KR101076432B1 - Masking apparatus and method for fabricating organic electro luminescence display device using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기발광층을 균일하게 형성시킬 수 있는 마스크 장치 및 이를 이용한 유기 전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a mask device capable of uniformly forming an organic light emitting layer and a method of manufacturing an organic electroluminescent display device using the same.

본 발명에 따른 애노드 전극, 상기 애노드 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막, 상기 애노드 전극과 교차되는 격벽을 구비하는 기판에 대하여 일정 영역을 마스킹하기 위한 마스크 장치에 있어서, 상기 마스크 장치는 상기 발광영역의 일부를 노출시키는 투과부와; 상기 투과부를 제외하는 차단부와; 상기 격벽과 대응되도록 상기 차단부에 형성되어 상기 격벽이 삽입가능한 홈을 구비하는 것을 특징으로 한다. A mask device for masking a predetermined area with respect to a substrate having an anode electrode, an insulating film defining the light emitting area by partially exposing the anode electrode, and a partition wall intersecting the anode electrode, wherein the mask device comprises: A transmissive part exposing a portion of the light emitting area; A blocking part for excluding the transmission part; The barrier rib is formed in the blocking part so as to correspond to the barrier rib.

Description

마스크 장치와 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법{MASKING APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE USING THE SAME} Mask device and manufacturing method of organic light emitting display device using same {MASKING APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE USING THE SAME}             

도 1은 종래의 유기 전계발광소자를 개략적으로 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view schematically showing a conventional organic electroluminescent device.

도 2는 도 1에 도시된 Ⅰ-Ⅰ' 선을 절취하여 도시한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1.

도 3a 내지 도 3e는 종래의 유기 전계발광소자의 제조방법을 나타내는 도면이다. 3A to 3E are diagrams illustrating a manufacturing method of a conventional organic electroluminescent device.

도 4은 종래의 유기발광층의 발광층이 불균일하게 형성됨으로 나타내는 도면이다.4 is a view showing that the light emitting layer of the conventional organic light emitting layer is formed unevenly.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 장치와 소정 어레이가 형성된 기판을 나타내는 도면이다.5 is a view showing a substrate on which a mask device and a predetermined array are formed according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 마스크 장치를 이용함으로써 균일하게 발광층이 형성됨을 나타내는 도면이다. 6 is a view showing that the light emitting layer is formed uniformly by using the mask device of the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 유기 전계발광소자의 제조방법을 나타내는 순서도이다.
7 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 4,104 : 애노드전극2,102 substrate 4,104 anode electrode

8,108 : 격벽 109 : 더미격벽 8,108 bulkhead 109 dummy bulkhead

10,110 : 유기전계발광층 12,112 : 캐소드 전극 10,110: organic light emitting layer 12,112: cathode electrode

145 : 마스크 장치 149 : 홈145: mask device 149: groove

146 : 투과부 147 : 차단부
146: transmission part 147: blocking part

본 발명은 유기 전계발광소자에 관한 것으로, 특히, 유기발광층을 균일하게 형성시킬 수 있는 마스크 장치 및 이를 이용한 유기 전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to a mask device capable of uniformly forming an organic light emitting layer and a method of manufacturing an organic electroluminescent display device using the same.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광소자(Electro Luminescence Device : 이하 "EL"라 함)표시소자 등이 있다. 특히 EL표시소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기 발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판표시 장치로서 주목받고 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such a flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electroluminescent device (hereinafter referred to as "EL"). Element; In particular, the EL display device is basically formed by attaching electrodes to both sides of an organic light emitting layer including a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer, and has attracted attention as a next-generation flat panel display because of its wide viewing angle, high aperture ratio, and high color.

이러한 EL표시소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL표시소자와 유기 EL표시소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL표시소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL표시소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL표시소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL표시소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다. Such EL display elements are largely divided into inorganic EL display elements and organic EL display elements depending on the materials used. Among them, the organic EL display device can be driven at a lower voltage than the inorganic EL display device because when the charge is injected into the organic EL layer formed between the hole injection electrode and the electron injection electrode, electrons and holes are paired and extinguished to emit light. Has the advantage. In addition, the organic EL display device can be formed on a flexible transparent substrate, such as plastic, and can be driven at a voltage lower than 10V compared to a PDP or an inorganic EL display device, and the power consumption is relatively low. Small, excellent color

도 1은 종래의 유기 EL표시소자를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 절취하여 도시한 단면도이다.1 is a perspective view showing a conventional organic EL display element, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 2에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(2) 상에 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. In the organic EL display elements shown in FIGS. 1 and 2, the anode electrode 4 and the cathode electrode 12 are formed on the substrate 2 in a direction crossing each other.

