JP6320285B2 - Integrated multi-contact, inspection jig and inspection apparatus including the same, and inspection method - Google Patents
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本発明は、一体型複数接触子、それを備えた検査治具及び検査装置、並びに検査方法に関する。 The present invention relates to an integrated plural contact, an inspection jig and an inspection apparatus including the same, and an inspection method.
従来、被検査体の端子に検査装置の接触子を接触させて、被検査体が検査されている。例えば、半導体装置、半導体パワーモジュール、または半導体パッケージモジュールの端子に検査装置の接触子を接触させて、半導体装置、半導体パワーモジュール、または半導体パッケージモジュールの電気特性が検査されている(特許文献1−5を参照)。 Conventionally, an inspection object is inspected by bringing a contact of an inspection device into contact with a terminal of the inspection object. For example, the electrical characteristics of a semiconductor device, a semiconductor power module, or a semiconductor package module are inspected by bringing a contact of the inspection device into contact with a terminal of the semiconductor device, semiconductor power module, or semiconductor package module (Patent Document 1). 5).
しかし、特許文献1−5に記載の接触子はバンプ端子やコンタクトピンで構成されるため、接触子と被検査体の端子との接触領域が小さい。また、被検査体の1つの端子に対して1つの接触子のみが電気的に接続するため、被検査体の1つの端子に対して接触する接触子の数が少ない。そのため、従来の接触子は、被検査体の端子との確実な電気的接触が得られないという問題があった。その結果、具体的には、被検査体の検査のために、接触子から被検査体の端子に電流または電圧を印加すると、接触子と被検査体の端子との間で放電が生じるという問題や、この放電によって接触子と被検査体の端子とが溶着するという問題があった。また、接触子と被検査体の端子との接触抵抗が大きくなり、十分な検査精度が得られないという問題があった。 However, since the contact described in Patent Documents 1-5 is composed of bump terminals and contact pins, the contact area between the contact and the terminal of the device under test is small. In addition, since only one contact is electrically connected to one terminal of the device under test, the number of contacts that contact one terminal of the device under test is small. Therefore, the conventional contact has a problem that reliable electrical contact with the terminal of the device under test cannot be obtained. As a result, specifically, when a current or voltage is applied from the contact to the terminal of the object to be inspected, the discharge occurs between the contact and the terminal of the object to be inspected. In addition, there is a problem that the contact and the terminal of the object to be inspected are welded by this discharge. Further, the contact resistance between the contact and the terminal of the object to be inspected increases, and there is a problem that sufficient inspection accuracy cannot be obtained.
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる接触子を提供することである。 This invention is made | formed in view of said subject, The objective is to provide the contactor which can acquire the reliable electrical contact with the terminal of a to-be-inspected object.
本発明の別の目的は、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査治具を提供することである。 Another object of the present invention is to provide an inspection jig capable of obtaining reliable electrical contact between a contact and a terminal of an object to be inspected.
本発明のさらに別の目的は、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査装置を提供することである。 Still another object of the present invention is to provide an inspection apparatus capable of obtaining reliable electrical contact between a contact and a terminal of an object to be inspected.
本発明のさらに別の目的は、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査方法を提供することである。 Still another object of the present invention is to provide an inspection method capable of obtaining reliable electrical contact between a contact and a terminal of an object to be inspected.
本発明の一体型複数接触子は、複数の接触子と、導電性を有するブロックとを備える。複数の接触子はそれぞれ導電性を有する板ばねを含む。第1の板ばねは、第1の板ばねの先端に平坦部を有する。ブロックは、複数の接触子を保持するとともに、複数の板ばねのそれぞれと電気的に接続される。複数の第1の板ばねは、複数の第1の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。 The integrated multi-contact of the present invention includes a plurality of contacts and a block having conductivity. Each of the plurality of contacts includes a leaf spring having conductivity. The first leaf spring has a flat portion at the tip of the first leaf spring. The block holds a plurality of contacts and is electrically connected to each of the plurality of leaf springs. The plurality of first leaf springs are arranged at intervals from each other such that the main surfaces of the plurality of first leaf springs face each other.
本発明の検査治具は、このような一体型複数接触子と、一体型複数接触子が取り付けられる取り付け部とを備える。 The inspection jig of the present invention includes such an integrated plural contact and an attachment portion to which the integral plural contact is attached.
本発明の検査装置は、このような一体型複数接触子を備える検査治具と、被検査体を支持する支持部材と、支持部材に対して検査治具を移動させる駆動部とを備える。 The inspection apparatus of the present invention includes an inspection jig including such an integrated plural contact, a support member that supports an object to be inspected, and a drive unit that moves the inspection jig relative to the support member.
本発明の検査方法は、複数の接触子を被検査体の1つの端子に接触させることと、複数の接触子を介して、被検査体の1つの端子に電流または電圧を印加することとを備える。複数の接触子はそれぞれ導電性を有する板ばねを含む。板ばねは、板ばねの先端に平坦部を有する。複数の板ばねは、複数の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。複数の板ばねは平坦部で被検査体の1つの端子に接触する。 The inspection method of the present invention includes bringing a plurality of contacts into contact with one terminal of an object to be inspected, and applying a current or voltage to one terminal of the object to be inspected via the plurality of contacts. Prepare. Each of the plurality of contacts includes a leaf spring having conductivity. The leaf spring has a flat portion at the tip of the leaf spring. The plurality of leaf springs are spaced from each other so that the main surfaces of the plurality of leaf springs face each other. The plurality of leaf springs are in contact with one terminal of the object to be inspected at the flat portion.
