KR101905098B1 - 프로브 카드용 니들 어셈블리 - Google Patents

프로브 카드용 니들 어셈블리 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 일 실시 예는, 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트, 상기 니들 삽입공에 삽입되며, 상기 프로브 카드에 연결되는 다수의 탐침 니들, 상기 플레이트에 배치되며, 상기 니들 삽입공으로부터 이격된 상기 다수의 탐침 니들의 일측을 고정하는 고정부, 및 상기 고정부와 상기 플레이트의 사이에 배치되어 상기 고정부와 상기 플레이트의 접촉을 방지하는 접촉 방지층을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

프로브 카드용 니들 어셈블리{THE NEEDLE ASSEMBLY FOR THE PROBE CARD}
본 발명은 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 탐침 니들을 용이하게 보수할 수 있는 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)는 플레이트(2)와 니들(5)을 포함한다. 플레이트(2)는 니들 삽입공(3)을 가진다. 니들(5)은 니들 삽입공(3)에 삽입된다. 또한, 니들(5)의 일측은 고정부(4)에 의해 고정된다. 여기서, 고정부(4)는 플레이트(2)에 직접 접촉되어 고착된다.
한편, 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)의 하면에 품질 등의 검사가 필요한 반도체 등이 장착 및 탈착을 반복하면서 니들(5)은 고정부(4)를 중심으로 운동하게 된다. 반복적인 니들(5)의 운동으로 인해, 적어도 일부 니들(5)은 변형되거나, 파손되어 접속 불량이 발생될 수 있다. 접속 불량의 탐침 니들(5)을 교체하기 위해, 고정부(4)는 플레이트(2)로부터 분리되어야 한다. 그러나, 고정부(4)가 플레이트(2)에 고착되어 고정부(4)의 분리가 쉽지 않은 문제점이 있다. 또한, 고착된 고정부(4)를 플레이트(2)로부터 분리하는 과정에서, 플레이트(2) 또는 다른 탐침 니들(5)의 변형이나 파손이 발생되는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 접속 불량의 탐침 니들을 용이하게 교체할 수 있는 프로브 카드용 니들 어셈블리를 제공할 수 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어세블리는, 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트, 상기 니들 삽입공에 삽입되며, 상기 프로브 카드에 연결되는 다수의 탐침 니들, 상기 플레이트에 배치되며, 상기 니들 삽입공으로부터 이격된 상기 다수의 탐침 니들의 일측을 고정하는 고정부, 및 상기 고정부와 상기 플레이트의 사이에 배치되어 상기 고정부와 상기 플레이트의 접촉을 방지하는 접촉 방지층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 접촉 방지층은 소정의 폭과 길이를 가지는 필름(film)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 플레이트는, 평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈, 및 상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 필름의 양 단부에 배치되어 상기 필름을 상기 플레이트에 접착시키는 한 쌍의 접착 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 계단식 돌출부는 계단식으로 점차 높아지는 다수의 계단형 단턱과 상기 다수의 계단형 단턱 중 적어도 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리에 의하면, 접속 불량의 탐침 니들을 교체하기 위해 고정부를 플레이트로부터 용이하게 분리할 수 있다.
또한, 플레이트에 고착된 고정부를 플레이트로부터 분리하는 과정에서, 플레이트나 다른 탐침 니들에 발생하는 2차 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.
즉, 탐침 니들의 교체 시, 작업 시간이 단축되고, 플레이트나 다른 탐침 니들에 발생할 수 있는 2차 파손이 방지될 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 프로브 카드에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 플레이트에 배치된 고정부와 접촉 방지층의 일 실시 예를 도시한 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 저면도이다.
도 6은 도 3에 도시된 플레이트의 사시도이다.
도 7은 도 6에 도시된 플레이트의 평면도이다.
도 8은 도 6에 도시된 플레이트의 정면도이다.
도 9는 도 4에 도시된 고정부와 접촉 방지층을 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리의 일부를 도시한 도면이다.
도 10은 도 4에 도시된 접촉 방지층을 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 한 쌍의 접착 부재를 도시한 도면이다.
도 12는 도 4에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리를 개략적으로 도시한 측면도이다.
이하 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 프로브 카드(110)에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 도시한 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 평면도이며, 도 4는 도 3에 도시된 플레이트(100)에 배치된 고정부(300)와 접촉 방지층(400)의 일 실시 예를 도시한 도면이고, 도 5는 도 4에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 저면도이며, 도 6은 도 3에 도시된 플레이트(100)의 사시도이다.
도 2 내지 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)는 플레이트(100), 탐침 니들(200), 고정부(300) 및 접촉 방지층(400)을 포함 할 수 있다.
플레이트(100)는 프로브 카드(110) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼(미도시), COF(chip on film, 미도시), FPC(flexible printed circuit, 미도시) 등이 플레이트(100)에 배치되어, 품질 검사가 이루어질 수 있다. 플레이트(100)는 한 쌍의 홈(130), 니들 삽입공(150), 계단식 돌출부(170)를 가질 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 사각 판 형상을 가질 수 있다.
한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일측과 타측을 가로지르는 제 1 축(131)을 기준으로 마주보게 배치될 수 있다. 예컨대, 제 1 축(131)은 평면상 플레이트(100)의 중심을 지나는 좌우 중심축을 포함할 수 있다. 한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일면에 배치될 수 있다. 즉, 플레이트(100)는 그 일면에서 타면을 향하여 평면상 사각 형상으로 함몰된 한 쌍의 홈(130)을 가질 수 있다. 또한, 한 쌍의 홈(130) 각각은 제 1 축(131)으로부터 이격되고, 플레이트(100)의 가장자리에 인접하게 배치될 수 있다.
도 7은 도 6에 도시된 플레이트(100)의 평면도이고, 도 8은 도 6에 도시된 플레이트(100)의 정면도이고, 도 9는 도 4에 도시된 고정부(300)와 접촉 방지층(400)을 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 일부를 도시한 도면이다.
도 6 내지 8을 참조하면, 계단식 돌출부(170)는 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 계단식 돌출부(170)는 플레이트(100)의 타면에서 일면을 향하여 돌출될 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(170)는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 계단식 돌출부(170)는 계단식으로 점차 돌출되어 플레이트(100)의 가장자리까지 연장될 수 있다.
일 실시 예로, 계단식 돌출부(170)는 다수의 계단형 단턱(171)과 적어도 하나의 독립형 돌기(173)를 포함할 수 있다. 다수의 계단형 단턱(171)들은 제 1 축(131)으로부터 플레이트(100)의 가장자리로 갈수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 즉, 다수의 계단형 단턱(171)들의 높이는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 홈(130)의 최하면(133)으로부터 높아질 수 있다.
독립형 돌기(173)는 다수의 계단형 단턱(171) 중 적어도 어느 하나의 상면으로부터 돌출될 수 있다. 또한, 다수의 계단형 단턱(171) 중 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기(173)는 다른 하나의 계단형 단턱(171)과 이격되게 배치될 수 있다. 한 쌍의 홈(130)의 내부에서 계단식으로 돌출되는 다수의 계단형 단턱(171)들을 소정의 높이로 가공하는 것은 어려움이 따를 수 있다.
따라서, 한 쌍의 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(171)은 다른 계단형 단턱(171)에 비해 넓은 폭을 갖게 가공될 수 있다. 이 경우, 독립형 돌기(173)가 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(171) 상에 배치될 수 있다. 독립형 돌기(173)는 후술하는 탐침 니들의 경사 각도를 조절하고, 탐침 니들을 안정적으로 지지할 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 금형(미도시)을 이용하여 사출 방식으로 제조될 수 있다.
도 4, 및 도 6 내지 9를 참조하면, 플레이트(100)는 다수의 니들 삽입공(150)을 가질 수 있다. 니들 삽입공(150)은 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 특히, 니들 삽입공(150)은 홈(130)의 최하면(133)에 배치될 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)은 제 1 축(131)과 계단식 돌출부(170)의 사이에 배치될 수 있다. 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 후술하는 탐침 니들(200)의 절곡 단부(230)에 대응하여 경사질 수 있다.
탐침 니들(200)은 계단식 돌출부(170)에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치될 수 있다. 또한, 탐침 니들(200)의 단부는 니들 삽입공(150)에 삽입될 수 있다. 일 실시 예로, 탐침 니들(200)은 니들 봉(210)과 절곡 단부(230)를 가질 수 있다. 니들 봉(210)은 일정한 길이를 가질 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)의 단부에 배치될 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 둔각을 이룰 수 있다. 바람직하게, 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 91도 이상 121도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(170)에 배치된 니들 봉(210)은 플레이트(100)의 일면 또는 타면과 6도 이상 15도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 이에 의해, 절곡 단부(230)가 니들 삽입공(150)에 유동 가능하게 최적으로 삽입될 수 있다.
고정부(300)는 플레이트(100)에 배치될 수 있다. 고정부(300)는 플레이트(100)와 프로브 카드(110)의 사이에 배치될 수 있다. 고정부(300)는 플레이트(100)에 접착되어 탐침 니들(200)들을 고정할 수 있다. 일 실시 예로, 고정부(300)는 에폭시를 포함할 수 있다. 즉, 고정부(300)는 니들 삽입공(150)으로부터 이격된 탐침 니들(2000)의 일측을 고정하기 위해 플레이트(100) 상에 형성된 엑폭시를 포함할 수 있다.
도 10은 도 4에 도시된 접촉 방지층(400)을 도시한 도면이다.
도 4, 9 및 10을 참조하면, 접촉 방지층(400)은 고정부(300)와 플레이트(100)의 사이에 배치될 수 있다. 접촉 방지층(400)은 니들 삽입공(150)으로부터 이격되며, 제 1 축(131)과 평행하게 연장된 플레이트(100)의 가장자리를 따라 연장될 수 있다. 또한, 접촉 방지층(400)은 홈(130)에 배치된 계단식 돌출부(170) 상에 배치될 수 있다. 접촉 방지층(400)은 고정부(300)와 플레이트(100)의 접촉을 방지할 수 있다.
일 실시 예로, 접촉 방지층(400)은 소정의 폭(W)과 길이(L)를 가지는 필름을 포함할 수 있다. 필름은 플레이트(100)에 접착 또는 고착되지 않는 효과가 있다. 고정부(300)는 접촉 방지층(400) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 고정부(300)와 플레이트(400)의 접촉이 방지될 수 있다. 탐침 니들(200)의 일측을 고정하기 위해, 용융된 액상의 고정부(300)가 접촉 방지층(400) 상에 배치된 탐침 니들(200)에 도포될 수 있다. 도포된 고정부(300)가 경화되면서 탐침 니들(200)들을 고정할 수 있다.
한편, 고정부(300)가 플레이트(100) 상에 직접 접촉되어 경화되면, 고정부(300)는 플레이트(100)에 접착되어 고정될 수 있다. 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)에 반도체 웨이퍼(미도시), COF(chip on film, 미도시), FPC(flexible printed circuit, 미도시) 등이 품질 검사를 위해 반복적으로 배치되고, 분리된다. 이로 인해, 탐침 니들(200)은 반복적으로 인가되는 하중으로 인한 휘거나 파손될 수 있다. 즉, 탐침 니들(200)의 변형으로 인한 접속 불량이 발생될 수 있다.
접속 불량의 경우, 변형 또는 파손된 탐침 니들(200)이 교체되어야 한다. 이를 위해, 고정부(300)는 플레이트(100)로부터 분리되어야 한다. 그러나, 고정부(300)가 플레이트(100)에 직접 접촉되어 고착된 경우, 고정부(300)를 플레이트(100)로부터 분리하는 데에 어려움이 따른다. 또한, 플레이트(100)에 고착된 고정부(300)를 플레이트(100)로부터 분리하는 과정에서, 플레이트(100)나 다른 탐침 니들(200)에 2차 파손이 발생될 수 있는 문제점이 있다. 접촉 방지층(400)은 고정부(300)와 플레이트(100)의 직접 접촉을 방지하므로, 변형 또는 파손된 탐침 니들(200)의 교체를 용이하게 할 수 있다. 즉, 탐침 니들(200)의 교체 시, 작업 시간이 단축되고, 플레이트(100)나 다른 탐침 니들(200)에 발생할 수 있는 2차 파손이 방지될 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 한 쌍의 접착 부재(500)를 도시한 도면이며, 도 12는 도 4에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 11 및 12를 참조하면, 일 실시 예로, 한 쌍의 접착 부재(500)가 접촉 방지층(400)에 배치될 수 있다. 한 쌍의 접착 부재(500)는 접촉 방지층(400)의 양 단부에 배치될 수 있다. 한 쌍의 접착 부재(500)는 접촉 방지층(400)의 양 단부를 플레이트(100)에 고정할 수 있다. 한편, 도 12에서 탐침 니들(200)은 개략적으로 도시된 것이다. 탐침 니들(200)은 상하로 다수의 층으로 배치될 수 있다.
도 2, 5 및 9를 참조하면, 탐침 니들(200)의 일단은 니들 삽입공(150)에 삽입되고, 타단은 프로브 카드(110)에 연결된다. 또한, 탐침 니들(200)의 일단과 타단의 사이 중 일측은 고정부(300)에 의해 고정된다. 또한, 탐침 니들(200)은 플레이트(100)와 프로브 카드(110)의 사이에 배치된다. 따라서, 탐침 니들(200)에 의한 고정부(300)는 접촉 방지층(400)을 플레이트(100)에 밀착시킬 수 있다.
그러나, 고정부(300) 및 탐침 니들(200) 들의 배치에 따라 접촉 방지층(400)의 양 단부는 플레이트(100)에 밀착되지 않을 수 있다. 이 경우, 한 쌍의 접착 부재(500)는 접촉 방지층(400)의 양 단부를 플레이트(100)에 밀착시킬 수 있다. 물론, 탐침 니들(200)과 관계없이 한 쌍의 접착 부재(500)는 접촉 방지층(400)의 양 단부를 플레이트(100)에 고정하므로, 접촉 방지층(400)의 전 길이가 플레이트(100)에 밀착될 수 있다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
10 : 프로브 카드용 니들 어셈블리
100 : 플레이트
110 : 프로브 카드
130 : 한 쌍의 홈
131 : 제 1 축
133 : 한 쌍의 홈의 최하면
150 : 니들 삽입공
170 : 계단식 돌출부
171 : 계단식 단턱
173 : 독립형 돌기
200 : 탐침 니들
210 : 니들 봉
230 : 절곡 단부
300 : 고정부
400 : 접촉 방지층
500 : 한 쌍의 접착 부재

Claims (6)

  1. 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트;
    상기 니들 삽입공에 삽입되며, 상기 프로브 카드에 연결되는 다수의 탐침 니들;
    상기 플레이트에 배치되며, 상기 니들 삽입공으로부터 이격된 상기 다수의 탐침 니들의 일측을 고정하는 고정부; 및
    상기 고정부와 상기 플레이트의 사이에 배치되어 상기 고정부와 상기 플레이트의 접촉을 방지하는 접촉 방지층; 을 포함하며,
    상기 플레이트는,
    평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈; 및
    상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 접촉 방지층은 소정의 폭과 길이를 가지는 필름(film)을 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 필름의 양 단부에 배치되어 상기 필름을 상기 플레이트에 접착시키는 한 쌍의 접착 부재를 더 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 계단식 돌출부는 계단식으로 점차 높아지는 다수의 계단형 단턱과 상기 다수의 계단형 단턱 중 적어도 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기를 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
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