애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부(발광영역(P1)를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유 기발광층(10)은 절연막 상에 정공 수송층, 발광층 및 전자 수송층이 적층되어 형성된다. 이러한 수동형 EL표시소자는 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)에 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(4) 및 캐소드전극(12)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(10) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(4)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다. A plurality of anode electrodes 4 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 2. On the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening (light emitting region P1) is formed in each EL cell EL region. On the insulating film 6, an organic light emitting layer 10 to be formed thereon is formed. And a partition wall 8 for separating the cathode electrode 12. The partition wall 8 is formed in a direction crossing the anode electrode 4, and an inverted taper having an upper end portion having a wider width than the lower end portion. The organic light emitting layer 10 made of an organic compound and the cathode electrode 12 are sequentially deposited on the insulating film on which the partition wall 8 is formed. A light emitting layer and an electron transporting layer are formed by stacking a passive EL display device with electrons and holes emitted when a driving signal is applied to the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, and the anode electrode 4 and the cathode electrode 12. Electrons and holes emitted from the inside of the organic light emitting layer 10 At this time, the visible light is generated by recombination, and the visible light is emitted to the outside through the anode electrode 4 to display a predetermined image or image.

이하, 도 3a 내지 도 3e를 참조하여 종래 유기 EL표시소자의 제조방법에 관하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a method of manufacturing a conventional organic EL display device will be described with reference to FIGS. 3A to 3E.

먼저, 소다라임(Sodalime) 또는 경화유리를 이용하여 형성된 기판(2) 상에 금속투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 3a에 도시된 바와 같이 애노드전극(4)이 형성된다. 여기서, 금속물질로는 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 또는 SnO2 등이 이용된다. First, a metal transparent conductive material is deposited on a substrate 2 formed using soda lime or hardened glass, and then patterned by a photolithography process and an etching process to form an anode electrode 4 as shown in FIG. 3A. ) Is formed. Here, indium tin oxide or SnO 2 may be used as the metal material.

애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에 감광성절연물질이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 코팅된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 3b에 도시된 바와 같이 발광영역(P1)이 노출되도록 절연막(미도시)이 형성된다. The photosensitive insulating material is coated on the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed by spin-coating, and then patterned by a photolithography process and an etching process. As shown in FIG. An insulating film (not shown) is formed to expose (P1).

절연막(6) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 3c에 도시된 바와 같이 격벽(8)이 형성된다. 격벽(8)은 화소를 구분해주기 위해 다수개의 애노드전극(4)과 교차되도록 비발광영역(P2)에 형성된다. The photosensitive organic material is deposited on the insulating film 6 and then patterned by a photolithography process and an etching process to form a partition 8 as illustrated in FIG. 3C. The partition 8 is formed in the non-light emitting area P2 so as to intersect the plurality of anode electrodes 4 to distinguish the pixels.                         

격벽(8)이 형성된 기판(2) 상에 도 3d에 도시된 바와 같이 섀도우(shadow) 마스크(미도시)를 이용하여 열증착, 진공증착 등의 방식에 의해 유기발광층(10)을 형성한다. The organic light emitting layer 10 is formed on the substrate 2 on which the partition wall 8 is formed by thermal deposition, vacuum deposition, or the like using a shadow mask (not shown) as shown in FIG. 3D.

유기발광층(10)이 형성된 기판(2) 상에 금속물질이 증착됨으로써 도 3e에 도시된 바와 같이 캐소드전극(12)이 형성된다. As the metal material is deposited on the substrate 2 on which the organic light emitting layer 10 is formed, the cathode electrode 12 is formed as shown in FIG. 3E.