本発明の一体型複数接触子では、複数の接触子はそれぞれ導電性を有する板ばねを含み、複数の板ばねは、複数の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。そのため、本発明の一体型複数接触子では、被検査体の1つの端子に対して接触する接触子の数を増加させることができる。また、本発明の一体型複数接触子の板ばねは、板ばねの先端に平坦部を有する。先端に平坦部を有する板ばねは被検査体の1つの端子と線接触または面接触する。そのため、本発明の一体型複数接触子では、接触子と被検査体の1つの端子との接触領域を拡げることができる。その結果、本発明の一体型複数接触子では、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる。 In the integrated multiple contactor of the present invention, each of the plurality of contactors includes a leaf spring having conductivity, and the plurality of leaf springs are spaced apart from each other such that the main surfaces of the plurality of leaf springs face each other. Be placed. Therefore, in the integrated multiple contacts according to the present invention, the number of contacts that come into contact with one terminal of the object to be inspected can be increased. Moreover, the leaf spring of the integrated multiple contactor of the present invention has a flat portion at the tip of the leaf spring. A leaf spring having a flat portion at the tip makes line contact or surface contact with one terminal of the object to be inspected. Therefore, in the integrated multiple contactor of the present invention, the contact area between the contactor and one terminal of the object to be inspected can be expanded. As a result, in the integrated multiple contactor of the present invention, reliable electrical contact between the contactor and the terminal of the device under test can be obtained.
本発明の検査治具は、このような一体型複数接触子を備える。このため、本発明の検査治具では、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査治具を提供することができる。 The inspection jig of the present invention includes such an integrated multiple contactor. For this reason, in the inspection jig of this invention, the inspection jig which can obtain the reliable electrical contact with a contactor and the terminal of a to-be-inspected object can be provided.
本発明の検査装置は、このような一体型複数接触子を備える検査治具を備えている。このため、本発明の検査装置では、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査装置を提供することができる。 The inspection apparatus of the present invention includes an inspection jig including such an integrated plural contact. For this reason, in the inspection apparatus of this invention, the inspection apparatus which can obtain the reliable electrical contact with a contact and the terminal of to-be-inspected object can be provided.
本発明の検査方法では、複数の接触子はそれぞれ導電性を有する板ばねを含み、複数の板ばねは、複数の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。そのため、本発明の検査方法では、被検査体の1つの端子に対して接触する接触子の数を増加させることができる。また、本発明の検査方法に用いられる板ばねは、板ばねの先端に平坦部を有する。先端に平坦部を有する板ばねは被検査体の1つの端子と線接触または面接触する。そのため、本発明の検査方法では、接触子と被検査体の1つの端子との接触領域を拡げることができる。その結果、本発明の検査方法では、接触子と被検査体の端子との確実な電気的接触を得ることができる検査方法を提供することができる。 In the inspection method of the present invention, each of the plurality of contactors includes a leaf spring having conductivity, and the plurality of leaf springs are arranged at intervals from each other so that the main surfaces of the plurality of leaf springs face each other. . Therefore, in the inspection method of the present invention, the number of contacts that come into contact with one terminal of the object to be inspected can be increased. Moreover, the leaf | plate spring used for the test | inspection method of this invention has a flat part in the front-end | tip of a leaf | plate spring. A leaf spring having a flat portion at the tip makes line contact or surface contact with one terminal of the object to be inspected. Therefore, in the inspection method of the present invention, the contact area between the contact and one terminal of the object to be inspected can be expanded. As a result, the inspection method of the present invention can provide an inspection method capable of obtaining reliable electrical contact between the contact and the terminal of the object to be inspected.
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1(A)から図4(D)を参照して、本実施の形態の一体型複数接触子1は、複数の第1の接触子10と、ブロック20とを備えている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
