KR101793684B1 - 그래핀 전사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 그래핀 전사방법 및 그래핀 전사장치에 관려된 것으로, 본 발명의 일측면에 따른 그래핀 전사방법은, 촉매금속필름의 적어도 일면에 적어도 하나의 층의 그래핀을 형성하는 그래핀 합성단계와, 접착성을 가지는 일면을 구비한 기판용 필름의 상기 일면을 상기 그래핀에 접촉시키고 제1롤러로 상기 촉매금속필름과 상기 기판용 필름을 압착시키는 기판용 필름 부착단계와, 적어도 하나의 층의 상기 그래핀이 상기 기판용 필름과 함께 상기 촉매금속필름으로부터 분리되도록 상기 기판용 필름을 상기 촉매금속필름으로부터 분리시키는 기판용 필름 분리단계를 포함한다.

Description

그래핀 전사장치{Apparatus for transferring grapheme}
본 발명은 그래핀을 기판에 전사하는 방법 및 그래핀을 기판에 전사하기 위한 장치에 관련된 것이다.
그래핀(Graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질로서, 그 두께가 매우 얇고 투명하며 전기 전도성이 매우 큰 특성을 가진다. 그래핀의 이러한 특성을 이용하여 그래핀을 투명 디스플레이 또는 휘어질 수 있는 디스플레이에 적용하려는 시도가 많이 이루어지고 있으며, 최근에는 그래핀을 대형으로 합성하려는 시도가 활발히 이루어지고 있다.
그래핀은 일반적으로 촉매금속을 이용한 화학기상증착법(Chemical vapor deposition)을 이용하여 합성된다.
화학기상증착법으로 촉매금속의 표면에 합성된 그래핀을 기판용 필름에 전사하기 위한 방법으로는 열박리 테이프를 그래핀에 부착하고, 에칭(etching)으로 촉매금속을 제거한 다음, 열박리 테이프의 그래핀을 기판용 필름으로 전사하는 방법이 사용된다.
그런데 이러한 그래핀 전사방법은 촉매금속을 에칭하는 과정에서 그래핀의 손상을 유발할 수 있다. 또한 열박리 테이프에 부착된 그래핀을 기판용 필름에 접착한 다음 열박리 테이프를 가열하여 분리하는 과정에서 그래핀이 열에 의한 손상을 입을 수 있다. 또한 그래핀을 열박리 테이프에 붙였다 떼는 과정에서 그래핀이 구겨지거나 파손되는 등의 기계적인 손상이 발생할 수도 있다.
본 발명의 일 측면은, 촉매금속에 형성된 그래핀을 직접 기판용 필름에 전사함으로써, 그래핀 전사과정을 더욱 간이화 및 신속화하고, 그래핀 전사과정에서 그래핀이 손상되는 것을 효과적으로 억제할 수 있는 그래핀 전사방법을 제공함에 목적이 있다.
또한 본 발명의 다른 일 측면은, 상기 그래핀 전사방법을 구현할 수 있는 그래핀 제조장치를 제공함에 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사방법은, 촉매금속필름의 적어도 일면에 적어도 하나의 층의 그래핀을 형성하는 그래핀 합성단계와, 접착성을 가지는 일면을 구비한 기판용 필름의 상기 일면을 상기 그래핀에 접촉시키고 제1롤러로 상기 촉매금속필름과 상기 기판용 필름을 압착시키는 기판용 필름 부착단계와, 적어도 하나의 층의 상기 그래핀이 상기 기판용 필름과 함께 상기 촉매금속필름으로부터 분리되도록 상기 기판용 필름을 상기 촉매금속필름으로부터 분리시키는 기판용 필름 분리단계를 포함한다.
또한 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사장치는, 적어도 일면에 적어도 한 층의 그래핀이 형성되며 일 방향으로 이송되는 촉매금속필름과, 접착성을 가지는 일면을 구비한 기판용 필름이 감겨져 배치되는 제1권출릴과, 상기 제1권출릴에서 권출된 상기 기판용 필름의 상기 접착성을 가지는 일면이 상기 그래핀에 접착되도록 상기 기판용 필름을 상기 촉매금속필름에 접근하는 방향으로 가압하는 제1롤러와, 상기 제1롤러를 통과한 상기 촉매금속필름으로부터 상기 기판용 필름을 분리시켜 감아주는 제1권취릴을 구비한다.
본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사방법에 의하면, 촉매금속에 형성된 그래핀을 직접 기판용 필름에 전사하는 방법을 제공함으로써, 그래핀 전사과정을 더욱 간이화 및 신속화하고, 그래핀 전사과정에서 그래핀이 손상되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 제조장치에 의하면, 상기 그래핀 전사방법을 효과적으로 구현할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사장치의 개략적인 모식도이다.
도 2 내지 도 4는 도 1의 그래핀 전사장치에 의해서 그래핀이 촉매금속필름으로부터 기판용 필름으로 전사되는 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사장치의 개략적인 모식도이다.
도 6 내지 도 8은 도 5의 그래핀 전사장치에 의해서 그래핀이 촉매금속필름으로부터 기판용 필름으로 전사되는 과정의 일부를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 전사방법에 관하여 설명한다. 본 실시예에서는 본 발명의 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사장치를 이용하는 것을 예를 들어 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 그래핀 전사장치의 개략적인 모식도이며, 도 2 내지 도 4는 도 1의 그래핀 전사장치에 의해서 그래핀이 촉매금속필름으로부터 기판용 필름으로 전사되는 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도면에 있어서 촉매금속필름(10), 그래핀(20) 및 기판용 필름(30)의 두께는 설명 상의 편의를 위해서 과장되게 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 그래핀 전사방법은 그래핀 합성단계, 기판용 필름 부착단계, 기판용 필름 분리단계를 포함한다.
그래핀 합성단계는 화학기상증착법을 이용하여, 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)에 그래핀(20)을 형성하는 단계이다. 그래핀(20)을 형성하기 위한 촉매금속으로는 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 백금(Pt), 금(Au), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 로지움(Rh), 실리콘(Si), 탄탈럼(Ta), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 우라늄(U), 바나듐(V) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군으로부터 적어도 일부를 포함한 소재로 이루어질 수 있다. 그러나 촉매금속은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 촉매 금속은 상기에 열거한 원소 외에 다른 원소를 포함하여 이루어질 수도 있다. 촉매금속필름(10)을 탄화수소 및 수소 등과 함께 합성 챔버에 넣고 고온으로 가열하면 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)에 그래핀(20)이 형성된다. 그래핀(20)은 하나의 층으로 형성되기도 하나 촉매금속의 종류 또는 합성 챔버 내의 환경에 따라서 복수 개의 층으로 형성될 수도 있다.
그래핀(20)이 형성된 촉매금속필름(10)은 도 1에 도시된 그래핀 전사장치(1)에 투입된다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에서 이용되는 그래핀 합성 장치(1)는 제1권출릴(110), 제2권출릴(120), 제1롤러(310), 제2롤러(320), 제3롤러(330), 제4롤러(340), 제1권취릴(210) 및 제2권취릴(220)을 구비한다.
제1권출릴(110) 및 제2권출릴(120)은 접착성을 가지는 일면(31)을 구비하는 기판용 필름(30)이 감겨져 배치되는 것으로, 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)으로 기판용 필름(30)을 각각 권출시킨다. 제1권출릴(110) 및 제2권출릴(120)에 감겨져 배치되는 기판용 필름(30)은 PET(polyethylene terephthalate)소재를 포함하여 이루어질 수 있으며, 일면(31)이 접착성을 가질 수 있도록 플라즈마(plasma) 처리되거나 접착성 물질이 도포될 수도 있다. 뿐만 아니라, 기판용 필름(30)은 내재적으로 접착성을 가지는 물질로 이루어질 수도 있다. 한편, 본 실시예서는 기판용 필름(30)의 일면(31)만이 접착성을 가지는 것으로 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 기판용 필름(30)은 일면(31)과 타면(32)이 모두 접착성 가지도록 구성될 수도 있다.
도 1을 참조하면 기판용 필름(30)은 접착성이 있는 일면(31)에 커버 필름(35)이 미리 접착된 상태에서 제1권출릴(110) 및 제2권출릴(120)에 감겨져 배치된다. 커버 필름(35)은 접착성을 가지지 않아서 기판용 필름(30)이 서로 달라 붙는 것을 방지해 줄 수 있으며, 기판용 필름(30)에 이물질이 침투하는 것을 방지해 줄 수 있다. 커버 필름(35)은 도 1에 도시된 바와 같이 기판용 필름(30)이 제1 및 제2롤러(310,320)으로 투입되기 전에 커버 필름 회수 롤러(410,420)에 의해서 기판용 필름(30)으로부터 벗겨진다.
제1 및 제2롤러(310,320)는 촉매금속필름(10)의 이송경로를 중심으로 서로 대칭되게 배치되며 소정의 간격으로 이격된다. 제1롤러(310) 및 제2롤러(320)는 제1권출릴(110) 및 제2권출릴(120)에서 권출된 기판용 필름(30)을 촉매금속필름(10)의 각면(11,12)에 접근하는 방향으로 가압하여, 기판용 필름(30)의 접착성을 가지는 일면(31)을 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)에 형성된 그래핀(20)에 접착시킨다. 즉 제1롤러(310)는 제1권출릴(110)에서 권출된 기판용 필름(30)을 촉매금속필름(10)의 일면(11)에 형성된 그래핀(20)에 접착시키고, 제2롤러(320)는 촉매금속필름(10)에서 제1권출릴(110)에서 권출된 기판용 필름(30)이 부착된 면(11)의 반대면(12)에 형성된 그래핀(20)에 제2권출릴(120)에서 권출된 기판용 필름(30)을 접착시킨다. 제1 및 제2롤러(310,320)는 기판용 필름(30)과 그래핀(20)이 더욱 효과적으로 부착되도록, 기판용 필름(30)을 가열하면서 가압할 수도 있다.
한편, 제1롤러(310) 및 제2롤러(320)는 촉매금속필름(10)과 기판용 필름(30)을 압착시키는 역할 외에도 촉매금속필름(10)을 일 방향(D1)으로 이송시켜 주는 역할도 한다.
제3 및 제4롤러(330,340)는 제1 및 제2롤러(310,320)와 제1 및 제2권취릴(210,220) 사이의 기판용 필름(30)을 촉매금속필름(10)에 접근하는 방향으로 가압한다. 즉 제3 및 제4롤러(330,340)는 제1 및 제2롤러(310,320)를 통과한 촉매금속필름(10) 및 기판용 필름(30)을 사이에 두도록 배치되어, 제1 및 제2롤러(310,320)를 통과한 촉매금속필름(10)과 기판용 필름(30)을 다시 한번 가압하여 압착 시켜주는 역할을 한다. 따라서 촉매금속필름(10)에 형성된 그래핀(20)과 기판용 필름(30) 사이의 접착력이 더욱 강화될 수 있다. 제3 및 제4롤러(330,340)도 기판용 필름(30)을 가열하면서 가압할 수 있다.
제1 및 제2권취릴(210,220)은 제1 내지 제4롤러(310,320,330,340)를 통과한 촉매금속필름(10)으로부터 기판용 필름(30)을 분리시켜 감아주는 역할을 한다.
이하에서는 상술한 그래핀 전사장치(1)를 이용하여 본 실시예의 기판용 필름 부착단계 및 기판용 필름 분리단계를 수행하는 과정에 대해서 설명한다.
기판용 필름 부착단계는 그래핀(20)이 형성된 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)에 기판용 필름(30)을 배치하고 이들을 제1 및 제2롤러(310,320) 사이로 투입하여, 촉매금속필름(10)의 그래핀(20)과 기판용 필름(30)을 제1 내지 제4롤러(310,320,330,340)로 압착하는 단계이다. 이때 기판용 필름(30)은 접착성을 가지는 일면(31)이 그래핀(20)에 접촉되도록 배치된다. 제1 및 제2롤러(310,320)를 통과하여 서로 일차적으로 압착된 촉매금속필름(10)과 기판용 필름(30)은 제3 및 제4롤러(330,340)를 통과하면서 더욱 견고하게 압착된다. 즉 도 2에 도시된 바와 같이 서로 분리되어 있던 촉매금속필름(10)과 기판용 필름(30)은, 본 단계를 거치면서 도 3에 도시된 바와 같이 그래핀(20)을 사이에 두고 서로 접착된다.
다음으로 기판용 필름 분리단계가 진행된다. 기판용 필름 분리단계는 제1 내지 제4롤러(310,320,330)를 통과하면서 서로 접착된 촉매금속필름(10)와 기판용 필름(30)을 다시 분리하고, 분리된 기판용 필름(30)을 제1 및 제2권취릴(210,220)에 감아주는 단계이다. 기판용 필름(30)과 그래핀(20) 사이의 접착력은 촉매금속필름(10)과 그래핀(20) 사이의 접착력에 보다 크기 때문에 기판용 필름(30)을 촉매금속필름(10)으로부터 분리시키면, 도 4에 도시된 바와 같이 그래핀(20)은 기판용 필름(30)과 함께 촉매금속필름(10)으로부터 이탈된다. 즉 촉매금속필름(10)에 형성된 그래핀(20)이 기판용 필름(30)으로 전사되는 것이다. 한편, 기판용 필름(30)의 접착성을 가지는 일면(31)의 그 반대면(32)은 접착성을 가지지 않으므로 기판용 필름(30)이 제1 및 제2권취릴(210,220)에 감기더라도 서로 달라붙지 않으므로, 그래핀(20)이 안정적으로 기판용 필름(30)에 접착된 상태를 유지할 수 있다.
상기의 과정을 통해서 그래핀(20)이 전사된 기판용 필름(30)은 패터닝(patterning) 공정 등을 거쳐 각종의 전자부품의 기판 등을 제조하는데 이용될 수 있다.
본 실시예에 따른 그래핀 전사방법에 따르면, 에칭(etching)공정이 필요 없으며, 열박리 테이프를 사용하지 않고 촉매금속필름(10)에서 기판용 필름(30)으로 직접적으로 전사할 수 있다. 따라서 그래핀(20)을 전사하는 과정이 더욱 간이화 및 신속화될 수 있고, 에칭공정에서 그래핀이 손상되는 문제 및 열박리 테이프에 그래핀을 붙였다 떼는 과정에서 그래핀이 손상되는 문제가 발생하지 않는다. 결과적으로 그래핀을 전사하는 과정에서 그래핀이 손상되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한 본 실시예에 따른 그래핀 전사방법에서는 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)에 그래핀(20)을 형성한 후 이들을 두 개의 기판용 필름(30)에 동시에 전사하므로 그래핀 전사공정의 속도가 매우 빠르다.
다음으로 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 그래핀 전사방법에 관하여 설명한다. 본 실시예에서는 본 발명의 또 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사장치를 이용하는 것으로 예를 들어 설명한다.
도 5는 본 발명의 또 다른 일 측면에 따른 그래핀 전사장치의 개략적인 모식도이며, 도 6 내지 도 8는 도 5의 그래핀 전사장치에 의해서 그래핀이 촉매금속필름으로부터 기판용 필름으로 전사되는 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
본 실시예에 따른 그래핀 전사방법도 그래핀 합성단계, 기판용 필름 부착단계, 기판용 필름 분리단계를 포함한다.
그래핀 합성단계는 상술한 바와 같이, 화학기상증착법을 이용하여 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)에 그래핀(20)을 합성하는 단계이다. 본 실시예에서는 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)에 복수 개의 층으로 그래핀(20)이 형성될 수 있도록, 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co), 백금(Pt), 이리듐(Ir), 루비듐(Rb) 중 적어도 하나의 소재를 포함하는 촉매금속필름(10)을 이용한다. 이들 금속으로 이루어진 촉매금속필름(10)을 이용하여 화학기상증착법으로 합성된 그래핀은 다층 구조를 가지는 경우가 많기 때문이다.
그래핀 합성단계를 거쳐 양면(11,12)에 다층의 그래핀(20)이 형성된 촉매금속필름(10)은 도 5에 도시된 그래핀 전사장치(2)에 투입된다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에서 이용되는 그래핀 전사장치(2)는 도 1에 도시된 그래핀 전사장치(1)에 추가적으로 제3권출릴(130), 제4권출릴(140), 제5 내지 제8롤러(350,360,370,380), 제3권취릴(230) 및 제4권취릴(240)을 더 구비한다.
제1 및 제2권출릴(110,120)에서 권출된 기판용 필름(30)과 다층의 그래핀(20)이 형성된 촉매금속필름(10)을 제1 및 제2롤러(310,320)의 사이에 투입함으로써 기판용 필름 부착단계가 수행된다. 도 5에는 도시되지 않았으나, 제1 및 제2권출릴(110,120)에 감겨진 기판용 필름(30)의 접착성을 가지는 일면(31)에는 도 1에 도시된 바와 같이 커버 필름이 부착되어 있을 수 있으며, 이 경우에 커버 필름은 기판용 필름(30)이 제1 및 제2롤러(310,320)로 투입되기 전에 벗겨진다.
도 6에 도시된 바와 같이 서로 이격된 기판용 필름(30)과 촉매금속필름(10)은 제1 내지 제4롤러(310,320,330,340)를 통과하면서 도 7에 도시된 바와 같이 서로 압착된다.
이와 같이 기판용 필름 부착단계가 완료되면, 기판용 필름(30)을 제1 및 제2권취릴(210,220)에 감아줌으로써 기판용 필름(30)을 촉매금속필름(10)으로부터 분리시키는 기판용 필름 분리단계를 수행한다. 다층의 그래핀(20)에 있어서 그 층간의 결합력은 매우 약하기 때문에 기판용 필름(30)을 촉매금속필름(10)으로부터 분리시키면 도 8에서와 같이 기판용 필름(30)의 접착성을 가지는 일면(31)에 접착된 그래핀(20a) 만이 촉매금속필름(10)으로부터 분리된다. 즉 기판용 필름(30)의 양면(31,32)에 접하는 그래핀(20b)은 촉매금속필름(10)에 그대로 남아있게 된다.
양면에 그래핀(20b)이 남아있는 촉매금속필름(10)을 제3 및 제4권출릴(130, 140)로부터 권출된 기판용 필름(30)과 함께 제5롤러(350)와 제6롤러(360) 사이로 투입함으로써 기판용 필름 부착단계를 다시 수행한다. 도 5에는 도시되지 않았으나, 제3 및 제4권출릴(130, 140)에 감겨진 기판용 필름(30)의 접착성을 가지는 일면(31)에도 도 1에 도시된 바와 같이 커버 필름이 부착되어 있을 수 있으며, 이 경우에 커버 필름은 기판용 필름(30)이 제5 및 제6롤러(350,360)로 투입되기 전에 벗겨진다.
제5 내지 제8롤러(350,360,370,380)는 제1 및 제2권출릴(110,120)에서 권출된 기판용 필름(30)과 분리된 촉매금속필름(10)에 제3 및 제4권출릴(130,140)에서 권출된 기판용 필름(30)을 압착시킨다. 따라서 제5롤러(350)와 제6롤러(360)로 투입된 촉매금속필름(10)과 기판용 필름(30)은 제5 내지 제8롤러(350,360,370,380)를 지나면서 서로 압착되어 도 3에 도시된 바와 같은 상태가 된다.
다음으로, 제3 및 제4권취릴(230,240)에 기판용 필름(30)을 감아줌으로써 기판용 필름(30)을 촉매금속필름(10)으로부터 분리시키는 기판용 필름 분리단계를 다시 수행한다. 이 단계에서 기판용 필름(30)은 도 4에 도시된 바와 같이, 촉매금속필름(10)에서 분리되면서 촉매금속필름(10)에 남아있는 그래핀(20b)을 떼어내게 된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 그래핀 전사방법에 따르면, 촉매금속필름(10)에 복수의 층으로 형성된 그래핀을 차례로 촉매금속필름(10)으로부터 분리시키며 기판용 필름(30)에 전사할 수 있다. 따라서 그래핀 합성단계를 한 번만 수행하더라도 복수 회에 걸쳐서 그래핀(20)을 기판용 필름(30)에 전사할 수 있으므로, 그래핀(20)의 전사 속도가 효과적으로 증가될 수 있다.
이상, 본 발명의 일부 실시예에 따른 그래핀 전사방법 및 그래핀 전사장치(1,2)에 관하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니며 본 발명의 기술적 사상의 범주 내에서 다양한 형태로 구체화 될 수 있다.
예를 들면, 상기 실시예에서는 릴투릴(Reel to Reel) 방식으로 그래핀을 전사하는 것으로 설명하였으나, 이와는 달리 패널 형태의 촉매금속에 그래핀을 형성한 후 패널 형태의 기판용 필름을 접착했다 분리시키는 방식으로도 그래핀을 전사할 수도 있다.
또한 상기 실시예에서는 그래핀(20)이 한 층씩 촉매금속필름(10)으로부터 분리되는 것으로 설명하였으나, 기판용 필름(30)의 접착력의 크기에 따라 복수의 층의 그래핀(20)이 기판용 필름(30)으로 전사될 수도 있다.
