KR101552895B1 - 워크의 절단방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 복수의 와이어 가이드 사이에 나선형으로 감긴 와이어에 의해 형성되는 와이어 열(列)에, 워크 홀더에 지지된 원주상의 워크(work)를 압압하고, 워크와 와이어의 접촉부에 슬러리를 공급하면서 와이어를 주행시킴으로써, 워크를 웨이퍼 형태로 절단하는 절단방법에 있어서, 와이어 열에 의해 형성되는 평면에 대하여 워크의 축방향을 경사시켜 절단하는 것으로서, 워크의 경사를, 와이어 열의 평면에서 떨어진 쪽이, 와이어 가이드가 축방향으로 신장되는 쪽이 되도록 경사시킨 후 절단하는 워크의 절단방법이다. 이에 의해, 워크를 와이어소(wire saw)로 정밀도 있게 절단하여, 양호한 Warp 형상의 웨이퍼로 만들 수 있는 절단방법이 제공된다.

Description

워크의 절단방법{Method for Cutting Work}

본 발명은, 와이어소(wire saw)에 의해 워크(work)를 웨이퍼 형태로 절단하는 절단방법에 관한 것이다.

와이어소(wire saw)란, 복수의 와이어 가이드(홈이 형성된 롤러)사이에서 나선형으로 감긴 와이어 열(列)에 워크를 압압(押壓)하고, 워크와 와이어의 접촉부에, 유성 또는 수용성 쿨런트에 유리지립(遊離砥粒)을 혼입한 슬러리형의 연마액(砥液)을 공급함으로써, 유리지립의 연삭 작용에 의해 다수매의 웨이퍼로 절단하는 장치이다.

구체적으로는, 와이어 열의 왕복 주행시, 공급된 연마액 중의 유리지립을, 각 와이어에 의해 와이어 홈(워크의 절단 홈)의 맨 안쪽에 밀어넣으면서 홈 저부(底部)의 워크를 깍아냄으로써 절단한다.

이와 같이, 워크는, 왕복 주행하는 와이어에 의해 와이어 홈(워크의 절단 홈)의 맨 안쪽에 유리지립이 문질러짐으로써, 웨이퍼 형태로 절단된다. 이때 발생하는 마찰에 의해, 절단부가 발열함으로써, 워크는 절단 중에 열팽창하고, 또한, 와이어 가이드는 와이어와의 마찰열이나 와이어 가이드를 지지하는 베어링부에서 발생하는 마찰열 등에 의한 열팽창에 의해 축방향으로 신장(伸)되고, 이 때문에 와이어 가이드에 나선형으로 감긴 와이어 열과 워크의 상대 위치가 절단 중에 변화된다.

이들 워크의 열팽창이나, 와이어 가이드의 축방향의 신장에 의한 와이어 열과 워크의 상대 위치의 변화는, 와이어에 의해 워크에 그려지는 절단 궤적을 만곡시키고, 이 절단 궤적의 만곡이, 웨이퍼 가공 후의 형상 측정에 있어 Warp으로서 검출되는 문제가 있었다.

상기와 같은 문제에 대한 대책으로서, 와이어 가이드의 축방향의 신장에 대해서는, 일본 특허출원 공개 평8-323741호 공보에, 메인 롤러(와이어 가이드) 베어링부에 냉각수를 순환시킴으로써, 메인 롤러(와이어 가이드)의 축방향의 신장을 제어하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 워크의 열팽창에 관해서는, 일본 특허 제3734018호에, 워크에 온도 제어 매체를 공급함으로써 워크의 온도를 제어하는 방법이 개시되어 있다.

상기의 특허문헌에서 개시되어 있는 대책에 의해, 와이어 가이드의 축방향의 신장과, 워크의 열팽창을 억제하고, 와이어 가이드에 나선형으로 감긴 와이어 열과 워크의 상대 위치가 절단 중에 변화하는 것을 방지함으로써, 절단된 웨이퍼의 Warp에 다소의 개선은 보이지만, 그 개선량이 충분하지는 않았다.

