KR101130045B1 - 가스분사장치 및 이를 구비하는 박막증착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 원료 물질을 기화시키는 가열 수단과,상기 가열 수단의 하부에 마련되며 가열 수단으로부터 공급받아 내부에 원료 물질이 머무르는 내부 공간과, 상기 내부 공간과 연통되어 하부면에 관통되도록 연장 형성된 가스분사유로를 포함하는 분사 수단을 포함하고,상기 가스분사유로의 일단은 상기 내부 공간의 측벽에 형성되는 가스분사장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 가스분사유로는 절곡 형성되는 가스분사장치.
- 청구항 2에 있어서, 상기 가스분사유로는 적어도 하나의 평면부와, 상기 평면부에 연결된 적어도 하나의 수직부를 포함하는 가스분사장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 분사 수단은 내부 공간이 형성된 제 1 분사 수단과, 제 1 분사 수단의 외측에 결합된 제 2 분사 수단을 포함하고, 가스분사유로는 제 1 분사 수단 및 제 2 분사 수단의 내측에 형성되는 가스분사장치.
- 청구항 4에 있어서, 상기 가스분사유로는 제 1 분사 수단의 내측면에서 제 2 분사 수단의 하부면에 연장되어 형성되는 가스분사장치.
- 삭제
- 챔버와,상기 챔버 내의 하부에 마련된 기판 지지부와,상기 기판 지지부와 대향하여 마련되어 내부에 원료 물질이 머무르는 내부 공간과, 상기 내부 공간과 연통되어 하부면에 관통되도록 연장 형성된 가스분사유로를 포함하는 가스분사장치를 포함하고,상기 가스분사유로의 일단은 상기 내부 공간의 측벽에 형성되는 박막증착장치.
- 청구항 7에 있어서,상기 가스분사유로는 상기 내부 공간과 연통되어 하부면에 관통되도록 연장 형성되되, 상기 내부 공간의 내측벽에서 꺽어지도록 형성된 박막증착장치.
- 청구항 8에 있어서,상기 내부 공간은 바닥면이 밀폐되고, 상기 가스분사유로는 상기 내부 공간 내측의 일측벽에 그 단면이 'ㄱ'자 형상으로 형성되는 박막증착장치.
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