KR101169871B1 - Apparatus and method for manufacturing an organic light emitting panel - Google Patents

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미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 소자 기판과 밀봉 기판의 접합시에, 소자 기판과 밀봉 기판 사이에 기포가 혼입되는 일이 없고, 또한 소자 기판과 밀봉 기판에 어긋남이 생기는 일이 없는 유기 발광 패널의 제조 장치 및 유기 발광 패널의 제조 방법을 제공한다. 하측 진공 용기(1) 및 상측 진공 용기(2)를 밀폐하여, 제 1 공간과 제 2 공간을 진공으로 하고, 밀봉 기판(3)을 상승시켜서 소자 기판(4)과 접촉시키고, 제 1 공간에 대기압 또는 대기압 이상의 기체를 도입하여, 제 1 공간과 제 2 공간 사이에 생긴 차압을 다이어프램(8)을 거쳐서 소자 기판(4)에 작용시키는 것에 의해 소자 기판(4)과 밀봉 기판(3)을 압착했다.The present invention is an organic light emitting panel manufacturing apparatus and organic light emitting device in which bubbles are not mixed between the element substrate and the sealing substrate and no deviation occurs between the element substrate and the sealing substrate during the bonding of the element substrate and the sealing substrate. Provided is a method for producing a panel. The lower vacuum container 1 and the upper vacuum container 2 are sealed, the first space and the second space are vacuumed, the sealing substrate 3 is raised to be brought into contact with the element substrate 4, and the The element substrate 4 and the sealing substrate 3 are crimped by introducing an atmospheric pressure or a gas above the atmospheric pressure and acting the differential pressure generated between the first space and the second space on the element substrate 4 via the diaphragm 8. did.

Figure R1020100075690
Figure R1020100075690

Description

유기 발광 패널의 제조 장치 및 유기 발광 패널의 제조 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING AN ORGANIC LIGHT EMITTING PANEL}The manufacturing apparatus of an organic light emitting panel, and the manufacturing method of an organic light emitting panel {APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING AN ORGANIC LIGHT EMITTING PANEL}

본 발명은 유기 발광 패널의 제조 장치 및 유기 발광 패널의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing an organic light emitting panel and a method for manufacturing an organic light emitting panel.

유기 EL(Electro Luminescence)은, 극히 얇고 면 발광이라는 형상, 우수한 색상 재현성이나 UV가 없다(UVless)라는 빛의 품질 및 수은이 없고(mercuryless) 수년 이내에 형광등보다 에너지 절약이 된다고 예상되는 환경 성능 등으로부터, 환경에 친화적인 차세대 조명으로서 크게 기대되고 있다. 이러한 유기 EL은 일반적으로 투명 도전성막 패터닝(patterning) 완료 유리 기판을 이용하여, 주로 세정 공정, 유기층 성막 공정, 캐소드(음극) 성막 공정, 밀봉 공정을 거쳐서 제조된다. 그리고, 유기 EL은 유기층 등이 대기중의 수분이나 산소에 노출되면 발광 특성이 열화하여 버리기 때문에, 전술한 밀봉 공정에서 유기층 등을 외기로부터 차단하는 밀봉 구조를 마련할 필요가 있다.Organic EL (Electro Luminescence) has a very thin and surface-emitting shape, excellent color reproducibility or the quality of light UVless and environmental performance expected to be more energy-saving than fluorescent lamps in mercuryless years. It is greatly expected as next-generation lighting which is environmentally friendly. Such organic EL is generally manufactured through a cleaning process, an organic layer film forming process, a cathode (cathode) film forming process, and a sealing process using a transparent conductive film patterned glass substrate. In the organic EL, since the organic layer or the like is exposed to moisture or oxygen in the air, the light emission characteristics deteriorate. Therefore, it is necessary to provide a sealing structure that blocks the organic layer or the like from the outside air in the above-described sealing step.

이 때문에, 예를 들어 하기 특허문헌 1에서는, 유기층 등이 성막된 소자 기판과 밀봉제가 배치된 밀봉 기판을 접합함으로써 소자 기판의 유기층 등을 밀봉하는 방법이 개시되어 있다. 또한, 하기 특허문헌 2에는, 소자 기판과 밀봉 기판의 상부에 탄성체의 시트(sheet)를 설치하고, 소자 기판과 밀봉 기판이 설치된 공간을 배기함으로써 탄성체의 시트에 작용하는 차압에 의해 소자 기판과 밀봉 기판을 접합하는 방법이 개시되어 있다. 더욱이, 하기 특허문헌 3, 4에는, 감압 상태에서 소자 기판과 밀봉 기판을 접합하는 방법이 개시되어 있다.For this reason, for example, in following patent document 1, the method of sealing the organic layer etc. of an element substrate is disclosed by bonding the element substrate in which the organic layer etc. were formed, and the sealing substrate in which the sealing agent was arrange | positioned. In addition, Patent Literature 2 below provides an element sheet and an encapsulation sheet on an upper portion of the element substrate and the encapsulation substrate, and exhausts a space provided with the element substrate and the encapsulation substrate to seal the element substrate and the element substrate by a differential pressure acting on the sheet of the elastic body. A method of joining a substrate is disclosed. Moreover, the following patent documents 3 and 4 disclose the method of joining an element substrate and a sealing substrate in a reduced pressure state.

일본 공개 특허 제 2006-85957 호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-85957 일본 공개 특허 제 2005-276754 호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-276754 일본 공개 특허 제 2005-243413 호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-243413 일본 공개 특허 제 2006-179352 호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-179352

그러나, 상기 특허문헌 1, 2에 개시된 종래의 발광 패널의 제조 장치 및 발광 패널의 제조 방법에서는, 소자 기판과 밀봉 기판의 접합시에, 소자 기판과 밀봉 기판 사이에 기포가 혼입되어 버린다는 문제가 있었다. 또, 상기 특허문헌 1 내지 4에 개시된 종래의 발광 패널의 제조 장치 및 발광 패널의 제조 방법에서는, 소자 기판과 밀봉 기판의 접합시에, 소자 기판과 밀봉 기판에 어긋남이 생겨 버린다는 문제가 있었다.However, in the conventional light emitting panel manufacturing apparatus and the manufacturing method of the light emitting panel which were disclosed by the said patent documents 1, 2, the problem that the bubble mixes between an element substrate and a sealing substrate at the time of joining of an element substrate and a sealing substrate has arisen. there was. Moreover, the conventional light emitting panel manufacturing apparatus and the manufacturing method of the light emitting panel which were disclosed by the said patent documents 1-4 have the problem that a shift | offset | difference arises in an element substrate and a sealing substrate at the time of joining an element substrate and a sealing substrate.

이상으로부터, 본 발명은, 소자 기판과 밀봉 기판의 접합시에, 소자 기판과 밀봉 기판 사이에 기포가 혼입되는 일이 없고, 또한 소자 기판과 밀봉 기판에 어긋남이 생기는 일이 없는 유기 발광 패널의 제조 장치 및 유기 발광 패널의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.As mentioned above, this invention manufactures the organic light emitting panel in which the bubble does not mix between an element substrate and a sealing substrate at the time of the joining of an element substrate and a sealing substrate, and a shift | offset | difference does not arise in an element substrate and a sealing substrate. It is an object to provide a device and a method for producing an organic light emitting panel.

상기의 과제를 해결하는 제 1 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치는, 단일 또는 복수 영역에 유기 발광 소자가 마련된 소자 기판과, 유기 발광 소자에 대응하는 영역에 밀봉재를 배치한 밀봉 기판을 진공 감압하에서 접합하는 것에 의해 상기 유기 발광 소자를 밀봉하는 유기 발광 패널의 제조 장치로서, 하측 진공 용기와, 상기 하측 진공 용기에 개폐 가능하게 장착된 상측 진공 용기와, 상기 상측 진공 용기의 개구부에 마련된 탄성체의 시트와, 상기 하측 진공 용기내에 상기 밀봉재를 상측으로 하여 상기 밀봉 기판의 위치를 규제하는 받침대인 밀봉 기판용 받침대와, 상기 유기 발광 소자를 하측으로 하여 상기 밀봉 기판의 상방으로 이격하고, 또한 상기 소자 기판과 상기 밀봉 기판의 상대 위치를 규제하는 받침대인 소자 기판용 받침대와, 상기 밀봉 기판을 하측으로부터 흡착 고정하여 승강 가능한 승강 테이블과, 상기 시트에 의해 분할된 상기 상측 진공 용기내의 제 1 공간 및 상기 하측 진공 용기내의 제 2 공간의 기체를 각각 급배기(給排氣) 가능한 급배기 수단과, 상기 하측 진공 용기 및 상기 상측 진공 용기를 밀폐하여, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간을 진공으로 하고, 상기 승강 테이블을 상승시켜서 상기 밀봉 기판과 상기 소자 기판을 접촉시키고, 상기 제 1 공간에 대기압 또는 대기압 이상의 기체를 도입하여, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간 사이에 생긴 차압을 상기 시트를 거쳐서 상기 소자 기판에 작용시키는 것에 의해 상기 소자 기판과 상기 밀봉 기판을 압착하도록 제어하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.In the organic light emitting panel manufacturing apparatus according to the first aspect of the present invention, a device substrate in which an organic light emitting element is provided in a single area or a plurality of regions and a sealing substrate in which a sealing material is disposed in a region corresponding to the organic light emitting element are vacuum reduced. An apparatus for manufacturing an organic light emitting panel for sealing the organic light emitting element by bonding underneath, the apparatus comprising: a lower vacuum container, an upper vacuum container mounted on the lower vacuum container so as to be openable and close, and an elastic body provided in an opening of the upper vacuum container. A sheet, a pedestal for sealing substrate which is a pedestal for restricting the position of the sealing substrate with the sealing material upward in the lower vacuum container, and spaced apart from the sealing substrate with the organic light emitting element downward. A pedestal for element substrates, which is a pedestal for regulating relative positions of the substrate and the sealing substrate; A feeding table capable of supplying and exhausting gas in a lifting table, which is capable of lifting and lowering a rod substrate from the lower side, and a gas in a first space in the upper vacuum chamber and a second space in the lower vacuum chamber divided by the sheet. The exhaust means, the lower vacuum chamber and the upper vacuum container are sealed to vacuum the first space and the second space, and the lifting table is raised to bring the sealing substrate and the element substrate into contact with each other. Controlling the pressurization of the element substrate and the sealing substrate by introducing an atmospheric pressure or a gas above the atmospheric pressure into one space and acting the differential pressure generated between the first space and the second space on the element substrate via the sheet; It is characterized by including a control means.

상기의 과제를 해결하는 제 2 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치는, 제 1 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치에 있어서, 상기 승강 테이블이 상기 밀봉 기판을 가열 가능한 가열 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on 2nd invention which solves the said subject is the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on 1st invention WHEREIN: The said elevation table is provided with the heating means which can heat the said sealing substrate. It is done.

상기의 과제를 해결하는 제 3 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법은, 단일 또는 복수 영역에 유기 발광 소자가 마련된 소자 기판과, 유기 발광 소자에 대응하는 영역에 밀봉재를 배치한 밀봉 기판을 진공 감압하에서 접합하는 것에 의해 상기 유기 발광 소자를 밀봉하는 유기 발광 패널의 제조 방법으로서, 하측 진공 용기와, 상기 하측 진공 용기에 개폐 가능하게 장착된 상측 진공 용기와, 상기 상측 진공 용기의 개구부에 마련된 탄성체의 시트와, 상기 시트에 의해 분할된 상측 진공 용기내의 제 1 공간 및 하측 진공 용기내의 제 2 공간의 기체를 각각 급배기 가능한 급배기 수단을 구비하는 유기 발광 패널의 제조 장치에서, 상기 하측 진공 용기내에 상기 밀봉재를 상측으로 하여 상기 밀봉 기판의 위치를 규제하고, 상기 유기 발광 소자를 하측으로 하여 상기 밀봉 기판의 상방으로 이격하고, 또한 상기 소자 기판과 상기 밀봉 기판의 상대 위치를 규제하고, 상기 밀봉 기판을 승강 가능하게 한 상태에서, 상기 하측 진공 용기 및 상기 상측 진공 용기를 밀폐하여, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간을 진공으로 하고, 상기 밀봉 기판을 상승시켜서 상기 소자 기판과 접촉시키고, 상기 제 1 공간에 대기압 또는 대기압 이상의 기체를 도입하여, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간 사이에 생긴 차압을 상기 시트를 거쳐서 상기 소자 기판에 작용시키는 것에 의해 상기 소자 기판과 상기 밀봉 기판을 압착하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method of the organic light emitting panel which concerns on the said subject is vacuum-pressure-reduced the element substrate in which the organic light emitting element was provided in the single or multiple area | region, and the sealing substrate which arrange | positioned the sealing material in the area | region corresponding to the organic light emitting element. A method of manufacturing an organic light emitting panel for sealing the organic light emitting element by bonding underneath, the method comprising: a lower vacuum container, an upper vacuum container mounted on the lower vacuum container so as to be openable and closed, and an elastic body provided in an opening of the upper vacuum container. An apparatus for producing an organic light emitting panel, comprising: a sheet and supply and discharge means capable of supplying and exhausting gas in a first space in an upper vacuum container divided by the sheet and a second space in a lower vacuum container, respectively, in the lower vacuum container. The sealing material is placed upward, the position of the sealing substrate is regulated, and the organic light emitting element is moved downward. The upper and lower vacuum containers are sealed while the upper and lower vacuum containers are spaced apart from each other, the relative positions of the element substrate and the sealing substrate are regulated, and the sealing substrate is lifted and lowered. The first space and the second space are vacuumed, the sealing substrate is raised to be brought into contact with the element substrate, and an atmospheric pressure or a gas higher than atmospheric pressure is introduced into the first space, thereby between the first space and the second space. The element substrate and the sealing substrate are pressed by acting the differential pressure generated in the element substrate through the sheet.

상기의 과제를 해결하는 제 4 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법은, 제 3 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법에 있어서, 상기 밀봉 기판을 가열하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method of the organic light emitting panel which concerns on said 4th invention which solves the said subject is characterized by heating the said sealing substrate in the manufacturing method of the organic light emitting panel which concerns on 3rd invention.

본 발명에 따르면, 소자 기판과 밀봉 기판의 접합시에, 소자 기판과 밀봉 기판 사이에 기포가 혼입되는 일이 없고, 또한 소자 기판과 밀봉 기판에 어긋남이 생기는 일이 없는 유기 발광 패널의 제조 장치 및 유기 발광 패널의 제조 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, an apparatus for producing an organic light emitting panel in which bubbles are not mixed between the element substrate and the sealing substrate and no deviation occurs between the element substrate and the sealing substrate at the time of bonding the element substrate and the sealing substrate, and A method of manufacturing an organic light emitting panel can be provided.

도 1은 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치의 구성을 단면에 의해 도시한 모식도,
도 2는 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치에 있어서의 소자 기판 및 밀봉 기판의 받침대의 구성을 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법을 도시한 모식도,
도 4는 도 3에 이어지는 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법을 도시한 모식도,
도 5는 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법을 도시한 흐름도.1 is a schematic diagram showing, in cross section, the configuration of an apparatus for manufacturing an organic light emitting panel according to the present invention;
2 is a perspective view showing the structure of a pedestal of an element substrate and a sealing substrate in the apparatus for manufacturing an organic light emitting panel according to the present invention;
3 is a schematic diagram illustrating a method of manufacturing an organic light emitting panel according to the present invention;
4 is a schematic diagram illustrating a method of manufacturing an organic light emitting panel according to the present invention following FIG. 3;
5 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting panel according to the present invention.

이하, 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치 및 유기 발광 패널의 제조 방법을 실시하기 위한 형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the form for implementing the organic light emitting panel manufacturing apparatus which concerns on this invention, and the manufacturing method of an organic light emitting panel is demonstrated, referring drawings.

처음에, 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치의 구성에 대해서 설명한다.First, the structure of the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on this invention is demonstrated.

도 1은 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치의 구성을 단면에 의해 도시한 모식도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the structure of the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on this invention with the cross section.

도 1에 도시하는 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치는 하측 진공 용기(1)와 상측 진공 용기(2)를 구비하고 있다. 상측 진공 용기(2)는 힌지(hinge; 11)에 의해 하측 진공 용기(1)에 개폐 가능하도록 장착되어 있다. 상측 진공 용기(2)의 개구부에는 탄성체의 시트인 다이어프램(8)이 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on this invention is provided with the lower vacuum container 1 and the upper vacuum container 2. As shown in FIG. The upper vacuum container 2 is attached to the lower vacuum container 1 by a hinge 11 so that opening and closing is possible. The diaphragm 8 which is a sheet | seat of an elastic body is provided in the opening part of the upper vacuum container 2.

