KR101048948B1 - 터치 스크린 패널의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 의한 터치 스크린 패널의 제조방법은, 투명기판의 일면에 도전막 및 절연막을 순차적으로 성막하는 단계와; 상기 도전막 및 절연막을 하프톤 마스크를 이용하여 동반 패터닝함에 의해, 각각이 분리된 패턴을 갖는 다수의 제1 연결패턴들과, 상기 제1 연결패턴들의 일 영역을 노출하도록 상기 제1 연결패턴들 상에 부분적으로 위치되는 절연막을 형성하는 단계와; 상기 제1 연결패턴들 및 절연막이 형성된 상기 투명기판 상에 투명전극막을 형성하는 단계와; 상기 투명전극막을 패터닝함에 의해, 상기 제1 연결패턴들의 노출된 영역을 통해 상기 제1 연결패턴들과 연결되어 제1 방향을 따라 연결되는 다수의 제1 센싱패턴들과, 상기 제1 센싱패턴들과 절연되도록 상기 제1 센싱패턴들의 사이에 배치되며 제2 방향을 따라 연결되는 다수의 제2 센싱패턴들을 형성하는 단계;를 포함한다.
Description
도 2는 도 1에 도시된 센싱패턴들 및 연결패턴들을 도시한 요부 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 터치 스크린 패널을 일 방향에서 도시한 요부 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 터치 스크린 패널을 다른 방향에서 도시한 요부 단면도이다.
도 5a 내지 도 5g는 도 3에 도시된 터치 스크린 패널의 제조방법을 순차적으로 도시한 단면도이다.
12a1, 12b1: 연결패턴 13: 절연막
15: 위치검출라인
Claims (5)
- 투명기판의 일면에 도전막 및 절연막을 순차적으로 성막하는 단계와,
상기 도전막 및 절연막을 하프톤 마스크를 이용하여 동반 패터닝함에 의해, 각각이 분리된 패턴을 갖는 다수의 제1 연결패턴들과, 상기 제1 연결패턴들의 일 영역을 노출하도록 상기 제1 연결패턴들 상에 부분적으로 위치되는 절연막을 형성하는 단계와,
상기 제1 연결패턴들 및 절연막이 형성된 상기 투명기판 상에 투명전극막을 형성하는 단계와,
상기 투명전극막을 패터닝함에 의해, 상기 제1 연결패턴들의 노출된 영역을 통해 상기 제1 연결패턴들과 연결되어 제1 방향을 따라 연결되는 다수의 제1 센싱패턴들과, 상기 제1 센싱패턴들과 절연되도록 상기 제1 센싱패턴들의 사이에 배치되며 제2 방향을 따라 연결되는 다수의 제2 센싱패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 터치 스크린 패널의 제조방법. - 제1항에 있어서,
상기 도전막 및 절연막을 하프톤 마스크를 이용하여 동반 패터닝하는 단계는,
상기 하프톤 마스크를 이용하여 상기 절연막 상에 제1 높이와 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이를 갖는 포토레지스트를 형성하는 단계와,
상기 포토레지스트 하부를 제외한 나머지 영역의 도전막 및 절연막을 에칭(etching) 공정을 통해 제거하는 단계와,
상기 제2 높이를 갖는 포토레지스트와 그 하부의 절연막을 애싱(ashing) 및 에칭 공정을 통해 제거하여, 상기 제1 연결패턴들의 일 영역을 노출하는 단계와,
상기 절연막 상에 남아있는 포토레지스트를 애싱 공정을 통해 제거하는 단계를 포함하는 터치 스크린 패널의 제조방법. - 제2항에 있어서,
상기 포토레지스트 하부를 제외한 나머지 영역의 도전막 및 절연막을 에칭(etching) 공정을 통해 제거하는 단계는,
건식 에칭공정을 통해 상기 절연막을 제거한 이후 습식 에칭공정을 통해 상기 도전막을 제거하되, 상기 도전막이 상기 절연막보다 내측에 위치하도록 상기 도전막을 오버에칭하는 단계를 포함하는 터치 스크린 패널의 제조방법. - 제2항에 있어서,
상기 도전막 및 절연막을 하프톤 마스크를 이용하여 동반 패터닝하는 단계에서, 배선영역 상에 상기 제2 높이를 갖는 포토레지스트를 형성함에 의해, 상기 제1 연결패턴들을 패터닝함과 동시에 상기 배선영역 상에 위치검출라인을 패터닝하는 터치 스크린 패널의 제조방법. - 제1항에 있어서,
상기 투명전극막을 패터닝하는 단계에서, 상기 제2 센싱패턴들이 상기 제2 방향을 따라 연결되도록 하는 제2 연결패턴들을 상기 제2 센싱패턴들과 일체로 형성하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
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US12/957,704 US8435724B2 (en) | 2010-02-22 | 2010-12-01 | Fabricating method for touch screen panel |
TW099145590A TWI529589B (zh) | 2010-02-22 | 2010-12-23 | 用於觸控螢幕面板之製造方法 |
CN201110040314.0A CN102163097B (zh) | 2010-02-22 | 2011-02-16 | 触摸屏面板的制造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101368684B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2014-03-03 | (주)태양기전 | 터치 검지용 패널 및 그 제조 방법 |
KR101853027B1 (ko) | 2011-08-24 | 2018-04-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 정전용량 방식 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 |
KR101935383B1 (ko) * | 2011-11-11 | 2019-01-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 스크린과 이의 제조방법 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101049006B1 (ko) | 2010-02-22 | 2011-07-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 |
KR101294569B1 (ko) | 2011-06-29 | 2013-08-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 터치 패널 및 이의 제조 방법 |
TWI459255B (zh) * | 2011-08-04 | 2014-11-01 | Innolux Corp | 觸控面板及應用其之觸控顯示裝置與其製造方法 |
CN102654807A (zh) * | 2011-10-10 | 2012-09-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 触控面板的制备方法 |
CN102681714B (zh) * | 2011-10-10 | 2015-04-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 触摸感应器的制造方法及显示设备 |
CN103049144A (zh) * | 2011-10-14 | 2013-04-17 | 宸鸿科技(厦门)有限公司 | 触控装置图形及其制造方法 |
KR102017155B1 (ko) * | 2012-11-01 | 2019-09-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치스크린 패널 및 그의 제조방법 |
