KR101847934B1

KR101847934B1 - 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치

Info

Publication number: KR101847934B1
Application number: KR1020170135126A
Authority: KR
Inventors: 배민수
Original assignee: (주)네오피엠씨; 배민수
Priority date: 2017-10-18
Filing date: 2017-10-18
Publication date: 2018-04-12

Abstract

본 발명은 도금용 행거의 전류측정장치에 관한 것으로서, 특히 전기도금장치에서 기판에 인가되는 전류정보를 션트전류센서를 이용하여 검출하고, 검출된 전류정보를 송신하기 위한 통신모듈에 유선으로 안정적으로 전원을 공급할 수 있는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치에 관한 것이다.

Description

션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치 { CURRENT MEASURING APPARATUS OF HANGER FOR PLANTING }

기판 상에 금속막을 패터닝 하기 위해서는 증착 방법에 비해 전기 이동도에 대한 내성이 우수하고 제조비용이 더 저렴한 전기도금방법이 선호된다.

종래에 전기도금의 원리는 국내공개특허공보 제 10-2010-0034318호(2010년 4월 1일 공개)에 기재된 바와 같이, 전해액이 수용된 도금조 내에 양극(anode)를 형성하는 구리판과 음극(cathode)를 형성하는 기판을 침지시킴으로써, 구리판에서 분리된 구리 이온(Cu2+)이 기판으로 이동하여 금속막이 형성된다.

이러한 전기도금방법에 관한 일반적인 예로서, 위크 행거를 이용한 전기 도금 방법은 도금하고자 하는 대상을 위크 행거에 장착하여 수직 또는 수평 레일에 장착되어 기동하면서 도금조 안에 담겨져 있는 도금액에 침전시킨 후, 도금 대상을 음극으로 하고 도금하려고 하는 금속 또는 불용해성 금속을 양극으로 한다.

이후, 정류기를 통해 전극에 전류를 인가하면, 도금액이 전기분해되면서 도금액 속에 포함된 금속 이온이 분리되면서 음극인 도금 대상의 표면에 부착되며, 어느 정도 시간이 지나면 얇은 금속막을 형성하면서 도금되는 원리를 채택한 것이다.

이러한 전기도금방법은 향후 인쇄회로기판의 박막화 추세에 따라, 금속막의 두께를 균일하게 형성하기 위한 전류 밀도, 도금 두께의 산포 등을 제어하는 것이 필요로 되고 있다.

구체적으로, 종래에 이슈화되고 있는 균일 전착성(Throwing Power) 방법을 예로 들 수 있다.

이러한 균일 전착성 방법은 한 대의 정류기에 다수의 음극 행거(cathode hangar)가 연결되고, 음극 행거에 클램프가 몇 개의 가지로 나누어져 집게 행태로 기판을 잡아 전류가 흐르는 형태이다.

그러나, 이러한 균일 전착성 방법은 기판에 구리 금속막을 균일하게 형성하기 어렵다는 문제점이 있다.

즉, 기판의 도금 면적이 대면적이고 행거에서의 전류 기동이 달라지며, 클램프 오염, 클램프 집계의 강도 차이 등에 의해 기판에 도금 전류의 산포가 발생한다.

이러한 도금 전류의 차이에 의해 기판의 전류 밀도가 달라져 도금 두께의 산포가 불균일하게 된다.

이에 따라, 인쇄회로기판의 구리 금속막이 전체적으로 불균일한 도금 두께의 산포를 가지므로, 표면 품질이 저하되어 인쇄회로기판의 신뢰도가 저하되는 문제점이 있다.

또한, 종래에는 도금을 위해 기판에 인가되는 전류정보를 실시간으로 검출하고 제어하는 기술이 나타나 있으나, 전류정보를 외부로 송신하는데 필요한 전원의 확보를 위해 종래에는 각각의 통신모듈에 배터리를 장착하고 이를 이용하였다.

위와 같이 각각의 통신모듈에 배터리를 장착하여 사용할 경우에는, 장시간 사용시 배터리의 방전 등에 의해 안정적인 전원공급이 이루어지지 않으며 배터리의 방전여부 등을 항상 체크하여야 하는 불편함이 있었다.

