KR100706664B1 - Pendulum sensor and method for sensing substrate transfer using the same - Google Patents

Pendulum sensor and method for sensing substrate transfer using the same

Info

Publication number
KR100706664B1
KR100706664B1 KR1020050094396A KR20050094396A KR100706664B1 KR 100706664 B1 KR100706664 B1 KR 100706664B1 KR 1020050094396 A KR1020050094396 A KR 1020050094396A KR 20050094396 A KR20050094396 A KR 20050094396A KR 100706664 B1 KR100706664 B1 KR 100706664B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pendulum
weight
substrate
sensor
magnet
Prior art date
Application number
KR1020050094396A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김형배
함준호
배용길
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020050094396A priority Critical patent/KR100706664B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100706664B1 publication Critical patent/KR100706664B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/46—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring amplitude of generated current or voltage
    • G01P3/465—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring amplitude of generated current or voltage by using dynamo-electro tachometers or electric generator
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/12—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using a single pendulum plumb lines G01C15/10
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/135—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by making use of contacts which are actuated by a movable inertial mass
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 진자 센서에 관한 것으로, 진자추의 진자 운동에 따른 도선의 전류 변화로써 공작물의 반송 여부를 센싱하는 진자 센서에 있어서, 상기 진자추의 진자 운동시 자체 중량에 의해 상기 진자추가 원래 위치로 복귀하지 않더라도 상기 진자추와의 상호 작용으로 척력을 발생시켜 상기 진자추를 강제적으로 원래 위치로 복귀시키는 자성체를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 진자추의 축으로 유체 및 기타 이물질이 유입되어 축의 기능을 온전히 발휘하지 못하여 진자추 자체의 중량에 의한 원위치 동작을 하지 못하게 되더라도 자석의 척력으로써 진자추를 원위치로 가져가게 할 수 있다.The present invention relates to a pendulum sensor, comprising: a pendulum sensor for sensing whether a workpiece is conveyed by a change in electric current of a wire according to a pendulum movement of a pendulum, and the pendulum is moved to its original position by its own weight during pendulum movement of the pendulum It is characterized in that it comprises a magnetic material forcibly returning the pendulum to its original position by generating a repulsive force by interaction with the pendulum, even if it does not return. According to the present invention, even if fluid and other foreign matter enters the shaft of the pendulum, the pendulum can be brought to its original position by the repulsive force of the magnet, even if it does not fully perform the function of the shaft and does not perform the home position operation by the weight of the pendulum itself. have.

진자 센서, 기판 반송, 자석 Pendulum sensor, board carrier, magnet

Description

진자 센서 및 이를 이용한 기판 이송 센싱 방법{PENDULUM SENSOR AND METHOD FOR SENSING SUBSTRATE TRANSFER USING THE SAME}Pendulum sensor and substrate transfer sensing method using same {PENDULUM SENSOR AND METHOD FOR SENSING SUBSTRATE TRANSFER USING THE SAME}

도 1은 종래 기술에 따른 진자 센서를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a pendulum sensor according to the prior art.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진자 센서를 도시한 사시도.2 is a perspective view showing a pendulum sensor according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진자 센서에 있어서 진자추의 원위치 동작을 도시한 사시도.Figure 3 is a perspective view showing the home position operation of the pendulum pendulum in the pendulum sensor according to the embodiment of the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100; 진자 센서 110; 몸체100; Pendulum sensor 110; Body

120; 진자추 125; 축120; Pendulum 125; shaft

130; 롤러 140; 도선130; Roller 140; ferry

150; 자석 155; 진자추 하부150; Magnet 155; Pendulum

본 발명은 센서에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 반송 여부를 센싱하는 진자 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a sensor, and more particularly to a pendulum sensor for sensing whether the substrate is conveyed.

액정 디스플레이와 플라즈마 디스플레이와 같은 디스플레이 장치에는 평판형 유리 기판이 일반적으로 사용된다. 이러한 평판 기판에 대한 여러 가지 처리 공정 을 차례로 진행하는 경우에 기판은 처리실간에 이송된다. 이 경우 처리실간 기판의 이송 여부를 감지하는 센서로서 도 1에 도시된 바와 같은 진자 센서가 이용되는 것이 종래이다.Flat panel glass substrates are generally used in display devices such as liquid crystal displays and plasma displays. In the case where various processing processes for such a flat substrate are sequentially performed, the substrate is transferred between the processing chambers. In this case, a pendulum sensor as shown in FIG. 1 is conventionally used as a sensor for detecting whether a substrate between processing chambers is transferred.

