KR101048811B1 - 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 공정이 수행되는 공간을 제공하는 공정 챔버;상기 공정 챔버의 압력을 측정하는 압력 센서;상기 공정 챔버 내부로 기체를 주입하여 하향기류를 형성하는 복수의 팬을 구비한 팬 필터 유닛부; 및상기 팬 필터 유닛부를 제어하는 제어부를 포함하며,상기 복수의 팬의 각 회전축에는 상기 각 회전축에서 발생하는 열에 의해 변형되어 상기 팬 필터 유닛부로 제공되는 전원을 차단하는 바이메탈 및 상기 각 회전축의 온도 변화를 감지하는 온도 센서가 구비되고,상기 제어부는 상기 온도 센서를 이용하여 상기 복수의 팬을 각각 제어하는 온도 제어부를 포함하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 온도 제어부는소정의 팬의 온도가 임계 온도 이상인 경우에, 해당 팬에 전달되는 전원을 자동적으로 차단시키는 차단부를 포함하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 제어부는상기 복수의 팬 중 소정 팬의 온도가 임계 온도 이상이 되어 동작이 정지하는 경우, 상기 공정 챔버 내의 압력이 임계 범위 내로 유지되도록, 상기 동작이 정지된 팬을 제외한 나머지 팬의 출력을 제어하는 출력 제어부를 포함하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 3항에 있어서, 상기 출력 제어부는상기 압력 센서의 압력 데이터를 실시간으로 받아들여 PID(Proportional-plus-Integrate-plus-Derivative) 제어기법에 의하여 상기 복수의 팬의 출력을 제어하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 공정 챔버의 내부의 압력 데이터 및 상기 팬 필터 유닛부의 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집부를 더 포함하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
- 제 5항에 있어서,상기 데이터 수집부는 상기 수집된 데이터를 상기 제어부에 전달하며,상기 제어부는 상기 수집된 데이터를 바탕으로 상기 각각의 팬의 출력을 제어하는, 기판 처리 장치에서의 팬 필터 유닛의 제어 장치.
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KR20070106362A (ko) * | 2006-04-28 | 2007-11-01 | 교또-얼라이드 인더스트리즈 엘티디. | 팬 필터 유닛들을 사용하여, 공기 환풍 설비 내의 공기특성을 유지하기 위한 방법 및 장치 |
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- 2008-11-11 KR KR1020080111681A patent/KR101048811B1/ko active IP Right Grant
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