KR101337221B1 - 피검사체 반송 검사 장치 및 피검사체 반송 검사 방법 - Google Patents

피검사체 반송 검사 장치 및 피검사체 반송 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 검사 수단에 도달한 워크에 대하여, 검사 공정을 중단하지 않고 연속적으로 검사를 행하여, 전체적인 작업 효율의 향상을 도모하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 워크 반송 검사 장치는 복수의 워크 수납 구멍(4)을 갖는 반송 테이블(2)을 구비하고, 반송 테이블(2)의 가장자리를 따라, 분리 공급부(6)와 방향 판별부(7)와 방향 변환부(8)와 검사부(9)와 분리 배출부(10)가 설치되어 있다. 각 워크 수납 구멍(4)은 반송 테이블(2)의 바깥 가장자리로부터 내측을 향하여 반송 방향에 직교하여 연장되는 제1 구멍(4a)과 반송 테이블(2)의 바깥 가장자리를 따라 제1 구멍(4a)과 직교하여 연장되는 제2 구멍(4b)을 갖고, T자형 형상을 갖는다. 분리 공급부(6)는 워크(W)를 제1 구멍(4a) 내에 수납하고, 제1 구멍(4a) 내의 워크(W)는 방향 변환부(8)에 의해 바깥쪽으로 이동한 후, 90° 회전하여 제2 구멍(4b) 내에 수납된다. 검사부(9)는 제2 구멍(4b) 내에 수납된 워크(W) 중 반송 테이블(2)의 바깥 가장자리 방향을 향하는 면에 대하여 특성 검사가 행해진다.

Description

피검사체 반송 검사 장치 및 피검사체 반송 검사 방법{APPARATUS FOR CONVEYING AND INSPECTING WORK, AND METHOD FOR CONVEYING AND INSPECTING WORK}
본 발명은 칩형 전자 부품 등의 워크를 반송하면서 검사를 행하는 워크 반송 검사 장치 및 워크 반송 검사 방법에 관한 것으로, 특히 검사 시간의 단축을 도모할 수 있는 워크 반송 검사 장치 및 워크 반송 검사 방법에 관한 것이다.
종래로부터 칩형 전자 부품 등의 워크를 반송하면서 검사를 행하는 워크 반송 검사 장치로서, 복수의 워크 수납 구멍을 갖는 반송체와, 반송체의 워크 수납 구멍 내의 워크에 대하여 특성 검사를 행하는 검사 수단을 갖는 것이 알려져 있다.
워크 반송 검사 장치에 있어서, 워크 수납 구멍 내의 워크가 반송체에 의해 반송되고, 워크 수납 구멍 내의 워크가 검사 수단에 달하면, 이 검사 수단에 의해 워크에 대한 특성 검사가 행해진다.
일반적으로 워크는 직방체 형상을 갖고, 워크 수납 구멍 내에서는 워크 반송체의 반송 방향과 직교하는 방향으로 수납되어 있다. 워크가 검사 수단에 달하면, 워크는 워크 수납 구멍으로부터 그 길이 방향(반송 방향과 직교하는 방향) 바깥쪽으로 인출되어 취출되고, 검사 수단에 의해 워크의 측면이 검사된다.
그 후 워크는 워크 수납 구멍 내로 다시 반환되어, 반송체에 의해 다시 반송된다.
그러나, 검사 수단에 있어서 워크 수납 구멍으로부터 워크를 그 길이 방향 바깥쪽으로 취출하여 검사하고, 그 후에 워크 수납 구멍 내로 워크를 반환할 경우, 워크의 취출 작업 및 반환 작업 동안에, 검사 수단에 있어서의 워크의 검사 공정을 중단할 필요가 있다. 이 때문에 작업 효율이 전체적으로 저하하게 된다.
본 발명은 이와 같은 점을 고려하여 이루어진 것이며, 검사 수단에 도달한 워크에 대하여, 검사 공정을 중단하지 않고, 연속적으로 검사를 행하여 전체적인 작업 효율 향상을 도모할 수 있는 워크 반송 검사 장치 및 워크 반송 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 직방체 형상인 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍을 갖고, 간헐 이동에 의해 워크를 반송 방향을 따라 반송하는 반송체와, 반송체에 설치되며, 워크를 워크 수납 구멍에 수납하는 분리 공급 수단과, 반송체에 설치되며, 워크 수납 구멍 내의 워크의 방향 변환을 행하는 방향 변환 수단과, 반송체에 설치되며, 워크 수납 구멍 내의 워크의 특성 검사를 행하는 검사 수단을 구비하고, 각 워크 수납 구멍은 각각 워크를 상이한 자세로 수납하는 제1 구멍과 제2 구멍을 갖고, T자형으로 구성되고, 제1 구멍은 반송체의 바깥 가장자리로부터 내측을 향하여 반송 방향에 직교하여 연장되며, 반송 방향에 직교하는 자세를 취하도록 워크를 수납하고, 제2 구멍은 반송체의 바깥 가장자리를 따라 반송 방향에 평행하게 연장되며, 반송 방향에 평행하는 자세를 취하도록 워크를 수납하고, 분리 공급 수단은 워크를 제1 구멍에 수납하고, 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 워크를 반송체의 바깥쪽으로 이동시키며, 90° 회전시켜 제2 구멍에 수납하고, 검사 수단은 제2 구멍에 수납된 워크 중 반송체의 외측 방향을 향하는 면에 대하여 특성 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 장치이다.
본 발명은 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 워크를 흡착하여 반송체의 반송 방향 및 워크의 길이 방향에 직교하는 방향 바깥쪽으로 이동시키며, 워크를 90° 회전시켜 제2 구멍 내에 수납하는 흡착 노즐을 갖는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 장치이다.
본 발명은 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 워크를 워크의 길이 방향 바깥쪽으로 인출하는 에어 분출 장치를 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 장치이다.
본 발명은 분리 공급 수단과 방향 변환 수단 사이에, 제1 구멍 내의 워크의 방향을 판별하는 방향 판별 수단이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 장치이다.
본 발명은 방향 변환 수단은 방향 판별 수단의 판별 결과에 따라 워크를 시계 회전 방향 혹은 반시계 회전 방향으로 90° 회전시키는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 장치이다.
본 발명은 반송체는 원형 반송 테이블인 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 장치이다.
본 발명은 반송체는 이음매 없는 반송 벨트인 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 장치이다.
본 발명은 상기 기재한 워크 반송 검사 장치를 이용한 워크 반송 검사 방법에 있어서, 분리 공급 수단에 의해 워크를 반송 수단에 설치된 워크 수납 구멍에 수납하는 분리 공급 공정과 반송체의 간헐 이동에 의해 워크를 반송하는 반송 공정과, 방향 변환 수단에 의해 워크의 방향 변환을 행하는 방향 변환 공정과, 검사 수단에 의해 워크의 특성 검사를 행하는 검사 공정을 구비하고, 분리 공급 공정에 있어서 분리 공급 수단은 워크를 제1 구멍에 수납하고, 방향 변환 공정에 있어서 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 워크를 반송체의 바깥쪽으로 이동시키며, 90° 회전시켜 제2 구멍에 수납하고, 검사 공정에 있어서 검사 수단은 제2 구멍에 수납된 워크 중 반송체의 외측 방향을 향하는 면에 대하여 특성 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 방법이다.
본 발명은 방향 변환 공정에 있어서, 방향 변환 수단은, 제1 구멍 내의 워크를 흡착하여 반송체의 반송 방향 및 워크의 길이 방향에 직교하는 방향 바깥쪽으로 이동시키며, 워크를 90° 회전시켜 제2 구멍 내에 수납하는 흡착 노즐을 갖는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 방법이다.
본 발명은 방향 변환 공정에 있어서, 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 워크를 에어 분출 장치에 의해 워크의 길이 방향 바깥쪽으로 인출하는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 방법이다.
본 발명은 분리 공급 공정과 방향 변환 공정 사이에, 방향 판별 수단에 의해 제1 구멍 내의 워크의 방향을 판별하는 방향 판별 공정이 행해지는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 방법이다.
본 발명은 방향 변환 공정에 있어서, 방향 변환 수단은 방향 판별 공정의 판별 결과에 따라 워크를 시계 회전 방향 혹은 반시계 회전 방향으로 90° 회전시키는 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 방법이다.
본 발명은 반송체는 원형 반송 테이블인 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 방법이다.
본 발명은 반송체는 이음매 없는 반송 벨트인 것을 특징으로 하는 워크 반송 검사 방법이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 검사 수단에 도달한 워크에 대하여 검사 공정을 중단하지 않고 연속적으로 검사를 행하여 전체적인 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 워크 반송 검사 장치를 나타내는 평면도.
도 2는 워크의 형상을 나타내는 사시도.
도 3은 반송 테이블의 워크 수납 구멍을 나타내는 사시도.
도 4는 리니어 피더(linear feeder) 내의 워크의 반송 상태를 나타내는 평면도.
도 5는 리니어 피더 내의 워크의 반송 상태를 나타내는 측면도.
도 6은 워크 수납 구멍의 제1 구멍에 수납되어 있는 워크를 나타내는 사시도.
도 7은 워크 수납 구멍의 제1 구멍에 수납되어 있는 워크를 나타내는 사시도.
도 8은 방향 판별부에 워크 수납 구멍이 정지해 있는 모습을 나타내는 측면도.
도 9의 (a), (b)는 방향 변환부에 워크 수납 구멍이 정지해 있는 모습을 나타내는 평면도.
도 10은 회전 샤프트 및 흡착 노즐의 구조를 나타내는 사시도.
도 11은 회전 샤프트 및 흡착 노즐의 구조를 나타내는 확대 사시도.
도 12의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 13의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 14의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 15의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 16의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 17의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 18은 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 19의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 20의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 21의 (a), (b)는 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부의 동작을 나타내는 도면.
