KR101848521B1 - 진공 펌프 제어 장치 및 진공 펌프 - Google Patents

Abstract

진공 펌프에 접속되는 진공 펌프 제어 장치(컨트롤러)에 설치되는 회생 저항의 방열성을 간단한 구성으로 향상시키는 것을 목적으로 한다.
진공 펌프 제어 장치에 설치되는 회생 저항을, 알루미늄 다이캐스트 케이싱 내에 수용한다. 더욱 상세하게는, 진공 펌프 제어 장치의 하우징을, 알루미늄의 다이캐스팅(금형 주조)으로 제작하고, 당해 알루미늄 다이캐스트의 천판에, 회생 저항 전체가 들어가는 치수로 설계된 공동부가 설치된 회생 저항 수용부(알루미늄 다이캐스트 케이싱)를 설치한다. 회생 저항을 당해 공동부에 끼워 넣고, 공동부의 개구 부분을, 볼트와, 케이싱과 동일한 소재인 알루미늄판에 의해 봉지함으로써, 회생 저항은 알루미늄 다이캐스트 케이싱에 취출 가능하게 수용된다.

Description

진공 펌프 제어 장치 및 진공 펌프{VACUUM PUMP CONTROL DEVICE AND VACUUM PUMP}

본 발명은, 진공 펌프 제어 장치 및 진공 펌프에 관한 것으로, 예를 들면, 진공 펌프 제어 장치의 하우징이 과열되는 것을 막기 위해서, 진공 펌프 제어 장치의 회생 저항을 효율적으로 냉각할 수 있는 진공 펌프 제어 장치, 및 당해 진공 펌프 제어 장치를 구비한 진공 펌프에 관한 것이다.

흡기구 및 배기구를 가지는 케이싱의 내부에서 로터를 고속 회전시켜 배기 처리를 행하는 터보 분자 펌프 등의 진공 펌프에는, 로터를 회전시키기 위한 모터를 제어하는 진공 펌프 제어 장치(컨트롤러)가 전기적으로 접속되어 있다.

이러한 모터를 사용한 회전 기계에서는, 감속시 등에서 모터가 회전함으로써 반대로 전기 에너지(회생 에너지)가 발생한다. 회생 에너지는, 모터를 제어하는 모터 드라이버 회로 내에서 직류 전압 상승을 일으켜, 회로 내 소자의 고장으로 연결될 우려가 있다. 따라서, 회로 소자의 고장이 일어나지 않도록, 회생 에너지는 처리될 필요가 있다. 회생 에너지를 처리하는 방법의 하나로서 회생 저항이 있다. 회생 저항은, 회생 에너지를 열에너지로 변환하여 소비한다. 그 때문에, 회생 저항 자체의 발열은 피할 수 없다.

또, 회생 저항은, 냉각할 목적으로, 진공 펌프 제어 장치를 구성하는 소자를 내포하는 하우징의 측면(벽면) 등에 접촉시키도록 부착되어 있다. 그 때문에, 진공 펌프 제어 장치의 하우징에 있어서의 회생 저항이 부착된 부분으로부터, 회생 저항의 발열에 의해 진공 펌프 제어 장치의 하우징도 발열하여, 진공 펌프 제어 장치가 사람이 만질 수 없을 정도의 온도에까지 상승되어 버린다.

회생 저항의 허용치는 대체로 300℃ 정도이지만, 안전성·신뢰성의 면에서, 이 허용치에 대해, 가능한 한 큰 폭으로 밑도는 온도 상태를 유지할 수 있도록 회생 저항을 계속 냉각할 필요가 있다.

또, 진공 펌프 제어 장치로부터 발생하는 열(즉, 회생 저항에 의한 열 등)이, 진공 펌프 제어 장치와 진공 펌프가 접속된 접속부를 통과하여 진공 펌프로 전해져, 진공 펌프가 가열되어 고온 상태가 되어, 진공 펌프에 접속된 진공 장치측에 지장을 초래해 버리는 경우가 있다.

여기서, 진공 장치에 대해서 설명한다.

진공 펌프를 이용하여 배기 처리를 행함으로써 내부가 진공으로 유지되는 진공 장치에는, 반도체 제조 장치, 전자 현미경 장치, 표면 분석 장치, 미세 가공 장치 등이 있다. 이러한 진공 장치는, 상기 서술한 바와 같이 하여 진공 펌프의 방사열의 영향을 받게 되면, 측정 정밀도나 가공 정밀도의 오차가 커져, 그 공정에 다대한 불편이 생겨 버리는 경우가 있다.

이러한 이유로부터, 진공 장치에 있어서, 더욱 정밀한 가공이나 보다 정밀도가 높은 측정을 실현하기 위해서도, 진공 펌프 제어 장치에 설치된 회생 저항을 계속 냉각할 필요가 있다.

도 8은, 종래의 진공 펌프 제어 장치(2000)의 개략 구성예를 나타낸 단면도이다.

종래는, 예를 들면, 도시하지 않은 히트 싱크(방열기, 방열판)를 별도 준비하여, 발열하는 기계·전자 부품(부근이나 벽면)에 설치하거나 하여 열의 방산에 의해 온도를 낮추거나, 또, 도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 공냉 팬(냉각 팬)(50) 등을 부착시켜 강제적으로 공기의 이동량을 늘려 냉각 능력을 확대시키거나 하고 있었다.

더욱 상세하게는, 통상, 회생 저항(200)은, 도 8(b)에 나타낸 바와 같이, 모터의 제어에 관련된 다른 소자(CPU, 트랜지스터 등)와 함께, 모터의 제어 기판(즉, 진공 펌프의 모터를 제어하기 위한 회로가 탑재된 기판)(300) 상에 탑재되어 있지만, 동일한 제어 기판(300) 상에 회생 저항(200)과 다른 소자가 탑재되어 있으면, 회생 저항(200)의 발열에 의해 회생 저항(200) 뿐만 아니라 다른 소자도 온도가 상승되어 버린다.