한편, 종래의 유기발광층(10)의 정공 수송층 및 정공 주입층은 공통마스크를 이용하여 형성되고, 발광층은 섀도우(메탈)마스크를 이용하여 형성되며, 전자주입층, 전자 수송층은 상기 공통마스크를 다시 이용하여 형성된다. On the other hand, the hole transport layer and the hole injection layer of the conventional organic light emitting layer 10 is formed using a common mask, the light emitting layer is formed using a shadow (metal) mask, the electron injection layer, the electron transport layer again the common mask. It is formed using.

도 4는 섀도우 마스크를 이용하여 발광층을 형성하는 경우를 나타낸 도면이다. 4 is a diagram illustrating a case in which a light emitting layer is formed using a shadow mask.

격벽(8)이 형성된 기판(2) 상부에 섀도우 마스크(45)가 정렬되고 섀도우 마스크(45)의 투과부(46)를 통해 노출된 영역에 특정 발광층 예를 들어, 적색(R)을 구현하는 발광층(10c)이 형성된다. A light emitting layer that aligns the shadow mask 45 on the substrate 2 on which the partition wall 8 is formed and implements a specific light emitting layer, for example, red (R), in an area exposed through the transmissive portion 46 of the shadow mask 45. 10c is formed.

여기서, 섀도우 마스크(45)의 두께(d1)는 약 40~50㎛ 정도의 두께를 갖게 되고 격벽(8)의 두께(d2)는 약 4~6㎛ 정도이다. 따라서, 섀도우 마스크(45)의 두께를 통과한 발광물질이 투과부(46)내에서 다수번 반사되면서 발광영역(P1)에 증착되게 된다. 그러나, 종래의 구조는 마스크와 발광영역 간의 격벽(8)이 존재하게 됨으로써 투과부(46)를 통과한 유기물질이 도 4에 도시된 바와 같이 발광영역(P1)에 균일하게 증착되지 않는 문제가 발생된다. 즉, 투과부(46)를 통과하는 발광물질이 격벽(8)에서도 반사되어 발광영역(P1)의 양 끝단영역(A)에는 발광물질이 거의 증착되지 않게되는 문제가 발생된다.
Here, the thickness d1 of the shadow mask 45 has a thickness of about 40-50 μm, and the thickness d2 of the partition 8 is about 4-6 μm. Therefore, the light emitting material having passed through the thickness of the shadow mask 45 is reflected in the transmissive part 46 a plurality of times and is deposited in the light emitting area P1. However, in the conventional structure, the barrier 8 between the mask and the light emitting region is present, so that an organic material having passed through the transmission part 46 is not uniformly deposited in the light emitting region P1 as illustrated in FIG. 4. do. That is, the light emitting material passing through the transmissive portion 46 is also reflected in the partition 8, so that the light emitting material is hardly deposited on both end regions A of the light emitting area P1.

따라서, 본 발명의 목적은 유기발광층을 균일하게 형성시킬 수 있는 마스크 장치 및 이를 이용한 유기 전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다.
Accordingly, an object of the present invention relates to a mask device capable of uniformly forming an organic light emitting layer and a method of manufacturing an organic electroluminescent display device using the same.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 애노드 전극, 상기 애노드 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막, 상기 애노드 전극과 교차되는 격벽을 구비하는 기판에 대하여 일정 영역을 마스킹하기 위한 마스크 장치에 있어서, 상기 마스크 장치는 상기 발광영역의 일부를 노출시키는 투과부와; 상기 투과부를 제외하는 차단부와; 상기 격벽과 대응되도록 상기 차단부에 형성되어 상기 격벽이 삽입가능한 홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a mask device for masking a predetermined region with respect to a substrate having an anode electrode, an insulating film defining the light emitting region by partially exposing the anode electrode, and a partition wall intersecting the anode electrode The mask device according to claim 1, further comprising: a transmission portion exposing a portion of the light emitting area; A blocking part for excluding the transmission part; The barrier rib is formed in the blocking part so as to correspond to the barrier rib.

상기 홈은 상기 격벽이 절반이상 삽입가능하도록 형성된 것을 특징으로 한다.The groove is characterized in that the partition is formed to be inserted more than half.

본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 기판 상에 애노드 전극을 형성하는 단계와; 상기 애노드전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; 상기 애노드 전극과 교차되는 격벽을 형성하는 단계와; 상기 발광영역의 일부를 노출시키는 투과부, 상기 투과부를 제외하는 차단부, 상기 격벽과 대응되도록 상기 차단부에 형성되어 상기 격벽이 삽입가능한 홈을 구비하는 제1 마스크 장치를 이용하여 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 애노드전극과 교차되는 캐소드전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes the steps of forming an anode electrode on a substrate; Partially exposing the anode electrode to form an insulating film defining a light emitting region; Forming a partition wall intersecting the anode electrode; Forming an organic light emitting layer by using a first mask device having a transmissive part exposing a portion of the light emitting area, a blocking part excluding the transmitting part, and a groove formed in the blocking part so as to correspond to the partition wall and into which the partition wall is insertable Steps; And forming a cathode electrode intersecting the anode electrode with the organic light emitting layer interposed therebetween.

상기 유기발광층을 형성하는 단계는 공통 마스크 장치를 이용하여 정공주입층 및 정공수송층을 형성하는 단계와; 상기 제1 마스크 장치의 홈에 상기 격벽이 삽입되도록 상기 제1 마스크 장치를 정렬시키는 단계와; 상기 제1 마스크 장치를 이용하여 발광층을 형성하는 단계와; 상기 공통 마스크 장치를 이용하여 전자수송층 및 전자주입층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The forming of the organic light emitting layer may include forming a hole injection layer and a hole transport layer using a common mask device; Aligning the first mask device such that the partition wall is inserted into the groove of the first mask device; Forming a light emitting layer using the first mask device; Forming an electron transport layer and an electron injection layer by using the common mask device.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 5 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 7.

도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 장치와 그 하부에 소정 어레이가 형성된 기판을 나타내는 도면이다. FIG. 5 is a diagram illustrating a mask device according to an exemplary embodiment of the present disclosure and a substrate on which a predetermined array is formed.

도 5에 도시된 기판(102) 상에는 애노드전극(104), 애노드 전극(104)을 부분적으로 노출시켜 발광영역(P1)을 정의하는 절연막(106), 애노드 전극(104)과 교차되게 형성되는 격벽(8)이 형성된다. On the substrate 102 shown in FIG. 5, a partition wall formed to intersect the anode electrode 104 and the anode electrode 104 to intersect the insulating film 106 and the anode electrode 104 defining the light emitting region P1. (8) is formed.

마스크 장치(145)는 특정의 발광영역(P1) 예를 들어, 적색(R)을 구현하는 발광영역(P1)을 노출시키는 투과부(146), 투과부(146)를 제외하는 차단부(147), 기판(102) 상의 격벽(108)과 대응되도록 차단부(147) 상에 형성되어 격벽(108)이 삽입 가능한 홈(149)을 구비한다. The mask device 145 may include a transmission part 146 exposing a specific light emission area P1, for example, a light emission area P1 embodying a red color R, a blocking part 147 excluding the transmission part 146, A groove 149 is formed on the blocking part 147 to correspond to the partition wall 108 on the substrate 102 to insert the partition wall 108 therein.

이러한, 마스크 장치(145)는 유기발광층 좀더 구체적으로는 특정색을 구현하는 발광층을 형성하기 위해 기판(102) 상에 정렬되게 된다. 이때, 마스크 장치(145)의 홈(149) 내에 격벽(108)이 삽입됨으로써 마스크 장치(145)와 발광영역(P1) 간의 거리가 가까워지게 된다. 이에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이 격벽(108)에 의해 발광물질이 반사되는 확율이 상당히 줄어들게 되고, 마스크 장치(145)의 투과부(146) 내에서 반사되는 발광물질 등이 기판(102) 상에 균일하게 증착되게 된다. 여기서, 마스크 장치(145)의 두께(d1)는 약 40~50㎛ 정도의 두께를 갖게 되고 격벽(108)의 두께(d2)는 약 4~6㎛ 정도이며, 마스크 장치(145)의 홈(149)은 격벽(108)이 절반이상 더 나아가서 3분의 2이상 삽입 될 수 있게 형성될 수 있다.The mask device 145 is arranged on the substrate 102 to form an organic light emitting layer, more specifically, a light emitting layer that realizes a specific color. In this case, the partition 108 is inserted into the groove 149 of the mask device 145 to thereby close the distance between the mask device 145 and the light emitting region P1. Accordingly, as shown in FIG. 6, the probability that the light emitting material is reflected by the partition wall 108 is significantly reduced, and the light emitting material reflected in the transmissive part 146 of the mask device 145 is disposed on the substrate 102. To be deposited uniformly. Here, the thickness d1 of the mask device 145 has a thickness of about 40 to 50 μm, the thickness d2 of the partition 108 is about 4 to 6 μm, and the groove of the mask device 145 ( 149 may be formed such that the partition 108 can be inserted more than half and more than two thirds.