따라서, 본 발명은, 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 워크를 와이어소로 정밀도 있게 절단하여, 양호한 Warp 형상의 웨이퍼로 만들 수 있는 절단방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 복수의 와이어 가이드 사이에 나선형으로 감긴 와이어에 의해 형성되는 와이어 열에, 워크 홀더에 지지된 원주상의 워크를 압압하고, 상기 워크와 와이어의 접촉부에 슬러리를 공급하면서 상기 와이어를 주행시킴으로써, 상기 워크를 웨이퍼 형태로 절단하는 절단방법에 있어서, 상기 와이어 열에 의해 형성되는 평면에 대하여 상기 워크의 축방향을 경사시켜 절단하는 것으로서, 상기 워크의 경사를, 상기 와이어 열의 평면에서 떨어진 쪽이, 상기 와이어 가이드가 축방향으로 신장되는 쪽이 되도록 경사시킨 후 절단하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법을 제공한다.

이와 같이, 워크를 축방향으로 경사시켜 절단함으로써, 워크가 와이어에 접해 압압되면 절단개시의 절입이 되기 전에 경사를 따라 와이어의 위치가 어긋나기 때문에, 어긋난 위치에서 워크의 절단이 개시된다.

절단이 진행되는 중에, 와이어가 원래의 위치로 되돌아가려는 힘이 작용하고, 워크의 절단 궤적이 만곡하려 한다.

한편, 와이어 가이드는, 절단이 진행되는 중에 열을 갖고, 열팽창에 의해 축방향으로 신장되기 때문에, 와이어에는 와이어 가이드가 축방향으로 신장되는 방향으로 힘이 작용하고, 와이어 가이드의 신장과 동일한 방향을 향해 절단 궤적이 만곡하려 한다.

본 발명에서는, 이 두 요인에 의한 만곡을 서로 반대방향으로 발생시키도록, 워크의 경사를, 와이어 열의 평면에서 떨어진 쪽이 와이어 가이드가 축방향으로 신장되는 쪽이 되도록 경사시켜 절단함으로써, 상기 두 요인에 의한 절단 궤적의 만곡이 상쇄되어 직선적인 절단을 할 수 있다. 이에 의해, Warp 형상이 양호한 웨이퍼로 절단할 수 있다.

또한, 워크 축을 본 발명에서 설정한 방향으로 경사시키는 것만으로 본 발명의 효과를 발휘할 수 있기 때문에, 특별한 장치 등은 불필요하며, 저비용으로 양호한 절단을 행할 수 있다.

이때, 상기 워크의 축방향의 경사 각도를, 미리 절단한 워크의 절단 궤적에 의해 설정하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 미리 절단한 워크의 절단 궤적에 의해, 장치 특성에 따른 와이어 가이드의 신장량이나 신장방향, 또는, 절단 궤적의 만곡의 크기를 파악할 수 있기 때문에, 이를 이용하여 다음 절단을 함으로써 효과적인 경사 각도를 설정할 수 있다.

이때, 상기 워크의 축방향의 경사 각도를, 절대값으로 0.003~0.2도로 조정하는 것이 바람직하다.

이와 같은 경사 각도 범위로 조정함으로써, 보다 효과적으로 절단 궤적의 만곡을 방지할 수 있고, Warp 형상이 양호한 웨이퍼로 만들 수 있다.

이때, 상기 워크의 축방향의 경사를, 상기 워크를 지지하기 위한 워크 홀더를 경사시키는 것에 의해 조정하거나, 또는, 상기 워크와 워크 홀더 사이에 삽입하는 부재의 경사에 의해 조정하거나, 또는, 상기 워크 홀더가 장착(取付)된 워크 지지부를 경사시키는 것에 의해 조정하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 상기와 같은 방법으로 워크의 축방향의 경사를 조정함으로써, 본 발명의 실시를 위해 특별한 장치는 불필요하고, 용이하게 경사를 조정할 수 있기 때문에, 간단한 방법에 의해 저비용으로 양호한 Warp 형상의 웨이퍼로 절단할 수 있다.

