KR101323249B1

KR101323249B1 - 초전도 선재 제조장치 및 제조방법

Info

Publication number: KR101323249B1
Application number: KR1020110129469A
Authority: KR
Inventors: 김호섭; 고락길; 민창훈; 오상수; 하동우; 하홍수
Original assignee: 한국전기연구원
Priority date: 2011-12-06
Filing date: 2011-12-06
Publication date: 2013-11-06
Also published as: KR20130063121A

Abstract

본 발명은 초전도 선재 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 챔버와; 상기 챔버 내부에 형성된 기판과; 상기 기판 후면에 형성되어 외부 전원에 연결되어 발열되고, 기판에 열을 전달시키는 히터와; 상기 기판에 대응되게 형성되어, 기판에 증착되는 두 가지 이상의 원료물질이 액체상태로 혼합수용되고, 혼합된 원료물질이 이동되어 기화부에서 혼합 원료물질이 증발되는 증발기; 그리고, 상기 기판과 증발기 사이에 형성되고, 등간격으로 산소노즐이 형성되어 상기 기판측으로 산소를 공급시키는 산소공급부;를 포함하여 구성되는 초전도 선재 제조장치를 기술적 요지로 한다. 그리고 본 발명은 챔버내에서 두 가지 이상의 원료물질을 증발기에 액체상태로 혼합수용시키고 혼합된 원료물질을 이송시켜 기화부에서 혼합 원료물질을 증발시켜 기판에 박막을 증착시키고, 상기 기판에 인접한 산소공급부에 형성된 산소노즐을 이용하여 기판 측으로 산소를 공급시키고, 히터를 이용하여 외부에서 열을 공급시킴에 의해 기판을 열처리하고 동시에 공급되는 산소에 의해 기판에 형성되는 박막이 산화반응되는 초전도 선재 제조방법을 또한 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 일정한 조성비를 갖는 액체상태 원료물질이 액체유도관(620)을 통하여 지속적으로 공급되고 동시에 산소를 공급시켜 박막을 형성시킴에 의해, 시간에 따른 조성비 변화가 없는 박막이 형성되고 즉각적인 열처리에 의해 안정된 산화물 초전도체층이 형성된 초전도 선재가 형성되는 이점이 있다.

Description

초전도 선재 제조장치 및 제조방법{The method and apparatus to fabricate superconducting coated conductor}

본 발명은 초전도 선재 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 다수개의 원료물질을 증착하되, 증착되는 박막이 균일한 조성영역을 가지도록 함과 동시에 증착되는 박막을 증착과 동시에 산화반응시켜 초전도 선재를 형성시키는 초전도 선재 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.

박막제조에는 여러 가지 방법이 존재하고 있으며 크게 물리적방법(physical vapor deposition, 이하 PVD라 함)과 화학적 방법(chemical vapor deposition)으로 나눌 수 있다.

PVD의 대표적인 증착법인 PLD법(Pulsed Laser Deposition), 스퍼터링(sputtering) 증착법 및 증발 증착법이 존재한다.

PLD 증착법은 타겟에 고에너지 레이저를 입사시켜 순간적인 플라즈마를 형성하고 입자들이 방사되어 기판에 증착되는 방법이다. 장점은 조성비에 맞게 제조된 타겟을 사용하므로 증착시 조성비 조절을 할 필요가 없다. 증착면적이 작으므로 산업적으로 사용되기 힘들고, 연구소 및 학교에서 많이 사용된다.

스퍼터링(sputtering) 증착법인 경우, 불활성가스의 원자를 이온화시켜 전기장에 의해 가속시키고 타겟과 충돌시켜 운동량 교환에 의하여 타겟의 물질을 떼어낸 뒤 기판에 입사시키는 증착법이다. 일단 단위면적당 증착률은 작으나 대면적이 가능하므로 산업화하기에 유리하다. 그러나 후술하는 증발(Evaporation) 증착법에 비해서는 10배 정도 생산력이 떨어진다. 조성비에 맞게 제조된 타겟을 사용하므로 증착시 조성비 조절을 할 필요가 없다. 그러나 대면적 타겟 비용이 크고, 증착시스템의 초기투자비용이 크다.

