部分を基板の検査点に接触させる。検査点から得られた電気信号は、プローブ２０を介して電極部３０に伝達される。電極部３０は、プローブ２０との接続箇所から下方に延びるとともに、ベース部１１の手前で一方向（図１の左側）に案内されている。電極部３０は、ベース部１１に形成されたコネクタ部４０に電気的に接続される。   As shown in FIG. 1, a part of the probe 20 is exposed from the probe fixing plate 15. The inspection jig 1 brings this exposed portion into contact with the inspection point of the substrate. An electrical signal obtained from the inspection point is transmitted to the electrode unit 30 via the probe 20. The electrode part 30 extends downward from the connection point with the probe 20 and is guided in one direction (left side in FIG. 1) in front of the base part 11. The electrode part 30 is electrically connected to a connector part 40 formed on the base part 11.

コネクタ部４０は、電極部３０と電気的に接続可能であるとともに、内部に配線が形成されている。コネクタ部４０は、この配線、及び、コネクタ部４０の外部に延出する電線等を介して、検査処理部２に接続される。   The connector part 40 can be electrically connected to the electrode part 30 and has wiring formed therein. The connector unit 40 is connected to the inspection processing unit 2 via this wiring, an electric wire extending outside the connector unit 40, and the like.

以上で説明した構成により、検査処理部２は、基板と電気的に接続される。検査処理部２は、基板の所定の検査点間の電圧及び電流を計測することで、抵抗値を算出する。検査処理部２は、算出した結果が、予め定められた仕様を満たすか否かを判定する。   With the configuration described above, the inspection processing unit 2 is electrically connected to the substrate. The inspection processing unit 2 calculates a resistance value by measuring a voltage and a current between predetermined inspection points on the substrate. The inspection processing unit 2 determines whether or not the calculated result satisfies a predetermined specification.

次に、プローブ２０の構成及び製造方法について図２を参照して説明する。図２は、プローブ２０及びその構成要素を示す側面図及び断面図である。なお、プローブ２０の説明において、図２に示すように、基板の検査点に接触される側を基板側と称し、電極部３０に接続される側を電極部側と称する。   Next, the configuration and manufacturing method of the probe 20 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a side view and a cross-sectional view showing the probe 20 and its components. In the description of the probe 20, as shown in FIG. 2, the side in contact with the inspection point of the substrate is referred to as the substrate side, and the side connected to the electrode unit 30 is referred to as the electrode unit side.

図２に示すように、プローブ２０は、芯状プローブ２１と、筒状プローブ２４と、から構成されている。図２（ａ）に示す芯状プローブ２１は、断面円状の細長状の部材であり、導電性を有する素材（例えば金、銅、及びニッケル等、以下同様）から構成されている。芯状プローブ２１には、検査接触部２１ａと、電極接続部２１ｂと、テーパ部２１ｃと、が形成されている。   As shown in FIG. 2, the probe 20 includes a core probe 21 and a cylindrical probe 24. A core probe 21 shown in FIG. 2A is an elongated member having a circular cross section, and is made of a conductive material (for example, gold, copper, nickel, and so on). The core probe 21 is formed with an inspection contact portion 21a, an electrode connection portion 21b, and a taper portion 21c.

検査接触部２１ａは、芯状プローブ２１の基板側の端部に形成された半球状の部分であり、基板の検査点に接続するための部分である。検査接触部２１ａを半球状にすることで、検査接触部２１ａを基板の検査点に適切に接続することができる。電極接続部２１ｂは、電極部側の端部の近傍に形成された部分であり、電極部３０に接続するための部分である。電極接続部２１ｂより更に電極部側（先端側）には、テーパ部２１ｃが形成されている。テーパ部２１ｃは、電極部側に向かうに従って外径が細くなる。なお、テーパ部２１ｃは、直線状のテーパに限られず、湾曲状のテーパであっても良い。   The inspection contact portion 21a is a hemispherical portion formed at the end of the core probe 21 on the substrate side, and is a portion for connecting to an inspection point on the substrate. By making the inspection contact portion 21a hemispherical, the inspection contact portion 21a can be appropriately connected to the inspection point of the substrate. The electrode connecting portion 21 b is a portion formed in the vicinity of the end portion on the electrode portion side, and is a portion for connecting to the electrode portion 30. A tapered portion 21c is formed further on the electrode portion side (tip side) than the electrode connecting portion 21b. The taper portion 21c has an outer diameter that decreases toward the electrode portion side. In addition, the taper part 21c is not restricted to a linear taper, A curved taper may be sufficient.

また、芯状プローブ２１には、検査接触部２１ａ及び電極接続部２１ｂを除く部分に、絶縁被覆部２２が形成されている。絶縁被覆部２２は、例えば電着によって形成することができる。   In addition, the core probe 21 is provided with an insulating covering portion 22 in a portion excluding the inspection contact portion 21a and the electrode connection portion 21b. The insulating coating part 22 can be formed by, for example, electrodeposition.

