JP2007157583A - Light illumination device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば棒状の光源ランプおよびこの光源ランプから放射される光を反射する反射ミラーを具えてなり、紫外線を含む光を被処理対象物に照射することにより、例えば硬化処理や改質処理を行う光照射装置に関する。 The present invention includes, for example, a rod-shaped light source lamp and a reflection mirror that reflects light emitted from the light source lamp, and irradiates light to be processed with ultraviolet light, for example, a curing process or a modification process. It is related with the light irradiation apparatus which performs.
現在、紫外線を含む光を照射する光源ランプを具えた光照射装置を用いて、例えば被処理対象物における保護膜、接着剤、塗料、インキ、フォトレジスト、樹脂、配向膜等に対して、硬化、乾燥、溶融あるいは軟化、改質処理などを行うことが各分野で幅広く行われている。 Currently, using a light irradiation device equipped with a light source lamp that emits light including ultraviolet rays, for example, for protective films, adhesives, paints, inks, photoresists, resins, alignment films, etc. on the object to be treated Drying, melting or softening, and reforming are widely performed in various fields.
図６は、従来における光照射装置の一例における構成の概略を示す断面図、図７は、図６に示す光照射装置を構成する光照射器の、光源ランプの管軸に垂直な断面を示す断面図である。
この光照射装置は、紫外線を含む光を照射する光照射器４０を具えてなり、例えばこの光照射器４０の下方位置を通過するよう不図示の搬送機構によって搬送される被処理対象物（ワーク）Ｗに対して紫外線を照射する構成とされている。
光照射器４０は、内部空間が隔壁４２によって区画されて風洞４３およびランプ配置用空間４４が上下に並んで形成され、ランプ配置用空間４４の下方が開口する略箱型形状のランプハウス４１を具えてなり、ランプ配置用空間４４に、棒状の光源ランプ５０が被処理対象物Ｗの搬送方向に対して直交する方向に伸びるよう配設されていると共に、この光源ランプ５０からの光を反射する例えば楕円面反射面を有する反射ミラー５５がその第１焦点の位置ｆ１が光源ランプ５０のランプ中心と一致する状態で光源ランプ５０に沿って伸びるよう配設されている。
ランプハウス４１における隔壁４２には、例えば風洞４３とランプ配置用空間４４とを連通させる複数の貫通孔が光源ランプ５０の長手方向に沿って並んだ状態で形成されてなる冷却風流通用開口部４５が形成されていると共に、冷却風流通用開口部４５の両側縁位置において下方に突出するノズル部４６が光源ランプ５０の長手方向に沿って伸びるよう隔壁４２と一体に形成されている。
そして、ランプハウス４１の上部には、排気ファン４９に接続された、風洞４３の内部空間に連通するダクト４８が設けられている。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing an outline of the configuration of an example of a conventional light irradiation apparatus, and FIG. 7 shows a cross section perpendicular to the tube axis of the light source lamp of the light irradiator constituting the light irradiation apparatus shown in FIG. It is sectional drawing.
This light irradiation apparatus includes a light irradiator 40 that irradiates light including ultraviolet rays. For example, the object to be processed (workpiece) conveyed by a conveyance mechanism (not shown) so as to pass through a position below the light irradiator 40. ) W is irradiated with ultraviolet rays.
The light irradiator 40 has a substantially box-shaped lamp house 41 in which an internal space is partitioned by a partition wall 42 and a wind tunnel 43 and a lamp arrangement space 44 are formed side by side. A rod-shaped light source lamp 50 is disposed in the lamp arrangement space 44 so as to extend in a direction orthogonal to the conveyance direction of the workpiece W and reflects light from the light source lamp 50. For example, a reflection mirror 55 having an ellipsoidal reflection surface is disposed so as to extend along the light source lamp 50 in a state where the position f1 of the first focal point coincides with the lamp center of the light source lamp 50.
In the partition wall 42 in the lamp house 41, for example, a plurality of through holes that communicate the wind tunnel 43 and the lamp arrangement space 44 are formed in a state of being aligned along the longitudinal direction of the light source lamp 50. Are formed integrally with the partition wall 42 so as to extend along the longitudinal direction of the light source lamp 50 at both side edge positions of the cooling air flow opening 45.
A duct 48 connected to the exhaust fan 49 and communicating with the internal space of the wind tunnel 43 is provided at the upper part of the lamp house 41.
反射ミラー５５の頂部には、例えば光源ランプ５０に沿って伸びるよう形成された溝よりなる開口部５６が形成されており、この開口部５６内に、隔壁４２と一体に形成されたノズル部４６の先端部分が挿入され、これにより、光源ランプ５０および反射ミラー５５を冷却するための冷却風が流通される冷却風路６０が形成されている。 At the top of the reflection mirror 55, for example, an opening 56 made of a groove formed so as to extend along the light source lamp 50 is formed, and a nozzle portion 46 formed integrally with the partition wall 42 is formed in the opening 56. Thus, a cooling air passage 60 through which cooling air for cooling the light source lamp 50 and the reflection mirror 55 is circulated is formed.
この光照射装置においては、光源ランプ５０から放射された光は、直接的にあるいは反射ミラー５５によって反射されて被処理対象物Ｗに照射される。具体的には、反射ミラー５５による反射光は、反射ミラー５５の第２焦点ｆ２の位置において一旦集光された後拡がった状態で、反射ミラー５５の第２焦点ｆ２より光照射方向遠方側に位置する被処理対象物Ｗの全体に照射される。
一方、光源ランプ５０の点灯時においては、排気ファン４９が作動されることにより冷却風がランプハウス４１内に吸引され、この冷却風によって光源ランプ５０および反射ミラー５５が冷却され、ランプハウス４１内に導入された冷却風は、冷却風路６０を形成するノズル部４６を介して風洞４３に流入されてダクト４８を介して排気される。
特許文献１に開示されている光照射装置おいては、例えば図８に示すように、光源ランプ５０の管径に対して、光源ランプ５０との最適な大きさの冷却風路６０の幅を設定するために、冷却風路６０を形成するノズル４６Ａをランプハウス４１における隔壁４２と別体のものとして構成することが記載されている。
On the other hand, when the light source lamp 50 is turned on, the cooling fan is sucked into the lamp house 41 by operating the exhaust fan 49, and the light source lamp 50 and the reflection mirror 55 are cooled by this cooling air. The cooling air introduced into the air flows into the wind tunnel 43 through the nozzle portion 46 forming the cooling air passage 60 and is exhausted through the duct 48.
In the light irradiation device disclosed in Patent Document 1, for example, as shown in FIG. 8, the width of the cooling air passage 60 having the optimum size with the light source lamp 50 is set to the tube diameter of the light source lamp 50. For the purpose of setting, it is described that the nozzle 46 </ b> A forming the cooling air passage 60 is configured separately from the partition wall 42 in the lamp house 41.
一般に、上記のような紫外線を利用した光照射処理における処理時間は、紫外線の照射量に大きく依存し、光照射領域における紫外線の照射量を大きく設定することによって処理時間を短縮化することができて処理効率を向上することができることが知られており、光照射器から照射される紫外線の照射量を大きくすることが要望されている。 In general, the processing time in the light irradiation treatment using ultraviolet rays as described above greatly depends on the irradiation amount of ultraviolet rays, and the processing time can be shortened by setting the irradiation amount of ultraviolet rays in the light irradiation region to be large. Therefore, it is known that the processing efficiency can be improved, and it is desired to increase the irradiation amount of ultraviolet rays emitted from the light irradiator.
上記構成の光照射装置においては、光源ランプ５０の点灯時に、光源ランプ５０および反射ミラー５５が過熱状態となることを防止するために、冷却風を流通させるための冷却風路６０を構成する開口部５６を形成することが必要とされており、例えば反射ミラー５５の頂部に形成されている。
しかしながら、当該開口部５６の存在によって光源ランプ５０から反射ミラー５５の開口部５６方向に放射される紫外線は、有効に利用することができない、という問題がある。実際上、反射ミラー５５の開口部５６方向に放射されて有効に利用することのできない紫外線の、光源ランプ５０から放射される光全体に対する割合は例えば２０％程度にもなる。
In the light irradiation device having the above-described configuration, the opening that forms the cooling air passage 60 for circulating the cooling air is used to prevent the light source lamp 50 and the reflection mirror 55 from being overheated when the light source lamp 50 is turned on. It is necessary to form the portion 56, and is formed, for example, on the top of the reflection mirror 55.
However, there is a problem that ultraviolet rays emitted from the light source lamp 50 toward the opening 56 of the reflection mirror 55 due to the presence of the opening 56 cannot be used effectively. In practice, the proportion of ultraviolet rays that are emitted in the direction of the opening 56 of the reflection mirror 55 and cannot be used effectively is about 20% of the total light emitted from the light source lamp 50, for example.
このような問題に対して、被処理対象物Ｗに対する紫外線の照射量を大きくするための一手段として、光源ランプ５０それ自体のランプ入力電力を大きくすることが考えられるが、ランプ入力電力の大きい光源ランプ５０が用いられる場合には、以下に示すような問題が生じやすくなる。すなわち、光源ランプ５０から反射ミラー５５の開口部５６方向に放射された光は、冷却風路６０を形成するノズル部４６またはノズル４６Ａに直接的に照射されて加熱することとなるが、ノズル部４６またはノズル４６Ａは、通常、加工の容易性や低コストであるなどの製造上の理由から、例えばアルミニウムにより形成されているため、加熱されることによって変形しやすくなる。従って、ノズル部４６またはノズル４６Ａが加熱されることに伴って変形することを防止するために、光源ランプ５０および反射ミラー５５だけでなく、ノズル部４６またはノズル４６Ａも冷却することが必要となる結果、より大きな風量の冷却風が必要となって光照射装置のエネルギー消費量が増大し、このような光照射装置に対する要請の一である省エネルギー化が阻まれる。 To solve this problem, it is conceivable to increase the lamp input power of the light source lamp 50 as one means for increasing the irradiation amount of the ultraviolet rays to the workpiece W, but the lamp input power is large. When the light source lamp 50 is used, the following problems are likely to occur. That is, the light emitted from the light source lamp 50 toward the opening 56 of the reflection mirror 55 is directly applied to the nozzle portion 46 or the nozzle 46 </ b> A that forms the cooling air passage 60 and heated. The 46 or the nozzle 46A is usually formed of aluminum, for example, for manufacturing reasons such as ease of processing and low cost, and thus is easily deformed when heated. Therefore, in order to prevent the nozzle portion 46 or the nozzle 46A from being deformed as it is heated, it is necessary to cool not only the light source lamp 50 and the reflection mirror 55 but also the nozzle portion 46 or the nozzle 46A. As a result, a cooling air with a larger air volume is required, and the energy consumption of the light irradiation device increases, and energy saving, which is one of the requirements for such a light irradiation device, is prevented.
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、光源ランプおよび反射ミラーを冷却するための冷却風を流通させるための冷却風路が形成された光照射器を具えた光照射装置であって、被処理対象物に対する光照射量を大きくすることができて処理効率の向上を図ることができ、しかも、冷却風の風量を大幅に増加させることなしに十分な冷却機能を得ることのできる光照射装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、上記光照射装置において用いられる光源ランプであって、光源ランプから放射される光の利用率を向上させて光照射面における光照射量を大きくすることができ、しかも、光照射装置の冷却風路を形成するノズルが過熱状態となることを確実に防止することのできる光源ランプを提供することを目的とする。
The present invention has been made based on the circumstances as described above, and is a light provided with a light irradiator in which a cooling air passage for circulating a cooling air for cooling the light source lamp and the reflecting mirror is formed. It is an irradiation device that can increase the amount of light irradiated to the object to be processed, improve the processing efficiency, and has a sufficient cooling function without significantly increasing the amount of cooling air. An object is to provide a light irradiation apparatus that can be obtained.
Another object of the present invention is a light source lamp used in the light irradiating device, which can improve the utilization rate of light emitted from the light source lamp and increase the light irradiation amount on the light irradiation surface. And it aims at providing the light source lamp which can prevent reliably that the nozzle which forms the cooling air path of a light irradiation apparatus will be in an overheated state.
本発明の光照射装置は、断面が円形状の棒状の光源ランプがその管軸が反射面を有する樋状の反射ミラーの第１焦点の位置と一致する状態で配設されてなる光照射器を具えてなり、光源ランプの点灯時において、光源ランプおよび反射ミラーが冷却風により冷却される光照射装置であって、
光照射方向に対して光源ランプの後方側に、反射ミラーによって囲まれた空間と連通する、冷却風を流通させるための冷却風路が形成されており、
光源ランプにおける冷却風路の開口と対向する外表面領域には、当該光源ランプから放射される光を反射する反射膜が形成されていることを特徴とする。
The light irradiator of the present invention is a light irradiator in which a rod-shaped light source lamp having a circular cross section is disposed in a state where its tube axis coincides with the position of the first focal point of a bowl-shaped reflecting mirror having a reflecting surface. A light irradiation device in which the light source lamp and the reflection mirror are cooled by cooling air when the light source lamp is turned on,
On the rear side of the light source lamp with respect to the light irradiation direction, there is formed a cooling air passage communicating with the space surrounded by the reflection mirror for circulating the cooling air,
A reflection film that reflects light emitted from the light source lamp is formed on an outer surface region of the light source lamp that faces the opening of the cooling air passage.
本発明の光源ランプは、上記の光照射装置において用いられる光源ランプであって、
断面が円形状の棒状の封体を具えてなり、光照射器内における樋状の反射ミラーの第１焦点の位置に配置された状態において、上記反射ミラーによって囲まれた空間と連通する、冷却風を流通させるための冷却風路の開口と対向する封体の外表面領域に、反射膜が形成されていることを特徴とする。
The light source lamp of the present invention is a light source lamp used in the above light irradiation device,
Cooling, comprising a rod-shaped envelope having a circular cross section and communicating with the space surrounded by the reflection mirror in the state of being disposed at the position of the first focal point of the bowl-shaped reflection mirror in the light irradiator A reflection film is formed on the outer surface region of the sealing body facing the opening of the cooling air passage for circulating the air.
本発明の光源ランプにおいては、反射ミラーの頂部において光源ランプに沿って伸びるよう形成された冷却風路に、上記光源ランプとの幅を設定するノズルが設けられており、 反射膜が、当該光源ランプの管軸に垂直な断面における当該管軸を中心としたノズルを見込む角度範囲の外表面領域に、発光領域の全域にわたって管軸に沿って伸びるよう形成された構成とされていることが好ましい。 In the light source lamp of the present invention, the cooling air passage formed to extend along the light source lamp at the top of the reflection mirror is provided with a nozzle for setting the width with the light source lamp, and the reflection film is the light source. It is preferable that the outer surface region of the angle range in which the nozzle is centered on the tube axis in the cross section perpendicular to the tube axis of the lamp is formed so as to extend along the tube axis over the entire light emitting region. .
本発明の光照射装置によれば、光源ランプとして、封体の外表面領域における適正な範囲に反射膜が形成されてなるものが用いられていることにより、当該反射膜によって、光源ランプから冷却風路の開口方向に放射される光を反射ミラーの有効反射領域を阻害することなしに効率よく反射させることができるので、光照射面における光照射量を高くすることができ、被処理対象物についての所定の光照射処理を高い処理効率で行うことができる。
しかも、光源ランプとの幅を設定するノズルが冷却風路に設けられた構成のものにおいては、冷却風路の開口方向に放射される光がノズルに対して直接的に照射されることが防止されるので、必要とされる冷却風の風量を多くすることなしに、ノズルが過熱状態となることを確実に防止することができ、省エネルギー化を図ることができる。
According to the light irradiation apparatus of the present invention, a light source lamp that is formed with a reflective film formed in an appropriate range in the outer surface area of the envelope is cooled from the light source lamp by the reflective film. Since the light radiated in the opening direction of the air path can be efficiently reflected without obstructing the effective reflection area of the reflection mirror, the light irradiation amount on the light irradiation surface can be increased, and the object to be processed The predetermined light irradiation process can be performed with high processing efficiency.
In addition, in the configuration in which the nozzle for setting the width with the light source lamp is provided in the cooling air passage, light emitted in the opening direction of the cooling air passage is prevented from being directly irradiated to the nozzle. Therefore, it is possible to reliably prevent the nozzle from being overheated without increasing the amount of cooling air required, and energy saving can be achieved.
本発明の光源ランプによれば、上記光照射装置に用いられた場合に、反射ミラーによる有効反射領域との関係において、冷却風路の開口方向に放射される光を反射膜によって反射させて有効に利用することができるので、光照射面に対する光照射量を高くすることができ、しかも、光源ランプからの光がノズルに直接的に照射されることを防止することができるので、光源ランプの点灯時において、必要とされる冷却風の風量を多くすることなしに、ノズルが過熱状態となることを確実に防止することができる結果、当該光源ランプが用いられて構成された光照射装置の省エネルギー化を図ることができる。 According to the light source lamp of the present invention, when used in the light irradiation device, the light emitted in the opening direction of the cooling air passage is reflected by the reflection film in the relationship with the effective reflection area by the reflection mirror. Therefore, the light irradiation amount on the light irradiation surface can be increased, and the light from the light source lamp can be prevented from being directly applied to the nozzle. As a result of reliably preventing the nozzle from being overheated without increasing the amount of cooling air required at the time of lighting, the light irradiation device configured using the light source lamp Energy saving can be achieved.
以下、図面を参照して、本発明について詳細に説明する。
図１は、本発明の光照射装置の一例における構成の概略を示す断面図、図２は、図１に示す光照射装置における光照射器の構成の概略を示す斜視図、図３は、図２に示す光照射器の、光源ランプの管軸に垂直な断面を示す断面図である。
この光照射装置は、紫外線を含む光を照射する光照射器１０を具えてなり、例えば光照射器１０の下方位置を通過するよう不図示の搬送機構によって搬送される被処理対象物に対して紫外線を照射することにより所定の光照射処理を行うものである。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
1 is a cross-sectional view showing an outline of a configuration of an example of the light irradiation apparatus of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an outline of a configuration of a light irradiator in the light irradiation apparatus shown in FIG. 1, and FIG. It is sectional drawing which shows a cross section perpendicular | vertical to the tube axis | shaft of a light source lamp of the light irradiation device shown in FIG.
This light irradiation apparatus comprises a light irradiator 10 that irradiates light including ultraviolet rays. A predetermined light irradiation process is performed by irradiating ultraviolet rays.
光照射器１０は、下方に開口する光照射口１１Ａを有し、隔壁１２によって上下に区画された風洞１３を構成する上部室およびランプ配置用空間１４を構成する下部室が形成された略箱型形状のランプハウス１１を具えてなり、ランプハウス１１の上部には、排気ファン１６に接続された、風洞１３の内部空間と連通するダクト１７が設けられている。
ランプハウス１１におけるランプ配置用空間１４には、棒状の光源ランプ２０がその管軸が光照射面Ａと平行に伸びる姿勢で配設されている。
ランプハウス１１における隔壁１２には、例えば風洞１３とランプ配置用空間１４とを連通させる複数の貫通孔１５Ａが光源ランプ２０の管軸方向に沿って並んだ状態で形成されてなる冷却風流通用開口部１５が形成されていると共に、冷却風流通用開口部１５の両側縁位置において下方に突出する例えばアルミニウムよりなるノズル部１８が、光源ランプ２０の管軸方向に沿って伸びるよう隔壁１２と一体に形成されており、これにより、排気ファン１６が作動されることによってランプハウス１１内に引き込まれる光源ランプ２０および反射ミラー３０を冷却するための冷却風が流通される冷却風路１９が形成されている。
ノズル部１８は、光源ランプ２０のまわりを流れる冷却風の速度が最適になるように、光源ランプ２０との間に形成される冷却風路の幅（光源ランプ２０との離間距離）を設定するためのものである。
The light irradiator 10 has a light irradiation port 11A that opens downward, and is a substantially box in which an upper chamber that constitutes a wind tunnel 13 that is partitioned vertically by a partition wall 12 and a lower chamber that constitutes a lamp arrangement space 14 is formed. A mold-shaped lamp house 11 is provided, and a duct 17 connected to the exhaust fan 16 and communicating with the internal space of the wind tunnel 13 is provided at the upper part of the lamp house 11.
In the lamp arrangement space 14 in the lamp house 11, a rod-shaped light source lamp 20 is arranged in such a posture that its tube axis extends parallel to the light irradiation surface A.
In the partition wall 12 in the lamp house 11, for example, a plurality of through holes 15 </ b> A for communicating the wind tunnel 13 and the lamp arrangement space 14 are formed in a state of being arranged along the tube axis direction of the light source lamp 20. A portion 15 is formed, and a nozzle portion 18 made of, for example, aluminum that protrudes downward at both side edge positions of the cooling air circulation opening 15 is integrated with the partition wall 12 so as to extend along the tube axis direction of the light source lamp 20. Thus, a cooling air passage 19 is formed through which cooling air for cooling the light source lamp 20 and the reflecting mirror 30 drawn into the lamp house 11 by operating the exhaust fan 16 is circulated. Yes.
The nozzle unit 18 sets the width of the cooling air path formed between the light source lamp 20 (the distance from the light source lamp 20) so that the speed of the cooling air flowing around the light source lamp 20 is optimized. Is for.
ランプ配置用空間１４には、光源ランプ２０の発光領域Ｌ（発光長）の大きさと同等またはそれ以上の長さを有すると共に楕円面反射面を有する樋状の反射ミラー３０が、その第１焦点ｆ１の位置が光源ランプ２０の発光部を構成するランプ中心Ｃと一致する状態で、配設されている。
反射ミラー３０の頂部には、例えば光源ランプ２０に沿って伸びるよう形成された溝よりなる開口部３１が形成されており、この開口部３１の開口縁部がノズル部１８の先端部に形成された反射ミラー保持部１８Ａによって保持されていると共に先端部が光出射口１１Ａの開口縁部に支持されている。
反射ミラー３０の内面には、酸化タンタル（Ｔａ2 Ｏ5 ）と二酸化ケイ素（ＳｉＯ2 ）とよりなる多層反射膜（図示せず）が例えば蒸着により形成されている。
多層反射膜における各層の厚みおよび積層数などの具体的な構成は、光照射装置による処理目的に応じた特定の波長の紫外線が効率よく反射されるよう適宜に設定することができる。例えば光硬化性樹脂の硬化処理に使用される場合には、波長３５０〜４００ｎｍの紫外線が効率よく反射されるよう各層の厚みおよび積層数が設定され、また、例えば液晶パネルに使われる配向膜の光配向処理に使用される場合には、波長２４０〜２８０ｎｍの紫外線が効率よく反射されるよう各層の厚みおよび積層数が設定される。
In the lamp arrangement space 14, a bowl-shaped reflection mirror 30 having a length equal to or longer than the size of the light emitting region L (light emission length) of the light source lamp 20 and having an ellipsoidal reflecting surface is the first focal point. It is arranged in a state where the position of f1 coincides with the lamp center C constituting the light emitting part of the light source lamp 20.
At the top of the reflection mirror 30, for example, an opening 31 made of a groove formed so as to extend along the light source lamp 20 is formed, and an opening edge of the opening 31 is formed at the tip of the nozzle portion 18. The tip is supported by the opening edge of the light exit port 11A while being held by the reflecting mirror holding portion 18A.
A multilayer reflective film (not shown) made of tantalum oxide (Ta 2 O 5 ) and silicon dioxide (SiO 2 ) is formed on the inner surface of the reflecting mirror 30 by, for example, vapor deposition.
Specific configurations such as the thickness of each layer and the number of stacked layers in the multilayer reflective film can be appropriately set so that ultraviolet rays having a specific wavelength according to the processing purpose of the light irradiation device are efficiently reflected. For example, when used for the curing treatment of a photocurable resin, the thickness and the number of layers are set so that ultraviolet rays having a wavelength of 350 to 400 nm are efficiently reflected, and for example, an alignment film used for a liquid crystal panel is used. When used for the photo-alignment treatment, the thickness of each layer and the number of layers are set so that ultraviolet rays having a wavelength of 240 to 280 nm are efficiently reflected.
光源ランプ２０は、図４に示すように、両端が封止された例えばガラスよりなる断面が円形状の封体２１を具え、この封体２１内に、両端部位置において一対の電極２２が対向配置されていると共に、例えば水銀、希ガスおよびハロゲンが封入されてなり、紫外線を含む光を放射する高圧水銀ランプよりなる。
この光源ランプ２０における発光領域Ｌに連続する両端部には、冷却風が吹き付けられることにより温度低下を防止するための傘状の遮風部材２３が、電極２２の配置位置に対向する封体の表面部分の周囲を覆うよう設けられている。
As shown in FIG. 4, the light source lamp 20 includes a sealed body 21 made of, for example, glass and sealed at both ends, and a pair of electrodes 22 are opposed to each other at both end positions. For example, mercury, a rare gas, and a halogen are enclosed, and the high-pressure mercury lamp that emits light including ultraviolet rays is included.
An umbrella-like wind shield member 23 for preventing a temperature drop by blowing cooling air to both end portions of the light source lamp 20 that are continuous with the light emitting region L is provided on the envelope facing the position where the electrode 22 is disposed. It is provided so as to cover the periphery of the surface portion.
この光源ランプ２０においては、ランプハウス１１内における所定の位置に所定の姿勢で配置された状態において、冷却風路１９を形成するノズル部１８の開口、換言すれば反射ミラー３０の頂部に形成された開口部３１に対向する封体２１の外表面領域に、処理目的に応じた特定波長の紫外線を効率よく反射させる機能を有する反射膜２５が光源ランプ２０の管軸に沿って伸びるよう形成されている。
この反射膜２５は、光源ランプ２０の管軸に垂直な断面において、光源ランプ２０の管軸（ランプ中心Ｃ）を中心としたノズル部１８における反射ミラー保持部１８Ａを見込む角度範囲θ領域に形成されていることが好ましく、当該角度範囲θは例えば９０°とされている（図３参照。）。このような構成であることにより、反射ミラー３０の有効反射領域を阻害することがなく、反射ミラー３０の開口部３１方向に放射される光を反射膜２５および反射ミラー３０の両者によって効率よく反射させることができる。
The light source lamp 20 is formed at the opening of the nozzle portion 18 that forms the cooling air passage 19, in other words, at the top of the reflecting mirror 30, in a state where the light source lamp 20 is arranged at a predetermined position in the lamp house 11. A reflection film 25 having a function of efficiently reflecting ultraviolet rays having a specific wavelength according to the processing purpose is formed on the outer surface region of the sealing body 21 facing the opening 31 so as to extend along the tube axis of the light source lamp 20. ing.
The reflection film 25 is formed in an angle range θ region in which the reflection mirror holding portion 18A of the nozzle portion 18 is viewed around the tube axis (lamp center C) of the light source lamp 20 in a cross section perpendicular to the tube axis of the light source lamp 20. The angle range θ is preferably 90 ° (see FIG. 3). With such a configuration, light that is radiated in the direction of the opening 31 of the reflection mirror 30 is efficiently reflected by both the reflection film 25 and the reflection mirror 30 without hindering the effective reflection region of the reflection mirror 30. Can be made.
反射膜２５は、光源ランプ２０の封体２１の表面温度が点灯時において例えば６００〜８００℃となることから、例えば耐熱性に優れた材質により構成されたものであることが必要とされ、例えば酸化タンタル（Ｔａ2 Ｏ5 ）と二酸化ケイ素（ＳｉＯ2 ）とよりなる多層反射膜により構成されている。このような構成の反射膜は、例えば蒸着により形成することができる。
反射膜２５は、上述したように、光照射装置による処理目的に応じた特定波長の紫外線が効率よく反射されるよう構成されていれば、材質、各層の厚みおよび積層数は特に限定されるものではなく、例えば酸化タンタルに代えて酸化ジルコニウムや酸化ハフニウムを用いることもできる。
Since the surface temperature of the envelope 21 of the light source lamp 20 is, for example, 600 to 800 ° C. at the time of lighting, the reflective film 25 needs to be made of a material having excellent heat resistance, for example, The multilayer reflection film is made of tantalum oxide (Ta 2 O 5 ) and silicon dioxide (SiO 2 ). The reflection film having such a configuration can be formed by vapor deposition, for example.
As described above, the material, the thickness of each layer, and the number of layers are particularly limited as long as the reflective film 25 is configured to efficiently reflect ultraviolet rays having a specific wavelength according to the processing purpose of the light irradiation device. Instead, for example, zirconium oxide or hafnium oxide can be used instead of tantalum oxide.
この光照射器１０においては、ノズル部１８と光源ランプ２０との幅、すなわち光源ランプ２０とノズル部１８の反射ミラー保持部１８Ａとの最近接距離Ｋの大きさが例えば４〜５ｍｍとされており、これにより、冷却風を光源ランプ２０の背面側を確実に流過させることができる。 In this light irradiator 10, the width of the nozzle portion 18 and the light source lamp 20, that is, the closest distance K between the light source lamp 20 and the reflection mirror holding portion 18A of the nozzle portion 18 is, for example, 4 to 5 mm. Thus, the cooling air can surely flow through the back side of the light source lamp 20.
