KR101030421B1 - Light irradiation device - Google Patents

Light irradiation device Download PDF

Info

Publication number
KR101030421B1
KR101030421B1 KR1020060101923A KR20060101923A KR101030421B1 KR 101030421 B1 KR101030421 B1 KR 101030421B1 KR 1020060101923 A KR1020060101923 A KR 1020060101923A KR 20060101923 A KR20060101923 A KR 20060101923A KR 101030421 B1 KR101030421 B1 KR 101030421B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
light source
source lamp
light irradiation
cooling air
Prior art date
Application number
KR1020060101923A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20070059937A (en
Inventor
노조무 다지카
요네타 다나카
Original Assignee
우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 우시오덴키 가부시키가이샤 filed Critical 우시오덴키 가부시키가이샤
Publication of KR20070059937A publication Critical patent/KR20070059937A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101030421B1 publication Critical patent/KR101030421B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
    • B05C9/12—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation being performed after the application
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Abstract

냉각 풍로가 형성된 광조사기를 구비하고, 피처리 대상물에 대한 광조사량을 크게 하여 처리 효율의 향상을 도모할 수 있고, 더구나 냉각풍의 풍량을 대폭 증가시키지 않고 충분한 냉각 기능을 얻을 수 있는 광조사 장치 및 이 광조사 장치에서 적합하게 이용되는 광원 램프를 제공하는 것이다. A light irradiation apparatus comprising a light irradiator having a cooling air path, which can increase the amount of light to be treated to be processed, thereby improving the processing efficiency, and furthermore, a light irradiation device which can obtain a sufficient cooling function without significantly increasing the amount of cooling air. It is to provide a light source lamp suitably used in this light irradiation apparatus.

단면이 원형상인 막대 형상의 광원 램프가 그 관축이 반사면을 갖는 홈통형상의 반사 미러의 제1 초점의 위치와 일치하는 상태로 배치되어 이루어지는 광조사기를 구비하여 이루어지고, 광원 램프의 점등시에서 광원 램프 및 반사 미러가 냉각풍에 의해 냉각되는 광조사 장치로서, 광조사 방향에 대하여 광원 램프의 후방측에 반사 미러에 의해서 둘러싸인 공간과 연통하는 냉각 풍로가 형성되어 있고, 광원 램프에서의 냉각 풍로의 개구와 대향하는 외표면 영역에는 상기 광원 램프로부터 방사되는 광을 반사하는 반사막이 형성되어 있다.A rod-shaped light source lamp having a circular cross section is provided with a light irradiator in which the tube axis thereof is arranged in a state coinciding with the position of the first focal point of the reflecting mirror having a reflecting surface. A light irradiation apparatus in which a light source lamp and a reflection mirror are cooled by a cooling wind, wherein a cooling air passage communicating with a space surrounded by the reflection mirror is formed on the rear side of the light source lamp with respect to the light irradiation direction, and the cooling air passage in the light source lamp is formed. In the outer surface region facing the opening of the reflecting film, a reflecting film for reflecting light emitted from the light source lamp is formed.

Description

광조사 장치{LIGHT IRRADIATION DEVICE}Light irradiation device {LIGHT IRRADIATION DEVICE}

도 1은 본 발명의 광조사 장치의 일례에서의 구성의 개략을 도시하는 단면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows the outline of a structure in an example of the light irradiation apparatus of this invention.

도 2는 도 1에 도시하는 광조사 장치에서의 광조사기의 구성의 개략을 도시하는 사시도이다. FIG. 2 is a perspective view illustrating an outline of a configuration of a light irradiator in the light irradiation apparatus shown in FIG. 1.

도 3은 도 2에 도시하는 광조사기의, 광원 램프의 관축에 수직인 단면을 도시하는 단면도이다. It is sectional drawing which shows the cross section perpendicular | vertical to the tube axis of the light source lamp of the light irradiator shown in FIG.

도 4는 본 발명의 광원 램프의 일례에서의 구성의 개략을 도시하는 평면도이다. It is a top view which shows the outline of a structure in an example of the light source lamp of this invention.

도 5는 실험예에서 제작한 본 발명에 따른 광조사 장치에 의한 조도 분포를 도시하는 그래프이다. 5 is a graph showing the illuminance distribution by the light irradiation apparatus according to the present invention produced in the experimental example.

도 6은 종래에서의 광조사 장치의 일례에서의 구성의 개략을 도시하는 단면도이다. It is sectional drawing which shows the outline of the structure in an example of the conventional light irradiation apparatus.

도 7은 도 6에 도시하는 광조사 장치를 구성하는 광조사기의, 광원 램프의 관축에 수직인 단면을 도시하는 단면도이다. It is sectional drawing which shows the cross section perpendicular | vertical to the tube axis of the light source lamp of the light irradiator which comprises the light irradiation apparatus shown in FIG.

도 8은 종래에서의 광조사 장치의 다른 예에서의 구성의 개략을 도시하는 사시도이다.8 is a perspective view illustrating an outline of a configuration of another example of a conventional light irradiation apparatus.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 광조사기 11 : 램프 하우스10: light irradiator 11: lamp house

11A : 광조사구 11B : 관통 구멍11A: light irradiation port 11B: through hole

12 : 격벽 13 : 풍동 12: bulkhead 13: wind tunnel

14 : 램프 배치용 공간 15 : 냉각풍 유통용 개구부14 space for lamp arrangement 15 opening portion for cooling wind flow

15A : 관통 구멍 16 : 배기 팬15A: Through Hole 16: Exhaust Fan

17 : 덕트 18 : 노즐부 17 duct 18 nozzle part

18A : 반사 미러 유지부 19 : 냉각 풍로18A: reflection mirror holding portion 19: cooling air path

20 : 광원 램프 21 : 밀봉체 20: light source lamp 21: sealing body

22 : 전극 23 : 차풍 부재22 electrode 23 windshield member

25 : 반사막 30 : 반사 미러25 reflecting film 30 reflecting mirror

31 : 개구부 f1 : 제1 초점 31: opening f1: first focus

f2 : 제2 초점 I1 : 반사 미러에 의한 반사광 f2: second focus I1: reflected light by the reflection mirror

I2 : 반사막에 의한 반사광 40 : 광조사기 I2: reflected light by reflecting film 40: light irradiator

41 : 램프 하우스 42 : 격벽41: lamp house 42: bulkhead

43 : 풍동 44 : 램프 배치용 공간43 wind tunnel 44 space for lamp arrangement

45 : 냉각풍 유통용 개구부 46 : 노즐부45 opening part for cooling wind flow 46 nozzle part

46A : 노즐 48 : 덕트46A: Nozzle 48: Duct

49 : 배기 팬 50 : 광원 램프49: exhaust fan 50: light source lamp

55 : 반사 미러 56 : 개구부55 reflection mirror 56 opening

60 : 냉각 풍로 W : 피처리 대상물 60: cooling air path W: object to be processed

본 발명은 예컨대, 막대 형상의 광원 램프 및 이 광원 램프로부터 방사되는 광을 반사하는 반사 미러를 구비하여 이루어지고, 자외선을 포함하는 광을 피처리 대상물에 조사함으로써, 예컨대 경화 처리나 개질 처리를 행하는 광조사 장치에 관한 것이다. The present invention comprises, for example, a rod-shaped light source lamp and a reflection mirror for reflecting light emitted from the light source lamp, and for example, a curing treatment or a modification treatment is performed by irradiating a target object with light containing ultraviolet rays. It relates to a light irradiation apparatus.

현재, 자외선을 포함하는 광을 조사하는 광원 램프를 구비한 광조사 장치를 이용하여, 예컨대 피처리 대상물에서의 보호막, 접착제, 도료, 잉크, 포토레지스트, 수지, 배향막 등에 대하여 경화, 건조, 용융 혹은 연화, 개질 처리 등을 행하는 것이 각 분야에서 폭넓게 행해지고 있다. Currently, using a light irradiation apparatus having a light source lamp for irradiating light containing ultraviolet rays, for example, the protective film, adhesive, paint, ink, photoresist, resin, alignment film, etc. in the object to be treated, curing, drying, melting or Softening, reforming, and the like have been widely performed in various fields.

도 6은, 종래의 광조사 장치의 일례에서의 구성의 개략을 도시하는 단면도, 도 7은 도 6에 도시하는 광조사 장치를 구성하는 광조사기의, 광원 램프의 관축에 수직인 단면을 도시하는 단면도이다. FIG. 6 is a cross-sectional view showing an outline of a configuration in an example of a conventional light irradiation apparatus, and FIG. 7 is a cross section perpendicular to the tube axis of the light source lamp of the light irradiation apparatus constituting the light irradiation apparatus shown in FIG. 6. It is a cross section.

이 광조사 장치는, 자외선을 포함하는 광을 조사하는 광조사기(40)를 구비하여 이루어지고, 예컨대, 이 광조사기(40)의 아래쪽 위치를 통과하도록 도시하지 않는 반송 기구에 의해 반송되는 피처리 대상물(워크(W))에 대하여 자외선을 조사하는 구성으로 되어 있다. This light irradiation apparatus is provided with the light irradiator 40 which irradiates the light containing an ultraviolet-ray, for example, the to-be-processed object conveyed by the conveyance mechanism which is not shown so that it may pass through the lower position of this light irradiator 40, for example. It is a structure which irradiates an ultraviolet-ray to the object (work W).