図２（ｂ）に示す筒状プローブ２４は、筒状の導電性の部材である。筒状プローブ２４には、検査接触部２４ａと、電極接触部２４ｂと、接着部２４ｃと、バネ２４ｄと、が形成されている。検査接触部２４ａは、基板側の端部であり、検査接触部２１ａと同じ検査点に接続するための部分である。電極接触部２４ｂは、電極部側の端部に形成された部分であり、電極部３０に接続するための部分である。   A cylindrical probe 24 shown in FIG. 2B is a cylindrical conductive member. The cylindrical probe 24 is formed with an inspection contact portion 24a, an electrode contact portion 24b, an adhesive portion 24c, and a spring 24d. The inspection contact portion 24a is an end portion on the substrate side, and is a portion for connecting to the same inspection point as the inspection contact portion 21a. The electrode contact portion 24 b is a portion formed at the end portion on the electrode portion side, and is a portion for connecting to the electrode portion 30.

接着部２４ｃは、筒状プローブ２４の長手方向の中央部に形成された部分である。接着部２４ｃの両側には、バネ２４ｄが形成されている。バネ２４ｄは、筒状プローブ２４を螺旋状に切欠くことで構成されており、長手方向に弾性を有する。   The bonding portion 24 c is a portion formed at the center portion in the longitudinal direction of the cylindrical probe 24. Springs 24d are formed on both sides of the bonding portion 24c. The spring 24d is configured by cutting the cylindrical probe 24 into a spiral shape, and has elasticity in the longitudinal direction.

筒状プローブ２４は、例えば以下の方法で製造することができる。即ち、初めに、極細の芯材の外周に、ニッケル等の電鋳層及びレジスト層を形成する。次に、このレジスト層に螺旋状にレーザを照射して、照射部分のレジスト層を除去する。次に、エッチングを行って、レジスト層が除去された部分のニッケル等の電鋳層を除去し、その後に芯材を除去する。   The cylindrical probe 24 can be manufactured, for example, by the following method. That is, first, an electroformed layer such as nickel and a resist layer are formed on the outer periphery of an extremely fine core material. Next, this resist layer is spirally irradiated with a laser to remove the resist layer at the irradiated portion. Next, etching is performed to remove the electroformed layer of nickel or the like where the resist layer has been removed, and then the core material is removed.

また、筒状プローブ２４の基板側の端部近傍には、電着等により、絶縁性を有するプローブ側ストッパ２５が形成されている。プローブ側ストッパ２５を形成することにより、当該部分の外径が他の部分よりも大きくなる。   Further, in the vicinity of the end of the cylindrical probe 24 on the substrate side, an insulating probe side stopper 25 is formed by electrodeposition or the like. By forming the probe-side stopper 25, the outer diameter of the part becomes larger than that of the other part.

図２（ｃ）に示すように、プローブ２０は、筒状プローブ２４の内部に芯状プローブ２１を挿入し、接着部２４ｃの内側と絶縁被覆部２２の外側とをエポキシ系の接着剤等で接着することで製造される。芯状プローブ２１の周囲には絶縁被覆部２２が形成されているので、芯状プローブ２１と筒状プローブ２４とを絶縁した状態で両者が接続される。   As shown in FIG. 2C, the probe 20 has a core probe 21 inserted into a cylindrical probe 24, and the inside of the adhesive portion 24c and the outside of the insulating coating portion 22 are connected with an epoxy adhesive or the like. Manufactured by bonding. Since the insulation coating portion 22 is formed around the core probe 21, the core probe 21 and the cylindrical probe 24 are connected to each other in an insulated state.

筒状プローブ２４は、バネ２４ｄにより弾性を有しているので、プローブ２０の基板側の端部を押圧することで、筒状プローブ２４が縮み、後述の図６（ｃ）に示すように、検査接触部２１ａを露出させることができる。これにより、同一の検査点に芯状プローブ２１と筒状プローブ２４とを同時に接触させることができる。なお、芯状プローブ２１及び筒状プローブ２４のうち一方が、電流を供給するためのプローブであり、他方が電圧を計測するためのプローブである。   Since the cylindrical probe 24 has elasticity by the spring 24d, the cylindrical probe 24 is contracted by pressing the end portion on the substrate side of the probe 20, and as shown in FIG. The inspection contact portion 21a can be exposed. Thereby, the core probe 21 and the cylindrical probe 24 can be simultaneously brought into contact with the same inspection point. One of the core probe 21 and the cylindrical probe 24 is a probe for supplying current, and the other is a probe for measuring voltage.