CN103092452B (zh) * | 2013-01-28 | 2016-03-23 | 北京京东方光电科技有限公司 | 电容触摸屏及其制作方法和触摸显示装置 |
CN103235659B (zh) * | 2013-04-12 | 2018-06-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种触摸面板及其制作方法、显示装置 |
KR102069083B1 (ko) * | 2013-04-30 | 2020-01-22 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 멀티레벨 마스크 회로 제조 및 다층 회로 |
KR20140143645A (ko) | 2013-06-07 | 2014-12-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 센서 패널 및 그 제조 방법 |
KR102162426B1 (ko) * | 2013-12-11 | 2020-10-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 패널 및 이의 제조 방법 |
CN104750322B (zh) * | 2013-12-27 | 2018-09-04 | 昆山国显光电有限公司 | 一种触控屏及其制备方法 |
JP2018005699A (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 富士通コンポーネント株式会社 | タッチパネル及びタッチパネルの製造方法 |
CN106200258B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-11-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种掩膜板、对其曝光的方法以及电路面板的制造方法 |
KR101914075B1 (ko) * | 2016-12-07 | 2018-11-02 | 주식회사 아모 | 슬롯 코팅 기반 유기발광 다이오드 면광원 제조 방법 |
WO2024095308A1 (ja) * | 2022-10-31 | 2024-05-10 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | タッチセンサ、表示装置、タッチセンサの製造方法、および表示装置の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080110477A (ko) * | 2007-06-14 | 2008-12-18 | 엡슨 이미징 디바이스 가부시키가이샤 | 정전 용량형 입력 장치 |
KR20090024451A (ko) * | 2007-09-04 | 2009-03-09 | (주)멜파스 | 터치스크린 패널 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6879319B2 (en) * | 2002-10-25 | 2005-04-12 | Eastman Kodak Company | Integrated OLED display and touch screen |
CN1254737C (zh) * | 2003-05-12 | 2006-05-03 | 统宝光电股份有限公司 | 触控面板内的导线制造方法 |
TWI313431B (en) * | 2006-04-14 | 2009-08-11 | Ritdisplay Corporatio | Transparent touch panel |
KR20080058862A (ko) | 2006-12-22 | 2008-06-26 | 삼성전자주식회사 | 터치 스크린 표시 장치 |
TW200842681A (en) * | 2007-04-27 | 2008-11-01 | Tpk Touch Solutions Inc | Touch pattern structure of a capacitive touch panel |
CN101424844A (zh) * | 2007-11-02 | 2009-05-06 | 上海广电Nec液晶显示器有限公司 | 液晶显示装置阵列基板的制造方法 |
TWI361996B (en) * | 2008-03-21 | 2012-04-11 | Elan Microelectronics Corp | Touch panel device |
JP4720857B2 (ja) * | 2008-06-18 | 2011-07-13 | ソニー株式会社 | 静電容量型入力装置および入力機能付き表示装置 |
JP5178379B2 (ja) * | 2008-07-31 | 2013-04-10 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | 表示装置 |
JP5262666B2 (ja) * | 2008-12-12 | 2013-08-14 | Smk株式会社 | 静電容量式タッチパネル |
TWI396891B (zh) * | 2009-06-04 | 2013-05-21 | Au Optronics Corp | 觸控面板及其形成方法 |
US20110006998A1 (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-13 | Sunggu Kang | Patterning of thin film conductive and passivation layers |
US8475872B2 (en) * | 2009-08-19 | 2013-07-02 | Apple Inc. | Patterning of thin film layers |
KR101049006B1 (ko) * | 2010-02-22 | 2011-07-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 |
-
2010
- 2010-02-22 KR KR1020100015703A patent/KR101048948B1/ko active IP Right Grant
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-
2011
- 2011-02-16 CN CN201110040314.0A patent/CN102163097B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080110477A (ko) * | 2007-06-14 | 2008-12-18 | 엡슨 이미징 디바이스 가부시키가이샤 | 정전 용량형 입력 장치 |
KR20090024451A (ko) * | 2007-09-04 | 2009-03-09 | (주)멜파스 | 터치스크린 패널 및 그 제조 방법 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101853027B1 (ko) | 2011-08-24 | 2018-04-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 정전용량 방식 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 |
KR101935383B1 (ko) * | 2011-11-11 | 2019-01-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 스크린과 이의 제조방법 |
KR101368684B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2014-03-03 | (주)태양기전 | 터치 검지용 패널 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US20110207055A1 (en) | 2011-08-25 |
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