광조사기(40)는 내부 공간이 격벽(42)에 의해서 구획되어 풍동(風洞)(43) 및 램프 배치용 공간(44)이 상하로 나란히 형성되고, 램프 배치용 공간(44)의 아래쪽이 개구하는 대략 상자형 형상의 램프 하우스(41)를 구비하여 이루어지고, 램프 배치용 공간(44)에 막대 형상의 광원 램프(50)가 피처리 대상물(W)의 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 신장하도록 배치되어 있는 동시에, 이 광원 램프(50)로부터의 광을 반사하는 예컨대 타원면 반사면을 갖는 반사 미러(55)가 그 제1 초점의 위치(f1)가 광원 램프(50)의 램프 중심과 일치하는 상태로 광원 램프(50)를 따라 신장하도록 배치되어 있다. The light irradiator 40 has an internal space partitioned by the partition wall 42 so that the wind tunnel 43 and the lamp arrangement space 44 are formed up and down side by side, and the lower portion of the lamp arrangement space 44 is opened. And a lamp box 41 having a substantially box-shaped shape, wherein the light source lamp 50 having a rod shape extends in a direction perpendicular to the conveyance direction of the object to be processed W in the lamp arrangement space 44. And a reflecting mirror 55 having, for example, an ellipsoidal reflecting surface, which reflects light from the light source lamp 50, the position f1 of the first focal point coincides with the lamp center of the light source lamp 50. It is arrange | positioned so that it may extend along the light source lamp 50 in the state to do it.

램프 하우스(41)에서의 격벽(42)에는, 예컨대 풍동(43)과 램프 배치용 공간(44)을 연통시키는 복수의 관통 구멍이 광원 램프(50)의 길이 방향을 따라 나란한 상태로 형성되어 이루어지는 냉각풍 유통용 개구부(45)가 형성되어 있는 동시에, 냉각풍 유통용 개구부(45)의 양측 가장자리 위치에서 아래쪽으로 돌출하는 노즐부(46)가 광원 램프(50)의 길이 방향을 따라 신장하도록 격벽(42)과 일체로 형성되어 있다. In the partition 42 in the lamp house 41, for example, a plurality of through holes for communicating the wind tunnel 43 and the lamp arrangement space 44 are formed in a state parallel to each other along the longitudinal direction of the light source lamp 50. The partition 45 is formed so that the cooling air flow opening 45 is extended and the nozzle portions 46 protruding downward from both edge positions of the cooling air flow opening 45 are extended along the longitudinal direction of the light source lamp 50. It is formed integrally with 42.

그리고, 램프 하우스(41)의 상부에는 배기 팬(49)에 접속된, 풍동(43)의 내부 공간에 연통하는 덕트(48)가 설치되어 있다. And the upper part of the lamp house 41 is provided with the duct 48 connected to the internal space of the wind tunnel 43 connected to the exhaust fan 49.

반사 미러(55)의 꼭대기부에는, 예컨대 광원 램프(50)를 따라 신장하도록 형성된 홈으로 이루어지는 개구부(56)가 형성되어 있고, 이 개구부(56) 내에 격벽(42)과 일체로 형성된 노즐부(46)의 선단 부분이 삽입되며, 이에 따라, 광원 램프(50) 및 반사 미러(55)를 냉각하기 위한 냉각풍이 유통되는 냉각 풍로(60)가 형성되어 있다. At the top of the reflecting mirror 55, an opening 56 made of a groove formed to extend along the light source lamp 50, for example, is formed, and a nozzle portion formed integrally with the partition wall 42 in the opening 56. The front end portion of 46 is inserted, whereby a cooling air path 60 through which cooling air for cooling the light source lamp 50 and the reflection mirror 55 flows is formed.

이 광조사 장치에서는, 광원 램프(50)로부터 방사된 광은, 직접적으로 혹은 반사 미러(55)에 의해서 반사되어 피처리 대상물(W)에 조사된다. 구체적으로는, 반사 미러(55)에 의한 반사광은 반사 미러(55)의 제2 초점(f2)의 위치에서 일단 집광된 후 퍼진 상태로, 반사 미러(55)의 제2 초점(f2)에서 광조사 방향 원방(遠方)측에 위치하는 피처리 대상물(W)의 전체에 조사된다. In this light irradiation apparatus, the light emitted from the light source lamp 50 is reflected directly or by the reflection mirror 55, and is irradiated to the target object W. Specifically, the reflected light by the reflective mirror 55 is condensed after being focused once at the position of the second focal point f2 of the reflective mirror 55, and the light at the second focal point f2 of the reflective mirror 55 is spread out. It irradiates to the whole to-be-processed object W located in the irradiation direction far side.

한편, 광원 램프(50)의 점등시에서는, 배기 팬(49)이 작동됨으로써 냉각풍이 램프 하우스(41) 내에 흡인되고, 이 냉각풍에 의해서 광원 램프(50) 및 반사 미러(55)가 냉각되며, 램프 하우스(41) 내에 도입된 냉각풍은 냉각 풍로(60)를 형성하는 노즐부(46)를 통해 풍동(43)에 유입되어 덕트(48)를 통해 배기된다. On the other hand, when the light source lamp 50 is turned on, the exhaust fan 49 is operated so that cooling air is sucked into the lamp house 41, and the light source lamp 50 and the reflection mirror 55 are cooled by the cooling wind. The cooling air introduced into the lamp house 41 flows into the wind tunnel 43 through the nozzle part 46 forming the cooling air path 60 and is exhausted through the duct 48.

일본 공개특허공보 평8-174567호에 개시되어 있는 광조사 장치에서는, 예컨대 도 8에 도시하는 바와 같이, 광원 램프(50)의 관 직경에 대해서, 광원 램프(50)와의 최적의 크기의 냉각 풍로(60)의 폭을 설정하기 위해서, 냉각 풍로(60)를 형성하는 노즐(46A)을 램프 하우스(41)에서의 격벽(42)과 별체인 것으로서 구성하는 것이 기재되어 있다. In the light irradiation apparatus disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. Hei 8-174567, for example, as shown in FIG. 8, a cooling air path having an optimal size with the light source lamp 50 with respect to the tube diameter of the light source lamp 50. In order to set the width of the 60, it is described that the nozzle 46A forming the cooling air path 60 is configured as a separate body from the partition 42 in the lamp house 41.

일반적으로, 상기와 같은 자외선을 이용한 광조사 처리에서의 처리 시간은, 자외선의 조사량에 크게 의존하고, 광조사 영역에서의 자외선의 조사량을 크게 설정함으로써 처리 시간을 단축화할 수 있어 처리 효율을 향상시킬 수 있는 것이 알려져 있고, 광조사기로부터 조사되는 자외선의 조사량을 크게 하는 것이 요망되어 있다. In general, the treatment time in the above-described light irradiation treatment using ultraviolet rays is greatly dependent on the irradiation dose of ultraviolet rays, and the treatment time can be shortened by setting the irradiation dose of ultraviolet rays in the light irradiation region to be large, thereby improving treatment efficiency. It is known that it is possible to increase the irradiation amount of the ultraviolet-ray irradiated from a light irradiator.

상기 구성의 광조사 장치에서는, 광원 램프(50)의 점등 시에 광원 램프(50) 및 반사 미러(55)가 과열 상태가 되는 것을 방지하기 위해서, 냉각풍을 유통시키기 위한 냉각 풍로(60)를 구성하는 개구부(56)를 형성하는 것이 필요하고, 예컨대 반사 미러(55)의 꼭대기부에 형성되어 있다. In the light irradiation apparatus of the above structure, in order to prevent the light source lamp 50 and the reflection mirror 55 from becoming overheated when the light source lamp 50 is turned on, the cooling air path 60 for circulating the cooling wind is provided. It is necessary to form the opening part 56 which comprises, and is formed in the top part of the reflection mirror 55, for example.

그러나, 상기 개구부(56)의 존재에 의해서 광원 램프(50)로부터 반사 미러(55)의 개구부(56) 방향에 방사되는 자외선은, 유효하게 이용할 수 없다는 문제가 있다. 실제상, 반사 미러(55)의 개구부(56) 방향에 방사되어 효율적으로 이용할 수 없는 자외선의, 광원 램프(50)로부터 방사되는 광 전체에 대한 비율은, 예컨대 20% 정도라도 된다. However, there is a problem that ultraviolet rays emitted from the light source lamp 50 toward the opening 56 of the reflection mirror 55 due to the presence of the opening 56 cannot be effectively used. In practice, the ratio of the ultraviolet light emitted from the light source lamp 50 to the entirety of the ultraviolet light emitted in the direction of the opening 56 of the reflection mirror 55 and which cannot be efficiently used may be, for example, about 20%.

