KR101763990B1 - 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

실시 형태는, 대략, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 접착제가 비어져 나오는 것을 억제할 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다. 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치는, 제1 기판을 유지하는 제1 유지부와, 제2 기판을 유지하는 제2 유지부와, 상기 제1 유지부를 선회시켜, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 대치시키는 선회부와, 상기 제2 유지부를 승강시켜, 접착층을 통해, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접착하는 승강부와, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 공간의 개구부의 경사 하방 및 상기 개구부의 경사 상방 중 적어도 어느 하나의 방향으로, 상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는 제1 조사부를 구비하고 있다.

Description

표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법{MANUFACTURING DEVICE OF DISPLAY APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY APPARATUS}

본 출원은, 일본 특허 출원 제2013-061155호(출원일 : 03/22/2013)를 기초로 하여, 이 출원으로부터 우선권의 이익을 향수(享受)한다. 본 출원은 이 출원을 참조함으로써, 상기 출원의 내용 모두를 포함한다.

후술하는 실시 형태는, 대략 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

표시 장치의 제조 공정에는, 2매의 기판을 접착제로 접합하는 공정이 있다. 2매의 기판을 접착제로 접합할 때는, 한쪽 기판의 면에 접착제를 도포하고, 접착제를 다른 쪽 기판의 면에 접촉시켜, 기판의 자체 중량을 이용하여 2매의 기판을 접합하도록 하고 있다.

그러나, 공급한 접착제량의 변동이나, 기판의 평면도의 변동 등에 의해, 2매의 기판 사이에 있는 접착제가 기판의 둘레 단부로부터 비어져 나오는 경우가 있다.
특허문헌: 일본공개특허공보 특개2007－34329호의 공보

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 접착제가 비어져 나오는 것을 억제할 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.

실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치는, 제1 기판을 유지하는 제1 유지부와, 제2 기판을 유지하는 제2 유지부와, 상기 제1 유지부를 선회시켜, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 대치시키는 선회부와, 상기 제2 유지부를 승강시켜, 접착층을 통해, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접착하는 승강부와, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 공간의 개구부의 경사 하방 및 상기 개구부의 경사 상방 중 적어도 어느 하나의 방향으로, 상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는 제1 조사부를 구비하고 있다.

상기 구성의 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 접착제가 비어져 나오는 것을 억제할 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)를 예시하기 위한 모식도.
도 2는 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)를 예시하기 위한 모식도.
도 3은 제1 조사부(25)를 예시하기 위한 모식도.
도 4는 표시 장치의 제조 장치(1)의 작용 및 표시 장치의 제조 방법을 예시하기 위한 흐름도.

이하, 도면을 참조하면서, 실시 형태에 대하여 예시한다. 또한, 각 도면 중, 마찬가지의 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명은 적절히 생략한다.

또한, 각 도면 중의 화살표 X, Y, Z는 서로 직교하는 3방향을 나타내고 있고, 예를 들면 화살표 X, Y는 수평 방향, 화살표 Z는 연직 방향을 나타내고 있다.

또한, 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치(1) 및 표시 장치의 제조 방법에 있어서의 표시 장치는, 서로 대치한 한 쌍의 기판을 가진 것으로 할 수 있다. 예를 들면, 표시 장치는, 액정 표시 장치나 유기 EL(Organic Electro Luminescence) 표시 장치 등이다. 또한, 후술하는 기판 WA(제1 기판의 일례에 상당함) 및 기판 WB(제2 기판의 일례에 상당함)는, 예를 들면 커버 유리, 센서 유리, 액정 모듈, 유기 EL 모듈 등이다.

도 1과 도 2는 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)를 예시하기 위한 모식도이다.

또한, 도 1은 표시 장치의 제조 장치(1)의 측면도이고, 도 2는 표시 장치의 제조 장치(1)의 평면도이다.

도 3은 제1 조사부(25)를 예시하기 위한 모식도이다.

도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 표시 장치의 제조 장치(1)에는 이동부(10), 접합부(20), 검출부(30) 및 제어부(40)가 설치되어 있다.

이동부(10)에는 베이스(11), 가이드부(12) 및 구동부(13)가 설치되어 있다.

베이스(11)는 바닥면에 설치된다.

가이드부(12)는 베이스(11)의 상면에 설치되어 있다. 가이드부(12)는 접합부(20)의 X 방향의 이동을 안내한다.

구동부(13)는 베이스(11)의 상면에 설치되어 있다. 구동부(13)는 접합부(20)의 X 방향의 이동을 행한다.