次に、電極部３０の構成及び製造方法について図３を参照して説明する。図３は、電極部３０の構成要素を示す側面図及び断面図である。なお、電極部３０の説明において、図３に示すように、プローブ２０に接続される側をプローブ側と称し、コネクタ部４０に接続される側をコネクタ側と称する。   Next, the configuration and manufacturing method of the electrode unit 30 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a side view and a cross-sectional view showing components of the electrode unit 30. In the description of the electrode part 30, as shown in FIG. 3, the side connected to the probe 20 is referred to as the probe side, and the side connected to the connector part 40 is referred to as the connector side.

電極部３０は、内筒電極部３１と、外筒電極部３４と、から構成されている。   The electrode part 30 is composed of an inner cylinder electrode part 31 and an outer cylinder electrode part 34.

図３（ａ）に示す内筒電極部３１は、導電性及び可撓性を有する筒状の部材である。内筒電極部３１は、筒状プローブ２４と同様に、芯材の周りに電着により導電性を有する部材を形成して、当該芯材を除去すること等で形成される。また、内筒電極部３１には、プローブ接続部３１ａと、コネクタ接続部３１ｂと、が形成されている。   The inner cylinder electrode part 31 shown to Fig.3 (a) is a cylindrical member which has electroconductivity and flexibility. Similarly to the cylindrical probe 24, the inner cylinder electrode portion 31 is formed by forming a conductive member around the core material by electrodeposition and removing the core material. The inner cylinder electrode portion 31 is formed with a probe connection portion 31a and a connector connection portion 31b.

プローブ接続部３１ａは、プローブ側の端部に形成された部分であり、プローブ２０（詳細には芯状プローブ２１）と電気的に接続される。コネクタ接続部３１ｂは、コネクタ側の端部に形成された部分であり、コネクタ部４０に接続される。また、図３（ｂ）に示すように、内筒電極部３１のうちコネクタ接続部３１ｂを除く部分には、絶縁被覆部３２が形成される。   The probe connection part 31a is a part formed at the end part on the probe side, and is electrically connected to the probe 20 (specifically, the core probe 21). The connector connecting portion 31 b is a portion formed at the end portion on the connector side, and is connected to the connector portion 40. Further, as shown in FIG. 3B, an insulating coating portion 32 is formed on the inner cylinder electrode portion 31 except for the connector connection portion 31b.

図３（ｃ）に示す外筒電極部３４は、導電性及び可撓性を有する筒状の部材である。外筒電極部３４は、筒状プローブ２４等と同様に、芯材の周りに電着により導電性を有する部材を形成して、当該芯材を除去すること等で形成される。また外筒電極部３４には、プローブ接続部３４ａと、コネクタ接続部３４ｂと、が形成される。プローブ接続部３４ａは、プローブ側の端部に形成された部分であり、プローブ２０（詳細には筒状プローブ２４）と電気的に接続される。コネクタ接続部３４ｂは、コネクタ側の端部に形成された部分であり、コネクタ部４０に接続される。   The outer cylinder electrode part 34 shown in FIG.3 (c) is a cylindrical member which has electroconductivity and flexibility. The outer cylinder electrode part 34 is formed by forming a conductive member by electrodeposition around the core material and removing the core material, etc., like the cylindrical probe 24 and the like. The outer tube electrode part 34 is formed with a probe connection part 34a and a connector connection part 34b. The probe connecting portion 34a is a portion formed at the end portion on the probe side, and is electrically connected to the probe 20 (specifically, the cylindrical probe 24). The connector connecting portion 34 b is a portion formed at the end portion on the connector side, and is connected to the connector portion 40.

また、図３（ｂ）に示すように、外筒電極部３４のプローブ側端部には、他の部分よりも厚み及び外径が大きい電極部側ストッパ３４ｃが形成される。電極部側ストッパ３４ｃは、電着等によって形成される。更に、図３（ｃ）に示すように、外筒電極部３４のうちコネクタ接続部３４ｂを除く部分には、電着等によって絶縁被覆部３５が形成される。   Further, as shown in FIG. 3B, an electrode side stopper 34c having a thickness and an outer diameter larger than those of the other portions is formed at the probe side end of the outer cylinder electrode portion 34. The electrode portion side stopper 34c is formed by electrodeposition or the like. Further, as shown in FIG. 3C, an insulating coating portion 35 is formed on the portion of the outer cylinder electrode portion 34 excluding the connector connection portion 34b by electrodeposition or the like.

