KR101448327B1 - Pressure-sensitive adhesive tape for the protection of photo masks - Google Patents

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세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 점착성을 갖는 포토레지스트에 밀착하여 반복 사용하더라도 박리성이 저하되지 않고 사용이 가능한 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제공한다. 본 발명은 투명한 기재 필름 또는 시트 (A)와, 그의 한쪽면에 형성된 점착제층 (B)와, 점착제층 (B)의 면과는 반대측의 면에 형성된 표면층 (C)를 포함하는 포토마스크 보호용 점착 테이프로서, 표면층 (C)는 이소시아네이트 실란 (x)와 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 특정한 경화물로 이루어진다.The present invention provides a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask which can be used without deterioration in peelability even when it is repeatedly used in close contact with a photoresist having adhesiveness. The present invention relates to a transparent substrate film or sheet comprising a transparent base film or sheet (A), a pressure-sensitive adhesive layer (B) formed on one side thereof, and a surface layer (C) formed on a surface opposite to the surface of the pressure- As the tape, the surface layer (C) is composed of a specific cured product obtained from a mixture containing an isocyanate silane (x) and a siloxane (y) having a hydroxyl group at the terminal.

투명한 기재 필름 또는 시트, 점착제층, 표면층, 포토마스크 보호용 점착 테이프, 이소시아네이트 실란, 말단에 수산기를 갖는 실록산 A transparent substrate film or sheet, a pressure-sensitive adhesive layer, a surface layer, a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask, an isocyanate silane, a siloxane having a hydroxyl group at the terminal

Description

포토마스크 보호용 점착 테이프{PRESSURE-SENSITIVE ADHESIVE TAPE FOR THE PROTECTION OF PHOTO MASKS}[0001] PRESSURE-SENSITIVE ADHESIVE TAPE FOR THE PROTECTION OF PHOTO MASKS [0002]

본 발명은 포토마스크 보호용 점착 테이프에 관한 것이며, 더욱 상세하게는, 인쇄 기판 형성 공정에서 사용되는 포토마스크를 보호하는 포토마스크 보호용 점착 테이프로서, 점착성을 갖는 포토레지스트에 밀착하여 반복 사용하더라도 박리성이 저하되지 않고 사용이 가능한 포토마스크 보호용 점착 테이프에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask, and more particularly, to a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask for protecting a photomask used in a printing substrate forming process, To a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask that can be used without deteriorating.

인쇄 배선판을 제조할 때에, 액상 솔더 레지스트 등의 포토레지스트가 사용되고 있다. 이 포토레지스트에 밀착하여 사용되는 노광용 포토마스크의 표면의 오염이나 손상 등으로부터 보호할 목적으로 종래부터 폴리에스테르 기재로 이루어지는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 이용되고 있다. 그러나, 액상 솔더 레지스트는 기능성 발현을 위해 점착성을 갖는 타입이 많이 사용되고 있기 때문에, 포토마스크 보호용 점착 테이프 표면에 포토레지스트가 부착되거나 하여, 노광 후 레지스트로부터 포토마스크를 박리하기 어려워져서 기계가 정지하여 버린다는 문제점이 있었다. In manufacturing a printed wiring board, a photoresist such as a liquid solder resist is used. In order to protect the surface of an exposure photomask used in close contact with the photoresist from contamination or damage, a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask made of a polyester base has been conventionally used. However, since the liquid solder resist has many types of adhesives for the purpose of functionalization, the photoresist adheres to the surface of the adhesive tape for protecting the photomask, making it difficult to separate the photomask from the resist after exposure, There was a problem.

이러한 문제점을 해결하기 위해서 포토마스크 보호용 점착 테이프의 표면에 이형층을 코팅한 것이 검토되어 왔다. 예를 들면, 백금계 촉매를 이용한 Si-CH=CH2와 Si-H의 부가 반응의 박리제나, 주석 촉매계를 이용한 Si-OH 끼리의 축합 반응의 박리제를 이용한 경우에는, 초기 박리성은 우수하지만 밀착 노광을 반복하면, 액상 솔더 레지스트에 함유되어 있는 용제나 첨가제의 침투에 의해 밀착성이 저하되어 이형제의 탈락이 생긴다. 이 때문에, 박리층에 특정한 박리제와 밀착 향상제를 첨가한 경화물을 이용하고 또한 언더코팅층을 설치한 특허 문헌 1이 개시되어 있다. 그러나, 이 경우 반복 사용 횟수를 늘리고자 하는 고객 요망에 대하여 충분히 대응되어 있지 않았다. In order to solve such a problem, it has been studied to coat the surface of a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection with a release layer. For example, when a releasing agent for the addition reaction of Si-CH = CH 2 and Si-H using a platinum-based catalyst or a releasing agent for the condensation reaction of Si-OHs using a tin catalyst system is used, the initial peeling property is excellent, If the exposure is repeated, the adhesion of the solvent and the additive contained in the liquid solder resist is lowered, resulting in the dropout of the release agent. For this reason, Patent Document 1 discloses an undercoat layer provided with a release agent and a curing agent to which a specific adhesion promoter is added to the release layer. However, in this case, it was not sufficiently coped with the customer demand to increase the frequency of repeated use.

또한 이형제층이 있는 포토마스크 보호용 점착 테이프는 이형층의 밀착력 부족 때문에 표면에 부착된 오염물을 알코올 등의 용제에 의해 세정할 때, 이형층이 탈락하여 이형 효과를 지속할 수 없는 것도 문제로 되어 있었다. In addition, the adhesive tape for protecting a photomask having a release agent layer has a problem in that when the contaminants adhering to the surface are washed by a solvent such as alcohol due to the lack of adhesion of the release layer, the release layer may fall off and the release effect can not be sustained .

특허 문헌 1: 일본 특허 공개 제2003-96409호 공보Patent Document 1: JP-A-2003-96409

[발명의 개시][Disclosure of the Invention]

[발명이 해결하고자 하는 과제][Problems to be solved by the invention]

본 발명의 목적은 종래 기술의 문제점을 감안하여, 밀착 노광의 반복 공정에서 레지스트에 대하여 박리성을 지속하는 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제공하는 데에 있다. 나아가서는, 포토마스크 보호용 점착 테이프의 표면층의 레지스트로부터의 오염 부착물이 있었던 경우, 알코올 등의 용제에 의해 세정하더라도 표면층의 탈락이 없는 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제공하는 데에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask that maintains peelability to a resist in a repeated process of contact exposure in view of the problems of the prior art. It is another object of the present invention to provide a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask which does not come off when the surface layer of the photomask-protecting adhesive tape is contaminated by a resist, even if it is cleaned with a solvent such as alcohol.

[과제를 해결하기 위한 수단][MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS]

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해서 예의 연구를 거듭한 결과, 투명한 기재 필름 또는 시트 (A)와, 그의 한쪽면에 형성된 점착제층 (B)와, 점착제층 (B)의 면과는 반대측의 면에 형성된 표면층 (C)를 포함하는 포토마스크 보호용 점착 테이프에 있어서, 표면층 (C)에 특정한 조성물로부터 형성되는 층을 이용한 바, 점착성을 갖는 포토레지스트에 밀착하여 반복 사용하더라도 박리성이 저하되지 않고 사용이 가능한 포토마스크 보호용 점착 테이프가 되는 것을 발견하였다. 이들의 지견에 추가로 검토를 거듭하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다. The inventors of the present invention have conducted intensive studies in order to achieve the above object and as a result have found that a transparent base film or sheet (A), a pressure-sensitive adhesive layer (B) formed on one side thereof, (C) formed on the surface layer (C), a layer formed of a specific composition is used for the surface layer (C), and even if the layer is formed in close contact with the photoresist having adhesiveness and is repeatedly used, It is possible to form a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection. These findings are further reviewed to complete the present invention.

즉, 본 발명의 제1 발명에 따르면, 투명한 기재 필름 또는 시트 (A)와, 그의 한쪽면에 형성된 점착제층 (B)와, 점착제층 (B)의 면과는 반대측의 면에 형성된 표면층 (C)를 포함하는 포토마스크 보호용 점착 테이프이며, That is, according to the first invention of the present invention, a transparent base film or sheet (A), a pressure-sensitive adhesive layer (B) formed on one surface thereof, and a surface layer (C) formed on the surface opposite to the surface of the pressure- And a protective film for protecting the photomask,

표면층 (C)는 하기의 (x) 및 (y)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. The surface layer (C) is provided with a cured product obtained from a mixture containing (x) and (y) shown below.

(x): 이소시아네이트 실란(x): isocyanate silane

(y): 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y): siloxane having a hydroxyl group at the terminal

또한, 본 발명의 제2 발명에 따르면, 제1 발명에 있어서, 기재 필름 또는 시트 (A)와 표면층 (C) 사이에 중간층 (D)를 설치할 때는, 중간층 (D)는 하기의 (z1) 및/또는 (z2)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. According to the second invention of the present invention, in the first invention, when the intermediate layer (D) is provided between the base film or the sheet (A) and the surface layer (C), the intermediate layer (D) And / or (z2), wherein the pressure-sensitive adhesive tape for protecting the photomask is provided.

(z1): 멜라민계 화합물 (z1): melamine compound

(z2): 구아나민계 화합물 (z2): guanamine compound

또한, 본 발명의 제3 발명에 따르면, 제1 발명에 있어서, 기재 필름 또는 시트 (A)와 표면층 (C) 사이에 중간층 (D)를 설치할 때는, 표면층 (C)는 상기 (x) 및 (y)에 추가로 하기의 (z1) 및/또는 (z2)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. According to the third invention of the present invention, in the first invention, when the intermediate layer (D) is provided between the base film or the sheet (A) and the surface layer (C), the surface layer (C) (z1) and / or (z2), in addition to the above-mentioned curing agent (c) and the curing agent (c).

(z1): 멜라민계 화합물 (z1): melamine compound

(z2): 구아나민계 화합물 (z2): guanamine compound

또한, 본 발명의 제4 발명에 따르면, 제1 내지 3 중 어느 하나의 발명에 있어서, 이소시아네이트 실란 (x)는 3 및/또는 4관능 이소시아네이트 실란인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask, characterized in that the isocyanate silane (x) in any one of the first to third aspects is a trifunctional and / or tetrafunctional isocyanate silane .

또한, 본 발명의 제5 발명에 따르면, 제4 발명에 있어서, 상기 3 또는 4관능 이소시아네이트 실란은 메틸트리이소시아네이트 실란 및/또는 테트라이소시아네이트 실란인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask, wherein the tri- or tetra-functional isocyanate silane is methyl triisocyanate silane and / or tetraisocyanate silane.

또한, 본 발명의 제6 발명에 따르면, 제1 내지 3 중 어느 하나의 발명에 있어서, 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y)는 말단에 수산기를 2개 갖는 디올인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. According to a sixth aspect of the present invention, in any one of the first to third inventions, the siloxane (y) having a hydroxyl group at the terminal thereof is a diol having two hydroxyl groups at the terminal thereof, A tape is provided.

또한, 본 발명의 제7 발명에 따르면, 제2 또는 3 발명에 있어서, 멜라민계 화합물 (z1)은 메틸올멜라민 및/또는 그의 유도체인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. According to a seventh invention of the present invention, there is provided a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask, characterized in that the melamine compound (z1) is methylolmelamine and / or a derivative thereof in the second or third invention.

또한, 본 발명의 제8 발명에 따르면, 제7 발명에 있어서, 상기 메틸올멜라민 은 헥사메틸올멜라민인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. According to an eighth aspect of the present invention, in the seventh invention, there is provided a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask, wherein the methylolmelamine is hexamethylol melamine.

또한, 본 발명의 제9 발명에 따르면, 제2 또는 3 발명에 있어서, 구아나민계 화합물 (z2)는 벤조구아나민 및/또는 그의 유도체인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프가 제공된다. According to a ninth invention of the present invention, there is provided a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask, characterized in that the guanamine-based compound (z2) is benzoguanamine and / or a derivative thereof in the second or third invention.

[발명의 효과][Effects of the Invention]

본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프에 따르면, 제1 발명에 있어서는, (C)의 표면층을 이용함으로써, 밀착 노광의 반복 공정에서 레지스트에 대하여 박리성을 지속할 수가 있는 포토마스크 보호용 점착 테이프라는 효과가 있다. According to the pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask of the present invention, in the first invention, by using the surface layer (C), the effect of the adhesive tape for protecting the photomask, have.

또한, 제2 발명에 있어서는, (A)(C)(D)의 특정한 층을 조합함으로써, 표면층의 밀착성이 향상하여 밀착 노광의 반복 공정에서 레지스트에 대하여 박리성을 지속할 수가 있고, 또한 포토마스크 보호용 점착 테이프의 표면층의 레지스트로부터의 오염 부착물이 있었던 경우의 알코올 등의 용제에 의해 세정하더라도 표면층의 탈락이 없는 포토마스크 보호용 점착 테이프라는 효과가 있어, 효율적·경제적으로 우수한 방법에 의해 인쇄 배선판을 얻을 수 있다. Further, in the second invention, the combination of the specific layers of (A), (C) and (D) improves the adhesion of the surface layer, and the peelability of the resist can be maintained in the repeated step of the contact exposure, Even if the surface layer of the protective adhesive tape is cleaned with a solvent such as alcohol in the case where there is a contamination deposit from the resist, there is an effect that the surface layer is not detached and the pressure-sensitive adhesive tape is used to protect the photomask, and a printed wiring board is obtained by an efficient and economical method .

또한, 제3 발명에 있어서는, 표면층 (C)가 (x), (y) 및, (z1) 및/또는 (z2)를 함유하는 특정한 혼합물로부터 형성되어 이루어짐으로써, 이형성 및 내용제성을 동시에 겸비한 표면층을 갖는 포토마스크 보호용 점착 테이프로서, 밀착 노광의 반복 공정에서 레지스트에 대하여 경박리성을 지속하고 재박리성이 우수한 데다가, 알코올 등의 용제에 의해 세정하더라도 이형층의 탈락이 없고, 따라서 이형 효과가 저하되지 않고, 반복 노광·사용 시의 내구성도 양호한 포토마스크 보호용 점착 테이프라는 효과가 있어, 효율적·경제적으로 우수한 방법에 의해 인쇄 배선판을 얻을 수 있다. In the third invention, since the surface layer (C) is formed from a specific mixture containing (x), (y) and (z1) and / or (z2), the surface layer Sensitive adhesive tape for protecting a photomask, which has excellent light fastness to a resist in a repeated process of contact exposure and is excellent in re-peeling property, and is free from falling off of the release layer even when washed with a solvent such as alcohol, It is possible to obtain a printed wiring board by an efficient and economical method because it has the effect of providing a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection which is excellent in durability during repeated exposure and use.

또한, 제4 발명에 있어서는, 이소시아네이트 실란 (x)는 3 및/또는 4관능 이소시아네이트 실란이라고 특정하고 있기 때문에, 말단에 수산기를 갖는 실록산을 가교하는 성능이 우수하다는 효과가 있다. Further, in the fourth invention, since the isocyanate silane (x) is specified as 3 and / or 4-functional isocyanate silane, the effect of crosslinking the siloxane having a hydroxyl group at the terminal is excellent.

또한, 제5 발명에 있어서는, 상기 3 또는 4관능 이소시아네이트 실란은 메틸트리이소시아네이트 실란 및/또는 테트라이소시아네이트 실란이라고 특정하고 있기 때문에, 말단에 수산기를 갖는 실록산을 가교하는 성능이 더욱 우수하다는 효과가 있다. Further, in the fifth invention, since the tri- or tetra-functional isocyanate silane is specified as methyltriisocyanate silane and / or tetraisocyanate silane, there is an effect that the performance of crosslinking the siloxane having a hydroxyl group at the terminal is more excellent.

또한, 제6 발명에 있어서는, 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y)는 말단에 수산기를 2개 갖는 디올이라고 특정하고 있기 때문에, 이소시아네이트와의 가교 반응성이 우수하다는 효과가 있다. Further, in the sixth invention, since the siloxane (y) having a hydroxyl group at the terminal is specified as a diol having two hydroxyl groups at the terminal, there is an effect that the crosslinking reactivity with isocyanate is excellent.

또한, 제7 발명에 있어서는, 멜라민계 화합물 (z1)은 메틸올멜라민 및/또는 그의 유도체라고 특정하고 있기 때문에, 표면층 (C) 또는 중간층 (D)가 기재 필름 또는 시트 (A)로서 이용되는 PET와의 밀착성이 우수하다는 효과가 있다. In the seventh invention, since the melamine compound (z1) is specified as methylolmelamine and / or a derivative thereof, the surface layer (C) or the intermediate layer (D) Is excellent in adhesion to a substrate.

또한, 제8 발명에 있어서는, 상기 메틸올멜라민은 헥사메틸올멜라민이라고 특정하고 있기 때문에, 표면층 (C) 또는 중간층 (D)의 원료인 경화성 혼합물에 있어서, 반응성이 우수하다는 효과가 있다. Further, in the eighth invention, since methylolmelamine is specified as hexamethylol melamine, there is an effect that the curability of the raw material of the surface layer (C) or the intermediate layer (D) is excellent in reactivity.

또한, 제9 발명에 있어서는, 구아나민계 화합물 (z2)는 벤조구아나민 및/또 는 그의 유도체라고 특정하고 있기 때문에, 표면층 (C) 또는 중간층 (D)가 기재 필름 또는 시트 (A)로서 이용되는 PET와의 밀착성이 우수하다는 효과가 있다. In the ninth invention, since the guanamine compound (z2) is specified as benzoguanamine and / or a derivative thereof, the surface layer (C) or the intermediate layer (D) is used as the base film or sheet The adhesion to PET is excellent.

도 1은 본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프의 일례의 구성을 도시하는 모식단면도이다. (실시예 1, 실시예 5, 실시예 6)1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the structure of a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask of the present invention. (Examples 1, 5, and 6)

도 2는 본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프의 일례의 구성을 도시하는 모식단면도이다. (실시예 2, 실시예 3, 실시예 4)2 is a schematic cross-sectional view showing an example of the structure of a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask of the present invention. (Examples 2, 3 and 4)

[부호의 설명][Description of Symbols]

A 투명한 기재 필름 또는 시트 A transparent base film or sheet

B 점착제층 B pressure-sensitive adhesive layer

C 표면층C surface layer

D 중간층D middle layer

[발명을 실시하기 위한 최선의 형태]BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION [

이하, 본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프에 대해서 상세히 설명한다.Hereinafter, the adhesive tape for protecting a photomask of the present invention will be described in detail.

본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프는 투명한 기재 필름 또는 시트 (A)와, 그의 한쪽면에 형성된 점착제층 (B)와, 점착제층 (B)의 면과는 반대측의 면에 형성된 표면층 (C)를 포함하는 포토마스크 보호용 점착 테이프이며, The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask of the present invention comprises a transparent base film or sheet (A), a pressure-sensitive adhesive layer (B) formed on one side thereof, and a surface layer (C) formed on a surface opposite to the surface of the pressure- The photomask according to claim 1,

표면층 (C)는 하기의 (x) 및 (y)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다. The surface layer (C) is characterized by comprising a cured product obtained from a mixture containing (x) and (y) shown below.

(x): 이소시아네이트 실란(x): isocyanate silane

(y): 말단에 수산기를 갖는 실록산(y): siloxane having a hydroxyl group at the terminal

1. 기재 필름 또는 시트 (A)1. A base film or sheet (A)

상기 기재 필름 또는 시트 (A)로서는, 노광 시에 사용되는 자외선의 투과율이 높은 것이면 좋고, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리염화비닐, 폴리스티렌, 폴리카보네이트, 트리아세틸셀룰로오스(TAC), 폴리이미드, 아크릴 등의 수지를 포함하는 투명성이 우수한 고분자 필름이 바람직하게 이용된다. 특히 이축 연신된 PET 필름이 기계적 강도, 치수 안정성이 우수하기 때문에 바람직하게 이용된다. As the base film or sheet (A), any material may be used as long as it has a high transmittance of ultraviolet rays used at the time of exposure, and examples thereof include polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate, polypropylene, polyethylene, polyvinyl chloride, polystyrene, A polymer film having excellent transparency including a resin such as carbonate, triacetylcellulose (TAC), polyimide, and acrylic is preferably used. In particular, a biaxially stretched PET film is preferably used because it has excellent mechanical strength and dimensional stability.

상기 기재 필름 또는 시트 (A)의 두께는 광투과성, 취급성 등을 고려하여, 적절하게 결정하는 것이 바람직한데, 구체적으로는 2 내지 100 μm인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 4 내지 25 μm이다. 2 μm 미만이면 테이프의 강도가 부족하여 취급이 곤란해지거나, 접착 시에 주름이 되거나 하는 경우가 있고, 100 μm를 초과하면, 충분한 광투과성이 얻어지지 않게 되는 경우가 있다. The thickness of the base film or sheet (A) is preferably determined appropriately in consideration of light transmittance, handling property and the like. Specifically, it is preferably 2 to 100 μm, more preferably 4 to 25 μm . When the thickness is less than 2 m, the strength of the tape is insufficient and handling becomes difficult or wrinkles may occur at the time of adhesion. When the thickness exceeds 100 m, sufficient light transmittance may not be obtained.

또한 본 발명에 있어서는, 투명한 기재 필름 또는 시트 (A)와 표면층 (C) 또는 중간층 (D) 및/또는 점착제층 (B)와의 밀착성을 향상시키기 위해서 표면 처리를 행할 수 있다. In the present invention, the surface treatment can be performed to improve the adhesion between the transparent base film or sheet (A) and the surface layer (C) or the intermediate layer (D) and / or the pressure sensitive adhesive layer (B).

예를 들면 코로나 처리, 플라즈마 처리 등의 방전 처리가 있어, 얇은 기재에 균일한 처리를 실시하기 위해서는, 기재 찢어짐, 구멍 뚫림 등의 문제점의 발생 방지를 위해 처리 에너지가 낮은 약한 방전이 바람직하다. 또한 다른 방법으로서의 알칼리에 의한 비누화 처리가 알려져 있다. For example, in order to perform a uniform treatment on a thin substrate due to a discharge treatment such as a corona treatment or a plasma treatment, a weak discharge with a low treatment energy is preferable in order to prevent problems such as tearing of the substrate and punching of holes. As another method, a saponification treatment with an alkali is known.

2. 표면층 (C) 2. Surface layer (C)

표면층 (C)는 투명한 기재 필름 또는 시트 (A) 상 또는 중간층 (D) 상에 설치되는 것으로서, 이 표면층 (C)가 포토레지스트 표면에 점착됨으로써 포토레지스트가 포토마스크 보호용 점착 테이프에 전착되어 오염이 생기는 것을 방지하는 이형층의 기능을 한다. The surface layer C is provided on the transparent base film or sheet A or on the intermediate layer D. The surface layer C is adhered to the surface of the photoresist so that the photoresist is electrodeposited on the photomask protecting adhesive tape, And functions as a release layer for preventing the occurrence of the cracks.

(1) 경화성 혼합물(1) Curable mixture

(x): 이소시아네이트 실란(x): isocyanate silane

본 발명의 표면층 (C)에 이용되는, 가교제의 이소시아네이트 실란 (x)는 Si(NCO)4, RnSi(NCO)4-n, (RO)nSi(NCO)4-n 등이 있다. 여기서, R은 탄화수소기이고, n은 1, 2 또는 3의 수이다. The isocyanate silane (x) of the crosslinking agent used in the surface layer (C) of the present invention includes Si (NCO) 4 , Rn Si (NCO) 4-n and (RO) n Si (NCO) 4-n . Here, R is a hydrocarbon group, and n is a number of 1, 2, or 3.

이러한 화합물 중에서도, 메틸트리이소시아네이트 실란, 테트라이소시아네이트 실란 등의 3 또는 4관능의 이소시아네이트 실란이 반응성 측면에서 바람직하다. 이소시아네이트 실란은 단독으로나 2종 이상의 혼합물로도 사용할 수 있다. Of these compounds, tri- or tetrafunctional isocyanate silanes such as methyltriisocyanate silane and tetraisocyanate silane are preferable from the viewpoint of reactivity. The isocyanate silane can be used alone or in a mixture of two or more.

(y): 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y): siloxane having a hydroxyl group at the terminal

말단 수산기를 갖는 실록산 (y)로서는, 실라놀 변성, 카르비놀 변성한 디메틸폴리실록산이 있다. 이소시아네이트와의 가교 반응 측면에서 수산기를 2개 갖는 디올이 바람직하다. Examples of the siloxane (y) having a terminal hydroxyl group include silanol-modified and carbinol-modified dimethylpolysiloxanes. In view of the crosslinking reaction with isocyanate, a diol having two hydroxyl groups is preferable.

(z1): 멜라민계 화합물(z1): melamine compound

본 발명에 있어서, 기재 필름 또는 시트 (A)와 표면층 (C) 사이에 중간층 (D)를 설치할 때는, 표면층 (C)는 상기 (x) 및 (y)에 추가로 멜라민계 화합물 (z1) 및/또는 구아나민계 화합물 (z2)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물인 것이 바람직하다. In the present invention, when the intermediate layer (D) is provided between the base film or the sheet (A) and the surface layer (C), the surface layer (C) contains the melamine compounds (z1) and And / or a mixture containing a guanamine-based compound (z2).

본 발명에서 사용되는 멜라민계 화합물 (z1)로서는, 멜라민을 포름알데히드와 반응시켜 얻어지는 메틸올화 멜라민, 예를 들면 모노메틸올멜라민으로부터 헥사메틸올멜라민, 또는 그의 유도체의 알킬에테르화체를 들 수 있다. 이들 중에서도, 헥사메틸올멜라민은 OH기가 많아서 PET와의 밀착성 측면에서 바람직하다. Examples of the melamine compound (z1) to be used in the present invention include methylolmelamine obtained by reacting melamine with formaldehyde, for example, alkylmethylamine of hexamethylol melamine or its derivative from monomethylol melamine. Among them, hexamethylol melamine has many OH groups and is preferable in terms of adhesion with PET.

멜라민계 화합물은 단독으로 이용하거나, 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있다.The melamine-based compounds may be used alone or in combination of two or more.

멜라민계 화합물의 배합에 의해 투명한 기재 필름 (A)와의 밀착 향상이 도모되어 언더코팅층 등을 이용하지 않더라도 알코올 등의 용제에 의한 세정 시에 표면층 (C)가 탈락되기 어렵다고 하는 특징이 있다. The adhesion of the melamine compound to the transparent base film (A) is improved by the blending of the melamine-based compound, so that the surface layer (C) is not likely to fall off during cleaning with a solvent such as alcohol without using an undercoat layer or the like.

(z2): 구아나민계 화합물(z2): guanamine compound

본 발명에서 사용되는 구아나민계 화합물로서는, 벤조구아나민, 아세토구아나민, 시클로헥산카르보구아나민, 시클로헥센카르보구아나민, 노르보르넨카르보구아나민, 및 그의 유도체의 메틸올화구아나민 또는 알킬에테르화체를 들 수 있다. Examples of the guanamine-based compound used in the present invention include benzoguanamine, acetoguanamine, cyclohexanecarbuanamine, cyclohexene carboguanamine, norbornene carboguanamine, and derivatives of methylolfuluanamine Or an alkyl etherified product.

구아나민계 화합물을 함유한 경화물 중에서 특히 벤조구아나민 및 그의 유도체를 이용한 경화물은 필름 또는 시트 (A)로서 이용되는 PET 및 표면층 (C)와의 밀착성이 좋기 때문에 바람직하다. Among the cured products containing a guanamine-based compound, a cured product using benzoguanamine and its derivatives is preferable because it has good adhesion with PET and the surface layer (C) used as the film or sheet (A).

멜라민계 화합물은 단독으로 이용하거나, 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있다.The melamine-based compounds may be used alone or in combination of two or more.

구아나민계 화합물의 배합에 의해, 투명한 기재 필름 (A)와의 밀착 향상이 도모되어 언더코팅층 등을 이용하지 않더라도 알코올 등의 용제에 의한 세정 시에 표면층 (C)가 탈락하기 어려워지는 특징이 있다. The incorporation of the guanamine-based compound improves adhesion to the transparent base film (A), and the surface layer (C) is less likely to fall off during cleaning with a solvent such as an alcohol without using an undercoat layer or the like.

(2) 배합비(2) Mixing ratio

이소시아네이트 실란 (x)와 실록산 (y)의 배합비는 이소시아네이트 실란 100 중량부에 대하여 실록산 5 내지 200 중량부이고, 바람직하게는 10 내지 100 중량부, 보다 바람직하게는 10 내지 50 중량부이다. 5 중량부 이하이면 이형성의 발현이 소외되고, 200 중량부 이상에서는 기재 필름 또는 시트 (A)와의 밀착성이 저하되는 경우가 있다. The mixing ratio of the isocyanate silane (x) to the siloxane (y) is 5-200 parts by weight, preferably 10-100 parts by weight, more preferably 10-50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the isocyanate silane. If the amount is less than 5 parts by weight, the release of the releasability is neglected. If the amount is more than 200 parts by weight, adhesion with the base film or the sheet (A) may be deteriorated.

또한, 표면층 (C)에 멜라민계 화합물 (z1) 및/또는 구아나민계 화합물 (z2)를 혼합할 때의 배합비는, 이소시아네이트 실란 (x)와 실록산 (y)의 혼합량 100 중량부에 대하여 5 중량부 내지 60 중량부이고, 바람직하게는 10 내지 50 중량부이다. 5 중량부 이하에서는 알코올 등의 용제에 의한 세정에서의 내용제성이 저하되고, 60 중량부 이상에서는 박리성이 저하된다. The blending ratio of the melamine compound (z1) and / or the guanamine compound (z2) to the surface layer (C) is preferably 5 wt% based on 100 wt% of the mixed amount of the isocyanate silane (x) To 60 parts by weight, and preferably 10 to 50 parts by weight. When the amount is less than 5 parts by weight, the solvent resistance in washing with a solvent such as alcohol is lowered. When the amount is more than 60 parts by weight, the peeling property is lowered.

(3) 표면층 (C)의 제조(3) Production of surface layer (C)

본 발명의 표면층 (C)는 투명한 기재 필름 또는 시트 (A) 또는 중간층 (D)의 일면에 형성되고, 이소시아네이트 실란 (x) 및 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y)의 혼합물, 또는 이소시아네이트 실란 (x) 및 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y)에 추가로 멜라민계 화합물 (z1) 및/또는 구아나민계 화합물 (z2)를 함유하는 혼합물을 유기 용제에 희석하여 도포한 후 가열 건조하여 얻어지는 경화물을 얻음으로써 형성된다. 그 때, 각 성분의 배합의 순서는 특별히 한정되지 않으며, 또한 도포 방법으로서는, 예를 들면, 스핀 코팅, 분무 코팅, 그라비아 등의 롤 코팅, 다이 코팅 등을 사용할 수 있다. The surface layer (C) of the present invention is a transparent substrate film or a mixture of the isocyanate silane (x) and the hydroxyl group-containing siloxane (y) formed on one side of the sheet (A) or the intermediate layer (D) ) And a mixture containing a melamine compound (z1) and / or a guanamine compound (z2) in addition to a siloxane (y) having a hydroxyl group at the terminal thereof and an organic solvent, . In this case, the order of blending each component is not particularly limited, and examples of the application method include spin coating, spray coating, roll coating such as gravure, and die coating.

표면층 (C)의 두께는 도포 균일성, 경화성, 밀착성 등의 이유로부터, 0.01 내지 2 μm인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.02 내지 0.5 μm이다. 0.01 μm 미만이면 균일하게 도포하는 것이 곤란해져서 이형성에 변동이 발생할 우려가 있고, 2 μm를 초과하면, 경화 불량이나 탈락이 쉬워질 우려가 있다. The thickness of the surface layer (C) is preferably 0.01 to 2 占 퐉, more preferably 0.02 to 0.5 占 퐉, from the viewpoints of coating uniformity, curability, and adhesion. When the thickness is less than 0.01 μm, it is difficult to uniformly coat the substrate, and there is a possibility that the releasability may fluctuate. When the thickness exceeds 2 μm, the curing failure or peeling may easily occur.

이소시아네이트 실란은 말단에 수산기를 포함하는 실록산의 가교제로서 작용하는 것이다. 말단에 수산기를 포함하는 실록산과 그의 가교제인 이소시아네이트 실란과의 가교 반응 메카니즘으로서는, The isocyanate silane acts as a crosslinking agent for the siloxane containing a hydroxyl group at the terminal. As a crosslinking reaction mechanism between a siloxane having a hydroxyl group at its terminal and an isocyanate silane as a crosslinking agent thereof,

(i) 투명한 기재 필름 또는 시트 (A)에 도포된 이소시아네이트 실란이 건조 단계에서 공기 중의 수분과 반응하여 가수 분해하여 실라놀기를 형성 (i) an isocyanate silane coated on a transparent base film or sheet (A) reacts with moisture in the air in the drying step to hydrolyze to form a silanol group

Si-NCO+H2O→Si-OH+HNCOSi-NCO + H 2 O → Si-OH + HNCO

(ii) 형성된 실라놀과 실록산의 수산기와의 탈수축합 반응에 의해 가교 (ii) Dehydration condensation reaction between the formed silanol and the hydroxyl group of the siloxane

Si-OH+Si-OH→Si-O-Si+H2OSi-OH + Si-OH → Si-O-Si + H 2 O

(iii) 동시에 말단에 수산기를 포함하는 실록산과 반응 (iii) reacting with a siloxane containing a hydroxyl group at the same time

Si-OH+HO-Si(CH3)2-O~→Si-O-Si(CH3)2-O~+H2OSi-OH + HO-Si ( CH 3) 2 -O ~ → Si-O-Si (CH 3) 2 -O ~ + H 2 O

(iv) (ii)와 (iii)에서 생성된 수분이 이소시아네이트 실란에 공급되어 가교 반응이 진행한다고 생각된다. (iv) The moisture produced in (ii) and (iii) is supplied to the isocyanate silane, and the crosslinking reaction proceeds.

가교 반응에 의해 이소시아네이트기는 HNCO가 되어 물과 반응하여 이산화탄소와 암모니아를 발생하기 때문에 반응계의 밖으로 배출된다고 생각된다. It is considered that the isocyanate group becomes HNCO by the crosslinking reaction and reacts with water to generate carbon dioxide and ammonia, so that the isocyanate group is discharged to the outside of the reaction system.

HNCO+H2O→NH3+CO2 HNCO + H 2 O → NH 3 + CO 2

또한 멜라민계 화합물 (z1) 또는 구아나민계 화합물 (z2)의 반응기인 -NH2나 -OH가 이소시아네이트 실란 또는 실라놀기와 동시에 반응함으로써 얻어지는 본 발명의 표면층 (C)는, 이형성 및 내용제성을 갖는 것에 의해, 알코올 등의 용제에 의해 세정하더라도 탈락이 없고, 이형 효과가 저하되지 않고, 반복 노광·사용 시의 내구성도 양호하다. The surface layer (C) of the present invention, which is obtained by reacting -NH 2 or -OH as a reactive group of a melamine compound (z1) or a guanamine compound (z2) simultaneously with an isocyanate silane or a silanol group, , Even if it is cleaned with a solvent such as alcohol, there is no dropout, the releasing effect is not lowered, and durability in repeated exposure and use is also good.

그 때문에, 인쇄 기판 형성 공정에서 점착성을 갖는 포토레지스트에 밀착하여 사용되는 노광용 포토마스크의 표면을 보호하기 위한 포토마스크 보호용 점착 테이프의 표면층 (C)로서 바람직하게 사용할 수 있다. Therefore, it can be preferably used as a surface layer (C) of a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask for protecting the surface of a photomask for exposure used in close contact with a photoresist having adhesiveness in a printing substrate forming step.

3. 중간층 (D)3. The intermediate layer (D)

본 발명에 있어서, 기재 필름 또는 시트 (A)와 표면층 (C) 사이에 중간층 (D)를 설치할 때는, 중간층 (D)는 특별히 한정되지 않지만, 하기의 멜라민계 화합물 (z1) 및/또는 구아나민계 화합물 (z2)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것이 바람직하다. In the present invention, the intermediate layer (D) is not particularly limited when the intermediate layer (D) is provided between the base film or the sheet (A) and the surface layer (C), but the following melamine compound (z1) and / And a cured product obtained from a mixture containing the compound (z2).

(1) (z1): 멜라민계 화합물 (1) (z1): melamine compound

중간층에 멜라민계 화합물을 이용하는 경우, 기재 필름 또는 시트 (A)로서 이용되는 PET 및/또는 표면층 (C)와의 밀착성 향상이 주된 이유이다.When a melamine-based compound is used for the intermediate layer, the main reason is the improvement in adhesion between the base film or PET and / or the surface layer (C) used as the sheet (A).

중간층 100 중량부 중에 함유되는 멜라민계 화합물로서는, 5 중량％ 이상, 보다 바람직하게는 15 중량％ 이상 함유함으로써, 기재 필름 또는 시트 (A)로서 이용되는 PET 및/또는 표면층 (C)와의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 5 중량％ 이하이면 충분한 밀착성을 얻을 수 없는 경우가 있다. The content of the melamine compound contained in 100 parts by weight of the intermediate layer is 5% by weight or more, and more preferably 15% by weight or more, so that adhesion between the melamine compound and PET and / or the surface layer (C) . If it is 5% by weight or less, sufficient adhesion may not be obtained.

멜라민계 화합물로서는 기재 필름 또는 시트 (A)와 표면층 (C)의 밀착력 측면에서 반응성이 좋은 말단에 OH기가 있는 메틸올계 멜라민이 바람직하다. 메틸올계 멜라민으로서는 모노메틸올멜라민부터 헥사메틸올멜라민까지 있다. 메틸올멜라민 중에서는 헥사메틸올멜라민이 반응성 측면에서 보다 바람직하다. The melamine compound is preferably a base film or a methylol-based melamine having an OH group at the end thereof which has good reactivity in terms of adhesion between the sheet (A) and the surface layer (C). Methylol melamines include monomethylol melamine to hexamethylol melamine. Among the methylol melamines, hexamethylol melamine is more preferable in terms of reactivity.

멜라민계 화합물은, 단독으로 이용하거나, 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있다.The melamine-based compounds may be used alone or in combination of two or more.

중간층 (D)에는 멜라민계 화합물의 접착 향상 작용을 저해하지 않는 범위에서, 멜라민계 화합물 이외에도 다른 결합제 수지 등을 함유시킬 수 있다. A binder resin or the like other than the melamine compound may be contained in the intermediate layer (D) within a range not inhibiting the adhesion improving action of the melamine compound.

결합제 수지로서는 기재의 종류에 대응시켜 기재와의 접착성이 우수한 것을 선정할 수 있다. 바람직하게는 멜라민계 화합물과 경화 가능한 수지를 채용하는 것이 바람직하다. 이와 같이 멜라민계 화합물과 경화 가능한 수지를 함유시킴으로써, 중간층 (D)의 내용제성이나 중간층 (D)와 기재 (A) 및/또는 표면층 (C)의 밀착성을 발현할 수 있다. 여기서 멜라민계 화합물과 경화하는 수지로서는, 아크릴계 수지, 알키드계 수지, 폴리에스테르계 수지, 실리콘계 수지 등이 있다. As the binder resin, it is possible to select one having excellent adhesion to a substrate in accordance with the type of the substrate. It is preferable to employ a melamine-based compound and a curable resin. The solvent resistance of the intermediate layer (D) and the adhesion between the intermediate layer (D) and the substrate (A) and / or the surface layer (C) can be exhibited by containing the melamine compound and the curable resin in this manner. Examples of the resin curable with the melamine compound include an acrylic resin, an alkyd resin, a polyester resin, and a silicone resin.

중간층 (D)로서, 멜라민 화합물을 함유한 경화물층을 형성하는 방법으로서는, 투명 기재 필름 또는 시트 (A)의 한쪽면에 혼합물을 유기 용제에 희석하여 도포한 후 가열 건조하여 얻을 수 있다. 도포 방법으로서는, 스핀 코팅, 분무 코팅, 그라비아 등의 롤 코팅, 다이 코팅 등의 방법을 사용할 수 있다. As a method for forming a cured layer containing a melamine compound as the intermediate layer (D), a method may be employed in which the mixture is applied on one side of a transparent base film or sheet (A) by diluting the mixture with an organic solvent, followed by heating and drying. As a coating method, a method such as spin coating, spray coating, roll coating such as gravure, die coating and the like can be used.

(2) (z2): 구아나민계 화합물 (2) (z2): guanamine compound

중간층 (D)에 구아나민계 화합물을 이용하는 경우, 기재 필름 또는 시트 (A)로서 이용되는 PET 및/또는 표면층 (C)와의 밀착성 향상이 주된 이유이다. When a guanamine-based compound is used in the intermediate layer (D), the main reason is the improvement in adhesion between the base film and the PET and / or the surface layer (C) used as the sheet (A).

중간층 100 중량부 중에 함유되는 구아나민계 화합물로서는, 5 중량％ 이상, 보다 바람직하게는 15 중량％ 이상 함유함으로써, 기재 필름 또는 시트 (A)로서 이용되는 PET 및/또는 표면층 (C)와의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 5 중량％ 미만이면 충분한 밀착성을 얻을 수 없는 경우가 있다. The guanamine compound contained in 100 parts by weight of the intermediate layer contains 5% by weight or more, and more preferably 15% by weight or more, so that the adhesiveness with the PET and / or the surface layer (C) used as the base film or sheet (A) Can be improved. If it is less than 5% by weight, sufficient adhesion may not be obtained.

구아나민계 화합물은 단독으로 이용하거나, 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있다.The guanamine-based compounds may be used alone or in combination of two or more.

본 발명에서 사용되는 구아나민계 화합물로서는, 벤조구아나민, 아세토구아나민, 시클로헥산카르보구아나민, 시클로헥센카르보구아나민, 노르보르난카르보구아나민 및 그의 유도체의 메틸올화구아나민 또는 알킬에테르화체를 들 수 있다. Examples of the guanamine-based compound used in the present invention include benzoguanamine, acetoguanamine, cyclohexanecarbuanamine, cyclohexenecarbuanamine, methylborguanamine of norbornane carboguanamine and derivatives thereof, or Alkyl etherified products.

구아나민계 화합물을 함유한 경화물 중에서 특히 벤조구아나민 및 그의 유도체를 이용한 경화물은 필름 또는 시트 (A)로서 이용되는 PET 및/또는 표면층 (C)와의 밀착성이 좋기 때문에 바람직하다. Among the cured products containing a guanamine-based compound, a cured product using benzoguanamine and derivatives thereof is preferable because it has good adhesion with PET and / or the surface layer (C) used as the film or sheet (A).

중간층 (D)에는 멜라민계 화합물을 이용하는 경우와 동일하게 구아나민계 화합물에 의한 접착 향상 작용을 저해하지 않은 범위에서 다른 결합제 수지 등을 함유시킬 수 있다. As in the case of using the melamine-based compound, other binder resin and the like can be contained in the intermediate layer (D) within the range not hindering the adhesion improving action by the guanamine-based compound.

결합제 수지로서는 기재의 종류에 대응시켜 기재와의 접착성이 우수한 것을 선정할 수 있다. 바람직하게는 구아나민계 화합물과 경화 가능한 수지를 채용하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구아나민계 화합물과 경화 가능한 수지를 함유시킴으로써, 중간층(C)의 내용제성이나 중간층 (D)와 기재 (A) 및/또는 표면층 (C)와의 밀착성을 발현할 수 있다. As the binder resin, it is possible to select one having excellent adhesion to a substrate in accordance with the type of the substrate. It is preferable to employ a guanamine-based compound and a curable resin. The solvent resistance of the intermediate layer (C) and the adhesion between the intermediate layer (D) and the substrate (A) and / or the surface layer (C) can be exhibited by containing the guanamine compound and the curable resin.

구아나민계 화합물과 경화하는 수지로서는, 아크릴계 수지, 알키드계 수지, 폴리에스테르계 수지, 실리콘계 수지 등이 있다. 예를 들면, 메틸올화된 구아나민계 화합물과의 반응으로서는 실라놀기를 갖는 실리콘계 수지가 가열됨으로써 축합 반응하여 경화시킬 수 있다. Examples of the resin that cures with the guanamine-based compound include an acrylic resin, an alkyd resin, a polyester resin, and a silicone resin. For example, as a reaction with a methylated guanamine-based compound, a silicone-based resin having a silanol group can be heated and condensed to be cured.

중간층 (D)로서 구아나민계 화합물을 함유한 경화물층을 형성하는 방법으로서는, 투명 기재 필름 또는 시트 (A)의 한쪽면에 혼합물을 유기 용제에 희석하여 도포한 후 가열 건조하여 얻을 수 있다. 도포 방법으로서는, 스핀 코팅, 분무 코팅, 그라비아 등의 롤 코팅, 다이 코팅 등의 방법을 사용할 수 있다. As a method of forming a cured layer containing a guanamine-based compound as the intermediate layer (D), a method may be used in which the mixture is applied on one side of a transparent base film or sheet (A) by diluting the mixture with an organic solvent, followed by heating and drying. As a coating method, a method such as spin coating, spray coating, roll coating such as gravure, die coating and the like can be used.

4. 점착제층 (B)4. Pressure-sensitive adhesive layer (B)

본 발명에서 이용되는 점착제층 (B)는 포토마스크인 노광용 원고의 표면에 점착되는 것이고, 특별히 제한은 없지만, 투명성을 고려하면 아크릴계 점착제가 바람직하다. 아크릴계 점착제로서는, (메트)아크릴산에스테르 단량체와 관능기 함유 단량체와의 공중합체로 이루어지는 아크릴계 중합체를 주성분으로 하는 것이 바람직하고, 중합 방법에 대해서는 특별히 제한은 없다. The pressure-sensitive adhesive layer (B) used in the present invention is to be adhered to the surface of an exposure article, which is a photomask, and is not particularly limited, but an acrylic pressure-sensitive adhesive is preferable in view of transparency. As the acrylic pressure-sensitive adhesive, it is preferable to use as a main component an acrylic polymer comprising a copolymer of a (meth) acrylic acid ester monomer and a functional group-containing monomer, and the polymerization method is not particularly limited.

(메트)아크릴산에스테르로서는, (메트)아크릴산부틸, (메트)아크릴산-2-에틸헥실, (메트)아크릴산옥틸 등을 들 수 있고, 단독으로 이용되거나, 이종 이상을 병용할 수도 있다. 그 중에서도, 아크릴산부틸, 아크릴산-2-에틸헥실이 저Tg이고 점탄성 면에서 바람직하다. Examples of the (meth) acrylic esters include butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and octyl (meth) acrylate, and these may be used alone or in combination of two or more. Of these, butyl acrylate and 2-ethylhexyl acrylate are preferable because of their low Tg and viscoelasticity.

관능기 함유 단량체로서는, 예를 들면, 아크릴산, 메타크릴산 등을 들 수 있다. Examples of the functional group-containing monomer include acrylic acid and methacrylic acid.

상기 아크릴계 점착제로서는 아크릴계 중합체 내부에 일부 가교 구조를 갖는 것이 바람직하다. 가교 구조를 가짐으로써 점착제의 응집력이 높여지기 때문에, 테이프 박리 시에 풀이 잔류하기 어려워진다. 이러한 가교 구조는 상기 관능기 함유 단량체와 반응할 수 있는 가교제의 사용에 의해서 형성할 수가 있고, 가교제로서는, 예를 들면, 에폭시 가교제, 지방족 또는 방향족 이소시아네이트계 가교제 등이 바람직하게 이용된다. As the acrylic pressure-sensitive adhesive, it is preferable that the acrylic pressure-sensitive adhesive has a partially crosslinked structure in the acrylic polymer. By having a cross-linking structure, the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive is enhanced, so that the paste does not remain at the time of peeling off the tape. Such a crosslinking structure can be formed by using a crosslinking agent capable of reacting with the functional group-containing monomer. As the crosslinking agent, for example, an epoxy crosslinking agent, an aliphatic or aromatic isocyanate crosslinking agent and the like are preferably used.

점착제층 (B)를 형성하는 방법으로서는, 그라비아 등의 롤 코터, 코머 코터, 다이 코터 등을 이용하여, 세퍼레이터의 한쪽면에 점착제를 직접 도공하여 건조하는 방법이나, 일단 이형지 상에 동일한 방법으로 점착제층을 설치한 후 세퍼레이터의 한쪽면에 전사하는 방법 등을 사용할 수 있다. As a method of forming the pressure-sensitive adhesive layer (B), there can be used a method of directly applying an adhesive to one side of the separator by using a roll coater such as a gravure, a comer coater, a die coater or the like, A method of transferring the layer to one side of the separator after the layer is installed, or the like can be used.

상기 점착제층 (B)의 두께는 점착력 등에 의해 적절하게 결정하는 것이 바람직하지만, 구체적으로는 1 내지 50 μm인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2 내지 25 μm이다. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer (B) is preferably determined appropriately by the adhesive force and the like, but is preferably 1 to 50 μm, more preferably 2 to 25 μm.

1 μm 미만이면, 포토마스크에 대한 접착 강도가 부족해지는 경우가 있거나, 포토마스크의 요철에 대하여 접착 시에 기포가 말려 들어가거나 하는 경우가 있고, 한편, 50 μm를 초과하면 충분한 광투과성이 얻어지지 않게 되거나, 산란광의 광원을 이용한 때에 광산란에 의해 패턴 해상도의 저하의 원인이 되는 경우가 있다.When the thickness is less than 1 μm, the adhesion strength to the photomask may be insufficient, or the bubbles may be curled when adhered to the unevenness of the photomask. On the other hand, when the thickness exceeds 50 μm, sufficient light transmittance Or when the light source of scattered light is used, the pattern resolution may be lowered due to light scattering.

본 발명에 있어서는, 점착력을 향상시키기 위해서, 이른바 점착 부여 수지(점착 부여제) 성분을 배합하여 이용할 수도 있다. 점착 부여제 성분이란, 점착 부여제라고도 하고, 엘라스토머에 배합되어 점착성의 기능을 향상시키는 물질이고, 통상, 분자량이 수백 내지 수천의 무정형 올리고머이고, 상온에서 액상 또는 고형의 열가소성 수지이다. In the present invention, a so-called tackifier resin (tackifier) component may be used in combination in order to improve the adhesive strength. The tackifier component is also referred to as a tackifier and is a substance which is blended with an elastomer to improve the adhesive function and is usually a liquid or solid thermoplastic resin having a molecular weight of several hundred to several thousands of amorphous oligomers at room temperature.

점착 부여제의 종류는 특별히 한정되지 않으며, 로진계 수지, 테르펜계 수지로 대표되는 천연 수지계나, 지방족계, 방향족계, 공중합계의 석유 수지, 페놀계 수지, 크실렌 수지 등의 합성 수지계가 예시된다. 이들은 단독으로 이용하거나, 2종 이상 병용하여 사용할 수도 있다. Examples of the tackifier include, but are not limited to, natural resins such as rosin-based resins and terpene-based resins, synthetic resins such as aliphatic, aromatic and copolymer petroleum resins, phenol resins and xylene resins . These may be used alone or in combination of two or more.

점착 부여제는, 통상, 광의 투과를 저해하기 때문에, 헤이즈값을 크게 하지 않고, 또한 바람직한 점착 성능을 달성하기 위해서는, 로진계 수지, 테르펜페놀계 수지를 병용하여 이용하는 것이 바람직하다. Since the tackifier generally inhibits the transmission of light, it is preferable to use a rosin-based resin or a terpene-phenol-based resin in combination in order not to increase the haze value and to achieve a preferable adhesive property.

점착 부여제 성분의 배합량은 점착제 성분 100 중량부에 대하여, 5 내지 80 중량부가 바람직하고, 8 내지 50 중량부인 것이 보다 바람직하다. 점착 부여제의 배합량이 너무 적으면 필요한 점착력이 얻어지지 않고, 반대로 너무 많으면 재박리했을 때에 표면에 기재와 같이 점착층이 박리되지 않는, 즉 풀이 잔류하는 문제가 생기기 쉬워져서, 사실상 사용하는 것이 곤란해진다.The blending amount of the tackifier component is preferably 5 to 80 parts by weight, and more preferably 8 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the pressure-sensitive adhesive component. If the blending amount of the tackifier is too small, the necessary adhesive force can not be obtained. On the contrary, if the tackifier is too peeled off, the adhesive layer will not peel off on the surface like the base material, It becomes.

5. 그 밖의 층5. Other layers

(1) 대전 방지층(1) Antistatic layer

상기 기재의 점착제층 (B)이 설치된 면과는 반대측의 면에는, 광투과성에 영향이 없는 한에 있어서, 대전 방지층 등을 설치할 수 있다. 상기 대전 방지층은 테이프가 대전하여 공기 중의 먼지 등을 끌어당기는 것을 방지하는 역할을 갖는다.An antistatic layer or the like may be provided on the surface of the base material opposite to the surface provided with the pressure-sensitive adhesive layer (B), so long as it does not affect the light transmittance. The antistatic layer has a role of preventing the tape from being charged and attracting dust or the like in the air.

상기 대전 방지층으로서는 표면층 (C)의 밀착성을 손상시키지 않는 범위에서 자유롭게 선택할 수 있다. The antistatic layer can be freely selected within a range that does not impair the adhesion of the surface layer (C).

대전 방지제로서는 예를 들면 제4급 암모늄염, 제1 내지 3급 아미노기 등의 양이온성 대전 방지제, 술폰산염기, 질산에스테르염기, 인산에스테르염기 등의 음이온성 대전 방지제, 아미노산계의 양성 대전 방지제, 글리세린계 또는 폴리에틸렌글리콜계의 비이온성 대전 방지제 등을 단독 또는 조합하여 이용할 수도 있다. Examples of the antistatic agent include cationic antistatic agents such as quaternary ammonium salts and primary to tertiary amino groups, anionic antistatic agents such as sulfonic acid bases, nitric acid ester bases and phosphoric acid ester bases, amino acid positive antistatic agents, glycerin type antistatic agents Or a polyethylene glycol-based nonionic antistatic agent may be used alone or in combination.

또한 아크릴 등의 수지에 도전성 미립자를 분산시킨 것 등을 들 수 있다. 상기 도전성 미립자로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 안티몬 도핑 산화주석 미립자 등은 광투과성에 영향을 주기 어렵기 때문에 바람직하다. And conductive fine particles dispersed in a resin such as acryl. The conductive fine particles are not particularly limited, and for example, antimony-doped tin oxide fine particles are preferable because they hardly affect the light transmittance.

상기한 대전 방지제를 플라스틱 제품의 표면에 도포하거나, 내부에 혼입시키거나 함으로써 대전 방지층을 얻을 수 있다. An antistatic layer can be obtained by applying the above antistatic agent to the surface of a plastic article or by mixing the antistatic agent with the antistatic agent.

(2) 보호 필름층 (2) Protective film layer

또한, 점착제층 (B)측의 가장 외측에는, 점착제층을 보호하고, 취급을 쉽게 하기 위해서 보호층이 적층되어 있는 것이 바람직하다. 상기 보호층으로서는, 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, 실리콘계 이형층이 형성된 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 등을 들 수 있다. 이 보호층은 본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프를 포토마스크에 접착하기 전에 점착 테이프로부터 박리된다. 보호 필름의 두께는 특별히 한정되지 않지만 일반적으로는 12 내지 75 μm의 범위의 것이 사용되고 있다. It is preferable that a protective layer is laminated on the outermost side of the pressure-sensitive adhesive layer (B) side in order to protect the pressure-sensitive adhesive layer and to facilitate handling. The protective layer is not particularly limited and, for example, a polyethylene terephthalate film formed with a silicone-based release layer can be given. The protective layer is peeled from the adhesive tape before the photomask protecting adhesive tape of the present invention is adhered to the photomask. The thickness of the protective film is not particularly limited, but is generally in the range of 12 to 75 μm.

6. 포토마스크 보호용 점착 테이프6. Adhesive tape for photomask protection

본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프는 투명한 기재 필름 또는 시트 (A)와, 그의 한쪽면에 형성된 점착제층 (B)와, 점착제층 (B)의 면과는 반대측의 면에 형성된 표면층 (C)를 포함하는 포토마스크 보호용 점착 테이프로서, 표면층 (C)는 이소시아네이트 실란 (x) 및 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프이다. The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask of the present invention comprises a transparent base film or sheet (A), a pressure-sensitive adhesive layer (B) formed on one side thereof, and a surface layer (C) formed on a surface opposite to the surface of the pressure- Wherein the surface layer (C) is a cured product obtained from a mixture containing an isocyanate silane (x) and a siloxane (y) having a hydroxyl group at the terminal thereof.

또한, 중간층 (D)나, 그 밖의 층으로서, 대전 방지층, 보호층 등을 더 설치할 수도 있다. As the intermediate layer (D) and other layers, an antistatic layer, a protective layer, and the like may be further provided.

따라서, 본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프는 밀착 노광의 반복 공정에서 레지스트에 대하여 박리성을 지속할 수 있다. 또한 포토마스크 보호용 점착 테이프의 표면층의 레지스트로부터의 오염 부착물이 있는 경우에 알코올 등의 용제에 의해 세정하더라도 표면층의 탈락이 없는 포토마스크 보호용 점착 테이프라는 효과가 있어, 효율적·경제적으로 우수한 방법에 의해 인쇄 배선판을 제조하는 것이 가능하다는 특징을 갖는다. Therefore, the adhesive tape for protecting a photomask of the present invention can maintain the peeling property with respect to the resist in the repeated process of the contact exposure. Further, when there is a dirt adhering to the surface layer of the pressure-sensitive adhesive tape for protecting the photomask, even if it is cleaned with a solvent such as alcohol, there is an effect that the surface layer does not fall off and the adhesive tape is used for protecting the photomask. It is possible to manufacture a wiring board.

이하에, 본 발명의 실시예 및 비교예에 의해 본 발명을 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 의해 전혀 한정되지 않는다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples and comparative examples of the present invention, but the present invention is not limited at all by these examples.

1. 평가 방법 1. Evaluation Method

실시예 및 비교예에서 얻어진 포토마스크 보호용 점착 테이프에 대해서, 이하의 방법에 의해 평가를 행하였다. The evaluation of the adhesive tape for photomask protection obtained in the examples and the comparative examples was carried out by the following method.

(1) 에탄올 마모 시험: (1) Ethanol wear test:

에탄올 1 g을 흡수시켜 적신 탈지면으로 200 g의 추를 감싼 것을, 포토마스크 보호용 점착 테이프의 표면층에 실어 50회 및 100회 왕복 이동시켰다. 이 시험면에 아크릴계 점착 테이프(니토 덴꼬사 제조 「#31B」)를 2 kg의 롤러로 가압하여 접합하여 평가용 시료를 제조하였다. 이 평가용 시료를 상온에서 30분 방치한 후, 박리 속도 300 mm/분으로 포토마스크 보호용 점착 테이프의 180도 박리 시험을 행하여 박리 강도를 측정하였다. 초기치에 비하여 박리 강도 증가량이 적은 것이 바람직하다. 1 g of ethanol was absorbed, and a weight of 200 g was wrapped with a cotton swab soaked on the surface layer of the photomask protecting adhesive tape for 50 times and 100 reciprocations. An acrylic adhesive tape ("# 31B ", manufactured by Nitto Denko Corporation) was pressed on the test surface with a 2-kg roller to prepare an evaluation sample. The evaluation sample was allowed to stand at room temperature for 30 minutes, and then subjected to a 180 degree peel test of a photomask protecting adhesive tape at a peeling speed of 300 mm / min to measure the peel strength. It is preferable that the increase in the peel strength is smaller than the initial value.

(2) 밀착 노광 시험: (2) Contact exposure test:

처음에, 포토마스크 보호용 점착 테이프를 패턴이 없는 무지(無地)의 현상 완료 포토마스크(후지 샤신 필름사 제조 「IPL175SHG」)에 접착한다. First, the adhesive tape for protecting the photomask is bonded to a photomask (IPL175SHG, manufactured by Fuji Shashin Film Co., Ltd.) having no pattern and without a pattern.

다음으로, 0.8 mm 두께의 유리 에폭시 기판의 상부에 동박 두께 35 μm의 테스트 패턴이 실시된 테스트 기판을 이용하여, 스크린 인쇄기에 의해 현상형 솔더 레지스트 잉크 포토레지스트(다이요우 잉크사 제조의 PSR-4000 AUS308/CA-40 AUS308=70/30)을 도포하고, 80℃에서 30분 건조한 후의 막 두께가 대략 30 μm가 되도록 테스트 기판을 제조하였다. 이 기판을 이용하여, 오크 세이샤꾸쇼사 제조의 HMW-20D로 밀착 노광 시험을 자외선 조도 400 mJ/cm2, 탈기 750 mmHg의 조건으로 실시하였다. Next, using a test substrate on which a test pattern having a copper foil thickness of 35 占 퐉 was formed on a glass epoxy substrate having a thickness of 0.8 mm, a developing solder resist ink photoresist (PSR-4000 manufactured by Daiei Ink Co., Ltd.) AUS308 / CA-40 AUS308 = 70/30) was coated on the substrate and dried at 80 DEG C for 30 minutes to form a test substrate having a thickness of approximately 30 mu m. This substrate was subjected to an adhesion exposure test using HMW-20D manufactured by Oak Seikakusho Co., Ltd. under conditions of an ultraviolet illuminance of 400 mJ / cm 2 and a deaeration of 750 mmHg.

밀착 노광 시험을 100회 및 500회 실시한 후, 포토마스크 보호용 점착 테이프에 대해서 하기의 평가를 실시하였다. After the adhesion exposure test was conducted 100 times and 500 times, the following evaluations were performed on the adhesive tape for protecting the photomask.

·외관 육안 관찰· Appearance visual observation

백화의 표면의 변화를 관찰하였다. Changes in the surface of the whiteness were observed.

·광학 특성 · Optical properties

밀착 노광 시험을 실시한 포토마스크 보호용 점착 테이프 부착 포토마스크에 대해서 JIS K 7105에 준하여, 분구식 탁도계(닛본 덴쇼꾸 고교사 제조, NDH-20)를 이용하여 헤이즈값(％)을 측정하였다. 포토마스크 보호용 점착 테이프가 붙어 있지 않은 포토마스크의 헤이즈는 5이고, 포토마스크 보호용 점착 테이프가 붙어 있는 포토마스크는 6이었다. 밀착 노광 시험 후의 헤이즈값의 변화가 적은 것이 양호하다. 9를 넘는 것을 불량으로 하였다. The haze value (%) of the photomask with a pressure-sensitive adhesive tape for protection of the photomask subjected to the close exposure test was measured in accordance with JIS K 7105 using an atomization type turbidimeter (NDH-20, manufactured by Nippon Denshoku Kogyo Co., Ltd.). The haze of the photomask with no adhesive tape for protecting the photomask was 5, and the photomask with the adhesive tape for protecting the photomask was 6. It is preferable that the change in the haze value after the adhesion exposure test is small. 9 was judged to be defective.

·박리 강도· Peel strength

에탄올 마모 시험과 동일한 테이프 박리 시험을 실시하였다. 초기치에 비하여 박리 강도 증가량이 적은 것이 양호하다. 1.0 N/25 mm를 넘으면 장치 트러블이 될 가능성이 높기 때문에 불량으로 하였다. The same tape peel test as in the ethanol wear test was performed. It is preferable that the increase in the peel strength is smaller than the initial value. If it exceeds 1.0 N / 25 mm, it is considered to be defective because there is a high possibility of device trouble.

(3) 종합 평가: (3) Overall evaluation:

사용 가능한 것(양품)을 「○」, 특히 우수한 것을 「◎」, 사용상 문제가 있는 것(불량)을 「×」로 하였다. "Good" (good), "good" (good), and "poor" (poor) were judged as "good".

2. 실시예 및 비교예2. Examples and Comparative Examples

[실시예 1] [Example 1]

PET 기재의 한쪽면에 실리콘 이형제층이 형성된 두께 25 μm 세퍼레이터(린텍사 제조) 상에 이소시아네이트 가교 타입의 아크릴계 점착제(소켄 가가꾸사 제조 「SK 다인 1425」)를 톨루엔으로 10 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후 120℃에서 30초간 건조하여 건조 후의 두께 5 μm의 점착제층을 설치하였다. 이어서 상기 점착제층을 두께 6 μm의 2축 연신한 투명 PET 기재 필름(도레이사 제조 「F53#6C」)를 적층하여 점착 테이프를 제조하였다. An acrylic pressure-sensitive adhesive of an isocyanate crosslinking type ("SK Dyne 1425", manufactured by Soken Chemical & Engineering Co., Ltd.)) with a thickness of 25 μm and a silicone release agent layer formed on one side of the PET substrate was immersed in toluene at a solid concentration of 10% by weight And dried at 120 캜 for 30 seconds to provide a pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of 5 탆 after drying. Subsequently, the pressure-sensitive adhesive layer was laminated with a biaxially stretched transparent PET base film ("F53 # 6C" manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 6 μm to produce a pressure-sensitive adhesive tape.

다음으로 상기 점착 테이프의 투명 PET 기재 표면을 와코 준야꾸 고교사 제조의 「습윤 장력 시험용 혼합액 No48.0」의 탄력이 없도록 코로나 처리를 실시한 후, 그의 상면에 메틸트리이소시아네이트(마쓰모토 세이야꾸사 제조 「SI-310」) 80 중량부와 디올실록산(신에쯔 가가꾸사 제조 「KF-9701」) 20 중량부의 혼합물을 아세트산에틸로 2 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 110℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.1 μm의 표면층을 설치하여 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. Next, the surface of the transparent PET substrate of the pressure-sensitive adhesive tape was subjected to corona treatment so that the "wet tension test mixture No. 48.0" manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., had no elasticity, and methyltriisocyanate ("SI" manufactured by Matsumoto Seiyaku Co., -310 ") and 20 parts by weight of diol siloxane (" KF-9701 "manufactured by Shinetsu Chemical Co., Ltd.) was diluted with ethyl acetate to a solid concentration of 2% by weight and then coated at 110 ° C. for 120 seconds A surface layer having a thickness of 0.1 mu m after drying and drying was provided to produce a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection. The evaluation results are shown in Table 1.

[실시예 2][Example 2]

실시예 1과 동일하게 코로나 처리를 실시하여 제조한 점착 테이프의 상면에, 실리콘 수지로서 실리콘 레진(도레이·다우 코닝사 제조 「SR2410」) 60 중량부와 멜라민 수지로서 메틸올기형 메틸화 멜라민 수지(미쓰이 사이텍사 제조 「사이멜370」) 40 중량부의 혼합물을 MEK로 5 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 130℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.1 μm의 실리콘계 수지와 멜라민 수지로 이루어지는 중간층을 얻었다. 60 parts by weight of a silicone resin ("SR2410" manufactured by Toray-Dow Corning Toray Co., Ltd.) as a silicone resin, and 60 parts by weight of a methylol terpolymerized methylated melamine resin (Mitsui Cytec Co., 40 parts by weight of "Cymel 370" manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) was diluted with MEK to a solid concentration of 5% by weight and then dried at 130 캜 for 120 seconds to form an intermediate layer of a silicone resin and a melamine resin .

상기 중간층의 상면에 메틸트리이소시아네이트(마쓰모토 세이야꾸사 제조 「SI-310」) 80 중량부와 디올실록산(신에쯔 가가꾸사 제조 「KF-9701」) 20 중량부의 혼합물을 아세트산에틸로 2 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 110℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.1 μm의 표면층(이형층)을 설치하여 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. A mixture of 80 parts by weight of methyltriisocyanate ("SI-310" manufactured by Matsumoto Seiyaku Co., Ltd.) and 20 parts by weight of diol siloxane (KF-9701 manufactured by Shinetsu Chemical Co., Ltd.) , And dried at 110 캜 for 120 seconds to form a surface layer (release layer) having a thickness of 0.1 탆 after drying to prepare a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection. The evaluation results are shown in Table 1.

[실시예 3][Example 3]

중간층을 실리콘계 수지(도레이·다우 코닝사 제조 「SR2410」) 60 중량부와 구아나민 화합물로서 메틸 및 n-부틸 혼합 에테르화 벤조구아나민(산와 케미컬사 제조 「니칼락 BX-4000」) 40 중량부와의 혼합물을 MEK, 부탄올로 5 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 130℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.1 μm의 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조한 것 이외에는, 실시예 2와 동일하게 하였다. 평가 결과를 표 1에 나타낸다.60 parts by weight of a silicone resin ("SR2410" manufactured by Toray Dow Corning Toray Co., Ltd.) as an intermediate layer, 40 parts by weight of methyl and n-butyl mixed etherified benzoguanamine ("Nigalak BX-4000" Was diluted to a solid concentration of 5% by weight with MEK and butanol, and then dried at 130 캜 for 120 seconds to prepare a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection having a thickness of 0.1 탆 after drying. Respectively. The evaluation results are shown in Table 1.

[실시예 4] [Example 4]

표면층(이형층)을 메틸트리이소시아네이트 실란(마쓰모토 세이야꾸사 제조 「SI-310」) 70 중량부와 테트라이소시아네이트 실란(마쓰모토 세이야꾸사 제조 「 SI-400」) 10 중량부와 디올실록산(신에쯔 가가꾸사 제조 「KF-9701」) 20 중량부와의 혼합물을 아세트산에틸로 2 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 110℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.1 μm의 표면층(이형층)을 설치하여 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조한 것 이외에는, 실시예 3과 동일하게 하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. 70 parts by weight of methyltriisocyanate silane ("SI-310" manufactured by Matsumoto Seiyaku Co., Ltd.), 10 parts by weight of tetraisocyanate silane (SI-400 manufactured by Matsumoto Seiyaku Co., Ltd.) and 10 parts by weight of diol siloxane (KF-9701, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was diluted with ethyl acetate to a solid concentration of 2% by weight, and then dried at 110 캜 for 120 seconds to obtain a surface layer (release layer) Was used as a protective film for a photomask to manufacture a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask. The evaluation results are shown in Table 1.

[실시예 5][Example 5]

실시예 1과 동일하게 코로나 처리를 실시하여 제조한 점착 테이프의 상면에, 메틸트리이소시아네이트(마쓰모토 세이야꾸사 제조 「SI-310」) 80 중량부와 디올실록산(신에쯔 가가꾸사 제조 「KF-9701」) 20 중량부, 멜라민계 화합물로서 메틸올기형 메틸화 멜라민 수지(미쓰이 사이텍사 제조 「사이멜370」) 40 중량부의 혼합물을 MEK로 5 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 130℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.1 μm의 표면 코팅층을 설치한 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. 80 parts by weight of methyltriisocyanate ("SI-310" manufactured by Matsumoto Seiyaku Co., Ltd.) and 20 parts by weight of diol siloxane ("KF-1" manufactured by Shinetsu Chemical Co., 9701 ") as a melamine compound and 40 parts by weight of a methylol group type methylated melamine resin ("Cymel 370" manufactured by Mitsui Cytec Co., Ltd.) as a melamine compound was diluted with MEK to a solid concentration of 5% For 120 seconds to prepare a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection provided with a surface coating layer having a thickness of 0.1 mu m after drying. The evaluation results are shown in Table 1.

[실시예 6][Example 6]

실시예 1과 동일하게 코로나 처리를 실시하여 제조한 점착 테이프의 상면에 메틸트리이소시아네이트(마쓰모토 세이야꾸사 제조 「SI-310」) 80 중량부와 디올실록산(신에쯔 가가꾸사 제조 「KF-9701」) 20 중량부, 구아나민계 화합물로서 메틸 및 n-부틸 혼합 에테르화 벤조구아나민(산와 케미컬사 제조 「니칼락 BX-4000」) 30 중량부의 혼합물을 MEK 및 부탄올로 5 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 130℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.1 μm의 표면 코팅층을 설 치한 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. 80 parts by weight of methyl triisocyanate ("SI-310" manufactured by Matsumoto Seiyaku Co., Ltd.) and 10 parts by weight of diol siloxane (KF-9701 manufactured by Shinetsu Chemical Co., Ltd.) were applied on the top surface of the adhesive tape prepared by corona treatment in the same manner as in Example 1, ) And 30 parts by weight of methyl and n-butyl-mixed etherified benzoguanamine ("Nigalak BX-4000" manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) as a guanamine compound were dissolved in MEK and butanol at a solid content concentration of 5% by weight To prepare a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection having a surface coating layer having a thickness of 0.1 mu m after drying by drying at 130 DEG C for 120 seconds. The evaluation results are shown in Table 1.

[비교예 1][Comparative Example 1]

상기 제조 실시예 1의 표면층을 부가 반응형 실리콘(도레이·다우 코닝사 제조 「LTC750A」) 100 중량부와 백금 촉매(도레이·다우 코닝사 제조 SRS212) 1 중량부 및 실란 커플링제(γ-글리시독시프로필트리메톡시실란(모멘티브 머터리얼 재팬사 제조 「TSL8350」)) 1 중량부의 혼합물을 톨루엔으로 5 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 110℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.3 μm로 변경한 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. The surface layer of Preparation Example 1 was mixed with 100 parts by weight of addition reaction type silicone ("LTC750A" manufactured by TORAY DOW CORNING), 1 part by weight of a platinum catalyst (SRS212 manufactured by Toray Dow Corning) and a silane coupling agent And 1 part by weight of trimethoxysilane ("TSL8350" manufactured by Momentive Material Japan Co., Ltd.)) was diluted with toluene to a solid concentration of 5% by weight, and then dried at 110 ° C. for 120 seconds, To prepare a modified adhesive tape for photomask protection. The evaluation results are shown in Table 1.

[비교예 2][Comparative Example 2]

상기 제조 실시예 2의 중간층 상면에 부가 반응형 실리콘(도레이·다우 코닝사 제조 「LTC750A」) 100 중량부와 백금 촉매(도레이·다우 코닝사 제조 SRS212) 1 중량부 및 실란 커플링제(γ-글리시독시프로필트리메톡시실란(모멘티브 머터리얼 재팬 제조 「TSL8350」)) 1 중량부의 혼합물을 톨루엔으로 5 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 110℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.3 μm의 표면층(이형층)을 설치하여 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조한 것 이외에는, 동일하게 하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. 100 parts by weight of an addition reaction type silicone ("LTC750A" manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.), 1 part by weight of a platinum catalyst (SRS212 manufactured by Toray Dow Corning) and 1 part by weight of a silane coupling agent Propyltrimethoxysilane (" TSL8350 ", manufactured by Momentive Material Japan)) was diluted with toluene to a solid concentration of 5% by weight, and then dried at 110 캜 for 120 seconds to obtain a dried film having a thickness of 0.3 탆 Except that a surface layer (release layer) was provided to produce a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection. The evaluation results are shown in Table 1.

[비교예 3][Comparative Example 3]

상기 제조 실시예 3의 중간층 상면에, 비교예 2의 표면 이형층(표면층)을 설 치하여 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조한 것 이외에는, 실시예 3과 동일하게 하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. A pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask was produced in the same manner as in Example 3 except that the surface release layer (surface layer) of Comparative Example 2 was provided on the upper surface of the intermediate layer of Production Example 3. The evaluation results are shown in Table 1.

[비교예 4] [Comparative Example 4]

실시예 5와 마찬가지로 코로나 처리를 실시하여 제조한 점착 테이프의 상면에, 부가 반응형 실리콘(도레이·다우 코닝사 제조 「LTC750A」) 100 중량부와 백금 촉매(도레이·다우 코닝사 제조 「SRS212」) 1 중량부, 멜라민계 화합물로서 메틸올기형 메틸화 멜라민 수지(미쓰이 사이텍사 제조 「사이멜370」) 40 중량부의 혼합물을 MEK로 5 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 130℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.3 μm의 표면 코팅층을 설치한 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. 100 parts by weight of an addition reaction type silicone ("LTC750A" manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.) and 1 part by weight of a platinum catalyst ("SRS212" manufactured by Toray Dow Corning) were applied on the top surface of an adhesive tape produced by corona treatment in the same manner as in Example 5 And 40 parts by weight of a methylol group type methylated melamine resin ("Cymel 370" manufactured by Mitsui Cytec Co., Ltd.) as a melamine compound was diluted with MEK to a solid concentration of 5% by weight and then dried at 130 캜 for 120 seconds To prepare a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection provided with a surface coating layer having a thickness of 0.3 mu m after drying. The evaluation results are shown in Table 1.

[비교예 5] [Comparative Example 5]

실시예 5와 마찬가지로 코로나 처리를 실시하여 제조한 점착 테이프의 상면에, 부가 반응형 실리콘(도레이·다우 코닝사 제조 「LTC750A」) 100 중량부와 백금 촉매(도레이·다우 코닝사 제조 「SRS212」) 1 중량부, 구아나민계 화합물로서 메틸 및 n-부틸 혼합 에테르화 벤조구아나민(산와 케미컬사 제조 「니칼락 BX-4000」) 30 중량부의 혼합물을 톨루엔 및 MEK 혼합 용액으로 5 중량％의 고형분 농도로 희석하여 도공한 후, 130℃에서 120초간 건조하여 건조 후의 두께 0.3 μm의 표면 코팅층을 설치한 포토마스크 보호용 점착 테이프를 제조하였다. 평가 결과를 표 1에 나타내었다. 100 parts by weight of an addition reaction type silicone ("LTC750A" manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.) and 1 part by weight of a platinum catalyst ("SRS212" manufactured by Toray Dow Corning) were applied on the top surface of an adhesive tape produced by corona treatment in the same manner as in Example 5 And 30 parts by weight of methyl and n-butyl mixed etherified benzoguanamine ("Nigalak BX-4000" manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) as a guanamine compound was diluted with a mixed solution of toluene and MEK to a solid concentration of 5% by weight , And then dried at 130 ° C for 120 seconds to prepare a pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection having a surface coating layer having a thickness of 0.3 μm after drying. The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 112009034390855-pct00001
Figure 112009034390855-pct00001

3. 평가 결과3. Evaluation results

표 1의 평가 결과로부터, 발명 특정 사항을 만족시키지 않는 비교예와 비교하였다. From the evaluation results shown in Table 1, it was compared with the comparative example which does not satisfy the invention specific matters.

실시예 1은 중간층 (D)를 갖지 않는 구성이고, 에탄올 마모 시험 50 왕복이어도 거의 테이프 박리력의 변화가 없고, 반복 밀착 노광 시험 100회 후에도 외관 변화 및 테이프 박리성에 있어서도 거의 변화가 없었다. 에탄올 마모 시험 100 왕복 및 반복 밀착 노광 시험 500회 후에 있어서는, 외관 변화는 없지만 테이프 박리성이 약간 상승 경향이 있지만 충분 사용할 수 있는 양품의 범위였다. Example 1 had no intermediate layer (D), and there was almost no change in the tape peeling force even when the ethanol abrasion test was repeated 50 times, and even after 100 times of the repeated adhesion exposure test, there was almost no change in appearance change and tape peelability. Ethanol Abrasion Test 100 After 500 reciprocating and repeated contact exposure tests, there was no apparent change in appearance, but the tape peelability tended to rise slightly, but it was within the range of good products that could be used sufficiently.

비교예 1은 중간층 (D)를 갖지 않는, 본 발명의 것이 아닌 표면층의 구성이지만, 에탄올 마모 시험 50회에서 테이프 박리력의 변화가 크고, 반복 밀착 노광 시험 100회 후의 외관은 백화하고, 레지스트 성분 부착, 레지스트에 대한 박리성이 현저하게 저하하였다. 헤이즈의 변화도 현저하기 때문에, 테이프에 의한 박리력도 초기의 10배 이상으로 되어 있었기 때문에 불량이다. Comparative Example 1 shows the structure of the surface layer not having the intermediate layer (D) but not the present invention, but the change in the tape peeling force was great at 50 times of the ethanol abrasion test, the appearance after 100 times of the repeated adhesion exposure test was whitened, The adhesion to the resist and the peeling property to the resist remarkably decreased. Since the change in haze is also remarkable, the peeling force by the tape is also 10 times or more the initial value, which is defective.

실시예 2는 중간층 (D)를 갖는 구성의 것이고, 에탄올 마모 시험 50 및 100 왕복하더라도 거의 테이프 박리력의 변화가 없고, 실시예 1의 품질을 더욱 향상시키고 있었다. 또한 반복 밀착 노광 시험 100회 및 500회 후의 외관 변화 및 테이프 박리성에 대해서도 거의 변화하지 않는 매우 우수한 양품이었다. Example 2 had a structure having the intermediate layer (D), and even when the ethanol abrasion test was conducted at 50 and 100 reciprocations, the tape peel strength was almost unchanged and the quality of Example 1 was further improved. Further, it was a very good product which showed almost no change in appearance change and tape peeling property after 100 times and 500 times of repeated adhesion exposure test.

비교예 2는 중간층 (D)를 갖는, 본 발명의 것이 아닌 표면층의 구성이지만, 에탄올 마모 시험 50회 및 100회에서의 테이프 박리력의 변화는 작고 양호하였다. 그러나 반복 밀착 노광 시험 100회 후의 외관은 백화하여, 레지스트 성분 부착, 레지스트에 대한 박리성이 현저하게 저하하였다. 헤이즈의 변화도 현저하기 때문에 테이프에 의한 박리력도 초기의 10배 이상으로 되어 있었기 때문에 불량이다. Comparative Example 2 had the structure of the surface layer not having the intermediate layer (D) of the present invention, but the change of the tape peeling force at 50 times and 100 times of the ethanol abrasion test was small and good. However, the outer appearance after 100 times of the repeated contact exposure test was whitened, and the peeling property with the resist component and the resist remarkably decreased. Since the change in haze is also remarkable, the peeling force by the tape is 10 times or more the initial value, which is defective.

실시예 3은 중간층 (D)를 실시예 2의 멜라민계 수지로부터 구아나민계 수지를 함유하는 것으로 변경한 구성의 것으로서, 실시예 2와 동일하게 에탄올 마모 시험 50 및 100 왕복과 반복 밀착 노광 시험 100회 및 500회 후의 외관 변화 및 테이프 박리성에 대해서도 거의 변화하지 않는 매우 우수한 양품이었다. Example 3 was prepared in the same manner as in Example 2 except that the intermediate layer (D) was changed from the melamine resin of Example 2 to a resin containing a guanamine resin. In the same manner as in Example 2, the ethanol abrasion test 50 and 100 reciprocating and repetitive contact exposure tests 100 And the appearance change and tape peeling property after 500 times, were almost excellent.

실시예 4는 실시예 3의 이소시아네이트 실란을 메틸트리이소시아네이트 실란에 첨가하여 테트라이소시아네이트 실란을 배합한 것으로서, 반복 밀착 노광 시험 500회 후의 테이프 박리성에 대해서 다소 변화가 작은 것으로 되어 있는 매우 우수한 양품이었다. Example 4 was a very excellent product in which the isocyanate silane of Example 3 was added to methyltriisocyanate silane and tetraisocyanate silane was blended to give a slightly small change in tape peelability after 500 repetitive adhesion exposure tests.

비교예 3은 중간층 (D)를 비교예 2의 멜라민계 수지로부터 구아나민계 수지를 함유하는 것으로 변경한 구성의 것이다. 비교예 2와 마찬가지로 에탄올 마모 시험 50회 및 100회에서의 테이프 박리력의 변화는 작고 양호하였다. 그러나 반복 밀착 노광 시험 100회 후의 외관은 백화하여, 레지스트 성분 부착, 레지스트에 대한 박리성이 현저하게 저하하였다. 헤이즈의 변화도 현저하기 때문에 테이프에 의한 박리력도 초기의 10배 이상으로 되어 있었기 때문에 불량이다. In Comparative Example 3, the intermediate layer (D) was changed from the melamine resin of Comparative Example 2 to a resin containing a guanamine resin. As in Comparative Example 2, the change of the tape peeling force at 50 times and 100 times of the ethanol abrasion test was small and good. However, the outer appearance after 100 times of the repeated contact exposure test was whitened, and the peeling property with the resist component and the resist remarkably decreased. Since the change in haze is also remarkable, the peeling force by the tape is 10 times or more the initial value, which is defective.

실시예 5는 중간층 (D)를 갖지 않는 구성의 것인데, 에탄올 마모 시험 50 및 100 왕복하더라도 거의 테이프 박리력의 변화가 없다. 또한 반복 밀착 노광 시험 100회 및 500회 후의 외관 변화 및 테이프 박리성에 대해서도 거의 변화가 없고, 실시예 2와 동등한 품질을 얻고 있는 매우 우수한 양품이었다. Example 5 is of a configuration not having the intermediate layer (D), and there is almost no change in the tape peel force even when the ethanol wear test is performed at 50 and 100 reciprocations. Further, the appearance change and tape peelability after 100 times and 500 times of the repeated adhesion exposure test showed almost no change, and the product was a very good product having the same quality as that of Example 2.

비교예 4는 실시예 5의 표면층을 본 발명의 것이 아닌 표면층으로 변경한 구성인데, 에탄올 마모 시험 50회에서 테이프 박리력의 변화가 크고, 반복 밀착 노광 시험 100회 후의 외관은 백화하고, 레지스트 성분 부착, 레지스트에 대한 박리성이 현저하게 저하하였다. 헤이즈의 변화도 현저하기 때문에, 테이프에 의한 박리력도 초기의 10배 이상으로 되어 있었기 때문에 불량이다. In Comparative Example 4, the surface layer of Example 5 was changed to a surface layer not used in the present invention. In the ethanol abrasion test 50 times, the change in the tape peeling force was large, the appearance after 100 times of the repeated adhesion exposure test was whitened, The adhesion to the resist and the peeling property to the resist remarkably decreased. Since the change in haze is also remarkable, the peeling force by the tape is also 10 times or more the initial value, which is defective.

실시예 6은 중간층 (D)를 갖지 않는 구성의 것으로서, 실시예 5의 멜라민계 수지로부터 구아나민계 수지로 변경한 것이다. 에탄올 마모 시험 50 및 100 왕복하더라도 거의 테이프 박리력의 변화가 없다. 또한 반복 밀착 노광 시험 100회 및 500회 후의 외관 변화 및 테이프 박리성에 대해서도 거의 변화가 없고, 실시예 3과 동등한 품질을 얻고 있는 매우 우수한 양품이었다. Example 6 is a composition having no intermediate layer (D), and the melamine resin of Example 5 was changed to a guanamine resin. There is almost no change in the tape peeling force even when the ethanol wear test is carried out at 50 and 100 reciprocations. Further, the appearance change and tape peeling property after 100 times and 500 times of the repeated adhesion exposure test showed almost no change, and the product was a very good product having the same quality as that of Example 3.

비교예 5는 실시예 6의 표면층을 본 발명의 것이 아닌 표면층으로 변경한 구성이지만, 에탄올 마모 시험 50회에서 테이프 박리력의 변화가 크고, 반복 밀착 노광 시험 100회 후의 외관은 백화하고, 레지스트 성분 부착, 레지스트에 대한 박리성이 현저하게 저하하였다. 헤이즈의 변화도 현저하기 때문에, 테이프에 의한 박리력도 초기의 10배 이상으로 되어 있었기 때문에 불량이다. In Comparative Example 5, the surface layer of Example 6 was changed to a surface layer not used in the present invention. However, the change in tape peeling force was great at 50 times of the ethanol abrasion test, the appearance after 100 times of the repeated adhesion exposure test was whitened, The adhesion to the resist and the peeling property to the resist remarkably decreased. Since the change in haze is also remarkable, the peeling force by the tape is also 10 times or more the initial value, which is defective.

따라서, 표 1의 평가 결과로부터, 실시예에서 얻어진 포토마스크 보호용 점착 테이프는 비교예에서 얻어진 포토마스크 보호용 점착 테이프보다도 내용제성이 우수하고, 이형성이 우수하기 때문에, 우수한 포토마스크 보호용 점착 테이프인 것을 알 수 있었다. Therefore, from the evaluation results shown in Table 1, it can be seen from the evaluation results of Table 1 that the adhesive tape for photomask protection obtained in the Examples is superior in solvent resistance to the photomask protective adhesive tape obtained in the Comparative Example, I could.

이상으로부터 분명한 바와 같이, 본 발명의 포토마스크 보호용 점착 테이프는 밀착 노광의 반복 공정에서 레지스트에 대하여 박리성을 지속할 수 있다. 또한 포토마스크 보호용 점착 테이프의 표면층의 레지스트로부터의 오염 부착물이 있는 경우에 알코올 등의 용제에 의해 세정하더라도 표면층의 탈락이 없는 포토마스크 보호용 점착 테이프라는 효과가 있어, 효율적·경제적으로 우수한 방법에 의해 인쇄 배선판을 제조하는 것이 가능하다는 특징을 갖는다. 따라서, 특히 포토마스크 보호용 점착 테이프로서 바람직하다.As is apparent from the above, the adhesive tape for protecting the photomask of the present invention can maintain the peeling property with respect to the resist in the repeated process of contact exposure. Further, when there is a dirt adhering to the surface layer of the pressure-sensitive adhesive tape for protecting the photomask, even if it is cleaned with a solvent such as alcohol, there is an effect that the surface layer does not fall off and the adhesive tape is used for protecting the photomask. It is possible to manufacture a wiring board. Therefore, it is particularly preferable as a pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask.

Claims (9)

투명한 기재 필름 또는 시트 (A)와, 그의 한쪽면에 형성된 점착제층 (B)와, 점착제층 (B)의 면과는 반대측의 면에 형성된 표면층 (C)를 포함하는 포토마스크 보호용 점착 테이프이며, A pressure-sensitive adhesive tape for photomask protection comprising a transparent base film or sheet (A), a pressure-sensitive adhesive layer (B) formed on one side thereof, and a surface layer (C) formed on a surface opposite to the side of the pressure- 표면층 (C)는 하기의 (x) 및 (y)를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프. The surface layer (C) comprises a cured product obtained from a mixture containing (x) and (y) shown below. (x): 이소시아네이트 실란(x): isocyanate silane (y): 말단에 수산기를 갖는 실록산(y): siloxane having a hydroxyl group at the terminal 제1항에 있어서, 기재 필름 또는 시트 (A)와 표면층 (C) 사이에 중간층 (D)를 설치할 때는, 중간층 (D)는 하기의 (z1), (z2), 또는 이들 둘 다를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프. The intermediate layer (D) according to claim 1, wherein when the intermediate layer (D) is provided between the base film or the sheet (A) and the surface layer (C), the intermediate layer (D) comprises the following (z1) And a cured product obtained from the pressure-sensitive adhesive layer. (z1): 멜라민계 화합물(z1): melamine compound (z2): 구아나민계 화합물(z2): guanamine compound 제1항에 있어서, 기재 필름 또는 시트 (A)와 표면층 (C) 사이에 중간층 (D)를 설치할 때는, 표면층 (C)는 상기 (x) 및 (y)에 추가로 하기의 (z1), (z2), 또는 이들 둘 다를 함유하는 혼합물로부터 얻어지는 경화물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프. The surface layer (C) according to claim 1, wherein the intermediate layer (D) is provided between the base film or the sheet (A) and the surface layer (C) (z2), or a mixture containing both of them. (z1): 멜라민계 화합물(z1): melamine compound (z2): 구아나민계 화합물(z2): guanamine compound 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 이소시아네이트 실란 (x)는 3관능 이소시아네이트 실란, 4관능 이소시아네이트 실란, 또는 이들 둘 다인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프. 4. The adhesive tape for protecting a photomask according to any one of claims 1 to 3, wherein the isocyanate silane (x) is a trifunctional isocyanate silane, a tetrafunctional isocyanate silane, or both. 제4항에 있어서, 상기 3관능 이소시아네이트 실란이 메틸트리이소시아네이트 실란이고, 상기 4관능 이소시아네이트 실란이 테트라이소시아네이트 실란인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프. The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask according to claim 4, wherein the trifunctional isocyanate silane is methyltriisocyanate silane, and the tetrafunctional isocyanate silane is tetraisocyanate silane. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 말단에 수산기를 갖는 실록산 (y)는 말단에 수산기를 2개 갖는 디올인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프. The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask according to any one of claims 1 to 3, wherein the siloxane (y) having a hydroxyl group at the terminal is a diol having two hydroxyl groups at the terminal. 제2항 또는 제3항에 있어서, 멜라민계 화합물 (z1)은 메틸올멜라민, 그의 유도체, 또는 이들 둘 다인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프. The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask according to claim 2 or 3, wherein the melamine compound (z1) is methylolmelamine, a derivative thereof, or both of them. 제7항에 있어서, 상기 메틸올멜라민은 헥사메틸올멜라민인 것을 특징으로 하 는 포토마스크 보호용 점착 테이프. The pressure-sensitive adhesive tape for protecting a photomask according to claim 7, wherein the methylol melamine is hexamethylol melamine. 제2항 또는 제3항 있어서, 구아나민계 화합물 (z2)는 벤조구아나민, 그의 유도체, 또는 이들 둘 다인 것을 특징으로 하는 포토마스크 보호용 점착 테이프.The adhesive tape for protecting a photomask according to claim 2 or 3, wherein the guanamine compound (z2) is benzoguanamine, a derivative thereof, or both.
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