도 22는 워크 수납 구멍의 제2 구멍에 수납되어 있는 워크를 나타내는 사시도.
도 23은 워크 반송 검사 장치의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 24는 워크 반송 검사 장치의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 25는 워크 반송 검사 장치의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 26은 워크 반송 검사 장치의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 27은 워크 반송 검사 장치의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 28은 워크 반송 검사 장치의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 29는 워크 반송 검사 장치의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 30은 워크 반송 검사 장치의 방향 변환부 및 검사부의 동작에 따른 타임 차트.
도 31은 비교예에 따른 워크 반송 검사 장치의 평면도.
도 32는 비교예의 워크 수납 구멍의 사시도.
도 33은 비교예의 워크 수납 구멍에 수납되어 있는 워크를 나타내는 사시도.
도 34는 비교예에 있어서의 리니어 피더 내의 워크의 반송 상태를 나타내는 평면도.
도 35는 비교예에 있어서의 리니어 피더 내의 워크의 반송 상태를 나타내는 측면도.
도 36은 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 37은 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 38은 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 39는 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 40은 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 41은 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 42는 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 43은 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 44는 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 45는 비교예의 검사부의 구성과 동작을 나타내는 도면.
도 46은 비교예의 검사부의 동작에 따른 타임 차트.
(발명의 실시형태)
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다.
도 1 내지 도 30은 본 발명의 실시형태를 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 워크 반송 검사 장치(X)는 수평 방향으로 배치된 테이블 베이스(1)와, 테이블 베이스(1) 상에 회전 가능하게 배치되고 직방체 형상인 워크(W)를 수납하는 워크 수납 구멍(4)을 갖고 간헐 회전하는 원형 반송 테이블(반송체)(2)과, 반송 테이블(2)의 바깥 가장자리를 따라 각각 배치된 분리 공급부(6), 방향 판별부(7), 방향 변환부(8), 검사부(9) 및 분류 배출부(10)를 구비하고 있다.
이 중 반송 테이블(2)은 구동 기구(도시 생략)의 작용에 의해, 중심축(3)의 주위로 시계 회전 방향의 반송 방향(화살표 A 방향)을 따라 간헐 이동 즉 간헐 회전한다. 반송 테이블(2)의 가장자리부(바깥 가장자리)에는 상술한 바와 같이, 도 2에 나타내는 워크(W)를 개별로 수납하는 복수의 워크 수납 구멍(4)이 마련되어 있다.
또한 반송 테이블(2) 바깥쪽에는, 워크(W)를 반송 테이블(2)을 향하여 화살표 B 방향으로 반송하는 직선 형상인 리니어 피더(5)가 배치되어 있다. 리니어 피더(5)의 종단(終端) 부분은 반송 테이블(2)의 가장자리부에 위치하고, 그곳에 워크(W)를 개별로 워크 수납 구멍(4)에 수납하는 분리 공급 수단으로서의 분리 공급부(6)가 상술한 바와 같이 설치되어 있다.
워크(W)가 워크 수납 구멍(4)에 수납된 상태에서 반송 테이블(2)이 간헐 회전하면, 워크(W)는 화살표 A 방향으로 반송된다. 방향 판별부(7)는 워크(W)의 방향을 판별하고, 방향 변환부(8)는 방향 판별부(7)의 판별 결과에 의거하여 워크(W)의 방향을 변환하고, 검사부(9)는 워크(W)의 특성 검사를 행하고, 분류 배출부(10)는 검사부(9)에 있어서의 검사 결과에 의거하여 워크(W)를 소정의 등급으로 분류하여 각 등급에 대응하는 배출 상자(도시 생략)를 향하여 배출한다. 워크 수납 구멍(4)의 상면은, 분리 공급부(6)로부터 분류 배출부(10)에 이르는 반송 테이블(2)의 회전 경로에 있어서, 테이블 커버(21)에 의해 덮여 있다. 또한, 반송 테이블(2)의 가장자리부의 외측을 따라, 반송 테이블(2)을 둘러싸는 형상인 커버벽(22)이 설치되어 있다.
여기에서 워크(W)는 직방체 형상인 발광 다이오드(LED)이며, 길이 방향을 형성하는 4면 중 1면에 발광면(Wa)이 형성됨과 함께, 발광면(Wa)에 인접하는 면(전극면)(Wb)에 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있다(도 2 참조). 전극(Wc1)은 애노드이고, 전극(Wc2)은 캐소드이며, 전극(Wc1과 Wc2) 사이에 전극(Wc1)측이 플러스가 되도록 직류 전압을 인가하면 발광면(Wa)이 발광한다. 전극(Wc1 및 Wc2)의 극성 표시(Wx)가 발광면(Wa)의 코너부에 형성되어 있다. 도 2의 경우, 극성 표시(Wx)에 가까운 전극(Wc2)이 캐소드이다. 이와 같이, 발광면에 인접하는 면에 전극이 형성되어 있는 LED를 사이드뷰 LED라 하고, 많은 제품이 시판되고 있다.
워크 수납 구멍(4)의 확대 사시도를 도 3, 도 6 및 도 7에 나타낸다. 단, 간단하게 하기 위해, 테이블 커버(21) 및 가드벽(22)은 생략하고 있다.
도 3, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 각 워크 수납 구멍(4)은 반송 테이블(2)의 바깥쪽을 향한 개구부(41A)를 갖는 제1 구멍(4a)과, 제1 구멍(4a)보다 반송 테이블(2)의 바깥쪽측에 위치하여, 제1 구멍(4a)의 개구부(41A)에 있어서 제1 구멍(4a)과 직교하는 제2 개구(41B)를 갖는 제2 구멍(4b)에 의해 구성된다. 워크 수납 구멍(4)의 하면은 테이블 베이스(1)의 상면이 되어 있다.
도 3, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 워크 수납 구멍(4)의 제1 구멍(4a)의 제1 개구(41A)는 반송 테이블(2)의 바깥 가장자리(2A)로부터 내측을 향하여 반송 방향 A에 직교하여 연장되고, 반송 방향 A에 직교하는 자세를 취하도록 워크(W)를 수납하게 되어 있다. 또한 제2 구멍(4b)의 제2 개구(41B)는 반송 테이블(2)의 바깥 가장자리(2A)를 따라 반송 방향 A에 평행하게 연장되고, 반송 방향 A에 평행하게 연장되는 자세를 취하도록 워크(W)를 수납하게 되어 있다.
그리고 워크 수납 구멍(4)은 제1 구멍(4a)과 제2 구멍(4b)으로 이루어지고, 평면 T자형 형상을 갖고 있다.
또한, 제1 구멍(4a)은 벽면(4a1, 4a2, 4a3)으로 형성되고, 워크(W)는 도 2에서의 길이 방향의 한쪽의 단면(端面)(Wd 또는 We)이 제1 개구부(41A)로부터 반송 테이블(2)의 외측을 향한 자세로, 제1 구멍(4a) 내에 수납된다. 그때, 하면에 발광면(Wa)이 위치하도록 워크(W)를 제1 구멍(4a) 내에 수납하면 간헐 회전시에 테이블 베이스(1)와의 마찰이 생겨 발광면(Wa)이 손상될 우려가 있다. 또한, 제1 구멍(4a) 내에서 벽면(4a1이나 4a2)에 발광면(Wa)이 대향하도록 워크(W)를 수납하면, 반송 테이블(2)이 화살표 A 방향으로 간헐 회전하기 때문에, 회전 개시시나 정지시에 발광면(Wa)이 벽면(4a1 혹은 4a2)에 충돌하여, 발광면(Wa)을 손상시킬 우려가 있다. 또한, 검사부(9)에 있어서 발광면(Wa)에 대향하여 파장이나 휘도 등의 검사를 행하는 센서를 설치하는 위치는, 반송 테이블(2)의 상측 혹은 하측이 바람직하다.
이들 이유에 따라, 분리 공급부(6)에 의해 워크 수납 구멍(4)에 워크(W)를 수납할 때에는, 제1 구멍(4a)의 상면에 발광면(Wa)이 위치하도록 워크(W)가 수납된다. 이때, 도 2에서 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)은, 단면 Wd와 We 중 어느 것이 반송 테이블(2)의 외측을 향할지에 따라, 벽면(4a1 혹은 4a2) 중 어느 것에 대향하게 된다.
또한, 제2 구멍(4b)은, 방향 변환부(8)에 의해 제1 구멍(4a) 내의 워크(W)의 방향을 90° 회전시킨 것을 수납하기 위해 사용된다. 또한, 도 3에서 제1 구멍(4a)을 구성하는 벽면 중, 반송 테이블(2)의 바깥 가장자리(2A)와 반대측에 위치하는 벽면(4a3)의 테이블 베이스(1)에 근접한 개소에는 연통홈(4a4)이 개구해 있다.
연통홈(4a4)은 반송 테이블(2)의 테이블 베이스(1)측의 면에 있어서, 도 1에서의 중심축(3)을 향하여 연장되어 있다. 그리고, 분리 공급부(6), 방향 판별부(7), 방향 변환부(8)에 있어서, 테이블 베이스(1) 내에 설치된 진공원 혹은 압축 에어원에 연통하여, 제1 구멍(4a) 내를 진공 흡인하거나, 제1 구멍(4a) 내에 압축 에어를 공급하거나 하는 작용을 갖는다.
또한, 제2 구멍(4b)을 구성하는 벽면 중, 반송 테이블(2)의 내측에 위치하는 벽면(4b1)의 테이블 베이스(1)에 근접한 개소에는 연통홈(4b4)이 개구해 있다. 연통홈(4b4)은 방향 변환부(8)에 있어서 테이블 베이스(1) 내에 설치된 진공원에 연통하여, 제2 구멍(4b) 내를 진공 흡인하는 작용을 갖는다.
다음으로 도 8 내지 도 11에 의해, 방향 판별부(7) 및 방향 변환부(8)에 대해서 설명한다. 방향 판별부(7)는 제1 구멍(4a) 내의 워크(W)의 방향을 판별하는 것이다. 여기에서 도 8은 도 1에서의 M선 방향 시시도이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 방향 판별부(7)에 있어서의 테이블 커버(21)에는, 제1 구멍(4a) 내에 수납된 워크(W)의 상면에 대향하는 개소에, 투명 재료로 이루어지는 모니터창(71)이 형성되어 있다. 그리고, 모니터창(71)의 상방에는, 제1 구멍(4a) 내에 수납된 워크(W)의 발광면(Wa)을 촬상 가능한 촬상 수단(72)이 설치되고, 촬상 수단(72)은 그 상방에 있어서 지주(支柱)(73)에 의해 지탱되어 있다.
지주(73)는 촬상 수단(72)의 바로 위에서 반송 테이블(2)의 외측을 향하여 구부러지고, 지주(73)는 도시되어 있지 않지만, 반송 테이블(2)의 외측 상방에 있어서 다시 테이블 베이스(1)측을 향하여 구부러지고, 테이블 베이스(1)에 접속되어 있다.
또한, 제1 구멍(4a)의 연통홈(4a4)은 테이블 베이스(1) 내에 설치된 진공원(도시 생략)에 접속되고, 제1 구멍(4a)에 수납되어 있는 워크(W)는 벽면(4a3)에 흡착된다. 방향 판별부(7)에 있어서, 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)이, 제1 구멍(4a)의 벽면(4a2)에 대향하여 수납되어 있을 경우를 사시도로서 나타낸다(도 6 참조). 또한, 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)이, 제1 구멍(4a)의 벽면(4a1)에 대향하여 수납되어 있을 경우를 사시도로서 나타낸다(도 7 참조). 단, 간단하게 하기 위해, 이들 사시도에 있어서 테이블 커버(21) 및 가드벽(22)은 생략하고 있다.
도 6과 도 7에서 발광면(Wa)에 설치된 캐소드를 나타내는 극성 표시(Wx)의 위치가 상이하다. 따라서, 도 8에서의 촬상 장치(72)에 의해 발광면(Wa)을 촬상하고, 화상 처리 소프트웨어를 이용하여 도 6 및 도 7에 나타내는 극성 표시(Wx)의 위치를 판별함으로써, 제1 구멍(4a) 내의 워크(W)의 방향 즉 면(Wb)이 벽면(4a2 및 4a1) 중 어느 것에 대향하고 있는지를 판별할 수 있다.
이와 같이 하여, 방향 판별부(7)에 있어서 제1 구멍(4a) 내의 워크(W)의 방향을 판별한 후, 다시 반송 테이블(2)이 회전하고, 워크(W)를 방향 변환부(8)를 향하여 반송한다.
다음으로 도 9의 (a), (b) 내지 도 11에 의해, 방향 변환부(8)에 대해서 설명한다.
도 9의 (a)에 방향 변환부(8)의 확대 평면도를 나타낸다. 단, 도 1에서의 화살표 N의 위치가, 도 9의 (a)에서 좌측이 되도록 표기되어 있다. 또한 도 9의 (b)에 도 1에서의 화살표 P 방향 투시도를 나타낸다.
또한, 도 9의 (a) 및 도 9의 (b)에서는 반송 테이블(2)이 정지해 있지만, 제1 구멍(4a)에는 워크(W)가 수납되어 있지 않은 상태를 나타내고 있다. 방향 변환부(8)에 있어서의 테이블 커버(21)에는, 워크 수납 구멍(4)의 상면에 대향하는 개소에, 투명 재료로 이루어지는 원형인 센서창(82)이 설치되어 있다. 그리고, 가드벽(22)의 제1 구멍(4a)과 대향하는 위치에는, 제1 구멍(4a)과 마찬가지인 형상을 가지는 정지홈(81a)이 형성되어 있다.
정지홈(81a)은 워크(W)를 제1 구멍(4a)과 마찬가지인 자세로 수납할 수 있는 형상을 갖고 있다. 그리고, 센서창(82)의 상측의 정지홈(81a)의 바로 위가 되는 개소에, 광 센서(83)가 지주(88)에 지탱되어 설치되어 있다.
지주(88)는 반송 테이블(2)의 외측을 향하여 연장되어 있으며, 도시되어 있지 않지만, 반송 테이블(2)의 외측 상방에 있어서 다시 테이블 베이스(1)측을 향하여 구부러지고, 테이블 베이스(1)에 접속되어 있다. 광 센서(83)는 정지홈(81a)을 향하여 광을 쪼여, 반사광을 검출함으로써, 워크(W)가 정지홈(81a)에 수납되어 있는지의 여부를 검지한다.
워크 수납 구멍(4) 및 정지홈(81a)의 하측의 테이블 베이스(1) 내에는, 구동 기구(도시 생략)의 작용에 의해 반송 테이블(2)과 동일 평면 내에서 회전하는 원주형 회전 샤프트(84)가 설치되어 있다. 회전 샤프트(84)의 내부는 공동(空洞)으로 되어 있고, 회전 샤프트(84)의 상단면(84a)은 테이블 베이스(1) 상면과 대략 동일 평면이다. 그리고, 회전 샤프트(84)의 회전 방향은, 상단면(84a)을 테이블 베이스(1)의 상방에서 봤을 때에 시계 회전 방향 및 반시계 회전 방향 모두 가능하다.
회전 샤프트(84)의 내부에는, 구동 기구(도시 생략)의 작용에 의해 회전 샤프트(84)와 일체적으로 회전 가능하며 또한 회전 샤프트(84) 내를 상하 방향으로 진퇴 가능한 흡착 노즐(85)이, 회전 샤프트(84)의 하방으로부터 삽입되어 있다.
회전 샤프트(84)와 흡착 노즐(85)의 상세한 구조를 도 10 및 도 11에 나타낸다. 도 10은 회전 샤프트(84)와 흡착 노즐(85)의 각각의 구조 및 회전 샤프트(84)에 흡착 노즐(85)을 삽입할 때의 위치 관계를 나타내고, 또한, 도 11은 회전 샤프트(84)에 흡착 노즐(85)을 삽입하여 일체화했을 때의 상태를 나타낸다.
도 10에서 회전 샤프트(84)의 상단면(84a)에는 워크(W)를 수납 가능한 형상인 워크 인입 구멍(84b)이, 회전 샤프트(84)의 내부의 공동에 연통하여 형성되어 있다. 또한, 회전 샤프트(84)의 가장자리부에는, 상단면(84a)으로부터 약간 하방으로 떨어진 위치에, 회전 샤프트(84)의 외주(外周)보다 내측으로 들어간 진공 흡인홈(84c)이, 회전 샤프트(84)의 측면을 일주(一周)하여 형성되어 있다. 진공 흡인홈(84c)의 벽면에는, 회전 샤프트(84)의 내부에 연통하는 샤프트 흡인 구멍(84d)이, 상단면(84a)을 화살표 Q1 방향에서 봤을 때에 대각선 상에 마주하도록 2세트, 즉 4개소 형성되어 있다. 또한, 흡착 노즐(85)의 상단에는 워크 흡인 구멍(84b)에 삽입 가능한 형상을 갖는 선단부(85a)가 형성되고, 선단부(85a)의 상면(85as)에는 선단 흡인 구멍(85b)이 2개소 형성되어 있다. 선단부(85a)의 상면(85as)의 형상은, 도 2에 나타내는 워크(W)의 발광면(Wa)의 형상과 대략 동일하다.
흡착 노즐(85)의 가장자리부에는, 2개의 벽면(85c)이 선단부(85a)의 길이 방향 양단면과 동일 평면에 형성되어 있다. 또한, 선단부(85a)와 벽면(85c)의 경계선에 가까운 벽면(85c)에는, 흡착 노즐(85)의 내부에 있어서 선단 흡인 구멍(85b)에 연통하는 노즐 흡인 구멍(85d)이, 상면(85as)을 화살표 Q2 방향에서 봤을 때에 대각선 상에 마주하도록 2개소 형성되어 있다.
마찬가지로, 벽면(85c)이 형성되어 있지 않은 흡착 노즐(85)의 측면에도, 노즐 흡인 구멍(85d)이 상면(85as)을 상측에서 봤을 때에 대각선 상에 마주하도록 2개소 형성되어 있다. 흡착 노즐(85)은 회전 샤프트(84)의 하측으로부터 화살표 R 방향으로 삽입되면, 회전 샤프트(84)의 워크 인입 구멍(84b)에 흡착 노즐(85)의 선단부(85a)가 삽입되어, 도 11에 나타내는 바와 같이 일체화된다. 이때, 흡착 노즐(85)의 선단부(85a)의 상면(85as)과 회전 샤프트(84)의 상단면(84a)이 동일 평면이 된 상태에서, 흡착 노즐(85)의 노즐 흡인 구멍(85d)은 회전 샤프트(84)의 샤프트 흡인 구멍(84d)과 대략 동일 위치가 된다.
다음으로 이와 같은 구성으로 이루어지는 본 실시형태의 작용, 즉 워크 반송 검사 방법에 대해서 설명한다.
도 1에서 워크(W)가 파츠 피더(도시 생략)에 공급되면, 그 작용에 의해 워크(W)는 길이 방향을 진행 방향으로 하여 리니어 피더(5)로 이재(移載)된다. 그리고, 리니어 피더(5)는 진동에 의해 워크를 화살표 B 방향으로 반송하고, 그 도중에 정렬 수단(도시 생략)에 의해 도 2에 나타나는 워크(W)의 발광면(Wa)을 리니어 피더(5)의 상면측으로 맞춘다. 이 모습을, 도 1 중의 영역(T)의 확대 평면 투시도로서 도 4에 나타낸다.
한편, 도 2에서 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)은, 도 1에서의 화살표 L1 방향에서 본 측 혹은 화살표 L2 방향에서 본 측 중 어느 한쪽에 위치한다. 이 모습의 일례를 도 1 중의 화살표 L2 확대 투시도로서 도 5에 나타낸다. 도 5에서 리니어 피더(5)에 의해 반송되는 워크(W) 중, 우측으로부터 세어 1번째, 3번째, 4번째의 워크(W)는, 화살표 L2 방향에서 본 측에 면(Wb)을 향해 있다.
이와 같은 상태에서 리니어 피더(5)에 의해 일렬 연속 반송된 워크(W)는, 리니어 피더(5)의 종단 부분에 도달하여, 정지해 있는 반송 테이블(2)의 가장자리부에 있어서 워크 수납 구멍(4)의 제1 구멍(4a)의 개구부(41A)와 대향한다. 그리고, 이 대향 부분에 설치된 분리 공급부(6)의 작용에 의해 워크(W)는 1개씩 분리된다. 또한 반송 테이블(2)이 분리 공급부(6)에 정지해 있는 동안, 도 3에 나타내는 연통홈(4a4)이 테이블 베이스(1) 내에 설치된 진공원(도시 생략)에 연통하여, 제1 구멍(4a)의 내부가 진공 흡인되기 때문에, 워크(W)는 도 6 또는 도 7에 나타내는 바와 같이 제1 구멍(4a)에 수납된다. 그때, 상술한 바와 같이 분리 공급부(6)에 대향하는 반송 테이블(2)의 상면은 테이블 커버(21)에 의해 덮여 있기 때문에, 워크 수납 구멍(4)의 내부는 밀폐성이 유지되어, 진공 흡인이 효율적으로 행해진다.
다음으로 반송 테이블(2)이 도 1에 나타내는 화살표 A 방향으로 간헐 회전하고, 워크(W)가 방향 판별부(7)에 도달하면 반송 테이블(2)이 정지한다. 이와 같은 간헐 회전은, 분리 공급부(6), 방향 판별부(7), 방향 변환부(8), 검사부(9), 분류 배출부(10)의 각 부간에서 행해지고, 간헐 회전 중에는, 도 3에 나타내는 연통홈(4a4)은 진공원에 연통하는 경우가 없으므로, 제1 구멍(4a) 내의 워크(W)에 원심력이 작용한다.
그러나, 도 1에 나타내는 가드벽(22)이 설치되어 있으므로, 워크(W)는 제1 구멍(4a)으로부터 반송 테이블(2)의 바깥쪽으로 튀어나오지는 않는다. 또한, 테이블 커버(21)가 워크 수납 구멍(4)의 상면을 덮고 있기 때문에, 간헐 회전 중에 발생하는 진동에 의해 워크(W)가 제1 구멍(4a)으로부터 반송 테이블(2)의 상방으로 튀어나오지는 않는다.
상술한 바와 같이 워크(W)가 방향 판별부(7)에 도달하면, 반송 테이블(2)이 정지한다. 그리고 방향 판별부(7)의 촬상 수단(72)에 의해 워크(W)의 발광면(Wa)이 촬상되어, 극성 표시(Wx)의 위치를 판별함으로써, 제1 구멍(4a) 내의 워크(W)의 방향이 판별된다. 그 후 반송 테이블(2)이 다시 회전하여, 워크(W)가 방향 변환부(8)로 보내진다.
다음으로 방향 변환부(8)의 동작에 대해서, 도 12 내지 도 22를 이용하여 상술한다. 여기에서 도 12의 (a), (b)는, 제1 구멍(4a) 내에 워크(W)를 수납한 상태에서, 워크 수납 구멍(4)이 도 9의 (a), (b)에 나타내는 방향 변환부(8)에 정지한 모습을 나타낸다. 도 12의 (a), (b)에서의 워크(W) 근방의 확대도를 도 13의 (a), (b)에 나타낸다.
도 13의 (a), (b)에 나타내는 바와 같이, 제1 구멍(4a) 내의 연통홈(4a4)은, 테이블 베이스(1) 내에 설치된 제어 배관(86a)을 경유하여 전환 밸브(87a)에 접속되어 있다. 또한 테이블 베이스(1) 내에는 진공원(11) 및 압축 에어원(12)이 설치되어 있으며, 전환 밸브(87a)는 제어 배관(86a)을 진공원(11) 또는 압축 에어원(12)에 접속하는 기능을 갖는다. 도 13의 (b)에서 전환 밸브(87a)는 제어 배관(86a)을 진공원(11)측에 접속하고 있으며, 이 때문에 제1 구멍(4a) 내는 진공 흡인되고, 워크(W)는 벽면(4a3)에 흡인된다.
이 경우, 제1 구멍(4a)의 상면은 테이블 커버(21)에 의해 덮여 있기 때문에, 제1 구멍(4a)의 내부는 밀폐성이 유지되어, 진공 흡인이 효율적으로 행해진다. 또한, 정지홈(81a) 내의 벽면(81b)에 개구하는 연통홈(81c)은, 방향 변환부(8)에 있어서의 가드벽(22)의 하면에 있어서 반송 테이블(2)의 외측을 향하여 연장되어 있으며, 테이블 베이스(1) 내에 설치된 제어 배관(86b)을 경유하여 전환 밸브(87b)에 접속되어 있다. 전환 밸브(87b)는 제어 배관(86b)을 진공원(11) 또는 압축 에어원(12) 중 어느 것에도 접속하지 않은 상태로 하고 있다. 이하의 설명에 있어서, 이 상태를 중립이라 부른다. 또한, 흡착 노즐(85)의 선단부(85a)의 길이 방향은, 제1 구멍(4a)의 길이 방향에 일치해 있다.
(흡착 노즐(85)의 초기 위치)
그리고, 선단부(85a)의 길이 방향의 일단면은, 정지홈(81a)의 벽면(81b)과 대략 동일 평면 상에 위치해 있다. 또한, 회전 샤프트(84)의 상단면(84a) 및 흡착 노즐(85)의 선단부(85a)의 상면(85as)(도 10 참조)은, 테이블 베이스(1) 상면과 대략 동일 평면이다. 이것이, 흡착 노즐(85)의 초기 위치가 된다. 또한, 도 10에 나타내는 샤프트 흡인 구멍(84d)은, 노즐 흡인 구멍(85d) 및 테이블 베이스(1) 내에 설치된 제어 배관(86c)을 경유하여 전환 밸브(87c)에 접속되어 있다. 전환 밸브(87c)는 중립이다.
또한, 도 13의 (a)에 나타내는 제2 구멍(4b) 내의 2개의 연통 구멍(4b4)은, 반송 테이블(2)의 하면에 설치된 진공홈(도시 생략) 및 테이블 베이스(1) 내에 설치된 배관(도시 생략)을 경유하여, 도 13의 (b)에 나타내는 진공원(11)에 접속되어 있다. 이에 따라, 제2 구멍(4b) 내는 상시 진공 흡인되어 있다. 또한, 제2 구멍(4b)의 상면은 테이블 커버(21)에 의해 덮여 있기 때문에, 제2 구멍(4b)의 내부는 밀폐성이 유지되어, 진공 흡인이 효율적으로 행해진다.
도 13의 (a), (b)의 상태에서, 전환 밸브(87a)가 압축 에어원(12)에 접속되고, 전환 밸브(87b)가 진공원(11)에 접속된다. 이 모습을 도 14의 (a), (b)에 나타낸다. 도 14의 (b)에서 전환 밸브(87a, 87b)의 작용에 의해, 제1 구멍(4a) 내에 압축 에어가 공급되고, 정지홈(81a) 내는 진공 흡인되기 때문에, 워크(W)는 제1 구멍(4a)으로부터 정지홈(81a)을 향하여 화살표 H 방향으로 이동을 개시한다. 이 경우, 연통홈(4a4)은 에어 분출 장치로서 기능한다. 또한 시간이 경과했을 때의 상태를 도 15의 (a), (b)에 나타낸다.
도 15의 (a), (b)에 나타내는 바와 같이, 워크(W)는 정지홈(81a) 내의 벽면(81b)에 맞닿아 정지하고, 정지홈(81a) 내에 수납된다. 이 상태에서, 워크(W)의 길이 방향 양단면(도 2에서의 Wd 및 We)은, 흡착 노즐(85)의 선단부(85a)의 길이 방향 양단면과 대략 동일 평면 상에 있다. 그리고, 정지홈(81a)의 바로 위 부분에 형성되어 있는 투명한 센서창(82)의 상측에 배치된 광 센서(83)로부터 정지홈(81a) 내를 향하여 쪼여진 광의 반사가, 워크(W)가 정지홈(81a)에 수납되었음에 의해 변화하므로, 광 센서(83)는 이 변화를 검출하여, 워크(W)가 정지홈(81a)에 수납되었음을 검지한다. 그리고, 전환 밸브(87a, 87b)는 중립이 되고, 전환 밸브(87c)는 진공원(11)에 접속된다. 이에 따라, 정지홈(81a) 내의 워크(W)는 흡착 노즐(85)의 선단부(85a)의 상면(85as)(도 10 참조)에 진공 흡인된다. 이 상태의 직후의 모습을 도 16의 (a), (b)에 나타낸다.
(흡착 노즐(85)의 퇴피 위치)
도 16의 (b)에서 흡착 노즐(85)은 워크(W)를 흡착한 상태에서, 구동 기구(도시 생략)의 작용에 의해, 회전 샤프트(84) 내를 화살표 J 방향으로 하강한다. 즉 흡착 노즐(85)은 워크(W)를 흡착한 상태에서, 반송 테이블(2)의 반송 방향 및 워크(W)의 길이 방향에 직교하는 하방으로 이동한다. 그리고, 워크(W)의 상면인 발광면(Wa)이 테이블 베이스(1)의 상면보다 약간 아래에 도달하면 정지한다. 그리고 흡착 노즐(85)은 퇴피 위치를 취한다. 이 상태를 도 17의 (a), (b)에 나타낸다.
다음으로, 구동 기구(도시 생략)의 작용에 의해, 흡착 노즐(85)은 워크(W)를 흡착한 상태에서, 회전 샤프트(84)와 일체적으로 도 18과 같이 시계 회전 방향(화살표 K 방향)으로 90° 회전한다. 회전이 완료한 상태를 도 19의 (a), (b)에 나타낸다. 여기에서, 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)은, 도 6과 같이 제1 구멍(4a)에 수납된 상태에서 도 3에 나타내는 벽면(4a2)에 미리 대향해 있다. 이 때문에, 이와 같은 시계 회전 방향의 회전이 완료하면, 도 19의 (a), (b)에 나타내는 바와 같이, 면(Wb)이 반송 테이블(2)의 외측에 향해지게 된다. 또한, 도 19의 (a), (b)에서 테이블 베이스(1) 내의 워크(W)의 바로 위 위치에는, 제2 구멍(4b)이 위치해 있고, 그 길이 방향은 워크(W)의 길이 방향에 일치해 있다.
이와 같이 워크(W)의 회전이 완료하면, 도 20의 (a), (b)에 나타내는 바와 같이, 흡착 노즐(85)은 워크(W)를 흡착한 상태에서, 구동 기구(도시 생략)의 작용에 의해, 회전 샤프트(84) 내를 화살표 Y 방향으로 상승한다. 그리고, 흡착 노즐(85)의 선단부(85a)의 상면(85as)(도 10 참조)이 테이블 베이스(1)의 상면에 일치하면 정지하고, 전환 밸브(87c)는 중립이 된다(흡착 노즐(85)의 초기 위치).
이 상태를 도 21의 (a), (b)에 나타낸다. 도 21의 (a), (b)에서 워크(W)는 제2 구멍(4b)에 수납되고, 도 21의 (a)에 나타내는 제2 구멍(4b) 내의 2개의 연통홈(4b4)은 상술한 바와 같이 도 21의 (b)에 나타내는 진공원(11)에 접속되어 있다. 이에 따라, 제2 구멍(4b) 내의 워크(W)는 진공 흡인되고, 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)은 반송 테이블(2)의 외측 방향을 향해 있다. 또한, 워크(W)의 발광면(Wa)은 제2 구멍(4b)의 상측을 향해 있다. 이와 같이 제2 구멍(4b) 내에 수납된 워크(W)의 모습을 사시도로서 도 22에 나타낸다. 도 21의 (a), (b)에 나타내는 바와 같이 워크(W)가 제2 구멍(4b)에 수납되어 진공 흡인되고, 전환 밸브(87c)가 중립이 됨으로써, 워크(W)와 흡착 노즐(85)의 선단부(85a)의 상면(85as)(도 10 참조)은 용이하게 이간(離間)하게 된다.
그리고, 도 21의 (a), (b)의 상태에서, 흡착 노즐(85)은 회전 샤프트(84)와 일체적으로 반시계 회전 방향(도 18에 나타내는 화살표 K와 역방향)으로 90° 회전한다. 회전이 완료하면, 흡착 노즐(85)은 도 13의 (a), (b)에 나타내는 초기 위치로 돌아간다.
이상의 설명에 있어서는, 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)이 도 6과 같이 제1 구멍(4a)의 벽면(4a2)에 대향해 있으며, 도 18에서 흡착 노즐(85) 및 회전 샤프트(84)는 시계 회전 방향인 것으로 했지만, 방향 판별부(7)에 있어서, 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)이 도 7과 같이 제1 구멍(4a)의 벽면(4a1)에 대향해 있다고 판별되었을 경우에는, 방향 변환부(8)에 있어서 워크(W)를 흡착한 흡착 노즐(85) 및 회전 샤프트(84)의 회전 방향은 반시계 회전 방향(도 18에 나타내는 화살표 K와 역방향)이 된다.
그 후, 반송 테이블(2)이 회전하고, 워크(W)가 검사부(9)로 보내진다. 이 검사부(9)에 워크(W)가 도달하면, 반송 테이블(2)이 정지하고, 검사부(9)에 있어서, 프로브(92a 및 92b)를 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)에 맞닿게 하여 광학 특성 검사가 실시된다(도 23 내지 도 29).
또한, 검사부(9)에 있어서의 광학 특성 검사는, 전극(Wc1 및 Wc2) 사이에 직류 전압을 인가하여 발광면(Wa)을 발광시키고, 발광면(Wa)에 대향하여 설치된 센서에 의해 광의 파장, 휘도 등의 광학적 특성을 검사하는 것이다.
그 후 프로브(92a 및 92b)가 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)으로부터 이간하고, 반송 테이블(2)이 다시 회전하여, 워크(W)는 분류 배출부(10)로 보내진다.
분류 배출부(10)에 도달한 워크(W)는, 검사부(9)에 있어서 실시한 광학적 특성 검사의 결과에 의거하여 미리 결정된 소정의 등급으로 분류된다. 그리고, 각 등급에 대응한 배출 상자(도시 생략)를 향하여, 배출 기구(도시 생략)의 작용에 의해 배출된다.
다음으로 방향 변환부(8) 및 검사부(9)의 동작에 대해서 더 상술한다.
도 30은 방향 변환부(8) 및 검사부(9)의 동작에 따른 타임 차트이다. 도 30 중 「테이블 회전／정지」가 H 레벨 동안에는 반송 테이블(2)이 회전하고, L 레벨 동안에는 반송 테이블(2)이 정지해 있다. 또한, 「검사」가 H 레벨 동안에는 도 24 내지 도 28에 나타내는 바와 같이, 검사부(9)에 있어서 프로브(92a 및 92b)를 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)에 맞닿게 하여 광학 특성 검사를 실시하고, 프로브(92a 및 92b)를 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)으로부터 이간시킨다. 또한, 「워크 이동」이 H 레벨 동안에는 도 13 내지 도 15와 같이 방향 변환부(8)에 있어서 워크(W)를 제1 구멍(4a)으로부터 정지홈(81a)으로 이동시킨다.
또한, 「워크 하강」이 H 레벨 동안에는 도 15 내지 도 17과 같이, 방향 변환부(8)에 있어서 워크(W)가 흡착 노즐(85)에 흡착된 상태에서, 회전 샤프트(84) 내를 하강한다. 또한, 「워크 회전」이 H 레벨 동안에는 도 17 내지 도 19와 같이, 방향 변환부(8)에 있어서 워크(W)가 흡착 노즐(85)에 흡착된 상태에서, 회전 샤프트(84)와 일체적으로 90° 회전한다. 또한, 「워크 상승」이 H 레벨 동안에는 도 19 내지 도 21과 같이, 방향 변환부(8)에 있어서 워크(W)가 흡착 노즐(85)에 흡착된 상태에서 회전 샤프트(84) 내를 상승한다. 또한, 「노즐 회전 반환」이 H 레벨 동안에는 도 21 내지 도 13과 같이, 방향 변환부(8)에 있어서 워크(W)가 제2 구멍(4b)에 수납되며 흡착 노즐(85)이 워크(W)를 개방한 상태에서 초기 위치로 돌아간다.
도 30에서 검사부(9)에 있어서의 검사의 소요 시간 t1은 종래 기술에 있어서의 소요 시간 t1(도 46)과 대략 동일하고 130㎳이다. 그 이유는, 어느 소요 시간도, 프로브의 진퇴에 요하는 시간과 프로브를 전극에 맞닿게 한 상태에서 측정에 요하는 시간의 합계이기 때문이다. 여기에서, 도 30에서의 소요 시간(t2)의 「워크 이동」, 소요 시간 t3의 「워크 하강」, 소요 시간 t4의 「워크 회전」, 소요 시간 t5의 「워크 상승」, 소요 시간 t6의 「노즐 회전 반환」은, 모두 방향 변환부(8)에 있어서의 동작이다. 그리고, 이들 동작은 반송 테이블(2)이 정지해 있는 동안에, 검사부(9)에 있어서의 검사와 병행하여 행해지고 있다.
그리고, 방향 변환부(8)에 있어서의 각 동작의 소요 시간의 일례로서 t2＝10㎳, t3＝20㎳, t4＝20㎳, t5＝20㎳, t6＝20㎳가 있고, 이들의 합계는 t2+t3+t4+t5+t6＝90㎳가 된다. 이 시간은, 검사부(9)에 있어서의 검사의 소요 시간보다 짧다.
이와 같이, 본 발명에 있어서는, 방향 변환부(8)의 동작이 검사부(9)의 동작과 병행하여 행해지며, 또한 방향 변환부(8)의 동작 시간이 검사부(9)의 동작 시간보다 짧다. 이 때문에, 도 30에서 반송 테이블(2)의 정지 시간인 T1, 즉 실질적인 검사 시간은, 검사부(9)에 있어서 검사 자체를 행하는 시간인 t1에 동등한 130㎳이다. 후술하는 비교예의 타임 차트를 나타내는 도 46에서는 반송 테이블(200)의 정지 시간인 T2, 즉 실질적인 검사 시간이, 검사부(900)에 있어서 검사 자체를 행하는 시간인 t1에 대하여 워크(W)를 워크 수납 구멍(400)으로부터 이동시키는 시간 t7 및 t8을 가산한 시간이 되어, 약 38％ 증가한다.
이에 대하여 본 발명의 경우는, 상술한 바와 같이, 반송 테이블(2)의 정지 시간인 T1, 즉 실질적인 검사 시간은 검사부(9)에 있어서 검사 자체를 행하는 시간인 t1보다 증가하지는 않는다. 이 때문에 전체의 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
또한 상기 실시형태에 있어서는, 분리 공급부(6)에 있어서 제1 구멍(4a)에 수납된 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)은, 벽면(4a1 혹은 4a2) 중 어느 것에 대향하는 것으로서 설명했지만, 리니어 피더(5)에서 워크(W)를 반송할 때에, 미리 면(Wb)의 방향을 맞춰 두고, 분리 공급부(6)에 있어서 제1 구멍(4a)에 수납된 워크(W)의 면(Wb)이, 예를 들면 벽면(4a2)에 항상 대향하도록 해 두어도 된다. 이 경우, 방향 판별부(7)를 생략하고, 방향 변환부(8)에 있어서 흡착 노즐(85)이 워크(W)를 흡착한 상태에서 회전 샤프트(84)와 함께 90° 회전하는 방향을, 항상 시계 회전 방향으로 해 둔다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 검사부(9)에 있어서의 검사 항목을 광학적 특성으로서 설명했지만, 검사부(9)에 있어서의 검사 항목은 광학적 특성에 한정되는 것이 아니다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 검사 수단으로서 검사부(9)를 1개 배치한 장치에 대해서 설명했지만, 검사부의 개수는 1개로 한정되는 것이 아니다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 검사부(9) 후에, 검사부(9)에 있어서 실시한 검사 결과에 의거하여 워크를 미리 결정된 소정의 등급으로 분류하여, 각 등급에 대응한 배출 상자(도시 생략)를 향하여 배출하는 분류 배출부(10)를 배치한 장치에 대해서 설명했다. 여기에서, 분류 배출부(10)를 대신하여, 검사의 결과에 의거하여 워크(W)를 양품과 불량품으로 분류하여, 각각에 대응하는 배출 상자에 배출하는 배출부를 배치해도 되고, 또한 마찬가지로 워크를 분류하여, 불량품만을 배출한 후에, 양품을 캐리어 테이프의 오목부에 삽입하여 커버 테이브를 첩부(貼付)하는 테이핑부를 배치해도 된다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 반송 테이블(2)이 수평으로 설치되어 있을 경우에 대해서 설명했지만, 반송 테이블(2)이 수직으로 설치되었을 경우, 혹은 경사져서 배치되었을 경우에도 적용하는 것이 가능하다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 반송체로서 회전하는 원형 반송 테이블(2)을 이용한 예를 나타냈지만, 반송체로서 회동하는 이음매 없는 반송 벨트를 이용해도 된다.
(비교예)
다음으로 본 발명의 비교예에 대해서 도 31 내지 도 46에 의해 설명한다. 비교예에 따른 워크 반송 검사 장치의 평면도를 도 31에 나타낸다. 워크 반송 검사 장치(X1)는, 고정된 테이블 베이스(1)와, 테이블 베이스(1) 상에 배치된 반송 수단으로서의 반송체인 원형 반송 테이블(200)을 갖고 있다. 반송 테이블(200)은 구동 기구(도시 생략)의 작용에 의해, 중심축(3)의 주위로 시계 회전 방향(화살표 A 방향)으로 간헐 이동 즉 간헐 회전한다. 반송 테이블(200)의 가장자리부에는 워크(W)를 개별로 수납하는 복수의 워크 수납 구멍(400)이 마련되어 있다.
반송 테이블(200)의 바깥쪽에는, 워크(W)를 반송 테이블(200)을 향하여 화살표 B 방향으로 반송하는 직선 형상인 리니어 피더(500)가 배치되어 있다. 리니어 피더(500)의 종단 부분은 반송 테이블(200)의 가장자리부에 위치하고, 그곳에 워크를 개별로 워크 수납 구멍(400)에 수납하는 분리 공급 수단으로서의 분리 공급부(600)가 설치되어 있다. 워크가 워크 수납 구멍(400)에 수납된 상태로 반송 테이블(200)이 간헐 회전하면, 워크는 화살표 A 방향으로 반송된다. 이 반송 경로를 따라, 검사 수단으로서의 검사부(900) 및 분류 배출 수단으로서의 분류 배출부(10)가 배치되어 있다. 검사부(900)는 워크의 특성 검사를 행하고, 분류 배출부(10)는 검사부(900)에 있어서의 검사 결과에 의거하여 워크를 소정의 등급으로 분류하여 각 등급에 대응하는 배출 상자(도시 생략)를 향하여 배출한다.
워크 수납 구멍(400)의 상면은, 분리 공급부(600)로부터 분류 배출부(10)에 이르는 반송 테이블(200)의 회전 경로에 있어서, 테이블 커버(21)에 의해 덮여 있다. 또한, 반송 테이블(200)의 가장자리부의 외측을 따라, 반송 테이블(200)을 둘러싸는 형상인 가드벽(22)이 설치되어 있다.
여기에서 워크(W)는 직방체 형상인 발광 다이오드(LED)이며, 길이 방향을 형성하는 4면 중 1면에 발광면(Wa)이 형성됨과 함께, 발광면(Wa)에 인접하는 면(Wb)에 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있다(도 2 참조). 전극(Wc1)은 애노드이고, 전극(Wc2)은 캐소드이며, 전극(Wc1과 Wc2) 사이에 전극(Wc1)측이 플러스가 되도록 직류 전압을 인가하면 발광면(Wa)이 발광한다. 전극(Wc1 및 Wc2)의 극성 표시(Wx)가 발광면(Wa)의 코너부에 형성되어 있다. 도 2의 경우, 극성 표시(Wx)에 가까운 전극(Wc2)이 캐소드이다. 이와 같이, 발광면에 인접하는 면에 전극이 형성되어 있는 LED를 사이드뷰 LED라고 하고, 많은 제품이 시판되고 있다.
워크 수납 구멍(400)의 확대 사시도를 도 32에 나타낸다. 도 32에 나타내는 바와 같이, 워크 수납 구멍(400)은 반송 테이블(200)의 바깥쪽을 향한 개구부(401)를 갖는다. 워크 수납 구멍(400)의 하면은 테이블 베이스(1)의 상면이 되어 있다. 또한, 벽면(402, 403, 404)에 의해 개구부(401)를 형성함으로써, 워크(W)는 도 2에서의 길이 방향의 한쪽의 단면(Wd 및 We)이 개구부(401)로부터 반송 테이블(200)의 바깥쪽을 향한 자세로, 워크 수납 구멍(400) 내에 수납된다. 여기에서, 워크(W)의 발광면(Wa)은 투명 수지제이기 때문에, 반송할 때에 손상되지 않도록 주의할 필요가 있다. 또한, 검사부에 있어서의 특성 검사는, 전극(Wc1과 Wc2) 사이에 직류 전압을 인가하여 발광면(Wa)을 발광시키고, 광의 파장, 휘도 등의 광학적 특성을 검사하는 것이다. 따라서, 발광면(Wa)에 대향하여 이들 검사를 행하는 센서를 설치할 필요가 있다.
여기에서, 워크 수납 구멍(400)을 둘러싸는 각 면 중, 하면에 발광면(Wa)이 위치하도록 워크(W)를 수납하면, 간헐 회전시에 테이블 베이스(1)와의 마찰이 생겨 발광면(Wa)을 손상시킬 우려가 있다. 또한, 벽면(402나 403)에 발광면(Wa)이 대향하도록 워크(W)를 수납하면, 반송 테이블(200)이 화살표 A 방향으로 간헐 회전하기 때문에, 회전 개시시나 정지시에 발광면(Wa)이 벽면(402 혹은 403)에 충돌하여, 발광면(Wa)을 손상시킬 우려가 있다.
한편, 검사부(900)에 있어서 발광면(Wa)에 대향하여 파장이나 휘도 등의 검사를 행하는 센서를 설치하는 위치는, 반송 테이블(200)의 상측 혹은 하측이 바람직하다. 이들 이유에 의해, 워크(W)를 워크 수납 구멍(400) 내에 수납할 때에는, 워크 수납 구멍(400)의 상면에 발광면(Wa)이 위치하도록 수납된다. 이때, 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)은, 단면(Wd와 We) 중 어느 것이 개구부(401)로부터 반송 테이블(200)의 바깥쪽을 향할지에 따라, 벽면(402 혹은 403) 중 어느 것에 대향한다. 그러나, 여기에서는 후술하는 검사부(900)에 설치된 프로브(903a 및 903b)와 전극(Wc1 및 Wc2)의 위치 관계로부터, 도 33과 같이 화살표 A로 나타나는 반송 테이블(200)의 회전 방향에 대하여 후방이 되는 벽면(403)에 면(Wb)이 대향하도록 수납된다.
또한, 도 32에서 워크 수납 구멍(400)을 구성하는 벽면 중, 개구부(401)의 반대측에 위치하는 벽면(404)의 테이블 베이스(1)에 근접한 개소에는 연통 구멍(405)이 개구해 있다. 연통 구멍(405)은 분리 공급부(600), 검사부(900), 분류 배출부(10) 등에 있어서 진공원 혹은 압축 에어원에 연통하여, 워크 수납 구멍(400) 내를 진공 흡인하거나, 워크 수납 구멍(400) 내에 압축 에어를 공급하거나 하는 작용을 갖는다.
다음으로 이와 같은 구성으로 이루어지는 비교예의 작용에 대해서 이하에 상술한다. 도 31에서 워크(W)가 파츠 피더(도시 생략)에 공급되면, 그 작용에 의해 워크(W)는 길이 방향을 진행 방향으로 하여 리니어 피더(500)로 이재된다. 그리고, 리니어 피더(500)는 진동에 의해 워크(W)를 화살표 B 방향으로 반송하고, 그 도중에 정렬 수단(도시 생략)에 의해, 도 2에 나타나는 워크(W)의 발광면(Wa)을 리니어 피더(500)의 상면측으로 맞춤과 함께, 도 2에서 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되어 있는 면(Wb)을 화살표 L에서 본 측으로 맞춘다. 이들의 모습을, 도 31 중의 영역 T의 확대 평면 투시도로서 도 34에, 또한 도 31 중의 화살표 L 확대 투시도로서 도 35에 나타낸다. 도 34 및 도 35의 상태에서 면의 방향을 맞추어 리니어 피더(500)에 의해 일렬 연속 반송된 워크(W)는, 리니어 피더(500)의 종단 부분에 도달하여, 정지해 있는 반송 테이블(200)의 가장자리부에 있어서 워크 수납 구멍(400)의 개구부(401)와 대향한다.
그리고, 이 대향 부분에 설치된 분리 공급부(600)의 작용에 의해 워크(W)는 1개씩 분리되고, 또한 반송 테이블(200)이 분리 공급부(600)에 정지해 있는 동안에는, 도 32에 나타내는 연통 구멍(405)이 진공원(도시 생략)에 연통하여 워크 수납 구멍(400)의 내부가 진공 흡인된다. 이 때문에 워크(W)가 도 34에 나타내는 바와 같이 워크 수납 구멍(400)에 수납된다. 그때, 상술한 바와 같이 분리 공급부(600)에 대향하는 반송 테이블(200)의 상면은 테이블 커버(21)에 의해 덮여 있기 때문에, 워크 수납 구멍(400)의 내부는 밀폐성이 유지되어, 진공 흡인이 효율적으로 행해진다.
다음으로 반송 테이블(200)이 간헐 회전하고, 워크(W)가 검사부(900)에 도달하면 반송 테이블(200)이 정지한다. 이와 같은 간헐 회전은 분리 공급부(6), 검사부(900), 분류 배출부(10)의 각 부간에 있어서 행해지고, 간헐 회전 중에는, 도 32에 나타내는 연통 구멍(405)은 진공원에 연통하지 않으므로, 워크 수납 구멍(400) 내의 워크(W)에 원심력이 작용한다. 그러나, 도 31에 나타내는 가드벽(22)이 설치되어 있으므로, 워크(W)는 워크 수납 구멍(400)으로부터 반송 테이블(200)의 바깥쪽으로 튀어나오지는 않는다. 또한, 테이블 커버(21)가 워크 수납 구멍(400)의 상면을 덮고 있기 때문에, 간헐 회전 중에 발생하는 진동에 의해 워크(W)가 워크 수납 구멍(400)으로부터 반송 테이블(200)의 상방으로 튀어나오지는 않는다.
검사부(900)의 구성과 동작을 확대 평면도로서 도 36 내지 도 45를 이용하여 설명한다. 여기에서, 간단하게 하기 위해 도 36 내지 도 45에서 테이블 커버(21) 및 가드벽(22)은 생략하고 있다. 도 36은 반송 테이블(200)이 화살표 A 방향으로 간헐 회전하여 워크(W)를 검사부(900)를 향하여 반송하고, 검사부(900)에 정지하기 직전의 모습을 나타낸다. 검사부(900)에 있어서, 반송 테이블(200)의 바깥쪽에 검사부 블록(901)이 배치되고, 검사부 블록(901) 내에는, 반송 테이블(200)이 정지했을 때에 워크 수납 구멍(400)의 개구부(401)에 대향하는 위치에, 워크 수납 구멍(400)으로부터 워크(W)를 반송 테이블(200)의 바깥쪽으로 인출하여 수납하는 것이 가능한 형상을 갖는 검사실(902)이 형성되어 있다. 또한, 검사부 블록(901) 내에는, 검사실(902)에 대하여 반송 테이블(200)의 회전 방향(화살표 A)의 후측에, 직류 전압원(도시 생략)에 접속되고, 구동 기구(도시 생략)의 작용에 의해 검사실(902)을 향하여 진퇴 가능한 프로브(903a 및 903b)가 설치되어 있다.
검사실(902)의 벽면 중, 워크 수납 구멍(400)으로부터 가장 먼 벽면(904)의 테이블 베이스(1)에 인접한 위치에는 연통 구멍(905)이 설치되어 있다. 연통 구멍(905)은 테이블 베이스(1) 내에 설치된 제어 배관(906)을 경유하여 전환 밸브(907)에 접속되고, 전환 밸브(907)는 제어 배관(906)을 진공원(908) 또는 압축 에어원(909)에 접속한다.
즉, 전환 밸브(907)가 제어 배관(906)과 진공원(908)을 접속하면 검사실(902) 내는 진공 흡인되고, 전환 밸브(907)가 제어 배관(906)과 압축 에어원(909)을 접속하면 검사실(902) 내에 압축 에어가 공급된다. 또한, 전환 밸브(907)는 제어 배관(906)을 진공원(908) 또는 압축 에어원(909) 중 어느 것에도 접속하지 않은 상태로 할 수도 있다.
이하의 설명에 있어서, 이 상태를 중립이라 부른다. 중립일 경우, 검사실(902) 내는 진공 흡인되지 않고, 또한 검사실(902) 내에 압축 에어의 공급도 행해지지 않는다. 이 경우, 검사실(902)은 검사부 블록(901) 내에 설치되어 있기 때문에, 그 내부는 밀폐성이 유지되어, 진공 흡인 및 압축 에어 공급이 효율적으로 행해진다. 또한, 워크 수납 구멍(400) 내의 벽면(404)에 설치된 연통 구멍(405)(도 32 참조)은, 워크 수납 구멍(400)이 검사부(900) 부근에 위치할 동안에, 테이블 베이스(1) 내에 배치된 제어 배관(910)을 경유하여 전환 밸브(911)에 접속되고, 전환 밸브(911)는 진공원(908) 및 압축 에어원(909)에 접속되어 있다. 즉, 전환 밸브(911)가 제어 배관(910)과 진공원(908)을 접속하면 워크 수납 구멍(400) 내는 진공 흡인되고, 전환 밸브(911)가 제어 배관(910)과 압축 에어원(909)을 접속하면 워크 수납 구멍(400) 내에 압축 에어가 공급된다. 또한, 전환 밸브(911)는 제어 배관(910)을 진공원(908) 또는 압축 에어원(909) 중 어느 것에도 접속하지 않은 상태로 할 수도 있다.
전환 밸브(907)의 경우와 마찬가지로, 이하의 설명에 있어서, 이 상태를 중립이라 부른다. 중립일 경우, 워크 수납 구멍(400) 내는 진공 흡인되지 않고, 또한 워크 수납 구멍(400) 내에 압축 에어의 공급도 행해지지 않는다. 이 경우, 상술한 바와 같이 테이블 커버(21)가 워크 수납 구멍(400)의 상면을 덮고 있기 때문에, 워크 수납 구멍(400)의 내부는 밀폐성이 유지되어, 진공 흡인 및 압축 에어 공급이 효율적으로 행해진다.
도 36에서 프로브(903a 및 903b)는 정지해 있다. 또한, 전환 밸브(907)는 중립이며, 전환 밸브(911)는 진공원(908)에 접속되어 있다. 도 37은 반송 테이블(200)이 검사부(900)에 정지한 직후의 모습을 나타낸다. 워크(W)가 수납된 워크 수납 구멍(400)의 개구부(401)는 검사실(902)과 대향해 있다. 이때, 워크 수납 구멍(400) 내는 진공 흡인되어 있기 때문에, 워크(W)는 워크 수납 구멍(400) 내에 유지되어 있다.
여기에서, 전환 밸브(907)를 전환하여 진공원(908)에 접속함과 함께, 전환 밸브(911)를 전환하여 압축 에어원(909)에 접속한다. 도 38에 이 전환을 실시한 직후의 모습을 나타낸다. 전환에 의해, 검사실(902) 내는 진공 흡인되고, 워크 수납 구멍(400) 내에는 압축 에어가 공급되기 때문에, 워크(W)는 워크 수납 구멍(400)으로부터 검사실(902)을 향하여 화살표 C 방향으로 이동을 개시한다.
이 상태에서 더 시간이 경과하면, 도 39에 나타내는 바와 같이 워크(W)는 워크 수납 구멍(400)으로부터 취출되어 검사실(902)의 벽면(904)에 맞닿아 정지한다. 워크(W)가 정지하면, 전환 밸브(911)를 전환하여 중립으로 한다.
다음으로, 도 40에 나타내는 바와 같이, 프로브(903a 및 903b)가 초기 위치로부터 검사실(902)을 향하여 화살표 D 방향으로 진출을 개시한다.
그리고, 이 상태에서 더 시간이 경과하면, 도 41에 나타내는 바와 같이, 프로브(903a 및 903b)는 도 2에 나타내는 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)에 맞닿는다. 여기에서, 프로브(903a 및 903b)가 도 40에 나타내는 화살표 D 방향으로 진출하여, 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)에 확실히 맞닿는다. 이 때문에, 워크(W)를 워크 수납 구멍(400)에 수납할 때에는, 상술한 바와 같이 전극(Wc1 및 Wc2)이 설치된 면(Wb)(도 2 참조)이, 도 33에 나타내는 바와 같이, 화살표 A로 나타나는 반송 테이블(200)의 회전 방향에 대하여 후방이 되는 벽면(403)에 대향하도록 수납된다.
프로브(903a 및 903b)가 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)에 맞닿으면, 워크(W)에 직류 전압이 인가되어 도 2에 나타내는 발광면(Wa)이 발광한다. 상술한 바와 같이 발광면(Wa)은 워크 수납 구멍(400)의 상면을 향하여 수납되어 있고, 워크(W)가 검사실(902) 내에 수용된 상태에서는 검사실(902)의 상면에 대향해 있다. 검사실(902)의 상면측의 검사 블록(901) 내에는 센서(도시 생략)가 설치되어 있고, 발광면(Wa)이 발광하면 그 광을 수광하여 파장, 광도 등의 광학적 특성의 검사를 행한다. 검사가 종료하면, 도 42에 나타내는 바와 같이 프로브(903a 및 903b)가 화살표 E 방향으로 퇴출을 개시하여 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)으로부터 이간한다. 그리고, 더 시간이 경과하면, 도 43에 나타내는 바와 같이 프로브(903a 및 903b)는 원래의 위치로 돌아가 정지한다. 이 상태에서, 전환 밸브(907)를 전환하여 압축 에어원(909)에 접속함과 함께, 전환 밸브(911)를 전환하여 진공원(908)에 접속한다. 전환에 의해, 검사실(902) 내에는 압축 에어가 공급되고, 워크 수납 구멍(400) 내는 진공 흡인되기 때문에, 워크(W)는 검사실(902)로부터 워크 수납 구멍(400)을 향하여 화살표 F 방향으로 이동을 개시한다.
이 상태에서 더 시간이 경과하면, 도 44에 나타내는 바와 같이 워크(W)는 워크 수납 구멍(400)의 벽면(404)에 맞닿아 정지하여, 워크 수납 구멍(400)으로 반환된다. 이 상태에서, 전환 밸브(907)를 전환하여 중립으로 한다. 이 후, 도 45와 같이 반송 테이블(200)은 화살표 A 방향으로 회전을 개시하고, 워크(W)는 분류 배출부(10)를 향하여 반송된다. 분류 배출부(10)에 도달한 워크(W)는, 검사부(900)에 있어서 실시한 광학적 특성 검사의 결과에 대응하여 미리 결정된 소정의 등급으로 분류된다. 그리고, 각 등급에 대응한 배출 상자(도시 생략)를 향하여 워크 수납 구멍(400) 내에 압축 에어를 공급하여 배출된다.
이상과 같은 비교예에 있어서의 워크 반송 검사 장치(X1)에는, 이하의 문제가 있다.
즉, 도 46은 검사부(900)의 동작에 따른 타임 차트이며, 도 46에 나타내는 바와 같이 「테이블 회전／정지」가 H 레벨 동안에는 반송 테이블(200)이 회전하고, L 레벨 동안에는 반송 테이블(200)이 정지해 있다. 또한, 「워크 취출」이 H 레벨 동안에는 도 38 내지 도 39와 같이 워크(W)를 워크 수납 구멍(400)으로부터 검사실(902)에 취출한다. 또한, 「검사」가 H 레벨 동안에는 도 40 내지 도 43과 같이 프로브(903a 및 903b)를 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)에 맞닿게 하여 광학 특성 검사를 실시한 후, 프로브(903a 및 903b)를 워크(W)의 전극(Wc1 및 Wc2)으로부터 이간시킨다. 또한, 「워크 반환」이 H 레벨 동안에는 도 43 내지 도 44와 같이 워크(W)를 검사실(902)로부터 워크 수납 구멍(400)으로 반환한다.
도 46에서 소요 시간 t7인 「워크 취출」, 소요 시간 t1인 「검사」, 소요 시간 t8인 「워크 반환」의 3가지 동작이 행해지고, 그들의 소요 시간의 합계가 반송 테이블(200)의 정지 시간 T2임을 알 수 있다. 소요 시간의 일례로서 t1＝130㎳, t7＝25㎳, t8＝25㎳가 있으며, T2＝t1+t7+t8＝180㎳가 된다. 즉, 「검사」의 소요 시간 130㎳에 「워크 취출」과 「워크 반환」의 각 소요 시간이 가산되어 180㎳로 증가하고, 반송 테이블(200)의 정지 시간 T2가 「검사」만일 경우보다 180㎳／130㎳≒1.38, 즉 약 38％ 길어져 있음을 의미한다. 이는 실질적인 검사 시간이 약 38％ 길어져 있는 것과 같다. 검사부(900)에 있어서 「워크 취출」과 「워크 반환」이 필요한 이유는, 워크(W)가 사이드뷰 LED이며, 도 2와 같이 발광면(Wa)과 전극(Wc1 및 Wc2)이 형성되는 면(Wb)이 인접해 있기 때문이다.
사이드뷰 LED는 수요가 많고, 생산이 급속하게 증가하고 있는 부품이기 때문에, 검시 시간의 단축이 강하게 요망되고 있지만, 비교예에 나타내는 워크 반송 장치일 경우, 상기의 수치예에서 말하자면 검시 시간이 약 38％ 길어져, 검사 시간의 단축이라는 요구에 따르는 것이 곤란하다.
이에 대하여 본 발명에 의하면, 검사부에 있어서 검사 공정을 중단하지 않고 연속하여 행할 수 있어, 전체적인 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
1 : 테이블 베이스 2 : 반송 테이블
3 : 중심축 4 : 워크 수납 구멍
4a : 제1 구멍 4b : 제2 구멍
5 : 리니어 피더 6 : 분리 공급부
7 : 방향 판별부 8 : 방향 변환부
9 : 검사부 10 : 분류 배출부
11 : 진공원 12 : 압축 에어원
21 : 테이블 커버 22 : 가드벽
71 : 모니터창 72 : 촬상 수단
81 : 센서창 82a : 정지홈
83 : 광 센서 84 : 회전 샤프트
85 : 흡착 노즐 92a, 92b : 프로브
W : 워크 Wa : 워크의 발광면
Wb : 워크의 전극면

Claims (14)

  1. 직방체 형상인 피검사체를 수납하는 복수의 피검사체 수납 구멍을 갖고, 간헐 이동에 의해 피검사체를 반송 방향을 따라 반송하는 반송체와,
    반송체에 설치되며, 피검사체를 피검사체 수납 구멍에 수납하는 분리 공급 수단과,
    반송체에 설치되며, 피검사체 수납 구멍 내의 피검사체의 방향 변환을 행하는 방향 변환 수단과,
    반송체에 설치되며, 피검사체 수납 구멍 내의 피검사체의 특성 검사를 행하는 검사 수단을 구비하고,
    각 피검사체 수납 구멍은 각각 피검사체를 상이한 자세로 수납하는 제1 구멍과 제2 구멍을 갖고, T자형으로 구성되고,
    제1 구멍은 반송체의 바깥 가장자리로부터 내측을 향하여 반송 방향에 직교하여 연장되며, 반송 방향에 직교하는 자세를 취하도록 피검사체를 수납하고, 제2 구멍은 반송체의 바깥 가장자리를 따라 반송 방향에 평행하게 연장되며, 반송 방향에 평행하는 자세를 취하도록 피검사체를 수납하고,
    분리 공급 수단은 피검사체를 제1 구멍에 수납하고, 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 피검사체를 반송체의 바깥쪽으로 이동시키며, 90° 회전시켜 제2 구멍에 수납하고, 검사 수단은 제2 구멍에 수납된 피검사체 중 반송체의 외측 방향을 향하는 면에 대하여 특성 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 피검사체를 흡착하여 반송체의 반송 방향 및 피검사체의 길이 방향에 직교하는 방향 바깥쪽으로 이동시키며, 피검사체를 90° 회전시켜 제2 구멍 내에 수납하는 흡착 노즐을 갖는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 피검사체를 피검사체의 길이 방향 바깥쪽으로 인출하는 에어 분출 장치를 더 갖는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    분리 공급 수단과 방향 변환 수단 사이에, 제1 구멍 내의 피검사체의 방향을 판별하는 방향 판별 수단이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    방향 변환 수단은 방향 판별 수단의 판별 결과에 따라 피검사체를 시계 회전 방향 혹은 반시계 회전 방향으로 90° 회전시키는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    반송체는 원형 반송 테이블인 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 장치.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    반송체는 이음매 없는 반송 벨트인 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 장치.
  8. 제1항에 기재된 피검사체 반송 검사 장치를 이용한 피검사체 반송 검사 방법에 있어서, 분리 공급 수단에 의해 피검사체를 반송 수단에 설치된 피검사체 수납 구멍에 수납하는 분리 공급 공정과,
    반송체의 간헐 이동에 의해 피검사체를 반송하는 반송 공정과,
    방향 변환 수단에 의해 피검사체의 방향 변환을 행하는 방향 변환 공정과,
    검사 수단에 의해 피검사체의 특성 검사를 행하는 검사 공정을 구비하고,
    분리 공급 공정에서 분리 공급 수단은 피검사체를 제1 구멍에 수납하고, 방향 변환 공정에서 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 피검사체를 반송체의 바깥쪽으로 이동시키며, 90° 회전시켜 제2 구멍에 수납하고, 검사 공정에서 검사 수단은 제2 구멍에 수납된 피검사체 중 반송체의 외측 방향을 향하는 면에 대하여 특성 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    방향 변환 공정에서 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 피검사체를 흡착하여 반송체의 반송 방향 및 피검사체의 길이 방향에 직교하는 방향 바깥쪽으로 이동시키고, 피검사체를 90° 회전시켜 제2 구멍 내에 수납하는 흡착 노즐을 갖는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    방향 변환 공정에서 방향 변환 수단은 제1 구멍 내의 피검사체를 에어 분출 장치에 의해 피검사체의 길이 방향 바깥쪽으로 인출하는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 방법.
  11. 제8항에 있어서,
    분리 공급 공정과 방향 변환 공정 사이에, 방향 판별 수단에 의해 제1 구멍 내의 피검사체의 방향을 판별하는 방향 판별 공정이 행해지는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    방향 변환 공정에서 방향 변환 수단은 방향 판별 공정의 판별 결과에 따라 피검사체를 시계 회전 방향 혹은 반시계 회전 방향으로 90° 회전시키는 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 방법.
  13. 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    반송체는 원형 반송 테이블인 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 방법.
  14. 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    반송체는 이음매 없는 반송 벨트인 것을 특징으로 하는 피검사체 반송 검사 방법.
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