KR101694198B1 - 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치 - Google Patents

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Abstract

평면디스플레이용 기판 핸들링 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치는, 평면디스플레이용 기판의 비증착면이 접촉되면서 안착되는 스테이지의 주변에서 업/다운(up/down) 이동 가능하게 배치되며, 기판 투입용 로봇에 의해 스테이지 측으로 투입되는 기판을 지지하는 다수의 업/다운 사이드 핀; 및 스테이지의 사이드 영역에서 기판의 중앙 영역을 향해 이동 가능하게 배치되며, 기판의 비증착면을 하부에서 지지하여 기판이 처지는 것을 저지시키는 다수의 기판 지지용 사이드 아암유닛을 포함한다.

Description

평면디스플레이용 기판 핸들링 장치{Glass handling apparatus}
본 발명은, 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판의 사이즈가 대형화되더라도 핸들링이 가능하여 기판의 처짐에 의한 파손을 방지할 수 있으며, 이로 인해 대형 기판을 양산할 수 있음은 물론 생산 수율을 극대화시킬 수 있는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치에 관한 것이다.
최근들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 각광받고 있다.
평면디스플레이용 기판이 종류에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있으며, 점차 OLED의 사용이 증가하고 있는 실정이다.
평면디스플레이용 기판 특히, OLED용 기판(이하, 기판이라 함)은 합착 공정, 증착 공정 등의 다양한 공정을 통해 제작된다.
특히, 기판에 대한 증착 공정이 진행될 때는 기판의 증착 반대면인 비증착면이 스테이지(Stage)나 트레이(Tray)에 안착된 상태로 공정이 진행된다.
기판의 증착면은 물리적 접촉이 불가하기 때문에 기판의 비증착면을 스테이지나 트레이(이하, 스테이지로 통일함) 상에 안착시킨 후에 증착 공정을 진행하게 된다.
이처럼 기판의 비증착면이 스테이지 상에 접촉되면서 안착될 때는 증착 공정 시 공정상의 문제로 인해 전체면이 평탄한 스테이지가 사용된다.
다시 말해, 상면이 거의 정반으로 제조되는 스테이지 상에 기판의 비증착면이 안착된 상태에서 기판에 대한 증착 공정이 진행된다.
한편, 기판 투입용 로봇과의 상호작용으로 기판의 비증착면을 스테이지 상에 안착시킬 때, 소형 기판의 경우에는 기판의 단부(Edge) 영역만을 핀(Pin)이나 패드(Pad)로 지지해도 기판의 자중에 의한 처짐량이 작아 기판의 파손 없이 공정 진행이 충분히 가능하다.
하지만, 예컨대 6세대 이상의 원판 글라스(glass)에서 생산되는 각 인치의 사이즈를 갖는 대형 기판을 핀이나 패드로 그 단부 영역만을 지지하게 되면 기판 자중에 의한 처짐에 의해 기판이 변형될 수 있고 심한 경우에는 파손될 수 있기 때문에 기판의 대형화에 따른 기판 핸들링(Handling) 문제가 대두되고 있는 실정이다.
특히, 대형 기판의 경우, 그 중앙(Center) 영역을 핀이나 패드로 지지할 수도 없기 때문에 대형 기판의 생산 시 많은 애로사항이 발생되고 있다는 점을 고려해볼 때, 효율적인 방법으로 대형 기판을 핸들링하기 위한 방안이 요구된다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2003-0035578호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판의 사이즈가 대형화되더라도 핸들링이 가능하여 기판의 처짐에 의한 파손을 방지할 수 있으며, 이로 인해 대형 기판을 양산할 수 있음은 물론 생산 수율을 극대화시킬 수 있는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 평면디스플레이용 기판의 비증착면이 접촉되면서 안착되는 스테이지의 주변에서 업/다운(up/down) 이동 가능하게 배치되며, 기판 투입용 로봇에 의해 상기 스테이지 측으로 투입되는 기판을 지지하는 다수의 업/다운 사이드 핀; 및 상기 스테이지의 사이드 영역에서 상기 기판의 중앙 영역을 향해 이동 가능하게 배치되며, 상기 기판의 비증착면을 하부에서 지지하여 상기 기판이 처지는 것을 저지시키는 다수의 기판 지지용 사이드 아암유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치가 제공될 수 있다.
