KR101758971B1 - 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다.
본 발명은 렌즈가 고정되며, 상기 렌즈의 위치 정렬이 이루어지도록 슬라이딩 작동하는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트에 결합되어 일체로 구성되며, 상기 고정 플레이트를 슬라이딩 작동 및 이동량을 제어하여 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치; 상기 렌즈 정렬부와 위치 이동부를 결합시키는 고정부재; 및 상기 위치 이동부의 내부에 내장되어 상기 고정부재의 외주면을 감싸며, 상기 렌즈 정렬부의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시키는 저감 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치 {Aligning Position Apparatus for Optic Lens and any devices}
본 발명은 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 렌즈가 고정되는 고정 플레이트와, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치를 일체로 구성하여 광학 시스템이 사용되는 동안에 렌즈의 위치에 대해 극히 미세하고 정밀한 조정이 수행될 수 있음은 물론, 고정 플레이트에 고정되는 렌즈의 고정력을 극대화하여 위치가 정렬된 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다.
반도체 제조업자가 보다 작은 반도체 패턴을 제조하려고 노력함에 따라, 포토리소그래픽 광학 축사 시스템에서의 렌즈의 사소한 위치 설정 에러 또는 오정렬은 정확하게 재현될 수 있는 구성 요소 패턴의 최소 크기에 영향을 미칠 것이다.
또한, 주위 온도의 변동 또는 시스템의 렌즈 밀집도로 인해 시간 경과에 따른 포토리소그래픽 광학 축사 시스템의 광학적 또는 기계적 성질의 사소한 변화도 정확하게 재현될 수 있는 구성 요소 패턴의 최소 크기에 영향을 미칠 것이다. 광학 상형성(imaging), 렌즈의 위치 및 정렬은 예컨대 크리프 현상(creep)과 같은 효과로 인해 시간 경과에 따른 재료의 기계적 성질에서 발생하는 모든 종류의 변화에 의해 절충될 수 있다.
또한, 렌즈의 위치 및/또는 정렬은 이러한 포토리소그래픽 시스템의 운송 및 취급 중에 경험하는 힘 또는 하중으로 인해 변화될 수 있으며, 이러한 변화는 정확하게 재현될 수 있는 반도체 패턴의 크기에 영향을 미친다.
하지만, 종래에는 포토리소그래픽 광학 시스템의 렌즈는 끼움쇠(shim), 조정 나사 및 다른 정렬 기술을 사용하여 수동으로 위치 설정 및 정렬되는 방식으로 이루어지고 있으며, 렌즈 하우징 내의 일부 또는 모든 렌즈 링의 위치는 예컨대 일련의 조정 나사를 수동으로 조정함으로써 결정되는데, 이러한 수동 시스템은 적절한 정렬을 제공하지만, 이러한 수동 시스템 및 기술은 환경적 인자 또는 렌즈의 사소한 오정렬이 발생할 수밖에 없다.
특히, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치와 렌즈 간의 결합력이 저하되면서 오버레이 측정유닛의 기판 스테이지와 렌즈부의 이격 거리 및 수평도의 오차를 초래하여 오버레이 측정 효율을 저하시킬 뿐만 아니라 후속공정의 에러율 또한 상승시키게 된다.
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대한민국 등록특허 제10-0714927호
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 렌즈가 고정되는 고정 플레이트와, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치를 일체로 구성하여 광학 시스템이 사용되는 동안에 렌즈의 위치에 대해 극히 미세하고 정밀한 조정이 수행될 수 있는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 고정 플레이트에 고정되는 렌즈의 고정력을 극대화하여 위치가 정렬된 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다.
