KR101100279B1

KR101100279B1 - Method of manufacturing for transfer sensor

Info

Publication number: KR101100279B1
Application number: KR1020090119265A
Authority: KR
Inventors: 김승준
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2009-12-03
Filing date: 2009-12-03
Publication date: 2011-12-30
Also published as: KR20110062517A

Abstract

이송 센서는 대상물에 수평 이동에 의해 진자 운동을 하는 진자 센서부 및 보정 자석이 내장된 브라켓을 포함한다. 진자 센서부는 수평축이 브라켓에 고정되고, 보정 자석과의 사이에 인력을 형성하는 서브 자석을 구비한다. 브라켓은 금속 재질로 이루어지며, 용접 방식을 통해 보정 자석이 내부에 매입된다. 보정 자석은 진자 센서부가 원위치로 복귀시 서브 자석과의 사이에 인력을 형성하여 진자 센서부의 흔들림을 방지한다. 이에 따라, 이송 센서는 센싱 신뢰도를 향상시킬 수 있다.The transport sensor includes a pendulum sensor unit for performing pendulum movement by horizontal movement on the object and a bracket in which a correction magnet is incorporated. The pendulum sensor unit has a sub-magnet whose horizontal axis is fixed to the bracket and forms an attraction force with the correction magnet. The bracket is made of metal and the correction magnet is embedded inside by welding. The correction magnet forms an attraction force with the sub-magnet when the pendulum sensor unit returns to its original position, thereby preventing the pendulum sensor unit from shaking. Accordingly, the transfer sensor can improve the sensing reliability.

Description

이송 센서의 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING FOR TRANSFER SENSOR}Method of manufacturing the transfer sensor {METHOD OF MANUFACTURING FOR TRANSFER SENSOR}

본 발명은 이송 센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 반송 여부를 센싱하는 이송 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a transfer sensor, and more particularly, to a transfer sensor for sensing whether a substrate is conveyed and a manufacturing method thereof.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 소정의 정보를 표시하는 표시 패널(display panel)을 가진다. 지금까지 표시 패널로는 주로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 액정 디스플레이(LCD)와 같은 평판 표시 패널의 사용이 급격히 증대하고 있다. Recently, information processing devices have been rapidly developed to have various types of functions and faster information processing speeds. Such an information processing apparatus has a display panel which displays predetermined information. Until now, a cathode ray tube monitor has been mainly used as a display panel. However, in recent years, the use of flat panel displays such as liquid crystal displays (LCDs), which are light and occupy small spaces, is rapidly increasing with the rapid development of technology.

평판 표시 패널은 평판 기판에 여러 가지 처리 공정을 차례로 진행하여 형성하며, 각 처리 공정 별로 처리실을 별도로 둔다. 이와 같이, 평판 표시 패널의 제조 공정은 기판이 다수의 처리실을 이동하면서 공정이 이루어지기 때문에, 평판 표시 패널을 형성하는 장치는 처리실간 기판의 이송 여부를 감지하는 이송 센서를 구비한다.A flat panel display panel is formed by sequentially performing various processing steps on a flat substrate, and a processing chamber is separately provided for each processing step. As described above, the manufacturing process of the flat panel display panel is performed while the substrate moves through the plurality of processing chambers, and thus, the apparatus for forming the flat panel display panel includes a transfer sensor for detecting whether the substrate between the processing chambers is transferred.

이송 센서는 기판이 이송 경로 상에 위치하고, 이송되는 기판의 하부에 위치한다. 이송 센서는 기판과 접촉하는 롤러와 자석을 구비하고, 자석의 하부에 자기 센서가 구비된다. 기판이 이송 센서의 롤러를 통과하면, 이송 센서가 진자 운동을 하고, 이에 따라, 자석과 자기 센서 간의 자기장이 변한다. 자기 센서와 연결된 제어 장치는 이러한 자기장의 변화를 검출하여 상기 기판의 이송 여부를 감지한다.The transport sensor is located on the transport path and below the substrate to be transported. The transfer sensor includes a magnet and a roller in contact with the substrate, and a magnetic sensor is provided below the magnet. As the substrate passes through the rollers of the transfer sensor, the transfer sensor pendulums, thus changing the magnetic field between the magnet and the magnetic sensor. The control device connected to the magnetic sensor detects the change in the magnetic field and detects whether the substrate is transferred.

이러한 이송 센서는 기판이 통과할 때의 자기장과 기판의 통과하지 않을 때의 자기장을 구별할 수 있도록 기판이 통과하면 다시 위치로 복귀한다. 그러나, 이송 센서의 요동으로 인해 기판의 이송이 감지된 후 다시 이송 센서가 원 위치되기까지 시간 차가 발생한다.This transfer sensor returns to position when the substrate passes so that the magnetic field when the substrate passes and the magnetic field when the substrate does not pass can be distinguished. However, due to the shaking of the transfer sensor, a time difference occurs after the transfer of the substrate is detected until the transfer sensor is repositioned.

또한, 평판표시패널의 제조 공정 과정에서 발생하는 수증기 압력에 의해 이송 센서의 흔들림 현상이 발생할 수 있다. 이송 센서의 흔들림은 기판의 이송으로 오인되어 이송 센서의 신뢰도를 감소시킨다.In addition, shaking of the transfer sensor may occur due to water vapor pressure generated during the manufacturing process of the flat panel display panel. The shaking of the transfer sensor is mistaken for the transfer of the substrate to reduce the reliability of the transfer sensor.

본 발명의 목적은 신뢰도를 향상시킬 수 있는 이송 센서를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a transfer sensor that can improve the reliability.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 이송 센서를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide a method of manufacturing the transfer sensor.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 진자 운동에 의해 대상물의 반입 여부를 감지하는 이송 센서는, 진자 센서부, 브라켓, 자기 센서, 및 적어도 하나의 보정 자석으로 이루어진다.The transport sensor for detecting whether the object is carried by the pendulum motion according to one feature for realizing the object of the present invention comprises a pendulum sensor unit, a bracket, a magnetic sensor, and at least one correction magnet.

진자 센서부는 상기 대상물이 수평 이동하면서 가압하여 일시적으로 진자 운동을 하고, 하부 영역에 구비된 메인 자석과 상기 메인 자석으로부터 이격되어 상기 메인 자석의 상부에 위치하는 서브 자석을 포함한다. 브라켓은 상기 진자 센서부의 수평축을 고정하고, 금속 재질로 이루어진다. 자기 센서는 상기 진자 센서부의 아래에 구비되고, 상기 브라켓과 결합하며, 상기 메인 자석과의 사이에 자기장을 형성한다. 보정 자석은 용접 방식을 통해 상기 브라켓 내에 매입되고, 상기 서브 자석과 인접하게 위치하며, 상기 진자 센서부가 원위치로 복귀시 상기 서브 자석과의 사이에 인력을 형성하여 상기 진자 센서부의 흔들림을 방지한다.The pendulum sensor unit temporarily moves the pendulum by pressing the object while moving horizontally, and includes a main magnet provided in a lower region and a sub magnet spaced apart from the main magnet and positioned above the main magnet. The bracket fixes the horizontal axis of the pendulum sensor part and is made of a metal material. The magnetic sensor is provided under the pendulum sensor unit, is coupled to the bracket, and forms a magnetic field between the main magnet and the main magnet. The correction magnet is embedded in the bracket by a welding method, and is positioned adjacent to the sub magnet, and when the pendulum sensor unit returns to its original position, an attraction force is formed between the sub magnets to prevent shaking of the pendulum sensor unit.

또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 이송 센서의 제조 방법은 다음과 같다. 먼저, 금속 재질로 이루어진 브라켓에 적어도 하나의 보정 자석을 삽입한다. 상기 보정 자석이 삽입된 부분을 용접하여 상기 보정 자석을 상기 브라켓 내에 매입한다. 상기 보정 자석이 기 설정된 가우스 값의 자성을 갖도록 설정한다. 서브 자석이 내장된 상기 진자 센서부를 상기 서브 자석과 상기 보정 자석이 인접하도록 배치한 상태에서 상기 진자 센서부를 회전 가능하게 상기 브라켓에 결합한다. 상기 자기 센서가 상기 진자 센서부의 아래에 배치되도록 상기 자기 센서를 상기 브라켓에 결합한다.In addition, the manufacturing method of the transfer sensor according to one feature for realizing the above object of the present invention is as follows. First, at least one correction magnet is inserted into a bracket made of a metal material. The correction magnet is embedded in the bracket by welding a portion into which the correction magnet is inserted. The correction magnet is set to have magnetism of a preset Gaussian value. The pendulum sensor unit having the sub magnet embedded therein is rotatably coupled to the bracket in a state where the sub magnet and the correction magnet are disposed adjacent to each other. The magnetic sensor is coupled to the bracket such that the magnetic sensor is disposed under the pendulum sensor unit.

상술한 본 발명에 따르면, 이송 센서는 서브 자석과 보정 자석 간의 자기장을 이용하여 진자 센서부의 흔들림을 방지할 수 있다. 이에 따라, 이송 센서는 대상물의 반입 여부를 정확하게 검출할 수 있으므로, 신뢰도를 향상시킬 수 있다.According to the present invention described above, the transfer sensor can prevent the pendulum sensor unit from shaking by using a magnetic field between the sub magnet and the correction magnet. Accordingly, the transfer sensor can accurately detect whether or not the object is carried in, thereby improving the reliability.

또한, 이송 센서는 금속 재질의 브라켓을 구비하고, 조립시, 보정 자석을 브라켓에 매입하는 과정에서 보정 자석의 자성을 다시 복구시키는 과정이 수행된다. 이에 따라, 이송 센서는 고온 공정을 수행하는 장치에 적용될 수 있다.In addition, the transfer sensor includes a metal bracket, and during assembly, a process of restoring the magnetism of the correction magnet is performed in the process of embedding the correction magnet in the bracket. Accordingly, the transfer sensor can be applied to an apparatus that performs a high temperature process.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 센서를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 센서를 나타낸 평면도이다.1 is a perspective view showing a transfer sensor according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view showing the transfer sensor shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 이송 센서(100)는 브라켓(110), 진자 센서부(120) 및 센서 튜브(130)를 포함한다.1 and 2, the transfer sensor 100 of the present invention includes a bracket 110, a pendulum sensor unit 120, and a sensor tube 130.

상기 브라켓(110)은 제1 및 제2 지지부(111, 113)를 포함할 수 있고, 내열성의 금속 재질, 예컨대, 스테인리스 재질로 이루어진다. 이와 같이, 상기 브라켓(110)이 내열성의 금속 재질로 이루어지므로, 고온 박리 공정을 수행하는 장치에 상기 이송 센서(100)를 적용할 수 있다.The bracket 110 may include first and second support parts 111 and 113, and may be made of a heat resistant metal material, for example, stainless steel material. As such, since the bracket 110 is made of a heat resistant metal material, the transfer sensor 100 may be applied to a device that performs a high temperature peeling process.

구체적으로, 상기 제1 및 제2 지지부(111, 113)는 'L' 형성을 갖고, 상기 진 자 센서부(120)를 지지하며, 기판을 이송하는 이송 장치(미도시)에 결합되어 상기 이송 센서(100)를 상기 이송 장치에 고정시킨다.In detail, the first and second support parts 111 and 113 have an L shape, support the pendulum sensor part 120, and are coupled to a transfer device (not shown) that transfers a substrate to the transfer. The sensor 100 is fixed to the transfer device.

상기 제1 및 제2 지지부(111)에는 상기 진자 센서부(120)를 원위치시키는 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)이 내장되고, 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)은 각각 영구 자석으로 이루어진다. 상기 제1 보정 자석(111a)은 상기 제1 지지부(111)에 내장되고, 상기 제2 보정 자석(113a)은 상기 제2 지지부(113)에 내장되어 상기 제1 보정 자석(111a)과 마주한다.First and second correction magnets 111a and 113a are provided in the first and second support parts 111 to return the pendulum sensor unit 120 to the original position. The first and second correction magnets 111a and 113a are embedded. Are each made of permanent magnets. The first correction magnet 111a is embedded in the first support 111, and the second correction magnet 113a is embedded in the second support 113 to face the first correction magnet 111a. .

이 실시예에 있어서, 상기 이송 센서(100)는 두 개의 보정 자석(111a, 113a)을 구비하나, 상기 보정 자석(111a, 113a)의 개수는 상기 보정 자석(111a, 113a)의 자력에 따라 증가하거나 감소할 수 있다. 또한, 이 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)은 서로 다른 극성을 갖는다.In this embodiment, the transfer sensor 100 has two correction magnets 111a and 113a, but the number of the correction magnets 111a and 113a increases with the magnetic force of the correction magnets 111a and 113a. Can be reduced. In addition, in this embodiment, the first and second correction magnets 111a and 113a have different polarities.

상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)은 용접 방식을 통해 상기 제1 및 제2 지지부(111, 113) 내에 매입된다. 따라서, 상기 제1 및 제2 지지부(111, 113)에는 상기 보정 자석(111a, 113a)이 매입된 부분에 용접 라인(SL)이 각각 형성된다.The first and second correction magnets 111a and 113a are embedded in the first and second support portions 111 and 113 by a welding method. Therefore, the welding lines SL are formed in the first and second support parts 111 and 113 at portions where the correction magnets 111a and 113a are embedded.

상기 제1 지지부(111)와 상기 제2 지지부(113)의 사이에는 상기 진자 센서부(120)가 설치된다. 상기 진자 센서부(120)는 바디부(121), 롤러(122), 지지축(123), 메인 자석(124), 서브 자석(125), 및 고정 롤러(126)를 포함한다.The pendulum sensor part 120 is installed between the first support part 111 and the second support part 113. The pendulum sensor unit 120 includes a body 121, a roller 122, a support shaft 123, a main magnet 124, a sub magnet 125, and a fixing roller 126.

구체적으로, 상기 바디부(121)는 원 기둥 형상을 갖고, 길이 방향으로 연장된 수직축이 지면에 대해 수직하게 배치된다. 상기 바디부(121)의 상부에는 상기 롤러(122)가 고정된다. 기판 이송시, 상기 롤러(122)는 상기 기판의 하면과 직접적 으로 접하고, 상기 기판의 수평 이동에 의해 회전한다.Specifically, the body 121 has a circular columnar shape, the vertical axis extending in the longitudinal direction is disposed perpendicular to the ground. The roller 122 is fixed to the upper portion of the body 121. During substrate transfer, the roller 122 is in direct contact with the bottom surface of the substrate and rotates by horizontal movement of the substrate.

상기 지지축(123)은 상기 지면에 대해 평행하기 배치되고, 상기 바디부(121)의 길이 방향과 수직하는 방향으로 연장된다. 상기 지지축(123)은 상기 바디부(121)를 관통하여 상기 바디부(121)의 수평축 기능을 한다. 상기 지지축(123)은 양 단부가 각각 상기 제1 및 제2 지지부(111, 113)에 결합되어 상기 바디부(121)를 상기 제1 및 제2 지지축(111, 113)에 고정시킨다. 상기 바디부(121)는 상기 기판이 상기 진자 센서부(120)의 롤러(122)를 통과하면, 상기 지지축(123)을 중심으로 진자 운동을 한다.The support shaft 123 is disposed parallel to the ground, and extends in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the body portion 121. The support shaft 123 penetrates through the body 121 to function as a horizontal axis of the body 121. Both ends of the support shaft 123 are coupled to the first and second support portions 111 and 113, respectively, to fix the body portion 121 to the first and second support shafts 111 and 113. When the substrate passes through the roller 122 of the pendulum sensor unit 120, the body 121 performs pendulum movement about the support shaft 123.

상기 메인 자석(124)은 상기 바디부(121)의 하부 영역에 내장되고, 상기 센서 튜브(130)와의 사이에 자기장을 형성한다.The main magnet 124 is embedded in the lower region of the body 121, and forms a magnetic field between the main magnet 124 and the sensor tube 130.

상기 서브 자석(125)은 상기 바디부(121)에 내장되어 상기 제1 및 제2 보정자석(111a, 113a)과 인접하게 위치한다. 상기 서브 자석(125)은 상기 제1 보정 자석(111a)과 상기 제2 보정 자석(113a)의 사이에 위치하고, 서로 다른 극성을 갖는 제1 및 제2 서브 자석(125a, 125b)으로 이루어진다. 상기 제1 서브 자석(125a)은 상기 제1 보정 자석(111a)과 인접하게 위치하고, 상기 제1 보정 자석(111a)과의 사이에 인력을 형성한다. 상기 제2 서브 자석(125b)은 상기 제2 보정 자석(113a)과 인접하게 위치하고, 상기 제2 보정 자석(113a)과의 사이에 인력을 형성한다.The sub magnet 125 is embedded in the body part 121 and positioned adjacent to the first and second correction magnets 111a and 113a. The sub magnet 125 is positioned between the first correction magnet 111a and the second correction magnet 113a and includes first and second sub magnets 125a and 125b having different polarities. The first sub magnet 125a is positioned adjacent to the first correction magnet 111a and forms an attraction force with the first correction magnet 111a. The second sub-magnet 125b is positioned adjacent to the second correction magnet 113a and forms an attraction force with the second correction magnet 113a.

이와 같이, 상기 서브 자석(125)과 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)과의 사이에 인력이 작용하므로, 상기 진자 센서부(120)는 상기 기판이 상기 진자 센서부(120)를 통과한 이후에는 상기 바디부(121)의 진자 운동이 반복되지 않고 바 로 원위치로 복귀할 수 있다. 이에 따라, 상기 진자 센서부(120)는 상기 기판이 통과한 시점으로부터 상기 바디부(121)가 원위치로 복귀하는 시점까지의 시간을 단축시키고, 외부 압력에 의한 상기 바디부(121)의 흔들림 현상을 방지한다. 따라서, 상기 이송 센서(100)는 신뢰도를 향상시킬 수 있다.In this way, since the attraction force between the sub-magnet 125 and the first and second correction magnets (111a, 113a), the pendulum sensor unit 120 is the substrate is the pendulum sensor unit 120 After passing through, the pendulum movement of the body 121 may return to its original position without being repeated. Accordingly, the pendulum sensor unit 120 shortens the time from the time point at which the substrate passes to the time point at which the body 121 returns to the original position, and shakes the body portion 121 due to external pressure. To prevent. Therefore, the transfer sensor 100 may improve reliability.

상기 고정 롤러(126)는 상기 지지축(123)에 결합되고, 상기 바디부(121)의 양 측에 각각 구비된다. 상기 고정 롤러(126)는 상기 바디부(121)와 상기 브라켓(110)과의 사이에 개재되어 상기 바디부(121)가 상기 지지축(123)을 따라 상기 브라켓(110) 측으로 수평 이동하는 것을 방지한다.The fixing roller 126 is coupled to the support shaft 123 and provided on both sides of the body portion 121, respectively. The fixing roller 126 is interposed between the body portion 121 and the bracket 110 to move the body portion 121 horizontally toward the bracket 110 along the support shaft 123. prevent.

한편, 상기 진자 센서부(120)의 아래에는 상기 센서 튜브(130)가 설치된다. 상기 센서 튜브(130)는 상기 지지축(123)과 동일한 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 지지축(123)과 평행하게 배치된다. 상기 센서 튜브(130)에는 자기 센서(Magnetic sensor)(131)가 내장된다. 상기 자기 센서(131)는 상기 메인 자석(124)과 대응하여 위치하고, 상기 메인 자석(124)과의 사이에 자기장을 형성한다.On the other hand, the sensor tube 130 is installed below the pendulum sensor unit 120. The sensor tube 130 extends in the same direction as the support shaft 123 and is disposed in parallel with the support shaft 123. The sensor tube 130 includes a magnetic sensor 131. The magnetic sensor 131 is positioned to correspond to the main magnet 124 and forms a magnetic field between the main magnet 124 and the main magnet 124.

상기 센서 튜브(130)는 외부의 제어부(미도시)와 연결되고, 상기 제어부는 상기 자기 센서(131)와 상기 메인 자석(124) 간의 자기장 변화를 감지하여 상기 기판의 반입 여부를 감지한다.The sensor tube 130 is connected to an external controller (not shown), and the controller detects whether the substrate is loaded by detecting a magnetic field change between the magnetic sensor 131 and the main magnet 124.

이하, 도면을 참조하여 상기 이송 센서(100)의 동작 과정을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an operation process of the transfer sensor 100 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 도 1에 도시된 이송 센서의 동작 과정을 나타낸 부분 사시도이다.3 is a partial perspective view illustrating an operation process of the transfer sensor illustrated in FIG. 1.

도 2 및 도 3을 참조하면, 먼저, 상기 기판이 상기 진자 센서부(120)의 상부로 이송되어 상기 기판의 하면과 상기 롤러(122)가 맞닿는다.2 and 3, first, the substrate is transferred to an upper portion of the pendulum sensor unit 120 so that the lower surface of the substrate and the roller 122 contact each other.

상기 기판은 상기 롤러(122)를 밀면서 수평 이동하므로, 상기 롤러(122)는 회전하면서 상기 기판이 이동하는 방향으로 이동한다. 이에 따라, 상기 진자 센서부(120)의 바디부(121)는 수직축이 상기 지면에 대해 수직하게 위치한 상태에서 상기 기판의 하중과 수평 이동에 의하여 일시적으로 상기 지면에 대해 경사지게 위치한다. 즉, 상기 바디부(121)는 상기 기판의 하중과 수평 이동에 의해 일시적으로 상기 지지축(123)을 중심으로 진자 운동을 한다.Since the substrate moves horizontally while pushing the roller 122, the roller 122 moves in the direction in which the substrate moves while rotating. Accordingly, the body 121 of the pendulum sensor unit 120 is temporarily inclined with respect to the ground by the load and the horizontal movement of the substrate while the vertical axis is perpendicular to the ground. That is, the body 121 temporarily pendulums about the support shaft 123 by the load and the horizontal movement of the substrate.

이에 따라, 상기 메인 자석(124)의 위치가 변경되므로, 상기 메인 자석(124)과 상기 자기 센서(131) 간의 거리가 상기 바디부(121)의 수직축이 상기 지면에 대해 수직하게 배치될 때보다 증가한다. 따라서, 상기 메인 자석(124)과 상기 자기 센서(131)의 자기장이 변경되고, 상기 제어부는 이러한 자기장의 변화를 감지하여 상기 기판의 반입을 감지한다.Accordingly, since the position of the main magnet 124 is changed, the distance between the main magnet 124 and the magnetic sensor 131 is less than when the vertical axis of the body portion 121 is perpendicular to the ground. Increases. Accordingly, the magnetic fields of the main magnet 124 and the magnetic sensor 131 are changed, and the controller detects the change of the magnetic field to detect the loading of the substrate.

상기 기판이 상기 진자 센서부(120)를 통과한 후에는, 상기 기판으로부터 상기 롤러(122)에 가해진 압력이 소멸되므로, 상기 진자 센서부(120)는 상기 메인 자석(124)의 중량에 의해 다시 원위치로 복귀된다. 즉, 상기 진자 센서부(120)의 수직축이 상기 지면에 대해 수직하게 배치된다.After the substrate passes through the pendulum sensor unit 120, since the pressure applied to the roller 122 from the substrate is dissipated, the pendulum sensor unit 120 is again caused by the weight of the main magnet 124. It returns to its original position. That is, the vertical axis of the pendulum sensor unit 120 is disposed perpendicular to the ground.

이때, 상기 제1 서브 자석(125a)과 상기 제1 보정 자석(111a) 간의 인력과 상기 제2 서브 자석(125b)과 제2 보정 자석(113a) 간의 인력에 의해 상기 진자 센서부(120)의 위치가 고정된다. 이에 따라, 상기 진자 센서부(120)의 흔들림 현상이 방지되므로, 상기 이송 센서(100)는 상기 기판의 반입 여부를 정확하게 검출할 수 있고, 신뢰도를 향상시킬 수 있다.At this time, the pendulum sensor unit 120 may be moved by the attraction force between the first sub magnet 125a and the first correction magnet 111a and the attraction force between the second sub magnet 125b and the second correction magnet 113a. The position is fixed. Accordingly, since the shaking phenomenon of the pendulum sensor unit 120 is prevented, the transfer sensor 100 can accurately detect whether the substrate is loaded and improve reliability.

이러한 이송 센서(100)는 금속 재질의 브라켓(110)을 구비하므로, 폴리염화비닐(polyvinyl chloride : PVC) 재질로 이루어진 브라켓에 보다 내열성이 강하고, 이에 따라, 고온 공정에도 적용될 수 있다. 이와 같이, 브라켓(110)이 금속 재질로 이루어지므로, 상기 보정 자석들(111a, 113a)이 용접 방식을 통해 브라켓(110) 내에 내장되어야 한다. 그러나, 보정 자석들(111a, 113a)과 같은 영구 자석은 고온에 약해 용접 과정에서 자성을 잃을 수 있다. 이를 방지하기 위해, 상기 이송 센서(100) 조립시 용접 공정 후 상기 보정 자석들(111a, 113b)이 다시 자성을 갖도록하는 공정이 추가된다.Since the transfer sensor 100 includes the metal bracket 110, the transfer sensor 100 is more heat resistant to the bracket made of polyvinyl chloride (PVC), and thus may be applied to a high temperature process. As such, since the bracket 110 is made of a metal material, the correction magnets 111a and 113a should be embedded in the bracket 110 through a welding method. However, permanent magnets such as correction magnets 111a and 113a may be weak to high temperatures and lose their magnetism in the welding process. In order to prevent this, a process of adding the magnets to the correction magnets 111a and 113b after the welding process when the transfer sensor 100 is assembled is added.

이하, 도면을 참조하여 상기 제1 및 제2 보정 자석들(111a, 113b)을 상기 브라켓(110)에 조립 과정을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a process of assembling the first and second correction magnets 111a and 113b to the bracket 110 will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 도 1에 도시된 제1 및 제2 보정 자석들을 브라켓에 매입하는 과정을 나타낸 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a process of embedding the first and second correction magnets illustrated in FIG. 1 into a bracket.

도 1 및 도 4를 참조하면, 먼저, 상기 제1 및 제2 지지부(111, 113)에 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)을 각각 삽입한다(단계 S110).1 and 4, first, first and second correction magnets 111a and 113a are inserted into the first and second support portions 111 and 113, respectively (step S110).

이어, 상기 제1 및 제2 지지부(111, 113)의 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)이 삽입된 부분을 용접하여 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)을 상기 제1 및 제2 지지부(111, 113)에 각각 매입한다(단계 S120). 상기 제1 및 제2 지지부(111, 113)에 매입된 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113)은 상기 용 접 과정에서 발생된 열에 의해 자성을 잃게 된다.Subsequently, the first and second correction magnets 111a and 113a of the first and second support portions 111 and 113 are welded to each other to insert the first and second correction magnets 111a and 113a. It embeds in the 1st and 2nd support part 111 and 113, respectively (step S120). The first and second correction magnets 111a and 113 embedded in the first and second support parts 111 and 113 lose their magnetism by the heat generated during the welding process.

이어, 자성을 잃은 영구 자석이 다시 자성을 띠게 하는 자성 부여 장치(미도시)를 이용하여 상기 자성을 잃은 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)이 기 설정된 가우스 값의 자성을 갖도록 설정한다(단계 S130). 이에 따라, 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)이 다시 자성을 띠게 된다. 이때, 상기 자성 부여 장치는 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)이 자성을 다시 갖도록 해줄 뿐만 아니라, 상기 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113b)의 가우스 값 또한 특정 값으로 설정할 수 있다. 따라서, 상기 이송 센서(100)는 상기 이송 센서(100)가 적용되는 공정 장치에 공정 조건에 적합한 가우스 값을 갖는 제1 및 제2 보정 자석(111a, 113a)을 구비할 수 있으므로, 센싱 효율을 향상시킬 수 있다.Subsequently, the first and second correction magnets 111a and 113a that have lost the magnetism are set to have magnetism of a preset Gauss value by using a magnetization device (not shown) that causes the permanent magnet having lost magnetism to become magnetic again. (Step S130). Accordingly, the first and second correction magnets 111a and 113a become magnetic again. In this case, the magnetizing device not only causes the first and second correction magnets 111a and 113a to have the magnetism again, but also sets a Gaussian value of the first and second correction magnets 111a and 113b to a specific value. Can be. Therefore, the transfer sensor 100 may include the first and second correction magnets 111a and 113a having a Gaussian value suitable for the process conditions in the process apparatus to which the transfer sensor 100 is applied, thereby improving sensing efficiency. Can be improved.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the embodiments above, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 센서를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a transport sensor according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 이송 센서를 나타낸 평면도이다.FIG. 2 is a plan view illustrating the transfer sensor of FIG. 1. FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Description of the Related Art [0002]

100 : 이송 센서 110 : 브라켓100: transfer sensor 110: bracket

120 : 진자 센서부 130 : 센서 튜브120: pendulum sensor unit 130: sensor tube

Claims

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하부 영역에 메인 자석이 내장되고 대상물이 수평 이동하면서 가압하여 일시적으로 진자 운동을 하는 진자 센서부, 및 상기 진자 센서부의 아래에 구비어 상기 메인 자석과의 사이에 자기장을 형성하는 자기 센서를 구비하고, 진자 운동에 의해 상기 대상물의 반입 여부를 감지하는 이송 센서의 제조 방법에 있어서,A pendulum sensor unit having a main magnet embedded in the lower region and temporarily moving the object by moving the object horizontally; and a magnetic sensor provided below the pendulum sensor unit to form a magnetic field between the main magnet and the pendulum sensor unit. In the manufacturing method of the transport sensor for detecting whether the object is carried in by pendulum movement,

금속 재질로 이루어진 브라켓에 적어도 하나의 보정 자석을 삽입하는 단계;Inserting at least one correction magnet into a bracket made of a metal material;

상기 보정 자석이 삽입된 부분을 용접하여 상기 보정 자석을 상기 브라켓 내에 매입하는 단계;Welding the portion into which the correction magnet is inserted and embedding the correction magnet in the bracket;

상기 보정 자석이 기 설정된 가우스 값의 자성을 갖도록 설정하는 단계;Setting the correction magnet to have magnetism of a preset Gaussian value;

서브 자석이 내장된 상기 진자 센서부를 상기 서브 자석과 상기 보정 자석이 인접하도록 배치한 상태에서 상기 진자 센서부를 회전 가능하게 상기 브라켓에 결합하는 단계; 및Coupling the pendulum sensor unit to the bracket to be rotatable in a state in which the pendulum sensor unit in which the sub magnet is embedded is disposed such that the sub magnet and the correction magnet are adjacent to each other; And

상기 자기 센서가 상기 진자 센서부의 아래에 배치되도록 상기 자기 센서를 상기 브라켓에 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 센서 제조 방법.And coupling the magnetic sensor to the bracket such that the magnetic sensor is disposed under the pendulum sensor unit.

제5항에 있어서,The method of claim 5,

상기 보정 자석은 상기 브라켓의 서로 마주하는 제1 및 제2 지지부 각각에 삽입되고,The correction magnet is inserted into each of the first and second support portions facing each other of the bracket,

상기 진자 센서부는 상기 제1 및 제2 지지부 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 센서 제조 방법.And the pendulum sensor unit is disposed between the first and second supports.

제6항에 있어서,The method of claim 6,

상기 제1 지지부에 삽입된 보정 자석과 상기 제2 지지부에 삽입된 보정 자석은 상기 서브 자석과 인접한 극이 서로 다르도록 배치되고,The correction magnet inserted into the first support portion and the correction magnet inserted into the second support portion are arranged such that the poles adjacent to the sub magnets are different from each other.

상기 서브 자석은 상기 제1 지지부에 삽입된 보정 자석과 인접한 극과 상기 제2 지지부에 삽입된 보정 자석과 인접한 극이 서로 다르도록 배치되는 것을 특징으로 하는 이송 센서 제조 방법.And the sub magnet is disposed such that a pole adjacent to the correction magnet inserted into the first support portion and a pole adjacent to the correction magnet inserted into the second support portion are different from each other.