KR101823893B1 - 엔진 배기계 부품용 코팅재 및 이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 엔진 배기계 부품용 코팅재 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 모재의 표면에 위치하는 CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층; 상기 제2접합층의 표면에 위치하는 TiAlN 및 CrN 지지층; 및 상기 지지층의 표면에 위치하는 TiAlN 및 CrSiN 또는 TiAlN 및 CrSiCN 기능층을 포함하며 엔진 배기계 부품의 내마모성 및 내소착성 등을 개선시키기 위한 엔진 배기계 부품용 코팅재 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

Description

엔진 배기계 부품용 코팅재 및 이의 제조방법{Coating material for exhaust system and the method for manufacturing thereof}
본 발명은 엔진 배기계 부품용 코팅재 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 Ti 또는 Cr 제1접합층; CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층; TiAlN 및 CrN 지지층; TiAlN 및 CrSi(C)N 기능층을 순서대로 포함하는 다층 구조를 가지며, 엔진 배기계 습동부품 등의 내소착성, 내마모성 및 내열성 등의 물성을 개선시키기 위한 엔진 배기계 부품용 코팅재 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
최근 들어, 지구 온난화 등 환경문제가 대두되면서 자동차 배기가스에 대한 규제가 강화됨에 따라 자동차 업체는 2020년까지 이산화탄소 배출량을 현재 대비 35 내지 50 % 수준인 50 g/km 로 저감하는 것을 목표로 다양한 친환경 차량을 개발하고 있다.
구체적으로, 2025년 미국 기업평균연비 규제치(Corporate Average Fuel Economy, CAFE)인 54.5 mpg(23.2km/l)를 만족하기 위해 다운 사이징, 연비 향상 관련 기술에 대한 연구를 활발히 진행하고 있으며, 특히 엔진 연소 효율 상승 및 NOx 의 발생량을 저감시키기 위해 배기가스 재순환(Exhaust Gas Recirculation, EGR) 장치를 적용하고 있다.
상기 EGR 장치는 통상적으로 플랫 밸브, 샤프트, 부쉬, 워셔, 하우징 등으로 구성되는데, 하우징 외부의 액투에이터가 플랫 밸브의 개폐를 조정한다. 이 때, 상기 플랫 밸브와 부쉬, 또는 워셔와 부쉬 등의 엔진 배기계 부품은 고온에서 습동하는데, 그 결과 워셔, 플랫밸브, 부쉬 소재의 소착 및 마찰, 마모 등에 의해 플랫 밸브의 개폐가 난이해지고, 상기 플랫 밸브의 마모로 인한 엔진 경고음, 소음발생 등의 품질 문제가 야기된다.
따라서 엔진 배기계 부품 등의 수명 저하를 방지하고 성능을 유지하기 위한 다양한 시도가 계속 되고 있는데, 구체적으로 내소착성, 내마모성, 저마찰성, 내열성 등을 개선하기 위한 표면 처리 연구가 활발히 진행되고 있다.
종래에는 고온 경도가 부족하여 마모에 취약한 엔진 배기계 부품의 성능을 유지하기 위해 CrN 코팅을 적용하고 있으나, 500 ℃ 이상에서 내열성이 부족하여 경도 저하 현상이 발생되고, 내소착성이 취약하여 소착 현상의 발생으로 인해 부품의 마모가 촉진되는 문제가 있다.