이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명은 렌즈가 고정되며, 상기 렌즈의 위치 정렬이 이루어지도록 슬라이딩 작동하는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트에 결합되어 일체로 구성되며, 상기 고정 플레이트를 슬라이딩 작동 및 이동량을 제어하여 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치; 상기 렌즈 정렬부와 위치 이동부를 결합시키는 고정부재; 및 상기 위치 이동부의 내부에 내장되어 상기 고정부재의 외주면을 감싸며, 상기 렌즈 정렬부의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시키는 저감 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 고정 플레이트는 상기 렌즈가 고정되며, 상기 위치 정밀 정렬장치의 작동에 따라 슬라이딩 이동하면서 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 가이드 레일이 구성된 상부 고정판; 상기 상부 고정판이 결합되고, 상기 가이드 레일의 슬라이딩 작동을 지지하는 가이드홈이 구성된 하부 고정판; 상기 하부 고정판의 가이드홈에 설치되며, 상기 상부 고정판측으로 소정의 복원력을 제공하는 복원부재; 및 상기 상부 고정판의 슬라이딩 작동을 지지하는 작동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 고정 플레이트의 일면에는 상기 고정 플레이트의 슬라이딩 이동을 제한하는 락킹수단을 더 포함하고, 상기 락킹수단은, 상기 상부 고정판의 일측면에 밀착 구성되는 밀착패널과, 상기 밀착패널을 관통하고 상기 상부 고정판에 체결되어 상기 밀착패널을 가압하여 상기 상부 고정판의 슬라이딩 작동을 제한하는 가압수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 위치 정밀 정렬장치는 상기 상부 고정판에 결합되며, 저감 베어링이 내장 설치되는 위치 이동부; 상기 위치 이동부와 연결되는 연결축과, 상기 연결축의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 구동하는 구동부와, 상기 구동부의 구동을 제어하며, 상기 연결축의 이동량을 제어하는 이동량 제어부, 및 상기 이동량 제어부를 작동시키는 조절수단을 포함하는 렌즈 정렬부; 및 상기 구동부가 삽입 및 고정되어 상기 렌즈 정렬부를 상기 하부 고정판에 고정시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 위치 이동부는 상기 저감 베어링이 내장되며, 상기 고정부재가 관통하여 상기 연결축과 연결되는 슬라이딩 부재와, 상기 상부 고정판과 상기 슬라이딩 부재를 연결하는 연결블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 렌즈 정렬부는 mm 단위의 이동량을 제어하는 제1제어수단과, ㎛의 단위의 이동량을 제어하는 제2제어수단으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 결합부재는 상기 구동부가 삽입 및 고정되는 안내블럭과, 상기 안내블럭의 선단부에 위치하여 상기 구동부를 고정시키는 고정링과, 상기 안내블럭과 연결되어 상기 안내블럭을 상기 하부 고정판에 고정시키는 안내부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 위치 정밀 정렬장치는 상기 고정 플레이트의 측면부, 전방부, 또는 후방부 중 어느 한 면에 설치되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 따르면, 렌즈가 고정되는 고정 플레이트와, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치를 일체로 구성하여 광학 시스템이 사용되는 동안에 렌즈의 위치에 대해 극히 미세하고 정밀한 조정이 수행될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 고정 플레이트에 고정되는 렌즈의 고정력을 극대화하여 위치가 정렬된 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 도면,
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 측면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 단면도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 다른 실시예이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 도면, 도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치의 고정 플레이트를 나타낸 도면, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 사시도, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 단면도, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 요부 확대도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 광학 렌즈 위치 정밀 정렬장치는 반도체 소자를 제조를 위해 구비되는 렌즈의 위치를 정렬시키는 장치로서, 렌즈가 고정되는 고정 플레이트(100)와, 고정 플레이트(100)의 일면에 일체로 구성되어 렌즈의 위치를 가변 및 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치(200)를 포함하여 구성된다.
고정 플레이트(100)는 렌즈가 고정되는 상부 고정판(110)과, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 이동이 가능하도록 구성되는 하부 고정판(120) 및 상부 및 하부 고정판(110, 120) 사이에 구성되어 상부 고정판(110)의 위치를 복원시키는 복원부재(130)를 포함하여 구성된다.
상부 고정판(110)은 렌즈의 고정이 이루어지도록 렌즈 고정부(102)가 형성되며, 고정된 렌즈의 위치를 정렬하기 위하여 슬라이딩 작동이 이루어지도록 하부 고정판(120)에 구성된 가이드홈(124)을 따라 이동하는 가이드 레일(114)이 구성된다.
이러한 상부 고정판(110)은 내부에 하부 고정판(120)의 상부가 삽입되고, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 보다 원활하게 이루어지도록 하는 작동수단(140)이 구성되는 제1지지홈(112)이 형성된다.
여기서, 작동수단(140)은 구름 운동에 의해 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동을 지지할 수 있도록 구름볼이 구비된 상태로 상부 고정판(110)의 제1지지홈(112)에 결합됨이 바람직하며, 상부 고정판(110) 뿐만 아니라, 하부 고정판(120)에도 구성됨이 바람직하다.
이와 같은 상부 고정판(110)에는 일면에 위치 정밀 정렬장치(200)의 위치 이동부(210)가 설치되어 위치 정밀 정렬장치(200)의 작동 여부에 따라 하부 고정판(120)의 상부면에서 슬라이딩 작동이 이루어지면서 렌즈의 위치를 정렬시키도록 구성된다.
이때, 위치 정밀 정렬장치(200)는 후술할 락킹수단(300)과 대응되는 면, 즉 상부 고정판(110)의 타측부에 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 상부 고정판(110)의 정면, 또는 후면부에도 구성될 수 있을 것이다. 또한, 위치 정밀 정렬장치(200)가 정면, 또는 후면부에 구성되는 경우에는 도 7에 도시된 바와 같이, 위치 정밀 정렬장치(200)를 이루는 구성요소 중, 고정부재(240)의 머리부가 삽입되는 삽입홀(104)이 더 구성될 수 있음은 물론이다.
하부 고정판(120)은 상부 고정판(110)의 하부에 구성되며, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동을 지지하는 것으로, 반도체 소자 제조장치에 결합되어 위치 정렬이 이루어진 렌즈가 반도체 소자 제조장치에 안정적으로 고정되도록 하는 역할을 한다.
이러한 하부 고정판(120)은 상부면에 상부 고정판(110)의 가이드 레일(114)이 삽입되는 가이드홈(124)이 구성되고, 가이드홈(124)의 양측으로 작동수단(140)이 구성되는 제2지지홈(122)이 형성된다.
여기서, 가이드홈(124)에는 상부 고정판(110)이 원위치로 이동할 때, 소정의 복원력을 제공하여 보다 신속한 이동이 이루어질 수 있도록 소정의 탄성 복원력을 가지는 스프링과 같은 복원부재(130)가 구성된다.
또한, 하부 고정판(120)의 일측으로는 후술할 락킹수단(300)의 밀착패널(320)이 체결에 의해 고정 결합되어 상부 고정판(120)의 슬라이딩 작동을 제어하도록 하며, 그 타측부, 또는 정면이나 후면부에는 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 작동하는 위치 정밀 정렬장치(200)의 안내부(226) 중, 렌즈 정렬부(230)가 결합되는 결합부재(220)가 체결볼트 등을 통해 결합된다.
즉, 본 발명의 고정 플레이트(100)는 상부 고정판(110)에 위치 정밀 정렬장치(200)의 위치 이동부(210)가 결합되고, 하부 고정판(120)에 결합부재(220)가 결합되어 렌즈 정렬부(230)의 작동에 따라 위치 이동부(210)가 이동하면서 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 구성되는 것이다.
아울러, 본 발명의 고정 플레이트(100)에는 그 일측으로 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동을 제한함으로써, 위치 정렬리 완료된 상태의 렌즈를 고정시켜 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지하는 락킹수단(300)이 구성될 수 있을 것이다.
락킹수단(300)은 하부 고정판(120)의 일측부에 고정 결합되며, 상부 고정판(110)의 일측면에 밀착 구성되는 밀착패널(320)과, 밀착패널(320)을 관통하여 상부 고정판(110)에 체결이 이루어지며, 체결되는 정도에 따라 밀착패널(320)을 가압하여 상부 고정판(110)의 일측부 외면과 밀착패널(320)이 소정의 가압력에 의해 밀착되면서 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동을 제한하는 가압수단(310)으로 이루어진다.
이때, 밀착패널(320)에는 가압수단(310)이 관통하여 상부 고정판(110)에 체결될 수 있도록 장공의 형태를 이루는 관통홀(322)이 구성됨이 바람직하다.
위치 정밀 정렬장치(200)는 상부 고정판(110)에 결합되어 외력에 의해 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 하는 위치 이동부(210)와, 선단부가 위치 이동부(210)와 연결되며, 위치 이동부(210)에 소정의 외력을 가해 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 하는 렌즈 정렬부(230) 및 하부 고정판(120)에 결합되어 렌즈 정렬부(230)를 고정시키고, 이 렌즈 정렬부(230)가 결합되는 결합부재(220)를 포함하여 구성된다.
