KR101788367B1 - 기판 접합 장치, 표시 패널 제조 장치 및 표시 패널 제조 방법 - Google Patents

Abstract

접착층을 균일하게 압박하여 기판과 접착층을 밀착시켜, 보이드의 발생을 저감한다.
기판 접합 장치(20)는, 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)을, 액정 패널(S1)의 표면에 형성된 접착층(R1)을 통해 접합시키는 것이며, 액정 패널(S1)을 지지하는 지지부로서의 하측 플레이트(22)와, 보호 패널(S2)을 액정 패널(S1)에 대향하는 위치에서 유지하는 유지부로서의 상측 플레이트(23)와, 상측 플레이트(23)를 구동시킴으로써 접착층(R1)을 통해 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)을 접합하는 승강 기구(25)와, 하측 플레이트(22)의 표면 상에 마련되고, 접착층(R1)과 상사(相似) 형상이며 대략 동일한 크기를 가지고, 액정 패널(S1)의 접착층(R1)이 형성된 부분만을 압박하는 탄성 시트(24)를 구비한다.

Description

기판 접합 장치, 표시 패널 제조 장치 및 표시 패널 제조 방법{SUBSTRATE BONDING APPARATUS, APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL}

본 발명은 기판 접합 장치와 기판 접합 장치를 구비한 표시 패널 제조 장치, 및 표시 패널 제조 방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이나 유기 EL 디스플레이 등에 이용되는 표시 패널은, 2개의 기판, 예컨대 액정 패널이나 유기 EL 패널 등의 표시용 패널과, 보호 패널(커버 패널)을 적층한 구성으로 되어 있다. 이들 2개의 기판은, 예컨대, 접착층을 통해 접합된다. 이러한 표시 패널의 제조 장치는, 접착층 형성부와 접합부를 구비하고 있다. 접착층은, 예컨대, 접착제나 점착성의 필름 등의 접착재에 의해 형성된다. 예컨대, 접착재로서 접착제를 사용한 경우, 접착층 형성부에 있어서, 적어도 한쪽의 기판의 표면에 접착제가 도포되어, 미리 정해진 두께를 갖는 접착층이 형성된다. 그리고, 접합부에 있어서, 2개의 기판은 접착층을 사이에 두고 적층되어, 접합된다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2012-73300호 공보

접합부는, 2개의 기판을 사이에 두고 압박한다. 이 압박 부분이 평행이 아니거나, 평면이 아니거나 한 경우, 접합 시에 불균일한 힘이 기판에 가해져 버려, 접착층과 기판 사이가 밀착하지 않고 보이드가 발생하여 버릴 가능성이 있다. 보이드의 발생을 막기 위해서는, 접합부를 구성하는 기판 접합 장치의 각 부의 정밀도를 높게 하여, 기판에 대하여 균일하게 압력을 가하여 적층하는 것이 생각된다. 그러나 그와 같은 정밀도가 높은 장치는, 비용이 든다.

또한, 기판은, 그 표면이 반드시 균일한 평면으로 되어 있지 않은 경우가 있고, 혹은 표면에 주름이 존재하는 경우도 있다. 그와 같은 경우, 기판을 균일한 힘으로 압박하여도, 압박력이 전달되지 않는 부분이나, 혹은 압박력이 지나치게 가해져 버리는 부분이 생기는 경우가 있다. 또한, 기판을 끼워 압박하는 상하의 플레이트의 평행도나 평면도에 오차가 생기는 경우도 있다. 그와 같은 경우, 기판과 접착층이 밀착하지 않고, 보이드가 발생하여 버릴 가능성도 있다. 특히, 접착재로서 접착제를 사용한 경우, 기판 표면에 형성되는 접착층은 변형되기 쉽다. 그와 같은 접착층에 불균일한 힘이 가해지면, 접착층과 기판 사이에 보이드가 생길 가능성은 더욱 높아진다.

본 발명은, 전술한 바와 같이 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 낮은 비용으로, 기판 접합 시에 접착층을 균일하게 압박하여, 기판과 접착층을 밀착시켜 보이드의 발생을 저감시킬 수 있는 기판 접합 장치, 기판 접합 장치를 구비하는 표시 패널 제조 장치 및 표시 패널 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 기판 접합 장치는, 한쌍의 기판을, 적어도 한쪽의 기판의 표면에 형성된 접착층을 통해 접합시키는 것으로서, 제1 기판을 지지하는 지지부와, 제2 기판을, 상기 제1 기판에 대향하는 위치에서 유지하는 유지부와, 상기 지지부 및 유지부 중 적어도 한쪽을 구동시킴으로써, 상기 접착층을 통해 한쌍의 기판을 접합시키는 구동부와, 상기 지지부 또는 상기 유지부의 표면 상에 마련되고, 상기 접착층과 상사(相似) 형상이며 대략 동일한 크기를 가지고, 상기 제1 또는 제2 기판의 상기 접착층이 형성된 부분만을 압박하는 탄성 시트를 구비한다.

본 발명에 있어서, 상기 탄성 시트는, 상기 제1 또는 제2 기판과 접하는 면이, 상기 접착층의 상기 제1 또는 제2 기판에 부착하는 면과, 상사 형상이며 대략 동일한 크기를 갖는다.

본 발명의 일양태로서, 상기 탄성 시트는, 독립 구멍을 갖는 발포 수지로 구성된다.

본 발명의 표시 패널 제조 장치는, 표시용 패널을 포함하는 한쌍의 기판이 접착층을 통해 접합된 표시 패널을 제조하는 것이며, 한쌍의 기판 중, 적어도 한쪽의 기판의 표면에 접착층을 형성하는 접착층 형성부와, 상기 한쌍의 기판을, 상기 접착층을 통해 접합시키는 접합부와, 상기 한쌍의 기판을, 상기 접착층 형성부와 상기 접합부 사이에서 반송하는 반송부를 가지고, 상기 접합부는, 제1 기판을 지지하는 지지부와, 제2 기판을, 상기 제1 기판에 대향하는 위치에서 유지하는 유지부와, 상기 지지부 및 상기 유지부 중 적어도 한쪽을 구동시킴으로써, 상기 접착층을 통해 한쌍의 기판을 접합시키는 구동부와, 상기 지지부 또는 상기 유지부의 표면 상에 마련되며, 상기 접착층과 상사 형상으로 대략 동일한 크기를 가지고, 상기 제1 또는 제2 기판의 상기 접착층이 형성된 부분만을 압박하는 탄성 시트를 구비한다.

본 발명의 일양태로서, 상기 접착층 형성부는, 접착제를 상기 적어도 한쪽의 기판의 표면에 도포하여 상기 접착층을 형성하는 접착제 도포 장치를 구비하고, 상기 접착제 도포 장치는, 상기 접착제의 도포 영역을 조정하여, 상기 적어도 한쪽의 기판의 표면에, 상기 탄성 시트의 상기 제1 또는 제2 기판과 접하는 면과 상사 형상이며 대략 동일한 크기의 면을 갖는 접착층을 형성한다.

본 발명의 표시 패널의 제조 방법은, 표시용 패널을 포함하는 한쌍의 기판을 접착층을 통해 접합시켜 표시 패널의 제조를 행하는 방법으로서, 한쌍의 기판 중, 적어도 한쪽의 기판의 표면에 접착층을 형성하는 공정과, 제1 기판을 지지부에 의해 지지하는 공정과, 제2 기판을, 상기 제1 기판에 대향하는 위치에서 유지부에 의해 유지하는 공정과, 상기 지지부 및 상기 유지부 중 적어도 한쪽을 구동부에 의해 구동시킴으로써, 상기 접착층을 통해 한쌍의 기판을 접합시키는 공정을 구비하고, 상기 한쌍의 기판을 접합시키는 공정에 있어서, 상기 지지부 또는 상기 유지부의 표면 상에 마련된 상기 접착층과 상사 형상이며 대략 동일한 크기를 갖는 탄성 시트에 의해, 상기 제1 또는 제2 기판의 상기 접착층이 형성된 부분만을 압박한다.

본 발명에 따르면, 탄성 시트를 통해 기판을 접합시킴으로써, 기판의 표면에 불균일한 부분이나 주름이 있거나, 기판을 압박하는 플레이트의 평행도나 평면도에 오차가 있어도, 기판 사이의 접착층에 압박력을 균일하게 전달할 수 있다. 또한, 탄성 시트를 접착층과 상사 형상이며 대략 동일한 크기로 함으로써, 탄성 시트는, 기판의 접착층이 형성된 부분만을 압박한다. 따라서, 접착층은 기판을 통해 균일하게 압박되고, 또한 다른 부분에는 여분의 힘이 가해지지 않기 때문에, 접착층은 충분히 신전하여 기판과 밀착하여, 보이드의 발생을 저감할 수 있다. 이에 의해, 낮은 비용으로, 품질이 높은 액정 표시 패널을 제조하는 것이 가능하고, 또한 제조 효율을 향상시킨 기판 접합 장치, 표시 패널 제조 장치 및 표시 패널 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 표시 패널 제조 장치의 개략 구성도이다.
도 2는 표시 패널 제조 장치의 도포부의 구조 및 작용을 나타내는 도면이다.
도 3은 표시 패널 제조 장치의 접합부의 구조 및 작용을 나타내는 도면이다.
도 4는 접합 시의 탄성 시트의 작용을 설명하는 모식도이다.
도 5는 탄성 시트를 마련하지 않은 접합의 상태를 설명하는 모식도이다.
도 6은 탄성 시트를 마련한 접합의 상태를 설명하는 모식도이다.
도 7은 비교예로서, 탄성 시트가 접착층보다 큰 경우의 접합의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 8은 비교예로서, 탄성 시트가 접착층보다 작은 경우의 접합의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 9는 표시 패널 제조 장치의 경화부의 구조 및 작용을 나타내는 도면이다.
도 10은 압력 분포 측정 시험에 있어서의 도포부의 구성 및 작용을 나타내는 도면이다.
도 11의 (A)는 실시예 1의 압력 분포도이며, (B)는 실시예 4의 압력 분포도이다.
도 12의 (A)는 비교예 2의 압력 분포도이며, (B)는 비교예 3의 압력 분포도이다.
도 13의 (A)는 시험 2에 있어서의 실시예 1의 압력 측정 시험 1회째의 압력 분포도이며, (B)는 실시예 1의 압력 측정 시험 600회째의 압력 분포도이다.
도 14의 (A)는 시험 2에 있어서의 실시예 2의 압력 측정 시험 1회째의 압력 분포도이며, (B)는 실시예 2의 압력 측정 시험 600회째의 압력 분포도이다.
도 15의 (A)는 시험 2에 있어서의 실시예 4의 압력 측정 시험 1회째의 압력 분포도이며, (B)는 실시예 4의 압력 측정 시험 600회째의 압력 분포도이다.

