KR101758971B1 - Aligning Position Apparatus for Optic Lens and any devices - Google Patents
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Abstract
본 발명은 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다.
본 발명은 렌즈가 고정되며, 상기 렌즈의 위치 정렬이 이루어지도록 슬라이딩 작동하는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트에 결합되어 일체로 구성되며, 상기 고정 플레이트를 슬라이딩 작동 및 이동량을 제어하여 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치; 상기 렌즈 정렬부와 위치 이동부를 결합시키는 고정부재; 및 상기 위치 이동부의 내부에 내장되어 상기 고정부재의 외주면을 감싸며, 상기 렌즈 정렬부의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시키는 저감 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an optical lens and a device precise alignment apparatus.
The present invention provides a fixing device comprising: a fixing plate to which a lens is fixed and which is slidably operated so as to align the lens; A position precise alignment device coupled to the fixed plate and configured to align the position of the lens by controlling a sliding operation and an amount of movement of the fixed plate; A fixing member for coupling the lens alignment unit and the position shifting unit; And a reduction bearing embedded in the position shifting unit to surround the outer circumferential surface of the fixing member and to reduce vibrations and noise generated during operation of the lens aligning unit.
Description
본 발명은 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 렌즈가 고정되는 고정 플레이트와, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치를 일체로 구성하여 광학 시스템이 사용되는 동안에 렌즈의 위치에 대해 극히 미세하고 정밀한 조정이 수행될 수 있음은 물론, 고정 플레이트에 고정되는 렌즈의 고정력을 극대화하여 위치가 정렬된 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다. The present invention relates to an optical lens and a device precise alignment apparatus. More specifically, it is possible to constitute a fixed plate on which a lens is fixed and a position precise alignment device for aligning the positions of the lenses, so that extremely fine and precise adjustment can be performed on the position of the lens while the optical system is being used And an optical lens and a device precise alignment apparatus capable of preventing misalignment of a lens whose positions are aligned by maximizing a fixing force of a lens fixed to a fixed plate.
반도체 제조업자가 보다 작은 반도체 패턴을 제조하려고 노력함에 따라, 포토리소그래픽 광학 축사 시스템에서의 렌즈의 사소한 위치 설정 에러 또는 오정렬은 정확하게 재현될 수 있는 구성 요소 패턴의 최소 크기에 영향을 미칠 것이다.As the semiconductor manufacturer tries to manufacture smaller semiconductor patterns, minor misalignment errors or misalignment of the lenses in the photolithographic optical housekeeping system will affect the minimum size of the component pattern that can be accurately reproduced.
또한, 주위 온도의 변동 또는 시스템의 렌즈 밀집도로 인해 시간 경과에 따른 포토리소그래픽 광학 축사 시스템의 광학적 또는 기계적 성질의 사소한 변화도 정확하게 재현될 수 있는 구성 요소 패턴의 최소 크기에 영향을 미칠 것이다. 광학 상형성(imaging), 렌즈의 위치 및 정렬은 예컨대 크리프 현상(creep)과 같은 효과로 인해 시간 경과에 따른 재료의 기계적 성질에서 발생하는 모든 종류의 변화에 의해 절충될 수 있다. In addition, minor changes in the optical or mechanical properties of the photolithographic optical housekeeping system over time due to variations in ambient temperature or lens density of the system will also affect the minimum size of the component pattern that can be accurately reproduced. The imaging, lens positioning and alignment can be compromised by all sorts of changes that occur in the mechanical properties of the material over time due to effects such as creep, for example.
또한, 렌즈의 위치 및/또는 정렬은 이러한 포토리소그래픽 시스템의 운송 및 취급 중에 경험하는 힘 또는 하중으로 인해 변화될 수 있으며, 이러한 변화는 정확하게 재현될 수 있는 반도체 패턴의 크기에 영향을 미친다.In addition, the position and / or alignment of the lens can be varied due to forces or loads experienced during transportation and handling of such a photolithographic system, and this change affects the size of the semiconductor pattern that can be accurately reproduced.