With reference to FIG. 1A to FIG. 4D, the integrated multiple contact 1 of the present embodiment includes a plurality of
複数の第1の接触子10は、それぞれ、第1の板ばね11と、舌部14とを含んでいる。
Each of the plurality of
第1の板ばね11は、弾性を変形可能な板状部材である。第1の板ばね11は、導電性を有している。第1の板ばね11はブロック20と同じ導電率、またはより大きな導電率を有していてもよい。第1の板ばね11の材料として、銅−亜鉛(Cu−Zn)合金などを用いてもよい。第1の板ばね11は、第1の板ばね11の先端に平坦部11aを有する。本実施の形態では、平坦部11aは、第1の板ばね11の端面であって、平面を有している。第1の板ばね11の先端がくさび形状を有しており、平坦部11aは、当該くさびの稜線であってもよい。本明細書において、第1の接触子10(第1の板ばね11)の先端は、被検査体の1つの端子31と接触する、第1の接触子10(第1の板ばね11)の接触端を意味する。
The 1st leaf |
舌部14は、第1の板ばね11に設けられた一対の腕部15、16から構成されている。一対の腕部15、16は、それぞれ折り曲げ部18、19で折り曲げられる。舌部14は、弾性変形可能な部材であってもよい。舌部14は、導電性を有する部材であってもよい。舌部14の材料として、銅−亜鉛(Cu−Zn)合金などを用いてもよい。舌部14は、第1の板ばね11と同じ材料から構成されていてもよいし、別の材料から構成されていてもよい。第1の板ばね11と舌部14とは、一体的に構成されていてもよいし、別部材から構成されていてもよい。本実施の形態では、第1の板ばね11と舌部14とは、同一材料で、一体的に構成されている。
The
ブロック20は、導電性を有している。ブロック20の材料として、銅−亜鉛(Cu−Zn)合金などを用いてもよい。ブロック20は、一対の突出部21、22を有している。一対の突出部21、22は、x方向に延在している。ブロック20は複数の溝23を有している。複数の溝23は、一対の突出部21、22の間に設けられている。複数の溝23は、一対の突出部21、22が延在する方向(x方向)に沿って配置されている。一対の突出部21、22は、複数の溝23に取り付けられる複数の第1の接触子10を機械的に保護することができる。
The
複数の第1の接触子10をブロック20に取り付けることによって、一体型複数接触子1を得ることができる。本実施の形態では、舌部14は、弾性変形可能な部材であるため、舌部14の折り曲げ部18、19には、折り曲げ部18、19を拡げようとする弾性力が作用する。そのため、第1の接触子10の舌部14をブロック20の溝23に挿入すると、第1の接触子10の舌部14はブロック20の溝23を押圧しながら当接する。第1の接触子10の舌部14はブロック20の溝23を押圧しながら当接するので、第1の接触子10をブロック20に取り付けることができる。本実施の形態では、舌部14は第1の板ばね11と同じ材料で一体的に形成され、舌部14はブロック20の溝23と当接している。
By attaching the plurality of
本実施の形態では、第1の板ばね11と、舌部14と、ブロック20とは、導電性を有する材料から構成されている。本実施の形態では、第1の板ばね11と舌部14とは、一体的に構成され、舌部14は、ブロック20と当接している。そのため、第1の接触子10の第1の板ばね11とブロック20とは、電気的に接続されている。導電性接着剤によって、第1の接触子10の舌部14をブロック20の溝23に取り付けてもよい。他の方法によって、複数の第1の接触子10をブロック20に取り付けてもよい。
In the present embodiment, the
本実施の形態の一体型複数接触子1では、複数の第1の接触子10はそれぞれ導電性を有する第1の板ばね11を含む。第1の板ばね11は、面積が最も大きな表面である主面を有する。第1の板ばね11の主面は、第1の板ばね11の幅と第1の板ばね11の高さとによって規定される。複数の第1の板ばね11は、複数の第1の板ばね11のそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。本実施の形態では、複数の第1の板ばね11は、x方向に沿って配置される。複数の第1の板ばね11の幅方向は、y方向に平行である。複数の第1の接触子10(複数の第1の板ばね11)どうしの間隔は、第1の板ばね11の最大幅よりも小さくてもよい。
In the integrated multiple contact 1 of the present embodiment, the plurality of
第1の板ばね11の厚さ方向のサイズは、一般的に、第1の板ばね11の幅方向(y方向)のサイズよりも小さい。複数の第1の板ばね11は、複数の第1の板ばね11のそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子1では、複数の第1の板ばね11の配置方向(x方向)に沿って、複数の第1の接触子10(複数の第1の板ばね11)を密に配置することができる。本実施の形態の一体型複数接触子1では、複数の第1の板ばね11の配置方向(x方向)において、第1の接触子10(第1の板ばね11)どうしの間隔を小さくすることができる。
The size of the
複数の第1の板ばね11の配置方向(x方向)に対して、複数の第1の板ばね11のそれぞれの幅方向がなす角度は、45度以上135度以下であってもよい。本実施の形態では、複数の第1の板ばね11の幅方向はy方向に平行であるので、複数の第1の板ばね11の配置方向(x方向)に対して、複数の第1の板ばね11のそれぞれの幅方向がなす角度は、90度である。
The angle formed by the width direction of each of the plurality of first plate springs 11 with respect to the arrangement direction (x direction) of the plurality of first plate springs 11 may be 45 degrees or more and 135 degrees or less. In the present embodiment, since the width direction of the plurality of
図4(A)から図4(C)を参照して、被検査体の電気的特性を検査するために、複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)が撓むように、被検査体30の1つの端子31に複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)を押し付ける。このようにして、一体型複数接触子1の複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)を被検査体の1つの端子31に接触させて、被検査体の1つの端子31は一体型複数接触子1の複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)に電気的に接続される。被検査体として、半導体装置、半導体パワーモジュール、半導体パッケージモジュールなどを例示することができる。半導体装置、半導体パワーモジュール、半導体パッケージモジュールなどは、例えば、車載用、電鉄用、または産業用に用いることができる。端子31は、被検査体から延在するリードフレームであってもよいし、被検査体に設けられた導電パッド、電極などであってもよい。本明細書において、被検査体の1つの端子とは、被検査体が有する1つ以上の端子のうちの1つの端子を意味する。
Referring to FIGS. 4A to 4C, in order to inspect the electrical characteristics of the object to be inspected, the plurality of first contacts 10 (first leaf springs 11) are bent so that they are bent. The plurality of first contacts 10 (first leaf springs 11) are pressed against one
本実施の形態の一体型複数接触子1では、第1の接触子10のうち1つの端子31と接触する部分が、弾性変形可能な第1の板ばね11で構成されている。本実施の形態の一体型複数接触子1では、複数の第1の板ばね11の配置方向(x方向)に沿って、複数の第1の接触子10(複数の第1の板ばね11)を密に配置することができる。複数の第1の板ばね11の配置方向(x方向)において、第1の接触子10(第1の板ばね11)どうしの間隔を小さくすることができる。そのため、被検査体の1つの端子31に対して接触する第1の接触子10(弾性変形可能な第1の板ばね11)の数を増加させることができる。