이 온도 상승을 막기(냉각시킨다) 위해, 회생 저항(200)이 탑재된 제어 기판(300)에 냉각 매체를 대거나 하여 제어 기판(300)을 직접 냉각시키면, 냉각 개소에 결로가 발생하거나 하여 다른 소자에 중대한 피해를 미쳐 버린다.

여기서, 결로란, 냉각 부분(냉각면)이 노점(즉, 상대 온도가 100%가 되는 온도) 이하가 되면, 그 냉각면 상(즉, 고체상태에 있어서의 물질의 표면, 또는 내부)에, 공기 중의 수증기가 응축하여 물방울로서 출현하는 현상이며, 이러한 결로가 제어 기판(300) 내에 발생하면, 제어 회로에 문제를 일으킬 우려가 있다.

그래서, 종래, 진공 펌프의 제어 장치에서는, 도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 회생 저항(200)만을 제어 기판(300)으로부터 떼고, 진공 펌프 제어 장치(2000)의 하우징 벽면에 직접 밀착시켜 부착하여 그 벽면 부분을 냉각 팬(50)으로 냉각함으로써, 회생 저항(200)만을 냉각하는 방법이 취해지고 있다.

또, 하우징의 벽면에 밀착시켜 전기 소자나 저항을 냉각하는 일례로서, 하기 특허 문헌 1에서는, 발열하는 소자를 냉각하는 기술이 제안되어 있다.

구체적으로는, 전기 소자가 전극을 통하여 전기 소자 수용 용기의 측면부와 접합된 구성으로 함으로써, 전기 소자에서 발생한 열을 전극 및 전기 소자 수용 용기의 측면부를 통해서 효율적으로 방열하는 기술에 대해서 기재되어 있다.

일본국 공개특허 2006-73658 공보

그러나 진공 펌프는, 모터의 파워에 비해 진공 펌프의 사이즈가 작은 경우나, 진공 장치의 공정에 관련하여 주위 환경을 깨끗하게 유지해야 하는 경우가 많은 등, 히트 싱크를 별도 설치하는 것이 곤란하거나, 소음성·신뢰성 등에 있어서 팬을 설치할 수 없는 경우가 많다.

또한, 히트 싱크나 팬과 같은 장치를 별도 설치하는 경우에는, 전용의 냉각용의 배관이나 냉각 시스템 등이 필요하여 비용의 증대로도 연결될 뿐만 아니라, 이들 부재를 배치할 스페이스를 확보해야 한다.

한편, 회생 저항만을 제어 기판으로부터 떼고, 진공 펌프 제어 장치의 하우징 벽면에 직접 밀착시켜 부착하여 그 벽면 부분을 냉각하는 경우에는, 밀착시킨 부분의 하우징 벽면으로부터 하우징 전체면에 그 온도가 전파되어, 하우징 자체가 사람이 만질 수 없을 정도의 고온이 되어, 위험성이 높아진다.

그래서, 본 발명은, 회생 저항의 방열성을 간단한 구성으로 향상시킬 수 있는 진공 펌프 제어 장치와, 당해 진공 펌프 제어 장치를 구비한 진공 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명에서는, 진공 펌프 본체를 제어하는 진공 펌프 제어 장치로서, 상기 진공 펌프 본체를 제어하는 제어 회로가 배치되는 하우징과, 상기 하우징 내에 있어서의, 회생 에너지를 소비하는 회생 저항이 삽입되는 공동부와, 상기 회생 저항을 고정하는 회생 저항 고정구를 가지는 회생 저항 수용부와, 상기 회생 저항 수용부를 냉각하는 냉각 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 펌프 제어 장치를 제공한다.

청구항 2에 기재된 발명에서는, 상기 회생 저항 수용부는, 주조법으로 제조된 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 제공한다.

청구항 3에 기재된 발명에서는, 상기 회생 저항 수용부는, 상기 하우징의 상기 제어 회로가 배치되는 면과 상기 회생 저항 수용부를 가지는 면 사이에 끼워지는 측면으로부터 떨어진 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 제공한다.

청구항 4에 기재된 발명에서는, 상기 회생 저항은, 외주면이 상기 공동부의 내주에 끼워 맞춰지는 회생 저항 수용구에 수용되어 상기 공동부에 삽입되는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 청구항 3 중 적어도 어느 한 항에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 제공한다.

청구항 5에 기재된 발명에서는, 상기 공동부의 내주와 삽입되는 상기 회생 저항 수용구의 사이에는, 상기 회생 저항이 발열에 의해 팽창되는 만큼의 클리어런스를 미리 설치하고 있는 것을 특징으로 하는 청구항 4에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 제공한다.

청구항 6에 기재된 발명에서는, 상기 진공 펌프 본체는, 흡기구로부터 배기구까지 기체를 이송하는 기체 이송 기구를 내포하고, 청구항 1 내지 청구항 5 중 적어도 어느 한 항에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프를 제공한다.

본 발명에 의하면, 회생 저항의 방열성을 간단한 구성으로 향상시킬 수 있는 진공 펌프 제어 장치, 및, 당해 진공 펌프 제어 장치를 구비한 진공 펌프를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관련된 회생 저항의 방열성 향상 케이싱을 구비한 진공 펌프 제어 장치와 일체화된 터보 분자 펌프 본체의 개략 구성예를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 관련된 터보 분자 펌프 본체의 개략 구성예를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 관련된 터보 분자 펌프 본체의 축선 방향의 단면도를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 관련된 진공 펌프 제어 장치의 개략 구성예를 나타낸 도면이다.
도 5의 (a)는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 제어 유닛 케이싱 및 회생 저항 케이싱의 개략 구성예를 나타낸 확대도이며, (b)는 (a)에 있어서의 A화살표 방향에서 본 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 관련된 회생 저항을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태의 변형예에 관련된 회생 저항 케이싱 내에 회생 저항을 삽입할 때에 사용하는, 회생 저항을 넣기 위한 금속 케이스의 일례를 나타낸 도면이다.
도 8은 종래의 진공 펌프 제어 장치의 개략 구성예를 나타낸 도면이다.
도 9는 진공 펌프 본체와 진공 펌프 제어 장치의 접속예를 나타낸 도면이다.

