KR101216173B1 - 전기영동 디스플레이 장치 - Google Patents

전기영동 디스플레이 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101216173B1
KR101216173B1 KR1020050106987A KR20050106987A KR101216173B1 KR 101216173 B1 KR101216173 B1 KR 101216173B1 KR 1020050106987 A KR1020050106987 A KR 1020050106987A KR 20050106987 A KR20050106987 A KR 20050106987A KR 101216173 B1 KR101216173 B1 KR 101216173B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
gate
drain electrode
gate electrode
insulating layer
Prior art date
Application number
KR1020050106987A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070049808A (ko
Inventor
김성환
서현식
남대현
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020050106987A priority Critical patent/KR101216173B1/ko
Publication of KR20070049808A publication Critical patent/KR20070049808A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101216173B1 publication Critical patent/KR101216173B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/165—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on translational movement of particles in a fluid under the influence of an applied field
    • G02F1/166—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on translational movement of particles in a fluid under the influence of an applied field characterised by the electro-optical or magneto-optical effect
    • G02F1/167—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on translational movement of particles in a fluid under the influence of an applied field characterised by the electro-optical or magneto-optical effect by electrophoresis
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/165—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on translational movement of particles in a fluid under the influence of an applied field
    • G02F1/1675—Constructional details
    • G02F1/1676—Electrodes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
    • G02F2201/123—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode pixel

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 전기영동 디스플레이 장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 전기영동법에 의해 구동되는 하전입자가 포함된 캡슐을 구비하는 상부어레이부; 및 상기 상부 어레이부와 점착제에 의해 합착되며 게이트 절연막을 사이에 두고 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 상기 데이터 라인의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터, 및 상기 박막 트랜지스터에 연결된 화소 전극을 포함하는 하부 어레이부를 구비한다. 상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트 라인에 직접 연결되도록 하부 플레이트 상에 형성되고 상기 게이트 절연막에 의해 덮여진 보텀 게이트 전극; 상기 보텀 게이트 전극과 중첩되며 상기 게이트 절연막 상에 형성된 반도체 패턴; 상기 반도체 패턴 상에 형성된 소스전극 및 드레인 전극; 상기 소스전극 및 드레인 전극을 덮는 보호막; 및 상기 보호막과 상기 게이트 절연막을 관통하는 제1 접촉홀을 통해 상기 보텀 게이트 전극과 접촉되는 탑 게이트 전극을 포함한다.