하측 진공 용기(1)의 내부에는 밀봉 기판(3)의 위치를 규제하는 밀봉 기판용 받침대(5)가 설치되어 있다. 밀봉 기판용 받침대(5)는 밀봉 기판(3)에 사전 배치된 밀봉재를 상측으로 하여 밀봉 기판(3)을 지지한다.Inside the lower vacuum container 1, a pedestal 5 for sealing substrates for regulating the position of the sealing substrate 3 is provided. The pedestal 5 for sealing substrates supports the sealing substrate 3 with the sealing material prepositioned on the sealing substrate 3 upward.

밀봉 기판용 받침대(5) 위에는 소자 기판(4)의 위치를 규제하는 소자 기판용 받침대(6)가 설치되어 있다. 소자 기판용 받침대(6)는 소자 기판(4)에 사전 배치된 유기 발광 소자를 하측으로 하여 밀봉 기판(3)의 상방으로 이격하고, 또한 소자 기판(4)과 밀봉 기판(3)의 상대 위치를 규제하도록 소자 기판(4)을 지지한다.On the pedestal 5 for sealing substrates, a pedestal 6 for element substrates for regulating the position of the element substrate 4 is provided. The pedestal 6 for the element substrate is spaced apart from the upper side of the sealing substrate 3 with the organic light emitting element pre-arranged on the element substrate 4 downward, and the relative position of the element substrate 4 and the sealing substrate 3. The element substrate 4 is supported so as to regulate the voltage.

밀봉 기판(3)의 하방에는, 밀봉 기판(3)을 하측으로부터 흡착 고정하여 승강하는 것이 가능한 승강 테이블(7)이 설치되어 있다. 이와 같이, 승강 테이블(7)에 밀봉 기판(3)을 흡착 고정하기 때문에, 밀봉 기판(3)을 상승시킬 때에 밀봉 기판(3)이 어긋나 버리는 일은 없다. 또한, 승강 테이블(7)에는 밀봉 기판(3)을 가열 가능한 가열 수단인 히터(7a)가 설치되어 있다.Below the sealing substrate 3, a lifting table 7 capable of lifting and lowering the sealing substrate 3 from the lower side is provided. Thus, since the sealing substrate 3 is adsorbed and fixed to the lifting table 7, the sealing substrate 3 does not shift | deviate when raising the sealing substrate 3. In addition, the lifting table 7 is provided with a heater 7a which is a heating means capable of heating the sealing substrate 3.

여기서, 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치에 있어서의 밀봉 기판용 받침대(5), 소자 기판용 받침대(6) 및 승강 테이블(7)의 구성에 대해서 설명한다.Here, the structure of the pedestal 5 for sealing substrates, the pedestal 6 for element substrates, and the elevation table 7 in the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on this invention is demonstrated.

도 2는 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치에 있어서의 소자 기판 및 밀봉 기판의 받침대의 구성을 도시한 사시도이다.Fig. 2 is a perspective view showing the structure of the pedestal of the element substrate and the sealing substrate in the apparatus for manufacturing an organic light emitting panel according to the present invention.

도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치에 있어서는, 밀봉 기판용 받침대(5)는 도 2에서 파선으로 도시하는 밀봉 기판(3)의 4개 코너의 부분을 밀봉 기판용 받침대(5)의 밀봉 기판 받침면(5a)에 의해 지지하고 있다. 밀봉 기판용 받침대(5)의 밀봉 기판(3)의 코너부가 위치하는 부분은 둥근 코너(5b)로 되어 있다. 이 때문에, 밀봉 기판(3)의 밀봉 기판용 받침대(5)에의 탑재가 용이해진다. 이러한 구조에 의해, 밀봉 기판용 받침대(5)는 밀봉 기판(3)의 위치를 규제하고 있다.As shown in FIG. 2, in the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel according to the present embodiment, the base for sealing substrate 5 seals portions of four corners of the sealing substrate 3 shown by broken lines in FIG. 2. It is supported by the sealing board support surface 5a of the board | substrate pedestal 5. The part where the corner part of the sealing board 3 of the base board 5 for sealing boards is located becomes the rounded corner 5b. For this reason, mounting of the sealing substrate 3 to the base 5 for sealing substrates becomes easy. By this structure, the pedestal 5 for the sealing substrate regulates the position of the sealing substrate 3.

소자 기판용 받침대(6)는, 도 2에서 파선으로 도시하는 소자 기판(4)의 2변의 부분을 소자 기판용 받침대(6)의 소자 기판 받침면(6a)에 의해 지지하고 있다. 소자 기판용 받침대(6)의 소자 기판(4)의 코너부가 위치하는 부분은 둥근 코너(6b)로 되어 있다. 이 때문에, 소자 기판(4)의 소자 기판용 받침대(6)에의 탑재가 용이해진다. 이러한 구조에 의해, 소자 기판용 받침대(6)는 소자 기판(4)의 위치를 규제하고 있다.The element substrate pedestal 6 supports portions of two sides of the element substrate 4 shown by broken lines in FIG. 2 by the element substrate support surface 6a of the element substrate pedestal 6. The part where the corner part of the element substrate 4 of the element substrate base 6 is located is a rounded corner 6b. For this reason, the mounting of the element substrate 4 to the element substrate pedestal 6 becomes easy. By this structure, the element substrate pedestal 6 regulates the position of the element substrate 4.

승강 테이블(7)은 승강 테이블(7)을 상승시켰을 때에 밀봉 기판용 받침대(5)와 간섭하지 않도록 밀봉 기판용 받침대(5)에 대응한 형상으로 되어 있고, 승강 테이블(7)의 상면이 밀봉 기판(3)의 거의 전체면을 지지할 수 있도록 되어 있다. 이 때문에, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)을 확실하게 접합할 수 있다.The lifting table 7 has a shape corresponding to the sealing board pedestal 5 so as not to interfere with the sealing board pedestal 5 when the lifting table 7 is raised, and the upper surface of the lifting table 7 is sealed. The entire surface of the substrate 3 can be supported. For this reason, the sealing substrate 3 and the element substrate 4 can be bonded reliably.