(i) 실시 형태의 개요

본 발명의 실시 형태에서는, 진공 펌프의 로터를 회전시키는 모터를 제어하는 진공 펌프 제어 장치(컨트롤러)에 구비되는 회생 저항을, 알루미늄 다이캐스트 케이싱 내에 수용한다.

더욱 상세하게는, 진공 펌프 제어 장치의 하우징을, 알루미늄의 다이캐스팅(금형 주조)으로 제조(즉, 하우징은 알루미늄 다이캐스트)하고, 당해 알루미늄 다이캐스트의 일부(본 실시 형태에서는 천판, 즉, 진공 펌프 제어 장치의 상측 뚜껑)에, 회생 저항 전체가 들어가는 치수로 설계된 공동부가 설치된 회생 저항 수용부를 설치한다. 이후, 진공 펌프 제어 장치의 하우징인 알루미늄 다이캐스트의 천판 부분에 있어서의, 당해 공동부를 가지는 일대의 회생 저항 수용부를, 알루미늄 다이캐스트로 제조된, 회생 저항을 위한 케이싱이라고 부른다.

그리고 회생 저항을 당해 공동부에 끼워 넣고, 공동부의 개구 부분을, 볼트 및, 케이싱과 동일 소재의 알루미늄판(회생 저항 고정 금구)으로 봉지함으로써, 회생 저항은 공동부에 취출 가능하게 수용된다.

(ii) 실시 형태의 상세

이하, 본 발명의 적합한 실시의 형태에 대해서, 도 1~도 7을 참조하여 상세하게 설명한다.

본 실시 형태에서는, 진공 펌프의 일례로서 터보 분자 펌프를 이용하여 설명한다.

본 발명에 관련된 실시 형태에서는, 터보 분자 펌프 본체(1)를 제어하기 위한 진공 펌프 제어 장치(20)가, 펌프 고정 다리(18)를 통하여 터보 분자 펌프 본체(1)에 장착되어 있다. 즉, 터보 분자 펌프 본체(1)와 진공 펌프 제어 장치(20)가 일체화되어 있다.

(진공 펌프 본체)

우선, 본 발명의 실시 형태에 관련된 터보 분자 펌프 본체(1)에 대해서 설명한다.

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 관련된 회생 저항을 위한 케이싱(이후, 회생 저항 케이싱이라고 부른다)을 구비한 진공 펌프 제어 장치와 일체화된 터보 분자 펌프 본체(1)의 개략 구성예를 나타낸 도면이다.

또, 도 1에는, 진공 펌프 제어 장치(20)에 접속된 냉각 플레이트(수냉 플레이트)(40), 터보 분자 펌프 본체(1)에 접속된 진공실(30)의 일부도 나타내고 있다.

수냉 플레이트(40)에 대해서는 후술한다.

여기서, 터보 분자 펌프 본체(1)에 접속된 진공실(30)에 대해서 설명한다.

진공실(30)은, 예를 들면, 표면 분석 장치나 미세 가공 장치의 챔버 등으로서 이용되는 진공 장치를 형성하고 있다.

진공실(30)은, 진공실벽(31)에 의해 구성되며, 터보 분자 펌프 본체(1)와의 접속 포트를 가지는 진공 용기이다.

이하에, 터보 분자 펌프 본체(1)의 구성에 대해서 설명한다.

도 2는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 터보 분자 펌프 본체(1)의 개략 구성예를 나타낸 도면이다.

도 3은, 터보 분자 펌프 본체(1)의 축선 방향의 단면도를 나타낸 도면이다.

터보 분자 펌프 본체(1)는, 진공실(30)의 배기 처리를 행하기 위한 진공 펌프 본체이다.

이 터보 분자 펌프 본체(1)는, 터보 분자 펌프부와 나사홈식 펌프부를 구비한, 이른바 복합 날개(翼) 타입의 분자 펌프이다.

터보 분자 펌프 본체(1)의 외장체를 형성하는 케이싱(2)은, 대략 원통형의 형상을 하고 있어, 케이싱(2)의 하부(배기구(6)측)에 설치된 베이스(3)와 함께 터보 분자 펌프 본체(1)의 하우징을 구성하고 있다. 그리고 이 터보 분자 펌프 본체(1)의 하우징의 내부에는, 터보 분자 펌프 본체(1)에 배기 기능을 발휘시키는 구조물인 기체 이송 기구가 수납되어 있다.

이 기체 이송 기구는, 크게 나누어, 회전 가능하게 축지지 된 회전부와, 터보 분자 펌프 본체(1)의 하우징에 대해 고정된 고정부로 구성되어 있다.

케이싱(2)의 단부에는, 당해 터보 분자 펌프 본체(1)로 기체를 도입하기 위한 흡기구(4)가 형성되어 있다. 또, 케이싱(2)의 흡기구(4)측의 단면에는, 외주측으로 돌출한 플랜지부(5)가 형성되어 있다. 터보 분자 펌프 본체(1)와 진공실벽(31)은, 플랜지부(5)를 통하여 볼트 등의 체결 부재를 이용하여 고정함으로써 결합되어 있다.

또, 베이스(3)에는, 당해 터보 분자 펌프 본체(1)로부터 기체를 배기하기 위한 배기구(6)가 형성되어 있다.

또, 진공 펌프 제어 장치(20)가 터보 분자 펌프 본체(1)로부터 받는 열의 영향을 저감시키기 위해서, 베이스(3)에, 튜브(관) 형상의 부재로 이루어지는 냉각(수냉)관(70)이 매설되어 있다.

냉각관(70)은, 내부에 열매체인 냉각제를 흐르게 하여, 이 냉각제에 열을 흡수시키도록 함으로써, 당해 냉각관(70) 주변을 냉각하기 위한 부재이다.

이와 같이, 냉각관(70)에 냉각제를 흐르게 함으로써 베이스(3)가 강제적으로 냉각됨으로써, 터보 분자 펌프 본체(1)로부터 진공 펌프 제어 장치(20)로 전도되는 열을 저감(억제)할 수 있다.