이와 같이, 본 발명에 따른 마스크 장치(145)는 격벽(108)이 삽입될 수 있는 홈(146)을 구비함으로써 마스크 장치(145)와 발광영역(P1) 간의 거리가 가까워지게 된다. 이에 따라, 마스크 장치(145)의 투과부(146) 내에서 반사되는 발광물질 등이 기판(102) 상에 균일하게 증착되게 된다. As described above, the mask device 145 according to the present invention includes a groove 146 into which the partition 108 can be inserted, thereby making the distance between the mask device 145 and the light emitting area P1 close. Accordingly, the light emitting material and the like reflected in the transmissive part 146 of the mask device 145 are uniformly deposited on the substrate 102.

이하, 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 유기 EL표시소자의 제조방법에 관하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a manufacturing method of an organic EL display device according to the present invention will be described with reference to FIG. 7.

먼저, 소다라임(Sodalime) 또는 경화유리를 이용하여 형성된 기판(102) 상에 금속투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 애노드전극(104)이 형성된다.(S2) First, an anode electrode 104 is formed by depositing a metal transparent conductive material on a substrate 102 formed using soda lime or hardened glass, and then patterning it by a photolithography process and an etching process. )

여기서, 금속물질로는 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 또는 SnO2 등이 이용된다. Here, indium tin oxide or SnO 2 may be used as the metal material.

애노드전극(104)이 형성된 기판(102) 상에 감광성절연물질이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 코팅된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 발광영역이 노출되도록 절연막(106)이 형성된다.(S4) The insulating film 106 is coated with a photosensitive insulating material on the substrate 102 on which the anode electrode 104 is formed by spin-coating, and then patterned by photolithography and etching to expose the light emitting region. Is formed. (S4)

절연막(106) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 격벽(108)이 형성된다.(S6) After the photosensitive organic material is deposited on the insulating layer 106, the barrier rib 108 is formed by patterning by a photolithography process and an etching process (S6).

격벽(108)이 형성된 기판(102) 상에 공통마스크를 이용하여 정공주입층 및 정공수송층이 형성된다. 이후, 도 5에 도시된 격벽(108)삽입 홈(146)을 가지는 마스크 장치(145)가 정렬된 후 상기 격벽(108)삽입 홈(146)을 가지는 마스크 장치(145)를 순차적으로 이동시켜 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)을 구현하는 발광층을 형성한다. 여기서, 마스크 장치(145)에 마련된 격벽(108) 삽입홈(146)에 격벽(108)이 삽입된 상태로 증착공정이 실시된다. 이로서, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)을 구현하는 발광층이 균일하게 증착된다. 이후, 정공주입층 및 정공수송층 형성시 이용된 공통마스크를 이용하여 전자수송층 및 전자주입층이 형성된다. 이로써, 유기발광층이 형성된다.(S8) A hole injection layer and a hole transport layer are formed on the substrate 102 on which the partition 108 is formed using a common mask. Subsequently, after the mask device 145 having the partition 108 insertion groove 146 shown in FIG. 5 is aligned, the mask device 145 having the partition 108 insertion groove 146 is sequentially moved to be red. A light emitting layer for implementing (R), green (G), and blue (B) is formed. Here, the deposition process is performed with the partition 108 inserted into the partition 108 insertion groove 146 provided in the mask device 145. As a result, a light emitting layer implementing red (R), green (G), and blue (B) is uniformly deposited. Thereafter, the electron transport layer and the electron injection layer are formed using the common mask used when forming the hole injection layer and the hole transport layer. As a result, an organic light emitting layer is formed. (S8)

이후, 유기발광층이 형성된 기판(102) 상에 알루미늄, 알루미늄계 금속 등이 금속물질이 증착됨으로써 캐소드 전극이 형성된다.(S10)
Subsequently, aluminum, an aluminum-based metal, or the like is deposited on the substrate 102 on which the organic light emitting layer is formed, thereby forming a cathode electrode (S10).