도 1을 참조하면, 종래의 진자 센서(10)는 이송되는 기판과 직접 접촉하는 롤러(13)가 상부에 구비되어 기판과 접촉함에 따라 진자 운동을 하는 진자추(12)가 몸체(11)에 지지되어 있고, 진자추(12) 하부에 상당하는 몸체(11)의 하부에는 전류가 흐를 수 있는 도선(14)이 설치되어 있다.Referring to FIG. 1, the conventional pendulum sensor 10 includes a roller 13 directly contacting a substrate to be transported, and a pendulum weight 12 for pendulum motion according to contact with the substrate is provided on the body 11. It is supported, and the conducting wire 14 through which an electric current can flow is provided in the lower part of the body 11 corresponded to the pendulum 12 below.

진자추(12)는 자석으로 구성되어 있는데, 기판의 이송되어 롤러(13)에 접촉하게 되면 진자추(12)는 비스듬히 기울지게 된다. 기판의 이송이 완료되게 되면 진자추(12)는 그 자체의 중량에 의해 비스듬한 상태에서 수직 상태로 원위치하게 된다. 그러므로, 진자추(12)가 진자 운동함에 따라 도선(14)과의 거리가 변화하고, 이에 따라 전류가 변화하게 되어 이로써 기판의 이송 여부를 확인한다.Pendulum 12 is composed of a magnet, the pendulum 12 is inclined at an angle when the substrate is transported to contact the roller 13. When the transfer of the substrate is completed, the pendulum 12 is returned to its normal position in an oblique state by the weight of itself. Therefore, as the pendulum weight 12 pendulum moves, the distance from the conducting wire 14 changes, and accordingly, the current changes, thereby checking whether the substrate is transported.

그런데, 몸체(11)에 진자추(12)가 지지되는 부분(A)으로 기판으로부터 약액이나 초순수와 같은 유체 및 기타 이물질이 떨어지는 현상이 발생할 수 있다. 이와 같이 그 부분(A)에 유체 및 기타 이물질이 유입되게 됨으로써 진자추(12)의 원할한 진자 운동을 방해할 수 있다. 따라서, 진자추(12)가 원위치에 도달하지 못하고 비슴듬히 멈춰서게 되어 진자 센서(10)의 센싱 동작에 불량을 일으키는 문제가 발생할 수 있다. 진자 센서(10)의 동작 불량은 곧바로 기판 반송에 문제를 일으켜 기판 처리 공정에 방해물로 작용하여 기판 처리 공정에 악영향을 끼칠 수 있는 문제가 있다.However, a phenomenon in which a fluid such as chemical liquid or ultrapure water and other foreign substances fall from the substrate to the portion A in which the pendulum 12 is supported on the body 11 may occur. As such, fluid and other foreign matter may enter the portion A, thereby preventing smooth pendulum movement of the pendulum 12. Therefore, the pendulum 12 does not reach its home position and stops at an angle, which may cause a problem in the sensing operation of the pendulum sensor 10. The poor operation of the pendulum sensor 10 immediately causes a problem in the substrate transfer, which acts as an obstacle to the substrate processing process, which may adversely affect the substrate processing process.

본 발명은 상술한 종래 기술상의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 진자추의 진자 운동에 장애가 일어나지 않아 기판 반송 여부를 양호하게 센싱할 수 있는 진자 센서를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above-described problems in the prior art, an object of the present invention is to provide a pendulum sensor that can sense the substrate conveyance well because the pendulum movement of the pendulum does not occur.