본 발명의 실시형태(이하, 실시형태라고 부름)에 대해서, 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 또한, 실시형태에서는, 표시 패널 제조 장치에 있어서 제조되는 표시 패널의 예로서, 액정 표시 패널을 이용한다. 또한, 기판 접합 장치에 있어서 접합되는 한쌍의 기판의 예로서, 표시용 패널인 액정 패널과, 액정 패널을 커버하는 보호 패널을 이용한다. 즉, 액정 패널과 보호 패널을, 접착층을 통해 적층하여 접합시킴으로써, 액정 표시 패널이 구성된다.

접착층은, 액정 패널 및 보호 패널 중 어느 한쪽의 표면, 혹은 양방의 표면에 접착재를 부여함으로써 형성할 수 있다. 접착재는, 예컨대 수지를 이용한 접착제나, 점착 필름을 이용할 수 있다. 본 실시형태의 표시 패널 제조 장치에 있어서는, 접착제를 사용하여 접착층을 형성하는 경우를 주로 설명한다.

[구성]

(표시 패널 제조 장치)

도 1에 나타내는 바와 같이, 표시 패널 제조 장치(100)는, 도포부(1), 접합부(2), 경화부(3) 및 반송부(4)를 구비한다. 표시 패널 제조 장치(100)는, 또한, 제어 장치(7)를 구비하고 있다. 제어 장치(7)는, 각 부를 구성하는 장치의 동작의 제어나, 기판의 반송 타이밍의 제어를 행한다.

반송부(4)는, 액정 패널(S1) 및 보호 패널(S2)을 각 부에 반송하는 반송 수단과 그 구동 기구로 구성된다. 반송 수단은, 예컨대, 턴테이블, 컨베이어 등이 생각되지만, 상기 각 부 사이에서 기판을 반송 가능한 것이면, 어떠한 장치여도 좋다.

액정 패널(S1) 및 보호 패널(S2)은, 로더(5)에 의해 표시 패널 제조 장치(100)에 반입되고, 반송부(4)에서 반송된다. 반송부(4)를 따라 도포부(1), 접합부(2) 및 경화부(3)가 배치되어 있고, 도시하지 않는 픽업 수단에 의해, 액정 패널(S1) 및 보호 패널(S2)의 각 부에의 반입 및 반출이 이루어진다. 각 부에서의, 이하에 상세하게 서술하는 공정을 거쳐, 액정 표시 패널(L)이 제조되고, 언로더(6)에 의해 표시 패널 제조 장치(100)로부터 반출된다.

(도포부)

도포부(1)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판의 표면에 접착제(R)를 도포하는 접착제 도포 장치(10)를 구비한다. 도포부(1)는, 본 실시형태에 있어서, 기판의 표면에 접착제(R)에 의해 접착층을 형성하는 접착층 형성부로서 작용한다. 접착제(R)의 도포는, 액정 표시 패널을 구성하는 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2) 중 어느 한쪽에 행하여도 좋고, 혹은 쌍방에 행하여도 좋다. 본 실시형태에서는, 액정 패널(S1)의 표면에 접착제(R)를 도포하는 예에 대해서 설명한다.

접착제 도포 장치(10)는, 반송부(4)에서 반송되며, 도시하지 않는 픽업 수단에 의해 도포부(1)에 반입된 액정 패널(S1)이 배치되는 스테이지(11)와, 스테이지(11) 상에 배치된 도포 유닛(12)과 UV 조사 유닛(13)을 구비한다.

도포 유닛(12)은, 액정 패널(S1)에 대하여 접착제(R)를 도포한다. 도포 유닛(12)은, 접착제(R)를 수용하는 탱크(T)와, 배관을 통해 탱크(T)에 접속된 디스펜서(14)를 구비하고 있다. 디스펜서(14)로서, 예컨대, 선단에 슬릿형의 노즐을 구비한 슬릿 코터를 이용할 수 있다. 디스펜서(14)는 주사 장치(도시하지 않음)에 의해 스테이지(11) 상을 이동 가능하게 구성되며, 탱크(T)에 수용된 접착제(R)를 액정 패널(S1)에 토출한다. 또한, 주사 장치에 의해 접착제(R)의 도포 영역을 조정 가능하다. 또한, 도포 유닛(12)은, 도시하지 않는 진퇴 구동 수단을 구비하고 있으며, 도포 유닛(12)을 스테이지(11)에 대하여 진퇴 가능하게 구동시킨다. 물론, 도포 유닛(12)과 스테이지(11)가 상대적으로 이동되면 좋고, 스테이지(11)가 구동되어도 좋다.

도 2의 (A)에 나타내는 바와 같이, 도포 유닛(12)이 스테이지(11) 상에 진입하여, 디스펜서(14)의 노즐로부터 액정 패널(S1)에 접착제(R)를 토출한다. 이 디스펜서(14)를, 주사 장치에 의해 주사함으로써, 액정 패널(S1)의 표면 전체에, 접착제(R)가 고루 퍼지도록 공급해 간다. 또한, 디스펜서(14)로서 슬릿 코터를 이용한 경우, 도 2의 (B)에 나타내는 바와 같이, 외측 가장자리부에 융기가 생긴다. 도포가 완료하면, 도포 유닛(12)은 스테이지(11) 상으로부터 후퇴한다.

UV 조사 유닛(13)은, 자외선(UV)을 발할 수 있는 하나 또는 복수의 램프나 LED 등으로 구성되어 있으며, 스테이지(11) 상에 배치되어 있다. 도 2의 (C)에 나타내는 바와 같이, UV 조사 유닛(13)은, 액정 패널(S1)의 표면에 도포된 접착제(R)에 대하여, UV 조사를 행한다.

본 실시형태에 있어서, 접착제(R)는 자외선(UV) 경화 수지를 이용한다. 그 때문에, UV 조사에 의해 접착제(R)는 경화한다. 단, 이 도포부(1)에 있어서의 UV 조사는, 약한 조사 강도이며, 혹은 산소 저해가 일어나도록 대기 하에서 행해지고 있다. 그 때문에, 접착제(R)는, 미경화 부분이 잔류한 상태를 넓게 포함하는, 소위 가경화의 상태가 된다. 즉, UV 조사 유닛(13)은 표시 패널 제조 장치의 가경화부로서 기능한다. 이에 의해, 도 2의 (D)에 나타내는 바와 같이, 액정 패널(S1)의 표면에는, 접착제(R)가 가경화된, 미리 정해진 두께를 갖는 접착층(R1)이 형성된다. 또한, 전술한 바와 같이 디스펜서(14)로서 슬릿 코터를 이용한 경우에는, 접착층(R1)의 상면측의 외측 가장자리부는 융기하며, 그 바로 내측에는 함몰이 생긴다.

가경화의 상태로 됨으로써, 접착층(R1)의 유동이 억제되어, 후술하는 접합까지의 반송 등의 시간이나 접합에 있어서, 도포 형상의 붕괴나 패널 밖으로의 접착층(R1)이 비어져 나오는 것이 방지된다. 게다가, 미경화 부분이 잔류하고 있기 때문에, 접착층(R1)의 접착성이나 쿠션성은 유지된다.

단, 가경화 상태라도, 접착층(R1)에는 약간의 유동성이 남는다. 전술한 바와 같이, 접착제(R)는 액정 패널(S1)의 표면 전체에 고루 퍼지도록 도포되지만, 액정 패널(S1)의 가장자리 부분을 약간 남기도록 도포는 행해진다. 이에 의해, 후술하는 접합에 있어서, 접착층(R1)은 패널의 약간 남은 부분에도 고루 퍼지며 패널 밖으로 과대하게 비어져 나오는 것이 방지된다.

또한, 도 2의 예에서는, 접합 시에 접착층(R1)이 신전하는 것을 고려하여, 접착제(R)는 액정 패널(S1)의 가장자리의 부분을 약간 남기도록 도포되지만, 이것은 어디까지나 일례이다. 접착제(R)의 점도나 가경화 후의 접착층(R1)의 굳기에 따라서는, 액정 패널(S1)의 가장자리까지 미치도록 도포하여도 좋다.

접착층(R1)이 형성된 액정 패널(S1)은, 도시하지 않는 픽업 수단에 의해 도포부(1)로부터 반출되고, 반송부(4)에서 반송되어, 접합부(2)에 반입된다. 여기서, 보호 패널(S2)도, 접합부(2)에 반입된다. 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)의 반송 타이밍은, 접합부(2)에서 합류할 수 있도록 조정하면 좋고, 하나에 한정되는 것이 아니다.