증발(Evaporation) 증착법은, 모든 물질은 온도에 따른 증기압이 존재하는바, 예를 들어 물을 가열하면 수면에서 수증기가 나오게 되는데 이때 증발되는 수증기량은 온도가 증가할수록 증가한다. 물 뿐만 아니라 모든 물질은 증기압이 존재한다. 이 원리를 이용한 것이 증발 증착법(evaporation)이다. 그런데 각 물질의 증기압 곡선은 다르다. 이런 자연현상 때문에 다원자 화합물을 제조할때 조성비를 조절하기 위해서는 구성원자수에 해당하는 가열기가 독립적으로 존재해야 하며 독립적으로 온도를 조절하여 증착하게 된다.

예를 들어 Sm₁Ba₂Cu₃O₇ 초전도 물질을 생각하여 보자.

각 온도별로 증기압 크기를 비교해 보면 Ba>Sm>Cu의 순서이다. 도가니 표면에서 10㎚/sec의 증착률을 얻기 위해서는 Sm, Ba, Cu의 온도를 대략 700℃, 800℃, 1300℃도로 가열해야 한다.

원하는 조성비의 박막을 얻기 위해서는 증착률 센서를 이용하여 각 원소의 증착률을 감지하고, 각 가열기의 온도를 조절하여 증착률의 비를 제어하여야 한다. 이를 구현하기 위한 열 증발 증착법의 기본 구성장치는 1)구성원자수에 해당하는 증발기, 2)각 증발기에 따른 독립가열장치 3)구성원자수에 해당하는 증착률 감지기 4)펌핑장치 5)기판 이동장치 등이 필요하다

즉, 종래기술에 따른 열 증발 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 각각의 증발물질에 대응하는 증발기(100)가 따로 구비되어 있으며, 기판(200)의 전면에는 셔터(300)가 형성되어 있으며, 각 증발기(100)에서 증발된 물질은 증착 영역인 기판(200)에 증착되게 된다.

그런데, 다수개의 증발물질을 증착하는 경우 각 가열기의 온도를 조절하여 증착률의 비를 제어하여야 하는바, 온도 제어를 위하여 다수개의 증발기가 존재하여야하며 이로 인해 증착 장치의 크기가 대형화된다는 문제점이 있다.

그리고, 도 2 와 같이, 다수개의 이종물질을 동시에 증발할 경우 일정한 두께분포가 형성된다. 이 경우 두께 분포뿐만 아니라 조성비가 불균일하게 되며, 조성비 균일영역을 확보하기 위해 단일원자물질을 증착할 때보다 증착 영역은 더욱 좁아진다. 따라서, 증착 영역을 확보하기 위해서는 챔버의 크기는 더욱 커지게 되고 동반되는 챔버 제작비도 기하급수적으로 커지게 되어 챔버는 커지고 증착영역은 좁은 기형적인 형태를 가지게 되는 문제점이 있다.

또한, 상기 종래기술과 같이 챔버내에서 다수개의 이종물질을 증발시켜 증착하더라도 증착된 박막은 산소 분위기에서 열처리를 따로 하여야만 초전도 산화물층등이 형성된 박막이 완성되므로 따로 산소분위기에서 열처리를 하는 등의 공정을 거쳐야 하는 등의 문제점이 존재한다.

따라서, 본 발명은 상기한 종래기술들의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 원료물질이 담긴 증발기를 액체저장부와 기화부로 따로 형성하여 액체저장부에서 혼합된 원료물질이 기화부로 이동되어 노즐을 통하여 증발되어 기판에 증착되고 동시에 증착되는 박막을 산화반응시켜 초전도 선재를 형성시키는 초전도 선재 제조장치 및 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 챔버와; 상기 챔버 내부에 형성된 기판과; 상기 기판 후면에 형성되어 외부 전원에 연결되어 발열되고, 기판에 열을 전달시키는 히터와; 상기 기판에 대응되게 형성되어, 기판에 증착되는 두 가지 이상의 원료물질이 액체상태로 혼합수용되고, 혼합된 원료물질이 이동되어 기화부에서 혼합 원료물질이 증발되는 증발기; 그리고, 상기 기판과 증발기 사이에 형성되고, 등간격으로 산소노즐이 형성되어 상기 기판측으로 산소를 공급시키는 산소공급부;를 포함하여 구성되는 초전도 선재 제조장치를 기술적 요지로 한다.

그리고 본 발명은 챔버내에서 두 가지 이상의 원료물질을 증발기에 액체상태로 혼합수용시키고 혼합된 원료물질을 이송시켜 기화부에서 혼합 원료물질을 증발시켜 기판에 박막을 증착시키고, 상기 기판에 인접한 산소공급부에 형성된 산소노즐을 이용하여 기판 측으로 산소를 공급시키고, 히터를 이용하여 외부에서 열을 공급시킴에 의해 기판을 열처리하고 동시에 공급되는 산소에 의해 기판에 형성되는 박막이 산화반응되는 초전도 선재 제조방법을 또한 기술적 요지로 한다.

상기 기판은 일측은 풀림롤에 감기고 타측은 감김롤에 감겨져 풀림롤에서 풀려진 기판이 감김롤에 감겨지는 것이 바람직하다.

상기 증발기는, 원료물질이 혼합되고, 외부의 열원에 의해 가열되어 액체상태의 원료물질이 저장되는 액체저장부와; 상기 액체저장부와 연결되어 상기 액체저장부에 저장된 원료물질이 유동되는 액체 유도관과; 상기 액체 유도관과 연결되고, 상기 액체저장부에서 유동된 원료물질을 외부 열원에 의해 상기 액체저장부의 온도보다 상대적으로 높은 온도로 가열시켜 증발시키는 기화부;를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

상기 액체 저장부를 가열시키는 외부 열원은 유도코일인 것이 바람직하다.

상기 기화부를 가열시키는 외부 열원은 유도코일인 것이 바람직하다.

상기 액체저장부에는 기체상태의 원료물질이 포함되는 것이 바람직하다.

상기 기화부에는 상기 액체저장부의 액체상태 원료물질과 동일한 높이의 액체상태 원료물질이 충전되는 것이 바람직하다.

상기 기화부는 관형상으로 형성되는 것이 바람직하다.

이에 따라, 원료물질이 담긴 증발기를 액체저장부와 기화부로 따로 형성하여 액체저장부에서 혼합된 원료물질이 기화부로 이동되어 노즐을 통하여 증발되어 기판에 증착되고, 동시에 증착되는 박막을 산화반응시켜 초전도 선재를 형성시킨다는 이점이 있다.

다수개의 원료물질을 증착하되, 증착되는 박막이 균일한 조성영역을 가지도록 함과 동시에 증착되는 박막을 증착과 동시에 산화반응시켜 초전도 선재를 형성시키는 초전도 선재 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.

도 1은 종래기술에 따른 다수의 증발기가 구비된 열 증발 증착장치의 개략도이고,
도 2는 종래기술에 따른 다수의 증발기가 구비된 열 증발 증착장치의 개략도 및 이에 따른 증착 막박의 불균일 가능성을 나타낸 도이고,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초전도 선재 제조장치를 나타낸 개략도이고,
도 4는 도 3의 A 부분을 하측에서 본 개략도이고,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 증발기의 개략도이고,
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 기판에 박막이 형성되는 개략적인 형상을 나타낸도이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초전도 선재 제조장치를 나타낸 개략도이고, 도 4는 도 3의 A 부분을 하측에서 본 개략도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 증발기의 개략도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따라 기판에 박막이 형성되는 개략적인 형상을 나타낸 도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 초전도 선재 제조장치는 크게 챔버(500)와; 기판(200)과; 히터(700)와; 증발기(600); 그리고, 산소공급부(800);로 구성된다.

상기 챔버(500)는 하우징 형태로 구성되어 챔버(500) 내부에서 후술하는 기판(200)에 박막을 형성시킨다. 챔버(500)는 일반적인 공지의 기술이므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.

상기 기판(200)은 테이프 형태로 구성되고, 상기 기판(200)에 증착 물질이 증착되어 박막이 형성된다. 상기 기판(200)은 일측은 상기 챔버(500) 내부에 설치된 풀림롤(410)에 결합되고, 타측은 상기 챔버(500) 내부에 설치된 감김롤(420)에 결합되어 릴투릴 방식으로 기판(200)이 풀림롤(410)에서 풀림되고 박막이 형성된 후 감김롤(420)에 감김되는 형태로 구성된다. 여기서 상기 기판(200)도 공지의 기술이므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.

상기 기판(200)의 일측면 측에는 소정 이격되게 상기 챔버(500) 내부에 히터(700)가 설치된다. 상기 히터(700)는 외부의 전원을 인가받아 발열되고, 발열된 열을 상기 기판(200)측으로 전달시켜 후술하는 증발기(600)에서 증발된 원료물질이 기판(200)에 증착 반응하여 박막을 형성하는 경우 반응에 필요한 열을 제공한다.