물론, 이들 방법은 조합하여 사용해도 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 워크의 절단방법에 의하면, 본 발명에서 규정한 방향으로 워크를 경사시켜 절단함으로써, 와이어 가이드의 축방향의 신장에 의한 워크의 절단 궤적의 만곡과, 반대방향의 절단 궤적의 만곡을 발생시켜, 두 요인에 의한 만곡을 상쇄함으로써 워크를 직선적으로 절단할 수 있다.

즉, 워크를 축방향으로 경사시켜 절단함으로써, 의도적으로 와이어가 어긋난 위치에서 절단을 개시시켜, 절단 중에 와이어가 원래의 위치로 되돌아가려는 힘에 의한 절단 궤적의 만곡을 와이어 가이드의 축방향의 신장되는 쪽과는 반대방향으로 발생시킨다. 이에 의해, 절단 궤적의 만곡이 방지된 양호한 절단을 할 수 있고, Warp이 개선된 웨이퍼로 만들 수 있다. 또한, 장치는 기본적으로는 종래의 것을 사용할 수 있고, 특별한 장치 등은 불필요하기 때문에, 저비용으로 양호한 절단을 할 수 있다.

도 1은 실시예에서의 워크 절단 시의 절단 전의 워크의 상태를 나타내는 측면도(A)와, 그 절단 궤적을 나타내는 도면(B)이다.
도 2는 워크의 축방향과 와이어 열의 평면을 약간 기울인 상태에서 워크를 절단했을 때의 절단 궤적을 나타내는 도면이다.
도 3은 비교예에서의 워크 절단 시의 절단 전의 워크의 상태를 나타내는 상태도(A)와, 그 절단 궤적을 나타내는 도면(B)이다.
도 4는 본 발명의 워크의 절단방법에 사용할 수 있는 와이어소 장치의 모식도이다.
도 5는 본 발명의 워크의 절단방법에 사용할 수 있는 와이어소 장치로 워크를 절단할 때의 설명도이다.
도 6은 워크의 축방향의 경사에 따른 절단 궤적에 대한 영향을 나타내는 설명도이다.
도 7은 와이어 가이드의 축방향의 신장에 의한 워크의 절단 궤적에 대한 영향을 나타내는 설명도이다.

와이어 소로 워크를 절단할 때, 특히, 일단(一端)이 신축 가능한 스러스트 타입의 와이어 가이드에서는 한 방향으로의 신장이 크고, 와이어 열과 워크의 열팽창에 의한 상대 위치의 변화가 커지기 때문에, 와이어에 의해 워크에 그려지는 절단 궤적을 만곡시키고, 이 절단 궤적의 만곡이, 웨이퍼 가공 후의 형상 측정에 있어 Warp으로서 검출되는 문제가 있었다.

또한, 이와 같은 열에 기인한 만곡을 냉각수를 사용하는 등의 상술한 방법을 사용함으로써 어느 정도는 방지할 수 있어도, 절단된 웨이퍼의 Warp의 개선은 불충분하였다.

발명자들은, 절단된 웨이퍼의 Warp 형상에 관해 예의 연구를 거듭한 결과, 상술한 바와 같은 절단 시의 열에 기인한 만곡 외에, 절단 시에 워크가 약간이라도 경사진 상태로 절단되면, 워크의 절단 개시부에 있어, 와이어가 원주상의 워크의 표면을 축방향으로 수평 이동한 후에 워크에 절입을 개시하고, 그 후 절단의 진행에 따라, 와이어의 위치가 수평 이동하기 전의 위치로 되돌아감으로써 절단 궤적의 만곡이 발생한다는 것을 발견했다.

본 발명자들은, 이와 같은 지견(知見)으로부터, 와이어 열의 평면에 대하여 워크를 축방향으로 경사시켜 절단함으로써, 의도적으로 와이어 가이드의 축방향의 신장되는 쪽으로 와이어를 수평 이동시켜 절입을 개시하고, 절단 중에 와이어가 원래의 위치로 되돌아가기 전에 와이어 가이드가 축방향으로 신장됨으로써, 신장된 와이어 가이드에 의한 와이어의 위치와 워크의 절단 위치가 동일한 위치가 되고, 절단이 만곡하지 않고 직선적으로 진행하기 때문에, 두 요인에 의한 절단 궤적의 만곡을 상쇄할 수 있음을 발견하고, 본 발명을 완성시켰다.

이하, 본 발명의 워크의 절단방법에 대하여, 실시형태의 일례로서, 도면을 참조하면서 상세히 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.

한편, 도 1은 본 발명의 워크의 절단방법의 실시형태의 일례로서, 와이어 소 장치에 워크를 경사시켜 지지한 상태를 나타내는 측면도(A)와, 그 절단 궤적을 나타내는 도면(B)이다.

또한, 도 6은, 워크의 축방향의 경사에 따른 절단 궤적에 대한 영향을 나타내는 설명도이다. 도 7은, 와이어 가이드의 축방향의 신장에 의한 워크의 절단 궤적에 대한 영향을 나타내는 설명도이다.

도 4는 본 발명의 절단방법을 적용할 수 있는 와이어 소 장치의 일례를 나타내는 모식도이다. 도 5는 와이어 소 장치로 워크를 절단할 때의 설명도이다.

본 발명의 절단방법은, 워크를 지지하는 부분 외에 특별한 장치 등은 불필요하기 때문에, 와이어 소 장치로는, 기본적으로 종래의 것을 사용할 수 있다.

도 4에 나타낸 와이어 소 장치는, 워크(14)를 절단하기 위한 와이어(13), 일단(一端)쪽이 고정되며, 와이어(13)를 감는 와이어 가이드(12), 와이어 가이드(12)를 구동시키는 구동 모터(11), 와이어(13)에 장력을 부여하기 위한 기구(15), 절단되는 워크(14)를 지지하여 송출하는 기구(10), 및 절단 시에 슬러리를 공급하는 슬러리 노즐(16)을 포함하고 있다.

또한, 도 5에 나타내는 바와 같이, 워크 송출기구(10)에는, 워크 지지부(17), 워크 홀더(18)가 장착되어 있고, 절단하는 워크(14)와 워크 홀더(18) 사이에는 슬라이스 베이스(19)가 삽입되어 있다.

본 발명에서는, 상기와 같은 구조의 와이어소 장치를 사용하여 워크(14)를 절단할 때, 도 1(A)에 나타내는 바와 같이, 와이어 열(13)에 의해 형성되는 평면에 대해 워크(14)의 축방향을 경사시켜 절단하는 것으로서, 워크(14)의 경사를, 와이어 열(13)의 평면에서 떨어진 쪽이, 와이어 가이드(12)가 축방향으로 신장되는 쪽이 되도록 경사시킨 후 절단한다.

이와 같이, 워크를 경사시켜 절단함으로써, 워크가 와이어에 압압되면 절입이 시작되기 전에 와이어가 어긋나, 와이어 가이드의 와이어가 나란히 줄지어 있는 위치에서 어긋난 위치가 절단 개시 위치가 된다.

이로 인해, 절단이 진행됨에 따라 와이어가 원래의 위치로 되돌아가려는 힘에 의해, 와이어가 어긋난 위치로부터 원래의 위치를 향해 절단 궤적이 만곡하게 된다(도 6 참조).

한편, 와이어 가이드는 절단이 진행되면 열을 갖고 축방향으로 신장되기 때문에, 그 와이어 가이드에서 나와 있는 와이어도 동일한 방향으로 이동하여, 워크의 절단 궤적이 와이어 가이드가 신장되는 쪽을 향해 만곡하게 된다(도 7 참조).

본 발명에서는, 이 같은 두 요인에 의한 만곡이 서로 반대방향이 되도록 경사를 조정하고 있기 때문에, 두 만곡은 상쇄되어, 절단이 직선적으로 진행된다.

이것에 의해, 절단되는 웨이퍼의 Warp의 개선을, 특별한 장치 등을 사용하지 않고 본 발명의 방법으로 경사시켜 지지하는 것만으로 달성할 수 있기 때문에, 저비용으로 양호한 절단을 행할 수 있다.

또한, 이때 워크의 축방향의 경사 각도를, 미리 절단한 워크의 절단 궤적에 따라 설정하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 미리 절단한 워크의 절단 궤적에 의해, 절단 궤적이 만곡하고 있는 방향이나, 그 정도를 조사할 수 있기 때문에, 경사 각도를 용이하게 설정할 수 있고, 다음 절단 시에 보다 효율적으로 양호한 절단을 할 수 있다.

따라서, 미리 더미(dummy)인 워크를 절단하여 궤적을 조사한 후, 제품을 절단하는 것이 바람직하다.

도 2는 워크의 경사 각도를 0.003도로 조정하여, 즉, 와이어 열의 평면에 대해 약간 기울여 워크를 지지하고 절단한 웨이퍼의 형상을 측정하고, 워크의 절단 궤적을 나타낸 도면이다.

도 2에 나타낸 절단 궤적에 있어, 절단 초기에 웨이퍼 위치의 눈금 0쪽을 향해 절단 궤적이 만곡해 있는 것을 알 수 있다. 따라서, 와이어 가이드의 축방향은, 가로축(웨이퍼 위치)의 눈금 0쪽을 향해 신장되어 있음을 알 수 있다.

이것에 의해, 워크의 경사를, 가로축의 눈금 0쪽(와이어 가이드의 축방향이 신장되는 쪽)을 와이어 열의 평면에서 떨어진 쪽이 되도록 경사 각도를 더 설정할 수 있다.

또한, 워크(14)의 축방향의 경사 각도를, 절대값으로 0.003~0.2도로 조정하는 것이 바람직하다.

와이어 가이드의 신장 등을 고려하면, 이와 같은 범위로 경사 각도를 조정함으로써, 워크의 절단 궤적의 만곡을 보다 효과적으로 방지할 수 있고, 보다 양호한 Warp 형상의 웨이퍼로 만들 수 있다.

또한, 이때 워크(14)의 축방향의 경사를, 워크(14)를 지지하는 워크 홀더(18)를 경사시키거나, 또는, 워크(14)와 워크 홀더(18) 사이에 삽입하는 부재[예를 들어, 슬라이스 베이스(19)]의 경사에 의하거나, 또는, 워크 홀더(18)가 장착된 워크 지지부(17)의 각도 조정기구에 의해, 조정하는 것이 바람직하다.

또한, 보다 미세하게 조정하기 위하여, 이들 방법을 조합하여 사용해도 된다.

이와 같이, 특별한 장치를 사용하지 않고, 간단한 방법으로 워크의 경사를 조정할 수 있기 때문에, 저비용으로 양호한 절단을 할 수 있다.

이하, 본 발명을 실시예, 비교예에 의해 더 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.

<실시예 1>

우선, 도 4에 나타낸 와이어소 장치를 사용하여, 표 1에 나타낸 절단 조건으로 직경 300 mm, 축방향의 길이 300 mm의 실리콘 잉곳(워크)을 절단하였다. 슬러리 공급 온도는 절단 개시부터 절단 종료까지 23 ℃로 일정하게 되도록 제어하였다.

		절단 조건
워크	잉곳 직경	Ø 300 mm
와이어	와이어 직경	160 ㎛
	와이어 장력	2.5 kgf
	와이어 신선(新線) 공급량	100 m/min
	와이어 반전 사이클	60 s
	와이어 주행 속도	평균 500 m/min
슬러리	지립	GC#1000
	지립 농도(쿨런트: 지립)	50:50(중량비)

워크의 고정은, 금속제 워크 홀더의 상면에 수지제 슬라이스 베이스를 접착해 고정하고, 또 수지제 슬라이스 베이스 위에 워크를 접착해 고정하였다. 와이어소 장치에 워크를 셋트할 때는, 이들 접착에 의해 고정된 금속제 워크 홀더, 수지제 슬라이스 베이스 및 워크가 일체가 된 것을 상하 반전시켜, 워크 홀더가 위에 위치하고, 워크가 매달려 지지된 자세로, 워크 홀더를 와이어소 장치의 워크 지지부로 고정 지지하였다(도 5 참조).

워크 홀더에 수지제 슬라이스 베이스 및 워크를 접착할 때는, 워크 플레이트 표면과 워크 축이 평행하게 되도록, 워크 홀더 및 수지제 슬라이스 베이스의 형상 정밀도와, 워크 홀더, 수지제 슬라이스 베이스 및 워크의 평행도를 조정하여 접착을 행하였다.

상기 워크 홀더에 접착된 워크를 약간 기울여 와이어소 장치에 고정 지지하여, 와이어 열에 의해 형성되는 면과 워크 축의 경사 각도를 측정한 결과는 와이어 가이드의 축방향으로 신장되는 쪽이 와이어 열의 평면에서 떨어진 쪽으로 0.003도(11초) 기울었다.

이 상태에서 절단한 워크의, 절단 후의 웨이퍼 전체의 Warp의 평균값은 7.4 ㎛이었다.

Warp 측정 데이터로부터 워크 송출방향 단면의 Warp 형상을 1번째 장, 5번째 장, 10번째 장…으로 5번째 장 이후는 5장 간격으로 추출한 것을 도 2에 나타내었다. 절단 초기의 절단 궤적의 만곡이 비교적 억제되었음을 알 수 있다.

실시예 1에서는, 와이어 열에 의해 형성되는 면에 대하여, 워크 축을 비교적 평행에 가깝게 함으로써, 절단 개시부에서 와이어의 평행 이동이 발생하는 일이 없어지고, 와이어의 어긋남에 기인한 절단 궤적의 만곡에 의한 Warp 악화는 억제되었지만, 여전히 와이어 가이드의 축방향의 신장에 의한 절단 궤적의 만곡을 볼 수 있었다.

<실시예 2>

상기 실시예 1에 사용한 와이어소 장치에서는, 도 2에 나타낸 절단 궤적으로부터, 와이어 가이드의 축방향의 신장은, 와이어 가이드의 한쪽 단면(端面)(도 2의 가로축 눈금 280쪽)을 기준 위치로, 다른쪽 단면의 방향(도 2의 가로축 눈금 0쪽)을 향해 발생하고 있음을 알 수 있다.

따라서, 와이어 가이드의 축방향의 신장에 의해 형성되는 절단 궤적의 만곡을, 와이어의 평행 이동에 의한 절단 궤적의 만곡으로 효과적으로 상쇄할 수 있도록, 워크 축의 경사를, 와이어 열의 평면에서 떨어진 쪽이 와이어 가이드의 축방향의 신장되는 쪽이 되도록, 0.1도 경사시켜, 도 1(A)에 나타난 바와 같이 워크를 지지하였다. 경사 각도 외의 조건은 실시예 1과 동일하게 하여, 직경 300 mm, 축방향의 길이 300 mm의 실리콘 잉곳을 절단하였다. 워크 축의 경사는 워크 홀더의 두께를 길이방향으로 경사시킴으로써 조정하였다.

이 상태에서 절단한 워크의, 절단 후의 웨이퍼의 Warp 측정 데이터로부터 워크 송출방향 단면의 Warp 형상을, 1번째 장, 5번째 장, 10번째 장…으로 5번째 장 이후는 5장 간격으로 추출한 것을 도 1(B)에 나타내었다.

도 1(B)에 나타난 바와 같이, 특히 절단 초기에서의 절단 궤적의 만곡이 거의 없고, 웨이퍼 전체의 Warp의 평균값은, 실시예 1에서 약간 경사시켜 절단한 것보다도 개선되어 6.3 ㎛이 되었다.