예컨대, 보호 패널(S2)을 액정 패널(S1)과 동시에 표시 패널 제조 장치(100)에 반입하는데, 도포부(1)는 통과하여 먼저 접합부(2)에 반입한다. 그리고, 액정 패널(S1)이 도포부(1)에서 접착제(R)가 도포되고 있는 동안은, 접합부(2)에 있어서 대기하고 있어도 좋다. 혹은, 보호 패널(S2)은, 액정 패널(S1)보다 뒤의 타이밍에 표시 패널 제조 장치(100)에 반입하고, 도포부(1)에서의 도포가 완료한 액정 패널(S1)과 동일한 타이밍에 접합부(2)에 반입하도록 하여도 좋다.

또한, 접착재로서 점착 필름을 이용한 경우에는, 표시 패널 제조 장치(100)에, 도포부(1) 대신에 필름 점착부를 구비하도록 하면 좋다. 필름 점착부에 있어서, 예컨대, 액정 패널(S1)의 표면에 점착 필름을 점착한다. 점착 필름은 양면에 점착면이 형성되고, 한쪽의 점착면에는 박리지가 점착된 것을 사용한다. 박리지가 점착되어 있지 않은 점착면을 액정 패널(S1)의 표면에 중합시켜 점착하고, 박리지를 박리함으로써, 접착층을 형성할 수 있다. 점착 필름의 점착 및 박리지의 박리에 대해서는, 기존의 장치를 이용할 수 있다. 또한, 필름 점착부를 마련하는 대신에, 표시 패널 제조 장치(100)에의 반입 전에, 미리 액정 패널(S1)에 점착 필름을 점착하고 있어도 좋다.

(접합부)

접합부(2)는, 도 3의 (A)에 나타내는 바와 같이, 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)을 적층하여 접합하는 기판 접합 장치(20)를 구비한다. 기판 접합 장치(20)는, 챔버(21) 내에 하측 플레이트(22)와 상측 플레이트(23)를 대향 배치한 구성으로 되어 있다. 챔버(21)는 상하 이동이 가능하고, 상방으로 이동하면 하측 플레이트(22)와 상측 플레이트(23)가 외부에 개방되어 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)이 반입 가능해진다. 하방으로 이동하면 하측 플레이트(22)와 상측 플레이트(23)는 챔버(21) 내에 수용되어, 챔버(21) 내부에 밀폐 공간이 형성된다. 챔버(21)는 도시하지 않는 배기 수단에 의해 내부 압력을 조정 가능하게 되어 있다. 즉, 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)이 반입되면, 챔버(21)가 하강하여 내부가 밀폐된 뒤에 감압되어, 감압 분위기 하에서 접합이 행해지도록 되어 있다.

하측 플레이트(22)는, 지지부로서, 플레이트 상에 배치된 기판을 지지한다. 상측 플레이트(23)는, 유지부로서, 기판을 유지 기구에 의해 유지한다. 본 실시형태에서는, 예로서, 하측 플레이트(22)에, 접착제(R)가 도포된 액정 패널(S1)이 지지되고, 상측 플레이트(23)에 보호 패널(S2)이 유지되는 경우를 설명한다.

상측 플레이트(23)의 유지 기구로서, 예컨대, 정전 척, 메커니컬 척, 진공 척, 점착 척 등, 현재 또는 장래에 있어서 이용 가능한 모든 유지 기구가 적용 가능하다. 복수의 척을 병용하는 것도 가능하다. 상측 플레이트(23)에는, 구동부로서, 승강 기구(25)가 구비되어 있다. 이 승강 기구(25)에 의해, 상측 플레이트(23)는 하측 플레이트(22)에 접촉 분리 가능하게 이동하고, 도 3의 (B)에 나타내는 바와 같이, 상측 플레이트(23)에 유지된 보호 패널(S2)을 하측 플레이트(22)에 지지된 액정 패널(S1)에 압착하여 적층한다. 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)은, 액정 패널(S1)의 표면에 형성된 접착층(R1)을 통해 접합되어, 적층 패널(S10)이 형성된다.

하측 플레이트(22)는, 배치된 액정 패널(S1)의 위치가 어긋나지 않도록, 상측 플레이트(23)와 동일한 유지 기구를 구비하고 있어도 좋다. 하측 플레이트(22)의, 액정 패널(S1)이 배치되는 표면에는, 탄성 시트(24)가 부착되어 있다. 탄성 시트(24)는 미리 정해진 두께를 갖는 시트이며, 두께의 분만큼 하측 플레이트(22)의 표면으로부터 돌출하고 있다. 따라서, 하측 플레이트(22)는, 이 탄성 시트(24)를 통해 액정 패널(S1)을 지지하게 된다.

탄성 시트(24)는, 예컨대, 연질 수지로 구성할 수 있다. 연질 수지로서는, 예컨대, 발포 수지를 사용할 수 있다. 발포 수지는 내부에 빈 구멍이 다수 형성되고, 그 빈 구멍에 기체가 내포되기 때문에, 탄력성이 높다. 또한, 발포 수지의 내부에 형성되는 빈 구멍은 독립 구멍인 것이 바람직하다. 독립 구멍은, 하나하나가 폐색되어 독립된 구멍이다. 한편, 하나의 빈 구멍이 다른 빈 구멍에 연결되어 연속하고 있는 것을 연속 구멍이라고 한다. 빈 구멍이 연속 구멍이었던 경우, 내포된 기체가 빠지기 쉬워, 탄성도 유지하기 어렵다. 빈 구멍이 독립 구멍이면, 내포된 기체가 빠지기 어려워, 안정된 탄성을 장기간 유지할 수 있다. 독립 구멍이 형성되는 발포 수지로서, 예컨대, 발포 실리콘을 이용할 수 있다. 연질 수지로서, 그 외에도, 예컨대, 니트릴 고무, 불소 고무, 우레탄 고무 등의 수지 고무나 실리콘 겔 등의 수지 겔을 이용할 수 있다.

또한, 반드시 발포 수지의 모든 빈 구멍이 독립 구멍일 필요는 없고, 대략 80％ 이상이 독립 구멍이면, 연속 구멍이 존재하고 있어도 좋다. 또한, 탄성 시트(24)의 표리면에는 구멍이 존재하지 않고, 내부에만 존재하고 있어도 좋다. 또한, 표리면에 연속 구멍이 형성되고, 내부에 독립 구멍이 형성되어 있어도 좋다. 이 경우는, 내부의 빈 구멍의 대략 80％ 이상이 독립 구멍이면 좋다.

탄성 시트(24)는, 액정 패널(S1)의 표면에 형성된 접착층(R1)과 상사 형상 또한 대략 동일한 크기가 되도록 결정된다. 구체적으로는, 탄성 시트(24)의 상면, 즉 액정 패널(S1)과 접촉하는 면이, 접착층(R1)의 액정 패널(S1)에 부착하고 있는 측의 면과, 상사 형상 또한 대략 동일한 크기를 갖는다. 또한, 하측 플레이트(22)에 접촉하는 탄성 시트(24)의 하면도, 상면과 상사 형상이며 대략 동일한 크기, 즉 접착층(R1)과 상사 형상이며 대략 동일한 크기인 것이 바람직하다. 탄성 시트(24)의 두께는, 접착층(R1)과 동일하여도 좋지만, 상이하여도 좋다. 액정 패널(S1)이 하측 플레이트(22) 상에 배치될 때에, 액정 패널(S1)의 표면에 형성된 접착층(R1)이, 하측 플레이트(22) 상에 배치된 탄성 시트(24)와, 상면에서 보아 대략 중첩되도록, 액정 패널(S1)의 위치 맞춤이 행해진다.

이 탄성 시트(24)가 접합 시에 어떻게 작용할지에 대해서, 도 4를 이용하여 설명한다. 도 4의 (A)에 나타내는 바와 같이, 상측 플레이트(23)가 하강하여, 양 패널을 통해 하측 플레이트(22)를 압박하면, 하측 플레이트(22)로부터 상측 플레이트(23)를 압박하는 반력이 생긴다. 여기서, 하측 플레이트(22)와 액정 패널(S1) 사이에는 탄성 시트(24)가 개재되어 있기 때문에, 반력은 탄성 시트(24)를 통해, 액정 패널(S1)로부터 접착층(R1)에 전달된다. 접착층(R1)은 압박력을 받아 신전한다. 도 4의 (B)에 나타내는 바와 같이, 접착층(R1)의 외측 가장자리부의 융기도 찌부러뜨려져, 패널 외측 가장자리에 미친다. 탄성 시트(24)도, 마찬가지로 압박력을 받아, 탄성에 의해 신전한다.

여기서, 기판 접합 장치(20)가 탄성 시트(24)를 구비하고 있지 않고, 액정 패널(S1)이 하측 플레이트(22) 상에 직접 배치된 경우에, 생길 수 있는 사태에 대해서 설명한다. 도 5의 (A)에 나타내는 바와 같이, 액정 패널(S1)에 주름이나 휘어짐이 있어 그 표면이 불균일한 상태였던 경우에는, 하측 플레이트(22)와 액정 패널(S1) 사이에는 근소한 간극이 생긴다. 이 간극에 의해, 접착층(R1)에 하측 플레이트(22)의 압박력이 접착층(R1)에 균일하게 전달되지 않을 가능성이 있다. 특히, 전술한 바와 같이, 접착제(R)의 도포에 슬릿 코터를 이용한 경우에는, 접착층(R1)의 외측 가장자리부에 융기가 생기고, 또한 그 내측에 함몰 부분이 생기는 경우가 있다. 이 융기를 충분히 신전할 수 없으면, 도 5의 (B)에 나타내는 바와 같이, 융기의 내측의 함몰 부분이 남아 버릴 가능성이 있다. 특히, 접착제의 도포 후 접합 전에 가경화를 행한 경우, 접착제는 신전하기 어려워지기 때문에, 그 영향은 현저해진다.