위치 이동부(210)는 상부 고정판(110)의 일면에 고정 결합되어 상부 고정판(110)과 렌즈 정렬부(230)의 선단부가 연결 구성되도록 하는 연결블럭(214)과, 이 연결블럭(214)과 연결 구성되며, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 렌즈 정렬부(230)의 작동에 의해 발생하는 외력을 전달받는 슬라이딩 부재(212)로 구성된다.
여기서, 슬라이딩 부재(212)는 내부가 관통 형성되고, 내부에 복수의 저감 베어링(250)이 설치될 수 있도록 베어링홈(212a)이 형성되어 렌즈 정렬부(230)의 작동을 지지함과 동시에 렌즈 정렬부(230)의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시킬 수 있도록 구성된다.
아울러, 본 발명의 슬라이딩 부재(212)에는 일면에 저감 베어링(250)의 원활한 작동이 이루어질 수 있도록 통상의 윤활유가 공급되는 윤활유 공급홀(212b)이 더 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
이러한 슬라이딩 부재(212)는 내주에 구성되는 복수의 저감 베어링(250)을 관통하여 슬라이딩 부재(212)와 렌즈 정렬부(230)가 일체로 구성될 수 있도록 고정하는 고정부재(240)가 더 구성될 수 있을 것이다.
이때, 저감 베어링(250)은 슬라이딩 부재(212)의 양측 단부에 각각 구성되는 베어링홈(212a)에 삽입되어 렌즈 정렬부(230)의 연결축(238)과 슬라이딩 부재(212), 그리고 연결축(238)과 고정부재(240) 간의 유격을 최소화함으로써, 렌즈 정렬부(230)의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시킬 수 있도록 구성된다.
여기서, 고정부재(240)는 렌즈 정렬부(230)의 선단부에 구성된 연결축(238)과 나사 체결방식에 의해 체결될 수 있도록 나사산이 형성된 체결수단(242)이 단부에 구성되고, 이에 대응되는 렌즈 정렬부(230)의 연결축(238)에는 체결수단(242)이 체결될 수 있도록 체결홈(238a)이 형성됨은 물론이다.
렌즈 정렬부(230)는 결합부재(220)에 의해 하부 고정판(120)에 결합되며, 그 선단부가 위치 이동부(210)의 슬라이딩 부재(212)를 통해 상부 고정판(110)과 연결되어 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 소정의 외력을 제공하는 구성요소이다.
이러한 렌즈 정렬부(230)는 슬라이딩 부재(212)와 고정부재(240)를 통해 연결되는 연결축(238)과, 연결축(238)이 삽입되며, 이 연결축(238)이 인입 및 인출되도록 하는 구동부(235)와, 구동부(235)의 후방에 구성되며, 이 구동부(235)와 연결되어 연결축(238)의 인입, 또는 인출량을 제어하는 이동량 제어부(234) 및 이동량 제어부(234)를 작동시키는 조절수단(232)을 포함하여 구성된다.
연결축(238)은 일단이 구동부(235)에 삽입 및 결합되고, 타단이 슬라이딩 부재(212)와 연결되어 구동부(235)의 작동에 따라 슬라이딩 작동이 이루어지면서 슬라이딩 부재(212)의 작동이 이루어지도록 구성된다.
구동부(235)는 결합부재(220)에 구성된 안내블럭(222)에 삽입되어 렌즈 정렬부(230)가 결합부재(220)에 의해 하부 고정판(120)에 고정되도록 하고, 후방부에 이동량 제어부(234)가 결합되어 이 이동량 제어부(234)의 작동에 따라 구동하면서 연결축(238)의 인입, 또는 인출 작동에 의한 슬라이딩이 이루어지도록 구성된다.
이러한 구동부(235)에는 그 외주면에 안내블럭(222)의 내주면과 밀착되어 실링이 이루어지도록 오링과 같은 실링부재가 삽입되는 실링홈(235a)이 형성될 수 있을 것이나, 이에 한정하는 것은 아니다.
이동량 제어부(234)는 구동부(235)의 후방부에 결합되어 구동부(235)의 작동 여부, 작동량을 제어함으로써, 연결축(238)이 이동하는 이동량을 제어하는 구성요소이다.
이러한 이동량 제어부(234)는 연결축(238)의 보다 정밀한 이동이 이루어질 수 있도록 구성되며, 본 발명에서는 mm 단위의 이동량을 제어하는 제1제어수단(234a)과, ㎛의 단위의 이동량을 제어하는 제2제어수단(234b)로 이루어진다.
조절수단(232)은 이동량 제어부(234)와 연결되어 사용자가 파지하는 손잡이의 역할을 하고, 이와 동시에 제1제어수단(234a)의 작동이 이루어지도록 구성된다.
결합부재(220)는 위치 정밀 정렬장치(200)를 하부 고정판(120)에 고정시켜 고정 플레이트(100)와 위치 정밀 정렬장치(200)가 일체로 구성될 수 있도록 하는 역할을 한다.
이러한 결합부재(220)는 위치 정밀 정렬장치(200)의 구동부(235)가 삽입 및 고정되도록 관통되는 관통홀이 형성된 안내블럭(222)과, 안내블럭(222)의 선단부에 위치하여 구동부(235)의 외주면에 고정되면서 안내블럭(222)과 구동부(235)를 고정시키는 고정링(224)과, 안내블럭(222)과 연결되며, 이 안내블럭(222)을 하부 고정판(120)에 고정시키는 결합부재(220)로 이루어진다.
여기서, 안내블럭(222)에는 위치 정렬이 완료된 이후, 위치 정렬부재(200)가 임의로 작동하여 슬라이딩 부재(212)의 작동이 이루어지는 것을 방지하기 위해 스토퍼(228)가 구성될 수 있을 것이다.
아울러, 본 발명의 스토퍼(228)는 안내블럭(222)에 나사 결합되어 체결이 이루어지는 정도에 따라 구동부(235)의 외면과 접촉되면서 구동부(235)의 구동 여부를 제어하도록 구성됨으로써, 락킹수단(300)과 함께 이중 고정력을 제공하여 위치 정렬이 완료된 상태의 렌즈의 고정력을 극대화할 수 있게 된다.
이와 같이 구성된 본 발명은 위치 이동부(210)가 상부 고정판(110)에 결합되어 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동시 함께 슬라이딩이 이루어지도록 구성되는 것이고, 렌즈 정렬부(230)는 결합부재(220)를 통해 하부 고정판(120)에 결합되며, 그 선단부가 위치 이동부(210)에 연결이 이루어진 상태를 유지하여 위치 이동부(210)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 함으로써, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동 및 슬라이딩 작동 범위를 조절 및 제어할 수 있도록 구성되는 것이다.
이와 같은 본 발명의 렌즈 위치 정밀 정렬장치는 렌즈가 고정되는 고정 플레이트(100)와, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치(200)를 일체로 구성하여 광학 시스템이 사용되는 동안에 렌즈의 위치에 대해 극히 미세하고 정밀한 조정이 수행될 수 있음은 물론, 고정 플레이트(100)에 고정되는 렌즈의 고정력을 극대화하여 위치가 정렬된 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 것이다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 고정 플레이트 110: 상부 고정판
120: 하부 고정판 130: 복원부재
200: 위치 정밀 정렬장치 210: 위치 이동부
212: 슬라이딩 부재 214: 연결블럭
220: 결합부재 222: 안내블럭
224: 고정링 226: 안내부
228: 스토퍼 230: 렌즈 정렬부
232: 조절수단 234: 이동량 제어부
235: 고정부 238: 연결축
240: 고정부재 250: 저감 베어링

Claims (8)

  1. 렌즈가 고정되며, 상기 렌즈의 위치 정렬이 이루어지도록 슬라이딩 작동하는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트에 결합되어 일체로 구성되며, 상기 고정 플레이트를 슬라이딩 작동 및 이동량을 제어하여 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치; 상기 렌즈 정렬부와 위치 이동부를 결합시키는 고정부재; 및 상기 위치 이동부의 내부에 내장되어 상기 고정부재의 외주면을 감싸며, 상기 렌즈 정렬부의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시키는 저감 베어링을 포함하고,
    상기 고정 플레이트는
    상기 렌즈가 고정되며, 상기 위치 정밀 정렬장치의 작동에 따라 슬라이딩 이동하면서 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 가이드 레일이 구성된 상부 고정판;
    상기 상부 고정판이 결합되고, 상기 가이드 레일의 슬라이딩 작동을 지지하는 가이드홈과, 상기 가이드홈의 양측으로 작동수단이 구성되는 제2지지홈이 구성된 하부 고정판;
    상기 하부 고정판의 가이드홈에 설치되며, 상기 상부 고정판측으로 소정의 복원력을 제공하는 복원부재; 및
    상기 상부 고정판의 하부면에 형성된 제1지지홈에 결합되며, 구름 운동에 의해 상부 고정판의 슬라이딩 작동을 지지할 수 있도록 구름볼이 구비된 작동수단;을 더 포함하며,
    상기 위치 정밀 정렬장치는
    상기 상부 고정판에 결합되며, 저감 베어링이 내장 설치되는 베어링홈과 상기 저감 베어링으로 윤활유를 공급하는 윤활유 공급홀이 형성되고, 상기 저감 베어링을 관통하여 슬라이딩 부재와 렌즈 정렬부를 일체로 구성하는 고정부재가 관통되게 구성된 슬라이딩 부재와, 상기 상부 고정판과 상기 슬라이딩 부재를 연결하는 연결블럭을 포함하고, 상기 고정부재의 머리부가 삽입되는 삽입홈이 구성된 위치 이동부;
    상기 고정부재가 체결되면서 상기 슬라이딩 부재와 연결되는 연결축과, 상기 연결축의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 구동하며, 외주면에 안내블럭의 내주면과 밀착되어 실링이 이루어지도록 실링부재가 삽입되는 실링홈이 형성된 구동부와, 상기 구동부의 구동을 제어하며, 상기 연결축의 이동량을 제어하는 이동량 제어부, 및 상기 이동량 제어부를 작동시키는 조절수단을 포함하는 렌즈 정렬부; 및
    상기 구동부가 삽입 및 고정되어 상기 렌즈 정렬부를 상기 하부 고정판에 고정시키기 위해 상기 구동부가 삽입 및 고정되는 안내블럭과, 상기 안내블럭의 선단부에 위치하여 상기 구동부를 고정시키는 고정링과, 상기 안내블럭과 연결되어 상기 안내블럭을 상기 하부 고정판에 고정시키는 안내부와, 상기 안내블럭에 형성되며, 상기 안내블럭의 위치 정렬이 완료된 이후, 위치 정렬부재가 임의로 작동하여 상기 슬라이딩 부재의 작동이 이루어지는 것을 방지하며, 상기 안내블럭과 체결되는 정도에 따라 상기 구동부의 외면과 접촉되면서 상기 구동부의 구동 여부를 제어하는 스토퍼를 포함하는 결합부재
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 고정 플레이트의 일면에는 상기 고정 플레이트의 슬라이딩 이동을 제한하는 락킹수단을 더 포함하고,
    상기 락킹수단은,
    상기 상부 고정판의 일측면에 밀착 구성되는 밀착패널과,
    상기 밀착패널을 관통하고 상기 상부 고정판에 체결되어 상기 밀착패널을 가압하여 상기 상부 고정판의 슬라이딩 작동을 제한하는 가압수단
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 렌즈 정렬부는 mm 단위의 이동량을 제어하는 제1제어수단과, ㎛의 단위의 이동량을 제어하는 제2제어수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 위치 정밀 정렬장치는 상기 고정 플레이트의 측면부, 전방부, 또는 후방부 중 어느 한 면에 설치되는 것을 특징으로 하는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4135941A4 (en) * 2020-04-16 2024-05-22 Magic Leap, Inc. HIGH-PRECISION DISPLACEMENT DEVICE

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101043811B1 (ko) 2009-04-21 2011-06-23 주식회사 샘케이시스템 프로젝션 디스플레이 장치
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6556364B2 (en) 2000-04-25 2003-04-29 Michael F. Meehan Apparatus, system, and method for precision positioning and alignment of a lens in an optical system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101043811B1 (ko) 2009-04-21 2011-06-23 주식회사 샘케이시스템 프로젝션 디스플레이 장치
JP2013125169A (ja) 2011-12-15 2013-06-24 Sharp Corp レンズシフト装置及びプロジェクタ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102296485B1 (ko) * 2020-02-21 2021-08-31 임완철 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조

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