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크 장치 및 이를 이용한 유기 전계발 광표시소자의 제조방법은 격벽이 삽입될 수 있는 홈을 구비하는 마스크 장치를 이용하여 발광층을 형성한다. 발광층 증착시 마스크 장치에 마련된 홈 내에는 격벽이 삽입됨으로써 마스크 장치와 증착물질이 증착되는 발광영역 간의 거리가 가까워지게 된다. 이에 따라, 유기발광층이 기판 상에 균일하게 증착될 있게 된다.As described above, the mask device according to the present invention and the method of manufacturing the organic light emitting display device using the same form a light emitting layer using a mask device having a groove into which a partition wall can be inserted. When the light emitting layer is deposited, a partition wall is inserted into the groove provided in the mask device to close the distance between the mask device and the light emitting region where the deposition material is deposited. Accordingly, the organic light emitting layer can be uniformly deposited on the substrate.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (4)

애노드 전극, 상기 애노드 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막, 상기 애노드 전극과 교차되는 격벽을 구비하는 기판에 대하여 일정 영역을 마스킹하기 위한 마스크 장치에 있어서, A mask device for masking a predetermined region with respect to a substrate having an anode electrode, an insulating film partially exposing the anode electrode to define a light emitting region, and a partition wall intersecting the anode electrode, 상기 마스크 장치는 The mask device is 상기 발광영역의 일부를 노출시키는 투과부와; A transmissive part exposing a portion of the light emitting area; 상기 투과부를 제외하는 차단부와; A blocking part for excluding the transmission part; 상기 격벽과 대응되도록 상기 차단부에 형성되어 상기 격벽이 삽입가능한 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 장치. And a recess formed in the blocking part so as to correspond to the partition wall and having a groove into which the partition wall is inserted. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 홈은 상기 격벽이 절반이상 삽입가능하도록 형성된 것을 특징으로 하는 마스크 장치.The groove is a mask device, characterized in that the barrier rib is formed to be inserted more than half. 기판 상에 애노드 전극을 형성하는 단계와; Forming an anode electrode on the substrate; 상기 애노드전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; Partially exposing the anode electrode to form an insulating film defining a light emitting region; 상기 애노드 전극과 교차되는 격벽을 형성하는 단계와; Forming a partition wall intersecting the anode electrode; 상기 발광영역의 일부를 노출시키는 투과부, 상기 투과부를 제외하는 차단부, 상기 격벽과 대응되도록 상기 차단부에 형성되어 상기 격벽이 삽입가능한 홈을 구비하는 제1 마스크 장치를 이용하여 유기발광층을 형성하는 단계와; Forming an organic light emitting layer by using a first mask device having a transmissive part exposing a portion of the light emitting area, a blocking part excluding the transmitting part, and a groove formed in the blocking part so as to correspond to the partition wall and into which the partition wall is insertable Steps; 상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 애노드전극과 교차되는 캐소드전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.And forming a cathode electrode intersecting the anode electrode with the organic light emitting layer interposed therebetween. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 유기발광층을 형성하는 단계는Forming the organic light emitting layer is 공통 마스크 장치를 이용하여 정공주입층 및 정공수송층을 형성하는 단계와;Forming a hole injection layer and a hole transport layer using a common mask device; 상기 제1 마스크 장치의 홈에 상기 격벽이 삽입되도록 상기 제1 마스크 장치를 정렬시키는 단계와;Aligning the first mask device such that the partition wall is inserted into the groove of the first mask device; 상기 제1 마스크 장치를 이용하여 발광층을 형성하는 단계와; Forming a light emitting layer using the first mask device; 상기 공통 마스크 장치를 이용하여 전자수송층 및 전자주입층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.And forming an electron transport layer and an electron injection layer by using the common mask device.
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