Description

전기영동 디스플레이 장치{Electrophoretic Display Device}
도 1은 종래의 전기영동 디스플레이 장치를 나타내는 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전기영동 디스플레이 장치를 나타내는 평면도.
도 3에 도 2에 도시된 전기영동 디스플레이 장치의 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'선을 절취하여 도시한 단면도.
도 4는 본 발명에서의 더블 게이트 박막 트랜지스터의 구동특성을 모식화한 도면.
도 5a 내지 도 5e는 도 3에 도시된 전기영동 디스플레이 장치의 제조방법을 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
102 : 게이트 라인 104 : 데이터 라인
6,106 : 박막 트랜지스터 108 : 보텀 게이트 전극
134 : 탑 게이트 전극 185 : 캡슐
80,180 : 상부 어레이부 50,150 : 하부 어레이부
10,110 : 소스 전극 12,112 : 드레인 전극
14,114 : 활성층 48,148 : 오믹 접촉층
45,145 : 반도체 패턴 128 : 제1 접촉홀
117 : 제2 접촉홀
본 발명은 전기영동 디스플레이 장치에 관한 것으로, 특히 플렉시블(flexible)한 특성을 가지는 전기영동 디스플레이 장치에 관한 것이다.
통상의 전기영동 디스플레이 장치(Electrophoretic Display Device : EPD)는 유연성(flexible)과 휴대성이 뛰어나며, 경량 등의 특성을 지닌 전기영동(Electrophoresis : 전기장내에서 하전된 입자가 양극 또는 음극쪽으로 이동하는 현상)을 이용한 평판 디스플레이의 일종이다.
이러한, 전기영동 디스플레이 장치는 종이나 플라스틱과 같은 얇고 구부리기 쉬운 베이스 필름에 박막 트랜지스터 어레이 기판을 형성하고 투명전극에 전기영동 부유입자를 구동하는 디스플레이로써 차세대 전자종이로서도 기대되는 표시장치이다.
도 1은 종래의 전기영동 디스플레이 장치를 도시한 단면도이다.
도 1에 도시된 전기영동 디스플레이 장치는 하부 어레이부(50)와 상부 어레이부(80)로 구분된다.
상부 어레이부(80)는 상부 플레이트(82) 상에 형성된 상부전극(84), 상부전극(84) 상에 위치하는 하전 염료 입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(85)들을 구비한다.
상부 플레이트(82)는 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름, 또는 유연성을 가지는 금속 등이 이용될 수 있다. 캡슐(85) 내에는 정극성 전압에 반응하는 블랙 염료 입자(85a)와, 부극성 전압에 반응하는 화이트 염료 입자(85b)와, 솔벤트(85c)가 포함된다.
하부 어레이부(50)는 하부 플레이트(42) 위에 게이트 절연막(44)을 사이에 두고 교차하게 형성된 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(미도시)과, 그 교차부마다 형성된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor ; 이하 "TFT"라 함)(6)와, 그 교차구조로 마련된 셀영역에 형성된 화소 전극(18)을 구비한다.
하부 플레이트(42)는 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름, 또는 유연성을 가지는 금속 등이 이용될 수 있다.
TFT(6)는 게이트 전압이 공급되는 게이트 전극(8)과, 데이터 라인에 접속된 소스 전극(10)과, 화소 전극(18)에 접속된 드레인 전극(12)과, 게이트 전극(8)과 중첩되고 소스 전극(10)과 드레인 전극(12) 사이에 채널을 형성하는 활성층(14)을 구비한다. 활성층(14)은 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)과 중첩되게 형성되고 소스 전극(10)과 드레인 전극(12) 사이의 채널부를 더 포함한다. 활성층(14) 위에는 소스 전극(10) 및 드레인 전극(12)과 오믹접촉을 위한 오믹접촉층(48)이 더 형성된다. 여기서, 통상적으로 활성층(14) 및 오믹접촉층(48)을 반도체 패턴(45)이라 명명한다.
화소전극(18)은 TFT(6)를 보호하는 보호막(50)을 관통하여 드레인 전극(12)을 노출시키는 접촉홀(17)을 통해 드레인 전극(12)과 접촉된다.
이러한 구성을 가지는 상부 어레이부(80)와 하부 어레이부(50)는 점착제(adhesive)(86)에 의해 합착됨으로써 전기영동 디스플레이 장치가 형성된다.
이러한 전기 영동 디스플레이 장치는 하부 어레이부(50)의 게이트 전극(8)에 공급되는 게이트 전압에 응답하여 데이터 라인에 공급되는 화소전압 신호가 TFT(6)의 채널을 경유하여 화소 전극(18)에 충전되고 상부 어레이부(80)의 상부전극(84)에 기준전압이 공급되면, 전기장에 의한 전기영동 현상에 의해 캡슐(85) 내에서의 화이트 염료 입자(85b)와 블랙 염료 입자(85a)가 양분되면서 흑색, 백색 또는 소정의 그레이를 구현할 수 있게 된다.
그러나, 이러한 전기영동 디스플레이 장치를 구동하기 위해서는 TFT(6)를 구동하기 위한 게이트 전압은 ±25V 정도의 큰 전압이 요구된다. 이에 따라, 전기영동 디스플레이 장치를 구동하기 위한 소비전력이 큰 문제가 있다.
본 발명의 목적은 저전압 구동에 의해 소비전력을 절감할 수 있는 전기영동 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 전기영동 디스플레이 장치는 전기영동법에 의해 구동되는 하전입자가 포함된 캡슐을 구비하는 상부어레이부; 및 상기 상부 어레이부와 점착제에 의해 합착되며 게이트 절연막을 사이에 두고 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 상기 데이터 라인의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터, 및 상기 박막 트랜지스터에 연결된 화소 전극을 포함하는 하부 어레이부를 구비한다.
상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트 라인에 직접 연결되도록 하부 플레이트 상에 형성되고 상기 게이트 절연막에 의해 덮여진 보텀 게이트 전극; 상기 보텀 게이트 전극과 중첩되며 상기 게이트 절연막 상에 형성된 반도체 패턴; 상기 반도체 패턴 상에 형성된 소스전극 및 드레인 전극; 상기 소스전극 및 드레인 전극을 덮는 보호막; 및 상기 보호막과 상기 게이트 절연막을 관통하는 제1 접촉홀을 통해 상기 보텀 게이트 전극과 접촉되는 탑 게이트 전극을 포함한다.
상기 화소전극은 상기 보호막을 관통하여 상기 드레인 전극을 노출시키는 제2 접촉홀을 통해 상기 드레인 전극과 접촉된다.
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도 2 내지 도 5e를 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이 장치를 나타내는 평면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'선을 절취하여 나타내는 단면도이다. 한편, 도 2에서는 표현의 편의상 전기영동 디스플레이 장치에서 하부 어레이 기판만을 도시하였다.
도 2 및 도 3에 도시된 전기영동 디스플레이 장치는 하부 어레이부(150)와 상부 어레이부(180)로 구분된다.
상부 어레이부(180)는 상부 플레이트(182) 상에 형성된 상부전극(184), 상부전극(184) 상에 위치하는 하전 염료 입자(charge pigment particle)를 포함하는 캡슐(185)들을 구비한다.
상부 플레이트(182)는 유연성을 가지는 플라스틱이나 쉽게 구부러지는 필름이 이용될 수 있다. 캡슐(185) 내에는 정극성 전압에 반응하는 블랙 염료 입자(185a)와, 부극성 전압에 반응하는 화이트 염료 입자(185b)와, 솔벤트(185c)가 포 함된다.
하부 어레이부(150)는 하부 플레이트(142) 위에 게이트 절연막(144)을 사이에 두고 교차하게 형성된 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(미도시)과, 그 교차부마다 형성된 더블 게이트 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor ; 이하 "TFT"라 함)(106)와, 그 교차구조로 마련된 셀영역에 형성된 화소 전극(118)을 구비한다.
하부 플레이트(142)는 유연성을 가지는 플라스틱, 쉽게 구부러지는 베이스 필름, 또는 유연성을 가지는 금속 등이 이용될 수 있다.
더블 게이트 TFT(106)는 소스 및 드레인 전극(110,112), 반도체 패턴(145)을 사이에 두고 상부 및 하부에 각각 게이트 전극이 형성됨으로써 종래 비하여 상대적으로 낮은 게이트 전압을 이용하여 TFT를 구동할 수 있게 된다.
이하, 본 발명에서의 더블 게이트 TFT(106)에 관하여 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
더블 게이트 TFT(106)는 게이트 라인(102)에 직접 연결된 보텀(bottom) 게이트 전극(108)과, 데이터 라인(104)에 접속된 소스 전극(110)과, 화소 전극(118)에 접속된 드레인 전극(112)과, 게이트 전극(108)과 중첩되고 소스 전극(110)과 드레인 전극(112) 사이에 채널을 형성하는 활성층(114)을 구비한다. 활성층(114)은 데이터 라인(104), 소스 전극(110) 및 드레인 전극(112)과 중첩되게 형성되고 소스 전극(110)과 드레인 전극(112) 사이의 채널부를 더 포함한다. 활성층(114) 위에는 데이터 라인(104), 소스 전극(110) 및 드레인 전극(112)과 오믹접촉을 위한 오믹접촉층(148)이 더 형성된다. 여기서, 통상적으로 활성층(114) 및 오믹접촉층(148)을 반도체 패턴(145)이라 명명한다. 여기서, 반도체 패턴(145)과 소스 전극(110) 등이 동시에 하나의 마스크 공정에 의해 동시에 형성되는 경우 반도체 패턴(45)은 소스 전극(110), 드레인 전극(112)등의 소스/드레인 패턴들 모두와 중첩되게 형성된다.
소스 전극(110)과 드레인 전극(112) 상에는 보호막(150)이 구비되며, 보호막(150) 위에는 보텀(bottom) 게이트 전극(108)과 중첩되는 탑(top) 게이트 전극(134)이 형성된다. 여기서, 탑 게이트 전극(134)은 보호막(150) 및 게이트 절연막(144)을 관통하는 제1 접촉홀(128)을 통해 보텀 게이트 전극(108)과 접촉된다.
이와 같은 구성을 가지는 더블 게이트 TFT(106)는 도 4에 도시된 바와 같이 반도체 패턴(145) 내에서 보텀 게이트 전극(108)과 인접한 영역에 제1 채널(A)이 형성됨과 동시에 탑 게이트 전극(134)과 인접한 영역에 제2 채널(B)이 형성되게 된다. 이에 따라, 종래 대비 작은 게이트 전압을 공급하더라도 2중의 채널이 형성될 수 있게 됨으로써 게이트 전압에 응답하는 화소전압이 화소전극(118)에 충전될 수 있게 된다. 그 결과, 종래 대비 작은 크기의 게이트 전압을 이용하여 전기영동 디스플레이 장치를 구동할 수 있게 됨으로써 전체 소비전력이 절감될 수 있게 된다.
화소전극(118)은 TFT(106)를 보호하는 보호막(150)을 관통하여 드레인 전극(112)을 노출시키는 제2 접촉홀(117)을 통해 드레인 전극(112)과 접촉된다.
점착제(adhesive)(186)는 상부 어레이부(180)와 하부 어레이부(150)를 합착시키는 역할을 한다.
이하, 도 5a 내지 도 5e를 참조하여 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이 장치의 제조방법에 대하여 구체적으로 살펴 본다.
먼저, 하부 플레이트(142) 상에 스퍼터링 방법 등의 증착방법을 통해 게이트 금속층이 형성된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정으로 게이트 금속층이 패터닝됨으로써 도 5a에 도시된 바와 같이, 게이트 라인(102), 보텀 게이트전극(108) 등의 게이트 패턴이 형성된다.
게이트 패턴들이 형성된 하부 플레이트(142) 상에 PECVD, 스퍼터링 등의 증착방법을 통해 게이트 절연막(144)이 형성된다. 게이트 절연막(144)이 형성된 하부 플레이트(142) 상에 비정질 실리콘층, n+ 비정질 실리콘층이 순차적으로 형성된다.
이후, 마스크 포토리쏘그래피 공정과 식각공정으로 비정질 실리콘층, n+ 비정질 실리콘층이 패터닝됨으로써 도 5b에 도시된 바와 같이 반도체 패턴(145)이 형성된다. 여기서, 반도체 패턴(145)은 활성층(114) 및 오믹접촉층(148)의 이중층으로 이루어진다.
반도체 패턴(145)이 형성된 하부기판(142) 상에 소스/드레인 금속층이 순차적으로 형성된 후 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정 등을 이용하여 도 5c에 도시된 바와 같이 데이터 라인(104), 소스전극(110), 드레인 전극(112)을 포함하는 소스/드레인 패턴들이 형성된다.
여기서, 반도체 패턴(145)과 소스/드레인 패턴은 하나의 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정을 이용하여 형성될 수 있다.
이후, 소스/드레인 패턴들이 형성된 게이트 절연막(144) 상에 PECVD 등의 증착방법으로 보호막(150)이 전면 형성된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정으로 패터닝됨으로써 도 5d에 도시된 바와 같이 게이트 절연막(144) 및 보호막(150)을 관 통하여 보텀 게이트 전극(108)을 노출시키는 제1 접촉홀(128) 및 드레인 전극(112)을 노출시키는 제2 접촉홀(117)을이 형성된다.
보호막(150) 상에 스퍼터링 등의 증착방법으로 투명전극 물질이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피 공정과 식각공정을 통해 투명전극 물질이 패터닝됨으로써 도 5e에 도시된 바와 같이 투명전극으로 이루어진 화소전극(118)과 탑 게이트 전극(134)이 보호막(150) 상의 동일층에 동시에 형성된다.
화소전극(118)은 제2 접촉홀(117)을 통해 드레인 전극(112)과 전기적으로 접속되고, 탑 게이트 전극(134)은 제1 접촉홀(128)을 통해 보텀 게이트 전극(108)과 접촉된다. 이에 따라, 하부어레이부(150)가 형성된다. 한편, 탑 게이트 전극(134)은 별도의 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정에 의해 보텀 게이트 전극(108)와 동일 금속으로 형성될 수 있다.
이후, 하부 어레이부(150)와 별도로 형성된 상부 어레이부(180)가 점착제(186)에 의해 합착됨으로서 도 3에 도시된 바와 같이 전기영동 디스플레이 장치가 형성된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 디스플레이 장치 및 그 제조방법은 더블 게이트 구조를 도입함으로써 하나의 박막 트랜지스터 내에 2개의 채널을 형성시킬 수 있게 된다. 이에 따라, 종대 대비 상대적으로 작은 게이트 구동전압으로 박막 트랜지스터를 구동시킬 수 있게 된다. 그 결과, 전체 소비전력이 절감된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (9)