상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은, 설치면에 고정되는 유닛 베이스; 상호간 이격 배치되며, 상기 기판에 접근 또는 이격되면서 상기 기판을 지지하는 다수의 사이드 아암; 및 상기 다수의 사이드 아암을 구동시키는 아암 구동부를 포함할 수 있다.
상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은, 상기 다수의 사이드 아암이 일체로 연결되며, 상기 다수의 사이드 아암과 함께 구동되는 아암 슬라이더를 더 포함할 수 있다.
상기 아암 구동부는, 상기 유닛 베이스와 상기 아암 슬라이더에 마련되는 LM 가이드; 서보모터; 상기 서보모터에 연결되며, 상기 서보모터에 의해 회전되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루와 상기 아암 슬라이더를 연결하는 슬라이더 연결부를 포함할 수 있다.
상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은, 상기 아암 슬라이더에 결합되며, 상기 사이드 아암을 지지하는 아암 지지레일을 더 포함할 수 있다.
상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은, 상기 아암 지지레일을 상기 아암 슬라이더에 착탈 가능하게 결합시키는 착탈식 레일 결합부를 더 포함할 수 있다.
상기 착탈식 레일 결합부는, 상기 아암 지지레일과 연결되며, 단부에 플랜지가 형성되는 연결블록; 및 상기 연결블록과 상기 아암 슬라이더를 클램핑시키는 클램프를 포함할 수 있다.
상기 기판과 접촉되는 상기 사이드 아암의 표면에는 수지 계열의 볼 트랜스퍼(Ball Transfer)가 마련될 수 있다.
상기 기판의 비증착면이 상기 스테이지 상에 안착되도록 상기 기판 투입용 로봇, 상기 업/다운 사이드 핀 및 상기 기판 지지용 사이드 아암유닛의 동작을 유기적으로 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은 상기 스테이지의 양측 사이드 영역에 하나씩 대칭되게 배치될 수 있으며, 상기 스테이지는 상면이 평평한 정반으로 마련될 수 있으며, 상기 평면디스플레이용 기판은 6세대 이상의 원판 글라스(glass)에서 생산되는 각 인치의 사이즈를 갖는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판일 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판 투입용 로봇에 의해 평면디스플레이용 기판이 스테이지의 상부로 투입되는 기판 투입용 로봇에 의한 기판 투입 단계; 투입된 기판이 다수의 업/다운 사이드 핀의 상단부에 접촉지지되는 기판과 핀의 접촉지지 단계; 및 상기 기판이 처지는 것이 저지되도록 기판 지지용 사이드 아암유닛이 상기 기판의 사이드 영역으로 투입되어 상기 기판의 비증착면을 하부에서 지지하는 기판 지지용 사이드 아암유닛에 의한 기판 지지 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 방법이 제공될 수 있다.
상기 기판 지지용 사이드 아암유닛에 의한 기판 지지 단계 후에, 상기 기판 투입용 로봇이 다운(down)되는 기판 투입용 로봇 다운 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 투입용 로봇 다운 단계 후에, 상기 기판 투입용 로봇이 도피되는 기판 투입용 로봇 도피 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 투입용 로봇 도피 단계 후에, 상기 기판 지지용 사이드 아암유닛의 사이드 아암이 도피되는 사이드 아암 도피 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 사이드 아암 도피 단계 후에, 상기 업/다운 사이드 핀이 다운(down)되어 상기 기판의 비증착면이 상기 스테이지에 접촉되면서 안착되도록 하는 업/다운 사이드 핀 다운 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판의 사이즈가 대형화되더라도 핸들링이 가능하여 기판의 처짐에 의한 파손을 방지할 수 있으며, 이로 인해 대형 기판을 양산할 수 있음은 물론 생산 수율을 극대화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치의 배치도이다.
도 2는 도 1의 부분 확대 사시도이다.
도 3은 기판 지지용 사이드 아암유닛의 사시도이다.
