KR101215373B1 - 엘시디 패널의 자동 비젼검사 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 엘시디 패널의 점등 불량과 미세 크랙 및 기타 외관불량을 자동으로 검사하여 제품의 양불을 판별 후 분리 수납할 수 있는 비젼검사 장치에 관한 것이다.
본 발명의 상기 비젼검사기는 카셋트 또는 트레이에서 트레이로 LCD 패널을 이동하는 공정사이에 비젼 기술을 이용한 엘시디 패널 점등검사존 및 외관검사존을 설치하여, 상기 카셋트 또는 트레이에서 트레이로 엘시디 패널이 이동 시 자동검사를 실시하고, 무결점 제품만 자동으로 트레에 이동시키고, 불량 엘시디 패널을 걸러낸 후 분리하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 따른 방법으로 엘시디 패널의 점등 및 외관검사를 실시하는 비젼검사 장치를 제작하면, 사람의 손에 의한 수동공정으로 인한 작업 공수의 증가와 품질저하의 원인을 제거하고, 완제품 이후에 발생했던 엘시디 패널의 파손불량을 방지함으로써 엘시디 패널의 품질 향상과 생산성 향상에 기여하여, 대량생산에 걸맞는 검사를 수행할 수 있다.
본 발명의 상기 비젼검사기는 카셋트 또는 트레이에서 트레이로 LCD 패널을 이동하는 공정사이에 비젼 기술을 이용한 엘시디 패널 점등검사존 및 외관검사존을 설치하여, 상기 카셋트 또는 트레이에서 트레이로 엘시디 패널이 이동 시 자동검사를 실시하고, 무결점 제품만 자동으로 트레에 이동시키고, 불량 엘시디 패널을 걸러낸 후 분리하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 따른 방법으로 엘시디 패널의 점등 및 외관검사를 실시하는 비젼검사 장치를 제작하면, 사람의 손에 의한 수동공정으로 인한 작업 공수의 증가와 품질저하의 원인을 제거하고, 완제품 이후에 발생했던 엘시디 패널의 파손불량을 방지함으로써 엘시디 패널의 품질 향상과 생산성 향상에 기여하여, 대량생산에 걸맞는 검사를 수행할 수 있다.
Description
본 발명은 엘시디 패널의 점등 및 외관을 검사하는 비젼검사 장치에 관한 것으로, 자동으로 엘시디 패널의 점등 및 외관을 검사하고 양불을 판정하여, 분리 수납할 수 있는 비젼검사 장치에 관 한것이다.
최근 화상 영상폰, 디지털카메라, MP3, PMP, 네비게이션 등의 가전 제품의 수요 증가에 따라 이에 장착되는 엘시디 패널의 생산력 향상과 원가 절감을 위한 검사가 요구되고 있다.
엘시디 패널은 최종 모듈 작업 전 엘시디 패널이 정상적으로 제작되었는지 점등 및 외관 검사를 하게 되는데, 이 공정은 사람이 육안으로 검사하여 엘시디 패널의 양/불을 판정하였다.
사람이 육안으로 검사하여 양/불을 판정하였기 때문에 불량 LCD 패널의 유출이 발생하는 경우가 생기게 되는데, 이러한 현상은 완제품의 제작된 후 제품의 불량으로 이어지고, 완제품 후의 불량은 일반 엘시디 패널 상태에서 완제품까지의 제조공정상의 비용뿐만 아니라 불필요한 부품 및 인력의 소모를 초래하게 된다.
현재 대량생산에 따른 전 제품의 육안 검사가 현실적으로 어려운 상황에서 생산품의 품질을 유지하고, 안정된 제품의 공급을 위해서는 생산공정상에서 자동 검사 시스템 도입을 통하여 고품질 고생산성의 제품을 생산하지 않으면 안된다.
본 발명의 목적은, 사람에 의한 수동 공정으로 인한 작업 공수의 증가와 품질저하의 원인을 해결하고자 한다.
상기 서술한 문제점을 해결하기 위해 트레이 또는 카셋트에서 트레이로 제품을 이동하는 공정 사이에 비젼기술을 이용한 엘시디 패널의 점등 및 외관검사존을 설치하여, 엘시디 패널 이동 시 점등 및 외관자동검사를 실시하고, 무결점 제품만 자동으로 트레이에 이동시키고, 불량품을 걸러낸 후 분리한다.
위에 상술한 바와 같이 엘시디 패널의 점등 및 외관을 자동으로 검사하게 하여 양/불을 판정하여 걸러내게 되면, 작업공수의 단축과 완제품 이후에 발생했던 엘시디 패널의 불량을 방지함으로써, 품질 향상과 생산성 향상에 기여하여, 대량생산에 걸맞는 검사를 수행할 수 있다.
도 1은 패널 공급부가 트레이로 구성되어 있는 비젼검사 장치의 평면도.
도 2는 패널 공급부가 카세트로 구성되어 있는 비젼검사 장치의 평면도.
도 3은 폴필름이 부착된 글라스를 미세 각도로 조절할 수 있는 구성의 사시도.
도 4는 패널 점등검사 전 먼지에 의한 과검율을 낮출 수 있는 상부사이드조명과 에어나이프를 적용한 구성의 사시도.
도 5는 듀얼스테이지로 구성된 워크테이블의 사시도와 단면도.
도 6은 패널 하부 먼지를 제거하는 구성을 도시한 사시도.
도 7은 하부외관 검사를 위한 카메라 및 조명을 도시한 하부외관검사존의 사시도.
도 8은 먼지 유입을 방지하기 위한 셔터 구성을 나타낸 사시도.
도 9는 각종 검사존에 대한 배기 구성을 나타낸 사시도.
도 10은 패널 공급부가 트레이로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도.
도 11은 공급부가 카세트로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도.
도 12는 패널 공급부가 트레이로 구성되고, 패널 배출부가 컨베어로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도.
도 13은 패널 공급부가 카세트로 구성되고, 패널 배출부가 컨베어로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도.
도 14는 점등검사를 위한 패널에 유니트를 접촉하여 점등시키는 구성을 나타낸 사시도.
도 2는 패널 공급부가 카세트로 구성되어 있는 비젼검사 장치의 평면도.
도 3은 폴필름이 부착된 글라스를 미세 각도로 조절할 수 있는 구성의 사시도.
도 4는 패널 점등검사 전 먼지에 의한 과검율을 낮출 수 있는 상부사이드조명과 에어나이프를 적용한 구성의 사시도.
도 5는 듀얼스테이지로 구성된 워크테이블의 사시도와 단면도.
도 6은 패널 하부 먼지를 제거하는 구성을 도시한 사시도.
도 7은 하부외관 검사를 위한 카메라 및 조명을 도시한 하부외관검사존의 사시도.
도 8은 먼지 유입을 방지하기 위한 셔터 구성을 나타낸 사시도.
도 9는 각종 검사존에 대한 배기 구성을 나타낸 사시도.
도 10은 패널 공급부가 트레이로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도.
도 11은 공급부가 카세트로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도.
도 12는 패널 공급부가 트레이로 구성되고, 패널 배출부가 컨베어로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도.
도 13은 패널 공급부가 카세트로 구성되고, 패널 배출부가 컨베어로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도.
도 14는 점등검사를 위한 패널에 유니트를 접촉하여 점등시키는 구성을 나타낸 사시도.
본 발명에 따른 비젼검사 장치는 크게 패널 공급부, 점등검사부와 외관검사부, 불량패널 배출부와 양품패널 배출부로 구성되어 있다.
상기 패널 공급부는 트레이 또는 카셋트로 구성되고, 제1트렌스퍼에 의해 패널이 패널 공급부에서 점등검사부로 이송된다.
상기 점등검사부는 패널 로딩존과 제1 언로딩존으로 구성되고, 로딩존에서 듀얼 스테이지로 구성된 제1점등검사존와 제2점등검사존으로 패널이 이송된다. 점등검사가 끝난 패널은 제1 언로딩존으로 이송되어 제2트렌스퍼에 의해 듀얼 스테이지로 구성된 외관검사부로 이송된다.
상기 외관검사부 또한 로딩존과 제2 언로딩존으로 구성되고, 로딩존에서 패널의 하부외관검사를 실시하고, 하부 외관검사가 끝난 패널은 듀얼 스테이지에 의해 상부외관검사존으로 이송되어 상부외관검사를 실시한 후 제2 언로딩존으로 패널이 이송된다.
상기 외관검사부의 제2 언로딩존에 있는 점등 및 외관검사가 끝난 패널은 양/불 판정에 따라 양품 패널은 양품 패널 배출부로 제3트렌스퍼에 의해 패널이 이송되고, 불량 패널은 불량 컨베어로 제3트렌스퍼에 의해 패널이 이송된다.
이하, 도면을 참조하며 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 비젼검사 장치의 패널 공급부(100)가 트레이(110)로 구성되어 있는 비젼검사장치의 평면도이다. 도 1에 도시되어 있듯이, 트레이(110)에 담겨져 있는 패널은 제1트렌스퍼(10)에 의해 점등검사부(200)의 제1듀얼스테이지(211)가 대기하고 있는 로딩존(210)으로 동시에 패널 2개가 이송된다. 패널을 공급받은 제1듀얼스테이지(211)는 제1점등검사존(220)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하고, 그동안 제2듀얼스테이지(212)가 로딩존(210)에 대기하고, 제1트렌스퍼(10)는 다시 트레이(110)에서 패널을 픽업하여 로딩존(210)에 대기하고 있는 제2듀얼스테이지(212)로 패널을 공급한다. 패널을 공급받은 제2듀얼스테이지(212)는 제2점등검사존(230)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하는 동안 점등점사가 끝난 제1듀얼스테이지(211)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계하고, 다시 로딩존(210)으로 이동하여 패널을 제1트렌스퍼(10)에 의해 공급받을 준비를 하는 동안 점등검사가 끝난 제2듀얼스테이지(212)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계한다. 제2트렌스퍼(20)에 의해 외관검사부(300)의 로딩존/하부외관검사존(310)으로 이송된 패널은 제2트렌스퍼(20)에 부착된 상태로 로딩존/하부외관검사존(310)에서 패널의 하부외관검사를 한다. 로딩존/하부외관검사존(310)에 하부외관검사가 끝나면 제3듀얼스테이지(213)가 로딩존/하부외관검사존(310)으로 이동하여 하부외관검사가 끝난 패널을 제2트렌스퍼(20)에 의해 공급받는다. 제2트렌스퍼(20)에 의해 패널을 공급받는 제3듀얼스테이지(213)는 상부외관검사존(320)으로 이동하여 상부외관검사를 실시하고, 상부외관검사가 끝나면 제3듀얼스테이지(213)는 제2 언로딩존(330)으로 이동하여 제3트렌스퍼(30)에 패널을 인계한다. 패널을 인계받은 제3트렌스퍼(30)는 패널의 양/불판정에 따라 양품패널은 양품패널 배출부(400)에 대기하고 있는 트레이(410)로 패널을 이송하고, 불량패널은 불량패널 배출부(500)의 컨베어(510)로 이송하여 컨베어(510)에 의해 패널은 배출된다.
도 2는 본 발명의 비젼검사 장치의 패널 공급부(600)가 카세트(610)로 구성되어 있는 비젼검사장치의 평면도이다. 도 2에 도시되어 있듯이, 카셋트(610)에 삽입되어 있는 패널을 로더(620)가 진공테이블(630)에 안착시킨다. 패널이 안착된 진공테이블(630)은 언로딩존(640)으로 이동하고, 패널은 제1트렌스퍼(10)에 의해 점등검사부(200)의 제1듀얼스테이지(211)가 대기하고 있는 로딩존(210)으로 동시에 패널 2개가 이송된다. 패널을 공급받은 제1듀얼스테이지(211)는 제1점등검사존(220)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하고, 그동안 제2듀얼스테이지(212)가 로딩존(210)에 대기하고, 제1트렌스퍼(10)는 다시 언로딩존(640)의 진공테이블(630)에서 패널을 픽업하여 로딩존(210)에 대기하고 있는 제2듀얼스테이지(212)로 패널을 공급한다. 패널을 공급받은 제2듀얼스테이지(212)는 제2점등검사존(230)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하는 동안 점등점사가 끝난 제1듀얼스테이지(211)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계하고, 다시 로딩존(210)으로 이동하여 패널을 제1트렌스퍼에(10)에 의해 공급받을 준비를 하는 동안 점등검사가 끝난 제2듀얼스테이지(212)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계한다. 제2트렌스퍼(20)에 의해 외관검사부(300)의 로딩존/하부외관검사존(310)으로 이송된 패널은 제2트렌스퍼(20)에 부착된 상태로 로딩존/하부외관검사존(310)에서 패널의 하부외관검사를 한다. 로딩존/하부외관검사존(310)에 하부외관검사가 끝나면 제3듀얼스테이지(213)가 로딩존/하부외관검사존(310)으로 이동하여 하부외관검사가 끝난 패널을 제2트렌스퍼(20)에 의해 공급받는다. 제2트렌스퍼(20)에 의해 패널을 공급받는 제3듀얼스테이지(213)는 상부외관검사존(320)으로 이동하여 상부외관검사를 실시하고, 상부외관검사가 끝나면 제3듀얼스테이지(213)는 제2 언로딩존(330)으로 이동하여 제3트렌스퍼(30)에 패널을 인계한다. 패널을 인계받은 제3트렌스퍼(30)는 패널의 양/불판정에 따라 양품패널은 양품패널 배출부(400)에 대기하고 있는 트레이(410)로 패널을 이송하고, 불량패널은 불량패널 배출부(500)의 컨베어(510)로 이송하여 컨베어(510)에 의해 패널은 배출된다.
도 3은 본 발명의 점등검사를 위한 폴필름이 부착된 글라스를 미세 각도로 조절할 수 있는 구성의 사시도이다. 폴 필름은 사람의 손에 의해 부착되는데 정확히 45도 또는 90도 각도로 붙이기가 힘들다. 따라서 폴필름이 부착된 글라스를 미세 각도로 조절하여 정확한 각도로 조절하는 시스템을 본 발명에 적용하였다. 도 3에 도시되어 있듯이, 폴 필름이 부착된 글라스(341)는 글라스 고정블라켓(342)에 의해 체결 고정되고, 글라스 고정블라켓(342)은 세타스테이지(343)와 체결 고정되고, 세타스테이지(343)에 의해 미세각도로 조절이 가능하다. 세타스테이지(343)는 세타스테이지 고정블라켓(344)에 의해 체결 고정되고, 세타스테이지 고정블라켓(344)은 샤프트(345)에 체결 고정되는 구성이다. 세타스테이지(343)에 의해 폴필름이 부착된 글라스(341)를 정확한 각도로 미세조절하여 점등검사의 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 패널 점등검사 전 먼지에 의한 과검율을 낮출 수 있는 상부사이드조명(348)과 에어나이프(347)를 적용한 구성의 사시도이다. 상기 시스템은 제1듀얼스테이지(211), 제2듀얼스테이지(212) 바로 위에 설치되며, 구성은 패널 상부 표면의 먼지를 제거하기 위한 에어나이프(347)가 블라켓(346)에 체결 고정되며, 상기 블라켓(346) 하부에 사이드조명(348)이 체결 고정되어 패널의 사이드에 조명을 가하여 먼지를 부각시켜 점등검사 전 먼지에 의한 데이타를 먼저 획득한 후 점등검사에 의해 나타나는 불량을 먼지 데이타와 비교하여 패널의 과검율을 낮출 수 있다.
도 5는 본 발명의 듀얼스테이지로 구성된 워크테이블의 사시도와 단면도이다. 도 5에 도시되어 있듯이 워크테이블(351)은 크게 패널을 위치결정 역할을 하는 실린더블럭(352)과 스토퍼(353)로 구성되고, 패널 하부에 조명을 조사하는 하부사이드조명(354)으로 구성되어 있다. 실린더블럭(352)에 공압으로 움직이는 실린더(355)가 삽입되고, 상기 실린더(355) 끝단에 클램프블럭(356)이 체결 고정되어 있다. 상기 클램프블럭(356) 상단에 패널을 밀어주는 클램프(357)가 부착되고, 상기 클램프블럭(356)이 소형 실린더(355)에 의해 앞뒤로 움직일 때 마찰을 줄이고, 직진성을 유지하여, 패널의 위치를 정확히 고정시키기 위해 상기 클램프블럭(356) 양 끝단에 베어링(358)을 삽입하였다.
워크테이블(351) 내부 측면에 하부사이드조명(354)을 삽입하여 점등검사 전 하부 먼지에 의한 데이타를 먼저 획득한 후 점등검사에 의해 나타나는 불량을 먼지 데이타와 비교하여 패널의 과검율을 낮출 수 있다.
도 6은 본 발명의 패널 하부 먼지를 제거하는 구성을 도시한 사시도이다. 패널의 하부 먼지를 제거하는 시스템은 패널 공급부(100)와 점등검사부(200) 사이에 위치하고 있다. 먼저 패널이 버큠파이프(364)와 제전블러쉬(365) 위로 지나가는데, 패널이 지나갈 때 제전블러시(365)에 의해 패널에 부착된 먼지가 제거되고, 제거된 먼지는 버큠파이프(364)에 의해 빨려들어간다. 블러쉬(365)를 고정하고 있는 고정블럭(366)과 버큠파이프(364)는 상하조절이 가능한 조절블럭(367)에 의해 체결 고정되고, 상기 조절블럭(367)은 고정플레이트(368)에 체결 고정된다. 2차로 먼지를 제거하기 위한 구성은, 에어나이프(363)가 상하조절가능한 조절블럭(362)에 체결 고정되고, 조절블럭(362)는 고정플레이트(361)에 체결 고정된다.
상기 에어나이프(363) 위로 패널이 지나가면서 에어나이프(363)에서 나오는 바람에 의한 2차로 먼지가 제거된다.
도 7은 본 발명의 하부외관 검사를 위한 카메라 및 조명을 도시한 하부외관검사존(310)의 사시도이다. 도 7에 도시되어 있듯이 패널 하부외관 검사를 하기 위해서는 카메라(371) 및 조명(375)은 위로 보고 있어야 한다. 따라서 중력에 의해 먼지가 카메라(371)의 렌즈(372)와 조명(375)에 쌓이는 것을 방지하기 위하여, 렌즈(372)에 바람을 조사할 수 있는 에어노즐(373)을 설치하였고, 또한 조명에 바람을 조사할 수 있는 에어나이프(376)를 베이스플레이트(374)에 삽입하여 설치하여, 먼지에 의한 과검율을 낮출 수 있다.