電極部３０は、上述の内筒電極部３１を外筒電極部３４に挿入して固着し（図４（ａ）参照）、露出しているコネクタ接続部３１ｂ及びコネクタ接続部３４ｂに金メッキ等を行うことで（図４（ｂ）参照）製造される。このとき、本実施形態では、外筒電極部３４のプローブ側の端部が、内筒電極部３１のプローブ側の端部よりもプローブ側に位置するように固着されるが、内筒電極部３１と外筒電極部３４のプローブ側の端部同士の位置を合わせて固着しても良い。また、内筒電極部３１の外側には絶縁被覆部３５が形成されるので、内筒電極部３１と絶縁被覆部３５とを絶縁した状態で固着することができる。なお、金以外のメッキを行っても良いし、メッキ自体を省略することもできる。   The electrode portion 30 is fixed by inserting and fixing the inner cylindrical electrode portion 31 to the outer cylindrical electrode portion 34 (see FIG. 4A), and the exposed connector connection portion 31b and connector connection portion 34b are plated with gold or the like. This is manufactured (see FIG. 4B). At this time, in this embodiment, the end portion on the probe side of the outer cylinder electrode portion 34 is fixed so as to be positioned closer to the probe side than the end portion on the probe side of the inner cylinder electrode portion 31. 31 and the end portions on the probe side of the outer cylinder electrode portion 34 may be aligned and fixed. Moreover, since the insulation coating part 35 is formed outside the inner cylinder electrode part 31, the inner cylinder electrode part 31 and the insulation coating part 35 can be fixed in an insulated state. Note that plating other than gold may be performed, or the plating itself may be omitted.

次に、検査用治具１を組み立てる方法について図５及び図６を参照して説明する。図５は、検査用治具１の組立方法を示す説明図である。図６は、プローブ２０と電極部３０とを接続する様子を示す側面断面図である。   Next, a method for assembling the inspection jig 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is an explanatory view showing an assembling method of the inspection jig 1. FIG. 6 is a side cross-sectional view showing how the probe 20 and the electrode unit 30 are connected.

本実施形態では、予め、電極部３０を電極部挿入部１３の挿入孔１３ａに挿入しておく（図５（ａ）及び図６（ａ）参照）。この状態では、電極部側ストッパ３４ｃによって、電極部３０が電極部挿入部１３から抜けないように保持される。   In this embodiment, the electrode part 30 is previously inserted in the insertion hole 13a of the electrode part insertion part 13 (refer Fig.5 (a) and FIG.6 (a)). In this state, the electrode part 30 is held by the electrode part side stopper 34c so as not to come out of the electrode part insertion part 13.

その後、プローブ挿入部１４を電極部挿入部１３の上部に載置し、ボルト等によって固定する（図５（ｂ）参照）。次に、プローブ２０をプローブ挿入部１４の挿入孔１４ａに挿入する（図５（ｃ）及び図６（ａ）参照）。   Then, the probe insertion part 14 is mounted on the upper part of the electrode part insertion part 13, and is fixed with a volt | bolt etc. (refer FIG.5 (b)). Next, the probe 20 is inserted into the insertion hole 14a of the probe insertion portion 14 (see FIG. 5C and FIG. 6A).

プローブ２０を挿入孔１４ａに挿入していくことで、プローブ２０の芯状プローブ２１が電極部３０に挿入される。なお、本実施形態では、電極部３０のプローブ側の端部には、外筒電極部３４のみが位置しているため、開口部が大きくなっている。そのため、芯状プローブ２１を確実に電極部３０に挿入することができる。仮に位置がズレていても、テーパ部２１ｃによってプローブ２０が適切な位置に案内される。   By inserting the probe 20 into the insertion hole 14 a, the core probe 21 of the probe 20 is inserted into the electrode unit 30. In the present embodiment, since only the outer cylinder electrode part 34 is located at the end of the electrode part 30 on the probe side, the opening is large. Therefore, the core probe 21 can be reliably inserted into the electrode part 30. Even if the position is shifted, the probe 20 is guided to an appropriate position by the tapered portion 21c.

その後、プローブ２０を更に挿入していくことで、芯状プローブ２１（電極接続部２１ｂ）が内筒電極部３１（プローブ接続部３１ａ）の内部に挿入される。これにより、芯状プローブ２１と内筒電極部３１とが電気的に接続される。なお、芯状プローブ２１にはテーパ部２１ｃが形成されているので、芯状プローブ２１又は内筒電極部３１の位置が若干ズレていた場合であっても、位置関係を修正しつつ、芯状プローブ２１を内筒電極部３１の内部に挿入することができる。従って、両者の電気接続性の安定性を向上させることができる。   Thereafter, by further inserting the probe 20, the core probe 21 (electrode connection portion 21b) is inserted into the inner cylindrical electrode portion 31 (probe connection portion 31a). Thereby, the core probe 21 and the inner cylinder electrode part 31 are electrically connected. In addition, since the taper part 21c is formed in the core-shaped probe 21, even if it is a case where the position of the core-shaped probe 21 or the inner cylinder electrode part 31 has shifted | deviated slightly, a core shape is corrected, correcting a positional relationship. The probe 21 can be inserted into the inner cylinder electrode part 31. Therefore, the stability of the electrical connectivity between the two can be improved.