In the integrated multi-contact 1 according to the present embodiment, a portion of the
また、本実施の形態の一体型複数接触子1の第1の板ばね11は、第1の板ばね11の先端に平坦部11aを有している。そのため、第1の板ばね11のそれぞれは、第1の板ばね11の配列方向(x方向)と交差する方向(y方向)に、被検査体の端子31と線接触または面接触することができる。被検査体の端子31と接触する接触子としてバンプ端子やピンを用いる場合に比べて、第1の接触子10の第1の板ばね11が被検査体の端子31と線接触または面接触する本実施の形態では、第1の接触子10と被検査体の1つの端子31との接触領域を拡げることができる。
Further, the
その結果、本実施の形態の一体型複数接触子1では、被検査体の端子31との確実な電気的接触を得ることができる。本実施の形態の一体型複数接触子1(第1の接触子10)と被検査体の端子31との間の接触抵抗を小さくすることができる。被検査体の電気的特性を検査するために、例えば300アンペアから600アンペアの大電流を一体型複数接触子1の複数の第1の接触子10に印加しても、一体型複数接触子1と被検査体の端子31との間に放電が生じることを抑制することができる。さらに、この放電によって一体型複数接触子1と被検査体の端子31とが溶着してしまうことを抑制することができる。なお、この放電は、接触子が被検査体の端子に接触せず、接触子と被検査体の端子との間にギャップが空いている場合に、接触子から大電流を流すと、接触子と被検査体の端子との間に発生する。
As a result, in the integrated multiple contact 1 of the present embodiment, reliable electrical contact with the terminal 31 of the object to be inspected can be obtained. The contact resistance between the integrated multiple contact 1 (first contact 10) of the present embodiment and the
一体型複数接触子1はこのような放電及び溶着を抑制することができるので、被検査体の端子31に印加される電流または電圧の波形のなまりを小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子1を用いることによって、被検査体の電気特性の検査の精度を向上させることができる。一体型複数接触子1はこのような放電及び溶着を抑制することができるので、一体型複数接触子1に流すことができる電流量を大きくすることができる。そのため、一体型複数接触子1によって検査できる物の範囲を拡大することができる。
Since the integrated multiple contact 1 can suppress such discharge and welding, the rounding of the waveform of the current or voltage applied to the
本実施の形態の一体型複数接触子1では、第1の板ばね11を有する複数の第1の接触子10がブロック20に保持されている。また、複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)のそれぞれは、ブロック20と電気的に接続されている。被検査体の検査のために、ブロック20に、例えば300アンペアから600アンペアの大電流を印加しても、大電流はブロック20に保持される複数の第1の接触子10(複数の第1の板ばね11)に分散される。複数の第1の接触子10(複数の第1の板ばね11)のそれぞれに流れる電流の大きさを小さくすることができる。そのため、複数の第1の接触子10(複数の第1の板ばね11)のそれぞれと被検査体の端子31との間に放電が生じることを抑制することができる。さらに、この放電によって複数の第1の接触子10(複数の第1の板ばね11)のそれぞれと被検査体の端子31とが溶着してしまうことを抑制することができる。
In the integrated multiple contact 1 of the present embodiment, a plurality of
一体型複数接触子1はこのような放電及び溶着を抑制することができるので、被検査体の端子31に印加される電流または電圧の波形のなまりを小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子1を用いることによって、被検査体の電気特性の検査の精度を向上させることができる。一体型複数接触子1はこのような放電及び溶着を抑制することができるので、一体型複数接触子1に流すことができる電流量を大きくすることができる。そのため、一体型複数接触子1によって検査できる物の範囲を拡大することができる。
Since the integrated multiple contact 1 can suppress such discharge and welding, the rounding of the waveform of the current or voltage applied to the
本実施の形態の一体型複数接触子1では、第1の接触子10のうち1つの端子31と接触する部分が、弾性変形可能な第1の板ばね11で構成されている。そのため、図4(D)に示すように、湾曲した表面を有する被検査体の1つの端子31aに、複数の第1の板ばね11を確実に接触させることができる。被検査体の1つの端子31aが湾曲した表面を有していても、一体型複数接触子1と被検査体の1つの端子31aとの間の接触抵抗を小さくすることができる。
In the integrated multi-contact 1 according to the present embodiment, a portion of the
図5(A)と図5(B)とを参照して、本実施の形態の検査治具40は、一体型複数接触子1と、取り付け部材41とを備える。一体型複数接触子1のブロック20は、取り付け手段(図示せず)によって、取り付け部材41に取り付けられる。一体型複数接触子1のブロック20は、取り付け部材41に、着脱自在に取り付けられてもよい。取り付け手段としては、ねじなどを例示することができる。ブロック20と取り付け部材41とにねじ穴(図示せず)を設け、ねじ穴に挿入されるねじ(図示せず)によってブロック20を取り付け部材41に取り付けてもよい。
With reference to FIG. 5A and FIG. 5B, the
本実施の形態では、複数の第1の接触子10はブロック20によって一体化されている。そのため、ブロック20を介して、複数の第1の接触子10を、容易にかつ安定的に、取り付け部材41に取り付けることができる。複数の第1の接触子10を安定的に取り付け部材41に取り付けることができるので、複数の第1の接触子10と被検査体の端子31との確実な電気的接触を得ることができる。複数の第1の接触子10を保持するブロック20は、取り付け部材41に、着脱自在に取り付けられているので、複数の第1の接触子10を容易に交換することができる。
In the present embodiment, the plurality of
図6を参照して、本実施の形態の検査装置50は、一体型複数接触子1を備える検査治具40と、被検査体30を支持する支持部材52と、支持部材52に対して検査治具40を移動させる駆動部54とを備える。駆動部54によって、一体型複数接触子1を備える検査治具40を、支持部材52上の任意の位置に移動させることができる。
Referring to FIG. 6, the
本実施の形態の検査装置50は、一体型複数接触子1を備える検査治具40を備えている。このため、本実施の形態の検査装置50では、一体型複数接触子1と被検査体30の1つの端子31との確実な電気的接触を得ることができる検査装置を提供することができる。
The
図7を参照して、本実施の形態の検査装置50を用いた、被検査体30の検査方法について説明する。
With reference to FIG. 7, the inspection method of the to-
被検査体30を支持部材52上に載置する(S10)。駆動部54によって、一体型複数接触子1を備える検査治具40を移動させる。複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)が撓むように、被検査体30の1つの端子31に複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)を押し付ける。このようにして、被検査体30の1つの端子31に複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)を接触させる(S20)。複数の第1の接触子10はそれぞれ、導電性を有する第1の板ばね11を有する。複数の第1の板ばね11はその先端に平坦部を有する。複数の第1の板ばね11は平坦部で被検査体30の1つの端子31に接触する。被検査体30の1つの端子31に複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)を接触させるとは、ブロック20に取り付けられている複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)のうち、少なくとも2つの第1の接触子10(第1の板ばね11)を被検査体30の1つの端子31に接触させることを意味する。被検査体30の1つの端子31に接触している複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)から、被検査体30の1つの端子31に、電流または電圧を印加する(S30)。このようにして、検査装置50によって、被検査体30の電気的特性を検査する。