  1. 전기영동법에 의해 구동되는 하전입자가 포함된 캡슐을 구비하는 상부어레이부; 및
    상기 상부 어레이부와 점착제에 의해 합착되며 게이트 절연막을 사이에 두고 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 상기 데이터 라인의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터, 및 상기 박막 트랜지스터에 연결된 화소 전극을 포함하는 하부 어레이부를 구비하고,
    상기 박막 트랜지스터는,
    상기 게이트 라인에 직접 연결되도록 하부 플레이트 상에 형성되고 상기 게이트 절연막에 의해 덮여진 보텀 게이트 전극;
    상기 보텀 게이트 전극과 중첩되며 상기 게이트 절연막 상에 형성된 반도체 패턴;
    상기 반도체 패턴 상에 형성된 소스전극 및 드레인 전극;
    상기 소스전극 및 드레인 전극을 덮는 보호막; 및
    상기 보호막과 상기 게이트 절연막을 관통하는 제1 접촉홀을 통해 상기 보텀 게이트 전극과 접촉되는 탑 게이트 전극을 포함하고,
    상기 화소전극은,
    상기 보호막을 관통하여 상기 드레인 전극을 노출시키는 제2 접촉홀을 통해 상기 드레인 전극과 접촉되는 것을 특징으로 하는 전기영동 디스플레이 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반도체 패턴에는
    상기 보텀 게이트 전극, 소스전극 및 드레인 전극에 의해 마련되는 제1 채널과;
    상기 탑 게이트 전극, 제1 소스전극 및 제1 드레인 전극에 의해 마련되는 제2 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 디스플레이 장치.
  3. 삭제
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 화소전극 및 탑 게이트 전극은 동일물질로 동시에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 디스플레이 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 보텀 게이트 전극 및 탑 게이트 전극은 동일물질인 것을 특징으로 하는 전기영동 디스플레이 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
KR1020050106987A 2005-11-09 2005-11-09 전기영동 디스플레이 장치 KR101216173B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050106987A KR101216173B1 (ko) 2005-11-09 2005-11-09 전기영동 디스플레이 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050106987A KR101216173B1 (ko) 2005-11-09 2005-11-09 전기영동 디스플레이 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070049808A KR20070049808A (ko) 2007-05-14
KR101216173B1 true KR101216173B1 (ko) 2012-12-28