이러한 문제에 대하여, 피처리 대상물(W)에 대한 자외선의 조사량을 크게 하기 위한 일 수단으로서, 광원 램프(50) 그 자체의 램프 입력 전력을 크게 하는 것이 생각되지만, 램프 입력 전력이 큰 광원 램프(50)가 이용되는 경우에는, 이하에 나타내는 바와 같은 문제가 생기기 쉬워진다. 즉, 광원 램프(50)로부터 반사 미러(55)의 개구부(56) 방향으로 방사된 광은, 냉각 풍로(60)를 형성하는 노즐부(46) 또는 노즐(46A)에 직접적으로 조사되어 가열하는 것이 되지만, 노즐부(46) 또는 노즐(46A)은, 통상, 가공의 용이성이나 저비용이라는 등의 제조상의 이유로부터, 예컨대 알루미늄에 의해 형성되어 있기 때문에, 가열됨에 따라 변형되기 쉬워진다. 따라서, 노즐부(46) 또는 노즐(46A)이 가열됨에 수반하여 변형하는 것을 방지하기 위해서, 광원 램프(50) 및 반사 미러(55)뿐만 아니라, 노즐부(46) 또는 노즐(46A)도 냉각하는 것이 필요하게 된 결과, 보다 큰 풍량의 냉각풍이 필요해져 광 조사 장치의 에너지 소비량이 증대하고, 이러한 광조사 장치에 대한 요청의 하나인 에너지 절약화가 저지된다.  In response to such a problem, it is considered to increase the lamp input power of the light source lamp 50 itself as a means for increasing the irradiation amount of ultraviolet rays to the target object W, but a light source lamp having a large lamp input power ( In the case where 50) is used, the following problems are likely to occur. That is, light emitted from the light source lamp 50 in the direction of the opening 56 of the reflection mirror 55 is directly irradiated to the nozzle portion 46 or the nozzle 46A forming the cooling air path 60 to be heated. However, since the nozzle part 46 or the nozzle 46A is formed of aluminum, for example, from manufacturing reasons such as ease of processing or low cost, it is easy to deform as it is heated. Therefore, not only the light source lamp 50 and the reflecting mirror 55 but also the nozzle part 46 or the nozzle 46A are cooled in order to prevent the nozzle part 46 or the nozzle 46A from deforming as it is heated. As a result, the cooling wind of a larger wind volume is required, and the energy consumption of a light irradiation apparatus increases, and energy saving which is one of the requests for such a light irradiation apparatus is prevented.

본 발명은, 이상과 같은 사정에 의거하여 이루어진 것으로, 광원 램프 및 반사 미러를 냉각하기 위한 냉각풍을 유통시키기 위한 냉각 풍로가 형성된 광조사기를 구비한 광조사 장치로서, 피처리 대상물에 대한 광조사량을 크게 할 수 있어 처리 효율의 향상을 도모할 수 있고, 더구나, 냉각풍의 풍량을 대폭 증가시키지 않고 충분한 냉각 기능을 얻을 수 있는 광조사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and is a light irradiation apparatus having a light irradiator with a cooling air passage for circulating a cooling wind for cooling a light source lamp and a reflection mirror, the light irradiation amount of the object to be treated. It is an object of the present invention to provide a light irradiation apparatus capable of increasing the processing efficiency and improving the processing efficiency, and further obtaining a sufficient cooling function without significantly increasing the air volume of the cooling wind.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기 광조사 장치에서 이용되는 광원 램프로서, 광원 램프로부터 방사되는 광의 이용율을 향상시켜 광조사면에서의 광조사량을 크게 할 수 있고, 더구나, 광조사 장치의 냉각 풍로를 형성하는 노즐이 과열 상태가 되는 것을 확실히 방지할 수 있는 광원 램프를 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, another object of the present invention is a light source lamp used in the light irradiation apparatus, it is possible to improve the utilization rate of the light emitted from the light source lamp to increase the amount of light irradiation on the light irradiation surface, furthermore, the cooling air path of the light irradiation apparatus An object of the present invention is to provide a light source lamp that can reliably prevent the nozzle forming the overheating state.

본 발명의 광조사 장치는, 단면이 원형상인 막대 형상의 광원 램프가 그 관축이 반사면을 갖는 홈통형상의 반사 미러의 제1 초점의 위치와 일치하는 상태로 배치되어 이루어지는 광조사기를 구비하여 이루어지고, 광원 램프의 점등시에 있어, 광원 램프 및 반사 미러가 냉각풍에 의해 냉각되는 광조사 장치로서,The light irradiation apparatus of the present invention comprises a light irradiator in which a rod-shaped light source lamp having a circular cross section is arranged in a state coinciding with the position of the first focal point of the trough-shaped reflecting mirror having its reflective axis. As a light irradiation apparatus, when the light source lamp is turned on, the light source lamp and the reflection mirror are cooled by the cooling wind.

광조사 방향에 대해서 광원 램프의 후방측에 반사 미러에 의해서 둘러싸인 공간과 연통하는, 냉각풍을 유통시키기 위한 냉각 풍로가 형성되어 있고, A cooling air passage for circulating the cooling wind is formed on the rear side of the light source lamp in the light irradiation direction, which communicates with the space surrounded by the reflection mirror,

광원 램프에서의 냉각 풍로의 개구와 대향하는 외표면 영역에는, 상기 광원 램프로부터 방사되는 광을 반사하는 반사막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. A reflection film for reflecting light emitted from the light source lamp is formed in an outer surface region facing the opening of the cooling air path in the light source lamp.

본 발명의 광원 램프는, 상기의 광조사 장치에서 이용되는 광원 램프로서, The light source lamp of this invention is a light source lamp used by said light irradiation apparatus,

단면이 원형상인 막대 형상의 밀봉체를 구비하여 이루어지고, 광조사기 내에서의 홈통형상의 반사 미러의 제1 초점의 위치에 배치된 상태에서, 상기 반사 미러에 의해서 둘러싸인 공간과 연통하는, 냉각풍을 유통시키기 위한 냉각 풍로의 개구와 대향하는 밀봉체의 외표면 영역에 반사막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. The cooling wind which comprises the rod-shaped sealing body of circular cross section, and communicates with the space enclosed by the said reflection mirror in the state arrange | positioned at the position of the 1st focus point of the groove-shaped reflection mirror in the light irradiator. The reflective film is formed in the outer surface area | region of the sealing body which opposes the opening of the cooling air path for distributing the light.

본 발명의 광원 램프에서는, 반사 미러의 꼭대기부에서 광원 램프를 따라 신장하도록 형성된 냉각 풍로에 상기 광원 램프와의 폭을 설정하는 노즐이 설정되어 있고, In the light source lamp of the present invention, a nozzle for setting a width with the light source lamp is set in a cooling air passage formed to extend along the light source lamp at the top of the reflection mirror,

반사막이, 상기 광원 램프의 관축에 수직인 단면에서의 상기 관축을 중심으로 한 노즐을 본 각도 범위의 외표면 영역에 발광 영역의 전체영역에 걸쳐 관축을 따라 신장하도록 형성된 구성으로 되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the reflecting film is formed so as to extend along the tube axis over the entire area of the light emitting region in the outer surface region of the angular range in which the nozzle centered on the tube axis in the cross section perpendicular to the tube axis of the light source lamp. .

이하, 도면을 참조하여, 본 발명에 관해서 상세히 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail with reference to drawings.

도 1은 본 발명의 광조사 장치의 일례에서의 구성의 개략을 도시하는 단면도, 도 2는 도 1에 도시하는 광조사 장치에서의 광조사기의 구성의 개략을 도시하는 사시도, 도 3은 도 2에 도시하는 광조사기의 광원 램프의 관축에 수직인 단면을 도시하는 단면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Sectional drawing which shows the outline of the structure in an example of the light irradiation apparatus of this invention, FIG. 2 is a perspective view which shows the outline of the structure of the light irradiator in the light irradiation apparatus shown in FIG. It is sectional drawing which shows the cross section perpendicular | vertical to the tube axis of the light source lamp of the light irradiator shown in FIG.

이 광조사 장치는 자외선을 포함하는 광을 조사하는 광조사기(10)를 구비하여 이루어지고, 예컨대 광조사기(10)의 아래쪽 위치를 통과하도록 도면에 도시하지 않는 반송 기구에 의해 반송되는 피처리 대상물에 대하여 자외선을 조사함으로써 소정의 광조사 처리를 행하는 것이다. This light irradiation apparatus is provided with the light irradiator 10 which irradiates the light containing an ultraviolet-ray, For example, the to-be-processed object conveyed by the conveyance mechanism not shown in figure to pass through the lower position of the light irradiator 10, for example. By irradiating against ultraviolet rays, a predetermined light irradiation process is performed.

광조사기(10)는 아래쪽으로 개구되는 광조사구(11A)를 갖고, 격벽(12)에 의해서 상하로 구획된 풍동(13)을 구성하는 상부실 및 램프 배치용 공간(14)을 구성하는 하부실이 형성된 대략 상자형 형상의 램프 하우스(11)를 구비하여 이루어지고, 램프 하우스(11)의 상부에는 배기 팬(16)에 접속된, 풍동(13)의 내부 공간과 연통하는 덕트(17)가 설치되어 있다. The light irradiator 10 has a light irradiating opening 11A opened downward, and an upper chamber constituting the wind tunnel 13 partitioned up and down by the partition 12 and a lower chamber constituting the lamp arrangement space 14. The duct 17 which is provided with the substantially box-shaped lamp house 11 in which this was formed, and which is connected to the exhaust fan 16 in the upper part of the lamp house 11, communicates with the internal space of the wind tunnel 13, It is installed.