도 4는 도 3의 A 영역의 확대도이다.
도 5는 도 3의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치의 제어블록도이다.
도 7 내지 도 15는 각각 기판을 핸들링하는 과정을 단계적으로 도시한 도면들이다.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 방법의 플로차트이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치의 배치도이고, 도 2는 도 1의 부분 확대 사시도이며, 도 3은 기판 지지용 사이드 아암유닛의 사시도이고, 도 4는 도 3의 A 영역의 확대도이며, 도 5는 도 3의 측면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치의 제어블록도이며, 도 7 내지 도 15는 각각 기판을 핸들링하는 과정을 단계적으로 도시한 도면들이고, 도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 방법의 플로차트이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치는 기판의 사이즈가 대형화되더라도 핸들링이 가능하여 기판의 처짐에 의한 파손을 방지할 수 있으며, 이로 인해 대형 기판을 양산할 수 있음은 물론 생산 수율을 극대화시킬 수 있도록 한 것으로서, 스테이지(110)와, 기판을 지지하는 다수의 업/다운 사이드 핀(120)와, 스테이지(110)의 사이드 영역에 배치되어 기판의 비증착면을 하부에서 지지하여 기판이 처지는 것을 저지시키는 다수의 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)과, 이들을 컨트롤하는 컨트롤러(190)를 포함한다.
참고로, 본 실시예에 따른 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치는 기판, 예컨대 6세대 이상의 원판 글라스(glass)에서 생산되는 각 인치의 사이즈를 갖는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판에 대한 증착 공정에 적용될 수 있지만, 그 외의 다른 공정에 적용되더라도 관계는 없다.
우선, 스테이지(110)는 도 2 및 도 15처럼 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 함)의 비증착면이 접촉되면서 안착되는 장소를 이룬다.
앞서도 기술한 것처럼, 기판에 대한 증착 공정이 진행될 때는 기판의 증착 반대면인 비증착면이 스테이지(110)에 안착된 상태로 공정이 진행된다. 스테이지(110)는 기판의 온도차에 의한 얼룩발생 방지를 위해 홀(Hole)이나 단차가 없는, 즉 전체면이 평탄한 정반으로서의 스테이지(110)가 적용될 수 있다.
다음으로, 다수의 업/다운 사이드 핀(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 스테이지(110)의 주변에서 업/다운(up/down) 이동 가능하게 배치되며, 기판 투입용 로봇(100, 도 8 내지 도 11 참조)에 의해 스테이지(110) 측으로 투입되는 기판을 지지하는 역할을 한다.
업/다운 사이드 핀(120)들은 스테이지(110)의 양 사이드 영역에서 상호간 이격되게 다수 개 마련되며, 해당 위치에서 업/다운(up/down) 이동되면서 기판을 지지한다. 이때, 업/다운 사이드 핀(120)들은 기판의 비증착면 단부 영역을 지지한다.
한편, 업/다운 사이드 핀(120)들로 하여금 기판의 비증착면 단부 영역이 지지되도록 할 경우, 소형 기판인 경우에는 업/다운 사이드 핀(120)들이 소형 기판의 단부 영역만을 지지하더라도 기판의 자중에 의한 처짐량이 작아 기판의 파손 없이 공정 진행이 충분히 가능하다.
하지만, 본 실시예처럼 예컨대, 6세대 이상의 원판 글라스(glass)에서 생산되는 각 인치의 사이즈를 갖는 대형 기판을 핸들링하고자 할 때는 업/다운 사이드 핀(120)들로 하여금 기판의 비증착면 단부 영역만을 지지하면 기판의 자체 하중에 의한 처짐에 의해 기판이 변형될 수 있고 심한 경우에는 파손될 수 있다. 그렇다고 해서 기판 투입용 로봇(100)의 간섭으로 인해 기판의 중앙 영역을 받칠 수는 없다.
이에, 본 실시예에는 스테이지(110)의 주변에 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)을 배치하여 공정 진행 시 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)이 기판을 지지할 수 있도록 하고 있다. 즉 본 실시예에 적용되는 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)은 스테이지(110)의 사이드 영역에서 기판의 중앙 영역을 향해 이동 가능하게 배치되며, 기판의 비증착면을 하부에서 지지하여 상기 기판이 처지는 것을 저지시키는 역할을 한다.