상기 목적을 달성할 수 있는 본 발명에 따른 진자 센서는 진자추의 진자 운동시 진자추 자체의 중량 이외에 강제적으로 진자추를 원위치로 가져가게 하는 것을 특징으로 한다.Pendulum sensor according to the present invention that can achieve the above object is characterized in that forcing the pendulum to the original position in addition to the weight of the pendulum itself during the pendulum movement of the pendulum.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 진자 센서는, 진자추의 진자 운동에 따른 도선의 전류 변화로써 공작물의 반송 여부를 센싱하는 진자 센서에 있어서, 상기 진자추의 진자 운동시 자체 중량에 의해 상기 진자추가 원래 위치로 복귀하지 않더라도 상기 진자추와의 상호 작용으로 척력을 발생시켜 상기 진자추를 강제적으로 원래 위치로 복귀시키는 자성체를 포함하는 것을 특징으로 한다.Pendulum sensor according to an embodiment of the present invention capable of realizing the above characteristics, in the pendulum sensor for sensing whether the workpiece is conveyed by the current change of the wire according to the pendulum movement of the pendulum, the weight of the pendulum By the pendulum is characterized in that it comprises a magnetic material forcibly returning the pendulum to the original position by generating a repulsive force by interaction with the pendulum weight even if it does not return to the original position.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 자성체는 상기 진자추의 진자 운동의 전후 방향에 각각 배치된다.In an embodiment of the present invention, the magnetic body is disposed in the front and rear direction of the pendulum motion of the pendulum weight, respectively.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 변형 실시예에 따른 진자 센서는, 몸체와, 상기 몸체에 진자 운동 가능하게 조합된 자석으로 구성된 진자추와, 상기 몸체에 배치되어 상기 진자추와의 상호작용으로 발생된 척력으로 상기 진자추를 경사 상태에서 수직 상태로 복귀시키는 자성체와, 상기 진자추의 진자 운동에 의해 전류 변화가 일어나는 도선을 포함하는 것을 특징으로 한다.Pendulum sensor according to a modified embodiment of the present invention that can implement the feature, the pendulum consisting of a body, a magnet coupled to the pendulum movement to the body, and disposed on the body to interact with the pendulum It characterized in that it comprises a magnetic body for returning the pendulum weight from the inclined state to the vertical state by the generated repulsive force, and the conducting wire changes current by the pendulum movement of the pendulum weight.

본 발명의 변형 실시예에 있어서, 상기 자성체는 상기 진자추의 진자 운동의 전후 방향에 각각 배치된 제1 자석과 제2 자석을 포함한다. 상기 제1 및 제2 자석은 상기 진자추의 하부쪽 극성과 동일한 극성을 갖는다.In a modified embodiment of the present invention, the magnetic body includes a first magnet and a second magnet disposed in the front and rear direction of the pendulum motion of the pendulum. The first and second magnets have the same polarity as the lower polarity of the pendulum weight.

본 발명의 변형 실시예에 있어서, 상기 진자추는 그 자체의 무게 중심이 하부에 형성되어 있어 진자 운동시 그 자체의 중량에 의해 수직 상태로 복귀 가능하다. 상기 진자추는 롤러를 포함하며, 소정의 공작물이 상기 롤러에 직접 맞닿는 경우 상기 수직 상태에서 경사 상태로 회동한다.In a modified embodiment of the present invention, the pendulum weight has its own center of gravity is formed at the bottom, it is possible to return to the vertical state by the weight of the pendulum movement itself. The pendulum pendulum includes a roller, and rotates from the vertical state to the inclined state when a predetermined workpiece directly contacts the roller.

본 발명에 의하면, 진자추를 중심위치로 밀어낼 수 있는 자석을 구비함으로써 진자추 자체의 중량 이외에 자력으로 진자추의 원위치 동작을 강제적으로 실현할 수 있다. 이에 따라, 진자추의 축으로 유체 및 기타 이물질이 유입되어 축의 기능을 온전히 발휘하지 못하여 진자추 자체의 중량에 의한 원위치 동작을 하지 못하게 되더라도 자석의 척력으로써 진자추를 원위치로 가져가게 할 수 있다. 그러므로, 진자추의 원위치 동작 불량에 따른 진자 센서의 센싱 불량을 원천적으로 제거할 수 있게 된다.According to the present invention, by providing a magnet capable of pushing the pendulum weight to the center position, the original position operation of the pendulum can be forcibly realized by magnetic force in addition to the weight of the pendulum weight itself. Accordingly, even if the pendulum penetrates the pendulum due to the repulsive force of the magnet, even if fluids and other foreign matter are introduced to the shaft of the pendulum to prevent the full-function of the shaft and the in situ operation by the weight of the pendulum itself is prevented. Therefore, the sensing failure of the pendulum sensor due to the in-situ malfunction of the pendulum can be eliminated at the source.