전술한 바와 같이, 챔버(21) 내부는 감압되어 있기 때문에, 기판 사이에 공기가 들어가는 일은 많지는 않지만, 이와 같이 접착층(R1)을 완전히 신전시키지 않고 함몰 부분이 남으면, 기포형의 간극(진공 거품)이 형성되는 경우가 있다. 또한, 이러한 진공 거품의 대부분은 접합부(2)로부터 반출되어 대기압으로 복귀되면, 대기압에 의해 찌부러뜨려져 소멸되지만, 접착제의 상태, 특히 표면 형상에 따라서는 완전히 찌부러지지 않고 남는 것도 있다.

한편, 대기 하에서 접합을 행한 경우에는, 접착층(R1)이 완전히 신전하지 않고 남은 함몰 부분에는, 당연 공기가 존재하며, 또한 이 공기가 반발력을 가짐으로써, 기포가 발생할 가능성이 더욱 높아진다. 또한, 전술한 기포형의 간극 즉 진공 거품이나 기포를 합쳐, 본 실시형태에서는 보이드로서 표현한다.

한편, 탄성 시트(24)가 있는 경우에는, 도 6의 (A)에 나타내는 바와 같이, 탄성 시트(24)가 휘어 주름이나 휘어짐을 따르기 때문에, 하측 플레이트(22)의 압박력은, 접착층(R1) 전체면에 균일하게 전달된다. 도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이, 접착층(R1)의 외측 가장자리부는 충분히 신전되어, 내측의 함몰 부분을 포함하여 고르게 되어 균일하게 된다. 이에 의해, 보이드의 발생이 저감된다.

또한, 전술한 바와 같이, 탄성 시트(24)는 접착층(R1)과 상사 형상 또한 대략 동일한 크기이며, 액정 패널(S1)은, 상면에서 보아 접착층(R1)이 탄성 시트(24)와 대략 중첩되도록 위치 맞춤된다. 이에 의해, 액정 패널(S1)의, 접착층(R1)이 형성되어 있는 부분만이 압박됨으로써, 그 외의 부분에는 여분의 힘이 가해지지 않는다. 혹은, 접착층(R1)이 형성되어 있는 부분 중 일부가 충분히 압박되지 않는다, 라고 하는 것도 회피할 수 있다. 결과로서, 접착층(R1)이 충분히 신전하지 않거나, 혹은 신전이 저해된다고 하는 사태를 방지할 수 있다.

여기서, 비교예로서, 탄성 시트(24)가 접착층(R1)보다 큰 경우와, 접착층(R1)보다 작은 경우에 생길 수 있는 사태에 대해서, 도 7 및 도 8을 사용하여 설명한다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 탄성 시트(24)가 접착층(R1)보다 큰 경우, 액정 패널(S1)의, 접착층(R1)이 형성되어 있지 않은 가장자리의 부분이, 탄성 시트(24)에 의해 여분으로 밀어 올려지게 된다. 그에 의해, 액정 패널(S1)의 가장자리의 부분이 휘어져, 접착층(R1)을 내측으로 누르는 힘이 작용한다. 이에 의해 접착층(R1)의 패널 외측 가장자리 방향으로의 신전가 저해되어, 외측 가장자리부의 융기가 충분히 찌부러뜨려지지 않고, 함몰 부분이 남아, 보이드가 생겨 버릴 가능성이 있다.

도 8에 나타내는 바와 같이, 탄성 시트(24)가 접착층(R1)보다 작은 경우, 접착층(R1)에는 탄성 시트(24)에 의해 압박되지 않는 부분이 생긴다. 특히 접착층(R1)의 외측 가장자리부가 압박되지 않으면, 외측 가장자리부의 융기는 찌부러뜨려지지 않고, 그 내측의 함몰 부분도 남아 버려, 보이드가 발생할 가능성이 있다.

이상 서술한 바와 같이, 탄성 시트(24)가 접착층(R1)보다 큰 경우 및 작은 경우 중 어느 쪽이나, 접착층(R1)이 충분히 신전하지 않아, 보이드가 발생할 가능성이 높아진다. 한편, 본 실시형태에서는, 탄성 시트(24)가 접착층(R1)과 상사 형상 또한 대략 동일한 크기이기 때문에, 접착층(R1)은 탄성 시트(24)를 통해 남김없이 압박되고, 또한 접착층(R1)이 형성되어 있지 않은 패널 부분에 여분의 힘은 가해지지 않는다. 이에 의해, 접착층(R1)은 패널 외측 가장자리까지 신전하여, 외측 가장자리부의 융기나 함몰을 깔끔하게 찌부러뜨릴 수 있기 때문에, 보이드의 발생이 저감된다.

또한, 본 실시형태의 목적으로부터 당연히 도출되는 것이지만, 「상사 형상이며 대략 동일한 크기」란, 접착층(R1)과 탄성 시트(24)의 형상 및 크기가 동일하여도 좋지만, 완전히 동일할 필요는 없는 것을 의미한다. 접착층(R1)과 탄성 시트(24)의 형상 및 크기에 다소의 차이가 있어도, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 액정 패널(S1)의 접착층(R1)이 형성되어 있지 않은 부분에 여분의 힘이 가해져 보이드가 생기거나, 혹은, 접착층(R1)에 압박되지 않는 부분이 있음으로써 보이드가 생기거나 하는 현상이 발생하지 않는 정도이면, 「상사 형상이며 대략 동일한 크기」에 포함된다.

또한, 기판의 형상 및 크기에 따라, 그 표면에 형성되는 접착층(R1)의 형상 및 크기도 변화한다. 그래서, 탄성 시트(24)는, 기판의 종류에 따라 교환 가능하게 하면 좋다. 예컨대, 베이스를 준비하고, 양면 테이프 등으로 베이스에 첩부하여 두어, 플레이트에 대하여 베이스마다 착탈 가능하게 하여도 좋다. 혹은, 교환 때마다 하측 플레이트(22)에 직접 첩부하여도 좋다.

탄성 시트(24)는, 적어도 아스카 C 경도계로 경도를 측정 가능한 것이 좋다. 보다 바람직하게는, 탄성 시트의 경도를 15 이상 85 이하로 하여도 좋다. 탄성 시트(24)가 지나치게 부드러우면, 지나치게 신전하여 버려, 도 7에 나타낸 바와 같이, 탄성 시트(24)가 접착층(R1)보다 커져, 접착층(R1)의 신전이 저해될 가능성이 있기 때문이다. 또한, 탄성 시트(24)의 재료에 따라서는, 신전된 탄성 시트(24)가 기판측으로 비어져 나와 첩부되어, 압박 해방 후에 접착층(R1)의 일부를 박리하며, 결과로서 보이드가 발생할 가능성도 있다. 또한, 탄성 시트(24)가 압박에 의해 극단적으로 찌부러져 버려, 탄성을 잃어 버린다. 반대로, 탄성 시트(24)의 경도가 너무 높으면, 액정 패널(S1)의 주름이나 휘어짐을 따르지 않게 될 가능성이 있다. 또한, 탄성 시트(24)를 경시 변화의 영향을 받기 어려운 것으로 하기 위해서는, 탄성 시트(24)의 경도를 35로 하여도 좋다.

또한, 접착재로서 점착 필름을 이용한 경우에는, 접착제(R)를 이용한 경우와 같이 접착층(R1)에 융기가 생기는 것은 생각하기 어렵다. 단, 액정 패널(S1)에 주름이나 휘어짐이 생겨 불균일인 상태이면, 점착 필름과 액정 패널(S1) 사이에 보이드가 생길 가능성은 있다. 따라서, 접착제(R)의 경우와 마찬가지로 탄성 시트(24)를 이용함으로써, 보이드의 발생을 저감할 수 있다.

액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)를 접합하여 형성된 적층 패널(S10)은, 도시하지 않는 픽업 수단에 의해 접합부(2)로부터 반출되고, 반송부(4)에서 반송되어, 경화부(3)에 반입된다.

(경화부)

도 9에 나타내는 바와 같이, 경화부(3)는, 도포부(1)에 있어서 가경화된 접착층(R1)을 본경화하는 경화 장치(30)를 구비한다. 경화 장치(30)는, 적층 패널(S10)이 배치되는 스테이지(31)와, 스테이지(31) 상에 배치된 UV 조사 유닛(33)을 구비한다. UV 조사 유닛(33)은, 자외선(UV)을 발할 수 있는 하나 또는 복수의 UV 램프나 LED 등으로 구성되어 있다. UV 조사 유닛(33)의 조사 강도는, 도포부(1)에 있어서 가경화된 접착층(R1)을 완전히 경화시키는 데 필요한 자외선을 조사할 수 있도록 조절되어 있다. 물론, 가경화를 수반하지 않는 접착층을 완전히 경화시키는 경우도 마찬가지이다.

또한, 접착재로서 점착 필름을 이용하는 경우는, 경화부(3)는 불필요하다. 또한, 표시 패널 제조 장치는, 도포부(1), 접합부(2) 및 경화부(3)의 전후 또는 그 사이에 별도의 공정을 행하여도 좋다. 그 때문에, 표시 패널 제조 장치는, 예컨대, 도포부(1)의 전단 또는 접합부(2)의 전단에서 기판의 외관을 촬상하여 위치 맞춤을 행하는 위치 맞춤부나, 완성된 액정 표시 패널을 곤포하는 테이핑 유닛 등을 구비하여도 좋다.

