KR101500966B1

KR101500966B1 - 표면 처리 장치 및 워크 유지 지그

Info

Publication number: KR101500966B1
Application number: KR1020120069715A
Authority: KR
Inventors: 토모히로 노다; 시게유키 와타나베; 카츠미 이시이
Original assignee: 아루멕쿠스 피이 가부시키가이샤
Priority date: 2011-06-30
Filing date: 2012-06-28
Publication date: 2015-03-10
Also published as: KR20130004125A; CN104651910A; US10487414B2; CN107893255B; TWI477658B; US9346632B2; CN102851722B; CN104532331B; CN104532331A; CN102851722A; US20180202063A1; CN104674328A; CN107893255A; DE102012012990A1; TW201323668A; CN104651910B; US20160237588A1; US20130001073A1; CN104674328B; DE102012012990B4

Abstract

표면 처리조의 위쪽으로부터 벗어난 위치에 배치된 레일을 따라서 반송되는 반송 지그의 구조를 개량하여, 매우 안정적으로 반송 지그를 지지할 수 있는 표면 처리 장치 및 워크 유지 지그를 제공한다.
표면 처리 장치는 처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조(200); 표면 처리조의 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치에서, 표면 처리조의 길이방향과 평행한 제1방향(A)을 따라서 연장 설치되는 제1, 제2 안내 레일(130, 140); 표면 처리조의 처리액 속에 배치시켜 워크를 각각 유지하고, 제1, 제2 안내 레일에 지지되는 복수의 반송 지그(30); 를 가진다. 반송 지그는 제2방향(B)을 따라서 연장되는 수평 암부(300); 수평 암부의 일단측에 지지되고, 제1 안내 레일에 안내되는 제1 피안내부(310); 수평 암부의 타단측에 지지되고, 제2 안내 레일에 안내되는 제2 피안내부(320); 제1 피안내부와 제2 피안내부 사이의 위치에서 수평 암부로부터 수하되어 워크를 유지하는 수직 암부(330); 를 가지는 것에 관한 것이다.

Description

표면 처리 장치 및 워크 유지 지그{SURFACE TREATMENT APPARATUS AND JIG FOR HOLDING WORK}

본 발명은 연속 도금 장치 등의 표면 처리 장치 및 워크 유지 지그에 관한 것이다.

표면 처리 장치 예를 들면 워크 표면을 도금 처리하는 전해 도금 처리 장치로서, 도금조 내에서 회로기판 등의 워크를 연속 반송하는 연속 도금 처리 장치가 알려져 있다. 워크는 급전 레일을 따라서 반송되는 반송 지그에 수하(垂下)되어 유지되고, 급전 레일로부터 반송 지그를 통해 급전되면서 도금조 내부를 연속 반송된다. 도금조에는 음극이 되는 워크의 반송 경로 양측에 양극이 배치되고, 음극-양극 사이에 전계를 형성해 도금액을 전기 분해하여 워크 표면을 도금한다.

여기에서, 도금조의 위쪽에 급전 레일을 배치한 구조(특허문헌 1) 대신에, 도금조의 위쪽으로부터 벗어난 위치에서, 도금조의 길이방향과 평행하게 급전 레일을 연장 설치한 구조가 알려져 있다(특허문헌 2). 이렇게 하면, 급전 레일 위를 반송 지그가 슬라이딩할 때에 발생하는 분진이, 도금조 내에 낙하 혼입되는 것을 방지할 수 있다는 점에서 우수하다.

연속 도금 장치 등의 표면 처리 장치에서는 워크 유지 지그로 워크를 수하하여 유지하고, 표면 처리조 내의 액 속에서 워크를 연속 반송하고 있다. 워크 유지 지그는 예를 들면 특허문헌 3에 나타낸 바와 같이, 워크의 상단을 척킹(chucking)하여 워크를 수하하여 유지하는 것이 일반적이다.

또, 워크 유지 지그의 다른 기능은 표면 처리조 내에 배치되는 양극(애노드)에 대해서 워크를 음극(캐소드)으로 설정하는 것에 있다. 음극-양극 사이에 전계를 형성해 도금액을 전기 분해하여 워크 표면을 도금한다. 그 때문에, 워크의 상단을 척킹하는 척킹 부재는 도전성 부재로 형성되고, 워크 유지 지그를 통해 워크를 음극으로 설정한다.

일본국 특허공보 제3025254호 일본국 특허공보 제3591721호 일본국 공개특허공보 제2009-132956호

특허문헌 2와 같이 급전 레일을 도금조의 위쪽으로부터 벗어난 위치에 배치하면, 특허문헌 1과 같이 급전 레일의 바로 밑에 반송 지그 및 워크를 수하해 안정적으로 지지하는 형태와는 다르다. 그로 인해, 반송 지그 및 워크의 중심(重心)은 급전 레일을 통과하는 수선(perpendicular, 垂線)상에서 벗어나기 때문에, 반송 지그에는 불필요한 모멘트가 작용한다.

따라서, 특허문헌 2에 개시된 반송 지그는 불필요한 모멘트에 의한 폐해를 억제하기 위해서, 특허문헌 1에 개시된 지그보다 복잡한 구조가 된다. 예를 들면 특허문헌 2에서는 급전 레일의 측면에, 반송 지그의 탈락을 방지하기 위한 이탈 방지 레일을 형성하고 있어, 급전 레일의 구조도 복잡화되고 있다.

반송 지그에 유지된 워크가 액 속을 진행할 때, 평면에서 볼 때 워크의 자세가 반송방향에 대해서 교차하도록 기울면, 액의 저항을 받아 워크가 굴곡되어 상품 가치를 손상시킬 우려가 있다. 또, 반송 지그에 유지된 워크가 액 속을 진행할 때, 반송 지그가 상하로 움직이면, 급전 레일과 반송 지그의 전기적 접촉이 불량해져, 도금 품질이 떨어질 우려도 있다. 그러한 사태를 방지하기 위해서, 반송 지그의 주행을 안정화시키는 구조는 복잡해진다.

또, 특허문헌 3과 같이, 워크의 상단에서 통전 루트를 확보하는 것 만으로는, 워크의 표면 처리의 면내 균일성을 확보하기에는 한계가 있다는 것이 판명되었다.

본 발명의 여러 양태는 표면 처리조의 위쪽으로부터 벗어난 위치에 배치된 레일을 따라서 반송되는 반송 지그의 구조를 개량하여, 매우 안정적으로 반송 지그를 지지할 수 있는 표면 처리 장치를 제공한다.

본 발명의 다른 양태는 매우 얇은 워크라도, 액압 등에 의해서 워크를 파손시키지 않고 반송할 수 있는 워크 유지 지그를 제공한다.

본 발명의 또 다른 양태는 안내 레일과는 별개로 급전 레일을 마련하고, 급전 레일에 급전되는 피(被)급전부를, 반송 지그의 반송 상태와는 독립적으로 상시 적당한 접촉압으로 급전 레일과 접촉시킬 수 있는 표면 처리 장치를 제공한다.

본 발명의 또 다른 양태는 워크의 전류 분포의 면내 균일성을 향상시켜서, 워크의 표면 처리 품질이 한층 더 개선된 워크 유지 지그 및 표면 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

(1)본 발명의 제1양태는

처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;

상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치에서, 상기 표면 처리조의 길이방향과 평행한 제1방향을 따라서 연장 설치되는 제1, 제2 안내 레일;

상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 배치시켜 워크를 각각 유지하고, 상기 제1, 제2 안내 레일에 지지되는 복수의 반송 지그; 를 가지고,

상기 복수의 반송 지그 각각은

상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라서 연장되는 수평 암부;

상기 수평 암부의 일단(一端)측에 지지되고, 상기 제1 안내 레일에 안내되는 제1 피(被)안내부;

상기 수평 암부의 타단(他端)측에 지지되고, 상기 제2 안내 레일에 안내되는 제2 피안내부;

상기 제1 피안내부와 상기 제2 피안내부 사이의 위치에서 상기 수평 암부로부터 수하되고, 상기 워크를 유지하는 수직 암부; 를 가지는 표면 처리 장치에 관한 것이다.

이와 같이, 복수의 반송 지그 각각은 워크를 유지하는 수직 암부를 사이에 두고 제2방향의 양단측의 제1, 제2 피안내부가 제1, 제2 안내 레일에 지지된 양단(兩端) 지지 구조를 가진다. 따라서, 본 실시형태에서는 특허문헌 2와 같은 일단(一端) 지지 구조에 비해 불필요한 모멘트의 발생을 억제하고, 상하 움직임을 억제해서 안정적으로 워크를 수평 반송할 수 있다. 게다가, 슬라이딩부가 되는 제1, 제2 안내 레일 및 제1, 제2 피안내부는 표면 처리조의 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치에 있기 때문에, 분진 등이 표면 처리조 내에 낙하하여 도금액을 오염시키는 경우도 없다.

(2)본 발명의 다른 양태는

처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;

상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치로서, 상기 제1, 제2 안내 레일 사이에서 상기 제1방향을 따라서 연장 설치되는 급전 레일;

상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 배치시켜 워크를 각각 유지하고, 상기 제1, 제2 안내 레일에 지지되고, 또한, 상기 급전 레일에 접촉하여 급전되는 복수의 반송 지그; 를 가지고,

상기 복수의 반송 지그 각각은

상기 수평 암부의 일단측에 지지되고, 상기 제1 안내 레일에 안내되는 제1 피안내부;

상기 수평 암부의 타단측에 지지되고, 상기 제2 안내 레일에 안내되는 제2 피안내부;

상기 제1 피안내부와 상기 제2 피안내부 사이의 위치에서 상기 수평 암부로부터 수하되고, 상기 워크를 유지하는 수직 암부;

상기 제1 피안내부와 상기 수직 암부 사이의 위치에서 상기 수평 암에 지지되어, 상기 급전 레일에 접촉하는 피급전부; 를 가지는 표면 처리 장치에 관한 것이다.

본 발명의 다른 양태에서는 제1, 제2 안내 레일에 추가하여 급전 레일을 가지고, 반송 지그는 급전 레일과 접촉하는 피급전부를 더 가진다. 급전 레일은 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치로서, 제1, 제2 안내 레일 사이에 배치되기 때문에, 반송 지그의 피급전부는 제1 피안내부와 상기 수직 암부 사이의 위치에 형성된다. 그렇기 때문에, 수직 암부에서 제1 피안내부까지의 거리는 수직 암부에서 제2 피안내부까지의 거리보다 길어진다. 만약, 제2 피안내부가 존재하지 않으면, 제1 피안내부에서 수직 암부에 이르는 팔의 길이는 길어지고, 반송 지그에 작용하는 불필요한 모멘트는 커진다. 본 발명의 다른 양태에서도, 본 발명의 제1양태와 마찬가지로 제1, 제2 안내 레일에 지지된 양단 지지 구조를 가지기 때문에, 반송 지그에는 불필요한 모멘트가 작용하지 않는다.

(3)본 발명의 또 다른 양태는 박판(薄板) 형상의 직사각형 워크를 처리조 내의 액 속에 유지하는 워크 유지 지그로서,

상기 직사각형 워크의 제1변을 쥐는 복수의 제1 척킹 부재;

상기 직사각형 워크의 상기 제1변과 제1방향으로 대향하는 제2변을 쥐는 복수의 제2 척킹 부재;

상기 직사각형 워크를 둘러싸서 배치되고, 상기 복수의 제1 척킹 부재 및 상기 복수의 제2 척킹 부재를 지지하는 프레임형상 부재; 를 가지고,

상기 프레임형상 부재는

상기 복수의 제1 척킹 부재를, 상기 제1방향으로 가동(可動)하도록 이동안내하는 제1 안내부;

상기 복수의 제1 척킹 부재를, 상기 복수의 제2 척킹 부재에 대해서 상기 제1방향을 따라서 멀어지는 한 방향으로 이동 가력(加力)하는 제1 가력 부재; 를 가지는 워크 유지 지그에 관한 것이다.