램프 하우스(11)에서의 램프 배치용 공간(14)에는 막대 형상의 광원 램프(20)가 그 관축이 광조사면(A)과 평행하게 신장하는 자세로 배치되어 있다. The rod-shaped light source lamp 20 is arranged in the posture in which the tube axis extends in parallel with the light irradiation surface A in the lamp arrangement space 14 in the lamp house 11.

램프 하우스(11)에서의 격벽(12)에는, 예컨대 풍동(13)과 램프 배치용 공간(14)을 연통시키는 복수의 관통 구멍(15A)이 광원 램프(20)의 관축 방향을 따라 나란한 상태로 형성되어 이루어지는 냉각풍 유통용 개구부(15)가 형성되어 있는 동시에, 냉각풍 유통용 개구부(15)의 양측 가장자리 위치에서 아래쪽으로 돌출하는 예컨대 알루미늄으로 이루어지는 노즐부(18)가, 광원 램프(20)의 관축 방향을 따라 신장하도록 격벽(12)과 일체로 형성되어 있고, 이에 따라 배기 팬(16)이 작동됨에 따라 램프 하우스(11) 내에 끌어 들여지는, 광원 램프(20) 및 반사 미러(30)를 냉각하기 위한 냉각풍이 유통되는 냉각 풍로(19)가 형성되어 있다. In the partition wall 12 in the lamp house 11, for example, a plurality of through holes 15A for communicating the wind tunnel 13 and the lamp arrangement space 14 are arranged side by side along the tube axis direction of the light source lamp 20. While the opening 15 for cooling wind flow which is formed is formed, the nozzle part 18 which consists of aluminum, which protrudes downward from the both edge positions of the cooling wind flow opening 15, the light source lamp 20 The light source lamp 20 and the reflecting mirror 30, which are integrally formed with the partition wall 12 so as to extend along the tube axis direction of the light source, which is drawn into the lamp house 11 as the exhaust fan 16 is operated. A cooling air passage 19 through which cooling air for cooling the air flows is formed.

노즐부(18)는 광원 램프(20)의 주위를 흐르는 냉각풍의 속도가 최적이 되도록, 광원 램프(20)와의 사이에 형성되는 냉각 풍로의 폭(광원 램프(20)와의 이간 거리)을 설정하기 위한 것이다. The nozzle unit 18 sets the width (distance between the light source lamp 20) of the cooling air path formed between the light source lamp 20 so that the speed of the cooling wind flowing around the light source lamp 20 becomes optimal. It is for.

램프 배치용 공간(14)에는, 광원 램프(20)의 발광 영역(L)(발광 길이)의 크기와 동등 또는 그 이상의 길이를 갖는 동시에 타원면 반사면을 갖는 홈통형상의 반사 미러(30)가, 그 제1 초점(f1)의 위치가 광원 램프(20)의 발광부를 구성하는 램프 중심(C)과 일치하는 상태로 배치되어 있다. In the lamp arrangement space 14, a groove-shaped reflective mirror 30 having a length equal to or greater than the size of the light emitting region L (light emission length) of the light source lamp 20 and having an ellipsoidal reflective surface, The position of the first focus f1 is arranged in a state coinciding with the lamp center C constituting the light emitting portion of the light source lamp 20.

반사 미러(30)의 꼭대기부에는 예컨대, 광원 램프(20)를 따라 신장되도록 형성된 홈으로 이루어지는 개구부(31)가 형성되어 있고, 이 개구부(31)의 개구 가장자리부가 노즐부(18)의 선단부에 형성된 반사 미러 유지부(18A)에 의해 유지되어 있는 동시에 선단부가 광조사구(11A)의 개구 가장자리부에 지지되어 있다. At the top of the reflective mirror 30, an opening 31 is formed, for example, a groove formed to extend along the light source lamp 20. The opening edge of the opening 31 is formed at the tip of the nozzle portion 18. It is held by the formed reflecting mirror holding portion 18A and the tip thereof is supported by the opening edge portion of the light irradiation port 11A.

반사 미러(30)의 내면에는 산화탄탈(Ta2O5)과 이산화규소(SiO2)로 이루어지는 다층 반사막(도시하지 않음)이 예컨대 증착에 의해 형성되어 있다. On the inner surface of the reflective mirror 30, a multilayer reflective film (not shown) made of tantalum oxide (Ta 2 O 5 ) and silicon dioxide (SiO 2 ) is formed, for example, by vapor deposition.

다층 반사막에서의 각층의 두께 및 적층수 등의 구체적인 구성은, 광조사 장치에 의한 처리 목적에 따른 특정한 파장의 자외선이 효율적으로 반사되도록 적절하게 설정할 수 있다. 예컨대, 광경화성 수지의 경화 처리에 사용되는 경우에는, 파장 350~400㎚의 자외선이 효율적으로 반사되도록 각층의 두께 및 적층수가 설정되고, 또한 예컨대 액정 패널에 사용되는 배향막의 광배향 처리에 사용되는 경우에는, 파장 240~280㎚의 자외선이 효율적으로 반사되도록 각층의 두께 및 적층수가 설정된다. The specific structure, such as the thickness of each layer and the number of lamination | stacking in a multilayer reflective film, can be suitably set so that the ultraviolet-ray of a specific wavelength according to the processing objective by a light irradiation apparatus may be reflected efficiently. For example, when used for the curing process of a photocurable resin, the thickness and laminated number of each layer are set so that the ultraviolet-ray of wavelength 350-400 nm may be reflected efficiently, and it is used for the photo-alignment process of the alignment film used for a liquid crystal panel, for example. In this case, the thickness and the number of stacked layers of each layer are set so that ultraviolet rays having a wavelength of 240 to 280 nm are efficiently reflected.

광원 램프(20)는 도 4에 도시하는 바와 같이, 양단이 봉지된 예컨대 글래스로 이루어지는 단면이 원형상인 밀봉체(21)를 구비하고, 이 밀봉체(21) 내에 양단부 위치에서 한 쌍의 전극(22)이 대향 배치되어 있는 동시에, 예컨대 수은, 희가스 및 할로겐이 봉입되어 이루어지고, 자외선을 포함하는 광을 방사하는 고압 수은 램 프로 이루어진다. As shown in Fig. 4, the light source lamp 20 includes a sealing body 21 having a circular cross section formed of, for example, glass, which is sealed at both ends, and has a pair of electrodes at both end positions in the sealing body 21. 22) are disposed opposite each other, for example, by mercury, rare gas, and halogen, and a high-pressure mercury lamp that emits light including ultraviolet rays.

이 광원 램프(20)에서의 발광 영역(L)에 연속하는 양단부에는 냉각풍이 불어 넣어짐으로써 온도 저하를 방지하기 위한 우산형상의 차풍 부재(23)가, 전극(22)의 배치 위치에 대향하는 밀봉체의 표면 부분의 주위를 덮도록 설치되어 있다. Cooling wind is blown into both ends of the light source lamp 20 in the light emitting region L so that the umbrella-shaped windshield 23 prevents the temperature from being lowered to the arrangement position of the electrode 22. It is provided so that the circumference | surroundings of the surface part of a sealing body may be covered.

이 광원 램프(20)에서는, 램프 하우스(11) 내에서의 소정의 위치에 소정의 자세로 배치된 상태에서, 냉각 풍로(19)를 형성하는 노즐부(18)의 개구, 바꾸어 말하면 반사 미러(30)의 꼭대기부에 형성된 개구부(31)에 대향하는 밀봉체(21)의 외표면 영역에, 처리 목적에 따른 특정 파장의 자외선을 효율적으로 반사시키는 기능을 갖는 반사막(25)이 광원 램프(20)의 관축을 따라 신장하도록 형성되어 있다. In this light source lamp 20, the opening of the nozzle part 18 which forms the cooling air path 19, in other words, the reflection mirror (in other words, in the state arrange | positioned in the predetermined position in the lamp house 11 in a predetermined posture) A light source lamp 20 is provided with a reflecting film 25 having a function of efficiently reflecting ultraviolet rays of a specific wavelength in accordance with the purpose of treatment in the outer surface region of the sealing body 21 opposite to the opening 31 formed at the top of the 30. It is formed to extend along the tube axis.

이 반사막(25)은 광원 램프(20)의 관축에 수직인 단면에서, 광원 램프(20)의 관축(램프 중심 C)을 중심으로 한 노즐부(18)에서의 반사 미러 유지부(18A)를 본 각도 범위(θ) 영역에 형성되어 있는 것이 바람직하고, 상기 각도 범위(θ)는 예컨대 90°로 되어 있다(도 3 참조). 이러한 구성인 것에 의해 반사 미러(30)의 유효 반사 영역을 저해하지 않고, 반사 미러(30)의 개구부(31) 방향으로 방사되는 광을 반사막(25) 및 반사 미러(30)의 양자에 의해 효율적으로 반사시킬 수 있다. This reflecting film 25 has the reflection mirror holding part 18A in the nozzle part 18 centered on the tube axis (lamp center C) of the light source lamp 20 in the cross section perpendicular | vertical to the tube axis of the light source lamp 20. As shown in FIG. It is preferable to form in this angular range (theta) area | region, and the said angular range (theta) is 90 degrees, for example (refer FIG. 3). With such a configuration, the light emitted in the direction of the opening 31 of the reflection mirror 30 can be efficiently absorbed by both the reflection film 25 and the reflection mirror 30 without disturbing the effective reflection area of the reflection mirror 30. Can be reflected.