[작용]

이상과 같은 구성을 갖는 본 실시형태의 작용을 설명한다.

우선, 도 1에 나타내는 바와 같이, 액정 패널(S1) 및 보호 패널(S2)이, 로더(5)에 의해 표시 패널 제조 장치(100)에 반입되고, 반송부(4)에서 반송된다. 액정 패널(S1)이 도시하지 않는 픽업 수단에 의해 도포부(1)에 반입되고, 도 2에 나타내는 바와 같이, 접착제 도포 장치(10)의 스테이지(11)에 배치된다.

액정 패널(S1)이 스테이지(11)에 배치되면, 도포 유닛(12)이 스테이지(11) 상에 진입한다. 탱크(T)에 수용된 접착제(R)가 디스펜서(14)를 통해 액정 패널(S1)의 표면에 도포된다[도 2의 (A)]. 주사 장치로 주사함으로써, 도 2의 (B)에 나타내는 바와 같이, 접착제(R)는 액정 패널(S1)의 가장자리의 부분을 약간 남기고 전체면에 고루 퍼지도록 도포된다. 접착제(R)의 도포가 끝나면, 도포 유닛(12)은 스테이지(11) 상으로부터 후퇴한다.

이어서, UV 조사 유닛(13)에 의해, 접착제(R)에 대하여 UV 조사가 행해지고, 접착제(R)는 가경화의 상태가 된다[도 2의 (C) 및 (D)]. 이에 의해 액정 패널(S1)의 표면에 미리 정해진 두께를 갖는 접착층(R1)이 형성된다.

접착층(R1)이 형성된 액정 패널(S1)은, 도포부(1)로부터 반출되고, 재차 반송부(4)에서 반송된다. 계속해서, 도시하지 않는 픽업 수단에 의해 접합부(2)에 반입되고, 도 3의 (A)에 나타내는 바와 같이, 기판 접합 장치(20)의 하측 플레이트(22)에 배치된다. 이때, 접착층(R1)이 형성된 표면이 위를 향하도록 배치된다. 보호 패널(S2)도 접합부(2)에 반입되고, 상측 플레이트(23)에 전달되어 유지 기구에 의해 유지된다. 이때, 챔버(21)는 상방으로 이동하고 있기 때문에, 하측 플레이트(22)와 상측 플레이트(23)는 개방되어 있다. 양 패널의 반송이 완료되면 챔버(21)는 하방에 위치하도록 구동되어, 하측 플레이트(22)와 상측 플레이트(23)를 챔버(21)의 내부에 수용한다. 챔버(21) 내부에는 밀폐 공간이 형성되고, 도시하지 않는 배기 수단에 의해 밀폐 공간 내가 감압된다.

그리고, 도 3의 (B)에 나타내는 바와 같이, 상측 플레이트(23)가 하측 플레이트(22)를 향하여 하강하고, 상측 플레이트(23)에 유지되어 있는 보호 패널(S2)을, 하측 플레이트(22)에 지지되어 있는 액정 패널(S1)에 압착한다. 액정 패널(S1) 표면에 형성된 접착층(R1)은, 액정 패널(S1)을 통해 하측 플레이트(22)에 압박되어, 양 패널에 밀착함으로써, 양 패널을 접합시킨다. 접합 시에, 상측 및 하측 플레이트의 평행도나 평면도에 다소의 오차가 있어도, 또한, 액정 패널(S1)의 표면에 주름이나 휘어짐이 있어도, 하측 플레이트(22)에 설치된 탄성 시트(24)가 주름이나 휘어짐을 따르기 때문에, 접착층(R1)은 균일하게 압박된다. 또한, 탄성 시트(24)는 접착층(R1)과 상사 형상이며 대략 동일한 크기로 되어 있기 때문에, 액정 패널(S1) 중, 접착층(R1)이 형성된 부분만이 압박되고, 다른 부분에 여분의 힘가 가해지지 않는다. 이에 의해 접착층(R1)을 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)에 밀착하여, 보이드의 발생이 저감된다.

액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)의 접합이 완료하면, 감압 상태가 해제되고, 챔버를 상방으로 이동시켜, 밀폐 공간이 개방된다. 적층 패널(S10)은, 접합부(2)로부터 반출되고, 재차 반송부(4)에서 반송된다. 계속해서, 도시하지 않는 픽업 수단에 의해 경화부(3)에 반입된다. 또한, 접합부(2)로부터 경화부(3)에의 반송의 과정에서, 적층 패널(S10)을 일정 시간, 대기 중에서 방치하여도 좋다. 이 방치 시간에 있어서, 적층 패널(S10)이 대기압에 의해 압박되어 안정된다. 또한, 접착층(R1)에 보이드가 잔류하고 있어도, 충분한 시간 방치함으로써, 보이드도 저감시킬 수 있다.

경화부(3)에 있어서는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 적층 패널(S10)은 스테이지(31)에 배치되고, UV 조사 유닛(33)에 의해, 가경화된 접착층(R1)이 완전히 경화되는 데 필요한 강도의 자외선이 조사되어, 접착층(R1)의 본경화가 완료한다.

[실시예]

본 실시형태의 표시 패널 제조 장치 및 기판 접합 장치의 각 실시예 및 비교예에 대해서, 시험을 행하여, 특성을 평가하였다.

각 실시예 및 비교예에 있어서, 표시 패널 제조 장치 및 기판 접합 장치의 전체적인 구성은 동일하지만, 탄성 시트(24)에 대해서, 형상 및 크기, 재료 및 경도를 각각 상이하게 만든 것을 준비하였다.

[시험 1]

각 실시예 및 비교예에 대해서, 이하의 조건으로 조합 시험을 행하였다.

·접합 시 압박력…3.0 ㎏/㎠

·기판…유리제, 152.4×91.4(㎜)의 직사각형, 두께 0.7 ㎜

·접합 시 분위기 압력…30 ㎩

·접착재…점도 2900 m㎩·s의 자외선(UV) 경화 수지

·접착층…약 150×90(㎜)(기판과 대략 동형상(상사 형상) 및 대략 동일한 크기가 되도록 형성하였다)

·접착제 도포 두께…200 ㎛

·탄성 시트… 두께 3 ㎜

·가경화 UV 강도…적산 광량 631 mJ/㎠

접착층을 형성하는 자외선 경화 수지는, 기판의 외측 가장자리로부터 대략 1 ㎜ 정도 내측의 범위를 도포하였다. 이와 같이 도포함으로써, 접합 시에 접착층은 기판과 거의 동일한 형상 및 크기가 된다.

접합 후, 기판과 접착층(R1) 사이에 보이드가 발생하고 있는지를, 육안으로 확인하였다. 보이드가 있는 것에 대해서는, 보이드의 발생 부분도 확인하였다. 각 실시예 및 비교예의 탄성 시트의 조건과, 보이드의 발생의 유무를 이하의 표 1에 나타낸다.

	탄성 시트의 형상 및 크기	탄성 시트	경도(아스카)	보이드의 발생	압력 분포
실시예1	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	발포 실리콘 (독립 구멍)	35	없음	균일
실시예2	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	발포 실리콘 (독립 구멍)	15	없음	-
실시예3	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	실리콘 겔 (빈 구멍 없음)	측정 불가능	외측 가장자리의 한변 부근에 발생	-
실시예4	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	실리콘 겔 (빈 구멍 없음)	85	기판 중앙에 발생	중앙부가 약함
비교예1	-	-	-	기판 중앙 및 외측 가장자리 부근에 발생	-
비교예2	접착층보다 작음	발포 실리콘 (독립 구멍)	35	외측 가장자리 부근에 발생	외측 가장자리 부근이 약함
비교예3	접착층보다 작음	발포 실리콘 (독립 구멍)	35	외측 가장자리 부근에 발생	외측 가장자리 부근이 불균일
비교예4	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	발포 우레탄 (연속 구멍)	85	기판 중앙 및 외측 가장자리 부근에 발생	-

경도는, 일본 고무 협회 표준 규격(SRIS0101)에 기초하여 아스카 C 경도계로 측정한 것이다. 또한, 실시예 3의 실리콘 겔은 지나치게 부드럽기 때문에, 아스카 C 경도계에서의 경도는 측정 불가능하였다. 실시예 3의 실리콘 겔은, 일본 표준 규격(JISK2207)에 기초하여 측정한 침입도 50∼55의 것을 사용하였다. 실시예 1∼4 및 비교예 4의 탄성 시트(24)는, 자외선 경화 수지의 도포 시의 접착층과 동일한 크기의 것, 즉 150×90(㎜)의 것을 이용하였다. 전술한 바와 같이, 접합 시에 접착층은 기판과 거의 동일한 형상 및 크기가 되지만, 탄성 시트(24)와의 각 변의 차는 1 ㎜∼2 ㎜ 정도이고, 탄성 시트(24)와 접착층은 대략 동형상이며 대략 동일한 크기라고 말 할 수있다. 비교예 2의 탄성 시트(24)는, 접착층(R1)보다 각 변 10 ㎜씩 짧은 것을 이용하였다. 비교예 3의 탄성 시트(24)는, 접착층(R1)보다 각 변 10 ㎜씩 긴 것을 이용하였다. 비교예 1은 탄성 시트(24)를 설치하지 않고 접합을 행하였다.

실시예 1, 실시예 4, 비교예 2 및 비교예 3에 대해서는, 접합 시의 압력 분포의 측정 시험도 행하였다. 압력 분포의 측정은, 접합 시험과 거의 동조건으로 행하였지만, 접착층(R1)은 형성하지 않고, 도 10에 나타내는 바와 같이, 기판 접합 장치(20)의 상측 플레이트(23)와 탄성 시트(24) 사이에 택타일 센서를 배치하였다. 상측 플레이트(23)에 유지된 기판과 탄성 시트(24) 상에 배치된 기판으로 택타일 센서를 사이에 끼움으로써, 기판에 가해지는 압력 분포를 측정하였다. 도 11의 (A)에 실시예 1의 압력 분포도, 도 11의 (B)에 실시예 4의 압력 분포도를 나타내고 있다. 도 12의 (A)에 비교예 2의 압력 분포도, 도 12의 (B)에 비교예 3의 압력 분포도를 나타낸다.

각 도면에 있어서, 압력 분포는 기준 압력을 100으로 하여, 0∼100의 수치 범위를 16분할하고, 각 범위를 이하의 컬러 차트로 나타내고 있다.

0(진청)∼36(연청)∼50(녹)∼70(황)∼94(적)∼100(핑크)

단, 도면은 컬러 차트를 그레이 스케일 표시로 변환한 것이기 때문에, 일부 판별하기 어려운 부분도 있다. 판별하기 어려운 부분에 대해서는, 설명을 보충한다. 또한, 도 12∼도 14도 마찬가지로 컬러 차트를 그레이 스케일 표시로 변환한 것이다.

이하, 시험의 결과에 대해서 검토한다.

<탄성 시트의 유무에 대해서>

탄성 시트(24)를 이용하지 않은 비교예 1은, 기판의 중앙부와 외측 가장자리 부근, 즉 전체 면적에 보이드가 발생하고 있다. 하측 플레이트(22)의 압박력이 접착층(R1)에 균일하게 전달되지 않았기 때문에, 보이드가 전체 면적에 발생하였다고 생각된다. 한편, 탄성 시트를 이용한 실시예 1∼4에서는, 보이드가 발생하지 않거나, 일부에만 발생한 상태이다. 탄성 시트를 이용함으로써 하측 플레이트(22)의 압박력이 접착층(R1)에 균일하게 전달됨으로써, 보이드의 발생이 크게 저감되어 있는 것을 알 수 있다.

<탄성 시트의 형상 및 크기에 대해서>

실시예 1, 비교예 2 및 비교예 3은, 모두 경도 35의 발포 실리콘을 이용하여 탄성 시트(24)를 구성하고 있지만, 각각 탄성 시트(24)의 형상 및 크기를 변경하고 있다. 실시예 1은 접착층(R1)과 동일한 형상 및 크기의 탄성 시트(24)를 이용하였다. 비교예 2에서는, 접착층(R1)보다 작은 탄성 시트(24)를 이용하였다. 비교예 3에서는, 접착층(R1)보다 큰 탄성 시트(24)를 이용하였다. 실시예 1에 있어서는 보이드의 발생은 없지만, 비교예 2 및 비교예 3은, 기판의 중앙부에는 보이드의 발생은 없지만, 외측 가장자리 부근에 보이드가 발생하고 있다.

전술한 바와 같이, 탄성 시트(24)가 접착층(R1)보다 작은 경우, 접착층(R1)의 외측 가장자리 부근에 탄성 시트(24)에 의해 압박되지 않는 부분이 생긴다. 도 12의 (A)의 비교예 2의 압력 분포도에서는, 도면 중 좌우 상측에 있는 색이 연한 부분이 압력이 약한 곳을 나타내고 있다. 또한, 도면 중 하측 부분과 상측 부분에서의 차는, 압박력이 균일하지 않고, 약간 치우쳐 압박되고 있는 것을 나타내고 있다. 이 압력 분포를 보더라도 알 수 있듯이, 기판의 외측 가장자리 부근은 압력이 약한 것을 알 수 있다. 이에 의해, 접착층(R1)의 외측 가장자리부의 융기가 찌부러뜨려지지 않고 함몰이 남아, 기판의 주변에 보이드가 발생하였다고 생각된다.

또한, 탄성 시트(24)가 접착층(R1)보다 큰 경우, 전술한 바와 같이, 기판의 외측 가장자리 부분이 탄성 시트(24)에 의해 여분으로 밀어 올려지게 된다. 그 때문에, 접착층(R1)의 신전이 저해되어, 외측 가장자리 부근에 보이드가 발생하였다고 생각된다. 도 12의 (B)의 비교예 3의 압력 분포도를 보아 알 수 있듯이, 도면 중의 상하 우측으로 색이 상이한 부분이 있고, 기판의 이들에 상당하는 부분의 압력 분포가 불균형인 것을 알 수 있다. 도면 중의 하방 외측 가장자리부는 약간 강하게 압력이 생기고 있지만, 그 상측이나 중앙 부근에 있는 흰 부분은 압력이 약하다. 도면 중 우측 및 상측 부분의 약간 희게 보이는 부분도 압력이 약하다. 접합 시험에서는, 압력 분포에 보여진 거의 외측 가장자리 전체에 걸친 저압력 부분에 있어서, 보이드의 발생이 확인되었다.

한편, 접착층(R1)과 동일한 형상 및 크기의 탄성 시트(24)를 이용한 실시예 1은, 보이드의 발생이 없다. 도 11의 (A)의 압력 분포도로부터 알 수 있듯이, 실시예 1에 있어서는, 대략 기준 압력의 94％ 이상에서 압력 분포가 균일하게 되어 있다. 따라서, 탄성 시트(24)를 기판의 접착층(R1)이 형성된 부분이 균일하게 압박되어, 보이드가 효과적으로 저감되어 있는 것을 알 수 있다.

<탄성 시트의 재료에 대해서>

탄성 시트(24)의 재료로서 발포 실리콘을 사용한 실시예 1 및 실시예2는, 보이드의 발생이 없었다. 발포 실리콘은 독립 구멍이 형성되어 있기 때문에, 내포되는 공기에 의해 높은 탄력성을 가지고, 접착층(R1)을 균일하게 압박할 수 있기 때문이라고 생각된다.

한편, 비교예 4에서 사용하는 발포 우레탄은 빈 구멍을 갖는 것이기는 하지만, 전면적으로 보이드가 발생되어 버려 있다. 이것은, 발포 우레탄이 연속 구멍을 갖는 것으로, 내포하는 공기가 빠져 나가기 쉬워, 접착층(R1)을 압박하는 힘이 약하기 때문이라고 생각된다.

실시예 3및 실시예 4는, 빈 구멍이 없는 실리콘 겔 및 니트릴 고무를 사용하고 있다. 실시예 3 및 실시예 4 모두, 일부에는 보이드가 발생하고 있지만, 전면적인 보이드의 발생은 방지되고 있다. 실리콘 겔 및 니트릴 고무 모두, 빈 구멍은 형성되어 있지 않지만 탄성을 갖는 재료이기 때문에, 보이드를 어느 정도 저감할 수 있다고 생각된다. 단, 실리콘 겔에 있어서의 보이드의 발생에는 별도의 요인도 생각된다. 실리콘 겔은 매우 부드러운 소재이기 때문에, 접합 시에 실리콘 겔이 신전 하여 하측 플레이트로부터 기판측을 비어져 나와, 압박 해방 후도 기판에 첩부되어 버렸다. 첩부된 실리콘 겔을 박리할 때에 접착층(R1)의 일부도 박리하여 버렸기 때문에, 기판의 한변에 접착층(R1)에 의해 접착되지 않는 부분이 생겨 버렸다. 결과로서 보이드가 발생하게 되었다고 생각된다.

니트릴 고무를 이용한 실시예 4에 대해서는, 도 11의 (B)에 압력 분포를 나타내고 있지만, 도면 중, 중앙부, 상측 및 우측의 가장자리에 압력이 낮은 부분을 확인할 수 있다. 도면의 중심은 진하게 보이지만, 이것은 컬러 차트의 하측의, 압력 기준값의 10％ 정도의 압력을 나타내는 것이며, 압력이 꽤 낮은 것을 확인할 수 있다. 상측 및 하측의 가장자리부의 연하게 보이는 부분은, 압력 기준값의 50％∼70％의 압력을 나타내고 있다. 중앙부의 압력이 낮은 부분을 둘러싸고 있는 부분은, 압력 기준값은 거의 100％의 압력을 나타내고 있다. 즉, 실시예 4에서는, 보이드를 저감하는 효과는 있지만, 압력차가 큰 것을 알 수 있다.

<탄성 시트의 경도에 대해서>

전술한 바와 같이, 실시예 3에서는 접착층(R1)이 일부 박리된다고 하는 현상이 확인되었지만, 그 하나의 원인은 실리콘 겔이 아스카 C 경도계에서는 측정 불가능한 정도로 부드러운 소재이기 때문이라고 생각된다. 이 결과로부터, 탄성 시트(24)는 적어도 아스카 C 경도계로 측정 가능한 정도의 경도를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 실시예 1, 2 및 4의 경도 15, 35, 85의 탄성 시트(24)가 모두 보이드를 저감하는 효과를 확인할 수 있기 때문에, 경도는 15 이상 85 이하인 것이 바람직하다.

[시험 2]

탄성 시트(24)의 경도는, 탄성 시트(24)의 경시 변화에도 영향을 준다고 생각된다. 그 때문에, 경도 35의 발포 실리콘을 이용한 실시예 1과, 경도 15의 발포 실리콘을 이용한 실시예 2와, 경도 85의 니트릴 고무를 이용한 실시예 4에 대하여 내구 시험을 행하였다.

내구 시험으로서, 이하의 조건으로 접합 시험을 600회 행하고, 1회째의 접합과 600회째의 접합에 있어서의, 각 실시예의 보이드의 발생의 유무를 확인하였다.

·접합 시 압박력…3.0 ㎏/㎠

·기판…유리제, 152.4×91.4(㎜)의 직사각형, 두께 0.7 ㎜

·접합 시간 분위기 압력…30 ㎩

·접착재…두께 150 ㎛의 점착 필름

·접착층…152.4×91.4(㎜)(기판과 동형상 및 동일한 크기가 되도록 점착 필름을 재단)

·탄성 시트… 두께 3 ㎜

내구 시험은 시험 1의 접합 시험과 거의 동조건이지만, 접착재로서 자외선 경화 수지 대신에 점착 필름을 이용하고 있다. 그 때문에, 가경화도 행하지 않았다.

또한, 실시예 1, 실시예 2 및 실시예 4에 대해서 시험 1과 동일한 조건으로 600회의 압력 분포 측정 시험도 행하였다.

각 시험의 결과에 대해서, 이하의 표 2에 나타낸다.

	시험 횟수	탄성 시트의 형성 및 크기	탄성 시트	경도(아스카)	보이드의 발생	압력 분포
실시예1	1회째	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	발포실리콘 (독립구멍)	35	없음	균일
실시예1	600회째	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	발포실리콘 (독립구멍)	35	없음	균일
실시예2	1회째	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	발포실리콘 (독립구멍)	15	없음	균일
실시예2	600회째	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	발포실리콘 (독립구멍)	15	없음	한 변에 약한 부분 있음
실시예4	1회째	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	니트릴 고무 (빈 구멍 없음)	85	없음	중앙부 약함
실시예4	600회째	접착층과 대략 동형상 및 대략 동일한 크기	니트릴 고무 (빈 구멍 없음)	85	기판 중앙에 발생	중앙부 약한 영역이 확대

도 13의 (A)는 실시예 1의 1회째의 압력 분포 측정 시험에 있어서의 압력 분포도이며, 도 13의 (B)는 실시예 1의 600회째의 압력 분포 측정 시험에 있어서의 압력 분포도이다. 도 14의 (A)는 실시예 2의 1회째의 압력 분포 측정 시험에 있어서의 압력 분포도이며, 도 14의 (B)는 실시예 2의 600회째의 압력 분포 측정 시험에 있어서의 압력 분포도이다. 도 15의 (A)는 실시예 4의 1회째의 압력 분포 측정 시험에 있어서의 압력 분포도이며, 도 15의 (B)는 실시예 4의 600회째의 압력 분포 측정 시험에 있어서의 압력 분포도이다.

경도 35의 발포 실리콘을 사용한 실시예 1에서는, 600회의 접합을 행하여도, 보이드의 발생은 없었다. 또한, 도 13의 (A) 및 도 13의 (B)로부터 알 수 있듯이, 1회째에 있어서도 600회째에 있어서도, 압력 분포는 거의 균일하였다. 오히려, 600회째 쪽이 보다 균일하게 되어 있다. 따라서, 경도 35의 발포 실리콘에 있어서는 경시 변화가 적은 것을 알 수 있다.

경도 15의 발포 실리콘을 이용한 실시예 2에서도, 600회의 접합을 행하여도, 보이드의 발생은 없었다. 단, 도 14의 (A) 및 도 14의 (B)를 비교하면 알 수 있듯이, 1회째에 있어서 압력 분포는 균일하지만, 600회째에 있어서는, 도면 중의 상부에 흰 부분이 생기고 있어, 약간 압력이 약한 부분이 발생하고 있다. 즉, 경도 15의 발포 실리콘에 있어서는 경시 변화가 인정되었다.

경도 85의 니트릴 고무를 이용한 실시예 4에서는, 시험 1의 결과와 다르게 보이드가 확인되지 않았지만, 이것은, 접착재로서, 가장자리에 융기가 형성되는 접착제 대신에 면이 균일한 점착 필름을 이용한 것이 원인이라고 생각된다. 단, 압력 분포는 도 15의 (A)에 나타내는 바와 같이, 중앙에 흰 부분이 있어, 기판 중앙부에 압력이 약한 부분을 확인할 수 있다. 또한, 600회째에 있어서는 도 15의 (B)에 나타내는 바와 같이, 중앙의 흰 부분이 증가하고 있어, 중앙의 압력이 약한 부분이 확대되고 있는 것을 알 수 있다. 그 때문에, 점착 필름을 이용하고 있어도, 기판 중앙에 보이드의 발생이 확인되었다. 즉, 경도 85의 니트릴 고무에 있어서 경시 변화가 인정되었다.

이상의 결과로부터, 탄성 시트(24)를 경시 변화에 의한 영향을 받기 어려운 것으로 하기 위해서는, 탄성 시트의 경도를 경도 15보다 크게 하고, 85보다 작게 하는 것이 바람직하다. 경도가 15 이하이면, 경시 변화에 의해 탄성 시트(24)가 가라앉기 쉬워져, 접착층을 충분히 압박할 수 없게 되어, 보이드의 발생이 증가할 가능성이 있다고 생각된다. 또한, 경도가 85 이상이면, 경시 변화에 의해 보다 탄성 시트가 딱딱해져, 역시 접착층을 충분히 압박할 수 없게 되어, 보이드의 발생이 증가할 가능성이 있다고 생각된다. 탄성 시트(24)의 경도를 35라고 하면, 보다 바람직한 결과를 얻을 수 있다. 물론, 이것은 경시 변화의 영향이라고 하는 관점으로부터 바람직한 것으로서, 경도 15나 경도 85여도, 정기적으로 탄성 시트(24)를 교환함으로써, 보이드를 적절하게 저감할 수 있다.

[효과]

(1) 본 실시형태의 기판 접합 장치(20)는, 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)을, 액정 패널(S1)의 표면에 형성된 접착층(R1)을 통해 접합시키는 것이며, 액정 패널(S1)을 지지하는 지지부로서의 하측 플레이트(22)와, 보호 패널(S2)을 액정 패널(S1)에 대향하는 위치에서 유지하는 유지부로서의 상측 플레이트(23)와, 상측 플레이트(23)를 구동시킴으로써 접착층(R1)을 통해 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)을 접합하는 승강 기구(25)와, 하측 플레이트(22)의 표면 상에 마련되고, 접착층(R1)과 대략 동일한 형상과 크기를 가지며, 액정 패널(S1)의 접착층(R1)이 형성된 부분만을 압박하는 탄성 시트(24)를 구비한다. 구체적으로는, 탄성 시트(24)의 액정 패널(S1)과 접하는 면이, 접착층(R1)의 액정 패널(S1)에 부착되는 면과, 상사 형상이며 대략 동일한 크기를 갖는다.

액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)을 탄성 시트(24)를 통해 접합함으로써, 패널 표면에 불균일한 부분이나 주름이 있거나, 상측 플레이트(23) 및 하측 플레이트(22)의 평행도나 평면도에 다소의 오차가 있어도, 접착층(R1)에 압박력을 균일하게 전달할 수 있다. 또한, 탄성 시트(24)를 접착층(R1)과 상사 형상이며 대략 동일한 크기로 함으로써, 액정 패널(S1)의 접착층(R1)이 형성된 부분만을 압박할 수 있다. 그 때문에, 접착층(R1)이 형성되어 있지 않은 부분에는 여분의 힘이 가해지지 않고, 접착층(R1)은 충분히 신전하여 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)에 밀착하여, 보이드의 발생을 저감할 수 있다. 이에 의해, 불량이 적은 적층 패널(S10)을 제조하는 것이 가능하다.

(2) 탄성 시트(24)는, 독립 구멍을 갖는 발포 수지로 구성하여도 좋다. 탄성 시트가, 기체를 내포하며 또한 그 기체가 빠지기 어려운 독립 구멍을 가짐으로써, 높은 탄력성을 장시간 유지할 수 있다. 이에 의해, 보이드의 발생을 보다 저감할 수 있다.

(3) 본 실시형태의 표시 패널 제조 장치(100)는, 전술한 기판 접합 장치(20)를 접합부(2)로서 구비한다. 또한, 액정 패널(S1)의 표면에 접착제(R)를 도포하여 접착층(R1)을 형성하는 접착제 도포 장치(10)를 도포부(1)로서 구비하고, 접합부(2)에 있어서 접합된 적층 패널(S10)의 접착층(R1)을 경화시키는 경화 장치(30)를 경화부(3)로서 구비하며, 액정 패널(S1) 및 보호 패널(S2)을, 도포부(1), 접합부(2) 및 경화부(3) 사이에서 반송하는 반송부(4)를 구비한다.

상기 (1)에서 서술한 바와 같이, 기판 접합 장치(20)에 있어서 보이드의 발생을 저감시킬 수 있기 때문에, 본 실시형태의 표시 패널 제조 장치(100)는, 품질이 양호한 액정 표시 패널(L)을 제조 가능하고, 또한 제조 효율도 향상시킬 수 있다.

[그 밖의 실시형태]

(1) 전술한 실시형태에서는, 기판 접합 장치(20)의 상측 플레이트(23)가 액정 패널(S1)을 지지하고, 하측 플레이트(22)가 보호 패널(S2)을 유지하고 있었지만, 이것에 한정되지 않는다. 하측 플레이트(22)가 보호 패널(S2)을 지지하고, 상측 플레이트(23)가 액정 패널(S1)을 유지하여도 좋다.

(2) 전술한 실시형태에서는, 액정 패널(S1)의 표면에 접착제(R)를 도포하였지만, 대신에 보호 패널(S2)의 표면에 도포하여도 좋다. 혹은, 액정 패널(S1) 및 보호 패널(S2)의 양방의 표면에 도포하여도 좋다.

(3) 전술한 실시형태에서는, 하측 플레이트(22)에 탄성 시트(24)를 부착하였지만, 대신에 상측 플레이트(23)에 탄성 시트(24)를 부착하여도 좋다. 혹은, 하측 플레이트(22)와 상측 플레이트(23)의 양방에 탄성 시트(24)를 부착하여도 좋다.

(4) 전술한 실시형태에서는, 상측 플레이트(23)에 승강 기구를 마련하였지만, 대신에 하측 플레이트(22)에 승강 기구를 마련하여도 좋다. 혹은, 하측 플레이트(22)와 상측 플레이트(23)의 양방에 승강 기구를 마련하여도 좋다.

(5) 전술한 실시형태에서는, 접합을 행하는 기판으로서, 액정 패널(S1)과 보호 패널(S2)을 예로 설명하였지만, 이것에 한정되지 않고, 각종 기판을 이용할 수 있다. 예컨대, 유기 EL 패널이나 조작용의 터치 패널을 이용할 수 있다. 또한, 접합하는 기판도 한쌍에 한정되지 않는다. 액정 패널이나 보호 패널 외에 터치 패널을 접합하거나, 혹은 보호 패널을 상하로 접합하는 등에 의해, 3장 이상의 기판이나 2쌍 이상의 기판을 접합하여도 좋다.

(6) 전술한 실시형태에서는, 표시 패널 제조 장치의 도포부(1)와 접합부(2)는, 별개의 부재의 접착제 도포 장치(10)와 기판 접합 장치(20)로서 구성하였지만, 동일한 장치로서 구성하여도 좋다. 예컨대, 상측 플레이트(23)와 하측 플레이트(22)가 대향 배치된 챔버(21) 내에, 도포 유닛(12)과 UV 조사 유닛(13)을 이동 가능하게 마련하고, 하측 플레이트(22)를 도포부(1)의 스테이지(11)로서 이용한다. 즉, 하측 플레이트(22)에 배치한 액정 패널(S1)에 접착제(R)를 도포하고 가경화한 후에, 도포 유닛(12)과 UV 조사 유닛(13)을 하측 플레이트(22) 상으로부터 후퇴시켜, 접합을 행하여도 좋다.

(7) 전술한 실시형태에서는, 탄성 시트(24)가, 기판 표면에 형성되는 접착층(R1)과 상사 형상이며 대략 동일한 크기가 되도록, 기판의 형상과 크기에 따라 탄성 시트(24)를 교환하도록 하고 있었지만, 대신에, 도포 유닛(12)에 있어서 접착층(R)의 도포 영역을 조정하여, 접착층(R1)을 탄성 시트(24)와 상사 형상이며 대략 동일한 크기가 되도록 하여도 좋다. 이에 의해, 탄성 시트(24)는 고정의 형상과 크기의 것을 이용할 수 있다.

(8) 전술한 실시형태에서는, 접착제 도포 장치(10)의 가경화부로서, UV 조사 유닛(13)을 이용하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 전자파 조사 유닛, 방사선 조사 유닛, 혹은 적외선 조사 유닛이나 히터를 이용할 수 있다. 사용하는 접착제에 대해서도, 가경화의 양태에 맞추어, 전자파에 의해 경화하는 수지, 방사선에 의해 경화하는 수지, 혹은 열 경화형 수지를 이용할 수 있다.

(9) 전술한 실시형태에서는, 디스펜서(14)로서 슬릿 코터를 이용한 경우의 융기를 찌부러뜨리는 것의 필요성을 설명하였지만, 멀티 노즐을 이용한 경우에도 본 발명은 적용 가능하다. 즉, 기판에 멀티 노즐로 복수열로 도포한 후에, 접착제를 전연하면, 형성된 접착층(R1)의 표면에는 멀티 노즐 토출의 흔적에 의해 요철이 형성된다. 따라서, 탄성 시트(24)에 의해 이 접착층(R1)을 균일하게 압박함으로써, 요철을 찌부러뜨릴 수 있다. 즉, 도포의 수단이나 기판의 주름이나 굴곡의 상태에 관계없이, 보이드가 없는 접합을 행할 수 있기 때문에, 제품의 품질을 양호하게 안정시키며 그 제조 비용도 저감할 수 있다.

(10) 전술한 실시형태에서는, 도포부(1)에 있어서, 접착제(R)의 도포 후에 가경화를 행하였지만, 예컨대 접착제(R)의 점도가 높고, 도포 형상이 붕괴되기 어려운 것 같은 경우에는, 가경화를 행하지 않아도 좋다. 또한, 접합부(2)에 있어서, 기판 접합 장치(20)의 챔버(21) 내부를 감압하여 진공 하에서 접합을 행하였지만, 대기 하에서 접합을 행하여도 좋다. 이들의 경우는, 가경화나 밀폐하여 감압하는 공간을 형성하기 위해 필요한 수단을 마련하지 않아도 되기 때문에, 보다 저비용으로 장치를 구성할 수 있어, 저비용으로 표시 패널을 제조할 수 있다.

1 도포부
2 접합부
3 경화부
4 반송부
5 로더
6 언로더
7 제어 장치
10 접착제 도포 장치
11 스테이지
12 도포 유닛
13 UV 조사 유닛
14 디스펜서
20 기판 접합 장치
21 챔버
22 하측 플레이트
23 상측 플레이트
24 탄성 시트
25 승강 기구
30 경화 장치
31 스테이지
33 UV 조사 유닛
40 택타일 센서
100 표시 패널 제조 장치
R 접착제
R1 접착층
S1 액정 패널
S2 보호 패널
S10 적층 패널
L 액정 표시 패널
T 탱크

Claims (6)

1. 한쌍의 기판을, 적어도 한쪽의 기판의 표면에 형성된 접착층을 통해 접합시키는 기판 접합 장치로서,
   제1 기판을 지지하는 지지부와,
   제2 기판을, 상기 제1 기판에 대향하는 위치에서 유지하는 유지부와,
   상기 지지부 및 상기 유지부 중 적어도 한쪽을 구동시킴으로써, 상기 접착층을 통해 한쌍의 기판을 접합시키는 구동부와,
   상기 지지부 또는 상기 유지부의 표면 상에 마련되고, 상기 접착층과 상사(相似) 형상이며 동일한 크기를 가지고, 상기 제1 또는 제2 기판의 상기 접착층이 형성된 부분만을 압박하여 탄성을 유지하면서 압축 변형하는 탄성 시트를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 접합 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 탄성 시트는, 상기 제1 또는 제2 기판과 접하는 면이, 상기 접착층의 상기 제1 또는 제2 기판에 부착하는 면과, 상사 형상이며 동일한 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 접합 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 탄성 시트는, 독립 구멍을 갖는 발포 수지로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 접합 장치.
4. 표시용 패널을 포함하는 한쌍의 기판이 접착층을 통해 접합된 표시 패널의 제조 장치로서,
   한쌍의 기판 중, 적어도 한쪽의 기판의 표면에 접착층을 형성하는 접착층 형성부와,
   상기 한쌍의 기판을, 상기 접착층을 통해 접합시키는 접합부와,
   상기 한쌍의 기판을, 상기 접착층 형성부와 상기 접합부 사이에서 반송하는 반송부를 가지고,
   상기 접합부는,
   제1 기판을 지지하는 지지부와,
   제2 기판을, 상기 제1 기판에 대향하는 위치에서 유지하는 유지부와,
   상기 지지부 및 상기 유지부 중 적어도 한쪽을 구동시킴으로써, 상기 접착층을 통해 한쌍의 기판을 접합시키는 구동부와,
   상기 지지부 또는 상기 유지부의 표면 상에 마련되며, 상기 접착층과 상사 형상으로 동일한 크기를 가지고, 상기 제1 또는 제2 기판의 상기 접착층이 형성된 부분만을 압박하여 탄성을 유지하면서 압축 변형하는 탄성 시트를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 제조 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 접착층 형성부는, 접착제를 상기 적어도 한쪽의 기판의 표면에 도포하여 상기 접착층을 형성하는 접착제 도포 장치를 구비하고,
   상기 접착제 도포 장치는, 상기 접착제의 도포 영역을 조정하여, 상기 적어도 한쪽의 기판의 표면에, 상기 탄성 시트의 상기 제1 또는 제2 기판과 접하는 면과 상사 형상으로 동일한 크기의 면을 갖는 접착층을 형성하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 제조 장치.
6. 표시용 패널을 포함하는 한쌍의 기판을 접착층을 통해 접합시켜 표시 패널의 제조를 행하는 제조 방법으로서,
   한쌍의 기판 중, 적어도 한쪽의 기판의 표면에 접착층을 형성하는 공정과,
   제1 기판을 지지부에 의해 지지하는 공정과,
   제2 기판을, 상기 제1 기판에 대향하는 위치에서 유지부에 의해 유지하는 공정과,
   상기 지지부 및 상기 유지부 중 적어도 한쪽을 구동부에 의해 구동시킴으로써, 상기 접착층을 통해 한쌍의 기판을 접합시키는 공정을 구비하고,
   상기 한쌍의 기판을 접합시키는 공정에 있어서, 상기 지지부 또는 상기 유지부의 표면 상에 마련된 상기 접착층과 상사 형상이며 동일한 크기를 갖는 탄성 시트가 상기 제1 또는 제2 기판의 상기 접착층이 형성된 부분만을 압박하여 탄성을 유지하면서 압축 변형하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 제조 방법.

Images