KR101101381B1 - 전기습윤 모듈 - Google Patents

Abstract

전기습윤 모듈(20)은, 계면(14)에 의해 분리된 제 1 유체(A)와 제 2 유체(B)를 포함하는 유체 챔버(8)와, 유체들 중에서 적어도 1개에 힘을 가해 계면의 위치 및/또는 형상을 변화시키는 수단(16, 17)을 구비한다. 제 2 유체 몸체에 제 1 유체 몸체에 용해되지 않거나 이 제 1 유체 몸체와 혼합되지 않는 용해되거나 혼합된 화합물을 포함시키거나, 및/또는 제 1 유체 몸체가 제 2 유체 몸체에 용해되지 않거나 이 제 2 유체 몸체와 혼합되지 않는 용해되거나 혼합된 화합물을 각각의 유체의 빙점을 -20℃보다 낮게 낮추는데 충분한 양으로 포함함으로써, 모듈의 성능을 향상시킬 수 있어, 모듈이 저온에서 사용될 수 있다.

전기습윤 모듈, 계면, 유체 챔버, 빙점

Description

전기습윤 모듈{ELECTROWETTING MODULE}

본 발명은, 적어도 제 1 도전성 및/또는 극성 유체로 이루어진 제 1 몸체와, 제 2 비도전성 및/또는 비극성 유체로 이루어진 제 2 몸체를 포함하되, 상기 몸체들이 계면에 의해 분리되는 제 1 및 제 2 몸체를 포함하는 유체 챔버와, 이들 몸체들 중에서 적어도 한 개에 힘을 가해, 계면의 위치 및/또는 형태를 변화시키는 수단을 구비한 전기습윤 모듈에 관한 것이다.

전기습윤 기술이 소정의 경로를 따른 유체의 용적을 조작할 수 있게 한다는 것이 관찰되었다. 이들 기술에 따르면, 상기 용적의 표면적이 국부적으로 변경되어(보통, 줄어들어), 용적이 그것의 최저의 표면장력을 갖는 방향으로 흐르도록 한다.

더구나, 유체는 힘에 응답하여 그것의 형상을 변경하는 물질로서, 유동할 수 있는 기체, 증기, 액체와 고체 및 액체의 혼합물을 포함하는 것으로 관찰되었다.

특정한 유체에 의한 표면의 "습윤성"이라는 용어는, 상기한 유체가 상기 특정한 표면을 적실 때의 용이성을 표현하는 것으로, 예를 들어, 상기 표면의 속성과 상기 표면을 가로지르는 전위에 의존한다. 표면이 특정한 유체에 의해 "높은 습윤성"을 갖는 경우에, 이것은 상기 유체와 접촉하고 있는 상기 유체의 액적이 다소 확장된 형상을 갖고, 비교적 큰 접촉 영역과, 보통 약 90°보다 작은 비교적 작은 접촉각을 갖는다는 것을 표시한다. "낮은 습윤성"은 상기 표면과 접촉하고 있는 액적이 다소 수축된 형상을 갖고, 비교적 작은 접촉 영역을 가지며, 보통 약 90°를 넘는 비교적 큰 접촉각을 갖게 된다는 것을 표시한다.

용어 "습윤"은 일정한 용적, 예를 들어 특정한 유체의 액적의 표면적이 국부적으로 변화되도록 하여, 특정한 표면에 대한 상기 유체의 습윤 거동에 영향을 미치는 모든 기술을 포함하는 것으로 해석된다.

습윤 현상을 사용하는 모듈에서는, 2가지 유체가 바람직한 특성, 예를 들어, 가능한한 근접한 밀도, 낮은 융점, 변형된 점도, 양호한 전기습윤 거동, 비독성과, 광학 모듈의 경우에는, 특정한 소정의 차이값을 갖는 굴절률을 갖는 것이 필요하다.

이와 같은 광학 모듈의 예로는, 변화될 수 있는 초점거리를 갖는 전기습윤 렌즈로도 불리는 전기습윤계 렌즈를 들 수 있다. 전기습윤 렌즈에서는, 2개의 유체 몸체들 사이의 계면이 메니스커스를 이룬다. 이와 같은 모듈에서는, 제 1 유체 몸체가 도전성 및/또는 극성 유체이고, 제 2 유체 몸체가 비도전성 및/또는 비극성 유체이다. 제 1 액체는, 예를 들면, 소금물이고, 제 2 액체는, 예를 들면, 데칸 및 실리콘 오일 등의 비극성의 물과 혼합되지 않는 액체이다. 전기습윤 전자 모듈은, 전기력을 가하는 수단을 구비하며, 이 수단을 사용하여 메니스커스의 형상 및/또는 위치가 정해질 수 있다. 전기습윤 광학 모듈의 다른 예로는, 줌 렌즈, 조리개, 회절 격자, 필터 및 빔 편향기를 들 수 있다. 이들 모듈의 예들은, PCT 특허출원 IB03/00222와 유럽특허출원 020789309.2, 02080387.0 및 02080060.3에 기재되어 있 다. 전기습윤 광학 모듈은 매우 복잡하므로, 광 디스크 주사장치, 소형 카메라 및/또는 휴대폰, 디스플레이 등의 자치에서 매우 유리하게 사용될 수 있다.

광학 전기습윤 모듈에서는, 모듈이 사용될 수 있는 온도 범위가 사용된 유체 몸체들의 빙점에 크게 의존한다. 0°보다 낮은 온도, 바람직하게는 대략 -20℃의 온도에서 여전히 잘 동작하는 광학 전기습윤 모듈에 대한 필요성이 증가하고 있다. 더구나, 보관 온도는 -40℃ 정도로 낮아야 한다. 하우징의 손상을 방지하기 위해서는, 액체가 이 온도 이상에서 고화하지 않는 것이 바람직하다.

종래의 수용액과 일부의 비도전성 액체는 이와 같은 요구사항을 충족시키지 못한다.

따라서, 유체 몸체의 빙점을 대략 -20℃보다 낮은 온도로 낮추는 문제를 해결해야 한다.

결국, 본 발명의 목적은, 광학 모듈로서 사용될 때, 큰 범위에 걸쳐 광학 파워의 변화를 허용하며, 낮은 온도에서 여전히 사용될 수 있는 서두에 정의된 전기습윤 모듈을 제공함에 있다. 상기 전기습윤 모듈은, 제 2 유체 몸체가 제 1 유체 몸체에 용해되지 않거나 이 제 1 유체 몸체와 혼합되지 않는 용해되거나 혼합된 화합물을 포함하고, 및/또는 제 1 유체 몸체는 제 2 유체 몸체에 용해되지 않거나 혼합되지 않는 용해되거나 혼합된 화합물을 포함하며, 상기 화합물들의 양은 각각의 유체의 빙점을 -20℃보다 낮게 낮추는데 충분한 것을 특징으로 한다. 빙점은 -30℃보다 낮게 저하되는 것이 바람직하다. 모든 외부 환경에서 장치의 보관을 허용하기 위해서는, 더욱 더 바람직한 빙점이 -40℃로 저하되어야 한다. 실험에 따르면, 이 하에서 설명하는 것과 같이, 가장 적합한 유체의 빙점을 -20℃로 낮추기 위해서는 4M의 농도를 갖는 용액이 필요하다는 것이 확인되었다.

소금물로 이루어진 제 1 유체 몸체를 갖는 전기습윤 렌즈는, 예를 들면, B.Berge and J.Peseux에 의해 Eur.Phys.J.E3, 159-163(2000)에 개시되어 있다는 점에 주목하기 바란다. 상기한 유체 몸체는, 더 구체적으로는, 물에 용해된 수 퍼센트의 Na₂SO₄로 구성된다. 그러나, 이와 같이 용해된 염의 양은 너무 작아 빙점을 실질적으로 감소시킬 수 없다.

50u, 바람직하게는 40u보다 작은 원자량을 갖는 양이온을 포함하는 무기 염은, 이 용액의 밀도와 굴절률이 여전히 낮은 값을 갖는다는 추가적인 이점을 지니므로, 이 염은 본 발명의 전기습윤 모듈의 도전성 유체로 사용하는데 매우 적합하다. 바람직한 화합물로는 염화물 염류, 특히 염화 리튬을 들 수 있다.

전기습윤 렌즈에서 도전성 액체로서 10wt%의 염화 나트륨 수용액을 사용하는 것이 JP-2001013366 A에 공지되어 있다는 것이 관찰되었다. 이와 같은 염의 양은 1.83M 용액에 해당하며, 이러한 용액으로는 -6.5℃에 이르는 빙점 저하를 얻는 것만이 가능하다.

상기 몸체의 빙점을 저하시키기 위해 제 2의 비극성 유체 몸체에 사용되는 바람직한 화합물들은 청구항 7에 기재되어 있다.

전술한 것과 같은 모듈은 광학 부품으로 구성될 수 있는데, 제 1 및 상기 제 2 유체 몸체는 서로 다른 굴절률을 갖는다. 이와 같은 광학 모듈에서, 제 1 도전성 유체에 가해진 염류는 굴절률 차이 유지 효과를 갖는다.

이와 같은 모듈에서는, 제 1 유체 몸체가 도전성을 갖거나 및/또는 극성을 가질 수 있으며, 제 2 유체 몸체가 비도전성을 갖거나 비극성을 가지며, 이 모듈은 전기적 또는 기계적 힘을 가하여, 메니스커스 형상의 계면의 위치 및/또는 형태를 변형하는 수단을 구비할 수 있다.

굴절률 차이는 0.01 내지 0.3이고, 바람직하게는 0.1 내지 0.2이며, 이들 유체 몸체들 중에서 한 개의 굴절률은 1.4보다 크며, 바람직하게는 1.5보다 크다.

바람직하게는, 제 1 및 제 2 유체 몸체는 거의 유사한 밀도를 나타낸다.

또한, 모듈은 압력을 가해 계면의 위치 및/또는 형태를 변경하는 수단을 구비할 수도 있다.

본 발명의 이들 발명내용은, 다음의 첨부도면에 예시된 이하에서 설명하는 실시예를 참조하여 더욱 더 명확해질 것이다.

도면에서,

도 1은 그것의 광축을 통해 비활성 상태의 종래의 전기습윤 렌즈의 단면도이고,

도 2는 활성상태에서의 이와 같은 렌즈를 나타낸 것이다.

도 1은 가변 초점 렌즈를 구성하는 전가습윤 모듈을 나타낸 것이다. 이 부재는, 투명 전방 부재(4)와 투명 후방 부재(6)를 사용하여 밀봉되어 모세관을 형성하 는 제 1 원통형 전극(2)을 포함함으로써, 2가지 유체를 포함하는 유체 챔버(8)를 형성한다. 원통형 전극(2)은, 튜브의 내벽들에 도포된 도전성 코팅일 수도 있다.

이와 같은 전기습윤 모듈의 실시예에서는, 2가지 유체는, 전기 절연 제 1 액체 A, 일반적으로는 예를 들면 실리콘 오일 또는 알칸과, 전기 도전 제 2 액체 B, 일반적으로는, 예를 들어, 염 용액을 포함하는 물의 형태를 갖는 2가지 혼합되지 않는 액체들로 구성된다. 제 1 유체 A는 제 2 유체 B보다 높은 굴절률을 갖는다.

제 1 전극(2)은 보통 1mm 내지 20mm의 내부 반경을 갖는 원통이다. 이 전극은 금속 물질로 형성되고, 예를 들어 파릴렌으로 이루어진 절연층(10)으로 코팅된다. 절연층은 50nm 내지 100㎛의 두께를 갖는다. 절연층은, 메니스커스(14), 즉 유체 A와 유체 B 사이의 게면이 유체 챔버의 원통형 벽과 이루는 접촉각의 이력을 줄이는 유체 접촉층(12)으로 코팅된다. 유체 접촉층은, 바람직하게는 DuPont^TM이 제조하는 Teflon^TM AF1600 등의 비정질 탄화불소로 형성된다. 유체 접촉층은 5nm 내지 50㎛의 두께를 갖는다. 또한, 절연성 및 소수성 특성을 갖는 한가지 층이 사용되는 것도 가능하다.

제 2 전극(16)은, 유체 챔버의 일면, 본 경우에는, 후방 부재(6)에 인접하여 배치된다. 제 2 전극은, 이 제 2 전극의 적어도 일부가 유체 챔버 내부에 존재하여, 전극이 제 2 유체 B에 적용할 수 있도록 배치된다.

2가지 유체 A 및 B는 혼합되지 않으므로, 메니스커스(14)에 분리되어 2개의 유체 몸체로 분리되는 경향이 있다. 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 전압이 인가되 지 않으면, 유체 접촉층(12)은 제 2 유체 B에 대해서보다 제 1 유체 A에 대해 더 높은 습윤성을 갖는다. 도 1에는 이와 같은 렌즈 구성, 즉 전기습윤 렌즈의 비활성 상태가 도시되어 있다. 이와 같은 구성에서는, 유체 B에서 측정하였을 때, 메니스커스와 유체 접촉층(12) 사이의 초기 접촉각 θ가 90°보다 크다. 제 1 유체 A의 굴절률이 제 2 유체 B의 굴절률보다 크므로, 메니스커스 렌즈로 불리는 메니스커스로 이루어진 렌즈는 이 배치에서는 음의 배율을 갖는다.

전기습윤으로 인해, 제 1 유체 B에 의한 습윤성이 제 1 전극과 제 2 전극 사이의 전압의 인가하에서 변화하는데, 이것은 접촉각을 변화시키는 경향이 있다. 도 2는 전압원(17)으로부터의 전압이 렌즈에 인가되는 경우, 즉 렌즈가 활성화 상태에 있는 경우의 렌즈 구조를 나타낸 것이다. 이 경우에는, 전압이 비교적 높고, 예를 들어, 150V 내지 250V이고, 메니스커스가 전해질로 이루어진 몸체에 대해 볼록 형태를 갖는다. 메니스커스와 제 1 유체 접촉층(12) 사이의 최대 접촉각 θ는, 예를 들어, 60°정도이다. 유체 A의 굴절률이 유체 B보다 크므로, 이와 같은 배치에서의 메니스커스 렌즈(1)는 야의 배율을 갖고, 입사 빔 b를 렌즈에서 특정한 거리 d에 있는 초점(18)에 초점을 맞춘다.

가변 초점 렌즈의 구성에 대한 더욱 더 상세한 내용에 대해서는, 국제특허출원 IB03/00222를 참조하기 바란다. 더 높은 굴절률 유체와 더 낮은 굴절률 유체 사이에 적어도 2개의 독립적으로 제어가능한 계면을 구비한 줌 렌즈가 유럽특허출원 02079473.1(PHNL021095)에 기재되어 있다.

실제로는, 모듈이 예를 들어 -20℃의 온도에서 여전히 동작하도록 하기 위해 서는, 전기습윤 모듈의 도전성 액체의 빙점을 낮출 필요가 있다.

물론, 모듈의 전기습윤 특성도 이와 같은 낮은 온도로 유지되어야 한다.

액체의 빙점을 맞추는 공지된 방법은, 액체에 염을 용해시키는 것이다. 액체 킬로그램 당 이온의 몰로 일정한 양의 염에 의해 얻어지는 이론적인 빙점 강하는 다음 식에서 대략적으로 결정될 수 있다:

ΔT_f=K_fc_m

이때, ΔT_f는 빙점 변화이고, K_f는 빙점 강하 상수이며, c_m은 용액의 이온들의 몰 농도이다.

이 식으로부터, 빙점의 충분한 강하를 달성하기 위해서는 큰 농도의 염이 필요하게 된다. 그렇지만, 액체에 너무 많은 양의 염을 용해시킴으로써, 액체의 밀도가 너무 많이 증가될 수 있으며, 이 결과, 도전성 액체와 비도전성 액체들 사이의 필요한 밀도 일치를 항상 만족시키는 것이 불가능하게 된다.

더구나, 액체에 염을 용해시키는 것은 굴절률 변화를 일으킬 수도 있다. 염의 추가시에 도전성 액체의 굴절률이 증가하면, (비전성 액체가 도전성 액체보다 높은 굴절률을 갖는다면) 이 액체와 비도전성 액체 사이의 굴절률이 감소하여, 이것이 전기습윤 렌즈의 광학 파워 범위의 바람직하지 않은 감소를 일으킨다.

전기습윤 렌즈에서는, 다음의 수식에서 알 수 있는 것과 같이, 렌즈의 광학 파워가, 메니스커스의 곡률과, 도전성 액체와 비도전성 액체 사이의 굴절률 차이에 의존한다:

이때, S는 메니스커스 렌즈의 광학 파워이고, r은 메니스커스의 곡률 반경이며, n₂는 비도전성 액체의 굴절률이고, n₁은 도전성 액체의 굴절률이다.

전기습윤 렌즈에서 일반적으로 사용되는 비도전성 렌즈(예를 들어, 알칸 또는 실리콘 오일)는, 일반적으로 사용되는 도전성 액체의 굴절률(예를 들어, 물, n=1.33) 약간 큰 굴절률(n=1.37-1,43)을 갖는다.

본 발명에 따르면, 제 1 도전성 유체의 빙점을 대략 -20℃로 낮추는데 충분한 일정한 양의 화합물, 예를 들면 무기 염을 상기한 제 1 도전성 유체에 추가하여, 상기 염이 바람직하게는 50u보다 작은 낮은 분자량을 갖는 양이온을 포함한다.

이와 같은 조치는, 높은 투명도, 다른 액체 또는 유체와의 비혼합성과, 양호한 전기습윤 거동 등과 같은 액체에 대한 다른 요구사항을 여전히 충족시키면서도, 도전성 액체에 대한 굴절률과 밀도를 낮게 유지한다.

-20℃의 빙점을 얻기 위한 일부의 액체의 예와 그들의 빙점 강하 상수의 예를 표 1에 나타낸다.

표 1

용매	융점(℃)	Kf(℃/m)	-20℃에 대한 cm
물	0.000	1.858	10.8
초산	16.60	3.59	10.2
벤젠	5.455	5.065	5.0
장뇌	179.5	40	5.0
시클로헥산	6.55	20.0	1.3

표 1에서, c_m은 -20℃보다 낮은 빙점을 얻기 위한 용액 내부의 이온들의 몰 농도를 나타낸 것이다. 각각의 염 분바가 최소한 2개의 이온을 생성하므로. 액체에 용해된 필요한 양의 염은 c_m보다 적어도 2배가 작다. 예를 들어, LiCl이 도전성 액체에서의 무기 염으로 사용될 때, 물의 빙점을 -20℃로 낮추기 위해서는 5.4M LiCl의 용액이 필요하다.

실험에서, 전기습윤 모듈에서 사용된 가장 적합한 유체들에 대해, 빙점을 -20℃로 낮추기 위해서는 4M의 농도를 갖는 용액이 필요하다는 것이 밝혀졌다. 이때에는 무기 염들을 언급하였지만, 예를 들어, 에틸렌 글리콜, 에탄올 또는 메탄올 등의 유기 화합물도 사용될 수 있다. 또한, 실험에 따르면, 빙점을 -20℃까지 낮추는데 4M 분자의 유기 물질이 필요하다는 것이 확인되었다.

US 2003/0095336 A1, 문단 [0063]에는, 광학부재, 특히 렌즈의 유체 몸체의 빙점을 낮추기 위해 알콜, 글리세린, 실리콘 또는 광유를 사용하는 기술이 공지되어 있다. 그렇지만, 이 렌즈는 전기습윤에 기초한 것은 아니며, 더구나 이 명세서에는, 사용될 화합물의 농도에 대한 언급이 없으며, 이 화합물의 특정한 농도의 이점에 대해서도 사시하고 있지 않다.

전술한 것과 같이, 무기 염을 구성하는 양이온들은 낮은 분자량, 바람직하게는 40u보다 작은 분자량을 갖는 것이 바람직하다.

본 발명에서 사용되는 화합물의 바람직한 그룹은, LiCl, NH₄Cl과 NaCl로 구성되는데, 이때, LiCl은 도전성 용매로 물을 사할 때의 가장 바람직한 화합물이다. 불화물 염이 원하는 빙점 강하를 제공한다면, 이 불화물 염도 사용될 수 있다.

또 다른 바람직한 그룹의 화합물들은, 양이온으로서 포름산 이온 또는 아세트산 이온을 갖는 염, 예를 들면, 포름산 암모늄 또는 포름산 리튬으로 구성된다.

더구나, 제 2의 비극성 유체의 빙점도 낮추는 것이 필요할 수 있다. 이 유체에서 사용될 바람직한 화합물들은 카본 테트라브로마이드, 트리클로로벤젠, 나프탈렌 및 비페닐이다.

전기습윤 광학 모듈로서 반전된 렌즈를 사용하는 경우에는, 도전성 액체가 비도전성 액체보다 높은 굴절률을 갖는다. 이와 같은 경우에는, 도전성 액체의 굴절률의 증가가 필요하다. 이것은, 예를 들어, 수용액이 굴절률 n=1.482를 갖는 Cs₂WO₄ 등과 같이, 양이온이 높은 분자량, 즉 40u보다 큰 분자량을 갖는 염이 사용될 때 얻어질 수 있다. n=1.37을 갖는 실리콘 오일 등의 낮은 굴절률을 갖는 비도전성 액체와 결합될 때, 큰 광학 파워를 갖는 광학 전기습윤 모듈이 제조될 수 있다.

그렇지만, 반전된 렌즈에서 도전성 액체와 비도전성 액체의 밀도 일치를 허용하기 위해서는, 비도전성 액체, 보통 실리콘 오일의 밀도와 일치하기 위해, 도전성 액체가 더 낮은 밀도를 갖는 화합물과 혼합되어야 할 필요가 있다.

광학 전기습윤 모듈의 일례로서 전기습윤 렌즈에 한정하여 설명을 하였지만, 본 발명이 이러한 렌즈에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은, 가변 초점 렌즈, 줌 렌즈, 조리개, 필터 및 빔 편향기 등의 광학 전기습윤 모듈 뿐만 아니라, 펌프 및 모터 등의 기계적인 전기습윤 모듈에도 사용될 수도 있다.

Claims (17)

1. 적어도 제 1 도전성 또는 극성 유체 중 어느 하나로 이루어진 제 1 몸체와 제 2 비도전성 또는 비극성 유체 중 어느 하나로 이루어진 제 2 몸체를 포함하고 상기 몸체들이 계면에 의해 분리되는 유체 챔버와, 상기 몸체들 중에서 적어도 한 개에 힘을 가해 상기 계면의 위치 또는 형태 중 어느 하나를 변화시키는 수단을 구비한 전기습윤 모듈에 있어서,

   제 1 유체 몸체에 용해되지 않거나 혼합되지 않는 용해되거나 혼합된 화합물을 포함하는 제 2 유체 몸체 또는 상기 제 2 유체 몸체에 용해되지 않거나 혼합되지 않는 용해되거나 또는 혼합된 화합물을 포함하는 제 1 유체 몸체 중 어느 하나를 구비하고,

   상기 유체 몸체 내부의 상기 용해된 화합물의 농도는 적어도 4M/리터이고, 상기 용해된 화합물들의 양은 각각의 유체의 빙점을 -20℃보다 낮게 낮추는데 충분하며, 상기 제 1 및 제2 유체 몸체 사이의 굴절률 차이는 0.01 내지 0.3이고,

   상기 유체의 제1 몸체에 용해되거나 혼합된 상기 화합물은 염화 리튬, 염화 암모늄 및 염화 나트륨으로 구성된 그룹으로부터 선택된 무기 화합물이거나 메탄올, 에탄올 및 에틸렌 글리콜로 구성된 그룹으로부터 선택된 유기 화합물이며,

   상기 유체의 제 2 몸체에 용해되거나 혼합된 화합물은 카본 테트라브로마이드, 트리클로로벤젠, 나프탈렌 및 비페닐으로 구성된 그룹으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 전기습윤 모듈.
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 제 1항에 있어서,

   광학 부품으로 구성되고, 제 1 및 상기 제 2 유체 몸체는 다른 굴절률을 갖고, 상기 제 1 유체에 가해진 화합물은 굴절률 차이 증가 효과를 갖는 것을 특징으로 하는 전기습윤 모듈.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 제 1 유체 몸체는 전기적으로 도전성 또는 극성 중 어느 하나이고,

   상기 제 2 유체 몸체는 전기적으로 비도전성 또는 비극성 중 어느 하나이며,

   상기 전기습윤 모듈은 전기력을 가해 메니스커스 형태의 계면의 위치 또는 형태 중 어느 하나를 변화시키는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 전기습윤 모듈.
10. 제 8항에 있어서,

    상기 굴절률 차이는 0.01 내지 0.3이고, 상기 몸체들 중에서 한 개의 굴절률은 1.4보다 큰 것을 특징으로 하는 전기습윤 모듈.
11. 제 8항에 있어서,

    상기 제 1 및 상기 제 2 유체 몸체들은 유사한 밀도를 나타내는 것을 특징으로 하는 전기습윤 모듈.
12. 삭제
13. 삭제
14. 삭제
15. 삭제
16. 삭제
17. 삭제

Images