공개특허 제10-2015-0073641호 등록특허 제10-1300325호 공개특허 제10-2014-0028858호

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 기판에 인가되는 전류정보를 션트전류센서를 이용하여 검출하고, 검출된 전류정보를 송신하기 위한 통신모듈에 유선으로 안정적으로 전원을 공급할 수 있는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치는, 내부에 기판과 양극판이 대면하여 배치되는 도금조의 외부에 설치되는 메인급전레일과; 일단이 상기 메인급전레일에 결합되고, 상기 메인급전레일을 따라 이동하는 행거와; 상단이 상기 행거에 결합되고, 클램프에 의해 기판을 파지하는 지그와; 상기 메인급전레일과 평행하게 배치되고 상기 행거의 타단이 지지되는 보조가이드레일과; 상기 보조가이드레일에 길게 장착된 보조급전레일과; 상기 행거에 장착되어 상기 기판에 인가되는 전류정보를 검출하는 션트전류센서와; 상기 행거에 장착되고 상기 션트전류센서과 연결된 통신모듈과; 상기 메인급전레일과 양극판에 연결되어 전원을 공급하는 정류기;를 포함하여 이루어지되, 상기 션트전류센서는 상기 지그와 상기 행거에 각각 전기적으로 연결되며, 상기 통신모듈은 상기 보조급전레일에 연결되어 전원을 공급받으면서, 상기 션트전류센서에서 검출된 상기 기판의 전류정보를 외부로 송신하는 것을 특징으로 한다.

상기 정류기는 DC정류기로 이루어지고, 상기 통신모듈은 양극이 상기 보조급전레일에 연결되고 음극이 상기 행거에 연결된다.

상기 정류기를 PR(Pulse Reverse)정류기로 이루어지고, 상기 통신모듈은 양극이 상기 보조급전레일에 연결되고 음극이 상기 보조가이드레일에 연결되며, 상기 보조급전레일과 보조가이드레일은 상호 전기적으로 비통전되어 있다.

상기 션트전류센서와 상기 행거 사이에는 제1절연패드가 배치되고, 상기 행거와 상기 지그 사이에는 제2절연패드가 배치되어 상기 행거와 지그를 전기적으로 차단한다.

상기 통신모듈은 상기 보조급전레일을 통해 상기 전류정보를 외부로 전송한다.

상기 행거의 타단에는 상기 보조급전레일과 전기적으로 접촉하는 접촉부재가 장착되되, 상기 접촉부재는, 상기 행거의 타단에 결합된 브라켓과; 상기 브라켓에 결합되어 상기 보조급전레일과 접촉하는 접속단자;를 포함하여 이루어지되, 상기 접속단자는 상기 통신모듈에 유선으로 연결되어 상기 보조급전레일의 전원을 상기 통신모듈에 공급한다.

상기 브라켓은, 상기 행거의 타단에 고정 결합된 고정브라켓과; 상기 고정브라켓에 대하여 상하방향으로 회전 가능하게 장착되고, 상기 접속단자가 결합된 회전브라켓과; 상기 고정브라켓과 회전브라켓 사이에 설치되어 상기 회전브라켓이 상기 보조급전레일 방향으로 회전하도록 탄성력을 부가하는 탄성부재;를 포함하여 이루어지되, 상기 회전브라켓은 부도체로 이루어지고 상기 접속단자는 도체로 이루어지며, 상기 탄성부재의 탄성력에 의해 상기 회전브라켓은 상기 보조급전레일 방향으로 회전하여 상기 접속단자가 상기 보조급전레일에 상시 접촉하도록 한다.

상기 접속단자는 상기 회전브라켓에 회전 가능하게 장착되어 상기 보조급전레일과 접촉하는 롤러로 이루어진다.

또는, 상기 접속단자는 일단이 상기 회전브라켓에 결합되고 타단이 상기 보조급전레일과 접촉하는 탄성브러쉬로 이루어진다.

상기 고정브라켓에는 상기 행거의 길이방향으로 장공이 형성되고, 체결부재는 상기 장공을 통해 상기 행거에 결합되어 상기 브라켓의 위치가 조절된다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

기판에 인가되는 전류정보를 션트전류센서를 이용하여 검출하고, 검출된 전류정보를 송신하기 위한 통신모듈에 유선으로 안정적으로 전원을 공급할 수 있다.

특히, 본 발명은 상기 션트전류센서에서 검출된 전류정보를 외부로 전송하는 상기 통신모듈에 전원을 유선으로 공급하는데, 이는 상기 행거의 타단을 지지하는 상기 보조급전레일을 통해 유선으로 공급하기 때문에 상기 행거를 안정적으로 지지하면서 상기 통신모듈에 유선으로 안정적인 전원도 함께 공급할 수 있다.