상기 기판(200)의 타측면에는 소정 이격되게 산소공급부(800)가 형성된다. 상기 산소공급부(800)는 기판(200)을 중심으로 기판(200)의 하측에 한 쌍이 설치되고, 상기 산소공급부(800)에는 산소공급부(800)에 충전된 산소를 기판(200) 측으로 배출시키는 산소노즐(810)이 형성된다.

여기서, 상기 산소공급부(800)에서 산소노즐(810)을 통하여 기판(200)측으로 배출된 산소는 후술하는 증발기(600)에서 증발된 원료물질이 기판(200)에 증착되어 초전도 박막을 형성하는 경우 필요한 산소이며, 산소 공급에 의해 기판(200)에 박막이 증착됨과 동시에 박막이 산화반응을 일으켜 산화물 초전도체인 초전도 선재가 형성된다.

상기 기판(200)의 타측면 측에는 소정 이격되어 원료물질을 포함하는 증발기(600)가 설치된다.

도 5에서 상기 증발기(600)는 크게 액체저장부(610)와, 액체유도관(620)과, 기화부(630)로 구성되어, 기판(200)에 증착되는 두 가지 이상의 원료물질을 열을 이용하여 액화시켜 액체상태로 혼합수용하고, 수용된 혼합 원료물질을 액체유도관(620)을 통하여 기화부(630)로 이동시켜 기화부(630)에서 상기 기판(200)측으로 증발시키는 구성이다.

먼저 액체저장부(610)에 대해 설명한다.

상기 액체저장부(610)는 상부가 개구된 원통 형태로 구성되고, 내부에 수용부가 형성된 형태이며, 상부는 덮개(611)로 밀폐된다. 상기 수용부 내부에는 일정한 조성비를 가지는 두 가지 이상의 원료 물질이 수용된다. 그리고 상기 액체 저장부(610)의 하부면에는 내부와 관통된 유출구(612)가 형성되고 상기 유출구(612)는 후술하는 액체유도관(620)과 연결되어 상기 액체저장부(610)에 저장된 원료물질이 후술하는 액체유도관(620)으로 유동된다.

상기 액체저장부(610)의 외주면에는 유도코일(640)의 형성되는바, 상기 액체저장부(610)의 외주면을 감싸는 형태로 유도코일(640)이 형성된다.

상기 유도코일(640)은 외부 전원과 반응하여 발열되고 발열된 열이 상기 액체저장부(610)의 수용부 내부에 수용된 원료물질에 전달되어 상기 원료물질을 액화시킨다. 여기서 상기 유도코일(640)에 의해 발열되는 열량은 상기 원료물질을 액화시키는 정도의 열량이며 충분하다. 상기 유도코일(640)에 의해 전달된 열에 의해 상기 수용부의 원료물질의 대부분은 액체상태로 존재하나 일부는 기화되어 상기 액체상태 원료물질 상부에 기체상태로 존재한다.

상기 기체상태 원료물질 부피는 액체상태 원료물질의 부피 대비 가능한 적은 것이 바람직하다. 이를 상세히 살펴보면 기체상태 원료물질의 증기압이 1 Torr이고 부피비가 1:1이라면 액체상태 원료물질과 기체상태 원료물질의 원자개수비는 10⁶:1 정도를 유지하게 되므로 기체상태 원료물질의 존재가 액체상태 원료물질의 조성비에 거의 영향을 미치지 못한다는 것을 의미한다.

상기 액체유도관(620)은 관형상으로 형성되고, 상기 액체저장부(610)의 유출구(612)와 연통되어 상기 액체저장부(610)에 수용된 액체상태 원료물질이 상기 액체 유도관(620)을 통하여 후술하는 기화부(630)로 유동된다.

여기서 상기 액체유도관(620)의 내부 직경은 기화부(630)와 액체저장부(610)의 물질이 확산에 의하여 섞이지 않을 정도로 흐름 속도를 빠르게 하기 위하여 충분히 작도록 형성된다.

상기 기화부(630)는 관형상으로 형성되고, 일측은 상기 액체유도관(620)과 연결되고 타측은 상기 기판(200)측을 향하도록 하여 개방된 형태로 구성된다.

상기 기화부(630)의 타측의 높이는 상기 액체저장부(610)의 액체상태 원료물질의 수면높이보다 조금 높은 형태로 형성되어, 상기 기화부(630)에는 상기 액체유도관(620)을 통하여 유입된 액체상태 원료물질이 상기 기화부(630)에 일정 높이만큼 충전되는바, 충전양은 상기 액체저장부(610)의 액체상태 원료물질과 같은 정도의 수면 높이를 유지하도록 충전된 상태가 된다.

그리고 상기 기화부(630)의 타측 단부에는 필요시 증발된 원료물질이 분출되는 노즐을 설치하여도 무방하다.

상기 기화부(630)의 외표면에는 코일 형태의 유도코일(650)이 설치되는바, 상기 기화부(630)에 충전된 액체상태 원료물질을 증발시키기 위한 열을 제공한다. 상기 기화부(630)의 외표면에 설치된 유도코일(650)에 의한 열이 상기 액체저장부(610)의 외표면에 설치된 유도코일(640)에 의해 발생되는 열의 온도보다 상대적으로 높은바, 이는 기화부(630)의 단부측에서 액체상태의 원료물질을 급속 증발시키기 위한 것이다.

상기의 구성의 의한 작동효과는 후술하는 바와 같다.

사용자은 챔버(500) 내부에 풀림롤(410)과 감김롤(420)을 설치하고 기판(200)을 풀림롤(410)에서 감김롤(420)로 감겨지도록 설치한다.

그리고 기판(200)의 일측면에는 히터(700)를 설치하고 히터(700)를 발열시키 기판(200)측으로 열이 전달되게 한다.

상기의 상태에서 상기 기판(200)의 타측면에는 상기 기판(200)과 소정 이격 되게 한 쌍의 산소공급부(800)를 설치하고 산소노즐(810)을 상기 기판(200)을 향하도록 설치하고 산소노즐(810)을 통하여 기판(200)측으로 산소를 공급시킨다. 또한 증발기(600)를 상기 기판(200)과 이격되게 설치한다.

그런 다음, 사용자는 챔버(500) 내부에 형성된 증발기(600)의 액체저장부 덮개(611)를 개방하고, 액체저장부(610)의 수용부 내부에 필요한 조성비의 원료물질 A,B,C를 넣고 아르곤 가스 등을 넣은 다음 덮개(611)를 밀폐시킨다. 여기서 상기 아르곤 가스는 챔버(500) 내부를 아르곤 가스 분위기로 형성시켜도 무방하다.

상기의 상태에서, 액체저장부의 유도코일(640)을 인덕션으로 가열시키고, 필요시 동시에 상기 기화부(630)의 유도코일(650)을 인덕션으로 가열시킨다.

액체저장부의 온도에 의하여 액화가 이루어졌을 때, 아르곤 가스를 잠그고 진공상태를 유지한다. 상기의 가열에 의해 액체저장부(610)에 저장된 원료물질은 액체상태의 원료물질로 액화되고, 일부는 기화되어 상기 액체상태 원료물질 상부에 기화상태 원료물질로 존재한다.

동시에 액화된 액체상태 원료물질은 유출구(612)를 통하고 액체유도관(620)을 통하고 기화부(630)로 유입된 후, 기화부(630)에서 전달된 열에 의해 빠른 속도로 증발되어 노즐을 통하여 증발되고 증발된 원료물질은 기판(200)측으로 이동하여 기판(200)에 증착된다.

기판에 증착되어 박막을 형성하는 과정에 상기 도6에 도시된 바와 같이, 산소노즐(810)에 의해 산소가 공급되어 산소분압이 높은 측으로 증발되는 원료물질은 산소와의 산화반응을 일으키게 되며, 히터에서 전달된 열에 의해 증착이 완료되어 박막을 형성시키게 된다.

도6과 같이, 산소노즐(810)을 등간격으로 설치하여 증착시킴에 의해 산화방응과 증착이 주기적으로 진행되는 형태로 하여 기판상에 초전도 산화물층이 형성되어 초전도 선재가 완성된다.

따라서, 일정한 조성비를 갖는 액체상태 원료물질이 액체유도관(620)을 통하여 지속적으로 공급되고 동시에 산소를 공급시켜 박막을 형성시킴에 의해, 시간에 따른 조성비 변화가 없는 박막이 형성되고 즉각적인 열처리에 의해 안정된 산화물 초전도체층이 형성된 초전도 선재가 형성되는 것이다.

200 : 기판 410 : 풀림롤
420 : 감김롤 500 : 챔버
600 : 증발기 610 : 액체저장부
611 : 덮개 612 : 유출구
620 : 액체유도관 630 : 기화부
640 : 유도코일 650 : 유도코일
700 : 히터 800 : 산소공급부
810 : 산소노즐

Claims

챔버와;
상기 챔버 내부에 형성된 기판과;
상기 기판 후면에 형성되어 외부 전원에 연결되어 발열되고, 기판에 열을 전달시키는 히터와;
상기 기판에 대응되게 형성되어, 기판에 증착되는 두 가지 이상의 원료물질이 액체상태로 혼합수용되고, 혼합된 원료물질이 이동되어 기화부에서 혼합 원료물질이 증발되는 증발기; 그리고,
상기 기판과 증발기 사이에 형성되고, 등간격으로 산소노즐이 형성되어 상기 기판측으로 산소를 공급시키는 산소공급부;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조장치.
제1항에 있어서, 상기 기판은 일측은 풀림롤에 감기고 타측은 감김롤에 감겨져 풀림롤에서 풀려진 기판이 감김롤에 감겨짐을 특징으로 하는 초전도 선재 제조장치.
제 1항에 있어서, 상기 증발기는,
원료물질이 혼합되고, 외부의 열원에 의해 가열되어 액체상태의 원료물질이 저장되는 액체저장부와;
상기 액체저장부와 연결되어 상기 액체저장부에 저장된 원료물질이 유동되는 액체 유도관과;
상기 액체 유도관과 연결되고, 상기 액체저장부에서 유동된 원료물질을 외부 열원에 의해 상기 액체저장부의 온도보다 상대적으로 높은 온도로 가열시켜 증발시키는 기화부;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조장치.
제3항에 있어서, 상기 액체 저장부를 가열시키는 외부 열원은 유도코일임을 특징으로 하는 초전도 선재 제조장치.
제3항에 있어서, 상기 기화부를 가열시키는 외부 열원은 유도코일임을 특징으로 하는 초전도 선재 제조장치.
제3항에 있어서, 상기 액체저장부에는 기체상태의 원료물질이 포함됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조장치.
제3항에 있어서, 상기 기화부에는 상기 액체저장부의 액체상태 원료물질과 동일한 높이의 액체상태 원료물질이 충전됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조장치.
제3항에 있어서, 상기 기화부는 관형상으로 형성됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조장치.
챔버내에서 두 가지 이상의 원료물질을 증발기에 액체상태로 혼합수용시키고 혼합된 원료물질을 이송시켜 기화부에서 혼합 원료물질을 증발시켜 기판에 박막을 증착시키고,
상기 기판에 인접한 산소공급부에 형성된 산소노즐을 이용하여 기판 측으로 산소를 공급시키고,
히터를 이용하여 외부에서 열을 공급시킴에 의해 기판을 열처리하고 동시에 공급되는 산소에 의해 기판에 형성되는 박막이 산화반응됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조방법.
제9항에 있어서, 상기 기판은 일측은 풀림롤에 감기고 타측은 감김롤에 감겨져 풀림롤에서 풀려진 기판이 감김롤에 감겨짐을 특징으로 하는 초전도 선재 제조방법.
제 9항에 있어서, 상기 증발기는,
원료물질이 혼합되고, 외부의 열원에 의해 가열되어 액체상태의 원료물질이 저장되는 액체저장부와;
상기 액체저장부와 연결되어 상기 액체저장부에 저장된 원료물질이 유동되는 액체 유도관과;
상기 액체 유도관과 연결되고, 상기 액체저장부에서 유동된 원료물질을 외부 열원에 의해 상기 액체저장부의 온도보다 상대적으로 높은 온도로 가열시켜 증발시키는 기화부;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조방법.
제11항에 있어서, 상기 액체 저장부를 가열시키는 외부 열원은 유도코일임을 특징으로 하는 초전도 선재 제조방법.
제11항에 있어서, 상기 기화부를 가열시키는 외부 열원은 유도코일임을 특징으로 하는 초전도 선재 제조방법.
제11항에 있어서, 상기 액체저장부에는 기체상태의 원료물질이 포함됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조방법.
제11항에 있어서, 상기 기화부에는 상기 액체저장부의 액체상태 원료물질과 동일한 높이의 액체상태 원료물질이 충전됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조방법.
제11항에 있어서, 상기 기화부는 관형상으로 형성됨을 특징으로 하는 초전도 선재 제조방법.