또한, 상기 CrN 코팅의 단점을 해결하고자 TiAlN, CrTiSiN, TiAlCrN-CrON 등의 내열 코팅재를 적용하려는 시도가 있으나, 고온 환경에서 작동되는 습동부품에 요구되는 복합물성(내열성, 내마모성, 내소착성, 저마찰 특성 등)을 동시에 개선하는 것에 한계가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 종래 엔진 배기계 부품 등에 사용되는 코팅재와 비교하여 내열성, 고온 안정성 및 내소착성 등이 우수하여 엔진의 수명이 연장되는 엔진 배기계 부품용 코팅재 및 이의 제조방법을 제공하고자 함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 엔진 배기계 부품용 코팅재는 모재의 표면에 위치하는 CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층; 상기 제2접합층의 표면에 위치하는 TiAlN 및 CrN 지지층; 및 상기 지지층의 표면에 위치하는 TiAlN 및 CrSiN 또는 TiAlN 및 CrSiCN 기능층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일실시예로 상기 제2접합층의 두께는 0.1 내지 10 μm 이고, 상기 지지층의 두께는 0.5 내지 10 μm 이며, 상기 기능층의 두께는 0.5 내지 10 μm 인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일실시예로 상기 모재의 표면과 제2접합층 사이에 위치하는 Ti 또는 Cr 제1접합층; 을 더 포함하는 것이 바람직하다.
또 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 엔진 배기계 부품용 코팅재의 제조방법은 진공 상태의 챔버를 플라즈마 상태로 만드는 단계; 상기 챔버 내에 위치한 모재의 표면에 CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층을 증착하는 단계; 상기 제2접합층의 표면에 TiAlN 및 CrN 지지층을 증착하는 단계; 및 상기 지지층의 표면에 TiAlN 및 CrSiN 또는 TiAlN 및 CrSiCN 기능층을 증착하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일실시예로 상기 제2접합층의 두께는 0.1 내지 10 μm 이고, 상기 지지층의 두께는 0.5 내지 10 μm 이며, 상기 기능층의 두께는 0.5 내지 10 μm 인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일실시예로 상기 제2접합층을 증착하는 단계는, 상기 모재의 표면에 Ti 또는 Cr 제1접합층을 증착한 다음 상기 제2접합층을 증착하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일실시예로 상기 TiAlN 및 CrN 지지층을 증착하는 단계는 상기 TiAlN 및 CrN 지지층을 Ti : Al : Cr 의 비율이 1 : 1 : 1 로 증착하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일실시예로 상기 TiAlN 및 CrSiN 기능층을 증착하는 단계는 상기 TiAlN 및 CrSiN 기능층을 Ti : Al : Cr : Si 의 비율이 1 : 1 : 0.9 : 0.1 로 증착하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일실시예로 상기 TiAlN 및 CrSiCN 기능층을 증착하는 단계는 상기 TiAlN 및 CrSiCN 기능층을 Ti : Al : Cr : Si : C 의 비율이 1 : 1 : 0.8 : 0.1 : 0.1 로 증착하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명의 효과는 종래 EGR 장치 등 엔진 배기계 부품의 코팅 처리와 대비하여 내소착성, 내열성, 내마모성 등의 물성을 개선하여 엔진 부품의 품질 향상 및 수명 유지가 가능한 장점이 있다.
또한, 배기계 습동 부품의 마찰 계수를 낮추어 고온 환경에서 마찰에 의한 마모를 방지하여 엔진의 출력 저하 및 소음 발생을 차단하는 효과가 있다.
뿐만 아니라, 향후 배기가스 배출 규제와 관련된 유로 6, 7 규제에 따른 배기온 상승에 대비하여 가혹한 환경에서도 우수한 물성을 나타내는 코팅 기술을 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 상기 TiAlCrSiCN 코팅재의 구조를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 의한 코팅재를 제조하기 위한 PVD(Physical Vapor Deposition) 장비를 나타낸 도면.
도 3은 기존재의 시험 후 소착성 평가 사진.
도 4는 비교예 1의 마찰 마모 시험 후 소착성 평가 사진.
도 5는 비교예 2의 마찰 마모 시험 후 소착성 평가 사진.
도 6은 비교예 3의 마찰 마모 시험 후 소착성 평가 사진.
도 7은 본 발명에 의한 실시예의 마찰 마모 시험 후 소착성 평가 사진.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명은 일 관점에서, 주요층으로 TiAlCrSi(C)N 기능층을 포함하는 엔진 배기계 부품용 코팅재에 관한 것이다.