반사막(25)은 광원 램프(20)의 밀봉체(21)의 표면 온도가 점등 시에서 예컨대 600∼800℃가 되기 때문에, 예컨대 내열성이 뛰어난 재질에 의해 구성된 것이 필요해지고, 예컨대 산화 탄탈(Ta2O5)과 이산화규소(SiO2)로 이루어지는 다층 반사막에 의해 구성되어 있다. 이러한 구성의 반사막은, 예컨대 증착에 의해 형성할 수 있다. Since the reflective film 25 has a surface temperature of the sealing element 21 of the light source lamp 20 is an example 600~800 ℃ in the time of lighting, for example, it becomes necessary constituted by a highly heat-resistant material, such as tantalum oxide (Ta 2 O 5 ) and silicon dioxide (SiO 2 ). The reflective film of such a structure can be formed, for example by vapor deposition.

반사막(25)은 전술한 바와 같이, 광조사 장치에 의한 처리 목적에 따른 특정 파장의 자외선이 효율적으로 반사되도록 구성되어 있으면, 재질, 각 층의 두께 및 적층수는 특별히 한정되는 것이 아니고, 예컨대 산화탄탈 대신에 산화지르코늄이나 산화하프늄을 이용할 수도 있다. As described above, when the reflective film 25 is configured to efficiently reflect ultraviolet rays of a specific wavelength depending on the purpose of processing by the light irradiation apparatus, the material, the thickness of each layer, and the number of stacked layers are not particularly limited. Instead of tantalum, zirconium oxide or hafnium oxide may be used.

이 광조사기(10)에서는, 노즐부(18)와 광원 램프(20)의 폭, 즉 광원 램프(20)와 노즐부(18)의 반사 미러 유지부(18A)와의 최근접 거리(K)의 크기가 예컨대 4∼5㎜로 되어 있고, 이에 따라, 냉각풍을 광원 램프(20)의 배면측을 확실히 유과(流過)시킬 수 있다. In the light irradiator 10, the width of the nozzle unit 18 and the light source lamp 20, that is, the closest distance K between the light source lamp 20 and the reflective mirror holding unit 18A of the nozzle unit 18 is determined. The size is, for example, 4 to 5 mm, whereby the cooling air can be surely flowed to the rear side of the light source lamp 20.

상기 광조사 장치에서는, 예컨대, 피처리 대상물이 광원 램프(20)와 일정한 이간 거리를 유지한 상태로, 광조사기(10)의 아래쪽 위치를 통과하도록 광원 램프(20)의 관축과 직교하는 방향으로 반송되고, 광조사기(10)로부터 조사되는 자외선에 의해서 소정의 처리가 행해진다. 즉, 광원 램프(20)가 점등되면, 광원 램프(20)로부터 방사되는 자외선을 포함하는 광이 광조사구(11A)를 통해 직접적으로 혹은 반사 미러(30) 및 광원 램프(20)에서의 반사막(25)에 의해서 반사되어 피처리 대상물에 조사된다. 여기에, 반사 미러(30)에 의해서 반사된 반사광(I1)은, 반사 미러(30)의 제2 초점(f2)에 일단 집광된 후, 다시 이 제2 초점(f2)을 통과하여 퍼진 상태로, 제2 초점(f2)보다도 광조사 방향 원방측에 위치하는 피처리 대상물 전체에 조사되고, 또한, 반사막(25)에 의해서 반사된 반사광(I2)은, 반사 미러(30)에 의해 반사된 반사광(I1)과는 달리, 반사 미러(30)의 제2 초점(f2)을 통과하지 않고서, 예컨대 광조사면(A)의 중심 위치(광원 램프(20)의 바로 아래 위치)의 양측 위치에 조사된다(도 1 참조). In the light irradiation apparatus, for example, in a direction perpendicular to the tube axis of the light source lamp 20 so as to pass through the lower position of the light irradiator 10 while the object to be processed is maintained at a constant separation distance from the light source lamp 20. The predetermined process is performed by the ultraviolet-ray conveyed and irradiated from the light irradiator 10. FIG. That is, when the light source lamp 20 is turned on, the light containing ultraviolet rays emitted from the light source lamp 20 is transmitted directly through the light irradiation port 11A or the reflective film 30 in the reflection mirror 30 and the light source lamp 20 ( Reflected by 25), the object to be treated is irradiated. Here, the reflected light I1 reflected by the reflecting mirror 30 is focused once on the second focal point f2 of the reflecting mirror 30 and then spreads again through the second focal point f2. Reflected light I2 that is irradiated to the entire object to be processed located in the light irradiation direction farther than the second focal point f2 and reflected by the reflective film 25 is reflected light reflected by the reflective mirror 30. Unlike (I1), it is irradiated to both positions of the center position of the light irradiation surface A (position directly under the light source lamp 20), without passing through the 2nd focal point f2 of the reflection mirror 30, for example. (See Figure 1).

한편, 배기 팬(16)이 작동됨으로써 광조사구(11A)를 통해 흡입된 냉각풍이, 반사 미러(30)의 내면을 따라 유과되는 동시에 광원 램프(20)의 밀봉체(21)의 표면을 따라 유과됨으로써 반사 미러(30) 및 광원 램프(20)가 냉각되고, 그 후, 노즐부(18)에 의해서 형성된 냉각 풍로(19)를 통해 풍동(13)에 유입되는 것에 수반하여 노즐부(18)가 냉각되며, 덕트(17)를 통해 광조사기(10)의 외부에 배기된다. 또한, 반사 미러(30)는, 광조사구(11A)의 개구 가장자리 부분에 형성된 관통 구멍(11B)을 통해 램프 배치용 공간(14) 내에 흡입된 냉각풍에 의해서 배면측으로부터도 냉각된다(도 3 참조). 여기에, 냉각풍의 풍량은 예컨대 1.5∼2㎥/min이다. On the other hand, the cooling fan sucked through the light irradiation port 11A by the exhaust fan 16 is actuated along the inner surface of the reflecting mirror 30 and at the same time passes through the surface of the seal 21 of the light source lamp 20. As a result, the reflection mirror 30 and the light source lamp 20 are cooled, and then the nozzle portion 18 is introduced into the wind tunnel 13 through the cooling air passage 19 formed by the nozzle portion 18. It is cooled and exhausted to the outside of the light irradiator 10 through the duct 17. The reflection mirror 30 is also cooled from the back side by the cooling wind sucked into the lamp placement space 14 through the through hole 11B formed in the opening edge portion of the light irradiation port 11A (FIG. 3). Reference). Here, the air volume of the cooling wind is, for example, 1.5 to 2 m 3 / min.

이렇게 하여, 단순히 밀봉체의 외표면에 반사막이 형성된 광원 램프를 이용한 것 만으로는 광조사면에서의 광조사량을, 반사막을 갖지 않는 광원 램프가 이용되어 이루어지는 광조사 장치에 비해 크게 할 수는 없다. 이 이유는, 반사 미러에 의한 반사경과, 반사막에 의한 반사광과의 광선이 상이하기 때문에, 반사 미러의 유효 반사 영역과의 관계에서, 반사 미러에 의해 반사된 경우라면 광조사면에서의 소정의 범위 내에 반사시킬 수 있는 광이 반사막에 의해서 반사됨에 따라 상기 범위 외에 조사되는 일이 있기 때문이다. In this way, simply using the light source lamp in which the reflection film was formed in the outer surface of the sealing body cannot make the light irradiation amount in a light irradiation surface larger than the light irradiation apparatus in which the light source lamp which does not have a reflection film is used. The reason for this is that the light beam between the reflecting mirror by the reflecting mirror and the reflecting light by the reflecting film is different. Therefore, when reflected by the reflecting mirror in relation to the effective reflecting region of the reflecting mirror, it is within a predetermined range in the light irradiation surface. This is because the light that can be reflected may be irradiated outside the above range as the light is reflected by the reflecting film.

그런데, 광원 램프(20)로서, 밀봉체(21)의 외표면 영역에서의 적정한 범위에 반사막(25)이 형성되어 이루어지는 것이 사용됨으로써, 상기 구성의 광조사 장치에 의하면 상기 반사막(25)에 의해서 광원 램프(20)로부터 반사 미러(30)의 개구부 (31) 방향으로 방사되는 광을 반사 미러(30)의 유효 반사 영역을 저해하지 않고 효율적으로 반사시킬 수 있기 때문에, 광조사면(A)에서의 광조사량을 크게 할 수 있다. 구체적으로는, 광조사면(A)에서의 광원 램프의 바로 아래 위치(중심 위치)를 포함하는 소정의 범위 내의 조도의 레벨이 전체적으로 높아지는 조도 분포를 얻을 수 있고(예컨대 도 5 참조), 실제상, 이러한 조도 분포에 의하면, 피처리 대상물의 전체를 확실히 커버할 수 있고, 피처리 대상물에 관한 소정의 광조사 처리를 높은 처리 효율로 행할 수 있다. By the way, as the light source lamp 20, the reflective film 25 is formed in an appropriate range in the outer surface region of the sealing body 21, and according to the light irradiation device of the above configuration, the reflective film 25 Since the light emitted from the light source lamp 20 in the direction of the opening 31 of the reflection mirror 30 can be efficiently reflected without disturbing the effective reflection area of the reflection mirror 30, The light irradiation amount can be increased. Specifically, an illuminance distribution in which the level of illuminance within a predetermined range including the position (center position) immediately below the light source lamp on the light irradiation surface A can be obtained as a whole (see, for example, FIG. 5), According to such illuminance distribution, the whole to-be-processed object can be covered reliably, and the predetermined light irradiation process with respect to a to-be-processed object can be performed with high processing efficiency.