기판 지지용 사이드 아암유닛(130)은 도 1처럼 스테이지(110)의 양측 사이드 영역에 하나씩 대칭되게 배치될 수 있으며, 도 15처럼 기판이 스테이지(110) 상에 안착되는 과정에서 처지지 않도록 핸들링하는 역할을 한다.
실제, 대형 기판을 핸들링할 때는 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)을 사용하면 되고, 소형 기판을 핸들링할 때는 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)을 사용하지 않으면 되기 때문에 도 1처럼 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)을 스테이지(110)의 양측 사이드 영역에 배치시켜 사용하는 데에 아무런 문제가 없다.
이러한 역할을 담당하는 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)은 도 2 내지 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 설치면에 고정되는 유닛 베이스(140)와, 상호간 이격 배치되며, 기판에 접근 또는 이격되면서 기판을 지지하는 다수의 사이드 아암(150)과, 다수의 사이드 아암(150)을 구동시키는 아암 구동부(160)를 포함할 수 있다.
유닛 베이스(140)는 도 1처럼 스테이지(110)의 양측 사이드 영역의 설치면에 위치 고정될 수 있으며, 다수의 사이드 아암(150)과 아암 구동부(160)를 지지한다.
다수의 사이드 아암(150)은 도 9에서 도 13처럼 아암 구동부(160)에 의해 구동되면서 기판의 하면, 즉 기판의 비증착면을 하부에서 지지한다. 이때, 사이드 아암(150)들은 상호간 이격 배치된 상태에서 업/다운 사이드 핀(120) 사이로 움직이기 때문에 업/다운 사이드 핀(120)들과 간섭되지 않는다.
또한 사이드 아암(150)들은 기판 투입용 로봇(100)과 기판 사이에 벌어진 간격으로만 구동되기 때문에 사이드 아암(150)들은 기판 투입용 로봇(100)과 간섭되지 않는다.
기판과 접촉되는 사이드 아암(150)들의 표면에는 수지 계열의 볼 트랜스퍼(151, Ball Transfer)가 마련된다. 기판은 수지 계열의 볼 트랜스퍼(151)에 지지되기 때문에 스크래치가 나지 않는다.
다수의 사이드 아암(150)은 아암 슬라이더(170)에 의해 하나의 몸체로 일체로 연결된다. 즉 아암 슬라이더(170)는 다수의 사이드 아암(150)과 일체로 연결되며, 다수의 사이드 아암(150)과 함께 구동된다.
아암 슬라이더(170)에는 사이드 아암(150)을 지지하는 아암 지지레일(155)이 마련된다. 아암 지지레일(155)을 통해 사이드 아암(150)의 노출 길이를 미리 설정할 수도 있다.
기판 지지용 사이드 아암유닛(130)에는 아암 지지레일(155)을 아암 슬라이더(170)에 착탈 가능하게 결합시키는 착탈식 레일 결합부(180)가 더 마련된다.
본 실시예에서 착탈식 레일 결합부(180)는 아암 지지레일(155)과 연결되며, 단부에 플랜지(181a)가 형성되는 연결블록(181)과, 연결블록(181)의 플랜지(181a)와 아암 슬라이더(170)를 클램핑시키는 클램프(182)를 포함한다. 클램프(182)를 체결한 후에는 견고한 결합을 위해 볼트로 더 체결할 수 있다.
아암 구동부(160)는 사이드 아암(150)을 도 2의 화살표 방향으로 구동시키는 역할을 한다.
이러한 아암 구동부(160)는 유닛 베이스(140)와 아암 슬라이더(170)에 마련되는 LM 가이드(161)와, 사이드 아암(150)을 구동시키기 위한 구동력을 발생시키는 서보모터(162)와, 서보모터(162)에 연결되며, 서보모터(162)에 의해 회전되는 볼 스크루(163)와, 볼 스크루(163)와 아암 슬라이더(170)를 연결하는 슬라이더 연결부(164)를 포함한다.
아암 슬라이더(170)의 안정적인 구동을 위해 LM 가이드(161)는 상호 이격되게 한 쌍으로 배치되며, 볼 스크루(163)와 슬라이더 연결부(164)는 LM 가이드(161)들의 중앙에 배치될 수 있다.
이에, 서보모터(162)가 동작되어 볼 스크루(163)가 회전되면 볼 스크루(163)의 길이 방향을 따라 슬라이더 연결부(164)와 이동되면서 사이드 아암(150)들이 연결된 슬라이더 연결부(164)를 이동시킬 수 있다. 이때, LM 가이드(161)는 슬라이더 연결부(164)의 이동을 안정적으로 가이드한다.
마지막으로, 컨트롤러(190)는 기판의 비증착면이 스테이지(110) 상에 안착되도록 기판 투입용 로봇(100), 업/다운 사이드 핀(120) 및 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)의 동작을 유기적으로 컨트롤한다.
이러한 컨트롤러(190)는 도 5에 도시된 바와 같이, 중앙처리장치(191, CPU), 메모리(192, MEMORY), 서포트 회로(193, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.
중앙처리장치(191)는 본 실시예에서 기판의 비증착면이 스테이지(110) 상에 안착되도록 기판 투입용 로봇(100), 업/다운 사이드 핀(120) 및 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)의 동작을 유기적으로 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.
메모리(192, MEMORY)는 중앙처리장치(191)와 연결된다. 메모리(192)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리이다.
서포트 회로(193, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(191)와 결합되어 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(193)는 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.
본 실시예에서 컨트롤러(190)는 기판의 비증착면이 스테이지(110) 상에 안착되도록 기판 투입용 로봇(100), 업/다운 사이드 핀(120) 및 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)의 동작을 유기적으로 컨트롤한다.
이때, 컨트롤러(190)가 기판의 비증착면이 스테이지(110) 상에 안착되도록 기판 투입용 로봇(100), 업/다운 사이드 핀(120) 및 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)의 동작을 유기적으로 컨트롤하는 일련의 프로세스 등은 메모리(192)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(192)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.
본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 또는 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.
이하, 도 7 내지 도 16을 참조하여 기판이 스테이지(110) 상에 안착되는 과정을 설명한다.
우선, 도 7처럼 대기 상태에서 도 8처럼 기판 투입용 로봇(100)에 의해 기판이 스테이지(110)의 상부로 투입된다(S11). 이때는 기판이 업/다운 사이드 핀(120)에 접촉되지 않은 상태이다.
다음, 도 9처럼 기판 투입용 로봇(100)에 의해 투입된 기판이 기판 투입용 로봇(100)의 동작에 의해 다수의 업/다운 사이드 핀(120)의 상단부에 접촉지지된다(S12). 이때는 업/다운 사이드 핀(120)들이 기판의 단부 영역만을 떠받치고 있는 상태이기 때문에 기판의 처짐이 발생될 수 있다.
따라서 기판이 업/다운 사이드 핀(120)의 상단부에 접촉지지된 이후에는 도 10처럼 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)의 사이드 아암(150)들이 기판의 중앙 영역으로 투입되어 기판의 비증착면을 하부에서 지지한다. 이때, 사이드 아암(150)들은 기판 투입용 로봇(100)과 기판 사이에 벌어진 간격으로만 구동되기 때문에 사이드 아암(150)들이 기판의 중앙 영역으로 투입되더라도 사이드 아암(150)들은 기판 투입용 로봇(100)과 간섭되지 않는다. 따라서 대형 기판이라도 기판이 처지는 것이 저지된다(S13).
그런 다음, 도 11처럼 기판 투입용 로봇(100)이 다운(down)된다(S14). 그리고는 도 12처럼 기판 투입용 로봇(100)이 도피된다.
다음, 도 13처럼 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)의 사이드 아암(150)이 원위치로 도피되기 시작하며(S16), 도 14처럼 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)의 사이드 아암(150)이 원위치로 도피되고 나면, 업/다운 사이드 핀(120)이 다운(down)되어 도 15처럼 기판의 비증착면이 스테이지(110)에 접촉되면서 안착되도록 한다(S17).