접합부(20)에는 기부(21), 기판 반전부(22), 기판 적재부(23), 제1 조사부(25) 및 제2 조사부(26)가 설치되어 있다.

기부(21)는 가이드부(12)의 상방에 설치되며, 가이드부(12) 및 구동부(13)에 의해 X 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.

기판 반전부(22)는 적재된 기판 WA를 반전시켜 기판 적재부(23)의 상방에 유지한다.

기판 반전부(22)에는 선회부(22a), 기판 유지부(22b)(제1 유지부의 일례에 상당함), 지지부(22c) 및 지지부(22d)가 설치되어 있다.

선회부(22a)는 기부(21)에 설치되어 있다. 선회부(22a)는 기판 유지부(22b)의 한쪽 단부의 측을 유지하고, 기판 유지부(22b)를 선회시킨다. 즉, 선회부(22a)는 기판 유지부(22b)를 선회시켜, 기판 WA와 기판 WB를 대치시킨다.

기판 유지부(22b)는 적재면(22b1) 상에 적재된 기판 WA를 유지한다. 기판 WA의 유지는, 예를 들면 도시하지 않은 진공 펌프 등을 사용한 흡착에 의해 행할 수 있다.

또한, 기판 유지부(22b)에는 두께 방향을 관통하는 구멍부(22b2)가 형성되어 있다. 구멍부(22b2)가 형성되어 있으면, 후술하는 바와 같이, 기판 WA와 기판 WB 사이에 형성된 접착층 B1에 자외선을 조사하거나, 기판 WA 및 기판 WB에 각각 형성된 위치 정렬용 인식부를 검출하는 것이 용이해진다.

또한, 접착층 B1은 자외선 경화형 수지를 포함하는 접착제(자외선 경화형 접착제)를 경화시킴으로써 형성된 것으로 할 수 있다.

지지부(22c)는 기둥 형상을 나타내며, 선회 전의 기판 유지부(22b)를 지지한다.

선회 전의 기판 유지부(22b)를 지지부(22c)의 상단부에 접촉시킴으로써, 기판 유지부(22b)의 연직 방향(Z 방향)의 위치 결정을 행할 수 있다.

지지부(22c)의 배치 수에는 특별히 한정은 없다. 예를 들면, 기판 유지부(22b)의 4코너의 근방에 각각 지지부(22c)를 설치할 수 있다. 이와 같이 하면, 기판 유지부(22b)의 수평면 내에 있어서의 Z 방향의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.

지지부(22d)는 기둥 형상을 나타내며, 선회 후의 기판 유지부(22b)를 지지한다.

지지부(22d)의 배치 수에는 특별히 한정은 없다. 예를 들면, 기판 유지부(22b)의 4코너의 근방에 각각 지지부(22d)를 설치할 수 있다. 이와 같이 하면, 기판 유지부(22b)의 수평면 내에 있어서의 Z 방향의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.

기판 적재부(23)는 선회 후의 기판 유지부(22b)의 하방으로 되는 위치에 설치되어 있다.

기판 적재부(23)는, 적재된 기판 WB를 상승시켜, 기판 WB와 기판 유지부(22b)에 유지되어 있는 기판 WA를 접착한다. 이때, 접착층 B1의 두께 치수가 소정의 범위 내로 되도록, 기판 적재부(23)의 제어가 행해진다.

기판 적재부(23)에는 위치 제어부(23a), 승강부(23b) 및 유지부(23c)(제2 유지부의 일례에 상당함)가 설치되어 있다.

위치 제어부(23a)는, 기부(21) 상에 설치되며, 유지부(23c)의 위치 제어를 행한다. 위치 제어부(23a)는 X 방향, Y 방향, Z 방향 및 θ 방향(회전 방향)의 위치 제어를 행한다. 위치 제어부(23a)는 예를 들면 XYθ 테이블 상에 Z 테이블을 설치한 것으로 할 수 있다.

승강부(23b)는 위치 제어부(23a) 상에 설치되어 있다. 승강부(23b)는 유지부(23c)를 승강시켜, 접착층 B1을 통해, 기판 WA와 기판 WB를 접착한다.

유지부(23c)는 승강부(23b) 상에 설치되어 있다. 유지부(23c)는 적재된 기판 WB를 유지한다. 기판 WB의 유지는 예를 들면 도시하지 않은 진공 펌프 등을 사용한 흡착에 의해 행할 수 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 제1 조사부(25)는 기판 WA와 기판 WB 사이의 접착층 B1이 형성되는 공간의 개구부(100)를 향하여 자외선을 조사한다.

후술하는 바와 같이, 승강부(23b)에 의해 유지부(23c)를 상승시켜, 기판 WA와 기판 WB를 접착할 때는, 접착층 B1의 두께 치수 g가 소정의 범위 내로 되도록 한다.

접착층 B1의 두께 치수 g가 소정의 범위 내로 되도록 할 때, 접착층 B1에는 압축 응력이 작용한다. 그 때문에, 기판 WA와 기판 WB에 반력이 작용하게 되지만, 기판 WA는 기판 유지부(22b)에 유지되고, 기판 WB는 유지부(23c)에 유지되어 있는다. 그 때문에, 기판 WA측 및 기판 WB측으로 크게 휘는 일은 없다. 그 결과, 접착층 B1의 두께 치수가 줄어듦에 따라서, 접착층 B1이 개구부(100)를 향하여 퍼지게 된다.

여기서, 표시 장치에 있어서는, 다기능화를 위해서 2매의 기판 사이에 터치 스위치 등의 기능 부재를 설치하거나, 한층 더한 박형화를 도모하도록 되어 있다. 그 때문에, 기판 WA와 기판 WB 사이에 형성된 접착층 B1의 두께 치수가 변동되면, 표시 장치의 품질이 악화될 우려가 있으므로, 접착층 B1의 두께 치수 g가 소정의 범위 내로 되도록 하고 있다.

그런데, 기판 WA 및 기판 WB의 평면도, 터치 스위치의 평면도에는 변동이 있기 때문에, 개구부(100)의 두께 방향의 치수는 일정하지 않다. 또한, 공급한 접착제의 양에도 변동이 있다. 그 때문에, 접착층 B1의 두께 치수 g가 소정의 범위 내로 되도록 하면, 개구부(100)로부터 접착제가 비어져 나오기 쉬워진다. 개구부(100)로부터 접착제가 비어져 나오면, 표시 장치를 전자 기기에 설치할 때, 장해가 될 우려가 있다.

그 때문에, 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)에 있어서는, 제1 조사부(25)를 설치하고, 개구부(100)의 근방에서 접착층 B1을 경화시키도록 하고 있다. 개구부(100)의 근방에서 접착층 B1을 경화시키면, 개구부(100)로부터 접착제가 비어져 나오는 것을 억제할 수 있다.

제1 조사부(25)에는 조사 헤드(25a)와 헤드 유지부(25b)가 설치되어 있다.

조사 헤드(25a)는, 예를 들면 자외선을 방사하는 램프나 발광 소자(예를 들면, LED(Light Emitting Diode) 등) 등을 구비한 것으로 할 수 있다.

제1 조사부(25)(조사 헤드(25a))는 개구부(100)의 길이 방향을 따른 피조사면이 형성되도록 자외선을 조사한다. 즉, 제1 조사부(25)(조사 헤드(25a))는 거의 선 형상으로 자외선을 조사한다. 그 때문에, 복수의 발광 소자를 가진 조사 헤드(25a)의 경우에는, 복수의 발광 소자가 개구부(100)의 길이 방향을 따라서 배열되어 있다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 유지부(23c)를 둘러싸도록 조사 헤드(25a)를 설치할 수 있다. 이 경우, 복수의 조사 헤드(25a)를 설치할 수도 있고, 유지부(23c)를 둘러싸는 프레임 형상의 조사 헤드(25a)를 설치할 수도 있다.

또한, 기판 WA와 기판 WB 사이로부터 배선 등이 나와 있는 경우에는, 배선 등에 의해 접착제가 비어져 나오는 것이 억제된다. 그 때문에, 배선 등이 나와 있는 부분에는 자외선을 조사하지 않아도 된다. 즉, 반드시 유지부(23c)를 둘러싸도록 조사 헤드(25a)를 설치할 필요는 없다.

그러나, 유지부(23c)를 둘러싸도록 조사 헤드(25a)를 설치하도록 하면, 범용성을 높일 수 있다.

조사 헤드(25a)를 유지하는 헤드 유지부(25b)는 유지부(23c)에 설치되어 있다. 유지부(23c)에는 기판 WB가 유지된다. 그 때문에, 헤드 유지부(25b)를 유지부(23c)에 설치하도록 하면, 개구부(100)와 조사 헤드(25a) 사이의 치수 관계를 일정하게 유지할 수 있다.

또한, 유지부(23c)의 상승 위치가 거의 일정한 경우에는, 헤드 유지부(25b)를 기부(21)에 설치할 수도 있다.

여기서, 개구부(100)의 정면측으로부터 자외선을 조사하면, 개구부(100)로부터의 자외선이 도달하는 거리가 길어져, 경화 범위가 지나치게 넓어질 우려가 있다. 경화 범위가 지나치게 넓어지면, 왜곡 등이 발생할 우려가 있다.

그 때문에, 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)에 있어서는, 기판 WA와 기판 WB 사이의 공간의 개구부(100)의 경사 하방 및 개구부(100)의 경사 상방 중 적어도 어느 하나의 방향으로, 개구부(100)를 향하여 자외선을 조사하도록 하고 있다. 또한, 도 1 및 도 2에 있어서는, 일례로서, 개구부(100)의 경사 하방으로부터 개구부(100)를 향하여 자외선을 조사하도록 하고 있다.

이와 같이, 소정의 각도로, 경사 상방 또는 경사 하방으로부터 자외선을 조사하는 장치의 구성으로 하면, 기판 WA와 기판 WB의 접합 과정에 있어서, 기판 사이에 있는 접착층 B1이 개구부(100)를 향하여 퍼져 나오는 소정의 타이밍에서, 자외선을 접착층 B1에 조사하여, 그것을 경화할 수 있다. 따라서, 기판 WA와 기판 WB의 간격을 소정의 값으로 하여, 양자를 접합하는 것이 가능해진다.

자외선의 조사 각도 θ에는 특별히 한정은 없지만, 예를 들면 개구부(100)의 정면으로부터 0°를 초과하고 45° 이하의 각도로 개구부(100)를 향하여 자외선을 조사할 수 있다.

제2 조사부(26)는 기판 유지부(22b)에 형성된 구멍부(22b2)를 통하여, 기판 WA와 기판 WB 사이에 형성된 접착층 B1을 향하여 자외선을 조사한다.

후술하는 바와 같이, 제2 조사부(26)는 접착층 B1의 일부의 영역에 자외선을 조사한다.

제2 조사부(26)에는 조사 헤드(26a)와 이동부(26b)가 설치되어 있다.

조사 헤드(26a)는, 예를 들면 자외선을 방사하는 램프나 발광 소자 등을 구비한 것으로 할 수 있다.

이동부(26b)는, 기부(21)를 Y 방향에 걸치도록 하여, 베이스(11) 상에 설치되어 있다.

이동부(26b)는, Y 방향으로 이동 가능한 가이드부(26c)를 갖고, 가이드부(26c)에 조사 헤드(26a)가 설치되어 있다. 또한, 도시하지 않은 구동부에 의해, 가이드부(26c)를 통하여 조사 헤드(26a)를 Y 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.

검출부(30)는 기판 WA 및 기판 WB의 두께 치수의 측정과, 기판 WA 및 기판 WB의 위치의 검출을 행한다.

검출부(30)에는 측정부(31), 촬상부(32) 및 이동부(33)가 설치되어 있다.

측정부(31)는 기판 유지부(22b)에 유지된 기판 WA의 두께 치수의 측정 및 유지부(23c)에 유지된 기판 WB의 두께 치수의 측정을 행한다.

측정부(31)는 예를 들면 레이저 변위계 등으로 할 수 있다.

측정부(31)에 의해 측정된 기판 WA 및 기판 WB의 두께 치수에 관한 정보는, 제어부(40)에 보내어져, 접착층 B1의 두께 치수의 제어에 사용된다.

촬상부(32)는, 기판 WA 및 기판 WB에 각각 형성된 인식부(예를 들면, 얼라인먼트 마크나 코너 부분의 형상 등)를 촬상한다.

촬상부(32)는 CCD(Charge Coupled Device) 카메라 등으로 할 수 있다.

촬상부(32)에 의해 촬상된 기판 WA 및 기판 WB에 관한 위치 정보는 제어부(40)에 보내어져, 화상 처리를 행함으로써 위치 어긋남량이 연산된다. 연산된 위치 어긋남량은 위치 제어부(23a)에 의한 기판 WB의 위치 제어에 사용된다.

또한, 촬상부(32)에 의한 촬상은, 기판 유지부(22b)에 형성된 구멍부(22b2)를 통하여 행할 수 있다.

또한, 구멍부(22b2)가 필요 이상으로 크면, 기판 유지부(22b)를 가압할 때, 기판 유지부(22b)나 기판 자체가 휘어 버려, 접착층 B1의 두께 치수의 정밀도가 나빠진다. 그 때문에, 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)에 있어서는, 자외선을 조사하기 위한 구멍 및 촬상하기 위한 구멍인 구멍부(22b2)의 크기를 필요 최소한으로 하고 있다.

이동부(33)는, 기부(21)를 Y 방향에 걸치도록 하여, 베이스(11) 상에 설치되어 있다. 이동부(33)는 Y 방향으로 이동 가능한 가이드부(33a)를 갖고, 가이드부(33a)에 측정부(31) 및 촬상부(32)가 설치되어 있다. 또한, 도시하지 않은 구동부에 의해, 가이드부(33a)를 통하여 측정부(31) 및 촬상부(32)를 Y 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.

또한, 선회 전의 기판 유지부(22b)에 유지된 기판 WA의 표면에 접착제 B를 공급하는 도시하지 않은 접착제 공급 장치를 설치할 수도 있다.

단, 도시하지 않은 접착제 공급 장치는, 표시 장치의 제조 장치(1)와는 별도로 설치하도록 한 쪽이, 표시 장치의 제조 장치(1)의 처리 능력, 나아가서는 표시 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.

제어부(40)는 표시 장치의 제조 장치(1)에 설치된 각 요소의 동작을 제어한다.

제어부(40)는, 예를 들면 구동부(13)에 의한 접합부(20)의 X 방향의 위치의 이동, 기판 유지부(22b)에 의한 기판 WA의 유지, 선회부(22a)에 의한 기판 유지부(22b)의 선회, 승강부(23b)에 의한 기판 WB의 승강(Z 방향의 이동), 유지부(23c)에 의한 기판 WB의 유지, 조사 헤드(25a)에 의한 자외선의 조사, 조사 헤드(26a)에 의한 자외선의 조사, 이동부(26b)에 의한 조사 헤드(26a)의 Y 방향의 위치의 이동, 측정부(31)에 의한 두께 치수의 측정, 촬상부(32)에 의한 인식부의 촬상 등을 제어한다.

이때, 제어부(40)는 측정부(31)로부터의 정보에 기초하여 승강부(23b)를 제어하여, 접착층 B1의 두께 치수가 소정의 범위 내로 되도록 한다. 예를 들면, 기판 WA의 두께 치수와 기판 WB의 두께 치수에 기초하여, 접착층 B1의 두께 치수가 소정의 범위 내로 되도록 승강부(23b)에 의한 상승량을 제어한다. 또한, 접착층 B1의 두께 치수의 제어의 내용은 후술한다. 또한, 제어부(40)는, 승강부(23b)의 상승량에 기초하여, 조사 헤드(25a)로부터 자외선을 조사한다.

다음에, 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 장치(1)의 작용과 함께, 표시 장치의 제조 방법에 대하여 예시한다.

도 4는 표시 장치의 제조 장치(1)의 작용 및 표시 장치의 제조 방법을 예시하기 위한 흐름도이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 우선, 기판 WA 및 기판 WB를 표시 장치의 제조 장치(1)에 세트한다(스텝 S1).

예를 들면, 기판 유지부(22b)에 기판 WA를 적재하고, 유지부(23c)에 기판 WB를 적재한다.

또한, 기판 WA의 표면에는 액적 형상으로 접착제 B가 도포되어 있다. 접착제 B는 별도로 설치된 도시하지 않은 접착제 도포 장치에 의해 도포할 수 있다.

접착제 B는 자외선 경화형 수지를 포함하는 접착제(자외선 경화형 접착제)로 할 수 있다.

기판 WA는 접착제 B가 도포된 면과는 반대측 면을 기판 유지부(22b)의 측으로 향하게 하여 적재된다.

계속해서, 기판 유지부(22b)에 기판 WA를 유지시키고, 유지부(23c)에 기판 WB를 유지시킨다.

다음에, 기판 WB의 위치를 검출한다(스텝 S2).

예를 들면, 구동부(13)에 의해 접합부(20)(기판 WB)의 X 방향의 이동을 행하고, 이동부(33)에 의해 촬상부(32)의 Y 방향의 이동을 행하고, 촬상부(32)에 의해 기판 WB에 형성된 인식부를 촬상한다.

다음에, 기판 WA 및 기판 WB의 두께 치수를 측정한다(스텝 S3).

예를 들면, 측정부(31)에 의해, 기판 유지부(22b)에 유지된 기판 WA의 두께 치수의 측정 및 유지부(23c)에 유지된 기판 WB의 두께 치수의 측정을 행한다.

예를 들면, 구동부(13)에 의해 접합부(20)(기판 WA 및 기판 WB)의 X 방향의 이동을 행하고, 이동부(33)에 의해 측정부(31)의 Y 방향의 이동을 행하고, 측정부(31)에 의해 기판 WA 및 기판 WB의 두께 치수를 측정한다.

또한, 기판 WA 및 기판 WB를 수평하게 한 상태에서, 두께 치수의 변동이 큰 경우에는, 두께 치수의 변동이 큰 기판의 복수 개소를 측정하고, 그 평균값을 측정 결과로 해도 된다.

다음에, 기판 유지부(22b)를 선회(기판 WA를 반전)시킨다(스텝 S4).

예를 들면, 선회부(22a)에 의해 기판 유지부(22b)를 선회시켜, 기판 유지부(22b)를 지지부(22d)에 지지시킨다.

다음에, 기판 WA의 위치를 검출한다(스텝 S5).

예를 들면, 구동부(13)에 의해 접합부(20)(기판 WA)의 X 방향의 이동을 행하고, 이동부(33)에 의해 촬상부(32)의 Y 방향의 이동을 행하고, 촬상부(32)에 의해 기판 WA에 형성된 인식부를 촬상한다.

또한, 촬상부(32)에 의한 촬상은, 기판 유지부(22b)에 형성된 구멍부(22b2)를 통하여 행할 수 있다.

다음에, 기판 WA와 기판 WB의 위치 어긋남량을 연산한다(스텝 S6).

예를 들면, 스텝 S3에 있어서 검출된 기판 WB의 위치 정보와, 스텝 S6에 있어서 검출된 기판 WA의 위치 정보로부터 기판 WA와 기판 WB의 위치 어긋남량을 연산한다. 또한, 위치 어긋남의 값이 소정의 값을 초과하는 경우에는, 기판 WA 및 기판 WB 중 적어도 어느 하나를 재세트한다.

기판 유지부(22b) 및 유지부(23c) 상에, 기판 WA, WB의 위치가 소정의 범위 내에 들어가도록, 기판 WA, WB의 외형의 편측을 기준으로 하여 위치 결정을 행하는 도시하지 않은 위치 결정 장치를 설치할 수도 있다. 그리고, 도시하지 않은 위치 결정 장치에 의해 다시 위치 결정을 행할 수도 있다.

다음에, 위치 어긋남량의 보정을 행한다(스텝 S7).

예를 들면, 위치 제어부(23a)에 의해, 승강부(23b)를 통하여 유지부(23c)의 X 방향, Y 방향, Z 방향 및 θ 방향(회전 방향)의 위치를 조정한다. 즉, 기판 WA의 위치에 기판 WB의 위치를 맞춘다.

다음에, 기판 WA와 기판 WB를 접착한다(스텝 S8).

예를 들면, 승강부(23b)에 의해 유지부(23c)를 상승시켜, 기판 WA와 기판 WB를 접착한다.

기판 WA의 표면에 있는 액적 형상의 접착제 B의 정상부가 기판 WB와 접촉하면, 액적 형상의 접착제 B가 눌려 퍼져 접착층 B1이 형성된다.

여기서, 기판 WA와 기판 WB 사이에 형성된 접착층 B1의 두께 치수가 변동되면, 표시 장치의 품질이 악화될 우려가 있다.

그 때문에, 접착층 B1의 두께 치수가 소정의 범위 내로 되도록, 유지부(23c)의 상승 위치(Z 방향의 위치)를 제어한다.

예를 들면, 선회 후의 기판 유지부(22b)의 적재면(22b1)의 Z 방향의 위치와, 유지부(23c)의 Z 방향의 위치는 미리 측정함으로써 알 수 있다.

또한, 기판 WA 및 기판 WB의 두께 치수는, 스텝 S3에서 측정함으로써 알 수 있다.

그 때문에, 원하는 접착층 B1의 두께 치수로 하기 위한 유지부(23c)의 상승 위치는 이들 값으로부터 연산할 수 있다. 즉, 승강부(23b)에 의한 상승량을 연산할 수 있다.

또한, 이들 연산은 제어부(40)에 의해 연산할 수 있다. 그리고, 연산된 상승량에 기초하여, 제어부(40)에 의해 승강부(23b)를 제어하여, 접착층 B1의 두께 치수가 소정의 범위 내로 되도록 한다.

또한, 개구부(100)의 경사 하방 및 개구부(100)의 경사 상방 중 적어도 어느 하나의 방향으로, 개구부(100)를 향하여 자외선을 조사한다(스텝 S9).

자외선을 조사하는 타이밍은, 예를 들면 승강부(23b)의 상승량에 기초하여 결정할 수 있다. 예를 들면, 승강부(23b)의 상승량에 기초하여 개구부(100)의 두께 방향의 치수를 연산하고, 연산된 개구부(100)의 두께 방향의 치수가 소정의 값으로 되었을 때 자외선을 조사하도록 할 수 있다. 또한, 시간 관리에 의해 개구부(100)의 두께 방향의 치수를 연산하고, 연산된 개구부(100)의 두께 방향의 치수가 소정의 값으로 되었을 때 자외선을 조사하도록 할 수도 있다.

다음에, 접착층 B1의 일부의 영역을 경화시킨다(스텝 S10).

즉, 기판 WA와 기판 WB를 임시 고정한다.

예를 들면, 조사부(26)에 의해, 기판 WA와 기판 WB 사이에 형성된 접착층 B1의 일부의 영역을 향하여 자외선을 조사한다.

이 경우, 구동부(13)에 의해 접합부(20)(기판 WA 및 기판 WB)의 X 방향의 이동을 행하고, 이동부(26b)에 의해 조사 헤드(26a)의 Y 방향의 이동을 행하고, 기판 유지부(22b)에 형성된 구멍부(22b2)를 통하여, 접착층 B1을 향하여 자외선을 조사한다.

접착층 B1의 일부의 영역을 경화시킴으로써, 접착층 B1의 두께 치수를 유지시킬 수 있다.

접착층 B1의 일부의 영역을 경화시킨 기판 WA 및 기판 WB는 표시 장치의 제조 장치(1)로부터 제거되고, 자외선 조사 장치 등에 의해 접착층 B1의 전역이 경화된다.

즉, 본 실시 형태에 따른 표시 장치의 제조 방법은 이하의 공정을 구비할 수 있다.

기판 WA를 유지한 유지부(22b)를 선회시켜, 기판 WA와, 유지부(23c)에 유지된 기판 WB를 대치시키는 공정.

유지부(23c)를 승강시켜, 접착층 B1을 통해, 기판 WA와 기판 WB를 접착하는 공정.

기판 WA와 기판 WB 사이의 공간의 개구부(100)의 경사 하방 및 개구부(100)의 경사 상방 중 적어도 어느 하나의 방향으로, 개구부(100)를 향하여 자외선을 조사하는 공정.

또한, 개구부(100)를 향하여 자외선을 조사하는 공정에서, 개구부(100)의 길이 방향을 따른 피조사면이 형성되도록 자외선을 조사한다.

또한, 개구부(100)를 향하여 자외선을 조사하는 공정에서, 유지부(23c)의 승강량에 기초하여, 자외선의 조사를 개시한다.

이상에 예시를 한 실시 형태에 의하면, 접착제가 비어져 나오는 것을 억제할 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 실현할 수 있다.

이상, 본 발명의 몇 가지의 실시 형태를 예시하였지만, 이들 실시 형태는 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않고 있다. 이들 신규의 실시 형태는, 그 밖의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 다양한 생략, 치환, 변경 등을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형예는, 발명의 범위나 요지에 포함됨과 함께, 특허 청구 범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함된다. 또한, 전술한 각 실시 형태는 서로 조합하여 실시할 수 있다.

Claims (20)

1. 표시 장치의 제조 장치로서,
   제1 기판을 유지하는 제1 유지부와,
   제2 기판을 유지하는 제2 유지부와,
   상기 제1 유지부를 선회시켜, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 대치시키는 선회부와,
   상기 제2 유지부를 승강시켜, 접착층을 통해, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접착하는 승강부와,
   상기 제2 유지부에 설치되고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이의 공간의 개구부의 경사 하방으로부터 상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는 제1 조사부와,
   상기 제1 유지부에 유지된 상기 제1 기판의 두께 치수와, 상기 제2 유지부에 유지된 상기 제2 기판의 두께 치수를 측정하는 측정부와,
   상기 제1 기판의 두께 치수와, 상기 제2 기판의 두께 치수에 기초하여, 상기 접착층의 두께 치수가 소정의 범위 내로 되도록 상기 승강부를 제어하는 제어부를 구비하고,
   상기 제1 조사부는, 상기 제2 유지부가 상기 제2 기판을 유지하는 상태에서, 상기 제2 유지부와 함께 승강하는 것이 가능하고,
   상기 제어부는, 측정부에서 측정된 상기 제1 및 제2 기판의 두께 치수와, 상기 제1 및 제2 유지부의 위치에 의해 산출된 상기 제2 유지부의 상승량에 기초하여, 상기 제2 유지부의 승강을 제어하고, 접착층의 두께 치수가 소정의 범위 내로 되는 때에 제1 및 제2 기판 사이의 개구부에 소정 각도로 자외선을 조사하도록 상기 제1 조사부를 제어하는,
   표시 장치의 제조 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 조사부는 상기 개구부의 길이 방향을 따른 피조사면이 형성되도록 자외선을 조사하는, 표시 장치의 제조 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1 조사부는 선 형상으로 자외선을 조사하는, 표시 장치의 제조 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 조사부는 복수의 발광 소자를 갖고, 상기 복수의 발광 소자는 상기 개구부의 길이 방향을 따라서 배열되어 있는, 표시 장치의 제조 장치.
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 조사부는 상기 제2 유지부를 둘러싸도록 설치되어 있는, 표시 장치의 제조 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 제1 조사부는 상기 제2 유지부를 둘러싸는 프레임 형상의 조사 헤드를 갖는, 표시 장치의 제조 장치.
7. 제5항에 있어서,
   상기 제1 조사부는 상기 제2 유지부를 둘러싸는 복수의 조사 헤드를 갖는, 표시 장치의 제조 장치.
8. 삭제
9. 제1항에 있어서,
   상기 제1 조사부는, 상기 개구부의 정면으로부터 0°를 초과하고 45° 이하의 각도로 상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는, 표시 장치의 제조 장치.
10. 삭제
11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판 및 상기 제2 기판에 각각 형성된 인식부를 촬상하는 촬상부와,
    상기 촬상부로부터의 정보에 기초하여, 상기 제2 유지부의 위치 제어를 행하는 위치 제어부를 더 구비한, 표시 장치의 제조 장치.
12. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접착층의 일부의 영역에 자외선을 조사하는 제2 조사부를 더 구비한, 표시 장치의 제조 장치.
13. 제12항에 있어서,
    상기 제2 조사부는, 상기 제1 유지부에 형성된 구멍부를 통하여 상기 접착층의 일부의 영역에 자외선을 조사하는, 표시 장치의 제조 장치.
14. 표시 장치의 제조 방법으로서,
    제1 기판을 유지한 제1 유지부를 선회시켜, 상기 제1 기판과, 제1 조사부를 유지하는 제2 유지부에 유지된 제2 기판을 대치시키는 공정과,
    상기 제2 유지부를 승강시켜, 접착층을 통해, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접착하는 공정과,
    상기 제1 기판의 두께 치수와, 상기 제2 기판의 두께 치수를 측정하는 공정과,
    측정된 상기 제1 및 제2 기판의 두께 치수와, 상기 제1 및 제2 유지부의 위치에 의해 산출된 상기 제2 유지부의 상승량에 기초하여, 상기 제2 유지부의 승강을 제어하고, 접착층의 두께 치수가 소정 범위 내로 되는 때에 상기 제1 조사부에 의해 상기 제1 및 제2 기판 사이의 개구부의 경사 하방으로부터 소정의 각도로 상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는 공정을 구비하는,
    표시 장치의 제조 방법.
15. 제14항에 있어서,
    상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는 공정에서, 상기 개구부의 길이 방향을 따른 피조사면이 형성되도록 자외선을 조사하는, 표시 장치의 제조 방법.
16. 삭제
17. 제14항에 있어서,
    상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는 공정에서, 상기 개구부의 두께 방향의 치수가 소정의 값으로 되었을 때, 상기 자외선의 조사를 개시하는, 표시 장치의 제조 방법.
18. 제14항에 있어서,
    상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는 공정에서, 상기 개구부의 정면으로부터 0°를 초과하고 45° 이하의 각도로 상기 개구부를 향하여 자외선을 조사하는, 표시 장치의 제조 방법.
19. 삭제
20. 제14항에 있어서,
    상기 접착층의 일부의 영역을 경화시켜, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 임시 고정하는 공정을 더 구비한, 표시 장치의 제조 방법.

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