하지만, 종래에는 포토리소그래픽 광학 시스템의 렌즈는 끼움쇠(shim), 조정 나사 및 다른 정렬 기술을 사용하여 수동으로 위치 설정 및 정렬되는 방식으로 이루어지고 있으며, 렌즈 하우징 내의 일부 또는 모든 렌즈 링의 위치는 예컨대 일련의 조정 나사를 수동으로 조정함으로써 결정되는데, 이러한 수동 시스템은 적절한 정렬을 제공하지만, 이러한 수동 시스템 및 기술은 환경적 인자 또는 렌즈의 사소한 오정렬이 발생할 수밖에 없다. However, conventionally, the lenses of the photolithographic optical system are made in a manner that is manually positioned and aligned using shims, adjusting screws and other alignment techniques, and the position of some or all of the lens rings in the lens housing Is determined, for example, by manually adjusting a series of adjustment screws, although such manual systems provide adequate alignment, but such passive systems and techniques are subject to environmental factors or minor misalignment of the lenses.
특히, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치와 렌즈 간의 결합력이 저하되면서 오버레이 측정유닛의 기판 스테이지와 렌즈부의 이격 거리 및 수평도의 오차를 초래하여 오버레이 측정 효율을 저하시킬 뿐만 아니라 후속공정의 에러율 또한 상승시키게 된다.
Particularly, since the coupling force between the position precise alignment device for aligning the position of the lens and the lens is reduced, the distance between the substrate stage and the lens portion of the overlay measurement unit and the error in the horizontal distance cause an error in overlay measurement efficiency, And is also raised.
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이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 렌즈가 고정되는 고정 플레이트와, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치를 일체로 구성하여 광학 시스템이 사용되는 동안에 렌즈의 위치에 대해 극히 미세하고 정밀한 조정이 수행될 수 있는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다. In order to solve such problems, the present invention is characterized in that a fixed plate on which a lens is fixed and a position precise alignment device for aligning the positions of the lenses are integrally formed so that extremely fine and precise adjustment of the position of the lens To an optical lens and a device precise alignment apparatus which can be performed.
또한, 본 발명은 고정 플레이트에 고정되는 렌즈의 고정력을 극대화하여 위치가 정렬된 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치에 관한 것이다. In addition, the present invention relates to an optical lens and an apparatus for precisely aligning a position of a fixture, which can prevent misalignment of lenses whose positions are aligned by maximizing a fixation force of a lens fixed to a fixation plate.
이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명은 렌즈가 고정되며, 상기 렌즈의 위치 정렬이 이루어지도록 슬라이딩 작동하는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트에 결합되어 일체로 구성되며, 상기 고정 플레이트를 슬라이딩 작동 및 이동량을 제어하여 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치; 상기 렌즈 정렬부와 위치 이동부를 결합시키는 고정부재; 및 상기 위치 이동부의 내부에 내장되어 상기 고정부재의 외주면을 감싸며, 상기 렌즈 정렬부의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시키는 저감 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an image display apparatus including: a fixed plate having a lens fixed therein and slidably operated to align the lens; A position precise alignment device coupled to the fixed plate and configured to align the position of the lens by controlling a sliding operation and an amount of movement of the fixed plate; A fixing member for coupling the lens alignment unit and the position shifting unit; And a reduction bearing embedded in the position shifting unit to surround the outer circumferential surface of the fixing member and to reduce vibrations and noise generated during operation of the lens aligning unit.
또한, 본 발명은 상기 고정 플레이트는 상기 렌즈가 고정되며, 상기 위치 정밀 정렬장치의 작동에 따라 슬라이딩 이동하면서 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 가이드 레일이 구성된 상부 고정판; 상기 상부 고정판이 결합되고, 상기 가이드 레일의 슬라이딩 작동을 지지하는 가이드홈이 구성된 하부 고정판; 상기 하부 고정판의 가이드홈에 설치되며, 상기 상부 고정판측으로 소정의 복원력을 제공하는 복원부재; 및 상기 상부 고정판의 슬라이딩 작동을 지지하는 작동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus including: an upper fixing plate having the lens fixed therein, and configured to guide the lens while aligning the position of the lens with a movement of the position precision alignment apparatus; A lower fixing plate to which the upper fixing plate is coupled and has a guide groove for supporting a sliding operation of the guide rail; A restoring member installed in the guide groove of the lower fixing plate and providing a predetermined restoring force to the upper fixing plate; And operating means for supporting the sliding operation of the upper fixing plate.
또한, 본 발명은 상기 고정 플레이트의 일면에는 상기 고정 플레이트의 슬라이딩 이동을 제한하는 락킹수단을 더 포함하고, 상기 락킹수단은, 상기 상부 고정판의 일측면에 밀착 구성되는 밀착패널과, 상기 밀착패널을 관통하고 상기 상부 고정판에 체결되어 상기 밀착패널을 가압하여 상기 상부 고정판의 슬라이딩 작동을 제한하는 가압수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is further provided a locking means for restricting the sliding movement of the fixed plate on one surface of the fixed plate, wherein the locking means comprises: a close-contact panel closely fitted to one side surface of the upper fixed plate; And a pressing unit that penetrates the lower fixing plate and is coupled to the upper fixing plate to press the close panel to restrict the sliding operation of the upper fixing plate.
또한, 본 발명은 상기 위치 정밀 정렬장치는 상기 상부 고정판에 결합되며, 저감 베어링이 내장 설치되는 위치 이동부; 상기 위치 이동부와 연결되는 연결축과, 상기 연결축의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 구동하는 구동부와, 상기 구동부의 구동을 제어하며, 상기 연결축의 이동량을 제어하는 이동량 제어부, 및 상기 이동량 제어부를 작동시키는 조절수단을 포함하는 렌즈 정렬부; 및 상기 구동부가 삽입 및 고정되어 상기 렌즈 정렬부를 상기 하부 고정판에 고정시키는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, according to the present invention, the position precise alignment apparatus may include a position shifter coupled to the upper fixing plate and having a reduction bearing installed therein; A movement amount control unit for controlling the driving of the driving unit and controlling the movement amount of the connection shaft, and a control unit for controlling the operation of the movement amount control unit, A lens alignment unit including means; And a coupling member for inserting and fixing the driving unit to fix the lens alignment unit to the lower fixing plate.
또한, 본 발명은 상기 위치 이동부는 상기 저감 베어링이 내장되며, 상기 고정부재가 관통하여 상기 연결축과 연결되는 슬라이딩 부재와, 상기 상부 고정판과 상기 슬라이딩 부재를 연결하는 연결블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the position shifting unit includes a sliding member in which the reduction bearing is inserted, the fixing member penetrates and is connected to the connection shaft, and a connection block connecting the upper fixing plate and the sliding member. do.
또한, 본 발명은 상기 렌즈 정렬부는 mm 단위의 이동량을 제어하는 제1제어수단과, ㎛의 단위의 이동량을 제어하는 제2제어수단으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.Further, the present invention is characterized in that the lens alignment unit comprises first control means for controlling the amount of movement in mm, and second control means for controlling the amount of movement in units of μm.
또한, 본 발명은 상기 결합부재는 상기 구동부가 삽입 및 고정되는 안내블럭과, 상기 안내블럭의 선단부에 위치하여 상기 구동부를 고정시키는 고정링과, 상기 안내블럭과 연결되어 상기 안내블럭을 상기 하부 고정판에 고정시키는 안내부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the engagement member includes a guide block into which the drive unit is inserted and fixed, a stationary ring that is positioned at a distal end of the guide block and fixes the drive unit, And a guide portion for fixing the guide portion to the guide portion.
또한, 본 발명은 상기 위치 정밀 정렬장치는 상기 고정 플레이트의 측면부, 전방부, 또는 후방부 중 어느 한 면에 설치되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the present invention is characterized in that the position precision alignment apparatus is installed on any one of a side surface portion, a front portion, and a rear portion of the fixed plate.
이와 같은 본 발명에 따르면, 렌즈가 고정되는 고정 플레이트와, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치를 일체로 구성하여 광학 시스템이 사용되는 동안에 렌즈의 위치에 대해 극히 미세하고 정밀한 조정이 수행될 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, it is possible to integrally constitute a fixed plate on which a lens is fixed and a position precise alignment device for aligning the positions of the lenses so that very fine and precise adjustment can be performed on the position of the lens while the optical system is being used There is an effect.
또한, 본 발명에 따르면, 고정 플레이트에 고정되는 렌즈의 고정력을 극대화하여 위치가 정렬된 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
In addition, according to the present invention, it is possible to maximize the fixation force of the lens fixed to the fixed plate, thereby preventing the misalignment of the aligned lenses.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 도면,
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 측면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 단면도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 다른 실시예이다.FIG. 1 and FIG. 2 show an optical lens and a device precise alignment apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIGS. 3 and 4 are side views showing an optical lens and a device precise alignment apparatus according to an embodiment of the present invention;
FIG. 5 is a perspective view of a position precise alignment apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 6 is a cross-sectional view of a position precise alignment apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 7 is another embodiment of a position precise alignment apparatus according to an embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 도면, 도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치의 고정 플레이트를 나타낸 도면, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 사시도, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 단면도, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 위치 정밀 정렬장치를 나타낸 요부 확대도이다.FIG. 1 is a view showing an apparatus for precisely aligning an optical lens and an apparatus according to an embodiment of the present invention. FIGS. 2 and 3 are views showing a fixing plate of an optical lens and an apparatus for precisely aligning an apparatus, according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view of a position precise alignment apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a precise alignment apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. Fig.
도시된 바와 같이, 본 발명의 광학 렌즈 위치 정밀 정렬장치는 반도체 소자를 제조를 위해 구비되는 렌즈의 위치를 정렬시키는 장치로서, 렌즈가 고정되는 고정 플레이트(100)와, 고정 플레이트(100)의 일면에 일체로 구성되어 렌즈의 위치를 가변 및 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치(200)를 포함하여 구성된다.As shown in the figure, the optical lens position precision alignment apparatus of the present invention aligns the position of a lens provided for manufacturing a semiconductor device, and includes a
고정 플레이트(100)는 렌즈가 고정되는 상부 고정판(110)과, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 이동이 가능하도록 구성되는 하부 고정판(120) 및 상부 및 하부 고정판(110, 120) 사이에 구성되어 상부 고정판(110)의 위치를 복원시키는 복원부재(130)를 포함하여 구성된다. The
상부 고정판(110)은 렌즈의 고정이 이루어지도록 렌즈 고정부(102)가 형성되며, 고정된 렌즈의 위치를 정렬하기 위하여 슬라이딩 작동이 이루어지도록 하부 고정판(120)에 구성된 가이드홈(124)을 따라 이동하는 가이드 레일(114)이 구성된다.The
이러한 상부 고정판(110)은 내부에 하부 고정판(120)의 상부가 삽입되고, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 보다 원활하게 이루어지도록 하는 작동수단(140)이 구성되는 제1지지홈(112)이 형성된다.The
여기서, 작동수단(140)은 구름 운동에 의해 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동을 지지할 수 있도록 구름볼이 구비된 상태로 상부 고정판(110)의 제1지지홈(112)에 결합됨이 바람직하며, 상부 고정판(110) 뿐만 아니라, 하부 고정판(120)에도 구성됨이 바람직하다.Here, the
이와 같은 상부 고정판(110)에는 일면에 위치 정밀 정렬장치(200)의 위치 이동부(210)가 설치되어 위치 정밀 정렬장치(200)의 작동 여부에 따라 하부 고정판(120)의 상부면에서 슬라이딩 작동이 이루어지면서 렌즈의 위치를 정렬시키도록 구성된다. The
이때, 위치 정밀 정렬장치(200)는 후술할 락킹수단(300)과 대응되는 면, 즉 상부 고정판(110)의 타측부에 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 상부 고정판(110)의 정면, 또는 후면부에도 구성될 수 있을 것이다. 또한, 위치 정밀 정렬장치(200)가 정면, 또는 후면부에 구성되는 경우에는 도 7에 도시된 바와 같이, 위치 정밀 정렬장치(200)를 이루는 구성요소 중, 고정부재(240)의 머리부가 삽입되는 삽입홀(104)이 더 구성될 수 있음은 물론이다.In this case, the position
하부 고정판(120)은 상부 고정판(110)의 하부에 구성되며, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동을 지지하는 것으로, 반도체 소자 제조장치에 결합되어 위치 정렬이 이루어진 렌즈가 반도체 소자 제조장치에 안정적으로 고정되도록 하는 역할을 한다. The
이러한 하부 고정판(120)은 상부면에 상부 고정판(110)의 가이드 레일(114)이 삽입되는 가이드홈(124)이 구성되고, 가이드홈(124)의 양측으로 작동수단(140)이 구성되는 제2지지홈(122)이 형성된다.The
여기서, 가이드홈(124)에는 상부 고정판(110)이 원위치로 이동할 때, 소정의 복원력을 제공하여 보다 신속한 이동이 이루어질 수 있도록 소정의 탄성 복원력을 가지는 스프링과 같은 복원부재(130)가 구성된다.Here, the
또한, 하부 고정판(120)의 일측으로는 후술할 락킹수단(300)의 밀착패널(320)이 체결에 의해 고정 결합되어 상부 고정판(120)의 슬라이딩 작동을 제어하도록 하며, 그 타측부, 또는 정면이나 후면부에는 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 작동하는 위치 정밀 정렬장치(200)의 안내부(226) 중, 렌즈 정렬부(230)가 결합되는 결합부재(220)가 체결볼트 등을 통해 결합된다.A
즉, 본 발명의 고정 플레이트(100)는 상부 고정판(110)에 위치 정밀 정렬장치(200)의 위치 이동부(210)가 결합되고, 하부 고정판(120)에 결합부재(220)가 결합되어 렌즈 정렬부(230)의 작동에 따라 위치 이동부(210)가 이동하면서 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 구성되는 것이다.That is, in the
아울러, 본 발명의 고정 플레이트(100)에는 그 일측으로 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동을 제한함으로써, 위치 정렬리 완료된 상태의 렌즈를 고정시켜 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지하는 락킹수단(300)이 구성될 수 있을 것이다. The
락킹수단(300)은 하부 고정판(120)의 일측부에 고정 결합되며, 상부 고정판(110)의 일측면에 밀착 구성되는 밀착패널(320)과, 밀착패널(320)을 관통하여 상부 고정판(110)에 체결이 이루어지며, 체결되는 정도에 따라 밀착패널(320)을 가압하여 상부 고정판(110)의 일측부 외면과 밀착패널(320)이 소정의 가압력에 의해 밀착되면서 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동을 제한하는 가압수단(310)으로 이루어진다.The locking means 300 is fixed to one side of the
이때, 밀착패널(320)에는 가압수단(310)이 관통하여 상부 고정판(110)에 체결될 수 있도록 장공의 형태를 이루는 관통홀(322)이 구성됨이 바람직하다.At this time, it is preferable that a through-
위치 정밀 정렬장치(200)는 상부 고정판(110)에 결합되어 외력에 의해 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 하는 위치 이동부(210)와, 선단부가 위치 이동부(210)와 연결되며, 위치 이동부(210)에 소정의 외력을 가해 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 하는 렌즈 정렬부(230) 및 하부 고정판(120)에 결합되어 렌즈 정렬부(230)를 고정시키고, 이 렌즈 정렬부(230)가 결합되는 결합부재(220)를 포함하여 구성된다.The
위치 이동부(210)는 상부 고정판(110)의 일면에 고정 결합되어 상부 고정판(110)과 렌즈 정렬부(230)의 선단부가 연결 구성되도록 하는 연결블럭(214)과, 이 연결블럭(214)과 연결 구성되며, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 렌즈 정렬부(230)의 작동에 의해 발생하는 외력을 전달받는 슬라이딩 부재(212)로 구성된다. The
여기서, 슬라이딩 부재(212)는 내부가 관통 형성되고, 내부에 복수의 저감 베어링(250)이 설치될 수 있도록 베어링홈(212a)이 형성되어 렌즈 정렬부(230)의 작동을 지지함과 동시에 렌즈 정렬부(230)의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시킬 수 있도록 구성된다.A
아울러, 본 발명의 슬라이딩 부재(212)에는 일면에 저감 베어링(250)의 원활한 작동이 이루어질 수 있도록 통상의 윤활유가 공급되는 윤활유 공급홀(212b)이 더 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. In addition, the sliding
이러한 슬라이딩 부재(212)는 내주에 구성되는 복수의 저감 베어링(250)을 관통하여 슬라이딩 부재(212)와 렌즈 정렬부(230)가 일체로 구성될 수 있도록 고정하는 고정부재(240)가 더 구성될 수 있을 것이다. The sliding
이때, 저감 베어링(250)은 슬라이딩 부재(212)의 양측 단부에 각각 구성되는 베어링홈(212a)에 삽입되어 렌즈 정렬부(230)의 연결축(238)과 슬라이딩 부재(212), 그리고 연결축(238)과 고정부재(240) 간의 유격을 최소화함으로써, 렌즈 정렬부(230)의 작동시 발생하는 진동 및 소음을 저감시킬 수 있도록 구성된다.The reduction bearing 250 is inserted into
여기서, 고정부재(240)는 렌즈 정렬부(230)의 선단부에 구성된 연결축(238)과 나사 체결방식에 의해 체결될 수 있도록 나사산이 형성된 체결수단(242)이 단부에 구성되고, 이에 대응되는 렌즈 정렬부(230)의 연결축(238)에는 체결수단(242)이 체결될 수 있도록 체결홈(238a)이 형성됨은 물론이다.The fastening
렌즈 정렬부(230)는 결합부재(220)에 의해 하부 고정판(120)에 결합되며, 그 선단부가 위치 이동부(210)의 슬라이딩 부재(212)를 통해 상부 고정판(110)과 연결되어 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 소정의 외력을 제공하는 구성요소이다.The
이러한 렌즈 정렬부(230)는 슬라이딩 부재(212)와 고정부재(240)를 통해 연결되는 연결축(238)과, 연결축(238)이 삽입되며, 이 연결축(238)이 인입 및 인출되도록 하는 구동부(235)와, 구동부(235)의 후방에 구성되며, 이 구동부(235)와 연결되어 연결축(238)의 인입, 또는 인출량을 제어하는 이동량 제어부(234) 및 이동량 제어부(234)를 작동시키는 조절수단(232)을 포함하여 구성된다.The
연결축(238)은 일단이 구동부(235)에 삽입 및 결합되고, 타단이 슬라이딩 부재(212)와 연결되어 구동부(235)의 작동에 따라 슬라이딩 작동이 이루어지면서 슬라이딩 부재(212)의 작동이 이루어지도록 구성된다. One end of the connecting
구동부(235)는 결합부재(220)에 구성된 안내블럭(222)에 삽입되어 렌즈 정렬부(230)가 결합부재(220)에 의해 하부 고정판(120)에 고정되도록 하고, 후방부에 이동량 제어부(234)가 결합되어 이 이동량 제어부(234)의 작동에 따라 구동하면서 연결축(238)의 인입, 또는 인출 작동에 의한 슬라이딩이 이루어지도록 구성된다.The driving
이러한 구동부(235)에는 그 외주면에 안내블럭(222)의 내주면과 밀착되어 실링이 이루어지도록 오링과 같은 실링부재가 삽입되는 실링홈(235a)이 형성될 수 있을 것이나, 이에 한정하는 것은 아니다.The driving
이동량 제어부(234)는 구동부(235)의 후방부에 결합되어 구동부(235)의 작동 여부, 작동량을 제어함으로써, 연결축(238)이 이동하는 이동량을 제어하는 구성요소이다. The movement
이러한 이동량 제어부(234)는 연결축(238)의 보다 정밀한 이동이 이루어질 수 있도록 구성되며, 본 발명에서는 mm 단위의 이동량을 제어하는 제1제어수단(234a)과, ㎛의 단위의 이동량을 제어하는 제2제어수단(234b)로 이루어진다.The movement
조절수단(232)은 이동량 제어부(234)와 연결되어 사용자가 파지하는 손잡이의 역할을 하고, 이와 동시에 제1제어수단(234a)의 작동이 이루어지도록 구성된다. The adjustment means 232 is connected to the movement
결합부재(220)는 위치 정밀 정렬장치(200)를 하부 고정판(120)에 고정시켜 고정 플레이트(100)와 위치 정밀 정렬장치(200)가 일체로 구성될 수 있도록 하는 역할을 한다. The
이러한 결합부재(220)는 위치 정밀 정렬장치(200)의 구동부(235)가 삽입 및 고정되도록 관통되는 관통홀이 형성된 안내블럭(222)과, 안내블럭(222)의 선단부에 위치하여 구동부(235)의 외주면에 고정되면서 안내블럭(222)과 구동부(235)를 고정시키는 고정링(224)과, 안내블럭(222)과 연결되며, 이 안내블럭(222)을 하부 고정판(120)에 고정시키는 결합부재(220)로 이루어진다. The
여기서, 안내블럭(222)에는 위치 정렬이 완료된 이후, 위치 정렬부재(200)가 임의로 작동하여 슬라이딩 부재(212)의 작동이 이루어지는 것을 방지하기 위해 스토퍼(228)가 구성될 수 있을 것이다. Here, after the alignment of the
아울러, 본 발명의 스토퍼(228)는 안내블럭(222)에 나사 결합되어 체결이 이루어지는 정도에 따라 구동부(235)의 외면과 접촉되면서 구동부(235)의 구동 여부를 제어하도록 구성됨으로써, 락킹수단(300)과 함께 이중 고정력을 제공하여 위치 정렬이 완료된 상태의 렌즈의 고정력을 극대화할 수 있게 된다.The
이와 같이 구성된 본 발명은 위치 이동부(210)가 상부 고정판(110)에 결합되어 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동시 함께 슬라이딩이 이루어지도록 구성되는 것이고, 렌즈 정렬부(230)는 결합부재(220)를 통해 하부 고정판(120)에 결합되며, 그 선단부가 위치 이동부(210)에 연결이 이루어진 상태를 유지하여 위치 이동부(210)의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 함으로써, 상부 고정판(110)의 슬라이딩 작동 및 슬라이딩 작동 범위를 조절 및 제어할 수 있도록 구성되는 것이다.
The present invention configured as described above is configured such that the
이와 같은 본 발명의 렌즈 위치 정밀 정렬장치는 렌즈가 고정되는 고정 플레이트(100)와, 렌즈의 위치를 정렬시키는 위치 정밀 정렬장치(200)를 일체로 구성하여 광학 시스템이 사용되는 동안에 렌즈의 위치에 대해 극히 미세하고 정밀한 조정이 수행될 수 있음은 물론, 고정 플레이트(100)에 고정되는 렌즈의 고정력을 극대화하여 위치가 정렬된 렌즈의 오정렬이 발생하는 것을 방지할 수 있는 것이다.The apparatus for precisely aligning a lens position according to the present invention comprises a fixed
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.
100: 고정 플레이트 110: 상부 고정판
120: 하부 고정판 130: 복원부재
200: 위치 정밀 정렬장치 210: 위치 이동부
212: 슬라이딩 부재 214: 연결블럭
220: 결합부재 222: 안내블럭
224: 고정링 226: 안내부
228: 스토퍼 230: 렌즈 정렬부
232: 조절수단 234: 이동량 제어부
235: 고정부 238: 연결축
240: 고정부재 250: 저감 베어링100: fixing plate 110: upper fixing plate
120: lower fixing plate 130: restoring member
200: Position precision aligning apparatus 210: Position shifting unit
212: sliding member 214: connecting block
220: coupling member 222: guide block
224: Fixing ring 226: Guide
228: stopper 230: lens alignment part
232: Adjusting means 234:
235: fixing portion 238: connecting shaft
240: Fixing member 250: Reduced bearing
Claims (8)
상기 고정 플레이트는
상기 렌즈가 고정되며, 상기 위치 정밀 정렬장치의 작동에 따라 슬라이딩 이동하면서 상기 렌즈의 위치를 정렬시키는 가이드 레일이 구성된 상부 고정판;
상기 상부 고정판이 결합되고, 상기 가이드 레일의 슬라이딩 작동을 지지하는 가이드홈과, 상기 가이드홈의 양측으로 작동수단이 구성되는 제2지지홈이 구성된 하부 고정판;
상기 하부 고정판의 가이드홈에 설치되며, 상기 상부 고정판측으로 소정의 복원력을 제공하는 복원부재; 및
상기 상부 고정판의 하부면에 형성된 제1지지홈에 결합되며, 구름 운동에 의해 상부 고정판의 슬라이딩 작동을 지지할 수 있도록 구름볼이 구비된 작동수단;을 더 포함하며,
상기 위치 정밀 정렬장치는
상기 상부 고정판에 결합되며, 저감 베어링이 내장 설치되는 베어링홈과 상기 저감 베어링으로 윤활유를 공급하는 윤활유 공급홀이 형성되고, 상기 저감 베어링을 관통하여 슬라이딩 부재와 렌즈 정렬부를 일체로 구성하는 고정부재가 관통되게 구성된 슬라이딩 부재와, 상기 상부 고정판과 상기 슬라이딩 부재를 연결하는 연결블럭을 포함하고, 상기 고정부재의 머리부가 삽입되는 삽입홈이 구성된 위치 이동부;
상기 고정부재가 체결되면서 상기 슬라이딩 부재와 연결되는 연결축과, 상기 연결축의 슬라이딩 작동이 이루어지도록 구동하며, 외주면에 안내블럭의 내주면과 밀착되어 실링이 이루어지도록 실링부재가 삽입되는 실링홈이 형성된 구동부와, 상기 구동부의 구동을 제어하며, 상기 연결축의 이동량을 제어하는 이동량 제어부, 및 상기 이동량 제어부를 작동시키는 조절수단을 포함하는 렌즈 정렬부; 및
상기 구동부가 삽입 및 고정되어 상기 렌즈 정렬부를 상기 하부 고정판에 고정시키기 위해 상기 구동부가 삽입 및 고정되는 안내블럭과, 상기 안내블럭의 선단부에 위치하여 상기 구동부를 고정시키는 고정링과, 상기 안내블럭과 연결되어 상기 안내블럭을 상기 하부 고정판에 고정시키는 안내부와, 상기 안내블럭에 형성되며, 상기 안내블럭의 위치 정렬이 완료된 이후, 위치 정렬부재가 임의로 작동하여 상기 슬라이딩 부재의 작동이 이루어지는 것을 방지하며, 상기 안내블럭과 체결되는 정도에 따라 상기 구동부의 외면과 접촉되면서 상기 구동부의 구동 여부를 제어하는 스토퍼를 포함하는 결합부재
를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치.
A fixed plate on which a lens is fixed and which is slidably operated so as to align the lens; A position precise alignment device coupled to the fixed plate and configured to align the position of the lens by controlling a sliding operation and an amount of movement of the fixed plate; A fixing member for coupling the lens alignment unit and the position shifting unit; And a reduction bearing embedded in the position shifting unit to surround the outer circumferential surface of the fixing member and to reduce vibrations and noise generated during operation of the lens aligning unit,
The stationary plate
An upper fixed plate having the lens fixed thereon and configured to guide the position of the lens while slidably moving according to the operation of the position precise alignment apparatus;
A lower fixing plate to which the upper fixing plate is coupled and which has a guide groove for supporting a sliding operation of the guide rail and a second support groove for operating the both sides of the guide groove;
A restoring member installed in the guide groove of the lower fixing plate and providing a predetermined restoring force to the upper fixing plate; And
And operating means coupled to a first support groove formed on a lower surface of the upper fixing plate and having a rolling ball for supporting a sliding operation of the upper fixing plate by rolling motion,
The position precision alignment apparatus
A fixing member coupled to the upper fixing plate and having a bearing groove in which a reduction bearing is installed and a lubricating oil supply hole for supplying lubricating oil by the reduction bearing are formed and the sliding member and the lens arranging unit are integrally formed through the reduction bearing And a connection block connecting the upper fixing plate and the sliding member, the positioning unit including an insertion groove into which a head of the fixing member is inserted;
A driving shaft connected to the sliding member and connected to the sliding member while the fixing member is fastened to the driving shaft, a driving shaft having a sealing groove formed in the outer circumferential surface thereof to closely contact the inner circumferential surface of the guide block, A lens alignment unit including a movement amount control unit for controlling driving of the driving unit and controlling a movement amount of the connection shaft, and adjusting means for operating the movement amount control unit; And
A guiding block in which the driving part is inserted and fixed so as to fix the lens aligning part to the lower fixing plate by inserting and fixing the driving part, a fixing ring for fixing the driving part located at the distal end of the guiding block, The guide block is formed on the guide block, and after the positioning of the guide block is completed, the positioning member is arbitrarily operated to prevent the sliding member from being operated, And a stopper for controlling whether the driving unit is driven while being in contact with an outer surface of the driving unit according to a degree of engagement with the guide block,
And an optical lens and an apparatus for precisely aligning the apparatus position.
상기 고정 플레이트의 일면에는 상기 고정 플레이트의 슬라이딩 이동을 제한하는 락킹수단을 더 포함하고,
상기 락킹수단은,
상기 상부 고정판의 일측면에 밀착 구성되는 밀착패널과,
상기 밀착패널을 관통하고 상기 상부 고정판에 체결되어 상기 밀착패널을 가압하여 상기 상부 고정판의 슬라이딩 작동을 제한하는 가압수단
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치.
The method according to claim 1,
And a locking means for restricting the sliding movement of the fixing plate on one surface of the fixing plate,
Wherein the locking means comprises:
A fastening panel closely attached to one side surface of the upper fixing plate,
A pressing means which penetrates the close-up panel and is fastened to the upper fixing plate to press the close-up panel to restrict a sliding operation of the upper fixing plate,
Further comprising an optical lens and an apparatus position alignment apparatus.
상기 렌즈 정렬부는 mm 단위의 이동량을 제어하는 제1제어수단과, ㎛의 단위의 이동량을 제어하는 제2제어수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치.
The method according to claim 1,
Wherein the lens alignment unit comprises first control means for controlling the amount of movement in units of mm and second control means for controlling the amount of movement in units of micrometers.
상기 위치 정밀 정렬장치는 상기 고정 플레이트의 측면부, 전방부, 또는 후방부 중 어느 한 면에 설치되는 것을 특징으로 하는 광학 렌즈 및 기구물 위치 정밀 정렬장치.The method according to claim 1,
Wherein the position precise alignment apparatus is installed on any one of a side surface portion, a front portion, and a rear portion of the fixed plate.
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