또한, 상기 접촉부재에 의해 상기 행거의 이동시에도 상기 통신모듈에 전원을 안정적으로 공급할 수 있다.

뿐만 아니라, 상기 제어부에 의해 상기 정류기를 개별제어함으로써, 기판에 인가되는 전류량에 차이가 발생하였을 때, 도금구간의 종단부에서 상기 정류기를 이용하여 상기 기판에 인가되는 전류량을 조절함으로서 상기 기판의 최종 도금두께를 균일하게 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전류측정장치가 장착된 기판 도금장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전류측정장치가 장착된 기판 도금장치의 정면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전류측정장치가 장착된 기판 도금장치의 평면도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판도금장치에 의해 기판의 도금두께를 조절하는 것을 설명하기 위한 그래프,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판도금장치에서 양극판 및 정류기의 작동과정을 설명하기 위한 개략적인 평면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 전류측정장치가 장착된 기판 도금장치의 개략적인 정면구성도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 전류측정장치가 장착된 기판 도금장치의 접촉부재의 사시도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 전류측정장치가 장착된 기판 도금장치의 접촉부재의 분해사시도.

본 발명의 전류측정장치가 장착된 기판도금장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 도금조(10)와, 양극판(15)과, 메인급전레일(16)과, 행거(20)와, 지그(30)와, 션트전류센서(40)와, 통신모듈(50)과, 정류기(60)와, 제어부(70), 보조가이드레일과, 보조급전레일(82) 등을 포함하여 이루어진다.

상기 도금조(10)는 내부에는 기판(35)이 배치되고, 도금액이 충진된다.

상기 양극판(15)은 상기 도금조(10)의 내부에서 상기 기판(35)의 양측에 배치된다.

상기 메인급전레일(16)은 상기 도금조(10)의 외부에서 상기 기판(35)의 이동방향을 따라 길게 배치된다.

상기 메인급전레일(16)은 그라운드 단자와 연결되어 있다.

상기 행거(20)는 상기 메인급전레일(16)과 직교되는 방향으로 배치되어 일단이 상기 메인급전레일(16)에 결합되고, 상기 메인급전레일(16)을 따라 이동한다.

상기 지그(30)는 상단이 상기 행거(20)에 결합되고, 다수개의 클램프가 장착되어 있으며, 상기 클램프는 기판(35)을 파지하여 상기 기판(35)을 상기 지그(30)에 고정시킨다.

상기 션트전류센서(40)는 상기 행거(20)에 장착되어 상기 기판(35)에 인가되는 전류정보를 검출한다.

상기 션트전류센서(40)의 구제적인 구조 및 작동 등은 종래의 공지된 기술을 이용하면 충분하기 때문에 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.

이러한 상기 션트전류센서(40)는 상기 행거(20)에 직접 장착될 수도 있으나, 상기 행거(20)와의 절연을 위해 상기 션트전류센서(40)와 상기 행거(20) 사이에는 제1절연패드(21)가 배치되도록 함이 바람직하다.

상기 션트전류센서(40)는 상기 기판(35)이 장착되는 상기 지그(30)와 전기적으로 연결되고 상기 메인급전레일(16)과 연결된 상기 행거(20)와 전기적으로 연결되어, 상기 지그(30)에 장착된 상기 기판(35)에 인가되는 전류정보를 검출하게 된다.

보다 구체적으로 상기 션트전류센서(40)는 상기 지그(30) 및 행거(20)와 각각 전선 등을 통해 연결된다.

이때, 상기 행거(20)의 일단과 상기 지그(30) 사이에는 제2절연패드(22)가 배치되어, 상기 션트전류센서(40)에 각각 연결된 상기 행거(20)와 지그(30)가 전기적으로 연결되는 것을 차단하도록 함이 바람직하다.

보다 구체적으로, 상기 제2절연패드(22)는 상기 션트전류센서(40)가 장착된 위치와 상기 지그(30) 사이에서 상기 행거(20)에 배치되도록 한다.

따라서, 상기 션트전류센서(40)에서는 상기 지그(30)에 장착된 기판(35)에 인가되는 전류량 또는 전류밀도 등을 검출할 수 있다.

상기 통신모듈(50)은 상기 행거(20)에 장착되고, 상기 션트전류센서(40)에 연결되어 상기 션트전류센서(40)에서 검출된 상기 전류정보를 외부로 유선 또는 무선으로 송신한다.

상기 정류기(60)는 상기 메인급전레일(16)과 양극판(15)에 연결되어 전원을 공급한다.

상기 정류기(60)는 DC정류기(61) 또는 PR(Pulse Reverse)정류기(62)로 이루어진다.

상기 제어부(70)는 상기 통신모듈(50)로부터 유선 또는 무선으로 상기 전류정보를 수신하고 상기 정류기(60)를 제어하여, 상기 기판(35)에 인가되는 전류밀도를 조절하게 된다.

즉, 상기 제어부(70)는 상기 션트전류센서(40)에서 검출된 전류정보에 따라 상기 정류기(60)를 제어하여 상기 기판(35)에 인가되는 전류밀도를 조절하게 된다.

그리고, 상기 제어부(70)는, 상기 션트전류센서(40)를 통해 검출된 전류정보를 이용하여 도금과정에서 각 기판(35)에 인가되는 전류량을 합산하고, 도 4에 도시된 바와 같이 각 기판(35)마다 미리 설정된 특정시간까지 합산된 합산전류량과 최종시간에서의 최종기준값을 연결하는 직선의 기울기에 비례하여 나머지 도금구간에서 상기 기판(35)에 인가되는 전류량을 조절한다.

상기 기판(35)에 인가되는 전류량을 조절한다는 것은, 상기 정류기(60)를 통해 상기 양극판(15)에 인가되는 전류량을 조절하고, 이렇게 조절된 전류가 상기 도금액을 통해 상기 기판(35)에 전달되어 상기 기판(35)에 인가된 전류값이 조절된다는 것을 의미한다.

미리 설정된 특정시간은 도금구간 중 종단부에 위치하도록 한다.

상기 제어부(70)는 특정시간 이후의 나머지 도금구간에서 상술한 기울기에 따라 상기 기판(35)에 인가되는 전류량을 조절함으로써, 도금의 최종시간에서 합산된 최종합산전류량이 상기 최종기준값과 동일하도록 하여 상기 기판(35)에 형성되는 도금층이 일정한 두께를 갖도록 한다.

한편 도 5에 도시된 바와 같이 상기 특정시간 이후의 도금구간에서 상기 양극판(15)은 상기 기판(35)의 폭보다 작은 폭을 가지면서 다수개로 분할되어 배치된다.

각각의 상기 양극판(15)에는 각각의 정류기(60)가 개별적으로 연결되며, 상기 제어부(70)는 다수개의 상기 정류기(60)를 통해 다수개의 상기 양극판(15)에 인가되는 전류를 개별 제어한다.

위와 같이 상기 정류기(60)가 상기 양극판(15)을 개별 제어할 때, 어느 하나의 상기 양극판(15)에 2개의 기판(35)이 동시에 대면하는 경우, 상기 제어부(70)는 상기 양극판(15)과 많은 면적을 대면하고 있는 기판(35)에 대응되는 전류량을 인가한다.

예를 들어, 도 5(a)에 도시된 바와 같이 제1기판(35a)만이 양극판(15)과 대면하고 있을 때에는, 상기 제어부(70)는 상기 제1기판(35a)에 대응되는 전류량 즉 상기 제1기판(35a)에 해당되는 상기 산출된 기울기에 맞는 전류량을 상기 정류기(60)를 통해 상기 양극판(15)에 인가한다.

새로운 제2기판(35b)이 진입하여 하나의 양극판(15)에 제1기판(35a)과 제2기판(35b)이 모두 대면하고 있을 때, 도 5(b)에 도시된 바와 같이 상기 제1기판(35a)이 상기 제2기판(35b)보다 상기 양극판(15)과 대면하는 면적이 크면, 상기 제어부(70)는 여전히 해당 양극판(15)에 상기 제1기판(35a)에 대응되는 전류량을 인가한다.

그러다가, 도 5(c)에 도시된 바와 같이 상기 제1기판(35a)과 제2기판(35b)이 이동하여 상기 제2기판(35b)이 상기 제1기판(35a)보다 양극판(15)에 대면하는 면적이 크게 되면, 상기 제어부(70)는 상기 제2기판(35b)에 대응되는 전류량을 인가하게 된다.

