TW201433860A

TW201433860A - 基板貼合裝置及基板貼合用具

Info

Publication number: TW201433860A
Application number: TW103106371A
Authority: TW
Inventors: Kazuyuki Sonobe; Kohei Kinugawa; Fujio Yamasaki; Masaki Araki; Koichiro Miura; Michiko HATAKEYAMA
Original assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2013-02-28
Filing date: 2014-02-26
Publication date: 2014-09-01
Also published as: JP2014194520A

Abstract

本發明提供一種基板貼合裝置及基板貼合用具。基板貼合裝置1使顯示基板101與蓋基板121在真空下經由黏接構件110而貼合，且具備載置構件201及貼合部8。載置構件201載置有要貼合的其中一個基板即顯示基板101。載置構件201具備板狀的主體202及保持構件203a~203d。保持構件203a~203d與顯示基板101的側面部抵接，限制顯示基板101在與載置構件201的面平行的面內的移動。貼合部8使載置於載置構件201的顯示基板101與要貼合的另一基板即蓋基板121在真空下經由黏接構件110而貼合。

Description

基板貼合裝置及基板貼合用具

本發明是有關於一種將液晶模組(liquid crystal module，LCM)或有機發光二極體(organic light emitting diode，OLED)模組等顯示基板、與具觸控感測器(touch sensor)的基板或保護基板等蓋基板貼合的基板貼合裝置及基板貼合用具者。

顯示設備的顯示部例如在設於液晶模組或有機發光二極體模組等顯示基板的偏光板上，設置具觸控感測器的基板或保護基板等蓋基板。近年來，此種顯示部是經過將蓋基板貼合於顯示基板的步驟而生產。此外，作為貼合兩基板時使用的接合材料，正廣泛使用紫外線硬化樹脂。

一般來說，為了不使氣泡進入兩基板間，於顯示基板貼合蓋基板的步驟是在真空環境下進行。於專利文獻1中，揭示有一種顯示裝置的製造方法，於真空容器內將顯示裝置(相當於顯示基板)與由透明面材形成的保護板(相當於蓋基板)貼合。該顯示裝置的製造方法使用的是能夠使內部成為真空的真空容器。於真空容器配設有：基體，支撐顯示基板；移動機構，支撐蓋基板使之相對於顯示基板相對地移動；及加壓構件，用於使密封用黏接樹脂介置於顯示基板與蓋基板之間並使之密接。

此外，於該顯示裝置的製造方法中，在真空下將塗佈有黏接樹脂的顯示基板與蓋基板貼合之後，解除真空容器內的真空。然後，自真空容器取出經貼合的顯示基板及蓋基板，並在對位裝置中使顯示基板與蓋基板準確地對位。其後，藉由紫外線照射等使固定用黏接樹脂硬化，固定經對位的顯示基板與蓋基板的準確位置關係。

根據該顯示裝置的製造方法，由於在真空中貼合兩基板，因此即便於貼合時在密封用黏接樹脂與蓋基板之間形成有間隙的情形時，亦可藉由解除真空使得密封用黏接樹脂被吸引至該間隙，從而堵住間隙。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]國際公開2011/037035號手冊

然而，於專利文獻1所記載的顯示裝置的製造方法等先前的技術中，存在如下問題。

首先，作為第1問題，於將基板貼合裝置設為自動化的情形時，必須使顯示基板及蓋基板(以下稱為工件(work))穩定地供給至基板貼合裝置。作為向基板貼合裝置穩定地供給工件的裝置，有設備人或自動搬送機，而作為此時的工件支撐方法通常為真空吸附。

然而，若與工件平面垂直的方向上工件的翹曲或撓曲的大小成為100μm~300μm以上，則空氣會進入吸附部與工件間的間隙，而導致無法吸附。尤其是顯示基板由於將背光裝置(backlight)、導光板、光擴散片、液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)等多個不同的構件積層而形成為多層狀等其構造上的原因而易於產生翹曲。

其次，作為第2問題，於專利文獻1所揭示的顯示裝置的製造方法中，若於任一基板中上述翹曲或平行度產生偏移的狀態下進行貼合，則顯示基板與蓋基板的外緣成為閉合的狀態。結果，有在基板的接合面與紫外線硬化樹脂之間(以下稱為接合部位)無法形成真空的空間，而導致氣泡殘留的可能性。此外，於在真空環境下進行貼合時，若因按壓導致工件變形，則無法在接合部位形成真空的空間，從而導致氣泡殘留。

根據上述情況，期待一種即便顯示基板存在撓曲、翹曲，亦可穩定地將顯示基板與蓋基板貼合的方法。

本發明的基板貼合裝置是使顯示基板與蓋基板在真空下經由黏接構件而貼合的裝置，且具備載置構件、及貼合部。

載置構件載置要貼合的其中一個基板即顯示基板。而且，載置構件具備板狀的主體及保持構件。保持構件設於主體中的載置有顯示基板之側的面，並與顯示基板側面部抵接，且保持構件限制顯示基板在與載置構件的面平行的面內的移動。

貼合部使載置於載置構件的顯示基板與要貼合的另一個基板，即蓋基板，在真空下經由黏接材料而貼合。

根據本發明的基板貼合裝置，藉由將顯示基板載於載置構件，矯正顯示基板的翹曲或撓曲，而使顯示基板的姿勢穩定。而且，藉由將保持構件抵接在顯示基板的側面部，不僅可限制顯示基板的移動，亦可抑制顯示基板膨脹。

根據本發明的至少一實施方式，即便顯示基板存在撓曲、翹曲，亦可穩定地進行顯示基板與蓋基板的貼合。

1‧‧‧基板貼合裝置

2‧‧‧台座

3‧‧‧樹脂塗佈部

4‧‧‧基板搬送部

5‧‧‧供給台

6‧‧‧上構件

7‧‧‧下構件

8‧‧‧貼合部

9‧‧‧位置檢測部

10‧‧‧樹脂硬化部

11‧‧‧Y軸導座

12‧‧‧X軸導座

15‧‧‧供給台移動部(托盤搬送部)

16‧‧‧供給台升降機構

17‧‧‧供給台水平移動機構

18‧‧‧滑件

20‧‧‧真空容器

21‧‧‧上蓋部

22‧‧‧周壁部

31‧‧‧上構件移動部

32‧‧‧上構件升降機構

33‧‧‧上構件水平移動機構

34‧‧‧滑件

35‧‧‧X軸導座

41‧‧‧下構件移動機構

42‧‧‧移動機構支撐部

43‧‧‧托盤支撐部

44‧‧‧密封構件

51‧‧‧第1透鏡鏡筒

52‧‧‧第2透鏡鏡筒

53‧‧‧訊號處理部

55‧‧‧位置檢測部移動機構

56‧‧‧滑件

61‧‧‧支撐框架

62‧‧‧基板保持部

63‧‧‧筒狀部

64‧‧‧軸

65‧‧‧保持部移動機構

66‧‧‧排氣口

67‧‧‧吸氣口

68‧‧‧照射用貫通孔

71‧‧‧驅動控制部(控制部)

72‧‧‧真空泵

73‧‧‧暫時固定用光源

101‧‧‧顯示基板

102‧‧‧基板主體

103‧‧‧框架

103a‧‧‧突起物

104‧‧‧偏光板

105a~105d‧‧‧固定用配件

110‧‧‧紫外線硬化樹脂

121‧‧‧具觸控感測器的基板(蓋基板)

201‧‧‧托盤構件(載置構件)

202‧‧‧托盤主體(主體)

203a~203d‧‧‧定位銷(保持構件)

204‧‧‧孔部

205a~205d‧‧‧彈性體

301‧‧‧托盤構件(載置構件)

302‧‧‧托盤主體(主體)

303‧‧‧凹部

304a~304d‧‧‧階差部(保持構件)

305a~305d‧‧‧分隔部(避讓部)

401‧‧‧基板貼合裝置

402‧‧‧貼合部

406‧‧‧上構件

407‧‧‧下構件

421‧‧‧上蓋部

422‧‧‧周壁部

441‧‧‧支撐部

441a‧‧‧凹部

441b‧‧‧支撐板

441c‧‧‧周壁部

442‧‧‧密封構件

443‧‧‧貫通孔

444‧‧‧O形環

461‧‧‧支撐框架

462‧‧‧基板保持部

463‧‧‧筒狀部

464‧‧‧軸

465‧‧‧保持部移動機構

466‧‧‧排氣口

467‧‧‧吸氣口

469‧‧‧拍攝部

471‧‧‧接收銷升降機構

472‧‧‧第1底座

472a‧‧‧軸承部

473‧‧‧第2底座

474‧‧‧下構件移動機構

475‧‧‧第3底座

476‧‧‧導引軸

478‧‧‧下構件升降機構

479‧‧‧支撐軸

481‧‧‧進給馬達

482‧‧‧進給螺桿軸

483‧‧‧上推構件

483a‧‧‧第2導軌

484‧‧‧進給螺母

485‧‧‧滑動構件

486‧‧‧銷底座

487‧‧‧接收銷

488‧‧‧滑件

489‧‧‧第1導軌

491‧‧‧滾珠螺桿

492‧‧‧升降驅動部

493‧‧‧帶構件

494‧‧‧進給螺母

501‧‧‧載置構件

502‧‧‧按壓構件(保持構件)

503a、503b‧‧‧定位構件(保持構件)

504‧‧‧插通孔

505‧‧‧移動機構

506‧‧‧主體

506a‧‧‧凹陷部

511‧‧‧驅動馬達

512‧‧‧旋轉軸

513‧‧‧凸輪構件

514‧‧‧底座構件

515‧‧‧滑件

516‧‧‧導軌

517‧‧‧彈簧

601‧‧‧載置構件

602a、602b‧‧‧按壓構件(保持構件)

603a、603b‧‧‧定位構件(保持構件)

604‧‧‧插通孔

606‧‧‧主體

F1‧‧‧範力

F2‧‧‧按壓力

t‧‧‧深度

X‧‧‧第1方向

Y‧‧‧第2方向

Z‧‧‧第3方向

θ‧‧‧旋轉方向

圖1是表示本發明的第1實施方式的顯示基板的概略構成的說明圖。圖1的A表示俯視圖，圖1的B表示剖面圖。

圖2是表示本發明的第1實施方式的托盤構件的概略構成的說明圖。圖2的A表示俯視圖，圖2的B表示側視圖。

圖3是表示本發明的第1實施方式的基板貼合裝置的概略構成的俯視圖。

圖4是表示本發明的第1實施方式的基板貼合裝置的概略構成的前視圖。

圖5是表示本發明的第1實施方式的基板貼合裝置中貼合部的概略構成的剖面圖。

圖6是表示本發明的第1實施方式的基板貼合裝置的控制系統的方塊圖。

圖7是表示本發明的第2實施方式的托盤構件的概略構成的說明圖。圖7的A表示俯視圖，圖7的B表示剖面圖。

圖8是表示本發明的第3實施方式的基板貼合裝置中貼合部的概略構成的剖面圖。

圖9是表示本發明的第3實施方式的貼合部及載置構件的俯視圖。

圖10是表示本發明的第3實施方式的載置構件的主要部分的說明圖。

圖11是表示本發明的第3實施方式的載置構件的作用的說明圖。

圖12是表示本發明的第4實施方式的載置構件的俯視圖。

<第1實施方式>

以下，一面參照隨附圖式一面對本發明的第1實施方式的例子進行說明。另外，對各圖中共通的構成要素標註相同符號。

[顯示基板]

首先，對藉由本發明的第1實施方式的基板貼合裝置而貼合的其中一個基板即顯示基板進行說明。

圖1是表示顯示基板的概略構成的說明圖。圖1的A是俯視圖，圖1的B是沿圖1的A的X-X'線的剖面圖。

如圖1的A、圖1的B所示，顯示基板101例如為LCD模組(LCM：Liquid Crystal Display Module)。顯示基板101包括：基板主體102，使用有液晶；框架103，使該基板主體102 的其中一個面露出而收容基板主體102；及偏光板104，安裝在基板主體102的其中一個面。

另外，作為顯示基板101，亦可為有機發光二極體(OLED：Organic Light Emitting Diode)模組或其他顯示模組。

基板主體102形成為長方形的板狀，且其中一個面成為顯示面。此外，基板主體102積層有多個構件，例如形成為包含主要由未圖示的形成為網格狀的黑矩陣(black matrix)形成的層的多層狀。該黑矩陣例如是藉由使金屬鉻濺鍍在基板主體102，並利用蝕刻(etching)去除不需要部分而形成。

框架103覆蓋基板主體102的四邊、及基板主體102 的另一個面。

偏光板104形成為長方形，且外周的輪廓小於基板主體102。即，偏光板104的外周的輪廓形成為與基板主體102的顯示區域大致相等的大小。於框架103安裝有在製品化時使用的固定用配件105a~105d。配件的形狀、數量及位置並不限於圖1所示的位置，有時會根據製品而改變。於該例中，固定用配件105a~105d為在中心有孔的三角形的形狀，圖中作為一例是於顯示基板101的右邊的上下側設置兩個，於下邊左端設置一個，且於左邊上側設置一個。此外，於框架103的背面側配置有包含驅動用電路或配線等的突起物103a(圖中網紋的線跡(stitch))。

[托盤構件]

其次，對載置本發明的第1實施方式的顯示基板101的托盤構件進行說明。

圖2是表示托盤構件的概略構成的說明圖。圖2的A表示俯視圖，圖2的B表示側視圖。圖中，2點鏈線是在托盤構件載置有圖1的A的顯示基板101的情形的虛線。

如圖2的A、圖2的B所示，表示載置構件的一例的托盤構件201的托盤主體202形成長方形的板狀的形狀。由於要在托盤主體202載置顯示基板101，因此托盤主體202成為與顯示基板101的尺寸、外形形狀相配合的形狀，且具有將顯示基板101包含在內的大小。托盤主體202的大小並無限制，但就搬送的容易性、及基板貼合裝置的小型化的觀點而言，較佳為儘量小。托盤構件201的材質較佳為儘量輕且廉價的材料，鋁等金屬或樹脂較佳。但，托盤構件201需要不會因貼合時的按壓而變形的程度的剛性，作為一例，根據此材料具有的楊氏模數(Young's modulus)決定平板的板厚。

在托盤主體202，於與顯示基板101的外形相接的位置即托盤主體202的四邊的端部附近配置有表示保持構件的一例的4個定位銷203a~203d(柱狀構件的一例)。定位銷203a~203d分別配置於避開處於顯示基板101的對應位置的固定用配件105a~105d的位置，其數量為在四邊的每一邊有一根以上的比率。於該例中，於顯示基板101的右邊上側附近配置有定位銷203a、於下邊右側附近配置有定位銷203b、於左邊下側附近配置有定位銷203c、且於上邊左側附近配置有定位銷203d。若將顯示基板101載置於托盤主體202，則定位銷203a~203d的各者與顯示基板101的對應的邊抵接，限制顯示基板101在與托盤主體202平行的面內向二維方向移動，從而完成顯示基板101的定位。藉此，於托盤構件201內顯示基板101不會移動。

由於定位銷203a~203d例如是將其前端***至形成於托盤主體202的表面的孔而豎立設於托盤主體202，因此其材料較佳為例如金屬等剛性高的材料。

此外，於托盤主體202形成有用以避讓處於顯示基板 101的背面的突起物103a的孔部204(避讓部的一例)。該孔部204為與存在於顯示基板101的與托盤主體202對向的面的突起物103a對應的凹形狀。根據顯示基板101的突起物103a的大小及高度，決定托盤構件201的孔部204的大小及深度。孔部204的深度亦可為貫通托盤主體202的程度。該孔部204與定位銷203a~203d同樣地，亦作為限制顯示基板101的移動的保持構件發揮功能。

此外，托盤主體202只要為支撐顯示基板101的背面整個面、或者外周部或其一部分的形狀即可。

圖2的例子是設為接收顯示基板101的背面的外周部的四邊的形狀的托盤主體202。於托盤主體202的表面，以與顯示基板101的背面側的外周部的四邊對應的方式設有4個彈性體205a~205d，吸收所載置的顯示基板101的翹曲、撓曲。於與顯示基板101的顯示面(偏光板104)的外周部的四邊對應的位置且高度等於或低於定位銷203a~203d之處，長方體的彈性體205a~205d以其長邊方向與托盤主體202的面平行的方式配置。

彈性體205a~205d的材質較佳為儘量柔軟，合適的有以即便在真空中亦相對較穩定的矽酮為主要材料的物質、例如矽酮橡膠(silicone rubber)等。此外，亦可為凝膠狀的彈性體。彈性體205a~205d的硬度以針入度(1/10mm)(JIS K2207)計， 40~60左右的針入度適合，但即便為40~60以上亦可使用。一邊的寬度(長度)及厚度並無特別限制，但需要為能夠吸收顯示基板101的翹曲、撓曲的厚度。

另外，藉由將托盤構件201設為可與顯示基板101的多個品種相對應的構造，亦能以一種托盤構件201對應多個品種的顯示基板101。

[基板貼合裝置]

其次，參照圖式，對本發明的第1實施方式的基板貼合裝置進行說明。

如圖3所示，基板貼合裝置1包括台座2、樹脂塗佈部3、基板搬送部4、供給台5、包含上構件6及下構件7的貼合部8、位置檢測部9、及樹脂硬化部10。樹脂塗佈部3、基板搬送部4、供給台5、貼合部8的下構件7、位置檢測部9及樹脂硬化部10配置於台座2的上表面。此外，貼合部8的上構件6配置於台座2的上方。

供給台5、下構件7、位置檢測部9及樹脂硬化部10 分別空開適當的間隔地排列而配置。此處，將供給台5及下構件7等排列的方向設為第1方向X。此外，將相對於台座2的上表面水平的方向且與第1方向X正交的方向設為第2方向Y，並將相對於台座2的上表面正交的鉛垂方向設為第3方向Z。

樹脂塗佈部3配置於台座2的第1方向X上的大致中央。對該樹脂塗佈部3，藉由基板移送部(未圖示)供給具觸控感測器的基板121(蓋基板的一例，參照圖5)。樹脂塗佈部3是將紫外線硬化樹脂110(參照圖5)塗佈在所供給的具觸控感測器的基板121的未圖示的玻璃基板側的面，並藉由未圖示的基板反轉部使其上下反轉。樹脂塗佈部3例如藉由狹縫式塗佈機(slit coater)，將紫外線硬化樹脂110塗佈在具觸控感測器的基板121。

基板搬送部4將藉由樹脂塗佈部3而塗佈有紫外線硬化樹脂110的具觸控感測器的基板121向貼合部8的上構件6輸送。向上構件6輸送的具觸控感測器的基板121藉由基板保持部62(參照圖5)而保持。關於上構件6的內部構成將在之後進行敍述。該基板搬送部4由Y軸導座11導引而向第2方向Y移動。即，樹脂塗佈部3與上構件6在第2方向Y上相互對向。另外，各構成要素的配置可以適當地設定，並不限定於本實施方式。

供給台5配置於台座2的第1方向X上的一端部。對供給台5供給載有顯示基板101的托盤構件201。顯示基板101以偏光板104側的面朝向上方的狀態載於托盤構件201，而載置於供給台5。

供給台5藉由供給台移動部15(托盤搬送部的一例) 而移動。供給台移動部15包含：供給台升降機構16，使供給台5向第3方向Z移動；及供給台水平移動機構17，使供給台5及供給台升降機構16向第1方向X移動。供給台水平移動機構17包含：滑件18，支撐供給台升降機構16；X軸導座12，將滑件18向第1方向X導引；及驅動部(未圖示)，用以使滑件18移動。

藉由將顯示基板101載於托盤構件201而搬送，即便是存在撓曲、翹曲的顯示基板101亦可被穩定地搬送。作為將載有顯示基板101的托盤構件201穩定地向基板貼合裝置1供給的裝置，例如可利用具有自下側或側方抓持托盤構件201的臂的設備人或自動搬送機。

構成貼合部8的上構件6與下構件7藉由相互抵接，形成具有密閉的內部空間的真空容器20(參照圖4)。並且，上構件6及下構件7以在真空容器20內收納有顯示基板101及具觸控感測器的基板121的狀態密閉。

上構件6例如形成為下部開口的中空的長方體狀，且包含：上蓋部21，形成為長方形的板狀；及周壁部22，與該上蓋部21的四邊連續而向下方延伸。上構件6的周壁部22形成為長方形的框狀，且其前端部成為上構件6的下端。

上構件6藉由上構件移動部31而移動。上構件移動部31包含：上構件升降機構32，使上構件6向第3方向Z移動；及上構件水平移動機構33，使上構件6及上構件升降機構32向第1方向X移動。

在上構件升降機構32固定有上構件6的上蓋部21。作為該上構件升降機構32，例如可應用氣缸(air cylinder)或液壓缸等。上構件水平移動機構33包含：滑件34，固定上構件升降機構32；X軸導座35，將滑件34向第1方向X導引；及驅動部(未圖示)，用以使滑件34移動。

下構件7形成為大致長方形的板狀。該下構件7的外周的輪廓形成為大於上構件6的周壁部22的外周的輪廓。於下構件7的與上構件6相接的四邊周邊部形成有槽，並安裝有密封構件44。密封構件44抵接並密接在上構件6的周壁部22的前端部，而將上構件6與下構件7密閉。作為密封構件44的材料，例如可應用天然橡膠、異戊二烯橡膠(isoprene rubber)、矽酮橡膠、胺基甲酸乙酯橡膠(urethane rubber)等橡膠構件。

在下構件7的上表面部設有托盤支撐部43，該托盤支撐部43支撐載有顯示基板101的托盤構件201。於下構件7的下側固定有下構件移動機構41。下構件移動機構41使下構件7向第1方向X、第2方向Y、第3方向Z、及以沿該第3方向Z延伸的軸為中心的θ方向移動或旋轉(以下有時簡稱為移動)。移動機構支撐部42設於台座2的上表面，而支撐下構件移動機構41。關於下構件7的內部構成將在之後進行敍述。

位置檢測部9拍攝顯示基板101及具觸控感測器的基板121，而檢測兩者的相對位置。該位置檢測部9包含第1透鏡(lens)鏡筒51、第2透鏡鏡筒52、及訊號處理部53。

再者，於本實施方式中，列舉設有一個位置檢測部9的情形進行說明，但本發明的位置檢測部為了進行精度的提高及製程時間(tact time)的縮短，亦可設有兩個或多於兩個。於此情形時，只要拍攝顯示基板101及具觸控感測器的基板121的對角或對邊即可。

第1透鏡鏡筒51的物鏡(未圖示)朝向上方，獲取來自具觸控感測器的基板121的規定區域的像光。另一方面，第2透鏡鏡筒52的物鏡朝向下方，獲取來自顯示基板101的規定區域的像光。訊號處理部53將由第1透鏡鏡筒51及第2透鏡鏡筒52 獲取的像光轉換為電氣訊號。經轉換的電氣訊號被傳送至下述驅動控制部71(參照圖6)。

位置檢測部9由設於台座2上的位置檢測部移動機構55支撐，並藉由該位置檢測部移動機構55向第1方向X移動。位置檢測部移動機構55包含：滑件56，支撐位置檢測部9；X軸導座(未圖示)，將滑件56向第1方向X導引；及驅動部(未圖示)，用以使滑件56移動。

位置檢測部9在拍攝位置與退避位置之間移動，該拍攝位置拍攝顯示基板101及具觸控感測器的基板121的規定區域，該退避位置自上構件6及下構件7分開。位置檢測部9在由上構件6及下構件7形成真空容器20時，移動至退避位置從而避免與上構件6的干涉。

在該下構件7形成有用以使真空容器內脫氣的排氣口(省略圖示)，且該排氣口通過排氣管而與真空泵72(參照圖6)連接。若驅動真空泵，則真空容器內的氣體通過排氣口及排氣管而排出。該下構件7藉由下構件移動機構(未圖示)，向第1方向X、第2方向Y及第3方向Z、進而以沿第3方向Z延伸的軸為中心的旋轉方向θ(參照圖3)移動。另外，供給至下構件7的顯示基板101由配置於下構件7的上表面的托盤支撐部43支撐。

另外，亦可在貼合部8設置暫時固定用光源。例如暫時固定用光源是沿第2方向Y延伸的線狀的光源，並出射紫外線。自暫時固定用光源出射的紫外線被照射至介置在顯示基板101與具觸控感測器的基板121之間的紫外線硬化樹脂110的兩個側面的整體。藉此，可將顯示基板101與具觸控感測器的基板121暫時固定，從而可防止在藉由樹脂硬化部10使紫外線硬化樹脂硬化前，兩基板發生相對偏移。

樹脂硬化部10配置於台座2的第1方向X上的一端部。對該樹脂硬化部10搬送重合的顯示基板101與具觸控感測器的基板121。樹脂硬化部10是將紫外線照射至所供給的基板101、基板121間的紫外線硬化樹脂110，而使紫外線硬化樹脂110整體硬化(正式硬化)。

[貼合部]

其次，對構成貼合部8的上構件6與下構件7的內部進行說明。

圖5是表示本發明的第1實施方式的基板貼合裝置1中貼合部8的概略構成的剖面圖。

貼合部8被收容在支撐框架61的收容空間內。支撐框架61是用以防止貼合部8中所使用的有機溶劑等的擴散。

在上構件6的上部設有基板保持部62，作為具觸控感測器的基板121的保持裝置的一例。具觸控感測器的基板121是藉由基板保持部62，使塗佈有紫外線硬化樹脂110的面朝下，而限制具觸控感測器的基板121向方向X、方向Y及方向Z的移動，從而得以保持。

基板保持部62包含：吸附面部，與具觸控感測器的基板121抵接而保持該基板；筒狀部63，自吸附面部的大致中央部向上方延伸；及軸64，可使筒狀部63的筒孔(省略圖示)在上下方向移動。軸64的上端部將上構件6在上下方向貫通，而固定在保持部移動機構65的活塞桿(piston rod)。

基板保持部62固定在保持部移動機構65。保持部移動機構65例如包含氣缸，且固定在支撐框架61。保持部移動機構65的活塞桿的一端固定在基板保持部62的軸64的上端部。保持部移動機構65藉由使軸64在上下方向(方向Z)移動，而使基板保持部62在上下方向移動。另外，使移動的驅動源在本實施方式例中是以氣缸為例，但亦可為使用伺服馬達(servo motor)的線性驅動設備。

在上構件6的周壁部22形成有：排氣口66，用以使真空容器20脫氣；及吸氣口67，用以將外部氣體吸入至真空容器20。於排氣口66設有將排氣口66打開或關閉的排氣閥(未圖示)，於吸氣口67設有將吸氣口67打開或關閉的吸氣閥(未圖示)。

在排氣口66連接有排氣管(未圖示)的一端部。並且，排氣管的另一端部連接在真空泵72(參照圖6)。若打開排氣閥，且驅動真空泵72，則真空容器20的氣體經由排氣口66通過排氣管而排出。

此外，於上構件6的周壁部22，於與暫時固定用光源73(參照圖6)的照射部對向的部位設有貫通的照射用貫通孔68。照射用貫通孔68為了氣密地保持由上構件6與下構件7形成的真空容器20內的真空室，而藉由透明的保護構件封閉。暫時固定用光源73經由照射用貫通孔68及保護構件，自側方將紫外線出射至介置在顯示基板101與具觸控感測器的基板121之間的紫外線硬化樹脂110。

即便顯示基板101的尺寸或形狀改變，設於下構件7 的上表面部的托盤支撐部43亦使支撐托盤構件201的部位共通，藉此無須更換或調整貼合部8的零件，於變更顯示基板101的品種時縮短裝置的停止時間。另外，作為一例，利用托盤支撐部43的顯示基板101的支撐是藉由吸附而進行。

若下構件7藉由下構件7的下構件移動機構41而移動，並經由下構件移動機構41與上構件6的周壁部22抵接，則在上構件6與下構件7與托盤支撐部43之間形成真空容器20(參照圖4)。載於托盤構件201的顯示基板101被搬入真空容器20內後，由托盤支撐部43的上表面部支撐，而與上構件6的基板保持部62所保持的具觸控感測器的基板121貼合。

[基板貼合裝置的控制系統]

其次，參照圖式，對基板貼合裝置1的控制系統進行說明。

圖6是表示基板貼合裝置1的控制系統的方塊圖。

如圖6所示，基板貼合裝置1包括驅動控制部71。該驅動控制部71例如包含：中央運算處理裝置(Central Processing Unit，CPU)；唯讀記憶體(Read Only Memory，ROM)，用以記憶CPU執行的程式等；及隨機存取記憶體(Random Access Memory，RAM)，作為CPU的作業區域使用。

驅動控制部71連接於樹脂塗佈部3、基板搬送部4、供給台移動部15、位置檢測部9、位置檢測部移動機構55、及樹脂硬化部10。此外，驅動控制部71連接於真空泵72、上構件移動部31、基板保持部62、保持部移動機構65、暫時固定用光源73、下構件移動機構41、及托盤支撐部43。

樹脂塗佈部3由驅動控制部71驅動控制，將紫外線硬化樹脂110塗佈在具觸控感測器的基板121。基板搬送部4由驅動控制部71驅動控制，將塗佈有紫外線硬化樹脂110的具觸控感測器的基板121上下反轉，並搬送至上構件6的基板保持部62。

上構件移動部31由驅動控制部71驅動控制，使上構件6移動。上構件6自接收具觸控感測器的基板121的位置移動至與下構件7形成真空容器20的位置為止。保持部移動機構65由驅動控制部71驅動控制，使保持具觸控感測器的基板121的基板保持部62移動。

供給台移動部15由驅動控制部71驅動控制，使載置有載有顯示基板101的托盤構件201的供給台5移動至向下構件7交付的位置即托盤支撐部43。

托盤支撐部43由驅動控制部71驅動控制，自供給台移動部15接收並支撐載有顯示基板101的托盤構件201。

下構件移動機構41由驅動控制部71驅動控制，使下構件7移動。下構件7自接收載有顯示基板101的托盤構件201的位置移動至與上構件6形成真空容器20的位置為止。

位置檢測部移動機構55由驅動控制部71驅動控制，使位置檢測部9移動至上述拍攝位置或退避位置。配置於拍攝位置的位置檢測部9拍攝保持在基板保持部62的具觸控感測器的基板121、及由托盤支撐部43支撐的托盤構件201上的顯示基板101，而檢測兩者的相對位置。並且，將檢測結果傳送至驅動控制部71。

驅動控制部71基於位置檢測部9的檢測結果，對下構件移動機構41進行驅動控制而使下構件7移動，將顯示基板101對位於具觸控感測器的基板121。此外，下構件移動機構41使配置有托盤支撐部43的下構件7上升，將載於托盤構件201的顯示基板101貼合於具觸控感測器的基板121。

暫時固定用光源73由驅動控制部71驅動控制，將雷射(laser)光或紫外線照射至介置在顯示基板101與具觸控感測器的基板121之間的紫外線硬化樹脂110的側面。

樹脂硬化部10由驅動控制部71驅動控制，對介置在顯示基板101與具觸控感測器的基板121之間的紫外線硬化樹脂110的整個面照射紫外線。

[基板貼合裝置的動作]

接著，對包含上述構成的基板貼合裝置1的藉由驅動控制部71的控制進行的顯示基板101與具觸控感測器的基板121的貼合動作進行說明。

首先，將具觸控感測器的基板121供給至貼合部8。若將具觸控感測器的基板121供給至樹脂塗佈部3，則對具觸控感測器的基板121的接合面塗佈紫外線硬化樹脂110，並將基板121上下反轉。藉由基板搬送部4，將塗佈有紫外線硬化樹脂110的具觸控感測器的基板121向貼合部8的基板保持部62搬送並保持在基板保持部62。

此外，將顯示基板101供給至貼合部8。

若將載有顯示基板101的托盤構件201供給至供給台5，則藉由供給台移動部15，載置於供給台5且載有顯示基板101的托盤構件201被搬送至貼合部8的托盤支撐部43，並由托盤支撐部43支撐。此時，載於托盤構件201的顯示基板101由於藉由定位銷203a~203d而二維方向的移動被限制，因此位置不會變化而姿勢穩定。另外，將顯示基板101與具觸控感測器的基板121向貼合部8搬送的順序亦可相反。

驅動控制部71基於位置檢測部9的檢測結果，對顯示基板101與具觸控感測器的基板121的相對位置進行調整，此外，使上構件6及下構件7移動並密閉，而形成真空容器20。

驅動控制部71驅動真空泵72而將真空容器20內的氣體脫去，將真空容器20內抽成真空。脫氣亦可在對顯示基板101與具觸控感測器的基板121相對地定位的期間進行。

在使真空容器20內成為真空狀態後，驅動控制部71 將保持具觸控感測器的基板121的保持部移動機構65及/或下構件移動機構41驅動，使具觸控感測器的基板121及/或顯示基板101相對地移動，並進行貼合。

其後，位置檢測部9檢測顯示基板101與具觸控感測器的基板121的相對位置。驅動控制部71基於位置檢測部9的檢測結果，使顯示基板101與具觸控感測器的基板121相對地移動，調整貼合後的顯示基板101與具觸控感測器的基板121的相對位置。

繼而，配置於貼合部8的支撐框架61內的暫時固定用光源73對介置在已完成相對位置調整的顯示基板101與具觸控感測器的基板121之間的未硬化的紫外線硬化樹脂110的多個部位照射紫外線。

其後，驅動控制部71將經紫外線硬化樹脂110暫時硬化而貼合的顯示基板101與具觸控感測器的基板121自貼合部8搬出。然後，向樹脂硬化部10搬送而使紫外線硬化樹脂110硬化 (正式硬化)，從而將顯示基板101與具觸控感測器的基板121固定。

根據上述第1實施方式，藉由將顯示基板101載於具有剛性的托盤構件201，可矯正顯示基板101的翹曲或撓曲，從而可進行穩定的搬送。

此外，由於在將顯示基板101載於托盤構件201的狀態下，進行顯示基板101與具觸控感測器的基板121的貼合，因此不會因貼合時的按壓而導致顯示基板101變形，從而可進行穩定的貼合。

此外，托盤構件201成為避開顯示基板101的背面的突起物103a的形狀，且接收顯示基板101的背面整個面或外周部的四邊的形狀。載置顯示基板101的托盤構件201至少具有如下剛性，即，顯示基板101不會因按壓而變形至在接合部位無法形成真空的空間的程度。因此，顯示基板101能以穩定的狀態載置於托盤構件201。

此外，藉由在托盤構件201的外周部設有定位銷203a ~203d作為保持構件，可將顯示基板101以不會在托盤構件201上移動的方式限制，從而使姿勢穩定。

此外，藉由在托盤構件201上，將彈性體205a~205d 配置於托盤構件201與顯示基板101之間，而吸收顯示基板101的撓曲、翹曲。因此，於進行顯示基板101與具觸控感測器的基板121的貼合時，藉由按壓而變得易於獲得基板間的平行度，從而變得可進行更穩定的貼合。

而且，藉由使用托盤構件201，於顯示基板101的品種變更時作業性提高。即，存在根據品種配置於顯示基板101的背面側的顯示所必需的電路或配線、固定用配件等突起物的位置變化的情形。此外，根據品種，存在如下情形，即，於真空環境下，顯示基板101的積層構造的內部(層間)空間膨脹，而顯示基板101的背面側膨脹為凸形狀。於此情形時，為了避免該凸形狀，必須僅支撐顯示基板的外周部的四邊。而且，於形狀已變更的情形時，顯示基板101的位置、高度、平坦度等針對在每一品種會產生調整，導致整備耗費時間。

在本實施方式中，即便在如此般改變顯示基板101的品種的情形時，亦可僅變更托盤構件201以對應該等問題。因此，無須更換或調整基板貼合裝置1的零件，從而可在品種變更時縮短裝置停止時間。

<2.第2實施方式>

圖7是表示本發明的第2實施方式的托盤構件的概略構成的說明圖。圖7的A表示俯視圖，圖7的B表示沿圖7的A的Y-Y'線的剖面圖。

在第2實施方式中，設為如下構成，即，於托盤主體202的外周部設有階差部作為保持構件以代替第1實施方式的托盤構件201的定位銷203a~203d。

圖7的A所示的托盤構件301包含：托盤主體302；凹部303，收容顯示基板101；孔部204；及階差部304a~304d(保持構件的一例)，形成於該凹部303的周邊。

托盤構件301是托盤主體302的形狀設為凹形，並使顯示基板101的四邊抵接在其周邊的階差部304a~304d的內壁而代替定位銷203a~203d決定顯示基板101的位置。此外，於階差部304a~304d之間，於避開顯示基板101的固定用配件105a~105d的位置設有分隔部305a~305d(避讓部的一例)，數量為在四邊的每一邊有一個以上的比率。

在該第2實施方式中，利用藉由將托盤主體302陷入而產生的階差部304a~304d，將顯示基板101的姿勢固定。因此，階差部304a~304d可不由金屬構成，而由剛性更小的樹脂構成，從而有助於托盤構件301的輕量化及成本削減。

<3.第3實施方式>

其次，參照圖8~圖10，對本發明的第3實施方式的基板貼合裝置進行說明。

圖8是表示本發明的第3實施方式的貼合部的概略構成的剖面圖。

第3實施方式的基板貼合裝置401與第1實施方式的基板貼合裝置1不同的部分在於貼合部的構成、及將貼合部一體地設於載置構件的方面。因此，此處對貼合部及載置構件進行說明，對與第1實施方式的基板貼合裝置1共通的部分標註相同符號而省略重複說明。

如圖8所示，貼合部402包含上構件406、及下構件 407。並且，貼合部402被收容在支撐框架461的收容空間內。此外，於支撐框架461設有對位用的拍攝部469。拍攝部469拍攝具觸控感測器的基板121及顯示基板101的對準標記。並且，貼合部402使用藉由拍攝部469拍攝的圖像而進行具觸控感測器的基板121及顯示基板101的對位。

上構件406與第1實施方式的貼合部8同樣地，例如形成為下部開口的中空的長方體狀，且包含：上蓋部421，形成為長方形的板狀；及周壁部422，與該上蓋部421的四邊連續而向下方延伸。

在周壁部422形成有：排氣口466，用以使真空容器脫氣；及吸氣口467，用以將外部氣體吸入至真空容器。於排氣口466設有將排氣口466打開或關閉的排氣閥(未圖示)，於吸氣口467設有將吸氣口467打開或關閉的吸氣閥(未圖示)。

在上構件406設有保持具觸控感測器的基板121的基板保持部462。基板保持部462包含：吸附面部，與具觸控感測器的基板121抵接而保持該基板；筒狀部463，自吸附面部的大致中央部向上方延伸；及軸464，可使筒狀部463的筒孔(省略圖示)在上下方向移動。軸464的上端部將上構件406在上下方向貫通，而固定在保持部移動機構465的活塞桿。

下構件407包含：支撐部441，支撐載置構件501；接收銷(receiving pin)升降機構471；第1底座472；第2底座473；第3底座475；下構件移動機構474；及下構件升降機構478。

支撐部441形成為上部開口的中空的長方體狀，並設有配置載置構件501的凹部441a。支撐部441包含：支撐板441b，形成為長方形的板狀；及周壁部441c，與支撐板441b的四邊連續而向上方延伸並包圍凹部441a。周壁部441c與上構件406的周壁部422對向。此外，於周壁部441c設有密封構件442。

在支撐板441b設有下述接收銷487在上下方向貫通的貫通孔443。於支撐板441b的下表面的貫通孔443的周圍安裝有O形環444。

支撐部441經由支撐軸479而由第3底座475支撐。此外，於第3底座475設有接收銷升降機構471。另外，關於接收銷升降機構471的詳細構成將在之後進行敍述。於第3底座475的下側設有固定在第2底座473的下構件移動機構474。下構件移動機構474使第3底座475及支撐部441向第1方向X、第2方向Y、及以沿第3方向Z延伸的軸為中心的θ方向移動或旋轉(以下有時簡稱為移動)。

此外，於第2底座473的下表面設有導引軸476。導引軸476將配置於第2底座473的下側的第1底座472在上下方向貫通。此外，於第1底座472設有支撐導引軸476使之可移動的軸承部472a。

而且，於第2底座473的下側設有下構件升降機構 478。下構件升降機構478包含：滾珠螺桿(ball screw)491；升降驅動部492，安裝在第1底座472；帶構件493；及進給螺母494。

滾珠螺桿491固定在第2底座473的下表面，並向第 2底座473的下側延伸。並且，滾珠螺桿491將第1底座472在上下方向(第3方向Z)貫通。此外，滾珠螺桿491卡合在由第1底座472可旋轉地支撐的進給螺母494。對進給螺母494，經由帶構件493傳遞來自升降驅動部492的旋轉力。並且，若驅動升降驅動部492，則進給螺母494旋轉，而滾珠螺桿491在上下方向進行升降動作。藉此，第2底座473、下構件移動機構474、第3底座475及支撐部441向第3方向Z移動。

另外，亦可使用缸體(cylinder)作為下構件升降機構478的驅動部。此外，使第2底座473、下構件移動機構474、第3底座475及支撐部441進行升降動作的機構並不限定於上述者，可藉由凸輪(cam)機構進行升降動作，亦可藉由其他各種升降機構使第2底座473、下構件移動機構474、第3底座475及支撐部441進行升降動作。

其次，對接收銷升降機構471進行說明。

如圖8所示，接收銷升降機構471包含：進給馬達481，安裝在第3底座475；進給螺桿軸482，安裝在進給馬達481；上推構件483；及滑動構件485。進給螺桿軸482在其外周面設有螺旋狀地延伸的螺槽。該進給螺桿軸482沿水平方向配置。

上推構件483經由滑件488被設於第3底座的第1 導軌489支撐而可於水平方向移動。於該上推構件483設有進給螺母484。該進給螺母484卡合在形成於進給螺桿軸482的螺槽。

此外，於上推構件483設有相對於移動方向傾斜的傾斜部，於該傾斜部設有可滑動地安裝有滑動構件485的第2導軌483a。並且，滑動構件485藉由上推構件483在水平方向移動，而沿傾斜部在鉛垂方向被上推、或下壓。該滑動構件485形成為大致梯形狀。並且，滑動構件485固定在銷底座486。於銷底座486設有支撐顯示基板101的接收銷487。

其次，對具有上述構成的接收銷升降機構471的動作進行說明。

首先，若驅動進給馬達481，則安裝在該進給馬達481的旋轉軸的進給螺桿軸482旋轉驅動。繼而，進給螺桿軸482的旋轉力經由進給螺母484傳遞至上推構件483。藉此，上推構件483沿第1導軌489在水平方向移動。

繼而，藉由上推構件483在水平方向移動，滑動構件 485沿設於上推構件483的傾斜部的第2導軌483a滑動。並且，滑動構件485沿第2導軌483a在鉛垂方向被上推或下壓。藉此，固定在滑動構件485的銷底座486及接收銷487在鉛垂方向進行升降動作。

另外，對在本例中使用進給馬達481作為接收銷升降機構471的驅動部的例子進行了說明，但並不限定於此，亦可使用缸體作為接收銷升降機構471的驅動部。此外，使銷底座486及接收銷487進行升降動作的機構並不限定於上述者，可藉由馬達使銷底座486及接收銷487直接上下地進行升降動作，或藉由凸輪機構進行升降動作，亦可利用其他各種升降機構使銷底座486及接收銷487進行升降動作。

此外，對在本發明的第3實施方式的貼合部402中使下構件407向上構件406側進行升降動作而形成密閉空間的例子進行了說明，但並不限定於此。例如，亦可與第1實施方式的貼合部8同樣地，使上構件及下構件進行升降動作而形成密閉空間。

[載置構件]

其次，參照圖9及圖10，對載置構件501進行說明。

如圖9所示，載置構件501的主體506形成為長方形的板狀。主體506與第1實施方式的托盤構件201的托盤主體202同樣地，成為與顯示基板101的尺寸、外形形狀相配合的形狀，且具有將顯示基板101包含在內的大小。

此外，於主體506設有接收銷487(參照圖8)在上下方向插通的插通孔504。而且，於主體506的表面，與第1實施方式的托盤構件201的托盤主體202同樣地，以與顯示基板101的背面側的外周部的四邊對應的方式設有未圖示的彈性體，而吸收所載置的顯示基板101的翹曲、撓曲。而且，於主體506形成有用以避讓處於顯示基板101的背面的突起物103a的未圖示的孔部(避讓部的一例)。

另外，由於彈性體及孔部與設於第1實施方式的托盤構件201的托盤主體202的彈性體205a~205d及孔部204為相同構成，因此，此處省略其說明。

此外，於主體506，於與顯示基板101的外形相接的位置即主體506的一長邊與一短邊的端部附近固定有表示保持構件的一例的定位構件503a、定位構件503b。於將顯示基板101載置於載置構件501時，第1定位構件503a抵接在顯示基板101的一長邊，第2定位構件503b抵接在顯示基板101的一短邊。此外，於定位構件503a、定位構件503b的角部亦可設置用以將顯示基板101引入的錐形部。

而且，於主體506設有按壓構件502。按壓構件502 配置於與定位構件503a、定位構件503b所抵接的顯示基板101的兩邊對向的兩邊的角部。按壓構件502是由下述移動機構505(參照圖10)以可與主體506的表面平行地移動的方式支撐。按壓構件502抵接在顯示基板101的角部，並且將顯示基板101向定位構件503a、定位構件503b側按壓。藉此，限制顯示基板101在主體506的平行的面內向二維方向的移動，從而完成顯示基板101的定位。

如圖10所示，移動機構505包含：驅動馬達511；旋轉軸512，安裝在驅動馬達511；凸輪構件513，固定在旋轉軸512的一端；底座構件514；滑件515；及導軌516。底座構件514被一體地固定在按壓構件502。此外，於底座構件514設有滑件515。滑件515由固定在支撐部441的導軌516可滑動地支撐，而與主體506的表面平行地移動。此外，於底座構件514與凸輪構件513之間設有表示彈性構件的一例的彈簧517。