이 냉각관(70)은, 열저항이 낮은 부재 즉 열전도율이 높은 부재, 예를 들면, 구리나, 스테인리스 강 등에 의해 구성되어 있다.

또, 냉각관(70)에 흐르게 하는 냉각재, 즉 물체를 냉각하기 위한 재료는, 액체여도 기체여도 된다. 액체의 냉각재로서는, 예를 들면, 물, 염화 칼슘 수용액이나 에틸렌글리콜 수용액 등을 이용할 수 있으며, 한편, 기체의 냉각재로서는, 예를 들면, 암모니아, 메탄, 에탄, 할로겐, 헬륨이나 탄산 가스, 공기 등을 이용할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 냉각관(70)이 베이스(3)에 설치되어 있지만, 냉각관(70)의 설치 위치는 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 터보 분자 펌프 본체(1)의 스테이터 칼럼(10)의 내부에 직접 끼워 넣도록 설치해도 된다.

회전부는, 회전축인 샤프트(7), 이 샤프트(7)에 설치된 로터(8), 로터(8)에 설치된 회전 날개(9), 배기구(6)측(나사홈식 펌프부)에 설치된 스테이터 칼럼(10) 등으로 구성되어 있다. 또한, 샤프트(7) 및 로터(8)에 의해 로터부가 구성되어 있다.

회전 날개(9)는, 샤프트(7)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져 샤프트(7)로부터 방사 형상으로 신장된 블레이드로 이루어진다.

또, 스테이터 칼럼(10)은, 로터(8)의 회전축선과 동심의 원통 형상을 한 원통 부재로 이루어진다.

샤프트(7)의 축선 방향 중간쯤에는, 샤프트(7)를 고속 회전시키기 위한 모터부(11)가 설치되어 있다.

또한, 샤프트(7)의 모터부(11)에 대해 흡기구(4)측, 및 배기구(6)측에는, 샤프트(7)를 래디얼 방향(직경 방향)과 비접촉으로 축지지하기 위한 직경 방향 자기 베어링 장치(12, 13)가, 또, 샤프트(7)의 하단에는, 샤프트(7)를 축선 방향(축 방향)으로 비접촉으로 축지지하기 위한 축방향 자기 베어링 장치(14)가 각각 설치되어 있다.

터보 분자 펌프 본체(1)의 하우징의 내주측에는, 고정부가 형성되어 있다. 이 고정부는, 흡기구(4)측(터보 분자 펌프부)에 설치된 고정 날개(15)와, 케이싱(2)의 내주면에 설치된 나사홈 스페이서(16) 등으로 구성되어 있다.

고정 날개(15)는, 터보 분자 펌프 본체(1)의 하우징의 내주면으로부터 샤프트(7)를 향해, 샤프트(7)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져 신장되어 있는 블레이드로 구성되어 있다.

각 단의 고정 날개(15)는, 원통 형상을 한 스페이서(17)에 의해 서로 떨어져 있다.

터보 분자 펌프 본체(1)에서는, 고정 날개(15)가 축선 방향으로, 회전 날개(9)와 엇갈리게 복수단 형성되어 있다.

나사홈 스페이서(16)에는, 스테이터 칼럼(10)과의 대향면에 나선 홈이 형성되어 있다. 나사홈 스페이서(16)는, 소정의 클리어런스(간극)를 두고 스테이터 칼럼(10)의 외주면에 대면하도록 되어 있다. 나사홈 스페이서(16)에 형성된 나선 홈의 방향은, 나선 홈 내를 로터(8)의 회전 방향으로 가스가 수송된 경우에, 배기구(6)를 향하는 방향이다.

또, 나선 홈의 깊이는, 배기구(6)에 가까워짐에 따라 얕아지도록 있어, 따라서, 나선 홈에 수송되는 가스는 배기구(6)에 가까워짐에 따라 압축되도록 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 터보 분자 펌프 본체(1)에 의해, 진공실(30) 내의 진공 배기 처리를 행하도록 되어 있다.

(진공 펌프 제어 장치)

다음에, 상기 서술한 구성을 가지는 터보 분자 펌프 본체(1)에 장착되는 진공 펌프 제어 장치(20)의 구조에 대해서 설명한다.

도 4(a)는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 진공 펌프 제어 장치(20)의 개략 구성예를 나타낸 도면이다.

본 실시 형태에 관련된 진공 펌프 제어 장치(20)는, 터보 분자 펌프 본체(1)에 있어서의 각종 동작을 제어하는 제어 회로를 구비한 컨트롤 유닛을 구성하고 있으며, 도 1에 나타낸 바와 같이, 터보 분자 펌프 본체(1)의 베이스(3)의 저부에 설치(장착)되어 있다.

본 실시 형태의 진공 펌프 제어 장치(20)에는, 터보 분자 펌프 본체(1)에 설치되어 있는 커넥터(도시하지 않는다)와 쌍을 이루는 커넥터(도시하지 않는다)가 설치되어 있으며, 진공 펌프 제어 장치(20)에 설치되어 있는 제어 회로는, 터보 분자 펌프 본체(1)의 커넥터와, 진공 펌프 제어 장치의 커넥터를 접합(결합)시킴으로써, 터보 분자 펌프 본체(1)의 전자 부품과 전기적으로 접속되도록 구성되어 있다. 그 때문에, 진공 펌프 제어 장치(20)는, 터보 분자 펌프 본체(1)와 진공 펌프 제어 장치(20)를 접속하는 전용 케이블을 이용하지 않고, 터보 분자 펌프 본체(1)의 모터부(11)나 직경 방향 자기 베어링 장치(12, 13), 및 축방향 자기 베어링 장치(14), 변위 센서(도시하지 않는다)의 구동 신호나 전력을 터보 분자 펌프 본체(1)에 공급하거나, 터보 분자 펌프 본체(1)로부터 각종 신호 등을 수신할 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 관련된 진공 펌프 제어 장치(20)는, 진공 펌프 제어 장치의 하우징(220), 상측 뚜껑 즉 제어 유닛 케이싱(210), 회생 저항 케이싱(211), 회생 저항(200), 및 제어 기판(300)을 구비하고 있다.

진공 펌프 제어 장치의 하우징(220) 및 제어 유닛 케이싱(210)은 알루미늄 다이캐스트이며, 제어 유닛 케이싱(210)은, 그 전체 또는 일부가 회생 저항 케이싱(211)으로서 기능한다. 이들 하우징(220), 제어 유닛 케이싱(210), 및 회생 저항 케이싱(211)은, 알루미늄 다이캐스트로 구성되어 있다.

또, 제어 유닛 케이싱(210)은, 하우징(220)에 있어서의 상부(터보 분자 펌프 본체(1)측)의 개구단을 밀폐하도록, 시일 부재(214)에 의해 하우징(220)에 접합되어 있다.

제어 기판(300)은, 제어 회로가 탑재된 기판이며, 본 실시 형태에서는, 복수의 제어 기판(300)이 하우징(220) 내부에 고정되어 있다.

여기서, 제어 기판(300)에 탑재되어 있는 제어 회로에 대해서 설명한다.

제어 회로에는, 모터부(11)나 직경 방향 자기 베어링 장치(12, 13), 및 축방향 자기 베어링 장치(14)의 구동 회로, 전원 회로 등이 설치되어 있다. 또한, 이들 구동 회로를 제어하기 위한 회로나, 터보 분자 펌프 본체(1)의 제어에 이용되는 각종 정보가 기억된 기억 소자가 탑재되어 있다.

일반적으로, 전자 회로에서 이용되는 전자 부품(소자)에는, 신뢰성을 고려한 환경 온도가 설정되어 있다. 예를 들면, 상기 서술한 기억 소자의 환경 온도는, 대체로 60℃ 정도로 되어 있다. 또한, 이러한 내열 특성이 낮은 소자를 저내열 소자라고 표현한다.

각 전자 부품은, 터보 분자 펌프 본체(1)의 동작 시에 있어서, 환경 온도의 설정치 범위 내에서 사용해야 한다.

또, 진공 펌프 제어 장치(20) 내부에 설치되어 있는 회로에는, 상기 서술한 저내열 소자 외에도, 소자 내의 손실(내부 손실)에 의해 발열하는 부품(파워 소자)도 다수 이용되고 있다. 예를 들면, 모터부(11)의 구동 회로인 인버터 회로를 구성하는 트랜지스터 소자 등이 이것에 상당한다.

이러한 자기 발열량이 커지는 소자에 있어서도 환경 온도가 설정되어 있다.

(회생 저항의 냉각 기구)

또, 진공 펌프 제어 장치(20)에는, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 수냉 플레이트(40)가 접속되어 있다.

수냉 플레이트(40)에는, 상기 서술한 진공 펌프 본체(터보 분자 펌프 본체(1))의 냉각관(70)과 동일한 수냉용의 냉각관(80)이 원주 형상으로 매설되어 있으며, 냉각관(80)에 냉각재를 흐르게 함으로써, 수냉 플레이트(40)가 냉각되고, 그리고, 수냉 플레이트(40)와 접촉하고 있는 제어 유닛 케이싱(210), 및, 제어 유닛 케이싱(210)의 일부인 회생 저항 케이싱(211)이 강제적으로 냉각된다.

또, 수냉 플레이트(40)는, 하우징(220)에 있어서의 측벽의 형성면에 볼트(도시하지 않는다) 등의 체결 부재에 의해 고정되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 이 수냉 플레이트(40)는, 볼트(도시하지 않는다)를 풀음으로써 용이하게 진공 펌프 제어 장치(20)로부터 떼어낼 수 있도록, 즉 착탈 가능하게 구성되어 있다.

(진공 펌프 제어 장치의 회생 저항 케이싱)

본 실시 형태에서는, 회생 저항 케이싱(211)은, 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 진공 펌프 제어 장치(20)의 측면(하우징(220)의 측부)으로부터, 클리어런스 d만큼 떨어진 위치에 배치되도록 구성하고 있다. 또한, 이 클리어런스 d는, 예를 들면, 5mm~20m 정도이다.

이와 같이, 회생 저항(200)이, 진공 펌프 제어 장치(20)의 측면(하우징(220)의 측부)의 내측에 부착되는 것이 아니라, 하우징(220)의 측부로부터 떨어 뜨려 설치되는 구성으로 했으므로, 예를 들면, 작업 점검 등을 행하는 작업원이 만질 가능성이 있는 부분(하우징(220)의 측부)이 과잉으로 뜨거워지는 것을 억제할 수 있어, 작업 시의 안전성을 향상시킬 수 있다.

본 실시 형태에서는, 클리어런스 d를 설치하는 구성으로 했지만, 이것에 한정되지는 않는다.

예를 들면, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 회생 저항 케이싱(211)을 제어 유닛 케이싱(210)의 중앙에 위치하도록 구성할 수도 있다.

혹은, 도 4(c)에 나타낸 바와 같이, 제어 유닛 케이싱(210) 그 자체로 회생 저항 케이싱(211)을 구성하도록 구성해도 된다.

상기 서술한 바와 같이, 회생 저항(200)을, 회생 저항(200)보다도 큰 알루미늄 다이캐스트 케이싱(회생 저항 케이싱(211))에 수용하는 구성으로 함으로써, 회생 저항(200)이 단(單)체로 설치되어 있는 경우보다도 열용량이 커지므로, 회생 저항(200) 자체의 온도 상승을 억제할 수 있다.

만일, 회생 저항(200) 단체로 발열한 경우, 회생 저항(200)은 200~300℃에까지 상승하여 허용 온도(일반적으로는 300℃ 정도로 설정되어 있다)를 초과해 버릴 우려가 있지만, 용기(알루미늄 다이캐스트 케이싱)에 수용함으로써, 상기 이유에 의해 온도가 오르기 어려워진다. 실험에서는, 허용 온도로서 문제가 없는 150℃ 정도에까지 낮추는 것이 가능했다.