또한, 반사 미러(30)의 개구부(31) 방향으로 방사되는 광이 냉각 풍로(19)를 형성하는 노즐부(18)에 대하여 직접적으로 조사되는 것이 방지되기 때문에, 필요해지는 냉각풍의 풍량을 많게 하지 않고 노즐부(18)가 과열 상태가 되는 것을 방지할 수 있어 에너지 절약화를 도모할 수 있다. In addition, since the light radiated in the direction of the opening 31 of the reflective mirror 30 is prevented from being directly irradiated to the nozzle portion 18 forming the cooling air passage 19, the amount of cooling air required is not increased. The nozzle portion 18 can be prevented from becoming overheated without consequently saving energy.

이하, 본 발명의 효과를 확인하기 위해서 행한 실험예에 관해서 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the experiment example performed in order to confirm the effect of this invention is demonstrated.

<실험예 1> Experimental Example 1

도 1에 도시하는 구성에 따라서 본 발명에 따른 광조사 장치를 제작하였다. 이 광조사 장치의 구체적인 사양은 이하에 나타내는 바와 같다. According to the structure shown in FIG. 1, the light irradiation apparatus which concerns on this invention was produced. The specific specification of this light irradiation apparatus is as showing below.

광원 램프는, 밀봉체의 외경이 ø23㎜, 발광 길이가 125㎜, 정격 전력이 1.5kW, 램프 입력 전력이 120W/㎝인 고압 수은 램프로서, 밀봉체에서의 관축을 중심으로 한 90°의 각도 범위의 외표면 영역에 반사막을 형성한 것이다. The light source lamp is a high-pressure mercury lamp whose outer diameter of the seal is ø23 mm, the emission length is 125 mm, the rated power is 1.5 kW, and the lamp input power is 120 W / cm. The reflective film is formed in the outer surface area of the range.

반사막은 산화탄탈층과 이산화규소층을 증착에 의해 교대로 약 20층 적층한 다층 증착막이다. The reflective film is a multilayer vapor deposition film in which about 20 layers of tantalum oxide layers and silicon dioxide layers are alternately laminated by vapor deposition.

반사 미러는 타원면 반사면을 갖고, 제1 초점으로부터 제2 초점까지의 이간 거리가 약 120㎜인 것이다. The reflecting mirror has an ellipsoidal reflecting surface, and the separation distance from the first focus to the second focus is about 120 mm.

배기 팬은 광조사기 내를 유과하는 풍량이 1.5∼2㎥/min이 되도록 설정 가능한 능력을 갖는 것이다. The exhaust fan has the ability to be set such that the amount of air flowing through the light irradiator is 1.5 to 2 m 3 / min.

램프 하우스 및 노즐부는 알루미늄제이고, 노즐부의 반사 미러 유지부와 광원 램프의 최근접 거리가 4.5㎜이다. The lamp house and the nozzle portion are made of aluminum, and the closest distance between the reflection mirror holding portion of the nozzle portion and the light source lamp is 4.5 mm.

또한, 반사막을 갖지 않는 것인 것 외에는 상기 광원 램프와 동일한 사양의 고압 수은 램프를 이용한 것 외에는 상기 광조사 장치와 동일한 구성을 갖는 비교용 광조사 장치를 제작하였다. Moreover, the comparative light irradiation apparatus which has the same structure as the said light irradiation apparatus was produced except having used the high pressure mercury lamp of the same specification as the said light source lamp except having no reflective film.

본 발명에 따른 광조사 장치 및 비교용 광조사 장치의 각각에 관해서, 반사 미러의 제1 초점의 위치로부터 광조사 방향에 대하여 400㎜ 떨어진 위치에 설치한 광조사면에서, 파장 365㎚에 중심 감도를 갖는 자외선 조도를 측정하였다. 결과를 도 5에 도시한다. 도 5에서의 세로축은, 비교용의 광조사 장치를 기준으로 한 상대값으로 나타낸 조도의 크기를 나타내고, 가로축은 광원 램프의 바로 아래 위치(중심 위치, O㎜)로부터 램프 관축에 직교하는 방향에서의 거리로 나타낸 측정 위치를 나타내며, 본 발명에 따른 광조사 장치의 결과를 □인(印), 비교용 광조사 장치의 결과를 △인으로 나타내고 있다. With respect to each of the light irradiation apparatus and the comparative light irradiation apparatus according to the present invention, the center sensitivity is set at a wavelength of 365 nm on the light irradiation surface provided at a position 400 mm away from the position of the first focus of the reflection mirror with respect to the light irradiation direction. Ultraviolet illuminance having was measured. The results are shown in FIG. In FIG. 5, the vertical axis | shaft shows the magnitude | size of the illuminance shown by the relative value on the basis of the comparative light irradiation apparatus, and the horizontal axis shows the direction orthogonal to the lamp tube axis | shaft from the position (center position, Omm) just under a light source lamp. The measurement position shown by the distance of is shown, and the result of the light irradiation apparatus which concerns on this invention is shown by (triangle | dye), and the result of the comparison light irradiation apparatus is shown by (triangle | delta) phosphorus.

도 5에 도시하는 결과로부터 알 수 있듯이, 광원 램프의 바로 아래 위치인 중심 위치(측정 위치 O㎜)에서의 조도의 크기는, 본 발명에 따른 광조사 장치와 비교용 광조사 장치에서 큰 차이는 없지만, 본 발명에 따른 광조사 장치에서는 조도 분포에서의 중심 위치의 양측 위치에 조도가 높은 부분을 갖고, 중심 위치로부터 좌우 600㎜의 범위 내에서 자외선 조사량(도 5에서의 조도의 적분값)이 비교용의 광조사 장치에 비하여 약 20% 높아지는 것이 확인되었다. As can be seen from the results shown in Fig. 5, the magnitude of illuminance at the center position (measurement position Omm), which is a position just below the light source lamp, has a large difference between the light irradiation apparatus and the comparison light irradiation apparatus according to the present invention. However, in the light irradiation apparatus according to the present invention, there is a high illuminance at both sides of the center position in the illuminance distribution, and the ultraviolet irradiation amount (integral value of illuminance in FIG. 5) is within the range of 600 mm from the center position. It was confirmed that it was about 20% higher than the light irradiation device for comparison.

이 이유는, 다음과 같이 생각된다. 즉, 광원 램프에 형성된 반사막은 단면이 원형의 막대 형상인 광원 램프의 밀봉체의 표면에 형성되어 있고, 반사막의 반사면의 단면도 원형상이기 때문에, 예컨대 광이 광원 램프의 중심으로부터 출사한다고 생각하면, 광은 반사막에 의해 출사한 방향과는 180°반대의 방향으로 반사되게 된다. This reason is considered as follows. That is, since the reflective film formed on the light source lamp is formed on the surface of the sealing member of the light source lamp having a circular rod-shaped cross section and is circular in cross section of the reflective surface of the reflective film, it is assumed that light is emitted from the center of the light source lamp, for example. The light is reflected in a direction opposite to 180 ° from the direction emitted by the reflecting film.

그러나, 실제의 광원 램프에서의 발광부는 일정한 굵기를 갖고 있고, 광은 그 굵기를 가진 발광부의 표면에서 방사된다. 즉, 광이 출사하는 위치가 램프의 중심으로부터 약간 어긋나게 되고, 도 1의 「반사막에 의한 반사광(I2)」으로서 나타낸 광선과 같이, 반사막에 의해 반사된 광은, 180° 반대측이 아니라, 약간 중심에 치우쳐 반사되어 조사되게 된다. 따라서, 조도 분포에서의 중심 위치의 양측에 조도가 높은 부분이 생긴다고 생각된다. However, the light emitting portion in the actual light source lamp has a constant thickness, and light is emitted from the surface of the light emitting portion having the thickness. That is, the position where the light exits is slightly shifted from the center of the lamp, and the light reflected by the reflecting film is slightly centered, not the 180 ° opposite side, as in the light rays shown as "reflected light I2 by the reflecting film" in FIG. It is reflected in the reflection and is irradiated. Therefore, it is thought that the part with high illuminance arises on both sides of the center position in illuminance distribution.

이상과 같이, 본 발명에 따른 광조사 장치에 의하면, 비교용 광조사 장치라면 유효하게 이용할 수 없었던, 냉각 풍로 방향으로 방사되는 광을 반사막 및 반사 미러에 의해 반사시켜 유효하게 이용할 수 있고, 광조사량을 높게 할 수 있는 것이 확인되었다. As mentioned above, according to the light irradiation apparatus which concerns on this invention, the light irradiated to the cooling wind path direction which was not able to use effectively if it was a comparative light irradiation apparatus can be reflected and used effectively by a reflection film and a reflection mirror, and the amount of light irradiation It was confirmed that can make high.

그리고, 광조사면에서의 광조사량을 크게 할 수 있는 범위가 중심 위치로부터 좌우 600㎜의 범위 내라면, 실제상 피처리 대상물의 전체를 커버할 수 있고, 실 용상 충분한 효과가 얻어지는 것으로 기대된다. And if the range which can enlarge the light irradiation amount in a light irradiation surface is in the range of 600 mm left and right from a center position, it can actually cover the whole to-be-processed object, and it is expected that a sufficient effect is obtained practically.

또한, 광원 램프의 점등 시에서의 노즐부의 온도를 측정한 바, 비교용 광조사 장치에서는, 약 120~130℃였던 것에 비하여, 본 발명에 따른 광조사 장치에서는 약 100℃ 정도이고, 비교용 광조사 장치에 비하여 20℃ 이상 낮은 온도 상태인 것이 확인되었다. Moreover, when the temperature of the nozzle part at the time of lighting of a light source lamp was measured, it was about 100 degreeC in the light irradiation apparatus which concerns on this invention compared with what was about 120-130 degreeC in the comparative light irradiation apparatus, and compared light It was confirmed that it was a temperature state 20 degreeC or more lower than an irradiation apparatus.

이 이유는, 본 발명에 따른 광조사 장치에서는, 냉각 풍로 방향으로 방사된 광이 반사막에 의해 반사되어 광조사구를 통하여 출사되고, 노즐부에 직접적으로 조사되는 광의 조사량이 저감되었기 때문이라고 생각된다. 따라서, 노즐부가 과열 상태가 되는 것을 방지하기 위해서 필요해지는 냉각풍의 풍량을 크게 하지 않고, 광조사 장치를 충분한 냉각 기능을 갖는 것으로 하여 구성할 수 있는 것이 확인되었다. This reason is considered to be because in the light irradiation apparatus according to the present invention, the light radiated in the cooling air path direction is reflected by the reflecting film and emitted through the light irradiation port, and the amount of irradiation of the light directly irradiated to the nozzle portion is reduced. Therefore, it was confirmed that the light irradiation apparatus can be configured as having a sufficient cooling function without increasing the air volume of the cooling wind required to prevent the nozzle portion from becoming overheated.

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명하였지만, 본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 여러 가지 변경을 가할 수 있다. As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to said embodiment, A various change can be added.

예컨대, 상기 실시예에서는, 배기 팬에 의해 램프 하우스 내에 냉각풍을 흡입하는 배기 냉각 방식의 것을 예로 들어 설명하였지만, 냉각풍을 냉각 풍로를 통하여 램프 하우스 내에 공급하는 송풍 냉각 방식의 것이어도 좋다. For example, in the above embodiment, the exhaust cooling method in which the cooling fan is sucked into the lamp house by the exhaust fan has been described as an example. However, the blow cooling method may be used to supply the cooling air into the lamp house through the cooling air path.

또한, 본 발명의 광조사 장치에서는, 광원 램프와의 폭을 설정하는 노즐은 광조사기의 램프 하우스의 격벽에 일체로 형성된 것이어도, 격벽과 별체로 형성된 것이어도 모두 좋다. Moreover, in the light irradiation apparatus of this invention, the nozzle which sets the width with a light source lamp may be formed integrally with the partition of the lamp house of a light irradiator, or may be formed separately from a partition.

또한, 광조사기를 구성하는 반사 미러는 반사면이 타원면이 아니라, 포물면 인 것이어도 좋다. The reflective mirror constituting the light irradiator may be a parabolic surface instead of an elliptical surface.

또한, 본 발명의 광조사 장치에서는, 광조사기를 구성하는 반사 미러가, 광원 램프의 발광길이의 크기와 동등 또는 그 이상의 길이를 갖는 동시에 반사면을 갖는 두 개의 미러를 조합하여 홈통형상으로 한 것이어도 좋다. 이 경우에는, 두 개의 반사 미러 사이에 냉각 풍로가 형성된다. In the light irradiation apparatus of the present invention, the reflection mirror constituting the light irradiator has a groove shape in which two mirrors having a reflection surface and a length equal to or greater than the size of the light emission length of the light source lamp are combined. You can do it. In this case, a cooling air path is formed between the two reflection mirrors.

또한, 반사 미러의 꼭대기부에 형성되는 개구부는, 광원 램프를 따라 서로 이간하여 나란한 위치에 형성된 복수의 구멍에 의해 형성되어 있어도 좋다. In addition, the opening part formed in the top part of the reflection mirror may be formed by the some hole formed in the position parallel to each other along the light source lamp.

본 발명의 광조사 장치에 의하면, 광원 램프로서 밀봉체의 외표면 영역에서의 적정한 범위에 반사막이 형성되어 이루어지는 것이 사용됨으로써, 상기 반사막에 의해서 광원 램프로부터 냉각 풍로의 개구 방향으로 방사되는 광을 반사 미러의 유효 반사 영역을 저해하지 않고 효율적으로 반사시킬 수 있기 때문에, 광조사면에서의 광조사량을 높게 할 수 있고, 피처리 대상물에 관한 소정의 광조사 처리를 높은 처리 효율로 행할 수 있다. According to the light irradiation apparatus of the present invention, a reflective film is formed in an appropriate range in the outer surface region of the sealing body as a light source lamp, thereby reflecting light emitted from the light source lamp in the opening direction of the cooling air passage by the reflective film. Since the effective reflection area of the mirror can be efficiently reflected without disturbing, the light irradiation amount on the light irradiation surface can be increased, and the predetermined light irradiation processing on the object to be processed can be performed at high processing efficiency.

더구나, 광원 램프와의 폭을 설정하는 노즐이 냉각 풍로에 설치된 구성인 것에서는, 냉각 풍로의 개구 방향으로 방사되는 광이 노즐에 대하여 직접적으로 조사되는 것이 방지되기 때문에, 필요로 되는 냉각풍의 풍량을 많게 하지 않고 노즐이 과열 상태가 되는 것을 확실히 방지할 수 있어, 에너지 절약화를 도모할 수 있다. In addition, in the configuration in which the nozzle for setting the width with the light source lamp is provided in the cooling air passage, since the light radiated in the opening direction of the cooling air passage is prevented from being irradiated directly to the nozzle, the amount of air flow of the cooling air required is adjusted. It is possible to reliably prevent the nozzle from overheating without increasing the number, and to save energy.

본 발명의 광원 램프에 의하면, 상기 광조사 장치에 이용된 경우에, 반사 미러에 의한 유효 반사 영역과의 관계에서, 냉각 풍로의 개구 방향으로 방사되는 광 을 반사막에 의해서 반사시켜 유효하게 이용할 수 있기 때문에, 광조사면에 대한 광조사량을 높게 할 수 있고, 더구나, 광원 램프로부터의 광이 노즐에 직접적으로 조사되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 광원 램프의 점등시에서 필요해지는 냉각풍의 풍량을 많게 하지 않고 노즐이 과열 상태가 되는 것을 확실히 방지할 수 있는 결과, 상기 광원 램프가 이용되어 구성된 광조사 장치의 에너지 절약화를 도모할 수 있다. According to the light source lamp of the present invention, when used in the light irradiation apparatus, the light emitted in the opening direction of the cooling air passage can be effectively used by reflecting the light emitted in the opening direction of the cooling air passage in relation to the effective reflection area by the reflection mirror. Therefore, the light irradiation amount to the light irradiation surface can be made high, and furthermore, since the light from the light source lamp can be prevented from being directly irradiated to the nozzle, the amount of cooling wind required at the time of lighting of the light source lamp is not increased. As a result of being able to reliably prevent the nozzle from becoming overheated, energy saving of the light irradiation apparatus configured with the light source lamp can be achieved.

Claims (3)

단면이 원형상인 막대 형상의 광원 램프가 그 관축이 반사면을 갖는 홈통형상의 반사 미러의 제1 초점의 위치와 일치하는 상태로 배치되어 이루어지는 광조사기를 구비하여 이루어지고, 광원 램프의 점등시에서 광원 램프 및 반사 미러가 냉각풍에 의해 냉각되는 광조사 장치로서, A rod-shaped light source lamp having a circular cross section is provided with a light irradiator in which the tube axis thereof is arranged in a state coinciding with the position of the first focal point of the reflecting mirror having a reflecting surface. A light irradiation apparatus in which a light source lamp and a reflection mirror are cooled by a cooling wind, 광조사 방향에 대해서 광원 램프의 후방측에 반사 미러에 의해서 둘러싸인 공간과 연통하는, 냉각풍을 유통시키기 위한 냉각 풍로가, 반사 미러의 꼭대기부에서 광원 램프를 따라 신장하도록 형성되어 있고, A cooling air passage for circulating the cooling wind in communication with the space enclosed by the reflection mirror on the rear side of the light source lamp with respect to the light irradiation direction is formed to extend along the light source lamp at the top of the reflection mirror, 상기 냉각 풍로에는, 상기 광원 램프와의 폭을 설정하는 노즐이 설치되어 있으며,The cooling air path is provided with a nozzle for setting a width with the light source lamp, 광원 램프에서의 냉각 풍로의 개구와 대향하는 외표면 영역에는, 상기 광원 램프로부터 방사되는 광을 반사하는 반사막이, 당해 광원 램프의 관축에 수직인 단면에서의 당해 관축을 중심으로 한 상기 노즐을 본 각도 범위의 외표면 영역에, 발광 영역의 전체영역에 걸쳐 관축을 따라 신장하도록 형성되어 있는, 광조사 장치. In the outer surface region facing the opening of the cooling air passage in the light source lamp, a reflecting film reflecting light emitted from the light source lamp sees the nozzle around the tube axis in a cross section perpendicular to the tube axis of the light source lamp. The light irradiation apparatus which is formed in the outer surface area of an angular range so that it may extend along a tube axis over the whole area | region of a light emitting area. 청구항 1에 기재된 광조사 장치에서 이용되는 광원 램프로서, As a light source lamp used by the light irradiation apparatus of Claim 1, 단면이 원형상인 막대 형상의 밀봉체를 구비하여 이루어지고, 광조사기 내에서의 홈통형상의 반사 미러의 제1 초점의 위치에 배치된 상태에서, 상기 반사 미러에 의해 둘러싸인 공간과 연통하는, 냉각풍을 유통시키기 위한 냉각 풍로의 개구와 대향하는 밀봉체의 외표면 영역에 반사막이 형성되고, 당해 반사막은, 당해 광원 램프의 관축에 수직인 단면에서의 상기 관축을 중심으로 한 상기 노즐을 본 각도 범위의 외표면 영역에, 발광 영역의 전체영역에 걸쳐 관축을 따라 신장하도록 형성되어 있는, 광원 램프.Cooling wind which is provided with the rod-shaped sealing body which has a circular cross section, and communicates with the space enclosed by the said reflection mirror in the state arrange | positioned at the position of the 1st focus point of the groove-shaped reflection mirror in the light irradiator. The reflecting film is formed in the outer surface area | region of the sealing body which opposes the opening of the cooling air path for distributing the light, The reflecting film is the angle range which looked at the said nozzle centering on the said pipe axis in the cross section perpendicular | vertical to the pipe axis of the said light source lamp. A light source lamp formed in an outer surface region of the substrate so as to extend along the tube axis over the entire region of the light emitting region. 삭제delete
KR1020060101923A 2005-12-07 2006-10-19 Light irradiation device KR101030421B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005353541A JP4811000B2 (en) 2005-12-07 2005-12-07 Light irradiation device
JPJP-P-2005-00353541 2005-12-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070059937A KR20070059937A (en) 2007-06-12
KR101030421B1 true KR101030421B1 (en) 2011-04-20

Family

ID=38130241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060101923A KR101030421B1 (en) 2005-12-07 2006-10-19 Light irradiation device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4811000B2 (en)
KR (1) KR101030421B1 (en)
CN (1) CN1978983B (en)
TW (1) TWI391235B (en)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7964858B2 (en) 2008-10-21 2011-06-21 Applied Materials, Inc. Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method
CN102781670A (en) * 2010-03-31 2012-11-14 株式会社杰士汤浅国际 UV irradiation device and inkjet printer
JP2012198997A (en) * 2011-03-18 2012-10-18 Ushio Inc Long arc metal halide lamp and light irradiation device
US8823249B2 (en) * 2011-11-15 2014-09-02 Seiko Epson Corporation Irradiation device and irradiation method
CN103292282B (en) * 2012-03-05 2016-07-06 上海微电子装备有限公司 For the cooling system of ellipsoidal reflector and the high power lighting source lamp chamber applying it
KR101991521B1 (en) * 2012-04-20 2019-06-20 이와사키 덴끼 가부시키가이샤 Polarizer unit, jig for adjusting, lamp replacement stage and irradiation apparatus
JP5573910B2 (en) * 2012-10-03 2014-08-20 岩崎電気株式会社 Irradiation device
CN103836596B (en) * 2012-11-22 2016-06-01 上海微电子装备有限公司 A kind of superpower mercury lamp room device
CN104141892B (en) * 2013-05-08 2017-05-31 海洋王（东莞）照明科技有限公司 Fitting structure
CN104141891B (en) * 2013-05-08 2017-05-31 海洋王（东莞）照明科技有限公司 Fitting structure
CN103644469A (en) * 2013-11-25 2014-03-19 湖州市妙西镇资产经营有限公司 Novel LED (light-emitting diode) lamp structure
CN103644470A (en) * 2013-11-25 2014-03-19 湖州市妙西镇资产经营有限公司 Fluorescent lamp structure
JP6052199B2 (en) * 2014-02-12 2016-12-27 ウシオ電機株式会社 Polarized light irradiation device and rod-shaped light source for photo-alignment
CN105216283A (en) * 2015-08-28 2016-01-06 广州达意隆包装机械股份有限公司 A kind of bottle blowing machine heating fluorescent tube
CN105487352B (en) * 2016-02-16 2017-06-27 武汉华星光电技术有限公司 The replacing options of exposure machine and Exposing Lamp
CN106016974B (en) * 2016-05-12 2018-07-06 绍兴中漂印染有限公司 A kind of drying unit for fabric printing
JP6798275B2 (en) * 2016-11-25 2020-12-09 ウシオ電機株式会社 Excimer lamp unit and excimer lamp device
JP6859814B2 (en) * 2017-04-03 2021-04-14 株式会社Ｇｓユアサ Light irradiation device
CN108591876A (en) * 2018-01-17 2018-09-28 东莞市天合机电开发有限公司 A kind of absorption type outdoor LED illuminator
EP4029532A1 (en) * 2021-01-05 2022-07-20 The Boeing Company Ultraviolet device and methods of using the same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08174567A (en) * 1994-10-25 1996-07-09 Ushio Inc Illuminator
KR20020046191A (en) * 2000-12-08 2002-06-20 다나카 아키히로 Circulation air cooling system for light illuminating apparatus
JP2003187604A (en) * 2001-12-17 2003-07-04 Ushio Inc Optical device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5760656A (en) * 1980-09-29 1982-04-12 Mitsubishi Electric Corp Forcefuly cooled super high pressure mercury lamp
JPH01209631A (en) * 1988-02-15 1989-08-23 Nec Corp Very high pressure mercury-vapor lamp for phosphor film exposure
JPH0817457A (en) * 1994-06-28 1996-01-19 Tokyo Gas Co Ltd Water treatment equipment for fuel cell
DE19814300B4 (en) * 1998-03-31 2008-09-25 Bernhard Weber Headlight or light
JP2000206619A (en) * 1999-01-18 2000-07-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Lamp and liquid crystal projection device
CA2267674C (en) * 1999-03-31 2010-03-30 Imax Corporation Method for cooling an arc lamp

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08174567A (en) * 1994-10-25 1996-07-09 Ushio Inc Illuminator
KR20020046191A (en) * 2000-12-08 2002-06-20 다나카 아키히로 Circulation air cooling system for light illuminating apparatus
JP2003187604A (en) * 2001-12-17 2003-07-04 Ushio Inc Optical device

Also Published As

Publication number Publication date
TWI391235B (en) 2013-04-01
KR20070059937A (en) 2007-06-12
CN1978983A (en) 2007-06-13
JP2007157583A (en) 2007-06-21
CN1978983B (en) 2011-05-18
TW200722274A (en) 2007-06-16
JP4811000B2 (en) 2011-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101030421B1 (en) Light irradiation device
TWI467629B (en) Laser-driven light source
KR101704946B1 (en) Infrared heating device and drying furnace
JP2002175711A (en) Reflector for ultraviolet lamp system
EP3060844B1 (en) Apparatus for radiant energy curing of coating
JP3522333B2 (en) UV irradiation device
JP2007290233A (en) Light irradiation device and inkjet printer
JPH09257999A (en) Ultraviolet ray radiating device
WO2015022857A1 (en) Infrared radiation device and infrared treatment device
WO2014168229A1 (en) Drying furnace
CN105657872B (en) Infrared heater and infrared processing device
JP2008130302A (en) Light irradiation device
JP5346602B2 (en) Light source device and exposure apparatus provided with the light source device
KR20060004683A (en) Infrared radiator and irradiation device
US6599585B2 (en) UV curing system for heat sensitive substances and process
JP2008235678A (en) Ultraviolet irradiator, ultraviolet irradiation device and film reforming method
JP2004292799A (en) Resin hardening device
JPS61261055A (en) Ultraviolet ray irradiation device
JP2006351670A (en) Ultraviolet irradiation device
JP3744397B2 (en) UV irradiator
JP5928848B2 (en) Light irradiation device and long arc type discharge lamp
KR101416267B1 (en) Induced plasma for EUV light generated gas cell
JPH10286509A (en) Ultraviolet-ray radiation device
JP2022143717A (en) Ultraviolet irradiation device
JPS61158454A (en) Ultraviolet-ray irradiating device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140319

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160318

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170317

Year of fee payment: 7