若將驅動馬達511驅動，則凸輪構件513旋轉，而經由彈簧517按壓底座構件514。藉此，固定在底座構件514的按壓構件502與主體506的表面平行地移動。此外，藉由使彈簧517介置在底座構件514與凸輪構件513之間，能夠在顯示基板101的尺寸或形狀變化時亦不晃動地藉由按壓構件502按壓顯示基板101。另外，作為彈性構件，並不限定於彈簧517，亦可應用天然橡膠、異戊二烯橡膠、矽酮橡膠、胺基甲酸乙酯橡膠等橡膠構件。

另外，移動機構505的構成並不限定於上述者，亦可使用應用有缸體或滾珠螺桿的構成等其他各種移動機構。

對在該第3實施方式的載置構件501中設置固定在主體506的定位構件503a、定位構件503b及按壓顯示基板101的側面部的按壓構件502作為保持構件的例子進行了說明，但並不限定於此。例如，作為保持構件，亦可全部設為按壓顯示基板101 的側面部的按壓構件。

[基板貼合裝置的動作]

其次，對具有上述貼合部402的基板貼合裝置401的動作進行說明。

如圖8所示，首先驅動接收銷升降機構471，接收銷 487上升。繼而，將自未圖示的基板搬送部搬送的顯示基板101載置於接收銷487。然後，驅動接收銷升降機構471，接收銷487下降，從而將顯示基板101載置於載置構件501的主體506的表面。繼而，驅動移動機構505(參照圖10)，按壓構件502與主體506的表面平行地移動。然後，按壓構件502將顯示基板101的側面部向定位構件503a、定位構件503b側按壓。藉此，限制顯示基板101中的二維方向的移動，位置不發生變化而姿勢穩定。

其次，藉由拍攝部469拍攝顯示基板101的對準標記，而進行顯示基板101的對位。此外，將塗佈有紫外線硬化樹脂110的具觸控感測器的基板121向貼合部402的基板保持部462搬送，並保持在基板保持部462。而且，藉由拍攝部469拍攝具觸控感測器的基板121的對準標記，而進行與顯示基板101的對位。

繼而，使下構件407移動並密閉，而形成真空容器。然後，將真空容器內抽成真空。繼而，使具觸控感測器的基板121及/或顯示基板101相對地移動，而進行貼合。

[載置構件的作用]

其次，參照圖11，對第3實施方式的載置構件501的作用進行說明。

圖11是表示載置構件501的作用的說明圖。

如圖1的B所示，顯示基板101藉由基板主體102、框架103及偏光板104等形成為層狀。此外，於顯示基板101的層中，殘留有氣體(空氣)。因此，在將真空容器內抽成真空時，顯示基板101有可能因殘留的氣體而以中央為中心大致圓形地膨脹。並且，因顯示基板101膨脹，顯示基板101的位置有可能偏移，或者在與具觸控感測器的基板121貼合時有可能產生氣泡。

如圖11所示，於第3實施方式的載置構件501中，藉由按壓構件502按壓顯示基板101的側面部。藉此，可抑制顯示基板101在真空下膨脹。此處，於將顯示基板101的膨脹的反作用力設為F1，將按壓構件502及定位構件503a、定位構件503b的摩擦係數設為μ時，按壓構件502的按壓力F2較佳為滿足下述式1。

[式1]μF2>F1

再者，於載置構件501的主體506的表面為平坦的面的情形時，有可能僅顯示基板101的上表面、即貼合具觸控感測器的基板121的面膨脹。因此，如圖11所示，亦可在主體506的表面形成凹陷部506a。因此，於將顯示基板101載置於載置構件501時，於主體506的表面與顯示基板101的下表面間，藉由凹陷部506a形成間隙。藉此，顯示基板101中的膨脹的力分散至上表面與下表面。結果，可抑制顯示基板101的上表面的膨脹量。

凹陷部506a的深度t設定為與介置在主體506的表面與顯示基板101之間的未圖示的彈性體的厚度大致相等。另外，亦可在第1實施方式的托盤構件201及第2實施方式的托盤構件 301形成凹陷部506a。

<4.第4實施方式>

其次，參照圖12，對本發明的第4實施方式的載置構件進行說明。

圖12是表示本發明的第4實施方式的載置構件的概略構成的俯視圖。

本發明的第4的實施方式的載置構件601與第3實施方式的載置構件501的不同點在於按壓構件的數量。如圖12所示，載置構件601包含主體606、定位構件603a、定位構件603b、及按壓構件602a、按壓構件602b。第1按壓構件602a是將顯示基板101夾在其間並與第2定位構件603b對向而配置，從而按壓顯示基板101的一短邊。此外，第2按壓構件602b是將顯示基板101夾在其間並與第1定位構件603a對向而配置，從而按壓顯示基板101的一長邊。

此外，於主體606，與第3實施方式的載置構件501 同樣地，設有接收銷487(參照圖8)在上下方向插通的插通孔604。

由於其他的構成與上述第3實施方式的載置構件501 相同，因此省略其等的說明。藉由具有此種構成的載置構件601，亦可獲得與上述第3實施方式例的載置構件501同樣的作用及效果。

如上所述，本發明並不限定於上述各實施方式，只要不脫離申請專利範圍所記載的主旨，當然可獲得其他各種變形例、應用例。

例如在上述實施方式的基板貼合裝置1中，雖設為包含位置檢測部9的構成，但亦可在支撐框架61與真空容器20之間設置拍攝裝置代替位置檢測部9。例如亦可在真空容器20的一部分配置透明的覆蓋構件，而設於真空容器20的外側的拍攝裝置通過覆蓋構件拍攝顯示基板101及具觸控感測器的基板121，從而檢測兩基板的位置。

此外，於上述實施方式中，於將顯示基板101與具觸控感測器的基板121貼合後，對將暫時固定用的紫外線照射至紫外線硬化樹脂110而將紫外線硬化樹脂110暫且暫時硬化的構成進行了說明，但並不限於該構成。例如，亦可在貼合後省略將紫外線硬化樹脂110暫時硬化的步驟，而在樹脂硬化部10中使紫外線硬化樹脂110直接硬化(正式硬化)。

此外，於上述實施方式中，對使用定位銷作為保持構件的情形(第1實施方式)及在托盤主體的外周部設有階差部的情形(第2實施方式)進行了說明，亦可將兩者併用。而且，於第1實施方式的托盤構件201中，亦可使多個定位銷203a~203d與第3實施方式的載置構件501的按壓構件502同樣地可移動地構成，而按壓顯示基板101的側面部。

此外，亦可將第1實施方式的托盤構件201與第3實施方式的載置構件501同樣地一體地設於貼合部。