또, 도 1에 도시하는 바와 같이, 상측 진공 용기(2)에는, 상측 진공 용기(2)와 다이어프램(8)에 의해 형성되는 제 1 공간의 기체를 탈기(脫氣)하고, 제 1 공간에 기체를 도입하는 급배기 수단인 급배기 장치(9)가 설치되어 있다. 또한, 하측 진공 용기(1)에는, 하측 진공 용기(1)와 다이어프램(8)에 의해 형성되는 제 2 공간의 기체를 탈기하고, 제 2 공간에 기체를 도입하는 급배기 수단인 급배기 장치(10)가 설치되어 있다.In addition, as shown in FIG. 1, the gas in the first space formed by the upper vacuum container 2 and the diaphragm 8 is degassed in the upper vacuum chamber 2, and the first vacuum chamber 2 is degassed. A supply / exhaust device 9 which is a supply / exhaust means for introducing gas is provided. In addition, the lower vacuum chamber 1 is a supply / exhaust device which is a supply / exhaust means for degassing the gas in the second space formed by the lower vacuum container 1 and the diaphragm 8 and introducing the gas into the second space ( 10) is installed.

더욱이, 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치는, 후술하는 유기 발광 패널의 제조 방법에 근거하여 승강 테이블(7)이나 급배기 장치(9, 10) 등을 제어하는 제어 수단인 제어 장치(12)를 구비하고 있다.Moreover, the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on this invention is the control apparatus 12 which is control means which controls the lifting table 7, the air supply / exhaust apparatus 9, 10, etc. based on the manufacturing method of the organic light emitting panel mentioned later. ).

이상이 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치의 구성이다.The above is the structure of the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on this invention.

다음에, 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법에 대해서 설명한다.Next, the manufacturing method of the organic light emitting panel which concerns on this invention is demonstrated.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법을 도시한 모식도이다. 또한, 도 3 및 도 4에 있어서는, 유기 발광 패널의 제조 방법을 설명하기 위해서 유기 발광 패널의 제조 장치의 구성을 간략화하여 도시하고 있다. 또한, 도 5는 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법을 도시한 흐름도이다.3 and 4 are schematic diagrams showing a method of manufacturing an organic light emitting panel according to the present invention. In addition, in FIG. 3 and FIG. 4, in order to demonstrate the manufacturing method of an organic light emitting panel, the structure of the manufacturing apparatus of an organic light emitting panel is simplified and shown. 5 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting panel according to the present invention.

도 5에 도시하는 바와 같이, 처음에, 단계 P1에 있어서, 도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 밀봉 기판(3)을 밀봉 기판용 받침대(5)에 탑재한다.As shown in FIG. 5, initially, in step P1, as shown to Fig.3 (a), the sealing substrate 3 is mounted in the base 5 for sealing substrates.

다음에, 단계 P2에 있어서, 도 3의 (b)에 도시하는 바와 같이, 소자 기판(4)을 소자 기판용 받침대(6)에 탑재한다.Next, in step P2, the element substrate 4 is mounted on the element substrate pedestal 6, as shown in Fig. 3B.

이와 같이, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)을 규제 가능한 밀봉 기판용 받침대(5) 및 소자 기판용 받침대(6)에 탑재하는 것에 의해, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)의 정확한 위치맞춤이 가능해진다.In this way, the sealing substrate 3 and the element substrate 4 are mounted on the pedestal 5 for the sealing substrate and the pedestal 6 for the element substrate that can be regulated. Accurate positioning is possible.

다음에, 단계 P3에 있어서, 도 3의 (c)에 도시하는 바와 같이, 승강 테이블(7)을 밀봉 기판(3)에 접촉할 때까지 상승시킨다.Next, in step P3, the lifting table 7 is raised until it comes in contact with the sealing substrate 3, as shown in Fig. 3C.

다음에, 단계 P4에 있어서, 도 3의 (c)에 도시한 상태에서, 승강 테이블(7)에 의해 밀봉 기판(3)을 흡착 고정하고, 승강 테이블(7)의 히터(7a)에 의해 밀봉 기판(3)을 가열한다. 이와 같이, 히터(7a)에 의해 밀봉 기판(3)을 가열하는 것에 의해, 밀봉 기판(3)에 배치한 밀봉재를 연화시켜서 접착을 용이하게 하는 동시에, 밀봉재의 탈 가스를 실행하는 것에 의해, 밀봉 성능의 향상이 가능해진다.Next, in step P4, in the state shown in FIG.3 (c), the sealing board | substrate 3 is attracted and fixed by the lifting table 7, and is sealed by the heater 7a of the lifting table 7; The substrate 3 is heated. Thus, by heating the sealing substrate 3 by the heater 7a, the sealing material arrange | positioned at the sealing substrate 3 is softened, adhesion is made easy, and sealing is performed by degassing a sealing material. The performance can be improved.

다음에, 단계 P5에 있어서, 도 3의 (d)에 도시하는 바와 같이, 상측 진공 용기(2)를 폐쇄한다.Next, in step P5, as shown in FIG.3 (d), the upper vacuum container 2 is closed.

다음에, 단계 P6에 있어서, 도 3의 (d)에 도시한 상태에서, 하측 진공 용기(1) 내부, 즉 제 2 공간의 기체를 급배기 장치(10)에 의해 진공 탈기하고, 동시에 상측 진공 용기(2) 내부, 즉 제 1 공간의 기체를 급배기 장치(9)에 의해 진공 탈기한다. 이와 같이, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)의 접합시에, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)을 격리하고, 또한 진공 분위기로 하는 것에 의해, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4) 사이에 기포의 혼입이 없는 접합 기판을 제조하는 것이 가능해진다.Next, in step P6, in the state shown in Fig. 3D, the gas inside the lower vacuum container 1, that is, the second space, is vacuum degassed by the supply / exhaust device 10, and at the same time, the upper vacuum. The gas inside the container 2, that is, the first space, is vacuum degassed by the supply / exhaust device 9. In this way, when the sealing substrate 3 and the element substrate 4 are bonded together, the sealing substrate 3 and the element substrate 4 are separated from each other and brought into a vacuum atmosphere to thereby seal the sealing substrate 3 and the element substrate. It becomes possible to manufacture the bonded substrate without mixing of bubbles between (4).

다음에, 단계 P7에 있어서, 도 4의 (e)에 도시하는 바와 같이, 승강 테이블(7)에 의해 밀봉 기판(3)을 소자 기판(4)과 접촉할 때까지 상승시킨다. 본 실시형태에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치에 따르면, 밀봉 기판(3)은 승강 테이블(7)에 흡착 고정된 상태로 소자 기판(4)과 접촉할 때까지 상승되기 때문에, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)의 상대 위치에 어긋남이 생기는 것을 억제할 수 있다.Next, in Step P7, as shown in FIG. 4E, the lifting substrate 7 is raised until the sealing substrate 3 comes into contact with the element substrate 4. According to the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel which concerns on this embodiment, since the sealing substrate 3 is raised until it contacts with the element substrate 4 in the state fixed to the lifting table 7, the sealing substrate 3 is carried out. It can suppress that the shift | offset | difference arises in the relative position of and the element substrate 4.

또한, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)을 접촉시킬 때, 밀봉 기판(3)의 상승량을 가능한 한 작게 하여 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)을 접촉시키는 것에 의해, 밀봉 기판(3)의 상승에 수반하여 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)의 상대 위치에 어긋남이 생기는 것을 더 한층 억제할 수 있다.In addition, when the sealing substrate 3 and the element substrate 4 are brought into contact with each other, the sealing substrate 3 is brought into contact with the sealing substrate 3 and the element substrate 4 by making the rising amount of the sealing substrate 3 as small as possible. With the rise of 3), the shift | offset | difference to a relative position of the sealing substrate 3 and the element substrate 4 can be further suppressed.

다음에, 단계 P8에 있어서, 도 4의 (f)에 도시하는 바와 같이, 상측 진공 용기(2) 내부, 즉 제 1 공간에 대기압의 기체를 급배기 장치(9)에 의해 도입하여, 제 1 공간과 제 2 공간 사이에 생긴 차압을 도 4의 (f)에서 파선으로 도시하는 화살표와 같이 다이어프램(8)을 거쳐서 소자 기판(4)에 작용시키는 것에 의해, 소자 기판(4)과 밀봉 기판(3)을 압착한다. 또한, 여기에서는, 제 1 공간에 대기를 도입하는 것으로 했지만, 대기압 이상의 기체를 도입하도록 해도 좋다. 이 경우, 소자 기판(4)에 작용하는 압력을 보다 크게 할 수 있고, 도입하는 기체의 압력에 의해 소자 기판(4)에 작용하는 압력을 적절하게 조절할 수도 있다.Next, in Step P8, as shown in FIG. 4F, the atmospheric pressure gas is introduced into the upper vacuum chamber 2, that is, the first space by the air supply / exhaust device 9, and the first air is discharged. The differential pressure generated between the space and the second space is applied to the element substrate 4 via the diaphragm 8 as shown by the broken line in Fig. 4F, so that the element substrate 4 and the sealing substrate ( Squeeze 3). In addition, although it is assumed here that air is introduced into the first space, a gas of atmospheric pressure or higher may be introduced. In this case, the pressure acting on the element substrate 4 can be made larger, and the pressure acting on the element substrate 4 can be appropriately adjusted by the pressure of the gas to be introduced.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 단계 P7에 있어서, 승강 테이블(7)에 의해 밀봉 기판(3)을 소자 기판(4)과 접촉할 때까지 상승시키고, 단계 P8에 있어서, 소자 기판(4)과 밀봉 기판(3)을 압착시키는 것으로 했지만, 이들을 동시에 실행하도록 해도 좋다.In addition, in this embodiment, in step P7, the sealing substrate 3 is raised by the lifting table 7 until it comes in contact with the element substrate 4, and in step P8, the element substrate 4 and the element substrate 4 are raised. Although the sealing board | substrate 3 was crimped | bonded, you may carry out these simultaneously.

다음에, 단계 P9에 있어서, 도 4의 (g)에 도시하는 바와 같이, 하측 진공 용기(1) 내부, 즉 제 2 공간에 대기압의 기체를 급배기 장치(10)에 의해 도입, 즉 하측 진공 용기(1)를 대기 개방한다.Next, in Step P9, as shown in Fig. 4G, the atmospheric pressure gas is introduced into the lower vacuum chamber 1, that is, the second space by the supply / exhaust device 10, that is, the lower vacuum. The container 1 is opened to the atmosphere.

다음에, 단계 P10에 있어서, 도 4의 (h)에 도시하는 바와 같이, 상측 진공 용기(2)를 개방한다.Next, in step P10, as shown in FIG. 4 (h), the upper vacuum container 2 is opened.

다음에, 단계 P11에 있어서, 도 4의 (h)에 도시한 상태에서, 승강 테이블(7)에 의한 밀봉 기판(3)의 흡착 고정을 해제하고, 승강 테이블(7)을 하강시킨다.Next, in step P11, in the state shown in FIG.4 (h), the adsorption fixation of the sealing board 3 by the lifting table 7 is released, and the lifting table 7 is lowered.

마지막으로, 단계 P12에 있어서, 도 4의 (h)에 도시한 상태에서, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)을 맞붙인 접합 기판을 취출한다.Finally, in Step P12, in the state shown in Fig. 4H, the bonded substrate on which the sealing substrate 3 and the element substrate 4 are bonded together is taken out.

이상이 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 방법이다.The above is the manufacturing method of the organic light emitting panel which concerns on this invention.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 발광 패널의 제조 장치 및 유기 발광 패널의 제조 방법에 따르면, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)의 접합시에, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)을 격리하고, 또한 진공 분위기로 하기 때문에, 기포의 혼입이 없는 접합 기판을 제조하는 것이 가능해진다.As described above, according to the organic light emitting panel manufacturing apparatus and the organic light emitting panel manufacturing method according to the present invention, the sealing substrate 3 and the element substrate (at the time of bonding the sealing substrate 3 and the element substrate 4). Since 4) is isolate | separated and made into a vacuum atmosphere, it becomes possible to manufacture the bonded board | substrate without mixing of a bubble.

또, 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)을 규제 가능한 밀봉 기판용 받침대(5) 및 소자 기판용 받침대(6)에 탑재하고, 밀봉 기판(3)은 승강 테이블(7)에 흡착 고정하여 상승되기 때문에, 정확하게 밀봉 기판(3)과 소자 기판(4)의 위치맞춤이 가능해진다.In addition, the sealing substrate 3 and the element substrate 4 are mounted on the sealing substrate pedestal 5 and the element substrate pedestal 6 which can be regulated, and the sealing substrate 3 is suction-fixed to the lifting table 7 Since it rises, the alignment of the sealing substrate 3 and the element substrate 4 is attained correctly.

또, 승강 테이블(7)에 히터(7a)를 설치하여, 밀봉재를 배치한 밀봉 기판(3)을 가열하는 것에 의해, 밀봉재를 연화시켜서 접착을 용이하게 하는 동시에, 밀봉재의 탈 가스를 실행하는 것에 의해, 밀봉 성능의 향상이 가능해진다.In addition, by installing the heater 7a on the elevating table 7 and heating the sealing substrate 3 on which the sealing material is placed, the sealing material is softened to facilitate adhesion and degassing the sealing material. As a result, the sealing performance can be improved.

(산업상의 이용 가능성)(Industrial availability)

본 발명은, 예를 들어 단일 또는 복수 영역에 유기 발광 소자가 마련된 소자 기판과, 유기 발광 소자에 대응하는 영역에 밀봉재를 배치한 밀봉 기판을 진공 감압하에서 접합하는 것에 의해 상기 유기 발광 소자를 밀봉하는 유기 발광 패널의 제조 장치 및 유기 발광 패널의 제조 방법에서 이용하는 것이 가능하다.The present invention seals the organic light emitting element by, for example, bonding a device substrate provided with an organic light emitting element in one or a plurality of regions and a sealing substrate in which a sealing material is disposed in a region corresponding to the organic light emitting element under vacuum reduced pressure. It is possible to use in the manufacturing apparatus of an organic light emitting panel, and the manufacturing method of an organic light emitting panel.

1 : 하측 진공 용기 2 : 상측 진공 용기
3 : 밀봉 기판 4 : 소자 기판
5 : 밀봉 기판용 받침대 5a : 밀봉 기판 받침면
6 : 소자 기판용 받침대 6a : 소자 기판 받침면
7 : 승강 테이블 7a : 히터
8 : 다이어프램 9, 10 : 급배기 장치
11 : 힌지 12 : 제어 장치1: lower vacuum vessel 2: upper vacuum vessel
3: sealing substrate 4: element substrate
5: base for sealing substrate 5a: sealing substrate support surface
6: base for element substrate 6a: element substrate support surface
7: lifting table 7a: heater
8: diaphragm 9, 10: supply and exhaust device
11: hinge 12: control unit

Claims (4)

단일 또는 복수 영역에 유기 발광 소자가 마련된 소자 기판과, 유기 발광 소자에 대응하는 영역에 밀봉재를 배치한 밀봉 기판을 진공 감압하에서 접합하는 것에 의해 상기 유기 발광 소자를 밀봉하는 유기 발광 패널의 제조 장치에 있어서,
하측 진공 용기와,
상기 하측 진공 용기에 개폐 가능하게 장착된 상측 진공 용기와,
상기 상측 진공 용기의 개구부에 마련된 탄성체의 시트와,
상기 밀봉 기판의 4개 코너의 부분을 지지하고, 상기 하측 진공 용기내에 상기 밀봉재를 상측으로 하여 상기 밀봉 기판의 위치를 규제하는 받침대인 밀봉 기판용 받침대와,
상기 밀봉 기판용 받침대상에 지지되어 있고 상기 소자 기판의 2변의 부분을 지지하며, 상기 유기 발광 소자를 하측으로 하여 상기 밀봉 기판의 상방으로 이격하고, 또한 상기 소자 기판과 상기 밀봉 기판의 상대 위치를 규제하는 받침대인 소자 기판용 받침대와,
상기 밀봉 기판을 하측으로부터 흡착 고정하여 승강 가능한 승강 테이블과,
상기 시트에 의해 분할된 상기 상측 진공 용기내의 제 1 공간 및 상기 하측 진공 용기내의 제 2 공간의 기체를 각각 급배기 가능한 급배기 수단과,
상기 하측 진공 용기 및 상기 상측 진공 용기를 밀폐하여, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간을 진공으로 하고, 상기 승강 테이블을 상승시켜서 상기 밀봉 기판과 상기 소자 기판을 접촉시키고, 상기 제 1 공간에 대기압 또는 대기압 이상의 기체를 도입하여, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간 사이에 생긴 차압을 상기 시트를 거쳐서 상기 소자 기판에 작용시키는 것에 의해 상기 소자 기판과 상기 밀봉 기판을 압착하도록 제어하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는
유기 발광 패널의 제조 장치.In the device for manufacturing an organic light emitting panel for sealing the organic light emitting element by bonding a device substrate provided with an organic light emitting element in one or a plurality of regions and a sealing substrate having a sealing material disposed in a region corresponding to the organic light emitting element under vacuum reduced pressure. In
The lower vacuum vessel,
An upper vacuum container mounted on the lower vacuum container so as to be opened and closed;
An elastic sheet provided in the opening of the upper vacuum vessel;
A pedestal for sealing substrate which supports a portion of four corners of the sealing substrate, and is a pedestal that regulates the position of the sealing substrate with the sealing material upward in the lower vacuum container;
It is supported on the pedestal for sealing substrate and supports two sides of the element substrate, and is spaced above the sealing substrate with the organic light emitting element as a lower side, and the relative position of the element substrate and the sealing substrate is Support for element board which is support to regulate,
A lift table capable of lifting and lowering the sealing substrate by suction from the lower side;
Supply-and-exhaust means capable of supplying and exhausting gases in the first space in the upper vacuum vessel and the second space in the lower vacuum vessel divided by the sheet, respectively;
The lower vacuum container and the upper vacuum container are sealed to vacuum the first space and the second space, and the lifting table is raised to contact the sealing substrate with the element substrate, and the atmospheric pressure is applied to the first space. Or control means for controlling the device substrate and the sealing substrate to be compressed by introducing a gas having an atmospheric pressure or higher and acting on the device substrate via the sheet a differential pressure generated between the first space and the second space. Characterized by
An apparatus for manufacturing an organic light emitting panel. 제 1 항에 있어서,
상기 승강 테이블은 상기 밀봉 기판을 가열 가능한 가열 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는
유기 발광 패널의 제조 장치.The method of claim 1,
The lifting table includes heating means capable of heating the sealing substrate.
An apparatus for manufacturing an organic light emitting panel. 단일 또는 복수 영역에 유기 발광 소자가 마련된 소자 기판과, 유기 발광 소자에 대응하는 영역에 밀봉재를 배치한 밀봉 기판을 진공 감압하에서 접합하는 것에 의해 상기 유기 발광 소자를 밀봉하는 유기 발광 패널의 제조 방법에 있어서,
하측 진공 용기와,
상기 하측 진공 용기에 개폐 가능하게 장착된 상측 진공 용기와,
상기 상측 진공 용기의 개구부에 마련된 탄성체의 시트와,
상기 시트에 의해 분할된 상측 진공 용기내의 제 1 공간 및 하측 진공 용기내의 제 2 공간의 기체를 각각 급배기 가능한 급배기 수단을 구비하는 유기 발광 패널의 제조 장치에서,
상기 밀봉 기판의 4개 코너의 부분을 지지하고, 상기 하측 진공 용기내에 상기 밀봉재를 상측으로 하여 상기 밀봉 기판의 위치를 규제하고,
상기 소자 기판의 2변의 부분을 지지하며, 상기 유기 발광 소자를 하측으로 하여 상기 밀봉 기판의 상방으로 이격하고, 또한 상기 소자 기판과 상기 밀봉 기판의 상대 위치를 규제하고,
상기 밀봉 기판을 승강 가능하게 한 상태에서,
상기 하측 진공 용기 및 상기 상측 진공 용기를 밀폐하여, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간을 진공으로 하고,
상기 밀봉 기판을 상승시켜서 상기 소자 기판과 접촉시키고,
상기 제 1 공간에 대기압 또는 대기압 이상의 기체를 도입하여, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간 사이에 생긴 차압을 상기 시트를 거쳐서 상기 소자 기판에 작용시키는 것에 의해 상기 소자 기판과 상기 밀봉 기판을 압착하는 것을 특징으로 하는
유기 발광 패널의 제조 방법.A method of manufacturing an organic light emitting panel, wherein the organic light emitting element is sealed by bonding a device substrate provided with an organic light emitting element in one or a plurality of regions and a sealing substrate in which a sealing material is disposed in a region corresponding to the organic light emitting element under vacuum reduced pressure. In
The lower vacuum vessel,
An upper vacuum container mounted on the lower vacuum container so as to be opened and closed;
An elastic sheet provided in the opening of the upper vacuum vessel;
In the manufacturing apparatus of the organic light emitting panel provided with the air supply and exhaust means which can supply and exhaust the gas of the 1st space in the upper vacuum container divided by the said sheet, and the 2nd space in the lower vacuum container, respectively,
Supporting portions of four corners of the sealing substrate, regulating the position of the sealing substrate with the sealing material upward in the lower vacuum vessel,
Supporting two portions of the element substrate, spaced above the sealing substrate with the organic light emitting element as a lower side, and regulating the relative positions of the element substrate and the sealing substrate,
In a state where the sealing substrate can be lifted and lowered,
Sealing the lower vacuum container and the upper vacuum container, the first space and the second space is a vacuum,
Raising the sealing substrate to contact the device substrate,
Compressing the element substrate and the sealing substrate by introducing an atmospheric pressure or a gas of atmospheric pressure or higher into the first space and acting the differential pressure generated between the first space and the second space on the element substrate via the sheet; Characterized by
Method for producing an organic light emitting panel. 제 3 항에 있어서,
상기 밀봉 기판을 가열하는 것을 특징으로 하는
유기 발광 패널의 제조 방법.The method of claim 3, wherein
Characterized in that for heating the sealing substrate.
Method for producing an organic light emitting panel.
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