본 발명의 워크 유지 지그에 의하면, 직사각형 워크의 대향하는 두 변을 각각 쥐는 복수의 제1, 제2 척킹 부재 중, 적어도 복수의 제1 척킹 부재가 제1방향으로 가동한다. 따라서, 직사각형 워크의 두께가 얇아도, 직사각형 워크에 항상 텐션이 부여되어 평면을 유지할 수 있다. 이로 인해, 직사각형 워크의 양면에 균일 막두께로 표면 처리할 수 있다. 또, 표면 처리시에 직사각형 워크가 처리액에 몇번이고 출입될 때에도, 워크는 휘지 않고 평면이 유지되고 있기 때문에, 휨부에 액압이 작용하는 경우가 없다. 그로 인해, 워크가 액압에 의해서 척킹으로부터 탈락하거나, 혹은 워크가 파손되는 것을 방지할 수 있다.

(4) 본 발명의 또 다른 양태는

처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;

상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치에서, 상기 표면 처리조의 길이방향과 평행한 제1방향을 따라서 연장 설치되는 안내 레일 및 급전 레일;

상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 배치시켜 워크를 각각 유지하고, 상기 안내 레일에 지지되고, 또한 상기 급전 레일에 접촉하여 급전되는 복수의 반송 지그; 를 가지고,

상기 복수의 지그 각각은

상기 수평 암부의 일단측에 지지되고, 상기 안내 레일에 안내되는 피안내부;

상기 피안내부와 상기 수직 암부 사이의 위치에서 상기 수평 암에 지지되어, 상기 급전 레일에 접촉하는 피급전부; 를 가지고,

상기 피급전부는

상기 급전 레일에 접촉하는 접촉부;

상기 수평 암부와 상기 접촉부를 연결하는 평행 링크 기구;

상기 평행 링크 기구를 회전 가력하여, 상기 접촉부에 접촉압을 부여하는 가력 부재; 를 가지는 표면 처리 장치에 관한 것이다.

본 발명의 다른 양태에 의하면, 안내 레일과는 별개로 급전 레일을 마련하고, 급전 레일에 급전되는 피급전부를 반송 지그의 반송 상태와 독립시켜, 상시 적당한 접촉압으로 급전 레일과 접촉시킬 수 있다.

(5) 본 발명의 또 다른 양태는

박판 형상의 직사각형 워크를 처리조 내의 액 속에서 수직 상태로 유지하면서, 또한 상기 워크를 음극으로 설정하는 워크 유지 지그로서,

상기 직사각형 워크를 둘러싸서 배치되는 프레임형상 부재;

상기 프레임형상 부재에 지지되고, 상기 직사각형 워크의 윗변을 쥐는 도전성의 복수의 제1 척킹 부재;

상기 복수의 제1 척킹과는 전기적으로 절연되어 상기 프레임형상 부재에 지지되고, 상기 직사각형 워크의 아랫변을 쥐는 도전성의 복수의 제2 척킹 부재;

상기 복수의 제1 척킹 부재에 통전하는 제1 통전부;

상기 복수의 제2 척킹 부재에 통전하는 제2 통전부; 를 가지는 워크 유지 지그에 관한 것이다.

본 발명의 또 다른 양태에 의하면, 특히 매우 얇은 워크를 표면 처리 대상으로 할 경우, 액압에 의해 워크의 수하 상태를 유지할 수 없게 되는 것을 해소하기 위해서, 워크의 상하를 척킹하여 워크의 자세를 유지할 수 있다. 여기에서, 프레임형상 부재 및 제1, 제2 척킹 부재를 도통시킨 경우에는 제2 척킹 부재를 지지한 하부 프레임 부재로의 통전 루트의 저항값이, 제1 척킹 부재를 지지한 상부 프레임 부재로의 통전 루트의 저항값보다 필연적으로 커져 버린다. 종래와 같이, 유지 지그에 의해 워크의 상단만 척킹한 경우에는 통전 루트는 상부 프레임 부재에만 한정된다. 따라서, 양극에서 액 속을 통해 워크 및 프레임형상 부재에 흐르는 전류(혹은 그것과는 반대방향의 전자의 흐름)는 워크 유지 지그에 척킹된 워크의 상단측일수록 흐르기 쉬워져, 워크내의 전류 분포는 워크면 내에서 불균일해진다. 워크의 전류 분포의 면내 균일성은 워크의 표면 처리 품질에 영향을 준다. 본 발명의 제1양태에서는 복수의 제1 척킹 부재와 복수의 제2 척킹 부재는, 전기적으로 절연되고, 게다가 제1, 제2 척킹 부재로의 통전도 제1, 제2 통전부에 분리되어 있다. 따라서, 제1 통전부에서 제1 척킹 부재로의 제1 통전 루트와, 제2 통전부에서 제2 척킹 부재로의 제2 통전 루트는 예를 들면 저항값이나 전류값을 독립적으로 설정할 수 있고, 그로 인해 워크의 전류 분포의 면내 균일성을 향상시켜서, 워크의 표면 처리 품질을 한층 더 개선할 수 있다.

(6)본 발명의 양태 (5)에서는

상기 프레임형상 부재는

상기 복수의 제1 척킹 부재를 지지하는 도전성의 상부 프레임 부재;

상기 복수의 제2 척킹 부재를 지지하는 도전성의 하부 프레임 부재;

상기 상부 프레임 부재의 양단부에 형성된 2개의 절연 부재;

상단부가 상기 2개의 절연 부재에 지지되고, 하단부가 상기 하부 프레임 부재의 양단부에 연결된, 도전성의 2개의 세로 프레임 부재; 를 포함하고,

상기 제1 통전부는 상기 상부 프레임 부재에 통전하고,

상기 제2 통전부는 상기 2개의 세로 프레임 부재에 통전할 수 있다.

이 경우, 제1 통전부는 상부 프레임 부재를 경유하여 제1 척킹 부재에 통전하고, 제2 통전부는 2개의 세로 프레임 부재 및 하부 프레임 부재를 통해 제2 척킹 부재에 통전한다. 상부 프레임 부재와 2개의 세로 프레임 부재는 2개의 절연 부재에 의해 전기적으로 절연되어 있기 때문에, 각 통전 루트의 저항값 또는 전류값을 독립적으로 설정할 수 있다.

(7)본 발명의 양태 (6)에서는 상기 제1 통전부의 일부를 개재하여 상기 프레임형상 부재를 지지하고, 상기 제1 및 제2 통전부에 통전하는 공통 통전부를 더 가질 수 있다.

이렇게 하면, 워크 유지 지그가 가지는 2개의 기능부인 반송부와 워크 유지부 중, 반송부측에 형성한 도전성 부재를 공통 통전부로서 겸용하고, 게다가 공통 통전부를 프레임형상 부재의 지지부로서 겸용할 수 있어 부품 수를 삭감할 수 있다.

(8)본 발명의 양태 (7)에서는

상기 제1 통전부는

상기 공통 통전부에 고정된 절연부;

상기 절연부와 상기 상부 프레임 부재를 연결하는 도전성의 연결부;

상기 공통 통전부와 상기 연결부를 접속하는 적어도 하나의 상부 프레임 통전 케이블; 을 가지고,

상기 제2 통전부는 상기 공통 통전부와 상기 2개의 세로 프레임 부재를 접속하는 제1 및 제2 세로 프레임 통전 케이블을 가질 수 있다.

이렇게 하면, 제1 통전부의 일부는 공통 통전부에 고정된 절연부; 절연부와 상부 프레임 부재를 연결하는 도전성의 연결부; 를 가짐으로써, 통전부와 함께 프레임형상 부재의 지지부로서 겸용할 수 있어 부품 수를 삭감할 수 있다. 그리고, 공통 통전부로부터의 분리 통전 루트는 하나의 상부 프레임 통전 케이블과, 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블에 의해 확보할 수 있다.

(9)본 발명의 양태 (8)에서는

상기 연결부는

상기 절연부와 상기 상부 프레임 부재를 연결하는 제1 수직 암부 및 제2 수직 암부;

상기 제1 수직 암부로부터 돌출하는 제1 돌출부;

상기 제2 수직 암부로부터 돌출하는 제2 돌출부; 를 포함하고,

상기 적어도 하나의 상부 프레임 통전 케이블은 상기 공통 통전부와 상기 제1 돌출부를 접속하는 제1 상부 프레임 통전 케이블; 상기 공통 통전부와 상기 제2 돌출부를 접속하는 제2 상부 프레임 통전 케이블; 을 포함할 수 있다.

이렇게 하면, 연결 기능을 가지는 제1 수직 암부 및 제2 수직 암부 이외에 제1, 제2 돌출부를 형성함으로써, 제1, 제2 돌출부를 제1 통전부의 통전 루트를 길게 하는 용장부(冗長部)로서 기능시키거나 제1, 제2 수직 암과는 재질을 다르게 할 수 있다. 그 이유는 제2 통전부인 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블 중 하나와 2개의 세로 프레임 부재 중 하나가, 공통 통전부와 하부 프레임 부재 사이의 통전 루트가 되는데, 세로 프레임 부재는 비교적 길고 경량화를 위해서 단면적을 작게 할 필요가 있어 저항값이 비교적 크다. 세로 프레임 부재의 비교적 큰 저항값과 밸런스를 맞추기 위해서, 제1, 제2 수직 암부 중 하나와 제1, 제2 돌출부 중 하나에 의해, 제1 통전부측에도 비교적 큰 저항값을 부여할 수 있다. 양자의 밸런스를 맞추면, 제1, 제2 상부 프레임 통전 케이블과 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블은 도전부의 길이와 단면적이 동일한 동일 케이블을 사용할 수 있어 설치 미스를 저감할 수 있다.

(10)본 발명의 양태 (7)~(9)에서는 상기 공통 통전부에서 상기 상부 프레임 부재에 흐르는 전류 경로의 저항값과, 상기 공통 통전부에서 상기 하부 프레임 부재에 흐르는 전류 경로의 저항값을, 실질적으로 동일하게 설정할 수 있다.

그에 따라, 워크 내에서의 전류 분포의 면내 균일성이 향상되어 표면 처리 품질을 한층 더 개선할 수 있다.

(11)본 발명의 양태 (6)~(10)에서는 상기 2개의 절연 부재 각각은 상기 2개의 세로 프레임 부재의 각 하나의 상단부를 수직방향으로 슬라이딩 안내하는 안내부를 가질 수 있다. 이렇게 하면, 2개의 세로 프레임 부재, 하부 프레임 부재 및 복수의 제2 척킹 부재의 자중(自重)이, 복수의 제1 척킹 부재에 의해 상단부가 지지된 워크의 하단에 작용하여, 텐션 부여로 인해 워크를 수직 상태로 유지할 수 있다. 따라서, 워크에 표면 처리조의 액압이 작용하더라도 워크의 변형이 방지된다.

(12)본 발명의 양태 (11)에서는 상기 안내부에 슬라이딩 안내되는 상기 2개의 세로 프레임 부재의 각 하나를 아래쪽으로 이동 가력하는 가력 부재를 더 가질 수 있다. 이렇게 하면, 복수의 제1 척킹 부재에 의해 상단부가 지지된 워크의 하단에는 상술한 자중에 추가하여 가력 부재에 의한 가력이 작용하여, 부가적인 텐션 부여에 의해 워크를 수직 상태로 유지할 수 있다.

(13)본 발명의 양태 (12)에서는 상기 가력 부재의 하단은 상기 안내부에 슬라이딩 안내되는 상기 2개의 세로 프레임 부재의 각 하나에 고정되고, 상기 가력 부재의 상단은 상기 2개의 절연 부재의 각 하나에 지지된 도전성의 고정 부재에 고정되고, 상기 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블의 각 하나를 상기 고정 부재에 접속할 수 있다. 이와 같이, 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블은 고정 부재, 가력 부재를 통해 세로 프레임 부재에 통전할 수 있다. 혹은 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블을 세로 프레임 부재에 직접 접속해도 된다.

(14)본 발명의 또 다른 양태는

처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;

상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 침지되는 워크를 수하하여 유지하면서, 또한 상기 워크를 음극으로 설정하는, 상술한 (5)~(13) 중 어느 하나에 기재된 워크 유지 지그;

상기 표면 처리조 내에서, 상기 워크와 대향하는 위치에 배치되는 양극 전극; 을 가지는 표면 처리 장치에 관한 것이다.

(15)본 발명의 또 다른 양태는

처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;

상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 침지되는 워크를 수하하여 유지하면서, 또한 상기 워크를 음극으로 설정하는 워크 유지 지그;

상기 표면 처리조 내에서 수직방향으로 연장하고, 상기 워크와 대향하는 위치에 배치되는 양극 전극;

상기 표면 처리조 내의 상기 처리액의 액면보다 낮은 위치에서, 상기 양극 전극에 통전하는 중계 통전부; 를 가지는 표면 처리 장치에 관한 것이다.

본 발명의 다른 양태에서는 중계 통전부에서의 전류가 양극 전극으로부터 표면 처리조 내의 처리액을 통해 음극(캐소드)인 워크를 향해서 흐를 때에, 중계 통전부와의 접속 높이 위치에서 양극 전극상을 위쪽과 아래방향으로 분기해서 흐른다. 이렇게 하여, 워크에 대해서 흐르는 전류는 그 수직방향에서의 전류 분포의 불균일성이 개선된다.

(16)본 발명의 양태 (15)에서는,

상기 워크 유지 지그는

상기 직사각형 워크를 둘러싸서 배치되는 프레임형상 부재;

상기 프레임형상 부재에 상기 복수의 제1 척킹과는 전기적으로 절연되어 지지되고, 상기 직사각형 워크의 아랫변을 쥐는 도전성의 복수의 제2 척킹 부재;

상기 복수의 제1 척킹 부재에 통전하는 제1 통전부;

상기 복수의 제2 척킹 부재에 통전하는 제2 통전부; 를 가질 수 있다.

이렇게 하면, 상술한 (5) 및 (14)에 의한 작용 효과가 조합되어 워크의 전류 분포의 면내 균일성을 향상시키고, 워크의 표면 처리 품질을 한층 더 높여 개선할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 표면 처리 장치의 종단면도이다.
도 2는 도 1의 부분 확대도이다.
도 3은 반송 지그의 사시도이다.
도 4는 2개의 안내 레일과 반송 지그를 나타내는 도면이다.
도 5는 반송 지그의 평면도이다.
도 6은 반송 지그의 정면도이다.
도 7은 양극에의 전류 제어계를 나타내는 도면이다.
도 8(A), 도 8(B)는 워크 반출시의 전류 점차 저감 제어와 워크 반입시의 전류 점차 증가 제어를 나타내는 도면이다.
도 9는 워크 유지 지그의 프레임형상 부재의 부분 확대도이다.
도 10은 가동판을 압하하여 워크를 유지하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 11은 제1 척킹에 의해 워크를 지지하여 텐션을 가한 상태를 나타내는 도면이다.
도 12는 피급전부의 상세를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 워크 유지 지그의 통전부 및 워크 유지부를 나타내는 정면도이다.
도 14는 도 13에 나타내는 워크 유지 지그의 측면도이다.
도 15는 세로 프레임 부재를 이동안내하는 절연 부재와 세로 프레임 부재를 이동 가력하는 가력 부재를 나타내는 도면이다.
도 16은 도 1의 처리조에 배치되는 양극 전극부를 나타내는 모식도이다.
도 17은 도 13에 나타내는 워크 유지 지그의 통전부 및 워크 유지부를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 18은 워크 내의 전류 분포를 모식적으로 측정하는 방법을 나타내는 도면이다.
도 19는 워크 및 양극 전극의 통전 포인트를 나타내는 도면이다.
도 20(A) 및 도 20(B)는 도 6과 도 13의 워크 유지 지그에 유지된 워크내의 전류 분포를 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 또한 이하에 설명하는 본 실시형태는 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하는 것이 아니고, 본 실시형태에서 설명되는 모든 구성이 본 발명의 해결 수단으로서 필수라고는 할 수 없다.

1. 표면 처리 장치의 개요

도 1은 표면 처리 장치 예를 들면 연속 도금 처리 장치의 종단면도이다. 연속 도금 처리 장치(10)는 회로기판 등의 워크(20)를 각각 유지하는 복수의 반송 지그(30A)가, 도 1의 지면과 수직인 방향으로 순환 반송된다. 도 1에서는 순환 반송로(100) 중 평행한 2개의 직선 반송로(110, 120)를 나타내고 있다. 이 2개의 직선 반송로(110, 120)는 양단에서 연결되어 루프 형상의 순환 반송로(100)를 형성하고 있다.

순환 반송로(100)에는 복수의 반송 지그(30A) 각각에 유지된 워크(20)를 표면 처리 예를 들면 도금 처리하는 도금조(200: 넓은 의미에서는 표면 처리조)와, 도금조(200)보다 순환 반송로(100)의 상류에 마련되어 미처리 워크(20)를 복수의 반송 지그(30A)에 반입하는 반입부(도시하지 않음)와, 도금조(200)보다 순환 반송로(100)의 하류에 마련되어 처리가 끝난 워크(20)를 복수의 반송 지그(30A)로부터 반출하는 반출부(도시하지 않음)가 형성되어 있다.

본 실시형태에서는 도금조(200)는 제2 직선 반송로(120)를 따라서 마련되고, 반입부 및 반출부는 제1 직선 반송로(110)에 마련되어 있다. 순환 반송로(100)에는 도금조(200)의 상류측에 배치되는 전처리조 그룹(230)과, 도금조(200)의 하류측에 배치되는 후처리조 그룹(도시하지 않음)을 더 가진다.

전처리조 그룹(230)은 반입부(210)와 도금조(200) 사이에 상류측부터 순서대로, 예를 들면 탈지조, 온수 세정조, 냉수 세정조, 샤워조 및 산 세정조 등을 배치하여 구성된다. 후처리조는 도금조(200)와 반출부 사이에 상류측부터 순서대로, 예를 들면 샤워조 및 냉수 세정조를 배치하여 구성된다. 또, 전처리조 그룹(230) 및 후처리조 그룹의 수나 종류는 적절히 변경 가능하다.

2. 반송 지그와 2개의 안내 레일

도 1에 나타낸 바와 같이, 연속 도금 처리 장치(10)는 도금액(넓은 의미에서는 처리액)이 수용되고, 상단 개구(201)를 가지는 도금조(200: 넓은 의미에서는 표면 처리조)를 가진다. 연속 도금 처리 장치(10)는 또한, 도 1의 일부를 확대해서 나타내는 도 2에 도시한 바와 같이, 도금조(200)의 상단 개구(201)의 위쪽으로부터 벗어난 위치에, 도금조(200)의 길이방향과 평행한 제1방향(지면과 수직인 방향)을 따라서 연장 설치되는 제1 안내 레일(130) 및 제2 안내 레일(140)을 가진다. 복수의 반송 지그(30A)는 도금조(200)의 처리액 속에 배치시켜 워크(20)를 각각 유지하고, 제1, 제2 안내 레일(130, 140)에 지지된다.

복수의 지그(30A) 각각은 도 3~도 5 에 나타낸 바와 같이, 수평 암부(300), 제1 피안내부(310), 제2 피안내부(320), 수직 암부(330)를 가진다. 수평 암부(300)는 도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1방향(반송방향)(A)과 직교(넓은 의미에서는 교차)하는 제2방향(B)을 따라서 연장되는 예를 들면 2개의 제1, 제 2수평 암(300A, 300B)을 가진다. 제1 피안내부(310)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 수평 암부(300) 일단측에 지지되어, 제1 안내 레일(130)에 안내된다. 제2 피안내부(320)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 수평 암부(300)의 타단측에 지지되어, 제2 안내 레일(140)에 안내된다. 수직 암부(330)는 도 3 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 피안내부(310)와 제2 피안내부(320) 사이의 위치에서, 수평 암부(300)에 고정된 지지판(331)으로부터 수하되는 워크(20)를 유지하는 예를 들면 2개의 제1, 제 2수평 암(300A, 300B)을 가진다.

이와 같이, 복수의 지그(30A) 각각은 워크(20)를 유지하는 수직 암부(330)를 사이에 두고 제2방향(B)의 양단측의 제1, 제2 피안내부(310, 320)가, 제1, 제2 안내 레일(130, 140)에 지지된 양단 지지 빔의 형태를 가진다. 따라서, 본 실시형태에서는 특허문헌 2(일본특허 제3591721호)와 같이 일단 지지 빔의 형태에 비해, 반송 지그(30A)의 반송중에 걸쳐 상하 움직임을 억제해서 안정적으로 워크(20)를 유지 반송할 수 있다. 게다가, 슬라이딩부가 되는 제1, 제2 안내 레일(130, 140) 및 제1, 제2 피안내부(310, 320)는 도금조(200)의 상단 개구(201)의 위쪽으로부터 벗어난 위치에 있기 때문에, 분진 등이 도금조(200) 내에 낙하하여 도금액을 오염시키는 일이 없다.

3. 반송 지그와 2개의 안내 레일과 급전 레일

도금 처리 장치(10)에서는 워크(20)를 캐소드(음극)로 하고, 도금조(200)가 워크(20)의 반송 경로를 사이에 둔 양측에 애노드(양극: 예를 들면 구리계 애노드 볼)(410L, 410R)를 수용하는 원통망 백(수용부)(202, 203)을 마련하고, 캐소드-애노드 사이에 전계를 형성하여 도금액을 전기 분해하고 워크(20)를 전계 도금한다. 그렇기 때문에, 반송중인 워크(20)에 통전할 필요가 있다. 워크(20)에 급전하기 위해서는 예를 들면 제1, 제2 안내 레일(130, 140) 중 적어도 하나를 급전 레일로 할 수 있다. 이 경우, 반송 지그(30A)를 구성하는 부재 중, 제1, 제2 안내 레일(130, 140)로부터 워크(20)에 급전하는 경로의 재료를 전기 도체로 형성하면 된다.

본 실시형태에서는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 도금 처리 장치(10)는 제1, 제2 안내 레일(130, 140)과는 별개로 급전 레일(210)을 마련하고 있다. 특히, 본 실시형태의 급전 레일(210)은 일본공개특허 2009-132999에 개시된 전류 제어 방법을 실시하기 위해서, 도 2에 나타낸 바와 같이 서로 절연된 복수 예를 들면 4개의 분할급전 레일(210A~210D)을 가진다. 복수의 반송 지그(30A) 각각은 4개의 분할급전 레일(210A~210D) 중 어느 하나와 접촉하여 급전되는 피급전부(340)(도 2~도 5)를 가지고 있다. 피급전부(340)는 제1 피안내부(310)와 수직 암부(330) 사이의 위치에 배치되어 있다.

이와 같이, 복수의 지그(30A) 각각은 피급전부(340)를 사이에 두고 제2 방향(B)의 양단측의 제1, 제2 피안내부(310, 320)가, 제1, 제2 안내 레일(130, 140)에 지지된 양단 지지 형태를 가진다. 따라서, 반송 지그(30A)의 반송중에 걸쳐 피급전부(340)의 상하 움직임을 억제하여 안정적으로 급전 레일(210)과의 접촉을 유지할 수 있다.

4. 분할급전 레일을 이용한 전류 제어 방법

이하, 일본공개특허 2009-132999에 개시된 전류 제어 방법에 대해서, 도 7 및 도 8(A), 도 8(B)를 참조해 설명한다. 또, 도 1에 나타내는 도금조(200)는 지면에 수직인 반송방향을 따라서 예를 들면 수십 m 이상(그 값을 포함)의 길이를 가진다. 도 7에 나타내는 도금조 유닛(200A)은 단위 유닛을 나타내고, 복수의 도금조 유닛(200A)을 연결 접속하여 도 1의 도금조(200)가 구성된다.

전원 유닛(400A~400D)은 대응하는 분할급전 레일(210A~210D)을 통해 반송중인 각 워크(20)에 급전한다. 전원 유닛(400A~400D)은 일면(F1) 및 타면(Fr)을 가지는 각 워크(20)에, 설정 전류값(A/dm²)으로의 정전류 제어에 의해 급전 가능하다. 또한, 전원 유닛(400A~400D)은 도금조 유닛(200A) 내부로 워크(20)를 반입할 때에는 전류를 점차 증가 제어하고, 워크(20)를 반출할 때에는 전류를 점차 감소 제어한다.

도 7에서, 도금조 유닛(200A)에서는 N매(예를 들면, 3매)의 워크(20(2OA~20C 또는 20B~20D))를 반송 지그(30A(30A1~30A4))와 동시에 전면 침지 상태로 반송방향(A)으로 반송 가능하다. 전면 침지 상태란, 적어도 워크(20)의 도금 처리 대상면(도 10에 나타내는 일면(F1) 및 타면(Fr)) 전부가, 도 1 및 도 2에 나타낸 하나의 도금조 유닛(200A)의 도금액(Q) 속에 침지되어 있는 상태를 말한다. 따라서, 도금조 유닛(200A)의 출구(200B)측에서 워크(20A)가 반출 개시되면서, 또한 입구(200F)측에 워크(20D)가 반입 개시되는 상태에서는 도금조 유닛(200A)내에는 수가 (N+1), 즉 4매의 워크(20(20A~20D))가 침지되어 있게 된다.

이 상태에서, 워크(20B~20C)는 전면 침지 상태이고, 워크(20A) 및 워크(20D)는 부분 침지 상태이다. 부분 침지 상태란, 적어도 워크(20A, 20D)의 도금 처리 대상부면(도 10에 나타내는 일면(F1)+타면(Fr))의 길이방향의 일부분이 하나의 도금조 유닛(200A)의 도금액(Q)중에 침지되어 있는 상태를 말한다. 하나의 도금조 유닛(200A)에서 밀려난 부분은 인접하는 다른 도금조 유닛(200A) 내부 또는 다른 처리조에 배치된다.

여기에서, 동시에 전면 침지 상태로 도금조 유닛(200A) 내부를 반송 가능한 워크(20)의 매수가 N(예를 들면, N=3매)인 경우, 분할급전 레일(210) 및 전원 유닛(400)의 수는 (N+1)[=4]이다.

도금조 유닛(200A) 내(도금액(Q) 속)에는 도 7에 나타낸 바와 같이, 제1방향(A)으로 연장되는 좌우 한 쌍의 양극 전극(구리계 애노드 볼)(410L, 410R)이 대향 배치되어 있다. 양 양극 전극(410L, 410R)은 각 반송 지그(30A(30A1~30A4))에 유지된 각 워크(20(20A~20D))에 공통이고, 각 양극 전극(410L, 410R)과 반송중인 각 워크(20)의 간격(극간 거리)은 일정(소정값)하게 유지되고 있다.

그런데, 각 전원 유닛(400A~400D)은 반송 지그(30A)에 유지된 워크(20)마다(전원 유닛(400)마다) 전류값을 설정 변경 가능하면서, 또한 설정 전류값 Is(A/dm²)으로의 정전류 제어를 실시할 수 있다.

즉, 각 전원 유닛(400A~400D)은 워크(20)가 도금조 유닛(20OA) 내부를 전면 침지 상태로 반송되고 있는 기간중에는 정전류 제어하지만, 워크(20A)가 도금조 유닛(200A) 내에 부분 침지 상태로 반입되고 있는 기간중에는 전류 점증 제어로 하고, 워크(20D)가 부분 침지 상태로 반출되고 있는 기간중에는 전류 점감 제어하도록 구성되어 있다. 인접하는 2개의 도금조 유닛(200A) 각각에 부분 침지 상태인 워크(20)는 하류측의 도금조 유닛(200A)에서 전류 점감 제어를 받고, 상류측의 도금조 유닛(200A)에서 전류 점증 제어를 받는다.

즉, 도 8(A)에서, 워크(20)가 부분 침지 반입 기간 T12(=t1~t2) 중에는 설정 전류값 Is에 도달할 때까지 시간 길이(처리 면적)에 비례시켜 전류(Iin)를 점증 제어한다. 전면 침지시(t2)에, 설정 전류값 Is의 정전류 제어로 전환된다. 워크(20)가 부분 침지 반출 기간 T34(=t3~t4) 중에는 도 8(B)에 나타낸 바와 같이, 설정 전류값 Is의 정전류 제어에서 점감 제어로 전환된다. 전류(Idg)는 시간 길이(처리 면적)에 반비례하여 점감 제어된다.

이 실시형태에 따르면, 워크(20)마다 설정된 전류값으로 연속 도금 처리를 실시할 수 있기 때문에, 각 워크(20)에 그 워크 설정 전류값에 따른 편차가 없는 막두께로 균일하고 고품질인 도금 피막을 형성할 수 있다.

5. 반송 지그의 상세한 설명

5. 1. 피급전부

본 실시형태에 이용되는 복수의 반송 지그(30A) 각각에 형성된 피급전부(340)는 N개의 분할급전 레일(210A~210D) 중 하나와 접촉한다. 도 7에 나타내는 복수의 반송 지그(30A)는 수평 암부(300)에 대해서 제2방향(B)에서 위치가 다른 N개소의 각 하나에 피급전부(340)가 장착된 제1~제N의 반송 지그(30A1~30A4)를 포함한다. 제1~제N의 반송 지그(30A1~30A4)의 각 하나가, N개의 분할급전 레일(210A~210D)의 각 하나와 접촉한다.

본 실시형태에서는 반송 지그(30A)의 부품을 공통화하고, 복수의 분할급전 레일(210A~21OD)의 임의의 하나와 접촉하는 구조를 채용했다. 그렇기 때문에, 복수의 반송 지그(30A)(제1~제N의 반송 지그(30A1~30A4) 각각은 도 3에 나타낸 바와 같이, 피급전부(340)를 지지하는 지지부, 예를 들면 지지판(350)을 가진다. 지지판(350)은 제2방향(B)에서 다른 위치에 마련된 N(N=4)개의 장착부(예를 들면 나사구멍)(351~354)를 가진다.

복수의 반송 지그(30A)(도 7에 나타내는 제1~제N의 반송 지그(30A1~30A4)) 각각의 피급전부(340)는 급전 레일(210)(분할급전 레일(210A~210D))에 접촉하는 접촉부(341)를 각각 포함한다. 접촉부(341)는 N개의 장착부(351~354) 중 하나(도 3에서는 장착부(351))에, 예를 들면 나비 나사(342)에 의해 착탈 자유롭게 장착된다. 이와 같이, 접촉부(341)를 N개의 장착부(351~354) 중에서 선택된 하나에 장착함으로써, 부품을 공통화하면서 제1~제N의 반송 지그(30A1~30A4)를 준비할 수 있다.

도 12는 피급전부(340)의 상세를 나타내고 있다. 피급전부(340)는 지지판(350)과 접촉부(341)를 예를 들면 2개의 평행 링크(342A, 342B)로 연결하는 4절 회전 연쇄의 평행 링크 기구(342)를 가진다. 2개의 링크(342A, 342B)는 가력 부재인 비틀림 코일 스프링(torsion coil spring: 343, 343)에 의해, 상시 시계방향으로 이동 가력되고 있다. 이 결과, 접촉부(341)를 급전 레일(210)에 적절한 접촉압으로 접촉시킬 수 있다.

또, 2개의 평행 링크(342A, 342B)는 상측 지점이 선행하고, 하측 지점이 후행하도록 경사져 있다. 바꿔 말하면, 2개의 링크(342A, 342B)의 길이방향이 반송방향(A)과 교차하는 각도는 예각이 된다. 이 결과, 접촉부(341)는 반송 지그(30A)에 잡아당겨지는 형태로 주행하기 때문에 주행이 안정된다. 종래, 평행 링크 기구(342)를 이용하지 않고, 예를 들면 2개의 수직축에 의해 수직방향으로 이동안내되는 접촉부(341)를, 2개의 스프링에 의해 수직 아래쪽으로 이동 가력했었다. 이렇게 하면, 2개의 스프링에 의한 압압력(押壓力;pressing force)이 언밸런스해져 접촉부(341)가 기운다. 그로 인해, 접촉부(341)의 모서리부가 급전 레일(210)과 접촉하여, 접촉부(341)가 이상 마모되는 결점이 있었다. 본 실시형태에서는 평행 링크 기구(342)에 의해 접촉부(341)가 수평으로 배치되어 급전 레일(210)과 접촉한다. 이로써, 접촉부(341)가 기울어져 접촉부(341)의 모서리부가 급전 레일(210)과 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 그렇기 때문에, 접촉부(341)의 이상 마모나 접촉 불량이 방지되어, 소모품인 접촉부(341)의 수명을 길게 할 수 있다.

또, 도 12에 나타내는 피급전부(340)의 구성은 안내 레일(130, 140)과는 별개로 급전 레일(210)을 가지는 표면 처리 장치에 적용할 수 있고, 안내 레일 및 급전 레일이 각 1개여도 된다. 종래와 같이 안내 레일과 급전 레일을 겸용하면, 피급전부에 과도한 압력이 작용하기 때문에 마모가 심해져서, 피급전부의 제품 수명이 짧아진다. 본 실시형태에서는 반송 지그(30A)의 주행과 독립시켜, 피급전부(340)를 급전 레일(210)에 대해서 적절한 접촉압으로 접촉시킬 수 있다. 이 결과, 피급전부(340)를 놋쇠 등으로 형성하더라도 수명을 늘릴 수 있다.

5. 2. 제1, 제2 피안내부

제1 피안내부(310)를 안내하는 제1 안내 레일(130)은 종단면에서 상부면, 제1측면, 제1측면과 대향하는 제2측면을 포함하고, 예를 들면 직사각형으로 형성되어 있다.

제1 안내 레일(130)에 안내되는 제1 피안내부(310)는 제1 안내 레일(130)의 상부면과 구름 접촉하는 제1 롤러(311); 제1 안내 레일(130)의 제1측면과 구름 접촉하는 제2 롤러(312); 제1 안내 레일(130)의 제2측면과 구름 접촉하는 제3 롤러(313); 를 포함하여 구성할 수 있다. 또, 제2 피안내부(320)는 제2 안내 레일(140)의 상부면과 구름 접촉하는 제4 롤러(321)를 포함할 수 있다. 반송 지그(30A)의 제2방향(B)의 양단측에서 제1, 제4 롤러(311, 321)가 제1, 제2 안내 레일(130, 140)의 각 상부면과 접촉함으로써, 반송 지그(30A)를 수평 상태로 안정적으로 주행시킬 수 있다. 또, 제 2, 제3 롤러(312, 313)가 제1 안내 레일(130)의 양측면을 사이에 낌으로써, 반송 지그(30A)가 제2방향(B)에서 위치 어긋나는 것을 억제할 수 있다.

5. 3. 연속 반송 구동부

도 2에 나타내는 연속 반송 구동부(150)는 반송 지그(30A)의 제1 직선 반송로(120)(도 1)를 복수로 분할한 구간마다 하나씩 형성되어 있다. 이 연속 반송 구동부(150)는 고정 가이드판(151)을 따라서 이동하는 리니어 가이드(152A, 152B)를 가지는 푸셔(153A, 153B)를 가진다. 2개의 푸셔(153A, 153B)는 도시하지 않은 모터에 의해 각각 독립적으로 이동한다. 이 2개의 푸셔(153A, 153B)에 의해, 반송 지그(30A)는 1구간에서 연속 직선 구동된다. 2개의 푸셔(153A, 153B)는 1구간내에 각각 고유의 구동 영역과, 공통의 구동 영역을 가진다. 먼저 푸셔(153)가 상류측의 고유 구동 영역에서 반송 지그(30A)를 압동(押動)한다. 다음으로, 공통의 구동 영역에서 반송 지그(30A)를 연속 반송할 때에, 푸셔(153A)에서 푸셔(153B)로 이어진다. 푸셔(153A)는 고유 및 공통의 구동 영역에 걸쳐 소정 스트로크 전진한 후 원래 위치로 후퇴하고, 다음의 반송 지그(30A)의 반송을 담당한다. 푸셔(153B)도 마찬가지로 동작한다.

푸셔(153A, 153B)에는 반송 지그(30A)의 제1 피압동부(360)를 압동하는 클로우(claw) 부재(154A, 154B)를 가진다. 클로우 부재(154A, 154B)는 푸셔(153A, 153B)의 전진시에 반송 지그(30A)의 제1 피압동부(360)를 압동한다. 클로우 부재(154A, 154B)는 푸셔(153A, 153B)의 후퇴시에는 제1 피압동부(360)의 전진을 방해하지 않도록 변위 가능하다. 또, 반송 지그(30A)는 제 2피압동부(362)를 가지고, 제 2피압동부(362)는 도금조(20)에서의 연속 반송 이외시에 이용된다.

5. 4. 훅부

도 1~도 5에 나타낸 바와 같이, 복수의 반송 지그(30A) 각각에는 지그 끌어올림용 훅부(370, 370)가 마련되어 있다. 연속 도금 처리 장치(10)는 도 1에 나타낸 바와 같이, 훅부(370, 370)에 걸어, 반송 지그(30A)에 유지된 워크(20)를 도금조(200)에 대해 승강시키는 승강부(160)를 더 가진다.

도금조(200) 이외에서 워크를 승강시키기 위해 승강 레일을 이용할 필요가 없다. 구동력이 작아도 된다.

5. 5. 수직 암부와 워크 유지 지그

수직 암부(330)는 도 3 및 도 6에 나타낸 바와 같이 예를 들면 2개의 수직 암(330A, 330B)을 가진다. 이 2개의 수직 암(330A, 330B)에는 워크 유지 지그(500)가 수하되어 지지된다.

워크 유지 지그(500)는 워크(20)의 두께가 100㎛ 이하(그 값을 포함), 바람직하게는 60㎛ 이하(그 값을 포함)와 같이 매우 얇은 워크(20)에 적합하게 이용된다. 본 실시형태에서 워크(20)의 두께는 예를 들면 40㎛=O.04mm이다.

워크 유지 지그(500)는 도 3 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 직사각형 워크(20)의 제1변(예를 들면 윗변)(20a)을 쥐는 복수의 제1 척킹 부재(510); 직사각형 워크(20)의 제1변과 제3방향(연직방향)(C)으로 대향하는 제2변(20b)을 쥐는 복수의 제2 척킹 부재(520); 직사각형 워크(20)를 둘러싸서 배치되고, 복수의 제1 척킹 부재(510) 및 복수의 제2 척킹 부재(520)를 지지하는 프레임형상 부재(530); 를 가진다.

프레임형상 부재(530)는 도 9~도 11에 나타낸 바와 같이, 복수의 제1 척킹 부재(510)를, 제3방향(C)에서 가동하도록 이동안내하는 안내부(540)와, 복수의 제1 척킹 부재(510)를 복수의 제2 척킹 부재(520)에 대해서 제1방향을 따라서 멀어지는 한 방향(C1)으로 이동 가력하는 가력 부재인 코일 스프링(550)을 가진다.

구체적으로는 프레임형상 부재(530)는 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 고정판(531)과, 고정판(531)에 포개져서 배치되는 가동판(532)을 포함한다. 안내부(540)는 고정판(531) 및 가동판(532)의 한쪽 예를 들면 가동판(532)에 형성되어 제3방향(C)을 길이방향으로 하는 긴 구멍(533)과, 고정판(531) 및 가동판의 다른 쪽에 형성되어 긴 구멍(533)에 삽입 통과되는 축부, 예를 들면 볼트축(534)을 포함한다. 코일 스프링(550)은 고정판(531)에 대해서 가동판(532)을 한 방향(C1)으로 압압 가력한다.

복수의 제1 척킹 부재(510) 및 복수의 제2 척킹 부재(520) 각각에 공통되는 구성을, 제1 척킹 부재(510)를 예로 들어, 도 10 및 도 11을 참조해 설명한다. 제1 척킹 부재(510)는 워크(20)의 제1면(F1)에 접촉하는 고정 부재(511)와, 고정 부재(511)에 대향하는 위치에서 워크(20)의 제2면(Fr)에 접착·분리 가능하게 배치되고, 제2면(Fr)에 압압 접촉되는 가동 부재(512)를 포함한다. 가동 부재(512)는 압압 해제시에 구동되는 피(被)구동편(512A)과, 피구동편(512A)의 비구동시에 힌지(513)를 통해 용수철압에 의해 상시 고정 부재측에 압압되는 압압 구동편(512B)과, 압압 구동편(512B)의 자유단부에 형성된 박판 형상의 압압편(512C)을 포함할 수 있다.

워크(20)를 워크 유지 지그(500)에 장착하려면, 먼저 워크(20)의 제2변(20b)을 복수의 제2 척킹 부재(520)로 쥔다. 그 다음, 워크(20)의 제1변(20a)을 제2 척킹 부재(510)로 쥐기 위해, 최초로 가동판(532)을 코일 스프링(550)의 가력에 저항하여 압하하여 도 10의 상태로 설정한다. 이 때, 제1 척킹 부재(510)의 피구동편(512A)을 구동하여, 도 10에 나타낸 바와 같이 압압 구동편(512B)을 개방 상태로 설정해 둔다. 다음으로, 피구동편(512A)의 구동을 해제함으로써, 워크(20)의 제1변(20a)을 제1 척킹 부재(510)로 쥔다. 마지막으로, 가동판(532)에 대한 압하력을 해제한다. 이로 인해, 가동판(532)은 코일 스프링(550)의 가력에 의해 상승되고, 워크(20)에 텐션을 부여하여 워크(20)의 평면성을 유지할 수 있다.

또, 워크(20)에 대한 텐션 부여는 제1 척킹 부재(510) 및 제2 척킹 부재의 적어도 한쪽에서 실시할 수 있다. 즉, 제2 척킹 부재(520)에, 상술한 텐션 부여 구조를 채용해도 된다.

또, 상술한 구조의 워크 유지 지그(500)는 워크 유지 지그(500)를 복수 동시에 처리액에 침지하는 배치(batch) 처리용으로도 이용할 수 있다. 이 경우, 제1, 제2 척킹 부재(510, 520)는 상하로 배치하는 것에 한정되지 않고, 좌우의 측변에 배치해도 된다.

5. 6. 도 3의 통전부 및 워크 유지부

상술한 대로, 워크 유지 지그(30A)의 통전부(330)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 도전성의 수평 암부(300)와, 도전성의 지지판(331)과, 도전성의 수직 암부(330A, 330B(330))를 가진다. 또, 이 2개의 수직 암(330A, 330B)에는 워크 유지부(500)가 수하되어 지지된다.

워크 유지부(500)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 직사각형 워크(20)의 윗변(20a)을 쥐는 도전성의 복수의 제1 척킹 부재(510); 직사각형 워크(20)의 윗변(20a)과 연직방향(C)으로 대향하는 아랫변(20b)을 쥐는 도전성의 복수의 제2 척킹 부재(520); 직사각형 워크(20)를 둘러싸서 배치되고, 복수의 제1 척킹 부재(510) 및 복수의 제2 척킹 부재(520)를 지지하는 프레임형상 부재(530); 를 가진다.

프레임형상 부재(530)는 복수의 제1 척킹 부재(510)를 지지하는 도전성의 상부 프레임 부재(531); 복수의 제2 척킹 부재(520)를 지지하는 도전성의 하부 프레임 부재(532); 상부 프레임 부재(531)의 양단부와 하부 프레임 부재(532)의 양단부 각각을 연결하는 도전성의 2개의 세로 프레임 부재(533, 534); 를 가진다.

이와 같이, 도 3의 프레임형상 부재(530)에서는 상부 프레임 부재(531)와 하부 프레임 부재(532)는 2개의 세로 프레임 부재(533, 534)에 의해 전기적으로 도통되어 있다. 통전부로서 기능하는 2개의 수직 암부(332A, 332B)에서 하부 프레임 부재(532)에 도통하려면 상부 프레임 부재(531)를 경유시켰었다. 따라서, 종래에는 하부 프레임 부재(532)로의 통전 루트의 저항값이 상부 프레임 부재(531)로의 통전 루트의 저항값보다 필연적으로 커진다. 그로 인해, 워크(20) 내의 전류 분포는 윗변(20a)일수록 전류값이 높고, 아랫변끝(20b)일수록 전류값이 낮아져 면내 균일성이 양호하지 않았다.

6. 워크 유지 지그에 따른 워크 유지부의 변형예

6. 1. 제1, 제2 척킹 부재와 제1, 제2 통전부

도 13 및 도 14는 본 발명의 실시형태에 워크 유지 지그(30B)를 나타내고, 특히 도 3의 워크 유지 지그(30A)와는 다른 구성을 가지는 워크 유지부(600)를 나타내고 있다. 또, 도 3의 워크 유지 지그(30A)와 본 실시형태의 워크 유지 지그(30B)는 도 3에 나타내는 반송부(300)를 공용할 수 있다. 도 13의 워크 유지 지그(30B)는 통전부(650)를 포함하는 워크 유지부(600)의 구조가, 도 3의 워크 유지 지그(30A)와 다르다.

도 13에 나타내는 워크 유지부(600)는 직사각형 워크(20)의 윗변(20a)을 쥐는 도전성의 복수의 제1 척킹 부재(610); 직사각형 워크(20)의 아랫변(20b)을 쥐는 도전성의 복수의 제2 척킹 부재(620); 직사각형 워크(20)를 둘러싸서 배치되고, 복수의 제1 척킹 부재(610) 및 복수의 제2 척킹 부재(620)를 지지하는 프레임형상 부재(630); 제1 통전부(660) 및 제2 통전부(670)를 포함하는 통전부(650); 를 가진다.

여기에서, 복수의 제1 척킹 부재(610)와 복수의 제2 척킹 부재(620)는, 전기적으로 절연되어 있다. 제1 통전부(660)는 복수의 제1 척킹 부재(610)에 통전한다. 제2 통전부(670)는 복수의 제2 척킹 부재(620)에 통전한다.

특히 매우 얇은 워크를 표면 처리 대상으로 할 경우, 처리조(200)에 워크(20)를 강하시켜 투입할 때나, 도 3의 반송방향(A)을 향해서 워크(20)를 처리조(200) 내에서 반송할 때, 액압에 의해 워크(20)의 수하 상태를 유지할 수 없게 된다.

본 실시형태의 워크 유지부(600)는 워크(20)의 상하변(20a, 20b)을 척킹하고 있으므로, 액압이 작용해도 워크(20)의 수직 자세를 유지할 수 있다. 또한 제1, 제2 척킹 부재(610, 620) 사이의 거리는 고정으로 해도 되지만, 후술하는 바와 같이 제2 척킹 부재(620)를 수직방향에서 가동으로 하고, 또 가력 부재에 의해 수직 아래쪽으로 이동 가력해도 된다. 이 점에 대해 후술한다.

본 실시형태는 워크(20)의 두께가 100㎛ 이하(그 값을 포함), 바람직하게는 60㎛ 이하(그 값을 포함)와 같이 매우 얇은 워크(20)에서도 변형을 방지할 수 있다. 본 실시형태에서 워크(20)의 두께는 예를 들면 40㎛=0.04mm이다. 또, 도 3의 워크 유지부(500)도 상하의 제1, 제2 척킹 부재(510, 520)를 가지므로, 워크(20)의 변형을 방지할 수 있는 점에 대해서는 본 실시형태와 동일하다.

그러나, 도 3의 워크 유지부(500)와 같이, 프레임형상 부재(530) 및 제1, 제2 척킹 부재(510, 520)를 도통시킨 경우에는 제2 척킹 부재(520)를 지지한 하부 프레임 부재(532)로의 통전 루트의 저항값이, 제1 척킹 부재(510)를 지지한 상부 프레임 부재(531)로의 통전 루트의 저항값보다 필연적으로 커져 버린다. 왜냐하면, 하부 프레임 부재(532)로의 통전 루트는 상부 프레임 부재(531)로의 통전 루트를 반드시 경유하기 때문이다. 또, 특허문헌 3(일본공개특허 2009-132956호)의 종래 기술과 같이, 유지 지그에 의해 워크의 상단만 척킹한 경우에는 통전 루트가 상부 프레임 부재에만 한정된다. 따라서, 양극에서 액 속을 통해 워크 및 프레임형상 부재에 흐르는 전류(혹은 그것과는 반대방향의 전자의 흐름)는 워크 유지 지그에 척킹된 워크의 상단측일수록 흐르기 쉬워져서, 워크 내의 전류 분포가 워크면 내에서 불균일해진다. 워크의 전류 분포의 면내 균일성은 워크의 표면 처리 품질에 영향을 준다.

본 실시형태의 워크 유지부(600)에서는 복수의 제1 척킹 부재(610)와 복수의 제2 척킹 부재(620)가 전기적으로 절연되고, 게다가 제1, 제2 척킹 부재(610, 620)로의 통전도 제1, 제2 통전부(660, 670)로 분리되어 있다. 따라서 제1 통전부(660)에서 제1 척킹 부재(610)로의 통전 루트와 제2 통전부(670)에서 제2 척킹 부재(620)로의 통전 루트는 저항값을 독립적으로 설정할 수 있다. 그로 인해, 워크(2O)의 전류 분포의 면내 균일성을 향상시켜, 워크(20)의 표면 처리 품질을 한층 더 개선할 수 있다.

6. 2 프레임형상 부재 및 통전부

본 실시형태의 워크 유지부(600)는, 프레임형상 부재(630)는 복수의 제1 척킹 부재(610)를 지지하는 도전성의 상부 프레임 부재(631); 복수의 제2 척킹 부재(620)를 지지하는 도전성의 하부 프레임 부재(632); 상부 프레임 부재(631)의 양단부에 형성된 2개의 절연 부재(640A, 640B); 상단부가 2개의 절연 부재(640A, 640B)에 지지되고, 하단부가 하부 프레임 부재(632)의 양단부에 연결된 도전성의 2개의 세로 프레임 부재(633, 634); 를 가질 수 있다.

이 경우, 제1 통전부(660)는 상부 프레임 부재(631)를 경유하여 제1 척킹 부재(610)에 통전한다. 제2 통전부(670)는 2개의 세로 프레임 부재(633, 634) 및 하부 프레임 부재(632)를 통해 제2 척킹 부재(620)에 통전한다. 상부 프레임 부재(631)와 2개의 세로 프레임 부재(633, 634)는 2개의 절연 부재(640, 640B)에 의해 전기적으로 절연되어 있기 때문에, 각 통전 루트의 저항값을 독립적으로 설정할 수 있다.

통전부(650)는 반송부(300)의 요소인 수평 암부(301(301A, 301B))를, 상부 프레임 부재(631) 및 하부 프레임 부재(632)에 통전하는 공통 통전부로서 겸용할 수 있다. 제1 통전부(660)는 공통 통전부(301(301A, 301B))에서부터 상부 프레임 부재(631)를 경유하여 제1 척킹 부재(610)에 통전한다. 제2 통전부(670)는 공통 통전부(301(301A, 301B))에서부터 2개의 세로 프레임 부재(633, 634) 및 하부 프레임 부재(632)를 통해 제2 척킹 부재(620)에 통전한다.

워크 유지 지그(30A)는 반송부(300)와 통전부(330)를 가지는데, 반송부(300) 측에 형성한 도전성 부재인 수평 암부(301(301A, 301B))를 공통 통전부로서 겸용할 수 있다. 게다가, 공통 통전부(301(301A, 301B))를 프레임형상 부재(330)의 지지부로도 겸용할 수 있어 부품 수를 삭감할 수 있다.

이 경우, 제1 통전부(660)는 공통 통전부(301(301A, 301B))에 고정된 절연부(661); 절연부(661)와 상부 프레임 부재(631)를 연결하는 도전성의 연결부(662); 공통 통전부(301(301A, 301B))와 연결부를 접속하는 적어도 하나의 상부 프레임 통전 케이블(663); 을 가질 수 있다. 한편, 제2 통전부(670)는 공통 통전부(301(301A, 301B))와 2개의 세로 프레임 부재(633, 634)를 접속하는 제1 및 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A, 671B)을 가질 수 있다.

이렇게 하면, 워크 유지 지그(30B)가 가지는 2개의 기능부인 반송부(300)와 워크 유지부(600) 중, 반송부(300)측에 형성한 도전성 부재를 공통 통전부(301(301A, 301B))로서 겸용하고, 게다가 공통 통전부(301(301A, 301B))를 프레임형상 부재(630)의 지지부로서 겸용할 수 있어 부품 수를 삭감할 수 있다. 또, 제1 통전부(660)의 일부는 공통 통전부(301(301A, 301B))에 고정된 절연부(661)와, 상부 프레임 부재(631)를 연결하는 도전성의 연결부(662)를 가짐으로써, 통전 기능부와 함께 프레임형상 부재(630)의 지지부로서 겸용할 수 있어 부품 수를 삭감할 수 있다. 그리고 공통 통전부(301(301A, 301B))로부터의 분리 통전 루트는 하나의 상부 프레임 통전 케이블(663)과, 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A, 671B)에 의해서 확보할 수 있다.

연결부(662)는 절연부(661)와 상부 프레임 부재(631)를 연결하는 제1 수직 암부(662A) 및 제2 수직 암부(662B)와, 제1 수직 암부(662A)로부터 돌출하는 제1 돌출부(664A)와, 제2 수직 암부(662B)로부터 돌출하는 제2 돌출부(664B)를 포함할 수 있다. 이 경우, 적어도 하나의 상부 프레임 통전 케이블(663)은 한쪽의 공통 통전부인 수평 암부(301A)와 제1 돌출부(664A)를 접속하는 제1 상부 프레임 통전 케이블(663A); 다른 쪽의 공통 통전부인 수평 암부(301B)와 제2 돌출부(664B)를 접속하는 제2 상부 프레임 통전 케이블(663B); 을 포함할 수 있다.

이렇게 하면, 연결 기능을 가지는 제1 수직 암부(662A) 및 제2 수직 암부(662B) 이외에, 제1, 제2 돌출부(664A, 664B)를 마련함으로써, 제1, 제2 돌출부(664A, 664B)를, 제1 통전부(660)의 통전 루트를 길게 하는 용장부로서 기능시킬 수 있다. 그 이유는 제2 통전부(670)인 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A, 671B) 중 하나와, 2개의 세로 프레임 부재(633, 634) 중 하나가, 공통 통전부(301)와 하부 프레임 부재(632) 사이의 통전 루트가 되는데, 세로 프레임 부재(632)는 비교적 길고 경량화를 위해 단면적을 작게 할 필요가 있어 저항값이 비교적 크다. 세로 프레임 부재(632)의 비교적 큰 저항값과 밸런스를 맞추기 위해서, 제1, 제2 수직 암부(662A, 662B) 중 하나와, 제1, 제2 돌출부(664A, 664B) 중 하나에 의해, 제1 통전부(660)측에도 비교적 큰 저항값을 부여할 수 있다. 양자의 밸런스가 맞춰지면, 제1, 제2 상부 프레임 통전 케이블(663A, 663B)과, 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A, 671B)은 도전부의 길이와 단면적이 동일한 동일 케이블을 사용할 수 있어 설치 미스를 저감할 수 있다.

상술한 워크 유지부(600) 및 통전부(650)의 구조에 의해, 공통 통전부(301)에서 상부 프레임 부재(631)로 흐르는 전류 경로의 저항값과, 공통 통전부(301)에서 하부 프레임 부재(632)로 흐르는 전류 경로의 저항값을 실질적으로 동일하게 설정할 수 있다. 그로 인해, 워크(20) 내에서의 전류 분포의 면내 균일성이 향상되어 표면 처리 품질을 한층 더 개선할 수 있다.

6. 3. 워크의 수직 자세를 유지하는 구조

도 15에 나타낸 바와 같이, 2개의 절연 부재(640A, 640B) 각각은 2개의 세로 프레임 부재(633, 634)의 각 하나의 상단부(633A, 634A)를 수직방향으로 슬라이딩 안내하는 안내부(642A)를 가질 수 있다. 이렇게 하면, 2개의 세로 프레임 부재(633, 634), 하부 프레임 부재(632) 및 복수의 제2 척킹 부재(620)의 자중이, 복수의 제1 척킹 부재(610)에 의해 상단부가 지지된 워크(20)의 하단에 작용하여, 텐션 부여에 의해 워크(20)를 수직 상태로 유지할 수 있다. 따라서 워크(20)에 표면 처리조의 액압이 작용해도 워크(20)의 변형이 방지된다.

그렇기 때문에, 2개의 절연 부재(640A, 640B) 각각은 상부 프레임 부재(631)의 양단에 고정되는 고정부(641)와, 고정부(641)에 고정된 통체(筒體)(642)를 가지며, 통체(642)의 구멍(642A)을, 2개의 세로 프레임 부재(633, 634)의 각 하나의 상단부(633A, 634A)를 수직방향으로 슬라이딩 안내하는 안내부로 할 수 있다. 또, 고정부(641)와 통체(642)는 일체 성형해도 된다. 고정부(641)는 상부 프레임 부재(631)에 고정되는 수직편(641A)과, 예를 들면 2개의 수평편(641B, 641C)을 가질 수 있다. 통체(642)는 수평편(641B)의 바로 밑에서 수직편(641A) 및 수평편(641B)에 고정할 수 있다. 2개의 세로 프레임 부재(633, 634)의 각 하나의 상단부(633A, 634A)에 마련된 플랜지(633B, 634B)는 하한 스톱퍼인 수평편(641B)과 접촉할 수 있지만, 워크(20)를 유지한 통상적인 사용시에는 플랜지(633B, 634B)와 수평편(641B) 사이에 틈새(δ)가 확보되도록 설계된다. 틈새(δ)가 확보되는 한, 상술한 바와 같이 워크(20)는 자중에 의해 수직 상태로 유지된다.

도 15에 나타낸 바와 같이, 안내부(642A)에 슬라이딩 안내되는 세로 프레임 부재(633, 634)를 아래쪽(D)으로 이동 가력하는 가력 부재, 예를 들면 압축 코일 스프링(643)을 더 가질 수 있다. 이렇게 하면, 복수의 제1 척킹 부재(610)에 의해 상단부가 지지된 워크(20)의 하단에는, 상술한 자중 이외에 가력 부재(643)에 의한 가력이 작용하여, 부가적인 텐션 부여에 의해 워크(20)를 수직 상태로 유지할 수 있다.

가력 부재(634)의 하단은 안내부(642A)에 슬라이딩 안내되는 세로 프레임 부재(633, 634)의 예를 들면 플랜지(633B(634B))에 고정할 수 있다.

가력 부재(643)의 상단은 절연 부재(640A(640B))의 수평편(641C)에 지지된 도전성의 고정 부재(644)에 고정된다. 그리고 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A(671B))은 고정 부재(644)에 접속할 수 있다.

이와 같이, 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A(671B))은 고정 부재(644), 가력 부재(643)를 통해 세로 프레임 부재(633(634))에 통전할 수 있다.

여기서 고정 부재(644)는 도 15에 나타낸 바와 같이, 볼트(644A), 너트(644B) 및 예를 들면 2매의 금속 와셔(644C, 644D)로 구성할 수 있다. 수평편(641C)의 상부에서는 볼트(644A)의 머리와 와셔(644C) 사이에서 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A(671B))이 체결 유지된다. 수평편(641C)의 바로 밑에서는 너트(644B)와 와셔(644D) 사이에 압축 코일 스프링(643)의 상단이 체결 유지된다. 이렇게 하여, 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A(671B))과 가력 부재(643)의 고정과 도통이 확보된다.

또, 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A(671B))은 고정 부재(644) 및 가력 부재(643)를 개재시키지 않고, 세로 프레임 부재(633(634))에 직접 접속해도 된다. 예를 들면, 도 13에서 워크(20)의 윗변(20a)과, 상부 프레임 부재(631) 사이에 처리액(Q)의 액면(Q1)(도 16 참조)이 위치한다. 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A(671B))은 액면(Q1)보다 위쪽에서 세로 프레임 부재(633(634))에 직접 접속할 수 있다. 이 경우, 도 13~도 15에 나타내는 가력 부재(압축 코일 스프링)(643)는 수평편(641)과 플랜지(633B(634B)) 사이에 배치되면 되고, 도전 루트를 형성하지 않아도 된다.

7. 워크내의 전류 분포의 면내 균일성을 향상시키는 양극 전극

도 16은 도 1에 나타내는 워크(20)의 반송로의 양측에 배치되는 양극 전극(애노드)(410R(410L))을 모식적으로 나타내고 있다. 이 양극 전극(41OR(41OL))은 처리조(200)의 길이방향을 따라서 연장되는 양극 바(400)로부터 통전된다. 통상적으로는 양극 전극(410R(410L))은 양극 바(400)에 직접 접속되지만, 본 실시형태에서는 양극 바(400)와 양극 전극(410R(410L)) 사이에 절연체(430)를 개재시켜, 양극 바(40O)에 양극 전극(410R(410L))을 고정하고 있다. 양극 바(400)로부터 수하하는 중계 통전부(420)가 마련되어 있다. 중계 통전부(420)의 하단부의 접점 부재(420A)가, 처리조(200) 내의 처리액(Q)의 액면(Q1)보다 낮은 위치에 마련된다. 접점 부재(420A)는 예를 들면 양극 전극(410R(410L))의 수직방향의 중간 위치에 접속되어, 양극 전극(410R(410L))에 통전하도록 구성되어 있다.

중계 통전부(420)가 접속되는 양극 전극(410R(410L))의 수직방향의 중간 위치란, 워크 유지 지그(30B)에서 수하되어 유지된 워크(20)의 세로 치수를 2등분하는 위치가 바람직하다. 워크(20)로서 세로 치수가 다른 복수종이 사용될 경우에는 중계 통전부(420)를 주지의 승강기구를 이용해 접점 부재(420A)의 상하 위치를 조정할 수 있다. 또, 접점 부재(420A)는 도 16의 지면과 수직인 방향에서, 소정 길이로 양극 전극(410R(410L))과 접촉시킬 수 있다.

양극 전극(410R(410L))에서는, 접점 부재(420)로부터의 전류는 처리조(200) 내의 처리액을 통해 음극(캐소드)인 워크(20)에 흐를 때에, 양극 전극(41OL(410R)) 위를 접점 부재(420A)의 높이 위치에서 윗방향(E1)과 아래방향(E2)으로 분기해서 흐른다. 이렇게 하여, 워크(20)에 대해서 흐르는 전류는 그 수직방향에서의 전류 분포의 불균일성이 개선된다.

8. 전류 분포의 면내 균일성의 평가

도 17은 도 13에 나타내는 워크 유지 지그(30B)의 통전 루트를 모식적으로 나타내고 있다. 도 17에서, 제1, 제2 상부 프레임 통전 케이블(663A, 663B)과, 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A, 671B)은, 도전부의 길이와 단면적이 동일한 동일 케이블을 사용하고 있다. 제1 통전부(660) 중 제1, 제2 상부 프레임 통전 케이블(663A, 663B)을 제외한 통전 루트(도 17의 F1~F2)와, 제2 통전부(670) 중 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블(671A, 671B)을 제외한 통전 루트(도 17의 F3~F4)는 모두 저항값이 실질적으로 동일하게 설정되어 있다.

도 17에서 모식적으로 나타내는 특성을 가지는 도 13의 워크 유지 지그(30B)와, 도 16에 나타내는 통전 방식의 양극 전극(410L(410R))을 이용하여, 워크(20)의 면내의 전류 분포를 계측해 보았다. 이 계측은 도 1의 처리조(200) 대신에, 액 속의 저항에 상당하는 도 18에 나타내는 와이어(700)를 이용하고, 도 19에 나타낸 바와 같이 워크(20) 및 양극 전극(410)에 마련한 36개소의 접점(P)끼리를 와이어(700)로 접속했다. 또, 정류기(整流器)를 내장하는 전원(430)의 플러스 단자를 양극 전극(410)의 세로방향의 중간 위치에 중계 통전부(420)를 통해 접속하고, 마이너스 단자를 도 13에 나타내는 워크 유지 지그(30B)의 공통 통전부(301A, 301B)에 접속했다.

본 실시형태에 의한 계측 데이터를 도 20(A)에 나타낸다. 한편, 도 3에 나타내는 워크 유지 지그(30A)와, 도 16에 나타내는 양극 전극(410)에 양극 바(400)로부터 직접 급전하는 것을 조합한 비교예를 이용하여 계측한 데이터를 도 20(B)에 나타낸다. 도 20(A), 도 20(B)의 비교로부터 명확한 바와 같이, 본 실시형태의 워크 유지 지그(30B)와 도 16에 나타내는 양극 전극(410)에의 통전 방식을 조합함으로써, 워크(20)의 면내의 전류 분포의 면내 균일성이 현격히 향상되는 것을 알 수 있다. 특히, 비교예를 나타내는 도 20(B)에서는 워크(20)의 상단일수록 전류값이 크지만, 본 실시형태를 나타내는 도 20(A)에서는 워크(20)의 수직방향에서의 전류 분포의 편차가 현격히 적어져 있다.

또, 상기와 같이 본 실시형태에 대해 상세하게 설명했지만, 본 발명의 신규 사항 및 효과로부터 실체적으로 일탈하지 않는 많은 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 용이하게 이해될 것이다. 따라서, 이러한 변형예는 전부 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 한다. 예를 들면, 명세서 또는 도면에서 적어도 한 번, 보다 넓은 의미 또는 같은 의미인 다른 용어와 함께 기재된 용어는 명세서 또는 도면의 어떠한 부분에서도 그 다른 용어로 대체할 수 있다. 또 본 실시형태 및 변형예의 모든 조합도 본 발명의 범위에 포함된다.

예를 들면, 워크 유지 지그(30B)의 공통 통전부(301)를 반드시 사용하는 것에 한정하지 않고, 피통전부(340)로부터 제1 척킹 부재(610) 및 제2 척킹 부재(620)에 이르는 통전 경로를 분리해도 된다. 이 경우, 2개의 통전 루트에 각각 독립된 전원을 접속해도 된다.

10: 표면 처리 장치(연속 도금 처리 장치),
20: 워크,
30A, 30B: 반송 지그,
100: 순환 반송로,
110: 제1 직선 반송로,
120: 제2 직선 반송로,
130: 제1 안내 레일,
140: 제2 안내 레일,
141: 상부면,
150: 연속 반송 구동부,
160: 승강부,
200: 표면 처리조(도금조),
200A: 도금조 유닛,
201: 상단 개구,
210: 급전 레일,
210A~210D: 분할급전 레일,
300: 수평 암부,
300A, 300B: 제1, 제 2수평 암,
310: 제1 피안내부,
311: 제1 롤러,
312: 제2 롤러,
313: 제3 롤러,
320: 제2 피안내부,
321: 제4 롤러,
330: 수직 암부,
330A, 330B: 제1, 제2 수직 암,
331: 지지부,
332: 유지부,
340: 피급전부,
341: 접촉부,
342: 평행 링크 기구,
343: 가력 부재,
350: 지지부(지지판),
360: 피압동부,
370: 훅부,
400A~400D: 전원,
410L, 410R: 양극,
500: 워크 유지 지그,
510: 제1 척킹 부재,
520: 제2 척킹 부재,
530: 프레임형상 부재,
531: 고정판,
532: 가동판,
533: 긴 구멍,
534: 축부,
540: 안내부,
600: 워크 유지부,
610: 제1 척킹 부재,
620: 제2 척킹 부재,
630: 프레임형상 부재,
631: 상부 프레임 부재,
632: 하부 프레임 부재,
633, 634: 세로 프레임 부재,
640A, 640B: 절연 부재,
642A: 안내부,
643: 가력 부재,
644: 고정 부재,
650: 통전부,
660: 제1 통전부,
661, 662: 연결부,
662A, 662B: 제1, 제2 수직 암부,
663, 663A, 663B: 상부 프레임 통전 케이블(제1, 제2 상부 프레임 통전 케이블),
664A, 664B: 제1, 제2 돌출부,
670: 제2 통전부,
671A, 671B: 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블,
A: 제1방향(반송방향),
B: 제2방향,
C: 연직방향,
Q: 처리액(도금액),
Q1: 액면

Claims

처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;
상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치에서, 상기 표면 처리조의 길이방향과 평행한 제1방향을 따라서 연장 설치되는 제1, 제2 안내 레일;
상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 배치시켜 워크를 각각 유지하고, 상기 제1, 제2 안내 레일에 지지되는 복수의 반송 지그; 를 가지고,
상기 복수의 반송 지그 각각은
상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라서 연장되는 수평 암부;
상기 수평 암부의 일단측에 지지되고, 상기 제1 안내 레일에 안내되는 제1 피(被)안내부;
상기 수평 암부의 타단측에 지지되고, 상기 제2 안내 레일에 안내되는 제2 피안내부;
상기 제1 피안내부와 상기 제2 피안내부 사이의 위치에서 상기 수평 암부로부터 수하(垂下)되고, 상기 워크를 유지하는 수직 암부;
상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치로서, 상기 제1, 제2 안내 레일 사이에서, 상기 제1방향을 따라서 연장 설치되는 급전 레일;을 가지고,
상기 복수의 반송 지그 각각은 상기 제1 피안내부와 상기 수직 암부 사이의 위치에서 상기 수평 암에 지지되어, 상기 급전 레일에 접촉하는 피급전부를 가지며,
상기 급전 레일은 상기 제1방향을 따라서 평행하게 연장되는, 서로 절연된 N(N은 2이상(그 값을 포함)의 정수)개의 분할급전 레일을 가지고,
상기 복수의 반송 지그는 상기 수평 암에 대해서 상기 제2방향에서 위치가 다른 N개소의 각 하나에 상기 피급전부가 장착된 제1~제N의 반송 지그를 포함하고, 상기 제1~제N의 반송 지그의 각 하나가, 상기 N개의 분할급전 레일의 각 하나와 접촉하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
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제1항에 있어서,
상기 제1~제N의 반송 지그 각각은 상기 피급전부를 지지하는 지지부를 포함하고,
상기 지지부는 상기 제2방향에서 다른 위치에 형성된 N개의 장착부를 포함하고,
상기 제1~제N의 반송 지그 각각의 상기 피급전부는 상기 급전 레일에 접촉하는 접촉부를 각각 포함하고, 상기 접촉부가, 상기 N개의 장착부 중 하나에 장착되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;
상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치에서, 상기 표면 처리조의 길이방향과 평행한 제1방향을 따라서 연장 설치되는 제1, 제2 안내 레일;
상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 배치시켜 워크를 각각 유지하고, 상기 제1, 제2 안내 레일에 지지되는 복수의 반송 지그; 를 가지고,
상기 복수의 반송 지그 각각은
상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라서 연장되는 수평 암부;
상기 수평 암부의 일단측에 지지되고, 상기 제1 안내 레일에 안내되는 제1 피안내부;
상기 수평 암부의 타단측에 지지되고, 상기 제2 안내 레일에 안내되는 제2 피안내부;
상기 제1 피안내부와 상기 제2 피안내부 사이의 위치에서 상기 수평 암부로부터 수하되고, 상기 워크를 유지하는 수직 암부;를 가지며,
상기 제1 안내 레일은 종단면에서, 상부면; 제1측면; 상기 제1측면과 대향하는 제2측면;을 포함하고,
상기 복수의 반송 지그 각각의 상기 제1 피안내부는
상기 제1 안내 레일의 상기 상부면과 구름 접촉하는 제1 롤러;
상기 제1 안내 레일의 상기 제1측면과 구름 접촉하는 제2 롤러;
상기 제1 안내 레일의 상기 제2측면과 구름 접촉하는 제3 롤러; 를 포함하고,
상기 복수의 반송 지그 각각의 상기 제2 피안내부는 상기 제2 안내 레일의 상부면과 구름 접촉하는 제4 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;
상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치에서, 상기 표면 처리조의 길이방향과 평행한 제1방향을 따라서 연장 설치되는 제1, 제2 안내 레일;
상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 배치시켜 워크를 각각 유지하고, 상기 제1, 제2 안내 레일에 지지되는 복수의 반송 지그; 를 가지고,
상기 복수의 반송 지그 각각은
상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라서 연장되는 수평 암부;
상기 수평 암부의 일단측에 지지되고, 상기 제1 안내 레일에 안내되는 제1 피안내부;
상기 수평 암부의 타단측에 지지되고, 상기 제2 안내 레일에 안내되는 제2 피안내부;
상기 제1 피안내부와 상기 제2 피안내부 사이의 위치에서 상기 수평 암부로부터 수하되고, 상기 워크를 유지하는 수직 암부;를 가지며,
상기 복수의 반송 지그 각각은 끌어올림용 훅부를 더 가지고,
상기 훅부에 걸어, 상기 복수의 반송 지그에 유지된 상기 워크를, 상기 표면 처리조에 대해서 승강시키는 승강부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
박판 형상의 직사각형 워크를 처리조 내의 액 속에서 유지하는 워크 유지 지그로서,
상기 직사각형 워크의 제1변을 쥐는 복수의 제1 척킹 부재;
상기 직사각형 워크의 상기 제1변과 제1방향으로 대향하는 제2변을 쥐는 복수의 제2 척킹 부재;
상기 직사각형 워크를 둘러싸서 배치되고, 상기 복수의 제1 척킹 부재 및 상기 복수의 제2 척킹 부재를 지지하는 프레임형상 부재; 를 가지고,
상기 프레임형상 부재는
상기 복수의 제1 척킹 부재를, 상기 제1방향으로 가동(可動)하도록 이동안내하는 제1 안내부;
상기 복수의 제1 척킹 부재를, 상기 복수의 제2 척킹 부재에 대해서 상기 제1방향을 따라서 멀어지는 한 방향으로 이동 가력(加力)하는 제1 가력 부재; 를 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제7항에 있어서,
상기 프레임형상 부재는
상기 복수의 제2 척킹 부재를, 상기 제1방향으로 가동하도록 이동안내하는 제2 안내부;
상기 복수의 제2 척킹 부재를, 상기 복수의 제1 척킹 부재에 대해서 상기 제1방향에서 멀어지는 방향으로 이동 가력하는 제2 가력 부재; 를 더 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제7항에 있어서,
상기 프레임형상 부재는 고정판과, 상기 고정판에 포개져서 배치되는 가동판을 포함하고,
상기 제1 안내부는 상기 고정판 및 상기 가동판 중 한쪽에 형성되어 상기 제1방향을 길이방향으로 하는 긴 구멍과, 상기 고정판 및 상기 가동판 중 다른 쪽에 형성되어 상기 긴 구멍에 삽입 통과되는 축부를 포함하고,
상기 제1 가력 부재는 상기 고정판에 대해서 상기 가동판을 상기 한 방향으로 압압 가력하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 제1 척킹 부재 및 상기 복수의 제2 척킹 부재 각각은
상기 워크의 제1면에 접촉하는 고정 부재;
상기 고정 부재와 대향하는 위치에서 상기 워크의 제2면에 접착·분리 가능하게 배치되고, 상기 제2면에 압압 접촉되는 가동 부재; 를 포함하고,
상기 가동 부재는
압압 해제시에 구동되는 피구동편;
상기 피구동편의 비구동시에 상시 상기 고정 부재측에 압압되는 압압 구동편;
상기 압압 구동편의 자유단부에 형성된 박판 형상의 압압편; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;
상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치에서, 상기 표면 처리조의 길이방향과 평행한 제1방향을 따라서 연장 설치되는 제1, 제2 안내 레일;
상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 배치시켜 워크를 각각 유지하고, 상기 제1, 제2 안내 레일에 지지되는 복수의 반송 지그; 를 가지고,
상기 복수의 반송 지그 각각은
상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라서 연장되는 수평 암부;
상기 수평 암부의 일단측에 지지되고, 상기 제1 안내 레일에 안내되는 제1 피(被)안내부;
상기 수평 암부의 타단측에 지지되고, 상기 제2 안내 레일에 안내되는 제2 피안내부;
상기 제1 피안내부와 상기 제2 피안내부 사이의 위치에서 상기 수평 암부로부터 수하(垂下)되고, 상기 워크를 유지하는 수직 암부;
상기 표면 처리조의 상기 상단 개구의 위쪽으로부터 벗어난 위치로서, 상기 제1, 제2 안내 레일 사이에서, 상기 제1방향을 따라서 연장 설치되는 급전 레일;을 가지고,
상기 복수의 반송 지그 각각은 상기 제1 피안내부와 상기 수직 암부 사이의 위치에서 상기 수평 암에 지지되어, 상기 급전 레일에 접촉하는 피급전부를 가지며,
상기 급전 레일은 상기 제1방향을 따라서 평행하게 연장되는, 서로 절연된 N(N은 2이상(그 값을 포함)의 정수)개의 분할급전 레일을 가지고,
상기 복수의 반송 지그는 상기 수평 암에 대해서 상기 제2방향에서 위치가 다른 N개소의 각 하나에 상기 피급전부가 장착된 제1~제N의 반송 지그를 포함하고, 상기 제1~제N의 반송 지그의 각 하나가, 상기 N개의 분할급전 레일의 각 하나와 접촉하는 것을 특징으로 하되,
상기 피급전부는
상기 급전 레일에 접촉하는 접촉부;
상기 수평 암부와 상기 접촉부를, 평행한 제1 링크 및 제2 링크에 의해 연결하는 평행 링크 기구;
상기 평행 링크 기구를 회전 가력하여, 상기 접촉부에 접촉압을 부여하는 가력 부재; 를 가지며,
상기 제1 링크 및 상기 제2 링크 각각은 상기 수평 암부에 간격을 두고 마련된 상측 지점(支點)의 둘레로 회전 가능하고, 상기 접촉부에 간격을 두고 마련된 하측 지점(支點)의 둘레로 회전 가능하면서, 또한 상기 반송 지그가 반송되는 방향에 대해서, 상기 상측 지점이 선행하고, 상기 하측 지점이 후행하도록 경사져 있는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
박판 형상의 직사각형 워크를 처리조 내의 액 속에서 수직 상태로 유지하면서, 또한 상기 워크를 음극으로 설정하는 워크 유지 지그로서,
상기 직사각형 워크를 둘러싸서 배치되는 프레임형상 부재;
상기 프레임형상 부재에 지지되고, 상기 직사각형 워크의 윗변을 쥐는 도전성의 복수의 제1 척킹 부재;
상기 복수의 제1 척킹과는 전기적으로 절연되어 상기 프레임형상 부재에 지지되고, 상기 직사각형 워크의 아랫변을 쥐는 도전성의 복수의 제2 척킹 부재;
상기 복수의 제1 척킹 부재에 통전하는 제1 통전부;
상기 복수의 제2 척킹 부재에 통전하는 제2 통전부; 를 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제12항에 있어서,
상기 프레임형상 부재는
상기 복수의 제1 척킹 부재를 지지하는 도전성의 상부 프레임 부재;
상기 복수의 제2 척킹 부재를 지지하는 도전성의 하부 프레임 부재;
상기 상부 프레임 부재의 양단부에 형성된 2개의 절연 부재;
상단부가 상기 2개의 절연 부재에 지지되고, 하단부가 상기 하부 프레임 부재의 양단부에 연결된 도전성의 2개의 세로 프레임 부재; 를 포함하고,
상기 제1 통전부는 상기 상부 프레임 부재에 통전하고,
상기 제2 통전부는 상기 2개의 세로 프레임 부재에 통전하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제13항에 있어서,
상기 제1 통전부의 일부를 통해 상기 프레임형상 부재를 지지하고, 상기 제1 및 제2 통전부에 통전하는 공통 통전부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제14항에 있어서,
상기 제1 통전부는
상기 공통 통전부에 고정된 절연부;
상기 절연부와 상기 상부 프레임 부재를 연결하는 도전성의 연결부;
상기 공통 통전부와 상기 연결부를 접속하는 적어도 하나의 상부 프레임 통전 케이블; 을 가지고,
상기 제2 통전부는 상기 공통 통전부와 상기 2개의 세로 프레임 부재를 접속하는 제1 및 제2 세로 프레임 통전 케이블을 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제15항에 있어서,
상기 연결부는
상기 절연부와 상기 상부 프레임 부재를 연결하는 제1 수직 암부 및 제2 수직 암부;
상기 제1 수직 암부로부터 돌출하는 제1 돌출부;
상기 제2 수직 암부로부터 돌출하는 제2 돌출부; 를 포함하고,
상기 적어도 하나의 상부 프레임 통전 케이블은 상기 공통 통전부와 상기 제1 돌출부를 접속하는 제1 상부 프레임 통전 케이블; 상기 공통 통전부와 상기 제2 돌출부를 접속하는 제2 상부 프레임 통전 케이블; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제14항에 있어서,
상기 공통 통전부에서 상기 상부 프레임 부재에 흐르는 전류 경로의 저항값과, 상기 공통 통전부에서 상기 하부 프레임 부재에 흐르는 전류 경로의 저항값을, 실질적으로 동일하게 설정하는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제16항에 있어서,
상기 2개의 절연 부재 각각은 상기 2개의 세로 프레임 부재의 각 하나의 상단부를 수직방향으로 슬라이딩 안내하는 안내부를 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제18항에 있어서,
상기 안내부에 슬라이딩 안내되는 상기 2개의 세로 프레임 부재의 각 하나를 아래쪽으로 이동 가력하는 가력 부재를 더 가지는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
제19항에 있어서,
상기 가력 부재의 하단은 상기 안내부에 슬라이딩 안내되는 상기 2개의 세로 프레임 부재의 각 하나에 고정되고,
상기 가력 부재의 상단은 상기 2개의 절연 부재의 각 하나에 지지된 도전성의 고정 부재에 고정되고,
상기 제1, 제2 세로 프레임 통전 케이블의 각 하나는 상기 고정 부재에 접속되는 것을 특징으로 하는 워크 유지 지그.
처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;
상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 침지되는 워크를 수하해 유지하면서, 또한 상기 워크를 음극으로 설정하는 제12항 내지 제20항 중 어느 한 항에 기재된 워크 유지 지그;
상기 표면 처리조 내에서, 상기 워크와 대향하는 위치에 배치되는 양극 전극; 을 가지는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
처리액이 수용되고, 상단 개구를 가지는 표면 처리조;
상기 표면 처리조의 상기 처리액 속에 침지되는 워크를 수하하여 유지하면서, 또한 상기 워크를 음극으로 설정하는 워크 유지 지그;
상기 표면 처리조 내에서 수직방향으로 연장하고, 상기 워크와 대향하는 위치에 배치되는 양극 전극;
상기 표면 처리조 내의 상기 처리액의 액면보다 낮은 위치에서, 상기 양극 전극에 통전하는 중계 통전부; 를 가지며,
상기 워크 유지 지그는
상기 직사각형 워크를 둘러싸서 배치되는 프레임형상 부재;
상기 프레임형상 부재에 지지되고, 상기 직사각형 워크의 윗변을 쥐는 도전성의 복수의 제1 척킹 부재;
상기 프레임형상 부재에 상기 복수의 제1 척킹과는 전기적으로 절연되어 지지되고, 상기 직사각형 워크의 아랫변을 쥐는 도전성의 복수의 제2 척킹 부재;
상기 복수의 제1 척킹 부재에 통전하는 제1 통전부;
상기 복수의 제2 척킹 부재에 통전하는 제2 통전부; 를 가지는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
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