Family

ID=38273635

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050106987A KR101216173B1 (ko) 2005-11-09 2005-11-09 전기영동 디스플레이 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101216173B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101685233B (zh) * 2008-09-23 2012-06-27 乐金显示有限公司 电泳显示设备及其制造方法
US8330712B2 (en) * 2008-12-22 2012-12-11 Lg Display Co., Ltd. Electrophoretic display device including buffer pattern in non-display region

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10173192A (ja) * 1996-12-09 1998-06-26 Sharp Corp 薄膜トランジスタおよびその製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10173192A (ja) * 1996-12-09 1998-06-26 Sharp Corp 薄膜トランジスタおよびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070049808A (ko) 2007-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101281868B1 (ko) 전기영동표시소자 및 그의 제조방법
KR100939221B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조 방법
KR101294731B1 (ko) 어레이 기판, 이를 갖는 표시패널 및 이의 제조방법
KR101766878B1 (ko) 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법
US7671956B2 (en) Liquid crystal display panel and fabricating method thereof
KR101256023B1 (ko) 전기 영동 표시 장치 및 그 제조 방법
US7706052B2 (en) Display device and method of manufacturing the same
KR20080061039A (ko) 전자영동 표시장치 및 이의 제조방법
CN100593870C (zh) 有机薄膜晶体管及其制造方法和显示器件
US20180157142A1 (en) Electrophoresis apparatus and electronic equipment
CN101859048B (zh) 电泳显示器及其像素结构
KR101216173B1 (ko) 전기영동 디스플레이 장치
US20230324760A1 (en) Display device
US7898727B2 (en) Electrophoretic display device
KR20180024687A (ko) 표시패널 및 이를 이용한 표시장치
KR101712544B1 (ko) 전기 영동 표시 장치
TWI603140B (zh) 電泳式顯示面板
US20230375892A1 (en) Electronic paper, method for manufacturing the same, and display device thereof
KR101272489B1 (ko) 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 구비하는 전기영동표시장치
KR101148500B1 (ko) 전기영동 표시장치 및 그 제조방법
KR20070000913A (ko) 전기영동 표시장치 및 그 제조방법
JP2020016815A (ja) 電気泳動装置、電子機器及び電気泳動装置の製造方法
CN221304692U (zh) 薄膜晶体管阵列基板、显示面板和液晶显示装置
KR20110070619A (ko) 표시장치의 제조방법
CN111796467A (zh) 显示面板、显示装置及显示面板的制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161118

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee