JP5573910B2 - Irradiation device - Google Patents

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Description

本発明は、直管型ランプを有する照射装置に関する。   The present invention relates to an irradiation apparatus having a straight tube lamp.

従来、配向膜、或いは配向層に偏光光を照射することで配向する光配向と呼ばれる技術が知られており、この光配向は、液晶表示パネルの液晶表示素子が備える液晶配向膜の配向等に広く応用されている。
光配向に用いる照射装置は、一般に幅広い帯状の光配向膜の光配向を可能にするために、光源に長尺の直管型紫外線ランプを採用している。この、長尺の直管型紫外線ランプは、通常、石英ガラス管を材料にして加工された発光管内部に、水銀やメタルハロゲン化物を封入した高圧放電ランプである。この種の放電ランプでは、点灯時の熱により発光管が軟化し、自重によってランプ中央部を頂点としてランプが長手方向に湾曲し下向きに垂れ下がる下垂熱変形が発生する可能性があった。 Conventionally, a technique called photo-alignment that aligns by irradiating polarized light to an alignment film or an alignment layer is known, and this photo-alignment is used for alignment of a liquid crystal alignment film included in a liquid crystal display element of a liquid crystal display panel. Widely applied.
In general, an irradiation apparatus used for photo-alignment employs a long straight tube ultraviolet lamp as a light source in order to enable photo-alignment of a wide band-shaped photo-alignment film. This long straight tube type ultraviolet lamp is usually a high-pressure discharge lamp in which mercury or a metal halide is sealed inside an arc tube processed using a quartz glass tube as a material. In this type of discharge lamp, there is a possibility that the arc tube softens due to the heat at the time of lighting, and a drooping heat deformation occurs in which the lamp curves in the longitudinal direction and hangs downward with the center of the lamp at the top.

そこで、点灯時のランプの下垂熱変形を防止するために、発光管の中央部の外周上を、発光管支持体で、発光管の管軸に直交する方向から挟みつけるように支持して、発光管中央部の下垂熱変形を防止する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。   Therefore, in order to prevent the drooping heat deformation of the lamp at the time of lighting, the outer periphery of the central portion of the arc tube is supported by the arc tube support so as to be sandwiched from the direction perpendicular to the tube axis of the arc tube, A technique for preventing drooping heat deformation at the center of the arc tube is known (see, for example, Patent Document 1).

特開２００９−１６０５４５号公報JP 2009-160545 A

ところで、光配向に用いる照射装置では、ランプの長手方向に沿って延び、光配向対象物に反射光を照射するシリンドリカル凹面反射鏡を備えている。特許文献１に記載の照射装置では、反射鏡はアルミニウム合金製であるが、孔等を開けると割れやすいガラスの表面にアルミニウムや銀等の金属を蒸着させて形成した反射鏡が用いられている場合においては、点灯時のランプの下垂熱変形を防止するために発光管を支持する構成については考えられていなかった。
本発明は、上述した従来の技術が有する課題を解消し、ガラス製の反射鏡が用いられる場合に、ランプを支持することができる構成を備えた照射装置を提供することを目的とする。 By the way, the irradiation apparatus used for photo-alignment includes a cylindrical concave reflecting mirror that extends along the longitudinal direction of the lamp and irradiates reflected light to the photo-alignment target. In the irradiation apparatus described in Patent Document 1, the reflecting mirror is made of an aluminum alloy, but a reflecting mirror formed by vapor-depositing a metal such as aluminum or silver on the surface of glass that is easily broken when a hole or the like is opened is used. In some cases, a configuration for supporting the arc tube in order to prevent drooping heat deformation of the lamp during lighting has not been considered.
An object of the present invention is to solve the problems of the conventional technology described above and to provide an irradiation apparatus having a configuration capable of supporting a lamp when a glass reflector is used.

上記目的を達成するために、本発明は、筐体内に直管型ランプと、前記直管型ランプの管軸方向に沿って延び、前記直管型ランプが発する光を反射する反射面を有するガラス製の反射鏡を備える反射鏡ユニットと、が内蔵された照射器を備え、前記反射鏡ユニットは、前記直管型ランプの管軸に沿って延びる通風板と、この通風板の両脇に設けられた一対の前記反射鏡と、を有し、前記通風板の長手方向の略中央に前記直管型ランプを支持する一対の支持片を有した支持部を取り付け、それぞれの前記支持片の前記直管型ランプとの対向面を、直管型ランプの円周の曲率よりも小さい曲率に形成し、前記対向面と前記直管型ランプの周面との間に、前記直管型ランプの熱膨張による変形を吸収する隙間を形成した
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention has a straight tube lamp in a housing, and a reflecting surface that extends along the tube axis direction of the straight tube lamp and reflects light emitted from the straight tube lamp. A reflector unit comprising a glass reflector, and an illuminator with a built-in reflector, the reflector unit extending along the tube axis of the straight tube lamp, and on both sides of the vent plate A pair of said reflecting mirrors, and a support portion having a pair of support pieces for supporting the straight tube lamp is attached to substantially the center in the longitudinal direction of the ventilation plate, and each of the support pieces The surface facing the straight tube lamp is formed to have a smaller curvature than the circumference of the straight tube lamp, and the straight tube lamp is interposed between the facing surface and the peripheral surface of the straight tube lamp. A gap that absorbs deformation due to thermal expansion of is formed .

また、本発明は、上記の照射装置において、前記支持部は、前記通風板の中央から前記直管型ランプの側面まで延びるシャフトと、前記シャフトが貫通し、前記直管型ランプを支持する支持片とを有する一対の支持体から成り、前記支持体は前記直管型ランプを介して互いに対向する位置に配置されることを特徴とする。   In the irradiation device according to the present invention, the support portion includes a shaft extending from a center of the ventilation plate to a side surface of the straight tube lamp, and a support through which the shaft penetrates to support the straight tube lamp. It comprises a pair of supports having a piece, and the supports are arranged at positions facing each other through the straight tube lamp.

また、本発明は、上記の照射装置において、前記支持片は、前記シャフトの周りに回転可能に設けられていることを特徴とする。   Moreover, the present invention is characterized in that, in the above-mentioned irradiation apparatus, the support piece is rotatably provided around the shaft.

また、本発明は、上記の照射装置において、前記支持体が、前記直管型ランプの管軸方向に沿って互いにずれた位置に配置されていることを特徴とする。   Moreover, the present invention is characterized in that, in the irradiation apparatus, the support is disposed at a position shifted from each other along a tube axis direction of the straight tube lamp.

本発明によれば、ガラス製の反射鏡を用いて、且つ、直管型ランプを支持することができ、直管型ランプの自重や熱による垂を防止することができる。   According to the present invention, it is possible to support a straight tube lamp using a glass reflector, and to prevent drooping of the straight tube lamp due to its own weight or heat.

本発明の実施形態に係る照射装置の正面透視図である。It is a front perspective view of the irradiation apparatus which concerns on embodiment of this invention. ランプユニットを示す図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）は側面図である。It is a figure which shows a lamp unit, (A) is a front view, (B) is a top view, (C) is a side view. ランプユニットの内部構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the internal structure of a lamp unit. ランプユニット内部構成を示す平面図である。It is a top view which shows a lamp unit internal structure. 支持部の構成を示すランプユニットの断面図である。It is sectional drawing of the lamp unit which shows the structure of a support part.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る照射装置１の構成を示す正面透視図である。
照射装置１は、例えば、帯状の光配向対象物の光配向膜に光を照射して光配向する装置である。照射装置１は、設置面Ｆに載置されるケース１０内に、照射器設置架台４に設置された照射器２０と、光配向対象物が載置されるワークステージ５とを備えている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a front perspective view showing a configuration of an irradiation apparatus 1 according to the present embodiment.
The irradiation device 1 is, for example, a device that performs photo-alignment by irradiating light onto a photo-alignment film of a strip-shaped photo-alignment target. The irradiation apparatus 1 includes an irradiation device 20 installed on the irradiation device installation base 4 and a work stage 5 on which a photo-alignment target object is placed, in a case 10 placed on the installation surface F.

照射器２０は、光源たる直管型ランプ７を備え、本実施形態においては、照射器２０の直下に配置されたワークステージ５に載置された光照射対象物に光を下向きに照射する。なお、照射装置１は、下向き照射の他に、横向き照射や、上向き照射等、照射方向を任意に選択できる構成であってもよい。なお、本実施形態において、上下とは、照射器２０の直下に配置されたワークステージ５に載置された光照射対象物に光を下向きに照射する場合の構成に基づくものである。
直管型ランプ７は、放電ランプであり、少なくとも光配向対象物の幅と同等以上に延びる長尺の直管型（棒状）の紫外線ランプが用いられている。直管型ランプ７は、詳細については後述するが、直管型ランプ７の長手方向に沿って直管型ランプ７を囲繞するように設けられた反射鏡ユニット８０と一体にランプユニット３０に取り付けられ、ランプユニット３０は、照射器２０に着脱自在に収容されている。 The irradiator 20 includes a straight tube lamp 7 serving as a light source. In the present embodiment, the irradiator 20 irradiates light onto a light irradiation object placed on the work stage 5 disposed immediately below the irradiator 20 downward. Note that the irradiation apparatus 1 may have a configuration in which the irradiation direction can be arbitrarily selected, such as horizontal irradiation or upward irradiation, in addition to the downward irradiation. In addition, in this embodiment, upper and lower are based on the structure in the case of irradiating light downward to the light irradiation target object mounted in the work stage 5 arrange | positioned directly under the irradiator 20. FIG.
The straight tube lamp 7 is a discharge lamp, and is a long straight tube (rod-shaped) ultraviolet lamp that extends at least as long as the width of the photo-alignment target. Although details will be described later, the straight tube lamp 7 is attached to the lamp unit 30 integrally with the reflector unit 80 provided so as to surround the straight tube lamp 7 along the longitudinal direction of the straight tube lamp 7. The lamp unit 30 is detachably accommodated in the irradiator 20.

照射器２０には、換気用の通気口２１が設けられている。通気口２１には、ケース１０の外部に連通する換気ダクト１１が接続されている。通気口２１の内側には、不図示の送風ファンが設けられる。この送風ファンにより、照射器２０内には冷却風が流れ、直管型ランプ７及びその周辺が直接空冷される。   The irradiator 20 is provided with a vent 21 for ventilation. A ventilation duct 11 communicating with the outside of the case 10 is connected to the vent 21. A blower fan (not shown) is provided inside the vent hole 21. By this blower fan, cooling air flows in the irradiator 20 and the straight tube lamp 7 and its surroundings are directly air-cooled.

図２は、ランプユニット３０を示す図であり、図３は、ランプユニット３０の断面図である。図２、図３に示すように、ランプユニット３０は、下面が開口する箱形の筐体３１内に直管型ランプ７と反射鏡ユニット８０とを収め、照射器２０内に着脱自在に収容される。
筐体３１は、ステンレス等の剛性を有する金属製材料から構成される。筐体３１は、上面パネル３２、一対の側面パネル３３、及び、一対の端面パネル３４から構成され、下方に開口する照射開口４５を備えている。
筐体３１の上面パネル３２には、筐体３１内に直管型ランプ７及びその周辺を空冷するための空気が流通する通気孔３２ａが長手方向に沿って線状に２列に並べて複数設けられている。 FIG. 2 is a diagram illustrating the lamp unit 30, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the lamp unit 30. As shown in FIGS. 2 and 3, the lamp unit 30 houses the straight tube lamp 7 and the reflector unit 80 in a box-shaped housing 31 whose bottom surface is open, and is detachably accommodated in the irradiator 20. Is done.
The casing 31 is made of a metal material having rigidity such as stainless steel. The housing 31 includes an upper surface panel 32, a pair of side surface panels 33, and a pair of end surface panels 34, and includes an irradiation opening 45 that opens downward.
The upper surface panel 32 of the housing 31 is provided with a plurality of vent holes 32a in the housing 31 through which the air for cooling the straight tube lamp 7 and its surroundings is arranged in two lines along the longitudinal direction. It has been.

筐体３１の一対の側面パネル３３には、上縁に沿って複数のローラー３３ａが設けられている。照射器２０内には、ランプユニット３０を照射器２０に着脱する際に、筐体３１のローラー３３ａが摺動して、ランプユニット３０を案内するガイドレール（不図示）が設けられる。ランプユニット３０は、照射器２０内に設けられたガイドレール上をローラー３３ａを摺動させて、照射装置１の一方の端面（前面）の開口から長手方向に沿って引出し入れ可能に構成されている。また、筐体３１の上面パネルには、照射器２０内に設けられたガイドレールの側面に沿って摺動するローラー３２ｂが設けられている。また、筐体３１の一対の端面パネル３４には、ランプユニットを引き出し入れする際に用いるハンドル３４ａが取り付けられている。   The pair of side panels 33 of the housing 31 is provided with a plurality of rollers 33a along the upper edge. In the irradiator 20, a guide rail (not shown) is provided for guiding the lamp unit 30 by sliding the roller 33 a of the housing 31 when the lamp unit 30 is attached to and detached from the irradiator 20. The lamp unit 30 is configured such that the roller 33a is slid on a guide rail provided in the irradiator 20, and can be pulled out along the longitudinal direction from the opening of one end surface (front surface) of the irradiation device 1. Yes. In addition, a roller 32 b that slides along the side surface of the guide rail provided in the irradiator 20 is provided on the upper panel of the housing 31. In addition, a handle 34 a used for pulling out the lamp unit is attached to the pair of end surface panels 34 of the housing 31.

図示は省略するが、筐体３１の内部には、直管型ランプ７を支持する管端支持部と、直管型ランプ７に電気エネルギーを供給する電源供給機構とが備えられる。直管型ランプ７は、管端支持部により両端部が支持されて筐体３１内に収容されると共に、電源供給機構から電気エネルギーが供給されて発光する。
直管型ランプ７は、例えば全長が３ｍ程の長尺の高出力直管型ランプである。直管型ランプ７は、石英ガラス等の高耐熱性と透光性を有する材料から構成される発光管の内部に、水銀やメタルハロゲン化物が封入された高圧放電ランプである。直管型ランプ７の点灯時には、直管型ランプ７の管壁の温度が８００℃〜９００℃程度の高温となる。 Although not shown, the housing 31 includes a tube end support portion that supports the straight tube lamp 7 and a power supply mechanism that supplies electric energy to the straight tube lamp 7. Both ends of the straight tube lamp 7 are supported by the tube end support portion and accommodated in the housing 31, and light is emitted when electric energy is supplied from the power supply mechanism.
The straight tube lamp 7 is a long high-power straight tube lamp having a total length of about 3 m, for example. The straight tube lamp 7 is a high-pressure discharge lamp in which mercury or a metal halide is enclosed in an arc tube made of a material having high heat resistance and translucency such as quartz glass. When the straight tube lamp 7 is lit, the temperature of the tube wall of the straight tube lamp 7 is as high as about 800 ° C to 900 ° C.

反射鏡ユニット８０は、反射鏡８と、通風板３５と、通風板３５及び筐体３１の側面パネル３３の間で反射鏡８を保持する第１保持体３６ａ，３６ｂ及び第２保持体３８ａ，３８ｂと、から構成される。
反射鏡８は、断面楕円形、かつ直管型ランプ７の長手方向に沿って延びるシリンドリカル凹面反射鏡であり、直管型ランプ７の光を集光して照射開口４５から光配向対象物に照射する。反射鏡８は、図３、図４に示すように、弓状に湾曲した複数枚の板状の小片鏡（反射面）８ａ，８ｂを断面楕円形状に組み合わせて構成される。各鏡８ａ，８ｂは、ガラスの凹面側表面に反射性を有する被膜を付着形成して反射性を付与している。各鏡８ａ，８ｂは、直管型ランプ７の管軸真上に設けられた通風板３５に取り付けられた第１保持体３６ａ，３６ｂと、筐体３１の側面パネル３３に取り付けられた第２保持体３８ａ，３８ｂとの間に架け渡されて固定されている。 The reflecting mirror unit 80 includes a reflecting mirror 8, a ventilation plate 35, first holding bodies 36 a and 36 b and a second holding body 38 a that hold the reflecting mirror 8 between the ventilation plate 35 and the side panel 33 of the housing 31. 38b.
The reflecting mirror 8 is a cylindrical concave reflecting mirror having an elliptical cross section and extending along the longitudinal direction of the straight tube lamp 7, and condenses the light from the straight tube lamp 7 to the light alignment target from the irradiation opening 45. Irradiate. As shown in FIGS. 3 and 4, the reflecting mirror 8 is configured by combining a plurality of plate-like small piece mirrors (reflecting surfaces) 8 a and 8 b curved in an arcuate shape into an elliptical cross section. Each of the mirrors 8a and 8b is provided with reflectivity by forming a reflective coating on the concave surface of the glass. Each of the mirrors 8 a and 8 b is provided with first holding bodies 36 a and 36 b attached to the ventilation plate 35 provided just above the tube axis of the straight tube lamp 7, and second attached to the side panel 33 of the housing 31. It is bridged and fixed between the holding bodies 38a and 38b.

直管型ランプ７の一方の側面７ａからの光を反射する鏡８ａと、直管型ランプ７の他方の側面７ｂからの光を反射する鏡８ｂとは、それぞれ、図４に示すように、ランプユニット３０の長手方向に複数連結され、一対の凹面反射鏡８，８の一方および他方を構成している。また、鏡８ａと、鏡８ｂとは、ランプユニット３０の長手方向に沿って、互いにずれた位置に配置されている。この構成によれば、鏡８ａ，８ｂをランプユニット３０の長手方向に複数の小片に分割して形成することで反射鏡８を着脱等の作業上で取扱い易くすることができるとともに、製造コストを下げることができる。また、鏡８ａと、鏡８ｂとを、ランプユニット３０の長手方向に沿って、互いにずれた位置に配置したため、隣り合う鏡８ａ，８ａ及び鏡８ｂ，８ｂのつなぎ目に当たる反射光の光路への影響を低減することができる。   As shown in FIG. 4, a mirror 8a that reflects light from one side surface 7a of the straight tube lamp 7 and a mirror 8b that reflects light from the other side surface 7b of the straight tube lamp 7, respectively, A plurality of lamp units 30 are connected in the longitudinal direction to constitute one and the other of the pair of concave reflecting mirrors 8 and 8. Further, the mirror 8 a and the mirror 8 b are arranged at positions shifted from each other along the longitudinal direction of the lamp unit 30. According to this configuration, the mirrors 8a and 8b are divided into a plurality of small pieces in the longitudinal direction of the lamp unit 30, so that the reflecting mirror 8 can be easily handled in the operation of attaching and detaching and the manufacturing cost is reduced. Can be lowered. Further, since the mirror 8a and the mirror 8b are arranged at positions shifted from each other along the longitudinal direction of the lamp unit 30, the influence on the optical path of the reflected light hitting the joint between the adjacent mirrors 8a and 8a and the mirrors 8b and 8b. Can be reduced.

通風板３５は、図３、図４に示すように、直管型ランプ７の真上に設けられ、直管型ランプ７の管軸に沿って延びている。通風板３５は、図示は省略するが、筐体３１の端面パネル３４に両端が、例えばねじ等の締結具で固定されている。通風板３５は、断面四角形の管状に形成された通風板であり、上下に貫通する複数の通風孔３５ａが互いに所定間隔でランプユニット３０の長手方向に沿って複数設けられている。各通風孔３５ａは、長穴形状に形成することができる。
第１保持体３６ａ，３６ｂは、通風板３５の両側面に各々固定されて、直管型ランプ７の管軸に沿って延びている。第１保持体３６ａ，３６ｂの側面には、鏡８ａ，８ｂの上端部が差し込まれる溝３６ｃが形成されている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the ventilation plate 35 is provided directly above the straight tube lamp 7 and extends along the tube axis of the straight tube lamp 7. Although not shown, the ventilation plate 35 is fixed to the end face panel 34 of the housing 31 at both ends with fasteners such as screws. The ventilation plate 35 is a ventilation plate formed in a tubular shape having a rectangular cross section, and a plurality of ventilation holes 35 a penetrating vertically are provided along the longitudinal direction of the lamp unit 30 at predetermined intervals. Each ventilation hole 35a can be formed in a long hole shape.
The first holding bodies 36 a and 36 b are respectively fixed to both side surfaces of the ventilation plate 35 and extend along the tube axis of the straight tube lamp 7. Grooves 36c into which the upper ends of the mirrors 8a and 8b are inserted are formed on the side surfaces of the first holding bodies 36a and 36b.

第２保持体３８ａ，３８ｂは、筐体３１の側面パネル３３の照射開口４５近傍にランプユニット３０の長手方向に沿って取り付けられた固定具３７ａ，３７ｂに其々支持されている。第２保持体３８ａ，３８ｂは、互いに所定の間隔を開けて、隣り合う鏡８ａ，８ａ及び鏡８ｂ，８ｂのつなぎ目に対応する位置に取り付けられる。各第２保持体３８ａ，３８ｂの上面には、隣り合う鏡８ａ，８ａ及び鏡８ｂ，８ｂの下端部が差し込まれる溝３８ｃが形成されている。   The second holding bodies 38 a and 38 b are respectively supported by fixtures 37 a and 37 b attached along the longitudinal direction of the lamp unit 30 in the vicinity of the irradiation opening 45 of the side panel 33 of the housing 31. The second holding bodies 38a and 38b are attached at positions corresponding to the joints between the adjacent mirrors 8a and 8a and the mirrors 8b and 8b with a predetermined interval therebetween. Grooves 38c into which the lower ends of the adjacent mirrors 8a and 8a and the mirrors 8b and 8b are inserted are formed on the upper surfaces of the second holding bodies 38a and 38b.

これらの構成によれば、反射鏡８は、各鏡８ａ，８ｂの上端部を第１保持体３６ａ，３６ｂの側面に形成された溝３６ｃに差込むと共に、隣り合う鏡８ａ，８ａ及び鏡８ｂ，８ｂのつなぎ目を、第２保持体３８ａ，３８ｂに対応する位置に配置して、隣り合う鏡８ａ，８ａ及び鏡８ｂ，８ｂの下端部を第２保持体３８ａ，３８ｂの溝３８ｃに差し込むことで、容易に組み立てることができる。   According to these configurations, the reflecting mirror 8 inserts the upper end portions of the mirrors 8a and 8b into the grooves 36c formed on the side surfaces of the first holding bodies 36a and 36b, and the adjacent mirrors 8a and 8a and the mirror 8b. , 8b are arranged at positions corresponding to the second holding bodies 38a, 38b, and the lower ends of the adjacent mirrors 8a, 8a and the mirrors 8b, 8b are inserted into the grooves 38c of the second holding bodies 38a, 38b. And can be assembled easily.

反射鏡ユニット８０には、図３に示すように、直管型ランプ７を、ランプユニット３０の長手方向の略中央で支持する支持部４０が、通風板３５に固定されて、取り付けられている。支持部４０は、直管型ランプ７が、自重や熱によって垂れ下げるのを防止するべく設けられる。
支持部４０は、一対の支持体４１（以下、支持体４１ａ，４１ｂという）から構成される。各支持体４１ａ，４１ｂは、略Ｚ字形状に形成されたシャフト４３と、シャフト４３に、シャフト４３の周りを回転自在に取り付けられた支持片４２とから構成される。各支持体４１ａ，４１ｂは、シャフト４３の一端部４３ａを通風板３５に上下に貫通させて、ナット４３ｂ等の締結具で通風板３５に吊り下げられる。 As shown in FIG. 3, a support portion 40 that supports the straight tube lamp 7 at a substantially center in the longitudinal direction of the lamp unit 30 is fixed to the ventilation plate 35 and attached to the reflector unit 80. . The support portion 40 is provided to prevent the straight tube lamp 7 from hanging down due to its own weight or heat.
The support part 40 is comprised from a pair of support body 41 (henceforth support body 41a, 41b). Each of the supports 41a and 41b includes a shaft 43 formed in a substantially Z shape and a support piece 42 attached to the shaft 43 so as to be rotatable around the shaft 43. Each support body 41a, 41b is vertically passed through the ventilation plate 35 through one end portion 43a of the shaft 43, and is suspended from the ventilation plate 35 by a fastener such as a nut 43b.

シャフト４３は、剛性を有する金属製材料から構成され、一端部４３ａには、ナット４３ｂに対応するねじが外周面に切られている構成であっても良い。また、シャフト４３は、高耐熱性および高熱伝導性を有し、直管型ランプ７の点灯時の熱で支持片４２と反応性を有しない金属または合金で形成される。シャフト４３の材料としては、例えば、ニッケル合金を用いることができる。シャフト４３は、一端部４３ａが、直管型ランプ７の管軸Ｘの真上で通風板３５を貫通するように配設されている。この構成によれば、反射鏡８を構成する鏡８ａ，８ｂの上端を、直管型ランプ７の上方まで延ばすことができ、直管型ランプ７の光を効率良く光照射対象物に照射させることができる。   The shaft 43 may be made of a metal material having rigidity, and a screw corresponding to the nut 43b may be cut on the outer peripheral surface of the one end portion 43a. Further, the shaft 43 has high heat resistance and high thermal conductivity, and is formed of a metal or an alloy that is not reactive with the support piece 42 due to heat when the straight tube lamp 7 is turned on. As a material of the shaft 43, for example, a nickel alloy can be used. The shaft 43 is disposed so that one end portion 43 a penetrates the ventilation plate 35 directly above the tube axis X of the straight tube lamp 7. According to this configuration, the upper ends of the mirrors 8a and 8b constituting the reflecting mirror 8 can be extended above the straight tube lamp 7, and the light irradiation object is efficiently irradiated with the light from the straight tube lamp 7. be able to.

支持片４２は、例えば、肉厚の板状部材から成り、図示は省略するが、シャフト４３が穿貫する貫通孔を有し、シャフト４３の周りを回転する構成であっても良い。支持片４２は、直管型ランプ７の発光管と同様に、石英ガラス等の高耐熱性を有し、直管型ランプ７の点灯時の熱で直管型ランプ７と反応性を有しない材料から構成される。この構成によれば、直管型ランプ７と支持片４２との間の温度差を低減することができる。支持片４２の高さは、直管型ランプ７の半径ｒよりも高いことが望ましく、且つ、支持片４２の下縁は、直管型ランプ７の下端近傍まで延びているのが望ましい。この構成によれば、直管型ランプ７を持ち上げるように支持片４２で支持して、直管型ランプ７の自重や熱による垂れを防止することができる。   The support piece 42 is made of, for example, a thick plate-like member, and although not illustrated, the support piece 42 may have a through-hole through which the shaft 43 penetrates and rotate around the shaft 43. The support piece 42 has high heat resistance, such as quartz glass, like the arc tube of the straight tube lamp 7, and has no reactivity with the straight tube lamp 7 due to heat when the straight tube lamp 7 is turned on. Consists of materials. According to this configuration, the temperature difference between the straight tube lamp 7 and the support piece 42 can be reduced. The height of the support piece 42 is preferably higher than the radius r of the straight tube lamp 7, and the lower edge of the support piece 42 preferably extends to the vicinity of the lower end of the straight tube lamp 7. According to this configuration, the straight tube lamp 7 is supported by the support piece 42 so as to be lifted, and the straight tube lamp 7 can be prevented from drooping due to its own weight or heat.

支持片４２の、直管型ランプ７に対向する対向面４２ａは、直管型ランプ７の円周に沿う凹面形状に切り欠かれている。なお、支持片４２の対向面４２ａの曲率は、直管型ランプ７の円周の曲率よりも小さく形成され、対向面４２ａと直管型ランプ７の周面との間には隙間Ｇが形成されるように構成されている。この構成によれば、直管型ランプ７の熱膨張による変形や、直管型ランプ７及びその他の構成部品の歪みをこの隙間Ｇにより吸収することができる。   The facing surface 42 a of the support piece 42 facing the straight tube lamp 7 is cut out in a concave shape along the circumference of the straight tube lamp 7. The curvature of the facing surface 42a of the support piece 42 is formed smaller than the curvature of the circumference of the straight tube lamp 7, and a gap G is formed between the facing surface 42a and the circumferential surface of the straight tube lamp 7. It is configured to be. According to this configuration, deformation due to thermal expansion of the straight tube lamp 7 and distortion of the straight tube lamp 7 and other components can be absorbed by the gap G.

支持片４２は、図５に示すように、シャフト４３の周りを回転させることができる。支持片４２は、シャフト４３の周りを３６０℃回転できる構成であっても良いし、或いは、９０℃だけ回転できる構成であっても良い。直管型ランプ７の交換時等で、直管型ランプ７をランプユニット３０から着脱させる際には、支持片４２を例えば９０℃回転させることで、支持片４２を直管型ランプ７の着脱経路から退却させることができる。これにより、支持部４０あるいは支持片４２を取り外すことなく、直管型ランプ７の着脱を行うことができる。   The support piece 42 can be rotated around the shaft 43 as shown in FIG. The support piece 42 may be configured to be capable of rotating around the shaft 43 by 360 ° C., or may be configured to be rotated by 90 ° C. When the straight tube lamp 7 is attached to or detached from the lamp unit 30 when the straight tube lamp 7 is replaced, the support piece 42 is rotated by 90 ° C., for example, so that the support piece 42 is attached to or detached from the lamp unit 30. You can retreat from the route. Thereby, the straight tube | pipe type lamp | ramp 7 can be attached or detached without removing the support part 40 or the support piece 42. FIG.

各支持体４１ａ，４１ｂは、図４に示すように、通風板３５の、隣り合う通風孔３５ａ間に取り付けられている。また、支持体４１ａ，４１ｂは、直管型ランプ７の管軸Ｘ方向に沿って互いにずれた位置に配置されている。この構成によれば、支持体４１ａ，４１ｂは、直管型ランプ７の管軸Ｘに平行な面への投影図上では、直管型ランプ７を介して対向する位置関係とならない。これにより、ランプユニット３０の照射面上で直管型ランプ７からの照射光の光路が支持体４１ａ，４１ｂにより遮られる影響が１カ所に集中するのを防ぐことができる。なお、各支持体４１ａ，４１ｂ間の距離は、直管型ランプ７のいずれの部位においても自重や熱により下に垂れ下がる変形が起こらない任意の距離とすることができる。   Each support body 41a, 41b is attached between the adjacent ventilation holes 35a of the ventilation board 35, as shown in FIG. Further, the supports 41 a and 41 b are arranged at positions shifted from each other along the tube axis X direction of the straight tube lamp 7. According to this configuration, the support bodies 41 a and 41 b do not have a positional relationship facing each other through the straight tube lamp 7 on a projection view onto a plane parallel to the tube axis X of the straight tube lamp 7. Thereby, it is possible to prevent the influence of the optical path of the irradiation light from the straight tube lamp 7 being blocked by the supports 41a and 41b on the irradiation surface of the lamp unit 30 from being concentrated on one place. In addition, the distance between each support body 41a, 41b can be made into the arbitrary distances which the deformation | transformation which hangs down by dead weight or a heat | fever does not occur in any site | part of the straight tube | pipe type lamp 7.

直管型ランプ７及びその周辺を空冷する空気の流れを説明すると、照射器２０の通気口２１の内側に設けられた不図示の送風ファンの駆動により、ランプユニット３０の内部には、図３に示すように、照射開口４５を介して冷却風が取り入れられる。図３中の矢印Ａは、ランプユニット３０の内部での冷却風の流れを示す図であり、照射開口４５から取り入れられた冷却風は、直管型ランプ７及びその周辺を冷却し、通風板３５の通風孔３５ａ、筐体３１の上面パネル３２に設けられた通気孔３２ａを通って、換気ダクト１１により照射装置１のケース１０外部に排気される。なお、直管型ランプ７は、支持部４０により支持されているため、筐体３１内部の冷却風の流れによる直管型ランプ７の振動を抑えることができる。   The flow of air for cooling the straight tube lamp 7 and its surroundings will be described. By driving a blower fan (not shown) provided inside the vent 21 of the irradiator 20, the lamp unit 30 has a structure shown in FIG. As shown, the cooling air is introduced through the irradiation opening 45. An arrow A in FIG. 3 is a diagram showing the flow of cooling air inside the lamp unit 30, and the cooling air taken in from the irradiation opening 45 cools the straight tube lamp 7 and its surroundings, and the ventilation plate The ventilation duct 11 exhausts the outside of the case 10 of the irradiation apparatus 1 through the ventilation holes 35a of the 35 and the ventilation holes 32a provided in the upper panel 32 of the housing 31. Since the straight tube lamp 7 is supported by the support portion 40, vibration of the straight tube lamp 7 due to the flow of cooling air inside the housing 31 can be suppressed.

以上説明したように、本発明を適用した実施形態によれば、筐体３１内に直管型ランプ７と、直管型ランプ７の管軸Ｘ方向に沿って延び、直管型ランプ７が発する光を反射する反射面８ａ，８ｂを有するガラス製の反射鏡８を備える反射鏡ユニット８０と、が内蔵されたランプユニット３０を備え、反射鏡ユニット８０は、直管型ランプ７の管軸Ｘに沿って延びる通風板３５と、この通風板３５の両脇に設けられた一対の前記反射鏡８，８と、を有し、通風板３５の長手方向の略中央に直管型ランプ７を支持する支持部４０を取り付けた。これにより、ガラス製の反射鏡８を用いていながら、反射鏡ユニット８０に直管型ランプ７を支持する支持部４０を取り付けることが可能であり、直管型ランプ７が自重や熱により垂れ下がるのを防止することができる。   As described above, according to the embodiment to which the present invention is applied, the straight tube lamp 7 and the straight tube lamp 7 extend along the tube axis X direction of the straight tube lamp 7 in the housing 31. The lamp unit 30 includes a reflecting mirror unit 80 including a reflecting mirror 8 made of glass having reflecting surfaces 8 a and 8 b for reflecting emitted light. The reflecting mirror unit 80 includes a tube axis of the straight tube lamp 7. A ventilation plate 35 extending along X and a pair of reflecting mirrors 8, 8 provided on both sides of the ventilation plate 35. The support part 40 which supports is attached. As a result, it is possible to attach the support portion 40 that supports the straight tube lamp 7 to the reflector unit 80 while using the glass reflecting mirror 8, and the straight tube lamp 7 hangs down due to its own weight or heat. Can be prevented.

また、支持部４０は、通風板３５の長手方向の略中央から直管型ランプ７の側面７ａ，７ｂまで延びるシャフト４３と、シャフト４３が貫通し、直管型ランプ７を支持する支持片４２とを有する一対の支持体４１から成り、支持体４１は直管型ランプ７を介して互いに対向する位置に配置される。これにより、シャフト４３を通風板３５の中央から直管型ランプ７の側面７ａ，７ｂまで延ばしているため、反射鏡８を構成する鏡８ａ，８ｂの上端を、直管型ランプ７の上方まで延ばすことができ、直管型ランプ７の光を効率良く光照射対象物に照射させることができる。   The support portion 40 includes a shaft 43 extending from a substantially center in the longitudinal direction of the ventilation plate 35 to the side surfaces 7 a and 7 b of the straight tube lamp 7, and a support piece 42 through which the shaft 43 passes to support the straight tube lamp 7. The support body 41 is disposed at a position facing each other through the straight tube lamp 7. Thereby, since the shaft 43 extends from the center of the ventilation plate 35 to the side surfaces 7 a and 7 b of the straight tube lamp 7, the upper ends of the mirrors 8 a and 8 b constituting the reflecting mirror 8 are extended to above the straight tube lamp 7. The light irradiation object can be efficiently irradiated with the light from the straight tube lamp 7.

また、支持片４２は、シャフト４３の周りに回転可能に設けられている。これにより、直管型ランプ７の交換時等の直管型ランプ７をランプユニット３０から着脱させる際には、支持体４１或いは支持片４２を取り外すことなく、例えば９０℃回転させるだけで、支持片４２を直管型ランプ７の着脱経路から退却させることができ、直管型ランプ７の着脱を容易に行うことができる。   The support piece 42 is rotatably provided around the shaft 43. Accordingly, when the straight tube lamp 7 is detached from the lamp unit 30 when the straight tube lamp 7 is replaced, the support member 41 or the support piece 42 is simply removed by rotating it at 90 ° C., for example. The piece 42 can be retracted from the attachment / detachment route of the straight tube lamp 7, and the straight tube lamp 7 can be easily attached and detached.

また、支持体４１が、直管型ランプ７の管軸Ｘ方向に沿って互いにずれた位置に配置されている。これにより、ランプユニット３０の照射面上で、直管型ランプ７からの照射光の光路が支持体４１ａ，４１ｂにより遮られる影響が１カ所に集中するのを防ぐことができる。   Further, the support body 41 is arranged at a position shifted from each other along the tube axis X direction of the straight tube lamp 7. Thereby, on the irradiation surface of the lamp unit 30, it is possible to prevent the influence of the optical path of the irradiation light from the straight tube lamp 7 being blocked by the supports 41a and 41b from being concentrated on one place.

１ 照射装置
７ 直管型ランプ
８ 反射鏡
８ａ、８ｂ 鏡（反射面）
３０ ランプユニット
３１ 筐体
３５ 通風板
４０ 支持部
４１、４１ａ、４１ｂ 支持体
４２ 支持片
４３ シャフト
８０ 反射鏡ユニット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Irradiation device 7 Straight tube type lamp 8 Reflector 8a, 8b
30 Lamp unit 31 Housing 35 Ventilation plate 40 Support part 41, 41a, 41b Support body 42 Support piece 43 Shaft 80 Reflector unit

Claims (4)

筐体内に直管型ランプと、前記直管型ランプの管軸方向に沿って延び、前記直管型ランプが発する光を反射する反射面を有するガラス製の反射鏡を備える反射鏡ユニットと、が内蔵された照射器を備え、
前記反射鏡ユニットは、前記直管型ランプの管軸に沿って延びる通風板と、この通風板の両脇に設けられた一対の前記反射鏡と、を有し、
前記通風板の長手方向の略中央に前記直管型ランプを支持する一対の支持片を有した支持部を取り付け、
それぞれの前記支持片の前記直管型ランプとの対向面を、直管型ランプの円周の曲率よりも小さい曲率に形成し、
前記対向面と前記直管型ランプの周面との間に、前記直管型ランプの熱膨張による変形を吸収する隙間を形成した
ことを特徴とする照射装置。 A straight tube lamp in a housing, and a reflector unit including a glass reflector having a reflecting surface that extends along a tube axis direction of the straight tube lamp and reflects light emitted from the straight tube lamp; With a built-in irradiator,
The reflector unit includes a ventilation plate extending along the tube axis of the straight tube lamp, and a pair of the reflectors provided on both sides of the ventilation plate,
Attach a support portion having a pair of support pieces for supporting the straight tube lamp at the approximate center in the longitudinal direction of the ventilation plate,
The surface of each of the support pieces facing the straight tube lamp is formed with a curvature smaller than the curvature of the circumference of the straight tube lamp,
An irradiation device , wherein a gap for absorbing deformation due to thermal expansion of the straight tube lamp is formed between the facing surface and the peripheral surface of the straight tube lamp . 前記支持部は、前記通風板の前記略中央から前記直管型ランプの側面まで延びるシャフトと、前記シャフトが貫通し、前記直管型ランプを支持する支持片とを有する一対の支持体から成り、前記支持体は前記直管型ランプを介して互いに対向する位置に配置されることを特徴とする請求項１に記載の照射装置。   The support portion is composed of a pair of supports having a shaft extending from the approximate center of the ventilation plate to a side surface of the straight tube lamp, and a support piece that passes through the shaft and supports the straight tube lamp. The irradiation apparatus according to claim 1, wherein the support members are disposed at positions facing each other through the straight tube lamp. 前記支持片は、前記シャフトの周りに回転可能に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の照射装置。   The irradiation device according to claim 2, wherein the support piece is rotatably provided around the shaft. 前記支持体が、前記直管型ランプの管軸方向に沿って互いにずれた位置に配置されていることを特徴とする請求項２または３に記載の照射装置。   The irradiation device according to claim 2 or 3, wherein the support is disposed at a position shifted from each other along a tube axis direction of the straight tube lamp.
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