The inspected
本実施の形態の検査方法では、複数の第1の接触子10はそれぞれ導電性を有する第1の板ばね11を含み、複数の第1の接触子10(第1の板ばね11)は、複数の第1の板ばね11の配置方向に沿って配置される。そのため、本実施の形態の検査方法では、被検査体30の1つの端子31に対して接触する第1の接触子10(第1の板ばね11)の数を増加させることができる。また、本実施の形態の検査方法に用いられる第1の板ばね11は、第1の板ばね11の先端に平坦部11aを有する。先端に平坦部11aを有する第1の板ばね11は被検査体30の1つの端子31と線接触または面接触する。そのため、本実施の形態の検査方法では、第1の接触子10(第1の板ばね11)と被検査体30の1つの端子31との接触領域を拡げることができる。その結果、本実施の形態の検査方法では、第1の接触子10(第1の板ばね11)と被検査体30の1つの端子31との確実な電気的接触を得ることができる検査方法を提供することができる。
In the inspection method of the present embodiment, each of the plurality of
(実施の形態2)
図8を参照して、実施の形態2に係る一体型複数接触子1aについて説明する。実施の形態2の一体型複数接触子1aは、実施の形態1の一体型複数接触子1の変形例である。実施の形態2の一体型複数接触子1aは、基本的には、実施の形態1の一体型複数接触子1と同様の構成を備え、同様の効果を得ることができるが、主に以下の点で異なる。
(Embodiment 2)
With reference to FIG. 8, the integrated multi-contact 1a according to
本実施の形態の一体型複数接触子1aは、さらに第2の接触子60を備える。第2の接触子60は導電性を有する。第2の接触子60は、一体型複数接触子1aのブロック20の突出部21、22にそれぞれ設けられた貫通穴24、25に、絶縁体65を介して、取り付けられる。絶縁体65として、例えば、絶縁性樹脂接着剤などを用いることができる。絶縁体65によって、第2の接触子60は、ブロック20及び複数の第1の接触子10と電気的に絶縁される。本実施の形態では、ブロック20に2つの貫通穴24、25が設けられているが、第2の接触子60を取り付けるための貫通穴の数は、1つでもよいし、3つ以上であってもよい。第2の接触子60は、2本以上であってもよい。
The integrated multiple contact 1a of the present embodiment further includes a
本実施の形態の一体型複数接触子1aでは、被検査体の電気的特性を検査するために、複数の第1の接触子10によって被検査体の1つの端子に電流または電圧を印加し、第2の接触子60によって被検査体の別の端子から出力される電流または電圧を検出してもよい。本実施の形態では、例えば、複数の第1の接触子10は、被検査体の1つの端子に電流を印加するために用いられ、第2の接触子60は、被検査体の別の端子から出力される電圧を検出するために用いられる。
In the integrated multi-contact 1a of the present embodiment, in order to inspect the electrical characteristics of the device under test, a current or voltage is applied to one terminal of the device under test by the plurality of
本実施の形態の一体型複数接触子1aでは、被検査体の1つの端子に電流または電圧を印加する複数の第1の接触子10は、被検査体の別の端子から出力される電流または電圧を検出する第2の接触子60と、ブロック20によって一体化されている。そのため、電流または電圧を被検査体に印加する複数の第1の接触子10が、被検査体から出力される電流または電圧を検出する第2の接触子60の近くに配置され得る。本実施の形態の一体型複数接触子1aを用いることによって、被検査体から出力される電流または電圧を検出するための被検査体の端子が、被検査体の検査のために電流または電圧が印加される被検査体の端子の近くに位置していても、容易に、被検査体の電気的特性を検査することができる。
In the integrated multiple contact 1a of the present embodiment, the plurality of
図5(A)と図5(B)に示される検査治具40において、実施の形態1の一体型複数接触子1に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子1aを採用してもよい。図6に示される検査装置50において、実施の形態1の一体型複数接触子1に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子1aを採用してもよい。貫通穴25に第2の接触子60を取り付けてもよいし、貫通穴24、25の両方に第2の接触子60を取り付けてもよい。図7に示される検査方法において、実施の形態1の一体型複数接触子1に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子1aを採用してもよい。
In the
(実施の形態3)
図9(A)から図11(B)を参照して、実施の形態3に係る一体型複数接触子1bについて説明する。実施の形態3の一体型複数接触子1bは、実施の形態2の一体型複数接触子1aの変形例である。実施の形態3の一体型複数接触子1bは、基本的には、実施の形態2の一体型複数接触子1aと同様の構成を備え、同様の効果を得ることができるが、主に以下の点で異なる。
(Embodiment 3)
With reference to FIG. 9 (A) to FIG. 11 (B), the integrated
実施の形態3の一体型複数接触子1bは、さらに電気コネクタ70を備える。電気コネクタ70は、コネクタ本体71と、複数の第3の接触子80とを含む。
The integrated
コネクタ本体71は、導電性を有している。コネクタ本体71の材料として、銅−亜鉛(Cu−Zn)合金などを用いてもよい。コネクタ本体71は、貫通穴74、75を有している。コネクタ本体71は、第1の腕部76と第2の腕部77を有している。
The connector
第1の腕部76と第2の腕部77とは、導電性を有している。本実施の形態では、第1の腕部76及び第2の腕部77は、コネクタ本体71と同じ材料で構成されている。第1の腕部76及び第2の腕部77は、コネクタ本体71と異なる材料で構成されていてもよい。第1の腕部76と第2の腕部77とは、弾性を有している。コネクタ本体71と反対側の第1の腕部76の端部には、係止片78が設けられている。コネクタ本体71と反対側の第2の腕部77の端部には、係止片79が設けられている。係止片78、79は、導電性を有していても、絶縁性を有していてもよい。
The
複数の第3の接触子80は、複数の第1側接触子81と複数の第2側接触子84とを含む。
The plurality of
複数の第1側接触子81は、第2の腕部77と対向する第1の腕部76の内面76aに取り付けられている。複数の第1側接触子81は、コネクタ本体71と係止片78との間に配置されている。複数の第1側接触子81のそれぞれは、第1の接触子10と同様の構成を有している。すなわち、第1側接触子81は、第2の板ばね82と、舌部83とを含んでいる。第2の板ばね82は、弾性を変形可能な板状部材である。第2の板ばね82は、導電性を有している。第2の板ばね82の材料として、銅−亜鉛(Cu−Zn)合金などを用いてもよい。第2の板ばね82は、第2の板ばね82の先端に平坦部82aを有する。
The plurality of
第1の腕部76は、第1の接触子10と同様に、複数の第1側接触子81を保持している。第1の腕部76は、導電性を有している。第1の腕部76は、コネクタ本体71と同じ材料で構成されていてもよいし、異なる材料で構成されていてもよい。複数の第1側接触子81はそれぞれ、第1の腕部76に機械的及び電気的に接続されている。具体的には、第1の腕部76の内面76aは複数の溝(図示せず)を有している。第1側接触子81の舌部83を第1の腕部76の内面76aの溝に挿入する。舌部83の弾性や導電性接着剤などを利用して、第1側接触子81の舌部83を第1の腕部76の内面76aの溝に固定してもよい。複数の第3の接触子80のうち第1側接触子81は、第1の腕部76を介して、コネクタ本体71と機械的及び電気的に接続される。
Similar to the
複数の第2側接触子84は、第1の腕部76と対向する第2の腕部77の内面77aに取り付けられている。複数の第2側接触子84は、コネクタ本体71と係止片79との間に配置されている。複数の第2側接触子84のそれぞれは、第1の接触子10と同様の構成を有している。すなわち、第2側接触子84は、第2の板ばね85と、舌部86とを含んでいる。第2の板ばね85は、弾性を変形可能な板状部材である。第2の板ばね85は、導電性を有している。第2の板ばね85の材料として、銅−亜鉛(Cu−Zn)合金などを用いてもよい。第2の板ばね85は、第2の板ばね85の先端に平坦部85aを有する。本明細書において、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の先端は、電源端子と接触する、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の接触端を意味する。
The plurality of second-
第2の腕部77は、第1の接触子10と同様に、複数の第2側接触子84を保持している。第2の腕部77は、導電性を有している。第2の腕部77は、コネクタ本体71と同じ材料で構成されていてもよいし、異なる材料で構成されていてもよい。複数の第2側接触子84はそれぞれ、第2の腕部77に機械的及び電気的に接続されている。具体的には、第2の腕部77の内面77aは複数の溝(図示せず)を有している。第2側接触子84の舌部86を第2の腕部77の内面77aの溝に挿入する。舌部86の弾性や導電性接着剤などを利用して、第2側接触子84の舌部86を第2の腕部77の内面77aの溝に固定してもよい。複数の第3の接触子80のうち第2側接触子84は、第2の腕部77を介して、コネクタ本体71と機械的及び電気的に接続される。
Similarly to the
本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、複数の第3の接触子80はそれぞれ導電性を有する第2の板ばね82、85を含む。第2の板ばね82、85は、面積が最も大きな表面である主面を有する。第2の板ばね82、85の主面は、第2の板ばね82、85の幅と第2の板ばね82、85の高さとによって規定される。複数の第2の板ばね82、85は、複数の第2の板ばね82、85のそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。複数の第2の板ばね82、85は、複数の第2の板ばね82、85の配置方向に沿って配置される。複数の第3の接触子80のうち第1側接触子81(複数の第2の板ばね82)どうしの間隔は、第2の板ばね82の最大幅よりも小さくてもよい。複数の第3の接触子80のうち第2側接触子84(複数の第2の板ばね85)どうしの間隔は、第2の板ばね85の最大幅よりも小さくてもよい。複数の第3の接触子(複数の第2の板ばね82、85)の間隔は、第2の板ばね82、85の最大幅よりも小さくてもよい。
In the integrated
第2の板ばね82、85の厚さ方向のサイズは、一般的に、第2の板ばね82、85の幅方向のサイズよりも小さい。複数の第2の板ばね82、85は、複数の第2の板ばね82、85のそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の配置方向に沿って、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)を密に配置することができる。複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の配置方向において、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)どうしの間隔を小さくすることができる。そのため、1つの電源端子91に対して接触する第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の数を増加させることができる。
The size of the
複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の配置方向に対して、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)のそれぞれの幅方向がなす角度は、45度以上135度以下であってもよい。本実施の形態では、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の配置方向に対して、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)のそれぞれの幅方向がなす角度は、90度である。
The width direction of each of the plurality of third contacts 80 (
コネクタ本体71の貫通穴74、75がそれぞれブロック20の貫通穴24、25と整列するように、複数の第1の接触子10が突出する側とは反対側のブロック20の表面に電気コネクタ70が取り付けられて、一体型複数接触子1bが構成される。電気コネクタ70は、ブロック20と機械的及び電気的に接続される。具体的には、電気コネクタ70のコネクタ本体71は、ブロック20と機械的及び電気的に接続される。そのため、複数の第3の接触子80は、第1の腕部76、第2の腕部77、コネクタ本体71、ブロック20を介して、複数の第1の接触子10と電気的に接続される。
The
図11を参照して、検査用の電流または電圧を被検査体に印加して被検査体の電気的特性を検査するために、実施の形態3の一体型複数接触子1bの電気コネクタ70は、図示しない電源と電気的に接続された電源プラグ90の電源端子91と機械的及び電気的に接続される。具体的には、弾性を有する第1の腕部76の端部に設けられた係止片78と、弾性を有する第2の腕部77の端部に設けられた係止片79とが電源端子91を係止して、電源端子91は電気コネクタ70に機械的に接続される。複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)が撓むように、1つの電源端子91に複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)を押し付ける。このようにして、一体型複数接触子1bの複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)を1つの電源端子91に接触させて、1つの電源端子91は一体型複数接触子1bの複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)に電気的に接続される。
Referring to FIG. 11, in order to apply an inspection current or voltage to an object to be inspected to inspect the electrical characteristics of the object to be inspected, the
本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、複数の第1の接触子10と電気コネクタ70とが一体化されている。そのため、被検査体の電気特性検査に必要な電源、負荷線等の接触子への取り外しを容易に行うことができる。
In the integrated
本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、第3の接触子80、第1の腕部76、第2の腕部77、コネクタ本体71、及びブロック20は、すべて導電性を有している。本実施の形態の一体型複数接触子1bを用いることによって、電源端子91と複数の第1の接触子10とを、第3の接触子80、第1の腕部76、第2の腕部77、コネクタ本体71、ブロック20を介して電気的に接続することができる。本実施の形態では、電源端子91と複数の第1の接触子10とを電気的に接続するために、配線を用いていない。
In the integrated
電源端子91と複数の第1の接触子10とを電気的に接続するために配線を用いる場合に比べて、本実施の形態の一体型複数接触子1bを用いると、電源端子91と複数の第1の接触子10と間のインダクタンスを減少させることができる。本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、電源端子91と複数の第1の接触子10と間のインダクタンスが小さいので、被検査体の端子に印加される電流または電圧の波形のなまりを小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子1bを用いることによって、被検査体の電気特性の検査の精度を向上させることができる。本実施の形態では、電源端子91と複数の第1の接触子10と間のインダクタンスが小さいので、被検査体の端子に印加されるサージ電圧を小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子1bを用いることによって、被検査体を検査するときに被検査体が破壊されることを防ぐことができる。
Compared with the case where wiring is used to electrically connect the
本実施の形態では、電源端子91と複数の第1の接触子10とを電気的に接続するために、配線を用いていない。そのため、電源端子91と複数の第1の接触子10との間に、配線の取り回すためのスペースを省略することができ、部品の配置の制約を低減させることができる。本実施の形態の一体型複数接触子1bを備えた検査治具や検査装置を小型化することができる。
In the present embodiment, no wiring is used to electrically connect the
本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、第3の接触子80のうち1つの電源端子91と接触する部分が、弾性変形可能な第3の接触子80(第2の板ばね82、85)で構成されている。本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の配置方向に沿って、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)を密に配置することができる。複数の第2の板ばね82、85の配置方向において、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)どうしの間隔を小さくすることができる。そのため、1つの電源端子91に対して接触する第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の数を増加させることができる。
In the integrated
また、本実施の形態の一体型複数接触子1bの第3の接触子80(第2の板ばね82、85)は、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の先端に平坦部82a、85aを有している。そのため、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)のそれぞれは、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)の配列方向と交差する方向に、1つの電源端子91と線接触または面接触することができる。1つの電源端子91と接触する接触子としてバンプ端子やピンを用いる場合に比べて、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)が1つの電源端子91と線接触または面接触する本実施の形態では、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)と1つの電源端子91との接触領域を拡げることができる。
Further, the third contactor 80 (
その結果、本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、第3の接触子80(第2の板ばね82、85)と電源端子91との確実な電気的接触を得ることができる。本実施の形態の一体型複数接触子1b(第3の接触子80)と電源端子91との間の接触抵抗を小さくすることができる。被検査体の電気的特性を検査するために、例えば300アンペアから600アンペアの大電流を電源端子91から一体型複数接触子1bの複数の第3の接触子80に印加しても、第3の接触子80と電源端子91との間に放電が生じることを抑制することができる。さらに、この放電によって第3の接触子80と電源端子91とが溶着してしまうことを抑制することができる。なお、この放電は、接触子が電源端子に接触せず、接触子と電源端子との間にギャップが空いている場合に、電源端子から大電流を流すと、接触子と電源端子との間に発生する。また、一体型複数接触子1bはこのような放電及び溶着を抑制することができるので、一体型複数接触子1bに流すことができる電流量を大きくすることができる。そのため、一体型複数接触子1bによって検査できる物の範囲を拡大することができる。
As a result, in the integrated
本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、第2の板ばね82、85を有する複数の第3の接触子80が第1の腕部76と第2の腕部77とに保持されている。また、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)のそれぞれは、第1の腕部76、第2の腕部77、および、コネクタ本体71と電気的に接続されている。被検査体の検査のために、電源端子91から、例えば300アンペアから600アンペアの大電流を電気コネクタ70に印加しても、大電流は第1の腕部76及び第2の腕部77に保持される複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)に分散される。複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)のそれぞれに流れる電流の大きさを小さくすることができる。そのため、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)のそれぞれと電源端子91との間に放電が生じることを抑制することができる。さらに、この放電によって複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)のそれぞれと電源端子91とが溶着してしまうことを抑制することができる。
In the integrated
一体型複数接触子1bはこのような放電及び溶着を抑制することができるので、被検査体の端子に印加される電流または電圧の波形のなまりを小さくすることができる。そのため、本実施の形態の一体型複数接触子1bを用いることによって、被検査体の電気特性の検査の精度を向上させることができる。一体型複数接触子1bはこのような放電及び溶着を抑制することができるので、一体型複数接触子1bに流すことができる電流量を大きくすることができる。そのため、一体型複数接触子1bによって検査できる物の範囲を拡大することができる。
Since the integrated
本実施の形態の一体型複数接触子1bでは、第3の接触子80のうち1つの電源端子91と接触する部分が、弾性変形可能な第2の板ばね82、85で構成されている。そのため、湾曲した表面を有する1つの電源端子に、複数の第3の接触子80(第2の板ばね82、85)を確実に接触させることができる。1つの電源端子が湾曲した表面を有していても、一体型複数接触子1bと1つの電源端子との間の接触抵抗を小さくすることができる。
In the integrated
図8(A)と図8(B)に示されるように、本実施の形態の貫通穴24、74及び/又は25、75に、絶縁体65を介して、第2の接触子60を取り付けてもよい。第3の接触子80は、複数の第1側接触子81及び複数の第2側接触子84の少なくとも1つを有していてもよい。電源端子91に接触する接触子として、第3の接触子80に代えて、任意の接触子を用いてもよい。
As shown in FIG. 8 (A) and FIG. 8 (B), the
図5(A)と図5(B)に示される検査治具40において、実施の形態1の一体型複数接触子1に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子1bを採用してもよい。図6に示される検査装置50において、実施の形態1の一体型複数接触子1に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子1bを採用してもよい。図7に示される検査方法において、実施の形態1の一体型複数接触子1に代えて、本実施の形態の一体型複数接触子1bを採用してもよい。
In the
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。 The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
1,1a,1b 一体型複数接触子、10 第1の接触子、11 第1の板ばね、11a,82a,85a 平坦部、14,83,86 舌部、15 腕部、18,19 折り曲げ部、20 ブロック、21,22 突出部、23 溝、24,25,74,75 貫通穴、30 被検査体、31,31a 端子、40 検査治具、41 取り付け部材、50 検査装置、52 支持部材、54 駆動部、60 第2の接触子、65 絶縁体、70 電気コネクタ、71 コネクタ本体、76 第1の腕部、76a 内面、77 第2の腕部、77a 内面、78,79 係止片、80 第3の接触子、81 第1側接触子、82,85 第2の板ばね、84 第2側接触子、90 電源プラグ、91 電源端子。 1, 1a, 1b Integrated multiple contacts, 10 First contact, 11 First leaf spring, 11a, 82a, 85a Flat part, 14, 83, 86 Tongue part, 15 Arm part, 18, 19 Bent part , 20 blocks, 21 and 22 protrusions, 23 grooves, 24, 25, 74, and 75 through holes, 30 objects to be inspected, 31 and 31a terminals, 40 inspection jigs, 41 attachment members, 50 inspection devices, and 52 support members, 54 drive unit, 60 second contact, 65 insulator, 70 electrical connector, 71 connector body, 76 first arm, 76a inner surface, 77 second arm, 77a inner surface, 78, 79 locking piece, 80 third contact, 81 first side contact, 82, 85 second leaf spring, 84 second side contact, 90 power plug, 91 power terminal.
Claims (11)
導電性を有するブロックとを備え、
前記複数の第1の接触子は複数の第1の板ばねで構成されており、前記複数の第1の板ばねは、それぞれ、導電性を有しかつ先端に平坦部を有し、
前記ブロックは、前記複数の第1の接触子を保持するとともに、前記複数の第1の接触子に電気的に接続され、
前記複数の第1の板ばねは、前記複数の第1の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置されており、
前記複数の第1の板ばねのそれぞれの前記主面は、前記ブロックに対して同じ側に傾いており、
前記複数の第1の板ばねのそれぞれの前記平坦部は、互いに間隔を空けて配置されている、一体型複数接触子。 A plurality of first contacts;
A block having conductivity,
Said plurality of first contact elements is composed of a plurality of first plate spring, said plurality of first leaf springs each have a conductive and has a flat portion at the tip,
It said block holds the plurality of first contacts are electrically connected before Symbol plurality of first contacts,
Before SL plurality of first leaf springs, each of the main surface of the front Symbol plurality of first leaf springs are arranged spaced from one another so as to face,
Each main surface of each of the plurality of first leaf springs is inclined to the same side with respect to the block,
The flat contacts of each of the plurality of first leaf springs are integrated multi-contacts that are spaced apart from each other .
前記複数の第3の接触子は複数の第2の板ばねで構成されており、前記複数の第2の板ばねは、それぞれ、導電性を有しかつ先端に平坦部を有し、
前記複数の第2の板ばねは、前記複数の第2の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置される、請求項5に記載の一体型複数接触子。 The electrical connector includes a plurality of third contacts,
Said plurality of third contacts is composed of a plurality of second plate springs, the plurality of second leaf springs each have a conductive and has a flat portion at the tip,
Before SL plurality of second leaf springs, each of the main surface of the front Symbol plurality of second leaf springs are arranged spaced from one another so as to face, integral multiple contactor according to claim 5 .
前記複数の接触子から前記被検査体の前記1つの端子に電流または電圧を印加することとを備え、
前記複数の接触子は複数の板ばねで構成されており、前記複数の板ばねは、それぞれ、導電性を有しかつ先端に平坦部を有し、
前記複数の接触子は、導電性を有するブロックによって保持されており、かつ、前記ブロックに電気的に接続されており、
前記複数の板ばねは、前記複数の板ばねのそれぞれの主面が対向するように互いに間隔を空けて配置されており、
前記複数の板ばねのそれぞれの前記主面は、前記ブロックに対して同じ側に傾いており、
前記複数の板ばねのそれぞれの前記平坦部は、互いに間隔を空けて配置されており、
前記複数の板ばねの前記少なくとも2つは、前記平坦部で前記被検査体の前記1つの端子に接触する、被検査体の検査方法。 Bringing at least two of the plurality of contacts into contact with one terminal of the object to be inspected;
Applying current or voltage from the plurality of contacts to the one terminal of the object to be inspected,
Wherein the plurality of contacts is comprised of a plurality of leaf springs, the plurality of leaf springs each have a conductive and has a flat portion at the tip,
The plurality of contacts are held by a conductive block, and are electrically connected to the block;
Before SL plurality of leaf springs are each major surface of the front Symbol plurality of plate springs are arranged spaced from one another so as to face,
The principal surfaces of the plurality of leaf springs are inclined to the same side with respect to the block,
The flat portions of each of the plurality of leaf springs are spaced apart from each other,
The inspection method for an object to be inspected , wherein the at least two of the plurality of leaf springs are in contact with the one terminal of the object to be inspected at the flat portion.
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