그리고 상기 제1기판(35a) 및 제2기판(35b)이 이동하여 도 5(d)에 도시된 바와 같이 해당 양극판(15)에 상기 제2기판(35b)만이 대면하게 되면, 상기 제어부(70)는 상기 제2기판(35b)에 대응되는 전류량을 인가하게 된다.

위와 같은 과정은, 다수개가 상호 이격되어 배치되는 상기 양극판(15)들 모두에 동일하게 적용된다.

이를 통해, 보다 정확한 전류량을 양극판(15)에 인가하여 기판(35)에 형성되는 도금층의 두께를 균일하게 할 수 있다.

상기 양극판(15)과 기판(35)이 대면하고 있는 면적의 크기 판단 여부는, 시간에 따른 기판(35)의 이동속도, 별도의 센서의 장착 등을 통해 판단할 수 있다.

상기 보조가이드레일(81)은 상기 메인급전레일(16)과 평행하게 배치되고 상기 행거(20)의 타단이 지지된다.

위와 같이 상기 행거(20)의 일단이 상기 메인급전레일(16)에 의해 지지되고 타단이 상기 보조가이드레일(81)을 통해 지지됨으로써, 상기 행거(20)가 이동할 때 흔들림없이 보다 안정적으로 이동할 수 있다.

상기 보조급전레일(82)은 상기 보조가이드레일(81)에 길게 장착되어 있다.

상기 보조급전레일(82)은 상기 통신모듈(50)에 연결되어 상기 통신모듈(50)에 전원을 공급한다.

상기 보조급전레일(82)이 상기 통신모듈(50)에 전원을 공급하기 위해, 상기 행거(20)의 타단에는 상기 보조급전레일(82)과 전기적으로 접촉하는 접촉부재(90)가 장착되어 있으며, 상기 접촉부재(90)에 대해서는 후술하기도록 한다.

상기 보조급전레일(82)을 통해 전원을 인가받은 상기 통신모듈(50)은, 상기 션트전류센서(40)에서 검출된 상기 기판(35)의 전류정보를 외부로 송신하게 된다.

위와 같이 상기 통신모듈(50)이 무선이 아닌 유선을 통해 전원을 공급받기 때문에, 상기 통신모듈(50)에 안정적으로 전원이 인가되도록 할 수 있다.

한편, 상기 정류기(60)가 DC정류기(61)로 이루어진 경우에는 도 6(a)에 도시된 바와 같이, 상기 통신모듈(50)은 양극이 상기 접속부재(90)를 통해 상기 보조급전레일(82)에 연결되고 음극이 상기 행거(20)에 연결되어, 전원을 공급받게 된다.

위와 같은 구조를 통해 상기 통신모듈(50)은 상기 션트전류센서(40)와 함께 음극 즉 그라운드단자를 공통으로 사할 수 있다.

그리고, 상기 정류기(60)가 PR(Pulse Reverse)정류기(62)로 이루어진 경우에는 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 상기 통신모듈(50)은 양극이 상기 접속부재(90)를 통해 상기 보조급전레일(82)에 연결되고 음극이 상기 보조가이드레일(81)에 연결되어, 전원을 공급받게 된다.

위와 같이 상기 통신모듈(50)의 음극이 행거(20)가 아닌 상기 보조가이드레일(81)에 연결됨으로써, PR정류기(62)를 사용하는 경우에도 상기 통신모듈(50)에 안정적인 전원이 인가되도록 할 수 있다.

상기 통신모듈(50)은 상술한 바와 같이 유선 또는 무선으로 상기 전류정보를 외부로 전송하는데, 본 실시예와 같이 전원을 공급하는 상기 보조급전레일(82)을 이용하여 유선으로 상기 전류정보를 외부로 전송하도록 함으로써, 무선통신에 필요한 부품 등을 생략하여 단가 등을 절감시킬 수 있고 무선통신시 발생되는 노이즈 등에 대한 리스트가 없다.

상기 행거(20)의 타단에 장착되어 상기 보조급전레일(82)과 전기적으로 접촉하는 상기 접촉부재(90)는, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 브라켓(91)과 접속단자(92)를 포함하여 이루어진다.

상기 브라켓(91)은 상기 행거(20)의 타단에 결합된다.

상기 접속단자(92)는 상기 브라켓(91)에 결합되어 상기 보조급전레일(82)과 전기적으로 접촉한다.

상기 접속단자(92)는 상기 통신모듈(50)에 유선으로 연결되어 상기 보조급전레일(82)의 전원을 상기 통신모듈(50)에 공급한다.

본 실시예에서 상기 브라켓(91)은 고정브라켓(91a)과 회전브라켓(91b)과 탄성부재(91d)로 이루어진다.

상기 고정브라켓(91a)은 상기 행거(20)의 타단에 고정 결합된다.

상기 회전브라켓(91b)은 상기 고정브라켓(91a)에 대하여 상하방향으로 회전 가능하게 장착되고, 상기 접속단자(92)가 결합된다.

상기 탄성부재(91d)는 상기 고정브라켓(91a)과 회전브라켓(91b) 사이에 설치되어 상기 회전브라켓(91b)이 상기 보조급전레일(82) 방향으로 회전하도록 탄성력을 부가하며, 본 실시예에서 상기 탄성부재(91d)는 토션스프링으로 이루어져 있다.

상기 탄성부재(91d)의 탄성력에 의해 상기 회전브라켓(91b)은 상기 보조급전레일(82) 방향으로 회전하여 상기 접속단자(92)가 상기 보조급전레일(82)에 상시 접촉하도록 한다.

상기 고정브라켓(91a)은 상기 행거(20)의 타단에서 특정위치에만 결합되도록 할 수 있으나, 본 실시예와 같이 상기 고정브라켓(91a)이 상기 행거(20)의 길이방향으로 이동하여 그 위치가 가변될 수 있도록 함이 바람직하다.

이를 위해, 상기 고정브라켓(91a)에는 상기 행거(20)의 길이방향으로 장공(91c)이 형성되고, 볼트 등의 체결부재는 상기 장공(91c)을 통해 상기 행거(20)에 결합되어, 상기 브라켓(91)은 상기 행거(20)의 길이방향을 따라 그 위치가 조절될 수 있게 된다.

이를 통해 상기 행거(20)에 상기 접촉부재(90)를 설치할 때, 상기 접촉부재(90)의 위치를 조절하여 상기 접촉부재(90)가 상기 보조급전레일(82)에 항상 접촉하도록 할 수 있다.

상기 보조급전레일(82)과 접촉하는 상기 접속단자(92)는 다양한 구조로 이루어질 수 있다.

이러한 상기 접속단자(92)는, 상기 회전브라켓(91b)에 회전 가능하게 장착되어 상기 보조급전레일(82)과 접촉하는 롤러로 이루어지거나, 또는 일단이 상기 회전브라켓(91b)에 결합되고 타단이 상기 보조급전레일(82)과 접촉하는 탄성브러쉬로 이루어질 수 있다.

위와 같은 상기 접속단자(92)에 의해 상기 행거(20)가 이동할 때, 상기 접속단자(92)는 항시 상기 보조급전레일(82)과 전기적으로 접속되도록 할 수 있다.

본 발명은 상기 션트전류센서(40)에서 검출된 전류정보를 외부로 전송하는 상기 통신모듈(50)에 전원을 유선으로 공급하는데, 이는 상기 행거(20)의 타단을 지지하는 상기 보조급전레일(82)을 통해 유선으로 공급하기 때문에 상기 행거(20)를 안정적으로 지지하면서 상기 통신모듈(50)에 유선으로 전원도 함께 공급할 수 있다.

또한, 상기 접촉부재(90)에 의해 상기 행거(20)의 이동시에도 상기 통신모듈(50)에 전원을 안정적으로 공급할 수 있다.

뿐만 아니라, 상기 제어부(70)에 의해 상기 정류기(60)를 개별제어함으로써, 기판(35)에 인가되는 전류량에 차이가 발생하였을 때, 도금구간의 종단부에서 상기 정류기(60)를 이용하여 상기 기판(35)에 인가되는 전류량을 조절함으로서 상기 기판(35)의 최종 도금두께를 균일하게 할 수 있다.

본 발명인 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.

10 : 도금조, 15 : 양극판, 16 : 메인급전레일,
20 : 행거, 21 : 제1절연패드, 22 : 제2절연패드
30 : 지그, 35 : 기판, 35a : 제1기판, 35b : 제2기판,
40 : 션트전류센서, 50 : 통신모듈,
60 : 정류기, 61 : DC정류기, 62 : PR정류기,
70 : 제어부,
81 : 보조가이드레일, 82 : 보조급전레일,
90 : 접촉부재, 91 : 브라켓, 91a : 고정브라켓, 91b : 회전브라켓, 91c : 장공, 91d : 탄성부재, 92 : 접속단자,

Claims

내부에 기판과 양극판이 대면하여 배치되는 도금조의 외부에 설치되는 메인급전레일과; 일단이 상기 메인급전레일에 결합되고, 상기 메인급전레일을 따라 이동하는 행거와; 상단이 상기 행거에 결합되고, 클램프에 의해 기판을 파지하는 지그와; 상기 메인급전레일과 평행하게 배치되고 상기 행거의 타단이 지지되는 보조가이드레일과; 상기 보조가이드레일에 길게 장착된 보조급전레일과; 상기 행거에 장착되어 상기 기판에 인가되는 전류정보를 검출하는 션트전류센서와; 상기 행거에 장착되고 상기 션트전류센서과 연결된 통신모듈과; 상기 메인급전레일과 양극판에 연결되어 전원을 공급하는 정류기;를 포함하여 이루어지되,
상기 션트전류센서는 상기 지그와 상기 행거에 각각 전기적으로 연결되며,
상기 통신모듈은 상기 보조급전레일에 연결되어 전원을 공급받으면서, 상기 션트전류센서에서 검출된 상기 기판의 전류정보를 외부로 송신하고,
상기 행거의 타단에는 상기 보조급전레일과 전기적으로 접촉하는 접촉부재가 장착되며,
상기 접촉부재는,
상기 행거의 타단에 결합된 브라켓과;
상기 브라켓에 결합되어 상기 보조급전레일과 접촉하는 접속단자;를 포함하여 이루어지되,
상기 접속단자는 상기 통신모듈에 유선으로 연결되어 상기 보조급전레일의 전원을 상기 통신모듈에 공급하는 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.
청구항1에 있어서,
상기 정류기는 DC정류기로 이루어지고,
상기 통신모듈은 양극이 상기 보조급전레일에 연결되고 음극이 상기 행거에 연결되는 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.
청구항1에 있어서,
상기 정류기를 PR(Pulse Reverse)정류기로 이루어지고,
상기 통신모듈은 양극이 상기 보조급전레일에 연결되고 음극이 상기 보조가이드레일에 연결되며,
상기 보조급전레일과 보조가이드레일은 상호 전기적으로 비통전되어 있는 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.
청구항1에 있어서,
상기 션트전류센서와 상기 행거 사이에는 제1절연패드가 배치되고,
상기 행거와 상기 지그 사이에는 제2절연패드가 배치되어 상기 행거와 지그를 전기적으로 차단하는 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.
청구항1에 있어서,
상기 통신모듈은 상기 보조급전레일을 통해 상기 전류정보를 외부로 전송하는 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.
삭제
청구항1에 있어서,
상기 브라켓은,
상기 행거의 타단에 고정 결합된 고정브라켓과;
상기 고정브라켓에 대하여 상하방향으로 회전 가능하게 장착되고, 상기 접속단자가 결합된 회전브라켓과;
상기 고정브라켓과 회전브라켓 사이에 설치되어 상기 회전브라켓이 상기 보조급전레일 방향으로 회전하도록 탄성력을 부가하는 탄성부재;를 포함하여 이루어지되,
상기 회전브라켓은 부도체로 이루어지고 상기 접속단자는 도체로 이루어지며,
상기 탄성부재의 탄성력에 의해 상기 회전브라켓은 상기 보조급전레일 방향으로 회전하여 상기 접속단자가 상기 보조급전레일에 상시 접촉하도록 하는 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.
청구항7에 있어서,
상기 접속단자는 상기 회전브라켓에 회전 가능하게 장착되어 상기 보조급전레일과 접촉하는 롤러로 이루어진 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.
청구항7에 있어서,
상기 접속단자는 일단이 상기 회전브라켓에 결합되고 타단이 상기 보조급전레일과 접촉하는 탄성브러쉬로 이루어진 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.
청구항7에 있어서,
상기 고정브라켓에는 상기 행거의 길이방향으로 장공이 형성되고,
체결부재는 상기 장공을 통해 상기 행거에 결합되어 상기 브라켓의 위치가 조절되는 것을 특징으로 하는 션트전류센서를 이용한 도금용 행거의 전류측정장치.