한편, 단결정 실리콘 웨이퍼에서는, 품질 항목으로서 웨이퍼의 면방위의 규격이 있기 때문에, 본 발명과 같이 워크 축을 의도적으로 경사시켜 절단을 한 경우에는, 절단된 웨이퍼의 면방위가 워크 축을 경사시킨 만큼 어긋나는 것이 염려되지만, 이에 관해서는, 워크 축을 경사시키는 만큼 워크의 방위를 사전에 어긋나게 해 둠으로써 영향을 배제하는 것이 가능하다.

<비교예>

도 3(A)에 나타내는 바와 같이, 와이어 열에 의해 형성되는 면에 대하여, 워크 축을 0.05도(3분)로 실시예 1, 2와는 반대방향으로 경사지게 한 것 외에는, 실시예 1, 2와 동일한 조건으로 직경 300 mm, 축방향의 길이 300 mm의 실리콘 잉곳을 절단하였다. 워크 축의 경사 각도는, 워크 홀더와 워크의 경사 각도를 조정하지 않고 접착한 경우의 접착 후의 경사 각도를 복수회 조사하고, 최대값을 채용하였다.

상기의 경사 상태에서 절단한 워크의, 절단 후의 웨이퍼 전체의 Warp의 평균값은 9.2 ㎛이었다. Warp 측정 데이터로부터 워크 송출방향 단면의 Warp 형상을 1번째 장, 5번째 장, 10번째 장…으로 5번째 장 이후는 5장 간격으로 추출한 것을 도 3(B)에 나타내었다.

워크의 경사에 의해 절단 개시부에서 와이어의 평행 이동이 발생하여, 와이어 가이드의 축방향의 신장에 의한 만곡과 동일한 방향으로 만곡이 발생했기 때문에, 워크의 절단 궤적이 크게 만곡하고, Warp의 악화를 일으키고 있다.

한편, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태는, 예시이며, 본 발명의 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고, 동일한 작용 효과를 가져오는 것은, 어떠한 것이라도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

Claims (11)

1. 일단이 신축 가능한 복수의 와이어 가이드 사이에 나선형으로 감긴 와이어에 의해 형성되는 와이어 열(列)에, 워크 홀더에 지지된 원주상의 워크(work)를 압압하고, 상기 워크와 와이어의 접촉부에 슬러리를 공급하면서 상기 와이어를 주행시킴으로써, 상기 워크를 웨이퍼 형태로 절단하는 절단방법에 있어서, 상기 와이어 열에 의해 형성되는 평면에 대하여 상기 워크의 축방향을 경사시켜 절단하는 것으로서, 상기 워크의 경사를, 상기 와이어 열의 평면에서 떨어진 쪽이, 상기 와이어 가이드가 축방향으로 신장되는 상기 신축 가능한 일단의 쪽이 되도록 경사시킨 후 절단하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
   
2. 제1항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사 각도를, 미리 절단한 워크의 절단 궤적에 의해 설정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
   
3. 제1항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사 각도를, 절대값으로 0.003~0.2도로 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
4. 제2항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사 각도를, 절대값으로 0.003~0.2도로 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사를, 상기 워크를 지지하기 위한 워크 홀더를 경사시키는 것에 의해 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
6. 제2항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사를, 상기 워크를 지지하기 위한 워크 홀더를 경사시키는 것에 의해 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
7. 제3항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사를, 상기 워크를 지지하기 위한 워크 홀더를 경사시키는 것에 의해 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
8. 제4항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사를, 상기 워크를 지지하기 위한 워크 홀더를 경사시키는 것에 의해 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사를, 상기 워크와 워크 홀더 사이에 삽입하는 부재의 경사에 의해 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
10. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사를, 상기 워크 홀더가 장착된 워크 지지부를 경사시키는 것에 의해 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
11. 제9항에 있어서, 상기 워크의 축방향의 경사를, 상기 워크 홀더가 장착된 워크 지지부를 경사시키는 것에 의해 조정하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법.
    
    
    

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