도 5(a)는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 제어 유닛 케이싱(210) 및 회생 저항 케이싱(211)의 개략 구성예를 나타낸 확대도이며, 도 5(b)는, 도 5(a)에 있어서의 A화살표 방향에서 본 도면이다.

본 발명의 실시 형태에 관련된 회생 저항 케이싱(211)은, 진공 펌프 제어 장치(20)의 상측 뚜껑(천판)의 역할을 하는 제어 유닛 케이싱(210)(알루미늄 다이캐스트 케이싱)의 일부로서 구성된다.

또한, 본 실시 형태에서는 회생 저항 케이싱(211)은 제어 유닛 케이싱(210)의 일부로 했지만, 이것에 한정되지는 않는다. 예를 들면, 별도, 알루미늄 다이캐스팅(금형 주조)으로 제작한 회생 저항 케이싱(211)을, 부착구(예를 들면, 볼트 등)로 제어 유닛 케이싱(210)에 부착하는 구성으로 할 수도 있다.

회생 저항 케이싱(211)은, 회생 저항(200) 전체가 들어가는 치수로 설계된 공동부(212)를 가지며, 이 공동부(212)에 회생 저항(200)이 삽입되어 끼워 넣어진다.

또한, 회생 저항 케이싱(211)은, 끼워 넣어진 회생 저항(200)이 낙하되어 버리는 것을 방지하기 위해서, 공동부(212)를 막는(봉지하는) 뚜껑으로서 기능하는 회생 저항 고정 금구(213)와, 회생 저항(200)을 회생 저항 케이싱(211)에 끼워 넣은 후, 회생 저항 고정 금구(213)를 회생 저항 케이싱(211)에 부착하는 부착구인 볼트(215)를 구비함으로써 회생 저항(200)을 취출 가능하게 구속(수용)한다.

회생 저항(200)은 도선(250)에 의해 제어 기판(300)(도 4)과 접속되어 있다.

또, 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시 형태의 회생 저항 케이싱(211)은, 열용량을 늘리기 위해서, 측면에서 본 경우가 직사각형, 또한, 저면(즉, A화살표 방향)에서 본 경우가 타원형(가마니형, 계란형)인 원통(원기둥)형으로 했지만, 회생 저항 케이싱(211)의 형상은 이것에 한정되지는 않는다.

또한, 회생 저항(200)의 삽입을 가능하게 하기 위해서, 회생 저항 케이싱(211)의 공동부(212)의 내면의 측면적은, 회생 저항(200)의 외면(외주)의 측면적보다도, 커지도록 구성되어 있다.

보다 구체적으로는, 회생 저항(200)이 발열에 의해 팽창되는 만큼의 클리어런스가 설치되어 있다. 예를 들면, 12~38μm 정도의 간극으로 되어 있다.

적절한 클리어런스를 미리 설치해 둠으로써, 회생 저항(200)이 발열에 의해 팽창된 경우에, 회생 저항(200)이 회생 저항 케이싱(211)에 간극 없이 구속(수용)될 수 있는(접착 상태가 되는) 구성으로 하고 있다.

이와 같이, 공동부(212)와 삽입되는 회생 저항(200)은, 삽입 시에는 약간의 간극을 두고는 있지만, 진공 펌프 제어 장치(20)의 구동 시(즉, 회생 저항(200)을 냉각할 필요가 생길 때)에는, 발열한 회생 저항(200)이 팽창하여, 회생 저항(200)과 회생 저항 케이싱(211)의 간극(클리어런스)은 없어짐으로써, 상시, 회생 저항(200)과 회생 저항 케이싱(211)을 접하고 있는 상태로 유지할 수 있다. 이 때문에, 회생 저항 케이싱(211)의 상부(즉, 터보 분자 펌프 본체(1)측)에 설치된 수냉 플레이트(40)(도 4)에 의해, 회생 저항(200)을 효율적으로 계속 냉각할 수 있다.

이와 같이, 본 실시 형태에서는, 회생 저항(200)과 회생 저항 케이싱(211)이 밀착하고 있으므로, 수냉 플레이트(40)는, 회생 저항 케이싱(211)을 통하여 회생 저항(200)을 직접 식힐 수 있다(즉, 공기가 개재하고 있지 않다).

또, 이러한 구성의 본 실시 형태에서는, 회생 저항(200)과 당해 회생 저항이 부착되는 하우징(220)의 측부가, 회생 저항이 원통형인 경우는 선, 또는, 회생 저항이 직사각형인 경우는 단면(하나의 면)으로 접촉하고 있던 종래의 구성(도 8(c))보다도, 회생 저항(200)과 회생 저항 케이싱(211)이 밀착(접촉)하는 면적이 현저하게 증대한다.

이와 같이, 수냉 플레이트(40)에 의한 냉각 효과를, 회생 저항(200)의 측둘레면에 있어서의 넓은 범위에 미치게 하는 것이 가능해지기 때문에, 냉각 효과를 향상시킬 수 있다.

또, 본 실시 형태에서는, 터보 분자 펌프 본체(1)와 진공 펌프 제어 장치(20)를 일체형으로 했지만 이것에 한정되지는 않는다.

예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같은 진공 펌프 본체(터보 분자 펌프 본체)와 진공 펌프 제어 장치가 일체형이 아닌 경우는, 진공 펌프 본체와 진공 펌프 제어 장치를 케이블 등으로 접속하여 배치하는 구성으로 하면 된다. 이 경우, 진공 펌프 제어 장치에서 사용하는 냉각 플레이트용의 냉각 시스템(수냉관 등)을 별도 설치하고 냉각에 필요한 물을 준비(공급)하도록 하여 구성할 수 있다.

(회생 저항)

도 6(a)~(c)는, 회생 저항을 설명하기 위한 도이다.

회생 저항(200)에는 다양한 형태가 있다. 본 실시 형태에서는 회생 저항(200)은 원통형 즉 원기둥 형상(둥근 봉)의 구성으로 했지만, 이것에 한정되지는 않는다. 예를 들면, 사각형이나 육각형과 같은, 저면이 직사각형인 기둥 형상의 회생 저항도 생각할 수 있다.