또한 상기 실시예에서는 촉매금속필름(10)의 양면(11,12)에 그래핀(20)이 형성되는 것으로 설명하였으나, 이와는 달리 촉매금속필름(10)의 일면에만 그래핀이 형성될 수도 있다. 이 경우, 그래핀 전사장치(1,2)에서 제2권출릴(120), 제2권취릴(220), 제4권출릴(140) 및 제4권취릴(240)은 구비되지 않아도 된다. 또한 촉매금속필름(10)은 컨베이어 벨트에 의해서 일 방향으로 이송되면서 제1, 제3, 제5 및 제7롤러(310,330,350,370)에 의해서만 압착될 수도 있다.
이 외에도 본 발명은 다양한 형태로 구체화될 수 있다.
1,2 … 그래핀 전사장치 10 … 촉매금속필름
20 … 그래핀 30 … 기판용 필름
110 … 제1권출릴 120 … 제2권출릴
130 … 제3권출릴 140 … 제4권출릴
210 … 제1권취릴 220 … 제2권취릴
230 … 제3권취릴 240 … 제4권취릴
310 … 제1롤러 320 … 제2롤러
330 … 제3롤러 340 … 제4롤러

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  8. 적어도 일면에 복수의 층의 그래핀이 형성되며, 일 방향으로 이송되는 촉매금속필름;
    접착성을 가지는 일면을 구비한 기판용 필름이 감겨져 배치되는 제1권출릴;
    상기 제1권출릴에서 권출된 상기 기판용 필름의 상기 접착성을 가지는 일면이 상기 그래핀에 접착되도록, 상기 기판용 필름을 상기 촉매금속필름에 접근하는 방향으로 가압하는 제1롤러;
    상기 제1롤러를 통과한 상기 촉매금속필름으로부터 상기 기판용 필름을 분리시켜 감아주는 제1권취릴;
    접착성을 가지는 일면을 구비한 기판용 필름이 감겨져 배치되는 제3권출릴;
    상기 제1권출릴에서 권출된 상기 기판용 필름이 분리된 상기 촉매금속필름에 상기 제3권출릴로부터 권출된 기판용 필름을 압착시키는 제5롤러; 및
    상기 제5롤러에 의해 압착된 상기 제3권출릴로부터 권출된 기판용 필름을 상기 제5롤러를 통과한 촉매금속필름으로부터 분리시켜 감아주는 제3권취릴을 포함하는 그래핀 전사장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 층의 그래핀은 상기 촉매금속필름의 양면에 형성되며,
    접착성을 가지는 일면을 구비한 기판용 필름이 감겨져 배치되는 제2권출릴;
    상기 제2권출릴에서 권출된 상기 기판용 필름의 상기 접착성을 가지는 일면이, 상기 촉매금속필름의 상기 제1권출릴에서 권출된 상기 기판용 필름이 접착되는 면의 반대면에 형성된 상기 그래핀에 접착되도록, 상기 제2권출릴에서 권출된 상기 기판용 필름을 상기 촉매금속필름에 접근하는 방향으로 가압하는 제2롤러; 및
    상기 제2롤러를 통과한 상기 촉매금속필름으로부터 상기 제2권출릴에서 권출된 상기 기판용 필름을 분리시켜 감아주는 제2권취릴을 더 포함하는 그래핀 전사장치.
  10. 제9항에 있어서,
    접착성을 가지는 일면을 구비한 기판용 필름이 감겨져 배치되는 제4권출릴;
    상기 제2권출릴에서 권출된 상기 기판용 필름이 분리된 상기 촉매금속필름에 상기 제4권출릴로부터 권출된 기판용 필름을 압착시키는 제6롤러; 및
    상기 제6롤러에 의해 압착된 상기 제4권출릴로부터 권출된 기판용 필름을 상기 제6롤러를 통과한 촉매금속필름으로부터 분리시켜 감아주는 제4권취릴을 더 포함하는 그래핀 전사장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 제1롤러와 상기 제1권취릴 사이의 기판용 필름을 상기 촉매금속필름에 접근하는 방향으로 가압하는 제3롤러를 더 구비하는 그래핀 전사장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제3롤러와 함께 상기 기판용 필름 및 상기 촉매금속필름을 사이에 두고 가압하는 제4롤러를 더 구비하는 그래핀 전사장치.
  13. 삭제
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