도 8은 본 발명의 먼지 유입을 방지하기 위한 셔터 구성을 나타낸 사시도 이다. 상기 시스템은 제2점등검사존(230)과 제1점등검사존(220), 상부외관검사존(310)에 각각 설치되어 있다. 상기 시스템의 구성은 셔터(381)와 상기 셔터(381)를 개폐시키는 실린더(382)로 구성되어 있고, 셔터가 닫힐 때 충격을 방지하기 위한 쇼바(383)가 셔터 양 끝단 하부에 부착되어 충격을 완화시키는 역할을 한다. 상기 셔터(381)는 실린더(382)에 의해 LM가이드(384)를 타고 상하 작용을 하여 패널의 점등 및 외관 검사 시 셔터(381)가 닫혀, 외부 먼지의 유입을 방지하여 과검율을 낮출 수 있다.
도 9는 본 발명의 각종 검사존에 대한 배기 구성을 나타낸 사시도 이다.
도 9에 도시되어 있듯이 제1점등검사존(220), 제2점등검사존(230), 상부외관검사존(320), 하부외관검사존(310) 상부에는 흡기팬(391)이 설치되어 있고, 하부에는 배기팬(392)이 설치되어 있어 검사존에 온습도를 유지하고, 내부 먼지등을 쉽게 배출할 수 있다.
도 10은 본 발명의 비젼검사 장치의 패널 공급부(100)가 트레이(110)로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도이다. 도 10에 도시되어 있듯이, 트레이(110)에 담겨져 있는 패널은 제1트렌스퍼(10)에 의해 점등검사부(200)의 제1듀얼스테이지(211)가 대기하고 있는 로딩존(210)으로 동시에 패널 2개가 이송된다. 패널을 공급받은 제1듀얼스테이지(211)는 제1점등검사존(220)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하고, 그 동안 제2듀얼스테이지(212)가 로딩존(210)에 대기하고, 제1트렌스퍼(10)은 다시 트레이(110)에서 패널을 픽업하여 로딩존(210)에 대기하고 있는 제2듀얼스테이지(212)로 패널을 공급한다. 패널을 공급받은 제2듀얼스테이지(212)는 제2점등검사존(230)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하는 동안 점등점사가 끝난 제1듀얼스테이지(211)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계하고, 다시 로딩존(210)으로 이동하여 패널을 제1트렌스퍼에(10)에 의해 공받을 준비를 하는 동안 점등검사가 끝난 제2듀얼스테이지(212)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계한다. 패널을 인계받은 제 2트랜스퍼(20)는 패널의 양/불판정에 따라 양품패널은 양품패널 배출부(400)에 대기하고 있는 트레이(410)로 패널을 이송하고, 불량패널은 불량패널 배출부(500)의 컨베어(510)로 이송하여 컨베어(510)에 의해 패널은 배출된다.
도 11은 본 발명의 비젼검사 장치의 패널 공급부(600)가 카세트(610)로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도이다. 도 11에 도시되어 있듯이, 카셋트(610)에 삽입되어 있는 패널을 로더(620)가 진공테이블(630)에 안착시킨다. 패널이 안착된 진공테이블(630)은 언로딩존(640)으로 이동하고, 패널은 제1트렌스퍼(10)에 의해 점등검사부(200)의 제1듀얼스테이지(211)가 대기하고 있는 로딩존(210)으로 동시에 패널 2개가 이송된다. 패널을 공급받은 제1듀얼스테이지(211)는 제1점등검사존(220)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하고, 그동안 제2듀얼스테이지(212)가 로딩존(210)에 대기하고, 제1트렌스퍼(10)은 다시 언로딩존(640)의 진공테이블(630)에서 패널을 픽업하여 로딩존(210)에 대기하고 있는 제2듀얼스테이지(212)로 패널을 공급한다. 패널을 공급받은 제2듀얼스테이지(212)는 제2점등검사존(230)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하는 동안 점등점사가 끝난 제1듀얼스테이지(211)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계하고, 다시 로딩존(210)으로 이동하여 패널을 제1트렌스퍼에(10)에 의해 공급받을 준비를 하는 동안 점등검사가 끝난 제2듀얼스테이지(212)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계한다. 패널을 인계받은 제 2트랜스퍼(20)는 패널의 양/불판정에 따라 양품패널은 양품패널 배출부(400)에 대기하고 있는 트레이(410)로 패널을 이송하고, 불량패널은 불량패널 배출부(500)의 컨베어(510)로 이송하여 컨베어(510)에 의해 패널은 배출된다.
도 12는 본 발명의 비젼검사 장치의 패널 공급부(100)가 트레이(110)로 구성되고, 패널 배출부(500)가 컨베어로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도이다. 도 12에 도시되어 있듯이, 트레이(110)에 담겨져 있는 패널은 제1트렌스퍼(10)에 의해 점등검사부(200)의 제1듀얼스테이지(211)가 대기하고 있는 로딩존(210)으로 동시에 패널 2개가 이송된다. 패널을 공급받은 제1듀얼스테이지(211)는 제1점등검사존(220)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하고, 그동안 제2듀얼스테이지(212)가 로딩존(210)에 대기하고, 제1트렌스퍼(10)는 다시 트레이(110)에서 패널을 픽업하여 로딩존(210)에 대기하고 있는 제2듀얼스테이지(212)로 패널을 공급한다. 패널을 공급받은 제2듀얼스테이지(212)는 제2점등검사존(230)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하는 동안 점등점사가 끝난 제1듀얼스테이지(211)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계하고, 다시 로딩존(210)으로 이동하여 패널을 제1트렌스퍼에(10)에 의해 공급받을 준비를 하는 동안 점등검사가 끝난 제2듀얼스테이지(212)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계한다. 패널을 인계받은 제 2트랜스퍼(20)는 패널의 양/불판정에 따라 양품패널은 양품패널 배출부(720)의 컨베어(721)로 패널을 이송하여 컨베어(721)에 의해 패널이 배출되고, 불량패널은 불량패널 배출부(710)의 컨베어(711)로 이송하여 컨베어(711)에 의해 패널이 배출된다.
도 13은 본 발명의 비젼검사 장치의 패널 공급부(600)가 카세트(610)로 구성되고, 패널 배출부(500)가 컨베어로 구성되어 있고 점등검사만 실시하는 비젼검사장치의 평면도이다. 도 13에 도시되어 있듯이, 카셋트(610)에 삽입되어 있는 패널을 로더(620)가 진공테이블(630)에 안착시킨다. 패널이 안착된 진공테이블(630)은 언로딩존(640)으로 이동하고, 패널은 제1트렌스퍼(10)에 의해 점등검사부(200)의 제1듀얼스테이지(211)가 대기하고 있는 로딩존(210)으로 동시에 패널 2개가 이송된다. 패널을 공급받은 제1듀얼스테이지(211)는 제1점등검사존(220)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하고, 그 동안 제2듀얼스테이지(212)가 로딩존(210)에 대기하고, 제1트렌스퍼(10)는 다시 언로딩존(640)의 진공테이블(630)에서 패널을 픽업하여 로딩존(210)에 대기하고 있는 제2듀얼스테이지(212)로 패널을 공급한다. 패널을 공급받은 제2듀얼스테이지(212)는 제2점등검사존(230)으로 이동하여 패널의 점등검사를 실시하는 동안 점등점사가 끝난 제1듀얼스테이지(211)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계하고, 다시 로딩존(210)으로 이동하여 패널을 제1트렌스퍼에(10)에 의해 공받을 준비를 하는 동안 점등검사가 끝난 제2듀얼스테이지(212)는 제1 언로딩존(240)으로 이동하여 패널을 제2트렌스퍼(20)에 인계한다. 패널을 인계받은 제2트렌스퍼(20)는 패널의 양/불판정에 따라 양품패널은 양품패널 배출부(720)의 컨베어(721)로 패널을 이송하여 컨베어(721)에 의해 패널이 배출되고, 불량패널은 불량패널 배출부(710)의 컨베어(711)로 이송하여 컨베어(711)에 의해 패널이 배출된다.
도 14는 본 발명의 점등검사를 위한 패널에 유니트를 접촉하여 점등시키는 구성을 나타낸 사시도이다. 도 14의 단면도(900)에서 도시되어 있듯이 유니트(901)는 포고핀(902)이 삽입되어져 있고, 상기 포고핀(902) 하부는 패널(903)에 컨텍되고, 상기 포고핀(202) 상부는 PCB(904)에 직접 컨텍되어, 전기적 신호를 인가하여 패널(903)을 점등한다. 상기 포고핀(902)을 정확하게 패널(903)에 컨텍하기 위해서 상기 유니트(901)은 Z축 스테이지(905), X,Y축 스테이지(906), θ축 스테이지(907)로 구성되어진 3개의 스테이지와 실린더블라켓(908), 실린더(909)에 의해 채결 고정된다. 상기 X,Y,Z,θ 스테이지(905)(906)(907)로 유니트(901)를 미세 조절하여 패널(903)과 얼라인을 맞춘 후 실린더(909)에 의해 유니트(901)가 하강하여 패널(903)에 유니트(901)에 삽입되어져 있는 포고핀(902)이 정확하게 컨텍된다.
10 제1트랜스퍼 20 제2트랜스퍼
30 제3트랜스퍼 100 패널 공급부
110 트레이 200 점등검사부
211 제1듀얼스테이지 212 제2듀얼스테이지
213 제3듀얼스테이지 300 외관검사부
341 글라스 343 세타스테이지
347 에어나이프 348 사이드조명
351 워크테이블 353 하부조명
358 베어링 363 에어나이프
364 버큠파이프 365 제전블러쉬
371 카메라 372 렌즈
373 에어노즐 376 에어나이프
381 셔터 382 실린더
383 쇼바 385 LM가이드
391 흡기팬 392 패기팬
400 양품패널 배출부 500 불량패널 배출부
600 패널공급부 610 카세트
620 로더 630 진공테이블
710 불량패널 배출부 720 양품패널 배출부
901 유니트 902 포고핀
903 패널 904 PCB
905 Z축 스테이지 906 X,Y축 스테이지
907 θ축 스테이지 909 실린더
30 제3트랜스퍼 100 패널 공급부
110 트레이 200 점등검사부
211 제1듀얼스테이지 212 제2듀얼스테이지
213 제3듀얼스테이지 300 외관검사부
341 글라스 343 세타스테이지
347 에어나이프 348 사이드조명
351 워크테이블 353 하부조명
358 베어링 363 에어나이프
364 버큠파이프 365 제전블러쉬
371 카메라 372 렌즈
373 에어노즐 376 에어나이프
381 셔터 382 실린더
383 쇼바 385 LM가이드
391 흡기팬 392 패기팬
400 양품패널 배출부 500 불량패널 배출부
600 패널공급부 610 카세트
620 로더 630 진공테이블
710 불량패널 배출부 720 양품패널 배출부
901 유니트 902 포고핀
903 패널 904 PCB
905 Z축 스테이지 906 X,Y축 스테이지
907 θ축 스테이지 909 실린더
Claims (19)
- 자동 비젼검사 장치로서,
패널을 트레이 또는 카셋트에서 로딩존으로 이송하는 제1 트렌스퍼;
상기 로딩존에서 상기 제1 트렌스퍼로부터 패널을 공급받아 제1 점등검사존으로 이동하고, 패널의 점등검사 후 제1 언로딩존으로 이동하는 제1 듀얼스테이지; 및
상기 로딩존에서 상기 제1 트렌스퍼로부터 패널을 공급받아 제2 점등검사존으로 이동하고, 패널의 점등검사 후 상기 제1 언로딩존으로 이동하는 제2 듀얼스테이지를 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제1항에 있어서,
점등검사에 의해 나타나는 불량을 패널 상부의 먼지 데이터와 비교함으로써 점등검사 시의 먼지로 인한 패널의 과검율을 낮출 수 있도록 점등검사 전에 패널 상부의 먼지가 부각되게 조명을 가하는 사이드조명을 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제2항에 있어서,
상기 사이드조명은 상기 제1 듀얼스테이지 및 상기 제2 듀얼스테이지 각각의 상측에 설치되는 것인 자동 비젼검사 장치. - 제2항에 있어서,
점등검사 전에 패널 상부의 먼지를 제거하기 위한 에어나이프를 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제4항에 있어서,
상기 에어나이프는 상기 사이드조명의 조명이 가해지기 전에 패널 상부의 먼지를 제거하는 것인 자동 비젼검사 장치. - 제4항에 있어서,
상기 에어나이프는 상기 제1 듀얼스테이지 및 상기 제2 듀얼스테이지 각각의 상측에 설치되는 것인 자동 비젼검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 듀얼스테이지 및 상기 제2 듀얼스테이지 각각은,
공급받은 패널의 위치를 고정하는 워크테이블; 및
점등검사에 의해 나타나는 불량을 패널 하부의 먼지 데이터와 비교함으로써 점등검사 시의 먼지로 인한 패널의 과검율을 낮출 수 있도록, 상기 워크테이블의 내부 측면에 설치되어 패널 하부의 먼지가 부각되게 조명을 가하는 하부 사이드조명을 포함하는 것인 자동 비젼검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 트레이 또는 상기 카셋트에서 상기 로딩존으로 지나가는 패널 하부에 부착된 먼지를 제거하는 제전블러쉬 및 상기 제전블러쉬에 의해 제거된 먼지를 진공 흡입하는 버큠파이프를 포함하는 하부 먼지제거부를 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제8항에 있어서,
상기 하부 먼지제거부는,
상기 트레이 또는 상기 카셋트에서 상기 로딩존으로 지나가는 패널 하부에 부착된 먼지를 바람을 통해 제거하는 하부 에어나이프를 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제8항에 있어서,
상기 하부 먼지제거부는,
상기 제전블러쉬 및 상기 버큠파이프가 체결 고정되고 상하조절이 가능한 조절블럭을 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 점등검사존과 상기 제2 점등검사존의 사이에는 상기 로딩존이 상기 제1 점등검사존과 가깝게 형성되고 상기 제1 언로딩존이 상기 제2 점등검사존과 가깝게 형성되는 것인 자동 비젼검사 장치. - 제11항에 있어서,
상기 제1 듀얼스테이지가 상기 로딩존에서 상기 제1 점등검사존으로 이동할 때 상기 제2 듀얼스테이지가 상기 제1 언로딩존에서 상기 로딩존으로 이동하고, 상기 제2 듀얼스테이지가 상기 로딩존에서 상기 제2 점등검사존으로 이동할 때 상기 제1 듀얼스테이지가 상기 제1 점등검사존에서 상기 제1 언로딩존으로 이동하며, 상기 제1 듀얼스테이지가 상기 제1 언로딩존에서 상기 로딩존으로 이동할 때 상기 제2 듀얼스테이지가 상기 제2 점등검사존에서 상기 제1 언로딩존으로 이동하는 것인 자동 비젼검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 언로딩존에서 상기 제1 듀얼스테이지 또는 상기 제2 듀얼스테이지로부터 점등검사가 끝난 패널을 인계받고, 점등검사에 의한 양/불 판정에 따라, 상기 인계받은 패널이 양품이면 양품패널 배출부의 트레이 또는 컨베어로 이송하고, 불량이면 불량패널 배출부의 컨베어로 이송하는 제2 트렌스퍼를 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 언로딩존에서 상기 제1 듀얼스테이지 또는 상기 제2 듀얼스테이지로부터 점등검사가 끝난 패널을 인계받아 패널의 하부외관검사가 이루어지는 하부외관검사존으로 이동하는 제2 트렌스퍼;
상기 하부외관검사존에서 상기 제2 트렌스퍼로부터 하부외관검사가 끝난 패널을 공급받아 상부외관검사존으로 이동하고, 패널의 상부외관검사 후 제2 언로딩존으로 이동하는 제3 듀얼스테이지; 및
상기 제2 언로딩존에서 상기 제3 듀얼스테이지로부터 패널을 인계받고, 점등검사, 하부외관검사, 및 상부외관검사에 의한 양/불 판정에 따라, 상기 인계받은 패널이 양품이면 양품패널 배출부의 트레이로 이송하고, 불량이면 불량패널 배출부의 컨베어로 이송하는 제3 트렌스퍼를 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제14항에 있어서,
상기 하부외관검사존으로 이동된 해당 패널의 하부외관검사를 위해 상기 해당 패널의 아래쪽에 위를 바라보도록 설치되는 카메라 및 조명;
먼지가 중력에 의해 상기 카메라의 렌즈에 쌓이는 것을 방지하도록 바람을 조사 가능한 렌즈용 에어노즐; 및
먼지가 중력에 의해 상기 조명에 쌓이는 것을 방지하도록 바람을 조사 가능한 조명용 에어나이프를 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제14항에 있어서,
패널의 상부외관검사 시 외부로부터의 먼지 유입이 방지되도록 상부외관검사존에 설치되는 셔터; 및
상기 셔터를 개폐시키는 실린더를 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제1항에 있어서,
패널의 점등검사 시 외부로부터의 먼지 유입이 방지되도록 상기 제1 점등검사존 및 상기 제2 점등검사존에 각각 설치되는 셔터; 및
상기 각각의 셔터를 개폐시키는 실린더를 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제14항에 있어서,
상기 상부외관검사존의 상부 및 상기 하부외관검사존의 상부에 각각 설치되는 흡기팬; 및
상기 상부외관검사존의 하부 및 상기 하부외관검사존의 하부에 각각 설치되는 배기팬을 더 포함하는 자동 비젼검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 점등검사존의 상부 및 상기 제2 점등검사존의 상부에 각각 설치되는 흡기팬; 및
상기 제1 점등검사존의 하부 및 상기 제2 점등검사존의 하부에 각각 설치되는 배기팬을 더 포함하는 자동 비젼검사 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120061421A KR101215373B1 (ko) | 2012-06-08 | 2012-06-08 | 엘시디 패널의 자동 비젼검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120061421A KR101215373B1 (ko) | 2012-06-08 | 2012-06-08 | 엘시디 패널의 자동 비젼검사 장치 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090125234A Division KR101215371B1 (ko) | 2009-12-16 | 2009-12-16 | 엘시디 패널의 자동 비젼검사 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120067327A KR20120067327A (ko) | 2012-06-25 |
KR101215373B1 true KR101215373B1 (ko) | 2012-12-26 |
Family
ID=46686389
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
KR1020120061421A KR101215373B1 (ko) | 2012-06-08 | 2012-06-08 | 엘시디 패널의 자동 비젼검사 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101215373B1 (ko) |
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---|---|---|---|---|
KR102037050B1 (ko) * | 2012-11-05 | 2019-10-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치용 비전검사 시스템 및 이의 검사방법 |
KR102117652B1 (ko) * | 2013-11-26 | 2020-06-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 디스플레이 패널 검사장치 |
KR102612030B1 (ko) * | 2021-12-15 | 2023-12-08 | 다래비젼주식회사 | 백라이트 진공흡착 모듈용 부품 자동검사장치과 이의 자동검사방법 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200387641Y1 (ko) | 2005-01-17 | 2005-06-22 | (주) 대호 | 엘시디 백라이트 유니트 자동검사장치 |
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A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
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GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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