이하, 본 발명에 따른 진자 센서를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, a pendulum sensor according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.Advantages over the present invention and prior art will become apparent through the description and claims with reference to the accompanying drawings. In particular, the present invention is well pointed out and claimed in the claims. However, the present invention may be best understood by reference to the following detailed description in conjunction with the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements throughout the various drawings.

(실시예)(Example)

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진자 센서를 도시한 사시도이다.2 is a perspective view illustrating a pendulum sensor according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 진자 센서(100)는 자석으로 구성된 진자추(120)가 몸체(110)에 진자 운동이 가능하도록 지지되어 있다. 진자추(120)의 상부에는 반송되는 기판과 직접 맞닿아 회전하는 롤러(130)가 구비된다. 그리고, 몸체(110)에는 진자추(120)의 하부에 상당하는 위치에 전류가 흐를 수 있는 도선(140)이 배치되어 있다.Referring to FIG. 2, the pendulum sensor 100 according to an exemplary embodiment of the present invention is supported by a pendulum weight 120 composed of magnets to enable pendulum motion to the body 110. The upper portion of the pendulum weight 120 is provided with a roller 130 that rotates in direct contact with the substrate to be conveyed. In addition, the body 110 has a conductive wire 140 through which a current can flow at a position corresponding to the lower portion of the pendulum weight 120.

기판이 반송되어 일단 롤러(130)에 직접적으로 맞닿게 되면 롤러(130)는 회전하고 기판은 롤러(130)의 회전 방향으로 반송된다. 이때, 진자추(120)는 축(125)을 중심으로 진자 운동을 하게 된다. 즉, 기판이 반송되어 롤러(130)에 맞닿게 되면 진자추(120)는 원래 위치인 수직 상태에서 비스듬한 상태로 되고, 기판 반송이 완료되면 진자추(120)는 그 자체의 중량에 의해 다시 원래 위치인 수직 상태로 복귀된다. 진자추(120)의 진자 운동에 의해 진자추(120)와 도선(140)과의 거리가 변하게 되는데, 진자추(120)는 자석으로 구성되어 있기 때문에 진자추(120)의 진자 운동에 의해 자기장 변화가 생기고 이는 곧 도선(140)에서의 전류 변화로 이어진다. 따라서, 도선(140)의 전류 변화로써 기판의 반송 여부를 확인하게 되는 것이다.Once the substrate is conveyed and directly in contact with the roller 130, the roller 130 rotates and the substrate is conveyed in the rotational direction of the roller 130. At this time, the pendulum weight 120 is a pendulum movement about the axis (125). That is, when the substrate is conveyed and abuts on the roller 130, the pendulum 120 is in an oblique state in a vertical state at the original position, and when the substrate transfer is completed, the pendulum 120 is returned to its original weight by its own weight. The position is returned to the vertical state. The distance between the pendulum 120 and the conductive wire 140 is changed by the pendulum movement of the pendulum 120. Since the pendulum 120 is made of a magnet, the magnetic field is caused by the pendulum movement of the pendulum 120. A change occurs and this leads to a change in current in the lead 140. Therefore, whether or not the substrate is transported is determined by the current change of the conductive wire 140.

그런데, 축(125)으로 기판에서 떨어지는 약액이나 초순수와 같은 유체 및 기타 이물질이 유입되면 진자추(120)는 원래 위치로 복귀되지 않을 수 있다. 진자추(120)가 원래의 상태로 복귀되지 아니한 채 비스듬한 상태로 유지하게 되면 기판 반송이 완료되었음에도 불구하고 진자 센서(100)는 기판 반송이 아직 완료되지 않았다고 확인된다. 이러한 진자 센서(100)의 오작동을 해결하고자 진자추(120)의 진자 운동 방향 전후 각각에 상당하는 몸체(110)의 내부 안쪽에는 자석(150)이 구비되어 있다. 따라서, 진자추(120)가 비스듬한 상태로 계속적으로 유지한다 하더라도 자석으로 구성된 진자추(120)와 자석(150)간의 척력에 의해 진자추(120)는 강제적으로 원위치인 수직 상태로 복귀된다.However, when a fluid such as chemical liquid or ultrapure water falling from the substrate and other foreign substances are introduced into the shaft 125, the pendulum weight 120 may not return to its original position. If the pendulum weight 120 is maintained in an oblique state without returning to the original state, the pendulum sensor 100 confirms that the substrate transfer has not been completed yet even though the substrate transfer is completed. In order to solve the malfunction of the pendulum sensor 100, a magnet 150 is provided inside the body 110 corresponding to each of the pendulum weight 120 before and after the pendulum movement direction. Therefore, even if the pendulum weight 120 is continuously maintained in an oblique state, the pendulum weight 120 is forcibly returned to its original position by the repulsive force between the pendulum weight 120 composed of the magnet and the magnet 150.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진자 센서에 있어서 진자추의 원위치 동작을 도시한 사시도이다.3 is a perspective view showing the home position of the pendulum pendulum in the pendulum sensor according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 척력에 의한 진자추(120)의 원위치 복귀를 구현하기 위해선 진자추(120)가 비스듬한 상태로 유지된 경우 진자추 하부(155)와 자석(150)이 가까이 대면하는 경우 진자추 하부(155)와 자석(150)간에는 척력이 작용하여야 한다. 따라서, 진자추 하부(155)의 극성이 N 극이라면 진자추 하부(155)와 대면하는 자석(150)의 극성도 N 극이어야 한다. 마찬가지로, 진자추 하부(155)의 극성이 S 극이라면 자석(150)의 극성도 S 극이어야 한다. 그런데, 자석(150) 및 진차 하부(155)간의 척력이 너무 크면 진자추(120)의 진자 운동이 방해받아 진자 센서(100)의 고유한 기능이 상실될 염려가 있다. 따라서, 진자추(120)의 원할하고 자연스런 진자 운동이 가능하도록 자석(150)의 자력 세기, 자석(150)과 진자추(120)와의 거 리, 자석(150)의 진자추(120)와의 상대적 높이 등을 적절하게 설정되는 것이 바람직하다. 자력, 거리, 상대적 높이 등에 관한 구체적 수치는 진자 센서(100)의 설계에 따라 다양할 것이다.Referring to FIG. 3, when the pendulum weight 120 is maintained in an oblique state to implement the return of the pendulum weight 120 by the repulsive force, the pendulum weight 155 and the magnet 150 face closer to each other. Repulsive force must act between the lower weight 155 and the magnet 150. Therefore, if the polarity of the pendulum lower portion 155 is N pole, the polarity of the magnet 150 facing the pendulum lower portion 155 should also be N pole. Similarly, if the polarity of the pendulum pendulum 155 is the S pole, the polarity of the magnet 150 should also be the S pole. However, if the repulsive force between the magnet 150 and the lower part of the pendulum 155 is too large, the pendulum motion of the pendulum 120 may be disturbed and the unique function of the pendulum sensor 100 may be lost. Therefore, the magnetic strength of the magnet 150, the distance between the magnet 150 and the pendulum weight 120, the relative weight of the pendulum 120 of the magnet 150 to enable a smooth and natural pendulum motion of the pendulum 120 It is preferable to set height etc. suitably. Specific values regarding magnetic force, distance, relative height, etc. will vary depending on the design of the pendulum sensor 100.

상기와 같이 구성된 진자 센서(100)는 다음과 같이 동작한다.The pendulum sensor 100 configured as described above operates as follows.

기판 반송이 현재 이루어지지 않은 경우에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 진자추(120)는 원위치인 수직 상태로 유지된다. 이 경우 도선(140)에는 전류가 계속적으로 흐르고 있다하더라도 자석으로 구성된 진자추(120)의 움직임이 없으므로 자기장 변화가 없고 이에 따라 도선(140)에서의 전류의 변화는 생기지 않는다.In the case where the substrate conveyance is not currently made, as shown in FIG. 2, the pendulum weight 120 is maintained in the inverted vertical position. In this case, although the current continues to flow in the conductive wire 140, there is no change in the magnetic field because there is no movement of the pendulum weight 120 composed of magnets, and thus no change in the current in the conductive wire 140 occurs.

기판이 반송되어 기판이 진자추(120) 상부의 롤러(130)와 직접적으로 맞닿게 되면 기판의 반송 방향과는 반대 방향, 가령 도 3에 도시된 바와 같이, 기판이 우측 방향으로 반송되면 진자추(120)는 축(125)을 중심으로 좌측 상방향(화살표 방향)으로 회동된다. 이때, 기판은 회전하는 롤러(130) 상에서 반송되어진다. 진자추(120)가 수직 상태에서 회전되어 비슴듬한 상태로 유지되면 도선(140)의 입장에서는 진자추(120)에서 발산되는 자기장의 변화를 느끼게 되고 이에 따라 도선(140)에는 전류의 변화가 생긴다.When the substrate is conveyed and the substrate is in direct contact with the roller 130 above the pendulum 120, the pendulum weight is conveyed when the substrate is conveyed in the opposite direction to the conveying direction of the substrate, for example, as shown in FIG. 3. 120 is rotated about the axis 125 in the left upper direction (arrow direction). At this time, the substrate is conveyed on the rotating roller 130. When the pendulum weight 120 is rotated in a vertical state and maintained in a sloppy state, the magnetic field emitted from the pendulum weight 120 feels a change in the position of the lead wire 140, and accordingly, the change of the current in the wire 140 is caused. Occurs.

기판 반송이 완료되면 진자추(120)는 그 자체의 중량 및 자석(150)의 척력에 의해, 도 2에 도시된 바와 같이, 다시 원위치인 수직 상태로 복귀한다. 이 경우에 있어서도 도선(140)에는 진자추(120)의 위치 변화에 의해 전류 흐름의 변화가 발생한다. 이와 같이, 진자추(120)의 위치 변화에 따른 도선(140)에서의 전류 변화로써 기판 반송 여부를 센싱한다. 한편, 진자추(120)의 축(125)이 오염되어 진자추(120) 의 자체 중량에 의해서도 진자추(120)가 원위치인 수직 상태로 복귀되지 않더라도 자석(150)이 설비되어 있으므로 진자추(120)는 강제적으로 수직 상태로 복귀하게 된다.When the substrate transfer is completed, the pendulum weight 120 returns to its original position again as shown in FIG. 2 by the weight of itself and the repulsive force of the magnet 150. Also in this case, a change in current flow occurs in the conductive wire 140 due to a change in the position of the pendulum weight 120. As described above, whether the substrate is conveyed is sensed by the current change in the conductive wire 140 according to the position change of the pendulum weight 120. On the other hand, even though the shaft 125 of the pendulum 120 is contaminated and the pendulum 120 is not returned to its original position even by the weight of the pendulum 120 itself, the pendulum pendulum ( 120 is forcibly returned to the vertical state.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The foregoing detailed description illustrates the present invention. In addition, the foregoing description merely shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. And, it is possible to change or modify within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, the scope equivalent to the written description, and / or the skill or knowledge in the art. The above-described embodiments are for explaining the best state in carrying out the present invention, the use of other inventions such as the present invention in other state known in the art, and the specific fields of application and uses of the present invention. Various changes are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 진자추의 축으로 유체 및 기타 이물질이 유입되어 축의 기능을 온전히 발휘하지 못하여 진자추 자체의 중량에 의한 원위치 동작을 하지 못하게 되더라도 자석의 척력으로써 진자추를 원위치로 가져가게 할 수 있다. 그러므로, 진자추의 원위치 동작 불량에 따른 진자 센서의 센싱 불량을 원천적으로 제거할 수 있게 된다. 그 결과, 기판 반송 센싱 불량을 없애어 기판 처리 공정의 양호성을 담보할 수 있는 효과가 있다. 이외에, 진 자 센서에 대한 불필요한 유지보수에 소요되는 시간적 로스를 없애고 설비 운용의 극대화를 이룰 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, according to the present invention, even if the fluid and other foreign matter flows into the shaft of the pendulum, the pendulum pendulum by the repulsive force of the magnet, even if it does not fully perform the function of the shaft and the in-situ operation by the weight of the pendulum itself Can be taken home. Therefore, the sensing failure of the pendulum sensor due to the in-situ malfunction of the pendulum can be eliminated at the source. As a result, there is an effect that the substrate conveyance sensing failure can be eliminated and the goodness of the substrate processing process can be ensured. In addition, there is an effect that can maximize the operation of the facility by eliminating the time loss of unnecessary maintenance on the pendulum sensor.

Claims (7)

기판의 이송 여부를 센싱하는 방법에 있어서,In the method for sensing the transfer of the substrate, 자석으로 구성된 진자추 상단의 롤러가 이송되는 기판과 접촉하여 상기 진자추가 경사 상태로 회동하며 진자 운동을 하고,The pendulum is rotated in an inclined state by penetrating the pendulum in contact with the substrate to which the roller of the pendulum top composed of magnets is transported, 상기 진자추의 하부에 배치된 도선에 흐르는 전류의 변화를 감지하여 상기 기판의 이송 여부를 센싱하며,Sensing whether the substrate is transferred by detecting a change in current flowing through the conductive wire disposed under the pendulum, 진자 운동시 상기 진자추에 자기적 척력을 작용시켜 상기 진자추를 초기의 수직 상태로 복원시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 센싱 방법.And a magnetic repulsive force is applied to the pendulum during pendulum motion to restore the pendulum to an initial vertical state. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 자기적 척력은 상기 진자추의 진자 운동의 전후 방향에서 작용하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 센싱 방법.The magnetic repulsive force is a substrate transfer sensing method, characterized in that acting in the front and rear direction of the pendulum motion of the pendulum. 몸체와;A body; 상기 몸체에 진자 운동 가능하게 조합된 자석으로 구성된 진자추와;A pendulum weight consisting of a magnet coupled to the body to enable pendulum movement; 상기 몸체에 배치되어 상기 진자추와의 상호작용으로 발생된 척력으로 상기 진자추를 경사 상태에서 수직 상태로 복귀시키는 자성체와;A magnetic body disposed on the body and returning the pendulum from an inclined state to a vertical state with a repulsive force generated by interaction with the pendulum; 상기 진자추의 진자 운동에 의해 전류 변화가 일어나는 도선;을 포함하되,Including; conducting wire current changes due to the pendulum movement of the pendulum 상기 진자추는 이송 기판과 접촉 회전하는 롤러를 가지며, 상기 기판이 상기 롤러에 접촉하는 경우 수직 상태에서 경사 상태로 회동하는 것을 특징으로 하는 진자 센서.The pendulum weight has a roller which rotates in contact with the transfer substrate, and the pendulum sensor rotates from a vertical state to an inclined state when the substrate contacts the roller. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 자성체는 상기 진자추의 진자 운동의 전후 방향에 각각 배치된 제1 자석과 제2 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 진자 센서.The magnetic body of the pendulum sensor, characterized in that it comprises a first magnet and a second magnet disposed in the front and rear direction of the pendulum motion of the pendulum. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제1 및 제2 자석은 상기 진자추의 하부쪽 극성과 동일한 극성을 갖는 것을 특징으로 하는 진자 센서.The pendulum sensor of claim 1, wherein the first and second magnets have the same polarity as that of the lower side of the pendulum weight. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 진자추는 그 자체의 무게 중심이 하부에 형성되어 있어 진자 운동시 그 자체의 중량에 의해 수직 상태로 복귀 가능한 것을 특징으로 하는 진자 센서.The pendulum pendulum sensor is characterized in that the center of gravity of the pendulum itself is formed at the lower portion and can be returned to the vertical state by the weight of the pendulum movement. 삭제delete
KR1020050094396A 2005-10-07 2005-10-07 Pendulum sensor and method for sensing substrate transfer using the same KR100706664B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050094396A KR100706664B1 (en) 2005-10-07 2005-10-07 Pendulum sensor and method for sensing substrate transfer using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050094396A KR100706664B1 (en) 2005-10-07 2005-10-07 Pendulum sensor and method for sensing substrate transfer using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100706664B1 true KR100706664B1 (en) 2007-04-12

Family

ID=38161646

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050094396A KR100706664B1 (en) 2005-10-07 2005-10-07 Pendulum sensor and method for sensing substrate transfer using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100706664B1 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100888755B1 (en) 2007-09-18 2009-03-17 (주)소프트텍 Pendulum sensor device
KR101022778B1 (en) * 2007-10-18 2011-03-17 세메스 주식회사 Transfer sensor
KR101037185B1 (en) * 2008-11-14 2011-05-26 세메스 주식회사 Apparatus for processing substrates
KR101071174B1 (en) 2008-11-26 2011-10-10 에프엔에스테크 주식회사 Apparatus for sensing substrate
KR101078608B1 (en) 2009-12-10 2011-11-01 주식회사 케이씨텍 Sensor for substrate
KR101100279B1 (en) 2009-12-03 2011-12-30 세메스 주식회사 Method of manufacturing for transfer sensor
KR20150076807A (en) * 2013-12-27 2015-07-07 세메스 주식회사 apparatus for treating substrate and method for sensing substrate transfer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5191249A (en) 1990-09-08 1993-03-02 Arnold & Richier Cine Technik, Gmbh & Co. Betriebs Kg Self-aligning bearing for a precision measurement pendulum
KR100334229B1 (en) 1999-06-23 2002-05-03 최동환 Compensation pendulous accelerometer
KR200352033Y1 (en) * 2004-03-09 2004-06-04 스피닉스(주) Pendulum sensor
JP2004163117A (en) * 2002-11-08 2004-06-10 Sept 1:Kk Vibration detector

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5191249A (en) 1990-09-08 1993-03-02 Arnold & Richier Cine Technik, Gmbh & Co. Betriebs Kg Self-aligning bearing for a precision measurement pendulum
KR100334229B1 (en) 1999-06-23 2002-05-03 최동환 Compensation pendulous accelerometer
JP2004163117A (en) * 2002-11-08 2004-06-10 Sept 1:Kk Vibration detector
KR200352033Y1 (en) * 2004-03-09 2004-06-04 스피닉스(주) Pendulum sensor

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100888755B1 (en) 2007-09-18 2009-03-17 (주)소프트텍 Pendulum sensor device
KR101022778B1 (en) * 2007-10-18 2011-03-17 세메스 주식회사 Transfer sensor
KR101037185B1 (en) * 2008-11-14 2011-05-26 세메스 주식회사 Apparatus for processing substrates
KR101071174B1 (en) 2008-11-26 2011-10-10 에프엔에스테크 주식회사 Apparatus for sensing substrate
KR101100279B1 (en) 2009-12-03 2011-12-30 세메스 주식회사 Method of manufacturing for transfer sensor
KR101078608B1 (en) 2009-12-10 2011-11-01 주식회사 케이씨텍 Sensor for substrate
KR20150076807A (en) * 2013-12-27 2015-07-07 세메스 주식회사 apparatus for treating substrate and method for sensing substrate transfer
KR102156743B1 (en) 2013-12-27 2020-09-16 세메스 주식회사 apparatus for treating substrate and method for sensing substrate transfer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100706664B1 (en) Pendulum sensor and method for sensing substrate transfer using the same
CN1712333B (en) Substrate turning over apparatus and method, substrate transporting device and method, substrate processing apparatus and method
CN105277728A (en) Laboratory sample distribution system and laboratory automation system
KR102382453B1 (en) Substrate cleaning apparatus and substrate processing apparatus
CN102859337A (en) Position sensor with float
KR101473107B1 (en) Substrate processing apparatus
KR102156743B1 (en) apparatus for treating substrate and method for sensing substrate transfer
CN102789315A (en) Method for controlling electronic equipment and electronic equipment
JP4215170B2 (en) Glass panel reduction planarization method and glass panel reduction planarization apparatus
KR101100279B1 (en) Method of manufacturing for transfer sensor
KR100743466B1 (en) Apparatus for detecting a panel in a panel carrier
KR101065324B1 (en) Apparatus for sensing a glass and apparatus for processing a glass including the same
TWI262890B (en) Substrate transporting apparatus
KR101071174B1 (en) Apparatus for sensing substrate
JP2004281617A (en) Substrate transport device and substrate processing equipment provided therewith
EP1456807B1 (en) Contactless sensing input device
JP2001002213A (en) Floating unit and positioning device
JPS62201324A (en) Liquid level detector
KR100888755B1 (en) Pendulum sensor device
JP2007066985A (en) Substrate detecting apparatus and treatment apparatus
JP2010129668A (en) Detection device for member to be conveyed, and processing apparatus
JP2000321113A (en) Electrostatic capacity type detector
KR20060075152A (en) Device for detecting objects
JP2022508875A (en) Operation mechanism and object detection device for object detection
KR20090049733A (en) Pendulum sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130325

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140402

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee