JP5626850B2

JP5626850B2 - Pellicle storage container

Info

Publication number: JP5626850B2
Application number: JP2010107993A
Authority: JP
Inventors: 輝樹竹下; 隆徳廣瀬
Original assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Current assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Priority date: 2010-05-10
Filing date: 2010-05-10
Publication date: 2014-11-19
Anticipated expiration: 2030-05-10
Also published as: JP2011237556A

Description

本発明は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のフォトリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納するペリクル収納容器に関する。特に展張されたペリクル膜の面積が１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクル用のペリクル収納容器に関する。 The present invention prevents foreign matter from adhering to a photomask or reticle used in a photolithography process when manufacturing a thin film transistor (TFT), a color filter (CF), or the like constituting an LSI or a liquid crystal display (LCD). The present invention relates to a pellicle storage container that stores a pellicle used for the purpose. In particular, the present invention relates to a pellicle storage container for a large pellicle having an expanded pellicle film area of 1000 cm ² or more.

本発明は、ペリクルの収納容器に関する技術であるが、先ず、ペリクルについて説明する。 The present invention relates to a pellicle storage container. First, the pellicle will be described.

従来、半導体装置や液晶ディスプレイ等の微細回路パターン製造時のフォトリソグラフィー工程においては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。 Conventionally, in a photolithography process at the time of manufacturing a fine circuit pattern such as a semiconductor device or a liquid crystal display, a dust-proof means generally called a pellicle is used to prevent foreign matter from adhering to a photomask or a reticle.

ペリクルは、例えばフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ及び幅が数ミリ程度のペリクル枠体（以下「ペリクルフレーム」ともいう。）の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース、セルロース誘導体又は含フッ素ポリマーなどの透明な高分子膜であるペリクル膜を展張して接着し、該ペリクル枠体の下縁面に粘着材を塗着してマスク用粘着材層を形成し、該マスク用粘着材層に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。 The pellicle has, for example, a nitrous film having a thickness of 10 μm or less on the upper edge surface of a pellicle frame (hereinafter also referred to as a “pellicle frame”) having a shape matching the shape of a photomask or a reticle and having a thickness of about several millimeters. A pellicle film, which is a transparent polymer film such as cellulose, cellulose derivative or fluorine-containing polymer, is spread and bonded, and an adhesive is applied to the lower edge surface of the pellicle frame to form an adhesive layer for the mask. The protective film is adhered to the mask adhesive layer with a predetermined adhesive force.

このマスク用粘着材層は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは、マスク用粘着材層がその用に供されるまで粘着材の接着力を維持するために、マスク用粘着材層の接着面を保護するものである。 This mask adhesive layer is for fixing the pellicle to the photomask or reticle, and the protective film maintains the adhesive strength of the adhesive until the mask adhesive layer is used for that purpose. Therefore, the adhesive surface of the mask pressure-sensitive adhesive layer is protected.

このようなペリクルは、一般的には、ペリクルを製造するメーカー（以下「製造者」ともいう。）から、フォトマスク或いはレティクル（以下「マスク等」ともいう。）を製造するメーカー（以下「使用者」ともいう。）に供給される。使用者では、ペリクルをマスク等に貼付の後、ペリクルで保護されたマスク等を半導体メーカー、液晶パネルメーカー等のフォトリソグラフィーを行うメーカーに供給する。 Such a pellicle is generally a manufacturer (hereinafter “used”) that manufactures a photomask or reticle (hereinafter also referred to as “mask”) from a manufacturer (hereinafter also referred to as “manufacturer”) that manufactures the pellicle. Also referred to as “person”.) The user, after pasting the pellicle on a mask or the like, supplies the mask or the like protected by the pellicle to a manufacturer that performs photolithography such as a semiconductor manufacturer or a liquid crystal panel manufacturer.

このペリクルを製造者から使用者に運搬するにあたっては、ペリクルに異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルを載置するトレイと蓋とからなるペリクル収納容器内に収納し、更にこのペリクル収納容器を防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。 When transporting this pellicle from the manufacturer to the user, in order to prevent foreign matter from adhering to the pellicle or to prevent the pellicle from being damaged, the pellicle is stored in a pellicle storage container comprising a tray and a lid on which the pellicle is placed. The pellicle storage container is generally stored in a dust-proof bag or the like and transported.

ところで、ペリクル収納容器には、ペリクルに塵埃を付着させないための密封性が必要になる。また、ペリクル収納容器には、蓋がペリクル膜に接触しペリクル膜が汚染或いは破損するのを防止するため、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持し得る保持性が要求される。 By the way, the pellicle storage container needs to be sealed to prevent dust from adhering to the pellicle. In addition, the pellicle storage container is required to have a holding property capable of reliably holding the pellicle film in a non-contact state in order to prevent the lid from coming into contact with the pellicle film and contaminating or damaging the pellicle film.

ペリクル収納容器は、通常、ＡＢＳ、アクリル等の樹脂を射出成形または真空成形することによって製造される。これらの成形方法が利用されるのは、表面が平滑で異物の付着や発塵のおそれが少ないこと、一体成形のため継ぎ目がなく発塵や異物侵入のおそれが少ないこと、複雑形状のものも容易に製造できること、量産性に優れ低コスト化が可能であること、といったメリットがあるからである。 The pellicle storage container is usually manufactured by injection molding or vacuum forming a resin such as ABS or acrylic. These molding methods are used because the surface is smooth and there is little risk of adhesion of foreign matter and dust generation, because there is no joint and there is no risk of dust generation and foreign matter intrusion due to integral molding, even in complicated shapes This is because there are merits that it can be easily manufactured, and it is excellent in mass productivity and can be reduced in cost.

主として液晶用ペリクルに使用される一辺が５００ｍｍを超えるような大型のペリクル収納容器は、一般にＡＢＳ、アクリル等の合成樹脂シートを真空成形したものが使用される。これは、１箇所もしくは数箇所のゲートから金型内に樹脂を高速注入する射出成形では、樹脂の流れる距離が長すぎるため製法的に困難なためである。これに対し、真空成形では、金型に加熱した樹脂シートを被せて真空引きするだけで形成することができるため、大型のペリクル収納容器を容易に成形することができる。 A large pellicle storage container having a side exceeding 500 mm, which is mainly used for a liquid crystal pellicle, is generally a vacuum-formed synthetic resin sheet such as ABS or acrylic. This is because, in the injection molding in which the resin is injected at a high speed into the mold from one or several gates, the resin flow distance is too long, which makes it difficult to manufacture. On the other hand, in vacuum molding, since it can be formed simply by covering a mold with a heated resin sheet and vacuuming, a large pellicle storage container can be easily molded.

しかしながら、真空成形の場合、肉厚のものが成形できず、また、リブである程度の補強はできるものの、基本的に同じ板厚のシートを折り曲げるだけなので、高剛性のものが作りにくいという問題がある。このため、ペリクル収納容器は、何らかの手法により蓋やペリクル載置台の変形を抑える必要がある。 However, in the case of vacuum forming, a thick material cannot be formed, and although ribs can be reinforced to some extent, basically only the sheets with the same thickness are bent, so there is a problem that it is difficult to make a highly rigid material. is there. For this reason, the pellicle storage container needs to suppress deformation of the lid and the pellicle mounting table by some method.

そこで、本出願人は、トレイまたは蓋の少なくとも一方に補強板を取り付けることで、ペリクル収納容器の変形を抑制し、マスク用粘着材層の一部に局所的に重量がかかることによりエアーパスが発生することや、反りやたわみによってトレイや蓋がペリクルに接触することを防止する技術を提案した（特許文献１参照）。 Therefore, the present applicant suppresses the deformation of the pellicle storage container by attaching a reinforcing plate to at least one of the tray and the lid, and an air path is generated by locally applying a part of the mask adhesive layer. And a technique for preventing the tray or lid from coming into contact with the pellicle due to warping or deflection (see Patent Document 1).

また、本出願人は、トレイまたは蓋の少なくとも一方にリブを設けることで、ペリクル収納容器の運搬中の高温度による蓋やトレイの反り等による変形を抑制し、異物侵入を防止する技術を提案した（特許文献２参照）。 In addition, the present applicant proposes a technique for preventing deformation due to warping of the lid and tray due to high temperature during transportation of the pellicle storage container and providing a rib on at least one of the tray or the lid, and preventing foreign material intrusion. (See Patent Document 2).

また、補強材を用いない手法として、トレイ外形の対角線を横切り他のリブと交差しない複数のリブをトレイに設けることで、特に捩れ方向の剛性を高めたペリクル収納容器が提案されている（特許文献３参照）。 In addition, as a technique that does not use a reinforcing material, a pellicle storage container has been proposed in which a plurality of ribs that cross the diagonal line of the outer shape of the tray and do not intersect with other ribs are provided on the tray, thereby increasing the rigidity in the torsional direction in particular (patent) Reference 3).

また、トレイのペリクルフレーム４ｂを載置する載置部の外側または内側のどちらか一方に段差を設け、段差の低い側にペリクルフレームを載置することで、輸送中にペリクルが動きにくくなり、ペリクルフレーム底面の粘着材がめくれる危険性を低減したペリクル収納容器が提案されている（特許文献４参照）。 In addition, by providing a step on either the outside or the inside of the placement portion on which the pellicle frame 4b of the tray is placed, and placing the pellicle frame on the low step side, the pellicle becomes difficult to move during transportation, There has been proposed a pellicle storage container that reduces the risk of the adhesive material on the bottom surface of the pellicle frame being turned (see Patent Document 4).

特開２００５−４９７６５号公報JP 2005-49765 A 特開２０００−１７３８８７号公報JP 2000-173887 A 特開２００８−１３９４１７号公報JP 2008-139417 A 特開２００７−４７２３８号公報JP 2007-47238 A

上述したように、ペリクル収納容器は、通常、ＡＢＳ、アクリル等の樹脂を射出成形または真空成形することによって製造される。 As described above, the pellicle storage container is usually manufactured by injection molding or vacuum forming a resin such as ABS or acrylic.

このため、別の補強板で剛性を上げる従来の場合、剛性は十分得られるが、重量が増加するため、ペリクル膜の面積が大きくなればなるほど、十分な剛性を確保するために、容器本体よりも補強板の方が重くなるという問題があった。しかも、補強板自体だけでなく補強板を容器本体に締結するための部品が必要になり、更には、この部品を容器本体に組み付ける工数も必要になるため、容器本体だけの場合と比較してコストが大幅に増加する。 For this reason, in the conventional case of increasing the rigidity with another reinforcing plate, sufficient rigidity is obtained, but since the weight increases, the larger the area of the pellicle membrane, the more the rigidity from the container body to ensure sufficient rigidity. However, there was a problem that the reinforcing plate became heavier. Moreover, not only the reinforcing plate itself but also a part for fastening the reinforcing plate to the container body is required, and further, the man-hour for assembling this part to the container body is also required. Cost increases significantly.

また、補強板を利用せずにリブで剛性を上げる従来の場合、上記のような重量の増加の問題を低減することができる。しかしながら、特許文献２のように、リブの形状を、外形の対角線を結ぶ方向に設けられたＸ字型とすると、リブに交差部が存在することによって、捩れ方向の剛性が極度に低下して、何れか一方の対角線に沿ってトレイが捻れて、対頂点が近づくように曲がってしまう恐れがあった。 Further, in the conventional case where the rigidity is increased by a rib without using a reinforcing plate, the above-described problem of an increase in weight can be reduced. However, as in Patent Document 2, when the rib shape is an X shape provided in the direction connecting the diagonal lines of the outer shape, the rigidity in the torsional direction is extremely reduced due to the presence of intersections in the rib. There is a possibility that the tray is twisted along one of the diagonal lines and bent so that the apex of the pair approaches.

また、特許文献３のようなリブの配置はトレイの斜めの捩れ方向の剛性に効果的であるが、リブの頂点付近が辺の中央付近に存在したり、または、辺の中央付近にリブが存在しないため、トレイを持ち運ぶ際に、両短辺側か両長辺側の嵌合部付近を人手で運搬したり、中央付近をフォークリフトで動かす場合等に、辺の中央付近の応力がかかり辺に対して垂直の折れ目方向への剛性に弱い傾向があるという問題があった。また、大型ペリクルでマスクに貼付時に自動取り出し機を利用する場合は、トレイの底面を吸着把持する必要があるため、トレイの底面は比較的平面な方が良い傾向にある。これに対し、特許文献３のようにリブを配置すると、ペリクル収納容器を大型化するほど、リブを複数つける必要があるため、比較的平面な面が少なくなり、トレイの底面を吸着保持し難くなるという問題があった。 The arrangement of the ribs as in Patent Document 3 is effective for the rigidity of the tray in the oblique torsional direction, but the vicinity of the apex of the rib exists near the center of the side, or the rib exists near the center of the side. Because it does not exist, when carrying the tray, when carrying around the fitting part on both short sides or both long sides by hand, or moving the center with a forklift, stress is applied near the center of the side. However, there is a problem that the rigidity in the direction of the vertical crease tends to be weak. Further, when an automatic take-out machine is used at the time of sticking to a mask with a large pellicle, the bottom surface of the tray tends to be relatively flat because it is necessary to suck and hold the bottom surface of the tray. On the other hand, when the ribs are arranged as in Patent Document 3, it is necessary to attach a plurality of ribs as the pellicle storage container becomes larger, so that a relatively flat surface is reduced and it is difficult to suck and hold the bottom surface of the tray. There was a problem of becoming.

このようなことから、例えば、展張されたペリクル膜の面積（以下、単に「面積」ともいう。）が５０００ｃｍ^２を越え８０００ｃｍ^２、更には１００００ｃｍ^２に及ぶような大型ペリクルを収納するペリクル収納容器の場合には、補強体を用いずペリクル容器本体だけで十分な剛性と底面の平面性を持たせることができなかった。 For this reason, for example, a pellicle storage container for storing a large pellicle in which the area of the stretched pellicle film (hereinafter also simply referred to as “area”) exceeds 5000 cm ² and reaches 8000 cm ² , and further 10000 cm ² . In this case, it was not possible to provide sufficient rigidity and flatness of the bottom surface by using only the pellicle container main body without using the reinforcing body.

そこで、本発明者は、上述の課題を解決するために、ペリクルを載置する載置台に段差を設け、更には、載置台の内側に段差を設けることで、ペリクル収納容器の剛性と底面の平面性の両方を兼ね備えることを見出して、本発明に至った。 Therefore, in order to solve the above-described problems, the present inventor provides a step on the mounting table on which the pellicle is mounted, and further provides a step on the inner side of the mounting table, so that the rigidity and the bottom surface of the pellicle storage container are reduced. The present invention was found by finding out that it has both flatness.

すなわち、本発明に係るペリクル収納容器は、ペリクル枠体の一縁面にペリクル膜が展張されたペリクルを載置するトレイと、該トレイの天面に被せる蓋とを有するペリクル収納容器であって、トレイは、トレイ中央底面と、該トレイ中央底面の周囲から天面側に***してペリクルを載置する略角環状の載置台と、を有し、載置台には、トレイ中央底面側の角部付近に、ペリクル枠体の高さ方向の第一段差が形成され、第一段差は、トレイ中央底面からペリクル枠体の高さ方向に立ち上がるとともにトレイ外形の対角線を横切る垂直面を有することを特徴とする。 That is, the pellicle storage container according to the present invention is a pellicle storage container having a tray on which a pellicle with a pellicle film stretched on one edge surface of a pellicle frame and a lid that covers the top surface of the tray. The tray has a bottom surface at the center of the tray, and a substantially square ring-shaped mounting table on which the pellicle is mounted by protruding from the periphery of the bottom surface of the center of the tray. A first step in the height direction of the pellicle frame is formed in the vicinity of the corner, and the first step has a vertical surface that rises from the bottom surface of the tray center in the height direction of the pellicle frame and crosses the diagonal of the outer shape of the tray. It is characterized by.

本発明に係るペリクル収納容器によれば、載置台におけるトレイ中央底面側の角部付近に第一段差を設け、この第一段差の垂直面をトレイ外形の対角線を横切る方向に配置することで、ペリクル収納容器の捩れ方向の剛性を上げることができる。これにより、トレイ中央部に広い平坦部分を確保しつつ、ペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保でき、ペリクルを自動取り出しする際のトレイ吸着にも適する。 According to the pellicle storage container according to the present invention, the first step is provided in the vicinity of the corner on the bottom side of the center of the tray in the mounting table, and the vertical surface of the first step is disposed in a direction crossing the diagonal line of the outer shape of the tray. The rigidity in the twist direction of the pellicle storage container can be increased. Accordingly, the rigidity of the pellicle storage container, particularly the rigidity and flatness of the mounting table can be ensured while ensuring a wide flat portion at the center of the tray, which is also suitable for tray suction when the pellicle is automatically taken out.

そして、トレイ中央底面の載置台近傍に、ペリクル枠体の高さ方向の第二段差が形成されることが好ましい。このように、トレイ中央底面における載置台近傍の部位に第二段差を有することで、容器本体の剛性を更に上げることができる。 And it is preferable that the 2nd level | step difference of the height direction of a pellicle frame is formed in the tray mounting base vicinity of a tray center bottom face. Thus, the rigidity of the container main body can be further increased by having the second step at the portion near the mounting table on the bottom surface of the tray center.

また、載置台のトレイの外縁側に、ペリクル枠体の高さ方向の段差が形成される第三段差を有することが好ましい。このように、載置台のトレイの外縁側に第三段差を有することで、容器本体の剛性を更に上げることができる。 Moreover, it is preferable to have the 3rd level | step difference in which the level | step difference of the height direction of a pellicle frame is formed in the outer edge side of the tray of a mounting base. Thus, by having the third step on the outer edge side of the tray of the mounting table, the rigidity of the container body can be further increased.

また、第一段差、第二段差及び第三段差の角部は、曲率半径を有することが好ましい。このように、第一段差、第二段差及び第三段差の角部が曲率半径を有することで、当該角部に作用する応力を分散させることができる。 Moreover, it is preferable that the corner | angular part of a 1st level | step difference, a 2nd level | step difference, and a 3rd level | step difference has a curvature radius. As described above, since the corners of the first step, the second step, and the third step have a radius of curvature, the stress acting on the corner can be dispersed.

本発明に係るペリクル収納容器によれば、ペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保でき、更にはペリクルを自動取り出しする際のトレイ吸着にも適する。 The pellicle storage container according to the present invention can ensure the rigidity of the pellicle storage container, particularly the rigidity and flatness of the mounting table, and is also suitable for tray suction when the pellicle is automatically taken out.

第１の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the whole structure of the pellicle storage container which concerns on 1st Embodiment. 図１に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the tray of the pellicle storage container shown in FIG. 図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。It is the III-III sectional view taken on the line shown in FIG. 第２の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the whole structure of the pellicle storage container which concerns on 2nd Embodiment. 図４に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the tray of the pellicle storage container shown in FIG. 図５に示すＶＩ−ＶＩ線断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI shown in FIG. 5. 第一水平面部１５ｂの角部Ａに形成される略三角形状の寸法等を説明するための図である。It is a diagram for explaining a substantially triangular dimensions and the like, which is formed at the corner portion A of the first horizontal surface section 15 b.

［第１実施形態］
以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。図２は、図１に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。図３は、図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。なお、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。 [First Embodiment]
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the overall configuration of the pellicle storage container according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic front view showing the tray of the pellicle storage container shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III shown in FIG. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals.

（収納容器）
図１に示すように、ペリクル収納容器１は、ペリクル４が載置されるトレイ２と、トレイ２のトレイ２の天面に被せてトレイ２の天面を覆う蓋３とにより構成される。そして、トレイ２と蓋３とは、粘着テープ等（図示しない）で密封固定するか、クリップ等（図示しない）の締結具で固定される。 (Storage container)
As shown in FIG. 1, the pellicle storage container 1 includes a tray 2 on which the pellicle 4 is placed, and a lid 3 that covers the top surface of the tray 2 and covers the top surface of the tray 2. The tray 2 and the lid 3 are sealed and fixed with an adhesive tape or the like (not shown), or fixed with a fastener such as a clip or the like (not shown).

ペリクル収納容器１に収納されるペリクル４は、フォトマスクやレティクルなど（不図示）の形状に合わせた略角環状のペリクルフレーム４ｂと、ペリクルフレーム４ｂの上縁面に展張して接着されたペリクル膜４ａと、ペリクルフレーム４ｂの下縁面に塗着されたマスク用粘着材層４ｃとを備える。ペリクル膜４ａは、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース、セルロース誘導体又は含フッ素ポリマーなどの透明な高分子膜である。ペリクルフレーム４ｂは、フォトマスクやレティクルなど（不図示）の形状に合わせた形状を有し、厚さ及び幅が数ミリ程度のペリクル枠体である。マスク用粘着材層４ｃは、粘着材が塗着された層であり、粘着材の接着力を維持するために、その表面に保護フィルムが粘着されている。このため、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向とは、ペリクル膜４ａが持ち上げられるペリクルフレーム４ｂの厚さ方向であり、図１において上下方向を示す。 The pellicle 4 stored in the pellicle storage container 1 includes a pellicle frame 4b having a substantially square ring shape that matches the shape of a photomask or a reticle (not shown), and a pellicle that is stretched and bonded to the upper edge surface of the pellicle frame 4b. A film 4a and a mask adhesive layer 4c applied to the lower edge surface of the pellicle frame 4b are provided. The pellicle film 4a is a transparent polymer film such as nitrocellulose, a cellulose derivative, or a fluorine-containing polymer having a thickness of 10 μm or less. The pellicle frame 4b is a pellicle frame having a shape matching a shape of a photomask, a reticle, or the like (not shown), and having a thickness and width of about several millimeters. The mask adhesive layer 4c is a layer coated with an adhesive, and a protective film is adhered to the surface of the mask adhesive 4c in order to maintain the adhesive strength of the adhesive. Therefore, the height direction of the pellicle frame 4b is the thickness direction of the pellicle frame 4b in which the pellicle film 4a is lifted, and shows the vertical direction in FIG.

トレイ２及び蓋３の材質は、エンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、金属等が好ましい。軽量化、成型性の観点から、プラスチック素材が選択される場合が多く、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いることができる。更に、トレイ２及び蓋３の材質は、上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることもできる。上記の樹脂には、静電気による異物付着を防止するために制電性を付与しても良い。また、繊維強化プラスチックも用いることができる。金属を選択する場合、軽量化の観点から、アルミニウム等が用いられる。 The material of the tray 2 and the lid 3 is preferably engineering plastic, reinforced plastic, metal or the like. From the viewpoint of weight reduction and moldability, plastic materials are often selected, and acrylic resin, acrylonitrile resin, polycarbonate resin, polyethylene terephthalate resin, acrylonitrile / butadiene / styrene resin, and the like can be used. Further, as the material of the tray 2 and the lid 3, in addition to the above resins, polyester resins other than polyethylene terephthalate, olefin resins such as polyethylene and polypropylene, polystyrene resins such as polystyrene, acrylonitrile / styrene resin, and the like can be used. The above resin may be imparted with antistatic properties in order to prevent foreign matter adhesion due to static electricity. Fiber reinforced plastics can also be used. When selecting a metal, aluminum etc. are used from a viewpoint of weight reduction.

トレイ２及び蓋３は、上述の材質を用いて、真空成形、射出成形、または貼り合せ等の組立にて製造することができる。特に、大型のトレイ２や蓋３を採用する場合は、真空成形により製造することが好ましい。トレイ２や蓋３の厚さは、１ｍｍ〜１０ｍｍが好ましい。 The tray 2 and the lid 3 can be manufactured by assembling such as vacuum molding, injection molding, or bonding using the above-described materials. In particular, when a large tray 2 or a lid 3 is employed, it is preferable to manufacture by vacuum forming. The thickness of the tray 2 or the lid 3 is preferably 1 mm to 10 mm.

トレイ２及び蓋３の寸法は、収納されるペリクル４の大きさに応じて設定されており、収納するペリクル４より少し大きい寸法を有している。 The dimensions of the tray 2 and the lid 3 are set according to the size of the pellicle 4 to be stored, and are slightly larger than the pellicle 4 to be stored.

また、蓋３は、内部を確認しやすくするために透明または半透明であることが好ましく、トレイ２は、付着した異物を確認しやすくするために黒色であることが好ましい。 The lid 3 is preferably transparent or translucent for easy confirmation of the inside, and the tray 2 is preferably black for easy confirmation of attached foreign matter.

トレイ２と蓋３とは、互いの周縁部で嵌合するようになっており、トレイ２と蓋３との間の隙間は、外部からの異物侵入を防ぐために出来るだけ狭い方が好ましい。 The tray 2 and the lid 3 are fitted to each other at the peripheral edge, and the gap between the tray 2 and the lid 3 is preferably as narrow as possible in order to prevent entry of foreign matter from the outside.

図２及び図３に示すように、トレイ２は、蓋３と対向する側に開口部を有するトレイ中央底面５と、ペリクル４が載置される載置台６と、蓋３との嵌合部７と、を備える。 As shown in FIGS. 2 and 3, the tray 2 includes a tray central bottom surface 5 having an opening on the side facing the lid 3, a mounting table 6 on which the pellicle 4 is placed, and a fitting portion between the lid 3. 7.

（載置台の段差）
載置台６は、トレイ中央底面５の周囲からトレイ２の天面側であってペリクル４を載置する側に***している。そして、載置台６は、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向の段差を有しており、載置台６の***した最も高い水平部分１３にペリクル４が載置される。 (Steps on the mounting table)
The mounting table 6 protrudes from the periphery of the tray center bottom surface 5 to the top surface side of the tray 2 and to the side on which the pellicle 4 is mounted. The mounting table 6 has a step in the height direction of the pellicle frame 4 b, and the pellicle 4 is mounted on the highest horizontal portion 13 on which the mounting table 6 is raised.

載置台６におけるトレイ２の外縁側には、水平部分１３から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部１４ａと、第一垂直面部１４ａの下端からトレイ２の外縁方向に向けて略水平に延出する第一水平面部１５ａと、第一水平面部１５ａの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がり嵌合部７に続く第二垂直面部１６ａと、が形成されている。 On the outer edge side of the tray 2 in the mounting table 6, a first vertical surface portion 14 a that falls substantially downward in the vertical direction from the horizontal portion 13, and extends substantially horizontally from the lower end of the first vertical surface portion 14 a toward the outer edge direction of the tray 2. A first horizontal surface portion 15a is formed, and a second vertical surface portion 16a is formed which descends substantially downward in the vertical direction from the tip of the first horizontal surface portion 15a and continues to the fitting portion 7.

また、載置台６におけるトレイ中央底面５側には、水平部分１３から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部１４ｂと、第一垂直面部１４ｂの下端からトレイ２の中心方向（トレイ中央底面５側）に向けて略水平に延出する第一水平面部１５ｂと、第一水平面部１５ｂの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がりトレイ中央底面５に続く第二垂直面部１６ｂと、が形成されている。 Also, on the side of the tray center bottom surface 5 in the mounting table 6, a first vertical surface portion 14 b that falls substantially downward in the vertical direction from the horizontal portion 13, and the center direction of the tray 2 (tray center bottom surface 5 from the lower end of the first vertical surface portion 14 b. A first horizontal plane portion 15b extending substantially horizontally toward the side), and a second vertical plane portion 16b falling further downward in a substantially vertical direction from the tip of the first horizontal plane portion 15b and continuing to the tray center bottom surface 5. ing.

このように、水平部分１３、第一垂直面部１４ａ、第一水平面部１５ａ及び第二垂直面部１６ａにより、載置台６のトレイ２の外縁側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向の段差８（第三段差）が形成され、水平部分１３、第一垂直面部１４ｂ、第一水平面部１５ｂ及び第二垂直面部１６ｂにより、載置台６のトレイ中央底面５側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向の段差９（第一段差）が形成される。 As described above, the horizontal portion 13, the first vertical surface portion 14a, the first horizontal surface portion 15a, and the second vertical surface portion 16a are provided on the outer edge side of the tray 2 of the mounting table 6 in the height direction step 8 (first step) of the pellicle frame 4b. 3 steps), and a step in the height direction of the pellicle frame 4b on the tray center bottom surface 5 side of the mounting table 6 by the horizontal portion 13, the first vertical surface portion 14b, the first horizontal surface portion 15b, and the second vertical surface portion 16b. 9 (first step) is formed.

なお、第一垂直面部１４ａ，１４ｂ、第二垂直面部１６ａ，１６ｂ、第一水平面部１５ａ，１５ｂの長さは、ペリクルの大きさによって変動するものであり、それぞれ同じであってもよく、違っていてもよい。 The lengths of the first vertical surface portions 14a and 14b, the second vertical surface portions 16a and 16b, and the first horizontal surface portions 15a and 15b vary depending on the size of the pellicle, and may be the same or different. It may be.

そして、載置台６の角部６ａ付近に配置される第一水平面部１５ｂの４つの角部Ａが略三角形状になるように、第二垂直面部１６ｂが、トレイ２外形の対角線を横切る位置に配置されている。すなわち、段差９は、載置台６の角部６ａ付近に配置される第一水平面部１５ｂの角部Ａが略三角形状に形成されるとともに、第二垂直面部１６ｂがトレイ２外形の対角線と交差する位置に配置される。このように段差９を形成することで、トレイ２の捩れに対する剛性が高まり、かつ、載置台６の平坦性をも保つ事ができる。 As the first horizontal surface section 15 four corners A of b disposed near the corner portion 6a of the mounting table 6 is substantially triangular shape, the second vertical surface portion 16b is, across the diagonal of the tray 2 outline position Is arranged. That is, step 9, together with the corner portion A of the first horizontal surface section 15 b disposed near the corner portion 6a of the mounting table 6 is formed in a substantially triangular shape, the diagonal of the second vertical surface portion 16b tray 2 outline It is arranged at the crossing position. By forming the step 9 in this way, the rigidity against the twist of the tray 2 is increased, and the flatness of the mounting table 6 can be maintained.

ここで、図７を参照して、第一水平面部１５ｂの角部Ａに形成される略三角形状の寸法等について説明する。 Here, with reference to FIG. 7, the dimensions of the substantially triangular shape or the like formed on the corner portion A of the first horizontal surface section 15 b.

図７に示すように、トレイ２外形の長辺の長さをＸとし、角部Ａに形成される略三角形状におけるトレイ２外形の長辺に平行な辺の長さをｘとする。この場合、トレイ２外形長辺の長さＸに対するトレイ２外形長辺に平行な三角形状の辺の長さｘの割合（ｘ／Ｘ）は、５〜３０％が好ましく、８〜２５％がより好ましく、１０〜２０％が更に好ましい。このように、トレイ２外形長辺の長さＸに対するトレイ２外形長辺に平行な三角形状の辺の長さｘの割合をこのような範囲とすると、特に剛性が高まり好ましい。そこで、本実施形態では、トレイ２外形長辺の長さＸに対するトレイ２外形長辺に平行な三角形状の辺の長さｘの割合（ｘ／Ｘ）を、１４％とする。 As shown in FIG. 7, the length of the long side of the outer shape of the tray 2 is X, and the length of the side parallel to the long side of the outer shape of the tray 2 in the substantially triangular shape formed at the corner A is x. In this case, the ratio (x / X) of the length x of the triangular shape parallel to the outer long side of the tray 2 to the length X of the outer long side of the tray 2 is preferably 5 to 30%, and 8 to 25%. More preferred is 10 to 20%. Thus, when the ratio of the length x of the triangular side parallel to the outer long side of the tray 2 to the length X of the outer long side of the tray 2 is within such a range, the rigidity is particularly increased, which is preferable. Therefore, in this embodiment, the ratio (x / X) of the length x of the triangular side parallel to the outer long side of the tray 2 to the length X of the outer long side of the tray 2 is 14%.

また、トレイ２外形の短辺の長さをＹとし、角部Ａに形成される略三角形状におけるトレイ２外形の短辺に平行な辺の長さをｙとする。この場合、トレイ２外形短辺の長さＹに対するトレイ２外形短辺に平行な三角形状の辺の長さｙの割合（ｙ／Ｙ）は、１０〜４０％が好ましく、１５〜３５％がより好ましい。このように、トレイ２外形短辺の長さＹに対するトレイ２外形短辺に平行な三角形状の辺の長さｙの割合をこのような範囲とすると、特に剛性が高まり好ましい。そこで、本実施形態では、トレイ２外形短辺の長さＹに対するトレイ２外形短辺に平行な三角形状の辺の長さｙの割合（ｙ／Ｙ）を、１７．５％とする。 Further, the length of the short side of the outer shape of the tray 2 is Y, and the length of the side parallel to the short side of the outer shape of the tray 2 in the substantially triangular shape formed at the corner A is y. In this case, the ratio (y / Y) of the length y of the triangular shape parallel to the outer short side of the tray 2 to the length Y of the outer short side of the tray 2 is preferably 10 to 40%, and preferably 15 to 35%. More preferred. Thus, if the ratio of the length y of the triangular side parallel to the outer short side of the tray 2 to the length Y of the outer short side of the tray 2 is within such a range, the rigidity is particularly increased, which is preferable. Therefore, in this embodiment, the ratio (y / Y) of the length y of the triangular side parallel to the outer short side of the tray 2 to the length Y of the outer short side of the tray 2 is 17.5%.

また、トレイ２外形の対角線と第二垂直面部１６ｂとのなす角は、３０〜１１０°が好ましく、７０〜１００°がより好ましく、９０°が最も好ましい。 Further, the angle formed by the diagonal line of the outer shape of the tray 2 and the second vertical surface portion 16b is preferably 30 to 110 °, more preferably 70 to 100 °, and most preferably 90 °.

なお、載置台６に形成する段差は、２段以上あることが好ましく、載置台６自体が狭いため、２〜３段がより好ましい。成形性等の関係から、載置台６に形成する段差は、２〜３段が好ましい。 In addition, it is preferable that the level | step difference formed in the mounting base 6 has two steps or more, and since the mounting base 6 itself is narrow, 2-3 steps | paragraphs are more preferable. In view of moldability and the like, the level difference formed on the mounting table 6 is preferably 2 to 3 levels.

また、載置台６に形成する段差が載置台６の両側に形成される為、バランスがよく剛性も高い。そして、水平部分１３の平坦性にも優れる。水平部分１３はペリクルフレーム４ｂが載置される場所であるため、水平部分１３の平坦性が悪くなると、マスク用粘着材層４ｃの粘着材が、水平部分１３の平坦性の悪さに追随して変形し、マスクへの貼付時に、エアーパス等の問題が発生する場合がある。 Further, since the steps formed on the mounting table 6 are formed on both sides of the mounting table 6, the balance is good and the rigidity is high. And the flatness of the horizontal part 13 is also excellent. Since the horizontal portion 13 is a place where the pellicle frame 4b is placed, if the flatness of the horizontal portion 13 deteriorates, the adhesive material of the mask adhesive layer 4c follows the poor flatness of the horizontal portion 13. Deformation may cause problems such as an air pass when sticking to a mask.

（曲率半径）
そして、水平部分１３と第一垂直面部１４ａ、第一垂直面部１４ａと第一水平面部１５ａ、第一水平面部１５ａと第二垂直面部１６ａ、第二垂直面部１６ａと嵌合部７、水平部分１３と第一垂直面部１４ｂ、第一垂直面部１４ｂと第一水平面部１５ｂ、第一水平面部１５ｂと第二垂直面部１６ｂ、第二垂直面部１６ｂとトレイ中央底面５とは、それぞれ所定の曲率半径を持つ接続構造とすることが好ましい。これらが直角に接続されていると、応力は頂点に集中する傾向にあるため、この接続部分に集中応力が作用する。これに対し、この接続部分に若干曲率半径を持たせることで、応力の分散を図ることもでき、成形時の樹脂の流れや離型にも有効に働く。曲率半径は、２ｍｍ〜３０ｍｍであることが好ましく、より好ましくは２ｍｍ〜２０ｍｍ、更に好ましくは２ｍｍ〜１５ｍｍである。更に、これらの段差が成す角度は、必ずしも９０°に限定されるものではなく、適宜設定され、トレイ２の製造の観点などから、これらの角度を鈍角としても良い。 (curvature radius)
The horizontal portion 13 and the first vertical surface portion 14a, the first vertical surface portion 14a and the first horizontal surface portion 15a, the first horizontal surface portion 15a and the second vertical surface portion 16a, the second vertical surface portion 16a and the fitting portion 7, and the horizontal portion 13 And the first vertical surface portion 14b, the first vertical surface portion 14b and the first horizontal surface portion 15b, the first horizontal surface portion 15b and the second vertical surface portion 16b, the second vertical surface portion 16b and the tray center bottom surface 5 each have a predetermined radius of curvature. It is preferable to have a connection structure. If they are connected at a right angle, the stress tends to concentrate on the apex, so that concentrated stress acts on this connecting portion. On the other hand, by providing a slight radius of curvature at the connecting portion, it is possible to disperse the stress, and it also works effectively for resin flow and mold release during molding. The radius of curvature is preferably 2 mm to 30 mm, more preferably 2 mm to 20 mm, and still more preferably 2 mm to 15 mm. Furthermore, the angles formed by these steps are not necessarily limited to 90 °, but are set as appropriate, and these angles may be obtuse from the viewpoint of manufacturing the tray 2.

（嵌合部）
嵌合部７は、載置台６の外周縁から水平方向に延びる外延部７ａと、外延部７ａの周端部から上方に延びる最外延部７ｂと、を備えている。そして、この嵌合部７は、蓋３に対応する形状となっており、トレイ２に蓋３が被せられた際に、蓋３と密着可能となっている。なお、嵌合部７は、更に最外延部７ｂの周端部から外方に延びる縁部（不図示）を備えても良い。 (Fitting portion)
The fitting portion 7 includes an extended portion 7a extending in the horizontal direction from the outer peripheral edge of the mounting table 6, and an outermost extended portion 7b extending upward from the peripheral end portion of the extended portion 7a. The fitting portion 7 has a shape corresponding to the lid 3 and can be brought into close contact with the lid 3 when the tray 3 is covered with the lid 3. The fitting portion 7 may further include an edge portion (not shown) extending outward from the peripheral end portion of the outermost extending portion 7b.

［第二実施形態］
次に、図４及び図５を参照して、第２の実施形態に係るペリクル収納容器について説明する。図４は、第２の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。図５は、図４に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。図６は、図５に示すＶＩ−ＶＩ線断面図である。 [Second Embodiment]
Next, a pellicle storage container according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the overall configuration of the pellicle storage container according to the second embodiment. FIG. 5 is a schematic front view showing a tray of the pellicle storage container shown in FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI shown in FIG.

（収納容器）
ペリクル収納容器２１は、基本的に第１の実施形態に係るペリクル収納容器１と同じであり、トレイの形状のみ、第１の実施形態に係るペリクル収納容器１と相違する。このため、以下では、第１の実施形態に係るペリクル収納容器１と相違する部分のみを説明し、その他の説明を省略する。 (Storage container)
The pellicle storage container 21 is basically the same as the pellicle storage container 1 according to the first embodiment, and only the shape of the tray is different from the pellicle storage container 1 according to the first embodiment. For this reason, below, only a different part from the pellicle storage container 1 which concerns on 1st Embodiment is demonstrated, and other description is abbreviate | omitted.

図４に示すように、ペリクル収納容器２１は、ペリクル４が載置されるトレイ２２と、トレイ２２の天面を覆う蓋３とにより構成される。そして、トレイ２２と蓋３とは、粘着テープ等（図示しない）で密封固定するか、クリップ等（図示しない）の締結具で固定される。 As shown in FIG. 4, the pellicle storage container 21 includes a tray 22 on which the pellicle 4 is placed and a lid 3 that covers the top surface of the tray 22. The tray 22 and the lid 3 are sealed and fixed with an adhesive tape or the like (not shown), or fixed with a fastener such as a clip or the like (not shown).

図５及び図６に示すように、トレイ２２は、蓋３と対向する側に開口部を有するトレイ中央底面２５と、ペリクル４が載置される載置台２６と、蓋３との嵌合部２７と、を備える。 As shown in FIGS. 5 and 6, the tray 22 includes a tray central bottom surface 25 having an opening on the side facing the lid 3, a mounting table 26 on which the pellicle 4 is placed, and a fitting portion between the lid 3. 27.

（トレイ中央底面の段差）
トレイ中央底面２５には、自動取り出しの吸着に影響が無いように、一対の段差３７がペリクルフレーム４ｂの高さ方向に形成されている。段差３７は、載置台２６の長辺側の近傍に配置された略三角形状の窪みであり、トレイ中央底面２５から垂直方向下方に立ち下がる垂直面部３７ａと、垂直面部３７ａの下端縁に接続された平面状の底面部３７ｂと、が形成されている。 (Step on the bottom of the tray center)
A pair of steps 37 are formed in the height direction of the pellicle frame 4b on the tray center bottom surface 25 so as not to affect the automatic pickup suction. The step 37 is a substantially triangular recess disposed in the vicinity of the long side of the mounting table 26, and is connected to the vertical surface portion 37 a that falls vertically downward from the tray bottom surface 25 and the lower edge of the vertical surface portion 37 a. And a flat bottom surface portion 37b.

（載置台の段差）
載置台２６は、トレイ中央底面２５の周縁からペリクル４を載置する側に***している。そして、載置台２６は、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向に段差を有しており、載置台２６の***した最も高い水平部分３３にペリクル４が載置される。 (Steps on the mounting table)
The mounting table 26 protrudes from the peripheral edge of the tray center bottom surface 25 to the side on which the pellicle 4 is mounted. The mounting table 26 has a step in the height direction of the pellicle frame 4 b, and the pellicle 4 is mounted on the highest horizontal portion 33 where the mounting table 26 is raised.

載置台２６におけるトレイ２の外縁側には、水平部分３３から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部３４ａと、第一垂直面部３４ａの下端からトレイ２の外縁方向に向けて略水平に延出する第一水平面部３５ａと、第一水平面部３５ａの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がり嵌合部２７に続く第二垂直面部３６ａと、が形成されている。 On the outer edge side of the tray 2 in the mounting table 26, a first vertical surface portion 34 a that falls substantially vertically downward from the horizontal portion 33, and extends substantially horizontally from the lower end of the first vertical surface portion 34 a toward the outer edge direction of the tray 2. A first horizontal surface portion 35a to be taken out, and a second vertical surface portion 36a that continues from the tip of the first horizontal surface portion 35a further downward in a substantially vertical direction and continues to the fitting portion 27 are formed.

また、載置台２６におけるトレイ中央底面５側には、水平部分３３から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部３４ｂと、第一垂直面部３４ｂの下端からトレイ２の中心方向（トレイ中央底面５側）に向けて略水平に延出する第一水平面部３５ｂと、第一水平面部３５ｂの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がりトレイ中央底面５に続く第二垂直面部３６ｂと、が形成されている。 Further, on the side of the tray center bottom surface 5 in the mounting table 26, a first vertical surface portion 34b that falls substantially vertically downward from the horizontal portion 33, and a center direction of the tray 2 (tray center bottom surface 5 from the lower end of the first vertical surface portion 34b). A first horizontal surface portion 35b extending substantially horizontally toward the side), and a second vertical surface portion 36b falling further downward in a substantially vertical direction from the tip of the first horizontal surface portion 35b and continuing to the tray center bottom surface 5. ing.

このように、水平部分３３、第一垂直面部３４ａ、第一水平面部３５ａ及び第二垂直面部３６ａにより、載置台２６のトレイ２の外縁側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向の段差２８が形成され、水平部分３３、第一垂直面部３４ｂ、第一水平面部３５ｂ及び第二垂直面部３６ｂにより、載置台２６のトレイ中央底面５側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向の段差２９が形成される。 As described above, the horizontal portion 33, the first vertical surface portion 34a, the first horizontal surface portion 35a, and the second vertical surface portion 36a form a step 28 in the height direction of the pellicle frame 4b on the outer edge side of the tray 2 of the mounting table 26. Then, a step 29 in the height direction of the pellicle frame 4b is formed on the tray center bottom surface 5 side of the mounting table 26 by the horizontal portion 33, the first vertical surface portion 34b, the first horizontal surface portion 35b, and the second vertical surface portion 36b. .

そして、載置台２６の角部２６ａ付近に配置される第一水平面部３５ｂの４つの角部Ｂが略三角形状になるように、第二垂直面部３６ｂが、トレイ２外形の対角線を横切る位置に配置されている。 As the four corners of the first horizontal portion 35 b B disposed near the corners 26a of the mounting table 26 is in a substantially triangular shape, the second vertical surface portion 36b is, across the diagonal of the tray 2 outline position Is arranged.

ここで、第一水平面部３５ｂの角部Ｂに形成される略三角形状の寸法等の範囲は、基本的に第１の実施形態で説明した第一水平面部１５ｂの角部Ａに形成される略三角形状の寸法等の範囲と同様である（図７参照）。そこで、第２の実施形態では、トレイ２２外形長辺の長さＸに対するトレイ２２外形長辺に平行な三角形状の辺の長さｘの割合（ｘ／Ｘ）を、１５％とし、トレイ２２外形短辺の長さＹに対するトレイ２２外形短辺に平行な三角形状の辺の長さｙの割合（ｙ／Ｙ）を、３３％とする。 Here, the corners range of dimensions of the substantially triangular shape is formed in the B of the first horizontal surface portion 35 b is essentially formed at the corner portion A of the first horizontal surface section 15 b described in the first embodiment This is the same as the range of the substantially triangular size (see FIG. 7). Therefore, in the second embodiment, the ratio (x / X) of the length x of the triangular side parallel to the outer long side of the tray 22 to the length X of the outer long side of the tray 22 is 15%, and the tray 22 The ratio (y / Y) of the length y of the triangular side parallel to the outer short side of the tray 22 to the length Y of the outer short side is 33%.

また、載置台２６の長辺側は、第一垂直面部３４ｂのみが形成されており、第一水平面部３５ｂ及び第二垂直面部３６ｂは形成されていない。 Further, on the long side of the mounting table 26, only the first vertical surface portion 34b is formed, and the first horizontal surface portion 35b and the second vertical surface portion 36b are not formed.

すなわち、段差２９は、載置台２６の角部２６ａ付近に配置される第一水平面部３５ｂの角部Ｂが略三角形状に形成されるとともに、第二垂直面部３６ｂがトレイ２外形の対角線と交差する位置に配置される。そして、載置台２６の長辺側には段差２８が設けられていないが、その代わり、トレイ中央底面５における載置台２６の近傍に、段差３７が設けられている。なお、このように、載置台２６の長辺側には、片側だけ段差を設けても良く、両側に段差を設けてもよい。

That is, step 29, together with the corner portion of the first horizontal portion 35 b B disposed near the corners 26a of the mounting table 26 is formed in a substantially triangular shape, and the diagonal of the second vertical surface portion 36b Tray 2 outline It is arranged at the crossing position. A step 28 is not provided on the long side of the mounting table 26, but instead, a step 37 is provided in the vicinity of the mounting table 26 on the tray center bottom surface 5. As described above, on the long side of the mounting table 26, a step may be provided only on one side, or a step may be provided on both sides.

（曲率半径）
そして、水平部分３３と第一垂直面部３４ａ、第一垂直面部３４ａと第一水平面部３５ａ、第一水平面部３５ａと第二垂直面部３６ａ、第二垂直面部３６ａと嵌合部２７、水平部分３３と第一垂直面部３４ｂ、第一垂直面部３４ｂと第一水平面部３５ｂ、第一水平面部３５ｂと第二垂直面部３６ｂ、第二垂直面部３６ｂとトレイ中央底面５だけでなく、トレイ中央底面２５と垂直面部３７ａ、垂直面部３７ａと底面部３７ｂとも、それぞれ所定の曲率半径を持つ接続構造とすることが好ましい。これらが直角に接続されていると、応力は頂点に集中する傾向にあるため、この接続部分に集中応力が作用する。これに対し、この接続部分に若干曲率半径を持たせることで、応力の分散を図ることもでき、成形時の樹脂の流れや離型にも有効に働く。曲率半径は、２ｍｍ〜３０ｍｍであることが好ましく、より好ましくは２ｍｍ〜２０ｍｍ、更に好ましくは２ｍｍ〜１５ｍｍである。更に、これらの段差が成す角度は、必ずしも９０°に限定されるものではなく、適宜設定され、トレイ２の製造の観点などから、これらの角度を鈍角としても良い。 (curvature radius)
The horizontal portion 33 and the first vertical surface portion 34a, the first vertical surface portion 34a and the first horizontal surface portion 35a, the first horizontal surface portion 35a and the second vertical surface portion 36a, the second vertical surface portion 36a and the fitting portion 27, and the horizontal portion 33 And the first vertical surface portion 34b, the first vertical surface portion 34b and the first horizontal surface portion 35b, the first horizontal surface portion 35b and the second vertical surface portion 36b, the second vertical surface portion 36b and the tray central bottom surface 5 as well as the tray central bottom surface 25 It is preferable that each of the vertical surface portion 37a, the vertical surface portion 37a, and the bottom surface portion 37b has a connection structure having a predetermined radius of curvature. If they are connected at a right angle, the stress tends to concentrate on the apex, so that concentrated stress acts on this connecting portion. On the other hand, by providing a slight radius of curvature at the connecting portion, it is possible to disperse the stress, and it also works effectively for resin flow and mold release during molding. The radius of curvature is preferably 2 mm to 30 mm, more preferably 2 mm to 20 mm, and still more preferably 2 mm to 15 mm. Furthermore, the angles formed by these steps are not necessarily limited to 90 °, but are set as appropriate, and these angles may be obtuse from the viewpoint of manufacturing the tray 2.

（嵌合部）
嵌合部２７は、載置台２６の外周縁から水平方向に延びる外延部２７ａと、外延部２７ａの周端部から上方に延びる最外延部２７ｂと、を備えている。そして、この嵌合部２７は、蓋３に対応する形状となっており、トレイ２に蓋３が被せられた際に、蓋３と密着可能となっている。なお、嵌合部２７は、更に最外延部７ｂの周端部から外方に延びる縁部（不図示）を備えても良い。 (Fitting portion)
The fitting portion 27 includes an outer extending portion 27a extending in the horizontal direction from the outer peripheral edge of the mounting table 26, and an outermost extending portion 27b extending upward from the peripheral end portion of the outer extending portion 27a. The fitting portion 27 has a shape corresponding to the lid 3 and can be brought into close contact with the lid 3 when the tray 3 is covered with the lid 3. The fitting portion 27 may further include an edge portion (not shown) extending outward from the peripheral end portion of the outermost extending portion 7b.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to such examples. It is obvious for those skilled in the art that various modifications or modifications can be conceived within the scope of the idea described in the claims, and these naturally belong to the technical scope of the present invention. It is understood.

例えば、第１の実施形態において、載置台６の第二垂直面部１６ｂは、直線状（平面状）であるものとして説明したが、その形状に限定されるものではなく、例えば、図７の１６ｂ’に示すように、凹型の円弧状（曲面状）であってもよく、図７の１６ｂ’’に示すように、凸型の円弧状（曲面状）であってもよい。この場合、トレイ２外形の対角線と第二垂直面部１６ｂとのなす角は、トレイ２外形の対角線と第二垂直面部１６ｂとが交差する位置における第二垂直面部１６ｂの接線と、トレイ２外形の対角線とのなす角で表される。なお、第２の実施形態の第二垂直面部３６ｂも同様である。 For example, in the first embodiment, the second vertical surface portion 16b of the mounting table 6 has been described as being linear (planar), but is not limited to that shape. For example, 16b in FIG. As shown by ', a concave arcuate shape (curved surface) may be used, and as shown by 16b' 'in FIG. 7, a convex arcuate shape (curved surface) may be used. In this case, the angle formed between the diagonal line of the outer shape of the tray 2 and the second vertical surface portion 16b is equal to the tangent line of the second vertical surface portion 16b at the position where the diagonal line of the outer shape of the tray 2 intersects the second vertical surface portion 16b. It is represented by the angle formed with the diagonal line. The same applies to the second vertical surface portion 36b of the second embodiment.

また、載置台６は、必ずしも完全な環状である必要は無く、例えば、トレイ２外形の短辺に平行な部分のみで形状されても良く、トレイ２外形の長辺に平行な部分のみやトレイ２外形の短辺に平行な部分のみで形成されても良い。また、この載置台６は、トレイ２外形の短辺又は長辺に平行な部分を中心としたコの字型であって、互いに向かい合った形に形成されても良い。 Further, the mounting table 6 does not necessarily have a complete annular shape. For example, the mounting table 6 may be formed by only a portion parallel to the short side of the outer shape of the tray 2, or only a portion parallel to the long side of the outer shape of the tray 2 or the tray. You may form only in the part parallel to the short side of 2 external shape. Further, the mounting table 6 is a U-shape centered on a short side of the outer shape of the tray 2 or a portion parallel to the long side, and may be formed to face each other.

以下に具体的な実施例及び比較例を示すと共に、それらの評価について詳細に説明する。 Specific examples and comparative examples will be shown below, and their evaluation will be described in detail.

［実施例１］
実施例１は、第２の実施形態に係るペリクル収納容器を採用し、このペリクル収納容器のトレイは、外径寸法が幅１０００ｍｍ×奥行き１６００ｍｍ、高さ６０ｍｍ、厚さ６ｍｍとなるように、ＡＢＳ樹脂製の真空成型品を用いた。そして、載置台における外縁側の段差を２段とし、載置台におけるトレイ中央底面側の段差を２段とし、更に、載置台の角部付近の第一水平面部を三角形状とし、更に、トレイ中央底面に、三角形状の段差を設けた（図４参照）。 [Example 1]
Example 1 employs the pellicle storage container according to the second embodiment, and the tray of this pellicle storage container has an ABS so that the outer diameter is 1000 mm wide × 1600 mm deep, 60 mm high, and 6 mm thick. A resin vacuum molded product was used. Then, the step on the outer edge side of the mounting table has two steps, the step on the bottom surface side of the tray center of the mounting table has two steps, and the first horizontal surface portion near the corner of the mounting table has a triangular shape, and further the center of the tray A triangular step was provided on the bottom surface (see FIG. 4).

実験室の机上に、上述した実施例１のペリクル収納容器を設置し、ペリクル収納容器の３箇所の角部を机と一緒に挟み込み固定し、残った１箇所の角部を吊り量りで２．５ｋｇｆの力で引っ張って、ペリクル収納容器の反り（変形量）を金尺で測定した。その時の膜シワを確認した。計測結果を表１に示す。 1. Place the pellicle storage container of Example 1 described above on the desk in the laboratory, pinch and fix the three corners of the pellicle storage container together with the desk, and lift the remaining one corner by 2. Pulling with a force of 5 kgf, the warpage (deformation amount) of the pellicle storage container was measured with a metal scale. The film wrinkle at that time was confirmed. Table 1 shows the measurement results.

［実施例２］
実施例２は、第１の実施形態に係るペリクル収納容器を採用し、このペリクル収納容器のトレイは、外径寸法が幅９５０ｍｍ×奥行き１４００ｍｍ、高さ８５ｍｍ、厚さ５ｍｍとなるように、ＡＢＳ樹脂製の真空成型品を用いた。そして、載置台における外縁側の段差を２段とし、載置台におけるトレイ内側底面側の段差を２段とし（図２参照）、それ以外は、実施例１と同様の実験を行った。計測結果を表１に示す。 [Example 2]
Example 2 employs the pellicle storage container according to the first embodiment, and the tray of this pellicle storage container has an ABS so that the outer diameter is 950 mm wide × 1400 mm deep, 85 mm high, and 5 mm thick. A resin vacuum molded product was used. The steps on the outer edge side of the mounting table were set to two steps, and the steps on the tray inner bottom surface side of the mounting table were set to two steps (see FIG. 2). Table 1 shows the measurement results.

［比較例１］
比較例１は、実施例１のペリクル収納容器において、載置台を***させず、載置台の内側に配置されるトレイ中央底面にのみ段差を設けたものを採用し、実施例１と同様に行った。計測結果を表１に示す。 [Comparative Example 1]
Comparative Example 1 is the same as in Example 1 except that the pellicle storage container of Example 1 is provided with a step only on the bottom surface of the center of the tray disposed inside the mounting table without raising the mounting table. It was. Table 1 shows the measurement results.

［比較例２］
比較例２は、実施例１のペリクル収納容器において、***した載置台に段差がないものを採用し、実施例１と同様に行った。計測結果を表１に示す。 [Comparative Example 2]
Comparative Example 2 was performed in the same manner as in Example 1 except that the pellicle storage container of Example 1 had a raised mounting table with no step. Table 1 shows the measurement results.

［比較例３］
比較例３は、実施例２のペリクル収納容器において、***した載置台に段差がないものを採用し、実施例１と同様に行った。計測結果を表１に示す。 [Comparative Example 3]
Comparative Example 3 was performed in the same manner as in Example 1 except that the pellicle storage container in Example 2 had a raised mounting table with no step. Table 1 shows the measurement results.

表１に示すように、比較例１〜３は、何れも膜シワが確認されたが、実施例１及び２は、何れも膜シワが確認されなかった。

As shown in Table 1, in Comparative Examples 1 to 3, film wrinkles were confirmed, but in Examples 1 and 2, film wrinkles were not confirmed.

本発明は、ペリクル収納容器として利用することができる。 The present invention can be used as a pellicle storage container.

１…ペリクル収納容器、２…トレイ、３…蓋、４…ペリクル、４ａ…ペリクル膜、４ｂ…ペリクルフレーム、４ｃ…マスク用粘着材層、５…トレイ中央底面、６…載置台、６ａ…角部、７…嵌合部、７ａ…外延部、７ｂ…最外延部、８…段差（第三段差）、９…段差（第一段差）、１３…水平部分、１４ａ…第一垂直面部、１４ｂ…第一垂直面部、１５ａ…第一水平面部、１５ｂ…第一水平面部、１６ａ…第二垂直面部、１６ｂ…第二垂直面部、２１…ペリクル収納容器、２２…トレイ、２５…トレイ中央底面、２６…載置台、２６ａ…角部、２６ｂ…載置台、２７…嵌合部、２７ａ…外延部、２７ｂ…最外延部、２８…段差（第三段差）、２９…段差（第一段差）、３３…水平部分、３４ａ…第一垂直面部、３４ｂ…第一垂直面部、３５ａ…第一水平面部、３５ｂ…第一水平面部、３６ａ…第二垂直面部、３６ｂ…第二垂直面部、３７…段差（第二段差）、３７ａ…垂直面部、３７ｂ…底面部、Ａ…角部、Ｂ…角部。

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Pellicle storage container, 2 ... Tray, 3 ... Lid, 4 ... Pellicle, 4a ... Pellicle film, 4b ... Pellicle frame, 4c ... Mask adhesive layer, 5 ... Tray center bottom surface, 6 ... Mounting stand, 6a ... Corner 7, fitting portion, 7 a, extended portion, 7 b, outermost extended portion, 8, step (third step), 9, step (first step), 13, horizontal portion, 14 a, first vertical surface portion, 14 b ... 1st vertical surface part, 15a ... 1st horizontal surface part, 15b ... 1st horizontal surface part, 16a ... 2nd vertical surface part, 16b ... 2nd vertical surface part, 21 ... Pellicle storage container, 22 ... Tray, 25 ... Tray center bottom face, 26 ... mounting table, 26a ... corner, 26b ... mounting table, 27 ... fitting part, 27a ... extending part, 27b ... outermost extending part, 28 ... step (third step), 29 ... step (first step), 33 ... Horizontal portion, 34a ... First vertical surface portion, 34b ... First vertical surface portion, 35a First horizontal surface portion, 35b ... first horizontal surface portion, 36a ... second vertical surface portion, 36b ... second vertical surface portion, 37 ... step (second step), 37a ... vertical surface portion, 37b ... bottom surface portion, A ... corner portion, B ... Corner.

Claims

ペリクル枠体の一縁面にペリクル膜が展張されたペリクルを載置するトレイと、該トレイの天面に被せる蓋とを有するペリクル収納容器であって、
前記トレイは、トレイ中央底面と、該トレイ中央底面の周囲から天面側に***してペリクルを載置する略角環状の載置台と、を有し、
前記載置台には、前記トレイ中央底面側の角部付近に、前記ペリクル枠体の高さ方向の第一段差が形成され、
前記第一段差は、前記トレイ中央底面から前記ペリクル枠体の高さ方向に立ち上がる垂直面と、略水平に延びる水平面部と、を有し、前記載置台の角部付近に配置される前記水平面部の角部が略三角形状に形成されて、前記垂直面が前記トレイ外形の対角線を横切ることを特徴とする、ペリクル収納容器。 A pellicle storage container having a tray on which a pellicle with a pellicle film stretched on one edge surface of a pellicle frame is placed, and a lid that covers the top surface of the tray,
The tray has a tray center bottom surface, and a substantially square ring-shaped mounting table on which a pellicle is mounted by protruding from the periphery of the tray center bottom surface to the top surface side,
In the mounting table, a first step in the height direction of the pellicle frame is formed in the vicinity of the corner on the bottom side of the tray center,
Wherein the first step includes a vertical surface that rising from the center of the tray bottom in the height direction of the pellicle frame, possess a horizontal portion extending substantially horizontally, and are disposed near the corners of the mounting table The pellicle storage container is characterized in that corners of the horizontal surface portion are formed in a substantially triangular shape, and the vertical surface crosses a diagonal line of the outer shape of the tray .

前記トレイ中央底面の前記載置台近傍に、前記ペリクル枠体の高さ方向の第二段差が形成されることを特徴とする、請求項１に記載のペリクル収納容器。 The pellicle storage container according to claim 1, wherein a second step in the height direction of the pellicle frame is formed in the vicinity of the mounting table on the bottom surface of the center of the tray.

前記載置台の前記トレイの外縁側に、前記ペリクル枠体の高さ方向の段差が形成される第三段差を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載のペリクル収納容器。 3. The pellicle storage container according to claim 1, wherein a third step is formed on the outer edge side of the tray of the mounting table, wherein a step in the height direction of the pellicle frame is formed.

前記第一段差、前記第二段差及び前記第三段差の角部は、曲率半径を有することを特徴とする、請求項１〜３の何れか１項に記載のペリクル収納容器。
The pellicle storage container according to any one of claims 1 to 3, wherein corners of the first step, the second step, and the third step have a radius of curvature.