(변형예)

상기 서술한 본 발명의 실시 형태는, 다양하게 변형하는 것이 가능하다.

도 7은, 본 발명의 실시 형태의 변형예에 관련된 회생 저항 케이싱(211) 내에 회생 저항(200)을 삽입할 때에 사용하는, 회생 저항(200)을 넣기 위한 회생 저항 수용구인 금속 케이스(400)의 일례를 나타낸 도이다.

통상, 기제품의 회생 저항(200)의 형상이나 치수는, 도 6(a)~(c)에 나타낸 바와 같이, 편차가 있어 일정하지 않고, 또, 그 표면은, 매끄러운 평면 형상은 아니다. 그 때문에, 회생 저항(200)을 회생 저항 케이싱(211)에 직접 삽입한 경우에, 회생 저항(200)이 회생 저항 케이싱(211)의 내벽면에 접촉하는 부분은 한정되어 버린다.

그러한 회생 저항(200)의 형상 및 치수의 편차나, 표면이 매끄럽지 않은 것에 대응하기 위해서, 본 변형예에서는, 회생 저항(200)을 회생 저항 케이싱(211)에 직접은 삽입하지 않고, 회생 저항 전용의 금속의 케이스인 금속 케이스(400)에 넣고, 그 금속 케이스(400)를 회생 저항 케이싱(211) 내에 삽입(수용)한다. 금속 케이스(400) 내의 회생 저항(200)의 둘레에는, 열전도성이 높은 전열 그리스 등을 충전하여, 양자의 간극을 줄여 두면, 효과가 더 발휘된다. 회생 저항 전용이란, 예를 들면, 회생 저항(200)이 도 6(a) 및 (b)에 나타낸 바와 같은 직사각형이면, 직사각형의 금속 케이스(400)를 사용하고, 한편, 회생 저항(200)이 도 6(c)에 나타낸 바와 같은 원통형이면, 원통형의 금속 케이스(400)를 사용한다.

이 금속 케이스(400)는, 그 외주가, 회생 저항 케이싱의 내주면(즉, 공동부)을 따른 형상을 가지며, 따라서, 금속 케이스(400)는 회생 저항 케이싱(211)에 간극 없이 끼워 넣어질 수 있다.

형상이나 치수 정밀도가 높은 금속 케이스(400)에 넣은 회생 저항(200)을 회생 저항 케이싱(211)에 삽입하는 구성으로 함으로써, 회생 저항 케이싱(211)과 금속 케이스(400)의 형상 오차가 적고 치수차도 균일에 가까운 것이 된다.

이와 같이 금속 케이스(400)를 설치함으로써, 회생 저항(200)이 발열하여 팽창되면 금속 케이스(400)의 내측과 밀착하고, 그 결과, 회생 저항(200)은 금속 케이스(400)의 외측과 밀착하고 있는 회생 저항 케이싱(211)과 (금속 케이스(400)를 통하여) 밀착시킬 수 있다.

또, 금속 케이스(400)는, 내열성이 있는 내열강이나 스테인리스 강(SUS)제인 것이 바람직하다.

이것은, 만일, 금속 케이스(400)를, 알루미늄 다이캐스트 케이싱인 회생 저항 케이싱(211)과 동일 소재의 알루미늄으로 제작하면, 동일 소재끼리이기 때문에 회생 저항(200)의 열에 의해 융착되어 버릴 가능성이 있기 때문이다.

이와 같이 융착을 일으키면, 예를 들면, 회생 저항(200)의 교환시 등, 회생 저항 케이싱(211)으로부터 회생 저항(200)을 떼어내는 경우에, 떼어내는 것이 곤란하거나 또는 불가능해져 버리기 때문이다.

이와 같이, 이용하는 회생 저항(200)의 형상에 맞춘 금속 케이스(400)를 사용하는 구성으로 함으로써, 만일, 팽창해도 회생 저항 케이싱(211)에 밀착시킬 수 없는 회생 저항(200)이어도, 당해 금속 케이스(400)의 내장을 회생 저항(200)에 맞추어(즉, 팽창된 경우에 밀착시킬 수 있도록) 가공하면 되어, 회생 저항 케이싱(211)을 가공할 필요가 없어진다. 그 결과, 제조 비용을 저감시킬 수 있다.

또, 회생 저항(200)의 변형예로서, 상기 금속 케이스(400)에 저항을 설치하고, 저항의 둘레를 세라믹이나 산화 알루미나로 굳히거나 한, 오더 메이드의 회생 저항이어도 된다.

상기 서술한 바와 같이, 본 발명의 실시 형태 및 변형예에 의하면, 이하 (1)~(5)를 실현할 수 있다.

(1) 진공 펌프 제어 장치의 천판의 일부 또는 전체에, 알루미늄 다이캐스팅으로 제작한, 회생 저항용의 케이싱인 회생 저항 케이싱을 설치함으로써, 회생 저항이 단체로 설치되어 있는 경우보다도 열용량이 커지므로, 회생 저항 자체의 온도가 상승하기 어려워진다.

즉, 회생 저항이 단체로 발열하여 온도가 상승하는 것이 아니라, 회생 저항의 열이 회생 저항 케이싱으로 전달되므로, 이 회생 저항 케이싱이 열을 모아두는 역할을 함으로써 회생 저항이 단체로 설치되어 있는 경우보다도 열용량을 크게 할 수 있다.

그 결과, 온도가 상승하기 어려운 진공 펌프 제어 장치와, 당해 진공 펌프 제어 장치를 구비한 진공 펌프를 제공할 수 있다.

(2) 회생 저항 케이싱을 가지는 진공 펌프 제어 장치의 천판(즉, 제어 유닛 케이싱) 상에 냉각(수냉) 플레이트를 설치했으므로, 회생 저항으로부터 방사되는 열을 진공 펌프 제어 장치의 천판 근방에서 차단할 수 있기 때문에, 진공 펌프 제어 장치 본체의 온도 상승을 저감(감쇠)시키는 것, 및, 진공 펌프 제어 장치에 일체형으로 설치되는 터보 분자 펌프의 내부에까지 방사되는 회생 저항으로부터의 열의 양을 저감시킬 수 있다.

그 결과, 회생 저항의 방열성을 간단한 구성으로 향상시킬 수 있어, 온도 상승을 적절히 억제할 수 있는 진공 펌프 제어 장치와, 당해 진공 펌프 제어 장치를 구비한 진공 펌프를 제공할 수 있다.

(3) 회생 저항 케이싱에, 회생 저항의 형태에 맞는, 즉, 발열 시의 회생 저항의 팽창에 의해 회생 저항과 회생 저항 케이싱을 밀착시킬 수 있는 치수로 설계된, 회생 저항 전체가 들어가는 구멍(공동)을 설치하여, 해당 구멍 내에 회생 저항을 삽입하고 개구 입구에 뚜껑을 하는 구성으로 한 것으로, 회생 저항 케이싱과 회생 저항의 밀착성이 높아져 열전도를 향상시킬 수 있다.

그 결과, 회생 저항의 방열성을 향상시킬 수 있는 진공 펌프 제어 장치와, 당해 진공 펌프 제어 장치를 구비한 진공 펌프를 제공할 수 있다.

(4) 회생 저항 케이싱을, 진공 펌프 제어 장치 내부에 있어서 진공 펌프 제어 장치의 하우징의 측벽으로부터 소정의 클리어런스만큼 떨어진 위치에 설치시킨 것으로, 진공 펌프 제어 장치의 벽면의 온도 상승을 적절히 저감시킬 수 있어, 사람이 진공 펌프 제어 장치의 외측으로부터 진공 펌프 제어 장치에 접촉한 경우의 안전성을 향상시킬 수 있다.

(5) 회생 저항을, 회생 저항 케이싱의 내주면을 따른 형상을 가지는 회생 저항 전용의 금속 케이스에 넣고 회생 저항 케이싱 내에 삽입(수용)하는 구성으로 했으므로, 다양한 상이한 회생 저항 본체의 형상 및 치수의 편차나, 표면이 매끄럽지 않은 것에 구애받지 않고, 회생 저항 케이싱과 회생 저항을 밀착시킬 수 있다.

그 결과, 종류가 일정하지 않은 회생 저항을 사용하는 경우여도, 종류에 따른 금속 케이스를 이용함으로써, 일정하게 회생 저항의 방열성을 향상시킬 수 있는 진공 펌프 제어 장치와, 당해 진공 펌프 제어 장치를 구비한 진공 펌프를 제공할 수 있다.

1: 터보 분자 펌프 본체 2: 케이싱
3: 베이스 4: 흡기구
5: 플랜지부 6: 배기구
7: 샤프트 8: 로터
9: 회전 날개 10: 스테이터 칼럼
11: 모터부 12, 13: 직경 방향 자기 베어링 장치
14: 축방향 자기 베어링 장치 15: 고정 날개
16: 나사홈 스페이서 17: 스페이서
18: 펌프 고정다리 20: 진공 펌프 제어 장치
30: 진공실 31: 진공실벽
40: 수냉 플레이트 50: 공냉 팬
70: 냉각관 80: 냉각관
200: 회생 저항 210: 제어 유닛 케이싱
211: 회생 저항 케이싱 212: 공동부
213: 회생 저항 고정 금구 214: 시일 부재
215: 고정 볼트 220: 하우징
250: 도선 300: 제어 기판
400: 금속 케이스 2000: 진공 펌프 제어 장치

Claims (11)

1. 진공 펌프 본체를 제어하는 진공 펌프 제어 장치로서,
   상기 진공 펌프 본체를 제어하는 제어 회로가 배치되는 하우징과,
   상기 하우징 내에 있어서의, 회생 에너지를 소비하는 회생 저항이 삽입되는 공동부와, 상기 회생 저항을 고정하는 회생 저항 고정구를 가지는 회생 저항 수용부와,
   상기 회생 저항 수용부를 냉각하는 냉각 기구를 구비하고,
   상기 회생 저항 수용부를 통하여 상기 회생 저항의 열을 상기 냉각 기구에 전달하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 제어 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 회생 저항 수용부는, 주조법으로 제조된 것을 특징으로 하는 진공 펌프 제어 장치.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 회생 저항 수용부는, 상기 하우징의 상기 제어 회로가 배치되는 면과 상기 회생 저항 수용부를 가지는 면 사이에 끼워지는 측면으로부터 떨어진 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 제어 장치.
4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 회생 저항은, 외주면이 상기 공동부의 내주에 끼워 맞춰지는 회생 저항 수용구에 수용되어 상기 공동부에 삽입되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 제어 장치.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 공동부의 내주와 삽입되는 상기 회생 저항 수용구의 사이에는, 상기 회생 저항이 발열에 의해 팽창되는 만큼의 클리어런스를 미리 설치하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 제어 장치.
6. 상기 진공 펌프 본체는, 흡기구로부터 배기구까지 기체를 이송하는 기체 이송 기구를 내포하고,
   청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
7. 청구항 3에 있어서,
   상기 회생 저항은, 외주면이 상기 공동부의 내주에 끼워 맞춰지는 회생 저항 수용구에 수용되어 상기 공동부에 삽입되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프 제어 장치.
8. 상기 진공 펌프 본체는, 흡기구로부터 배기구까지 기체를 이송하는 기체 이송 기구를 내포하고,
   청구항 3에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
9. 상기 진공 펌프 본체는, 흡기구로부터 배기구까지 기체를 이송하는 기체 이송 기구를 내포하고,
   청구항 4에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
10. 상기 진공 펌프 본체는, 흡기구로부터 배기구까지 기체를 이송하는 기체 이송 기구를 내포하고,
    청구항 5에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
11. 상기 진공 펌프 본체는, 흡기구로부터 배기구까지 기체를 이송하는 기체 이송 기구를 내포하고,
    청구항 7에 기재된 진공 펌프 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.

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