また、図６（ａ）の状態から更にプローブ２０を押し込むことで、筒状プローブ２４の電極部側の端面（電極接触部２４ｂ）と、外筒電極部３４のプローブ側の端面（プローブ接続部３４ａ）と、が接触する。これにより、筒状プローブ２４と外筒電極部３４とが電気的に接続される。なお、プローブ接続部３４ａは、他の部分よりも厚み及び外径が大きいため、筒状プローブ２４と確実に電気的に接続される。更に、上述のように芯状プローブ２１と内筒電極部３１の位置関係が修正されるので、筒状プローブ２４と外筒電極部３４との位置関係を適切な状態で電気的に接続することができる。従って、両者の電気接続性の安定性を向上させることができる。   Further, by pushing the probe 20 further from the state of FIG. 6A, the end surface on the electrode portion side (electrode contact portion 24b) of the cylindrical probe 24 and the end surface on the probe side of the outer tube electrode portion 34 (probe connection portion). 34a) are in contact with each other. Thereby, the cylindrical probe 24 and the outer cylinder electrode part 34 are electrically connected. In addition, since the probe connection part 34a has a thickness and an outer diameter larger than another part, it is reliably electrically connected with the cylindrical probe 24. FIG. Furthermore, since the positional relationship between the core probe 21 and the inner cylindrical electrode portion 31 is corrected as described above, the positional relationship between the cylindrical probe 24 and the outer cylindrical electrode portion 34 is electrically connected in an appropriate state. Can do. Therefore, the stability of the electrical connectivity between the two can be improved.

次に、プローブ固定板１５をプローブ挿入部１４の上部に取り付ける。（図５（ｄ）及び図６（ｂ）参照）。このとき、プローブ側ストッパ２５が、プローブ固定板１５の貫通孔に形成された段差部１５ａによって押圧される。これにより、バネ２４ｄが縮むように変形し、その状態でプローブ固定板１５がボルト等によってプローブ挿入部１４に固定される。バネ２４ｄの縮みによって発生した付勢力により、筒状プローブ２４は電極部側へ押圧される。これにより、筒状プローブ２４と外筒電極部３４との電気的接続性の安定性を向上させることができる。   Next, the probe fixing plate 15 is attached to the upper part of the probe insertion portion 14. (See FIG. 5 (d) and FIG. 6 (b)). At this time, the probe-side stopper 25 is pressed by the step portion 15 a formed in the through hole of the probe fixing plate 15. As a result, the spring 24d is deformed so as to contract, and in this state, the probe fixing plate 15 is fixed to the probe insertion portion 14 with a bolt or the like. The cylindrical probe 24 is pressed toward the electrode portion side by the urging force generated by the contraction of the spring 24d. Thereby, the stability of the electrical connectivity between the cylindrical probe 24 and the outer cylinder electrode part 34 can be improved.

従来は、プローブ挿入部にプローブを保持させた状態で、プローブ挿入部を電極部挿入部に挿入して組立てを行うことがあった。この場合、プローブと電極部の位置精度及び組付精度によっては、プローブと電極部が一部接続されないことがあった。この点、本実施形態のように、電極部挿入部１３に電極部３０を保持させた状態でプローブ２０を挿入することにより、プローブ２０を確実に電極部３０に接続することができる。   Conventionally, there is a case where the probe insertion part is inserted into the electrode part insertion part and assembled while the probe is held in the probe insertion part. In this case, depending on the positional accuracy and assembly accuracy of the probe and the electrode portion, the probe and the electrode portion may not be partially connected. In this regard, the probe 20 can be reliably connected to the electrode unit 30 by inserting the probe 20 with the electrode unit 30 held by the electrode unit insertion unit 13 as in the present embodiment.

また、電極部３０のコネクタ部側の端部は、内筒電極部３１と外筒電極部３４とが別々にコネクタ部４０に接続される。なお、図７に示すように、内筒電極部３１と外筒電極部３４とが絶縁されていれば、同じ基板で構成されるコネクタ部４０に接続することもできる。図７は、内筒電極部３１のコネクタ接続部３１ｂがコネクタ部４０にハンダ付けされ、外筒電極部３４のコネクタ接続部３４ｂがコネクタ部４０にハンダ付けされている。コネクタ接続部３１ｂ及びコネクタ接続部３４ｂは、コネクタ部４０の内部に形成された回路及び電線等を介して、別々に検査処理部２へ接続される。   Moreover, the inner cylinder electrode part 31 and the outer cylinder electrode part 34 are separately connected to the connector part 40 at the end of the electrode part 30 on the connector part side. In addition, as shown in FIG. 7, if the inner cylinder electrode part 31 and the outer cylinder electrode part 34 are insulated, it can also connect to the connector part 40 comprised with the same board | substrate. In FIG. 7, the connector connecting portion 31 b of the inner cylindrical electrode portion 31 is soldered to the connector portion 40, and the connector connecting portion 34 b of the outer cylindrical electrode portion 34 is soldered to the connector portion 40. The connector connection part 31b and the connector connection part 34b are separately connected to the inspection processing part 2 through a circuit, an electric wire, and the like formed inside the connector part 40.

本実施形態では、このようにして、４端子法による基板の検査が実現できる。なお、本実施形態の構成は、プローブ２０間の距離が例えば２０又は３０μｍ程度以上であって１００μｍ以下の場合に実現することができる。   In this embodiment, the inspection of the substrate by the four-terminal method can be realized in this way. The configuration of the present embodiment can be realized when the distance between the probes 20 is, for example, about 20 or 30 μm or more and 100 μm or less.

以上に説明したように、本実施形態の検査用治具１は、複数のプローブ２０と、複数の電極部３０と、を備える。プローブ２０は、芯状プローブ２１と、筒状プローブ２４と、を備える。芯状プローブ２１は、検査点に電気的に接続される。筒状プローブ２４は、芯状プローブ２１の外側に、当該芯状プローブ２１と絶縁された状態で配置され、同一の検査点に電気的に接続される。電極部３０は、内筒電極部３１と、外筒電極部３４と、を備える。内筒電極部３１は、挿入された芯状プローブ２１の外周面と接触することで、当該芯状プローブ２１に電気的に接続される。外筒電極部３４は、内筒電極部３１の外側に、当該内筒電極部３１と絶縁された状態で配置され、筒状プローブ２４と電気的に接続される。   As described above, the inspection jig 1 of this embodiment includes the plurality of probes 20 and the plurality of electrode portions 30. The probe 20 includes a core probe 21 and a cylindrical probe 24. The core probe 21 is electrically connected to the inspection point. The cylindrical probe 24 is disposed outside the core probe 21 in an insulated state from the core probe 21 and is electrically connected to the same inspection point. The electrode part 30 includes an inner cylinder electrode part 31 and an outer cylinder electrode part 34. The inner cylindrical electrode portion 31 is electrically connected to the core probe 21 by contacting the outer peripheral surface of the inserted core probe 21. The outer cylinder electrode part 34 is disposed outside the inner cylinder electrode part 31 in a state insulated from the inner cylinder electrode part 31, and is electrically connected to the cylindrical probe 24.

これにより、仮に芯状プローブ２１又は内筒電極部３１の位置がズレていても、芯状プローブ２１が内筒電極部３１に挿入される（位置決めされる）ので、芯状プローブ２１と内筒電極部３１とを確実に電気的に接続することができる。更に、内筒電極部３１と芯状プローブ２１との接触面積を大きくすることができるので、電気的接続の安定性を向上させることができる。   Thereby, even if the position of the core probe 21 or the inner cylinder electrode part 31 is shifted, the core probe 21 is inserted (positioned) into the inner cylinder electrode part 31, so that the core probe 21 and the inner cylinder The electrode part 31 can be reliably electrically connected. Furthermore, since the contact area between the inner cylinder electrode portion 31 and the core probe 21 can be increased, the stability of electrical connection can be improved.

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the above configuration can be modified as follows, for example.

芯状プローブ２１が内筒電極部３１に入り込んで電気的に接続される構成であれば、プローブ２０及び電極部３０の形状は変更可能である。   If the core probe 21 enters the inner cylinder electrode part 31 and is electrically connected, the shapes of the probe 20 and the electrode part 30 can be changed.

プローブ側ストッパ２５又は電極部側ストッパ３４ｃを形成することなく、プローブ２０及び電極部３０を固定しても良い。   The probe 20 and the electrode unit 30 may be fixed without forming the probe side stopper 25 or the electrode unit side stopper 34c.

上記実施形態では、電極部３０がベース部１１に沿って一側に案内される構成であるが、この一側に案内される部分を、基板に形成された回路で構成しても良い。この場合、電極部３０は、電極部挿入部１３から下方に延びて当該基板に接続される。そして、この基板に形成された回路によって、検査処理部２まで接続される。   In the above embodiment, the electrode portion 30 is guided to one side along the base portion 11, but the portion guided to the one side may be configured by a circuit formed on the substrate. In this case, the electrode portion 30 extends downward from the electrode portion insertion portion 13 and is connected to the substrate. And it connects to the inspection process part 2 by the circuit formed in this board | substrate.

１ 検査用治具
２ 検査処理部
２０ プローブ
２１ 芯状プローブ
２２ 絶縁被覆部
２４ 筒状プローブ
２５ プローブ側ストッパ
３０ 電極部
３１ 内筒電極部
３２ 絶縁被覆部
３４ 外筒電極部
３５ 絶縁被覆部
１００ 基板検査装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection jig | tool 2 Inspection processing part 20 Probe 21 Core probe 22 Insulation coating part 24 Cylindrical probe 25 Probe side stopper 30 Electrode part 31 Inner cylinder electrode part 32 Insulation coating part 34 Outer cylinder electrode part 35 Insulation coating part 100 Substrate Inspection device

Claims (12)

基板の検査点に接触する複数のプローブと、
前記プローブと、前記基板に形成された配線の検査処理を行う検査処理部と、を電気的に接続する複数の電極部と、
を備え、
前記プローブは、
前記検査点に電気的に接続される芯状プローブと、
前記芯状プローブの外側に、当該芯状プローブと絶縁された状態で配置され、前記検査点に電気的に接続される筒状プローブと、
を備え、
前記電極部は、
挿入された前記芯状プローブの外周面と接触することで、当該芯状プローブに電気的に接続される内筒電極部と、
前記内筒電極部の外側に、当該内筒電極部と絶縁された状態で配置され、前記筒状プローブと電気的に接続される外筒電極部と、
を備えることを特徴とする検査用治具。 A plurality of probes in contact with the inspection points of the substrate;
A plurality of electrode portions for electrically connecting the probe and an inspection processing unit for inspecting a wiring formed on the substrate;
With
The probe is
A core probe electrically connected to the inspection point;
A cylindrical probe that is disposed outside the core probe in an insulated state from the core probe and is electrically connected to the inspection point;
With
The electrode part is
An inner cylindrical electrode portion that is electrically connected to the core probe by contacting the outer peripheral surface of the inserted core probe;
An outer cylinder electrode part that is disposed outside the inner cylinder electrode part in a state of being insulated from the inner cylinder electrode part and electrically connected to the cylindrical probe;
An inspection jig comprising: 請求項１に記載の検査用治具であって、
前記芯状プローブの前記電極部側の端部には、先端に向かうに従って外径が細くなるテーパ部が形成されていることを特徴とする検査用治具。 The inspection jig according to claim 1,
An inspection jig characterized in that a taper portion whose outer diameter becomes narrower toward the tip is formed at an end of the core probe on the electrode portion side. 請求項１又は２に記載の検査用治具であって、
前記外筒電極部のプローブ側の端面が、前記内筒電極部のプローブ側の端面よりも、プローブ側に位置していることを特徴とする検査用治具。 The inspection jig according to claim 1 or 2,
An inspection jig, wherein an end surface on the probe side of the outer cylinder electrode portion is located closer to the probe side than an end surface on the probe side of the inner cylinder electrode portion. 請求項１から３までの何れか一項に記載の検査用治具であって、
前記筒状プローブの前記電極部側の端面と、前記外筒電極部の前記プローブ側の端面と、が接触することで、前記筒状プローブと前記外筒電極部とが電気的に接続されることを特徴とする検査用治具。 The inspection jig according to any one of claims 1 to 3, wherein
The cylindrical probe and the outer cylinder electrode part are electrically connected by contacting the end face on the electrode part side of the cylindrical probe and the end face on the probe side of the outer cylinder electrode part. Inspection jig characterized by this. 請求項１から４までの何れか一項に記載の検査用治具であって、
前記電極部が挿入される電極部挿入部を備え、
前記外筒電極部の前記プローブ側の端部には、他の部分よりも厚み及び外径が大きい電極部側ストッパが形成されており、
前記電極部側ストッパにより、前記電極部が前記電極部挿入部に保持されることを特徴とする検査用治具。 The inspection jig according to any one of claims 1 to 4, wherein
An electrode part insertion part into which the electrode part is inserted,
At the end of the outer cylinder electrode part on the probe side, an electrode part side stopper having a larger thickness and outer diameter than other parts is formed,
The inspection jig, wherein the electrode part is held by the electrode part insertion part by the electrode part side stopper. 請求項１から５までの何れか一項に記載の検査用治具であって、
前記内筒電極部が絶縁体で被覆されていることを特徴とする検査用治具。 The inspection jig according to any one of claims 1 to 5,
An inspection jig, wherein the inner cylinder electrode part is covered with an insulator. 請求項１から６までの何れか一項に記載の検査用治具であって、
前記筒状プローブには、長手方向に弾性変形可能なバネが形成されており、当該バネが縮んだ状態で、前記プローブと前記電極部とが接続されることを特徴とする検査用治具。 The inspection jig according to any one of claims 1 to 6,
The cylindrical probe is formed with a spring that is elastically deformable in the longitudinal direction, and the probe and the electrode portion are connected in a state in which the spring is contracted. 請求項１から７までの何れか一項に記載の検査用治具であって、
前記プローブが挿入されるプローブ挿入部と、
前記プローブを前記プローブ挿入部に固定するプローブ固定部と、
を備え、
前記筒状プローブには、他の部分よりも外径が大きいプローブ側ストッパが形成されており、
前記プローブ側ストッパと前記プローブ固定部とが接触することで、前記プローブが前記プローブ挿入部に固定されることを特徴とする検査用治具。 The inspection jig according to any one of claims 1 to 7,
A probe insertion part into which the probe is inserted;
A probe fixing portion for fixing the probe to the probe insertion portion;
With
The cylindrical probe is formed with a probe-side stopper having a larger outer diameter than other parts,
The inspection jig, wherein the probe is fixed to the probe insertion portion by contacting the probe-side stopper and the probe fixing portion. 請求項１から８までの何れか一項に記載の検査用治具であって、
前記プローブの配置間隔が１００μｍ以下であることを特徴とする検査用治具。 An inspection jig according to any one of claims 1 to 8,
An inspection jig, wherein an interval between the probes is 100 μm or less. 基板の検査点に接触する２重構造のプローブと、前記基板に形成された配線の検査処理を行う検査処理部と、を電気的に接続する電極部において、
前記２重構造の内側の芯状プローブが挿入され、当該芯状プローブの外周面と接触することで、当該芯状プローブに電気的に接続される内筒電極部と、
前記内筒電極部の外側に、当該内筒電極部と絶縁された状態で配置され、前記２重構造の外側の筒状プローブと電気的に接続される外筒電極部と、
を備えることを特徴とする電極部。 In an electrode unit that electrically connects a double-structure probe that contacts an inspection point of the substrate and an inspection processing unit that performs an inspection process on the wiring formed on the substrate,
An inner cylindrical electrode portion that is electrically connected to the core probe by inserting the inner core probe of the double structure and contacting the outer peripheral surface of the core probe;
An outer cylindrical electrode portion that is disposed outside the inner cylindrical electrode portion in a state of being insulated from the inner cylindrical electrode portion, and is electrically connected to an outer cylindrical probe of the double structure;
An electrode unit comprising: 基板の検査点に接触し、内筒電極部と外筒電極部とで構成される電極部を介して、前記基板に形成された配線の検査処理を行う検査処理部に電気的に接続されるプローブにおいて、
一端側において前記検査点に電気的に接続され、他端側において前記内筒電極部の内周面に接触することで、当該内筒電極部に電気的に接続される芯状プローブと、
前記芯状プローブの外側に、当該芯状プローブと絶縁された状態で配置され、一端側において前記検査点に電気的に接続され、他端側において前記外筒電極部と電気的に接続される筒状プローブと、
を備えることを特徴とするプローブ。 It is in contact with the inspection point of the substrate, and is electrically connected to an inspection processing unit for inspecting the wiring formed on the substrate via an electrode portion composed of an inner cylindrical electrode portion and an outer cylindrical electrode portion. In the probe
A core-shaped probe electrically connected to the inspection point on one end side, and in contact with the inner peripheral surface of the inner cylinder electrode portion on the other end side;
It is arranged outside the core probe in a state insulated from the core probe, electrically connected to the inspection point on one end side, and electrically connected to the outer tube electrode portion on the other end side. A cylindrical probe;
A probe comprising: 基板の検査点に電気的に接続される芯状プローブ、及び、前記芯状プローブの外側に当該芯状プローブと絶縁された状態で配置され、前記検査点に電気的に接続される筒状プローブで構成される複数のプローブと、
前記芯状プローブの外周面と接触することで電気的に接続される内筒電極部、及び、当該内筒電極部の外側に、当該内筒電極部と絶縁された状態で配置され、前記筒状プローブと電気的に接続される外筒電極部で構成される複数の電極部と、
を備える検査用治具を製造する方法において、
前記電極部が挿入された電極部挿入部と、前記プローブを挿入するためのプローブ挿入部と、を重ねた状態において、前記プローブを前記プローブ挿入部に挿入して、前記プローブと前記電極部とを接続するプローブ挿入工程と、
プローブ固定部を取り付けることで、前記プローブ挿入工程で挿入した前記プローブを固定するプローブ固定工程と、
を含むことを特徴とする検査用治具の製造方法。 A core probe that is electrically connected to the inspection point of the substrate, and a cylindrical probe that is disposed outside the core probe in a state insulated from the core probe and is electrically connected to the inspection point A plurality of probes comprising:
An inner cylinder electrode portion that is electrically connected by being in contact with the outer peripheral surface of the core-shaped probe, and the outer cylinder electrode portion is disposed outside the inner cylinder electrode portion in a state of being insulated from the inner cylinder electrode portion. A plurality of electrode parts composed of an outer cylinder electrode part electrically connected to the probe,
In a method of manufacturing an inspection jig comprising:
In a state where the electrode portion insertion portion into which the electrode portion is inserted and the probe insertion portion for inserting the probe are overlapped, the probe is inserted into the probe insertion portion, and the probe, the electrode portion, A probe insertion step of connecting
A probe fixing step for fixing the probe inserted in the probe insertion step by attaching a probe fixing portion;
The manufacturing method of the jig | tool for inspection characterized by including.
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