종래 EGR 장치 부품에 CrN 코팅재, TiAlN 코팅재 등을 적용하는 경우 표면에 탄화물 등에 의한 소착물이 용이하게 발생되는데, 상기 소착물은 부품의 경도를 감소시키고, 리크나 파손 등을 초래하여 부품 수명을 저하시키는 주된 원인이 된다.
뿐만 아니라, 최근 다운 사이징, 연비향상 관련 기술의 적용으로 플랫 밸브, 샤프트, 부쉬, 워셔 등 엔진 배기계 부품의 적용 환경이 악화됨에 따라 이를 견딜 수 있는 높은 수준의 물성이 요구되는데, 종래의 표면 처리로는 상기 부품의 내열성, 내마모성 및 내소착성 등의 복합물성을 향상시키는데 한계가 있었다.
따라서 본 발명은 이를 해결하고자 하기 구조를 가진 TiAlCrSi(C)N 코팅재를 제공한다.
본 발명에서, TiAlCrSi(C)N 은 TiAlCrSiN 또는 TiAlCrSiCN 을 의미하고, TiAlN 및 CrSi(C)N 은 TiAlN 및 CrSiN 또는 TiAlN 및 CrSiCN 으로 의미하며, Ti(C)N은 TiN 또는 TiCN 을 의미한다.
도 1은 본 발명에 의한 상기 TiAlCrSi(C)N 코팅재의 구조를 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 코팅재는 모재(100)의 표면에 위치하는 CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층(120); TiAlN 및 CrN 지지층(130); 및 TiAlN 및 CrSi(C)N 기능층(140)을 순서대로 포함하는데, 바람직하게 상기 모재(100) 표면과 제2접합층(120) 사이에 Ti 또는 Cr 제1접합층(110); 을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 모재(100)가 질화처리가 가능한 소재인 경우 바람직하게 질화처리에 의한 80 ~ 120 μm 의 질화층을 가질 수 있다.
상기 Ti 또는 Cr 제1접합층(110)은 코팅층과 모재(100)의 밀착력을 향상시키기 위해 사용되고, 상기 CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층(120)은 코팅층의 잔류응력을 최소화하고, 인성, 내피로성, 내충격성 등을 개선하기 위해 사용된다.
또한, 상기 TiAlN 및 CrN 지지층(130)은 나노 다층구조를 가지며, 플랫 밸브나 부쉬 등의 엔진 배기계 부품에 기본적으로 요구되는 특성인 인성, 내열성, 내산화성 및 내마모성 등을 향상시키기 위해 사용된다.
또한, 상기 TiAlN 및 CrSiN 또는 TiAlN 및 CrSiCN 기능층(140)은 나노 다층구조를 가지며, 기본적으로 내열성, 내산화성, 내마모성 뿐만 아니라, 실리콘(Si)을 통한 내소착성, 탄소(C)를 통한 저마찰성 등을 구현하기 위해 사용된다.
한편, 상기 제2접합층(120)의 두께는 바람직하게 0.1 내지 10 μm 인데, 접합층의 두께가 0.1 μm 미만인 경우에는 성분 물질의 양이 상기 기능을 발휘하기에 충분하지 않으며 10 μm 초과인 경우에는 코팅층과 모재(100)의 밀착성이 저하되기 때문이다.
또한, 나노 다층 구조를 가진 상기 TiAlN 및 CrN 지지층(130) 및 상기 TiAlN 및 CrSi(C)N 기능층(140)은 각각 0.5 내지 10 μm 의 두께를 가지는 것이 바람직한데, 두께가 0.5 μm 미만인 경우에는 서로 다른 두 층간의 혼합에 의해 다층 구조를 이루기 어려워 본 발명의 효과가 나타나기 어렵고, 10 μm 초과인 경우에는 서로 다른 두 층간의 정합 변형이 깨어져 경도가 저하될 수 있기 때문이다.
일반적으로 내마모성과 내충격성은 서로 상반되는 물성으로 동시에 개선하는 것이 매우 어려우나, 본 발명은 내마모성이 우수한 상기 TiAlN 및 CrN 지지층(130) 및 상기 TiAlN 및 CrSi(C)N 기능층(140)에 내충격성이 우수한 상기 CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층(120)을 사용함으로써 동시 개선을 가능하게 한다.
본 발명은 다른 관점에서, PVD 법을 사용하며 주요층으로 TiAlCrSi(C)N 기능층을 포함하는 엔진 배기계 부품용 코팅재의 제조방법에 관한 것이다.
금속 모재의 표면을 코팅재로 코팅하는 방법은 크게 물리적 증기 증착법(Physical Vapor Deposition, PVD 법)과 화학적 증기 증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD 법)으로 분류된다.
상기 PVD 법은 타겟이 되는 소재(모재)에 음극을 걸어주고 이온화된 금속 물질을 증기상태로 공급하면서 전기적인 인력에 의해 소재의 표면에 증착시키는 건식가공방법인데, 모재(100)의 표면을 균일하게 코팅할 수 있으며 미세한 이온입자를 이용하여 밀착력을 높일 수 있다.
따라서, 본 발명은 바람직하게 코팅재 입자의 나노화 및 고속 코팅을 구현하기 위해 고밀도 플라즈마를 생성하는 아크, HIPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering), 유도 결합 플라즈마(Inductive Coupled Plasma, ICP) 방식을 사용한다.
도 2는 본 발명에 의한 코팅재를 제조하기 위한 PVD(Physical Vapor Deposition) 장비를 나타낸 도면인데, 도시된 바와 같이 상기 PVD 장비는 챔버(200); 및 상기 챔버(200)에 설치된 펌프(210), Cr 타겟(220), TiAl 타켓(230), CrSi 타겟(240), Ti 타겟(280), 가스 투입부(250), 가열부(260); 및 상기 챔버(200) 내부의 회전 홀더(270)로 구성되며, 모재(100)는 상기 회전 홀더(270)에 장착된다.
상기 각각의 타겟들은 코팅재를 구성하는 각각의 층에서 요구되는 이온들을 공급하며, 질소 가스 또는 탄화 수소 가스(바람직하게 아세틸렌 가스) 등 필요한 가스들은 상기 가스 투입부(250)를 통해 상기 챔버(200) 내로 투입되는데, 질소 가스는 질소(N) 이온을 탄화 수소 가스는 탄소(C) 이온을 공급한다.
또한, 코팅에 앞서 질화 처리가 가능한 소재의 경우, 질화 처리를 한 다음 화합물층을 제거한 후 하기 코팅을 실시할 수 있다.
먼저 코팅의 전처리 단계로서, 펌프(210)를 이용하여 챔버(200) 내부를 진공상태로 만든 후 가스 투입부(250)를 통해 아르곤 가스 등을 투입하여 플라즈마 상태로 만든다.
그리고 상기 챔버(200)를 가열부(260)를 이용하여 80 ℃로 가열하여 모재(100)의 표면을 활성화시키고, 바이어스 전압을 인가하여 아르곤 양이온을 상기 모재(100) 표면에 충돌시킴으로써 세정한다. (baking & cleaning)
그 다음, 가스 투입부(250)를 통해 질소 가스를 상기 챔버(200) 내에 투입하여 질소 분위기를 형성한 다음, 질소 가스와 Cr 타겟(220)을 이용하여 모재(100)의 표면에 CrN 제2접합층(120) 또는 질소 가스와 Ti 타겟(280)을 이용하여 TiN 제2접합층(120)을 바람직하게 0.1 내지 10 μm 의 두께로 증착하는데, 질소 가스와 함께 아세틸렌 가스를 투입하는 경우에는 TiCN 제2접합층(120)을 증착할 수 있다.(PVD 법)
또한, 상기 제2접합층(120)을 증착하기에 앞서 필요에 따라 바람직하게 Ti 타겟(280) 또는 Cr 타겟(220)을 이용하여, 모재(100)의 표면에 Ti 또는 Cr 제1접합층(110)을 증착할 수 있다.(PVD 법)
그 다음, 질소 분위기에서 상기 회전 홀더(270)를 이용하여 상기 접합층이 증착된 모재(100)를 TiAl 타겟(230) 및 Cr 타겟(220)에 선택적으로 노출시킴으로써, 상기 접합층의 표면에 TiAlN 층과 CrN 층이 교차하여 적층된 나노다층 구조를 가진 TiAlN 및 CrN 지지층(130)을 바람직하게 0.5 내지 10 μm 의 두께로 증착한다.(PVD 법)
이 때, 상기 TiAlN 및 CrN 지지층(130)은 모재(100)의 인성, 내열성, 내산화성 및 내마모성 등을 향상시키기 위해 사용되는 것으로서, 상기 효과의 극대화를 위한 각 층의 교차 적층을 고려하여 상기 Ti : Al : Cr의 비율이 1 : 1 : 1 로 증착하는 것이 바람직하다.
그 후, 질소 분위기에서 상기 회전 홀더(270)를 이용하여 상기 지지층(130)이 증착된 모재(100)를 TiAl 타겟(230) 및 CrSi 타겟(240)에 선택적으로 노출시킴으로써, 상기 지지층(130)의 표면에 TiAlN 층과 CrSiN 층이 교차하여 적층된 나노다층 구조를 가진 TiAlN 및 CrSiN 기능층(140)을 바람직하게 0.5 내지 10 μm 두께로 증착하는데, 질소 가스와 함께 아세틸렌 가스를 투입하는 경우에는 TiAlN 및 CrSiCN 기능층(140)을 증착할 수 있다.(PVD 법)
이 때, 상기 TiAlN 및 CrSi(C)N 기능층(140)은 내열성, 내산화성, 내마모성 뿐만 아니라, 내소착성 저마찰성 등을 향상시키기 위해 사용되는 것으로서, 상기 효과의 극대화를 위한 각 층의 교차 적층을 고려하여 상기 Ti : Al : Cr : Si 의 비율이 1 : 1 : 0.9 : 0.1 또는 상기 Ti : Al : Cr : Si : C 의 비율이 1 : 1 : 0.8 : 0.1 : 0.1 로 증착하는 것이 바람직하다.
비교예 1 비교예 2 비교예 3 실시예
표면처리/코팅 CrN TiAlN CrTiSiN TiAlCrSiCN
공법 PVD PVD PVD PVD
코팅 두께(μm) 30 9.5(5CrN-4.5TiAlN) 10(5CrN-5CrTiSiN) 10(4CrN 및 4TiAlCrN-2TiAlCrCN)
코팅재(디스크)
마모량(mg)
 7.5 2.3 2.2 1.48
상대재(핀)
마모량(mg)		 51.2 29 32 0.42
마찰계수 1543 2850 2870 2970
소착성 중
 중
 소 소
상기 표 1은 종래 코팅재와 본 발명에 의한 코팅재의 고온 마찰계수, 마모성 및 소착성을 비교한 표이다. (기존재(Inconel 713 C)의 경우 코팅재 마모량은 15.1 mg, 상대재 마모량은 120.3 mg, 마찰계수는 0.85, 소착성은 큰 결과를 얻었다.)
이 때, 마찰계수는 핀 온 디스크(Pin on Disc) 마찰 마모 시험기를 통해 코팅(디스크)과 핀(SUJ2)간 마찰계수 측정으로 구해진다. 시험 조건은 섭동 거리 2000m, 하중 20 N, 속도 0.1 m/s, 700 ℃ 대기 분위기이고, 상기 시험 후에 소착성을 평가하였다.
상기 표에서 나타난 바와 같이, 종래 코팅재와 비교하여 본 발명에 의한 코팅재 및 상대재의 마모량이 각각 1.48 mg, 17.1 mg 으로 가장 낮은 것으로 측정되었는데, 이는 낮은 마찰 계수에 기인한 것으로 종래 코팅재보다 내마모성 및 마모공격성이 우수한 것을 알 수 있다.
또한, 도 3은 기존재의 시험 후 소착성 평가 사진이고, 도 4 내지 6은 상기 비교예 1 내지 3 의 마찰 마모 시험 후 소착성 평가 사진이며, 도 7은 상기 실시예의 시험 후 소착성 평가 사진인데, 상기 도면을 비교한 결과 본 발명에 의한 코팅재를 적용한 경우 다른 비교예들과 달리 소착물이 거의 관측되지 않았는데, 이를 통해 본 발명에 의한 내소착성 개선 효과를 확인할 수 있다.
이상 본 발명의 구체적 실시형태와 관련하여 본 발명을 설명하였으나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 설명된 실시형태를 변경 또는 변형할 수 있으며, 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
100 : 모재 110 : 제1접합층
120 : 제2접합층 130 : 지지층
140 : 기능층
200 : 챔버 210 : 펌프
220 : Cr 타겟 230 : TiAl 타겟
240 : CrSi 타겟 250 : 가스 투입부
260 : 가열부 270 : 회전 홀더
280 : Ti 타겟

Claims (9)

  1. 모재(100)의 표면에 위치하는 CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층(120);
    상기 제2접합층(120)의 표면에 위치하는 TiAlN 및 CrN 지지층(130); 및
    상기 지지층(130)의 표면에 위치하는 TiAlN 및 CrSiN 또는 TiAlN 및 CrSiCN 기능층(140)을 포함하며,
    상기 제2접합층(120)의 두께는 0.1 내지 10 μm 이고, 상기 지지층(130)의 두께는 0.5 내지 10 μm 이며, 상기 기능층(140)의 두께는 0.5 내지 10 μm 인 것을 특징으로 하는 엔진 배기계 부품용 코팅재.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 모재(100)의 표면과 제2접합층(120) 사이에 위치하는 Ti 또는 Cr 제1접합층(110); 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엔진 배기계 부품용 코팅재.
  4. 진공 상태의 챔버(200)를 플라즈마 상태로 만드는 단계;
    상기 챔버(200) 내에 위치한 모재(100)의 표면에 CrN 또는 Ti(C)N 제2접합층(120)을 증착하는 단계;
    상기 제2접합층(120)의 표면에 TiAlN 및 CrN 지지층(130)을 증착하는 단계; 및
    상기 지지층(130)의 표면에 TiAlN 및 CrSiN 또는 TiAlN 및 CrSiCN 기능층(140)을 증착하는 단계;
    를 포함하며,
    상기 제2접합층(120)의 두께는 0.1 내지 10 μm 이고, 상기 지지층(130)의 두께는 0.5 내지 10 μm 이며, 상기 기능층(140)의 두께는 0.5 내지 10 μm 인 것을 특징으로 하는 엔진 배기계 부품용 코팅재의 제조방법.
  5. 삭제
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제2접합층(120)을 증착하는 단계는,
    상기 모재(100)의 표면에 Ti 또는 Cr 제1접합층(110)을 증착한 다음 상기 제2접합층(120)을 증착하는 것을 특징으로 하는 엔진 배기계 부품용 코팅재의 제조방법.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 TiAlN 및 CrN 지지층(130)을 증착하는 단계는 상기 TiAlN 및 CrN 지지층(130)을 Ti : Al : Cr 의 비율이 1 : 1 : 1 로 증착하는 것을 특징으로 하는 엔진 배기계 부품용 코팅재의 제조방법.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 TiAlN 및 CrSiN 기능층(140)을 증착하는 단계는 상기 TiAlN 및 CrSiN 기능층(140)을 Ti : Al : Cr : Si 의 비율이 1 : 1 : 0.9 : 0.1 로 증착하는 것을 특징으로 하는 엔진 배기계 부품용 코팅재의 제조방법.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 TiAlN 및 CrSiCN 기능층(140)을 증착하는 단계는 상기 TiAlN 및 CrSiCN 기능층(140)을 Ti : Al : Cr : Si : C 의 비율이 1 : 1 : 0.8 : 0.1 : 0.1 로 증착하는 것을 특징으로 하는 엔진 배기계 부품용 코팅재의 제조방법.
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