이처럼 기판 지지용 사이드 아암유닛(130)의 사이드 아암(150)이 기판을 떠받치면서 기판의 비증착면이 스테이지(110)에 접촉되면서 안착되도록 함으로써, 기판의 처짐에 의해 기판이 파손되는 현상을 예방할 수 있다.
도 15처럼 기판의 비증착면이 스테이지(110)에 접촉되면서 안착되면 이 상태에서 기판의 증착면에 대한 증착 공정이 진행될 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 기판의 사이즈가 대형화되더라도 핸들링이 가능하여 기판의 처짐에 의한 파손을 방지할 수 있으며, 이로 인해 대형 기판을 양산할 수 있음은 물론 생산 수율을 극대화시킬 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 투입용 로봇 110 : 스테이지
120 : 업/다운 사이드 핀 130 : 기판 지지용 사이드 아암유닛
140 : 유닛 베이스 150 : 사이드 아암
151 : 볼 트랜스퍼 155 : 아암 지지레일
160 : 아암 구동부 161 : LM 가이드
162 : 서보모터 163 : 볼 스크루
164 : 슬라이더 연결부 170 : 아암 슬라이더
180 : 착탈식 레일 결합부 181 : 연결블록
182 : 클램프 190 : 컨트롤러

Claims (15)

  1. 평면디스플레이용 기판의 비증착면이 접촉되면서 안착되는 스테이지의 주변에서 업/다운(up/down) 이동 가능하게 배치되며, 기판 투입용 로봇에 의해 상기 스테이지 측으로 투입되는 기판을 지지하는 다수의 업/다운 사이드 핀; 및
    상기 스테이지의 사이드 영역에서 상기 기판의 중앙 영역을 향해 이동 가능하게 배치되며, 상기 기판의 비증착면을 하부에서 지지하여 상기 기판이 처지는 것을 저지시키는 다수의 기판 지지용 사이드 아암유닛을 포함하며,
    상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은,
    설치면에 고정되는 유닛 베이스;
    상호간 이격 배치되며, 상기 기판에 접근 또는 이격되면서 상기 기판을 지지하는 다수의 사이드 아암;
    상기 다수의 사이드 아암을 구동시키는 아암 구동부; 및
    상기 다수의 사이드 아암이 일체로 연결되며, 상기 다수의 사이드 아암과 함께 구동되는 아암 슬라이더를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 아암 구동부는,
    상기 유닛 베이스와 상기 아암 슬라이더에 마련되는 LM 가이드;
    서보모터;
    상기 서보모터에 연결되며, 상기 서보모터에 의해 회전되는 볼 스크루; 및
    상기 볼 스크루와 상기 아암 슬라이더를 연결하는 슬라이더 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은,
    상기 아암 슬라이더에 결합되며, 상기 사이드 아암을 지지하는 아암 지지레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은,
    상기 아암 지지레일을 상기 아암 슬라이더에 착탈 가능하게 결합시키는 착탈식 레일 결합부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 착탈식 레일 결합부는,
    상기 아암 지지레일과 연결되며, 단부에 플랜지가 형성되는 연결블록; 및
    상기 연결블록과 상기 아암 슬라이더를 클램핑시키는 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판과 접촉되는 상기 사이드 아암의 표면에는 수지 계열의 볼 트랜스퍼(Ball Transfer)가 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 비증착면이 상기 스테이지 상에 안착되도록 상기 기판 투입용 로봇, 상기 업/다운 사이드 핀 및 상기 기판 지지용 사이드 아암유닛의 동작을 유기적으로 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지용 사이드 아암유닛은 상기 스테이지의 양측 사이드 영역에 하나씩 대칭되게 배치되며,
    상기 스테이지는 상면이 평평한 정반으로 마련되며,
    상기 평면디스플레이용 기판은 6세대 이상의 원판 글라스(glass)에서 생산되는 각 인치의 사이즈를 갖는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판인 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 기판 핸들링 장치.
  11. 삭제
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