上記光照射装置においては、例えば、被処理対象物が、光源ランプ２０と一定の離間距離を保った状態で、光照射器１０の下方位置を通過するよう光源ランプ２０の管軸と直交する方向に搬送され、光照射器１０から照射される紫外線によって所定の処理が行われる。すなわち、光源ランプ２０が点灯されると、光源ランプ２０から放射される紫外線を含む光が、光出射口１１Ａを介して直接的にあるいは反射ミラー３０および光源ランプ２０における反射膜２５によって反射されて被処理対象物に照射される。ここに、反射ミラー３０によって反射された反射光Ｉ１は、反射ミラー３０の第２焦点ｆ２に一旦集光された後、更にこの第２焦点ｆ２を通過して拡がった状態で、第２焦点ｆ２よりも光照射方向遠方側に位置する被処理対象物全体に照射され、また、反射膜２５によって反射された反射光Ｉ２は、反射ミラー３０によって反射された反射光Ｉ１とは異なり、反射ミラー３０の第２焦点ｆ２を通過せずに、例えば光照射面Ａの中心位置（光源ランプ２０の直下位置）の両側位置に照射される（図１参照。）。
一方、排気ファン１６が作動されることにより光出射口１１Ａを介して吸い込まれた冷却風が、反射ミラー３０の内面に沿って流過されると共に光源ランプ２０の封体２１の表面に沿って流過されることにより反射ミラー３０および光源ランプ２０が冷却され、その後、ノズル部１８によって形成された冷却風路１９を介して風洞１３に流入されることに伴ってノズル部１８が冷却され、ダクト１７を介して光照射器１０の外部に排気される。また、反射ミラー３０は、光出射口１１Ａの開口縁部分に形成された貫通孔１１Ｂを介してランプ配置用空間１４内に吸い込まれた冷却風によって背面側からも冷却される（図３参照。）。ここに、冷却風の風量は、例えば１．５〜２ｍ3 ／ｍｉｎである。
In the light irradiation apparatus, for example, the object to be processed is in a direction orthogonal to the tube axis of the light source lamp 20 so as to pass through a position below the light irradiator 10 while maintaining a certain distance from the light source lamp 20. And a predetermined process is performed by the ultraviolet rays irradiated from the light irradiator 10. That is, when the light source lamp 20 is turned on, light including ultraviolet rays emitted from the light source lamp 20 is reflected directly or by the reflecting film 30 in the reflection mirror 30 and the light source lamp 20 through the light exit port 11A. The target object is irradiated. Here, the reflected light I1 reflected by the reflecting mirror 30 is once condensed on the second focal point f2 of the reflecting mirror 30, and further passes through the second focal point f2 and then spreads, and then the second focal point f2. Unlike the reflected light I 1 reflected by the reflecting mirror 30, the reflected light I 2 irradiated to the entire object to be processed located farther in the light irradiation direction than the reflected film 25 is reflected by the reflecting mirror 30. Without passing through the second focal point f2, for example, the light is irradiated to both sides of the center position of the light irradiation surface A (the position immediately below the light source lamp 20) (see FIG. 1).
On the other hand, the cooling air sucked through the light exit port 11 </ b> A by operating the exhaust fan 16 flows along the inner surface of the reflection mirror 30 and along the surface of the envelope 21 of the light source lamp 20. The reflection mirror 30 and the light source lamp 20 are cooled by flowing, and then the nozzle portion 18 is cooled as it flows into the wind tunnel 13 through the cooling air passage 19 formed by the nozzle portion 18. It is exhausted to the outside of the light irradiator 10 through the duct 17. Further, the reflection mirror 30 is also cooled from the back side by the cooling air sucked into the lamp arrangement space 14 through the through hole 11B formed in the opening edge portion of the light exit port 11A (see FIG. 3). ). Here, the air volume of the cooling air is, for example, 1.5 to 2 m 3 / min.
而して、単に封体の外表面に反射膜が形成された光源ランプを用いただけでは、光照射面における光照射量を、反射膜を有さない光源ランプが用いられてなる光照射装置に比して大きくすることはできできない。この理由は、反射ミラーによる反射鏡と、反射膜による反射光との光線が異なることから、反射ミラーの有効反射領域との関係において、反射ミラーによって反射された場合であれば光照射面における所定の範囲内に反射させることのできる光が反射膜によって反射されることによって当該範囲外に照射されることがあるためである。
然るに、光源ランプ２０として、封体２１の外表面領域における適正な範囲に反射膜２５が形成されてなるものが用いられていることにより、上記構成の光照射装置によれば、当該反射膜２５によって、光源ランプ２０から反射ミラー３０の開口部３１方向に放射される光を反射ミラー３０の有効反射領域を阻害することなしに効率よく反射させることができるので、光照射面Ａにおける光照射量を大きくすることができる。具体的には、光照射面Ａにおける光源ランプの直下位置（中心位置）を含む所定の範囲内の照度のレベルが全体的に高くなる照度分布を得ることができ（例えば図５参照。）、実際上、このような照度分布によれば、被処理対象物の全体を確実にカバーすることができ、被処理対象物についての所定の光照射処理を高い処理効率で行うことができる。
しかも、反射ミラー３０の開口部３１方向に放射される光が冷却風路１９を形成するノズル部１８に対して直接的に照射されることが防止されるので、必要とされる冷却風の風量を多くすることなしに、ノズル部１８が過熱状態となることを防止することができ、省エネルギー化を図ることができる。
Thus, simply using a light source lamp having a reflective film formed on the outer surface of the envelope, the light irradiation amount on the light irradiation surface can be reduced to a light irradiation apparatus using a light source lamp having no reflective film. It cannot be made larger than that. The reason for this is that, since the light rays of the reflecting mirror by the reflecting mirror and the reflected light by the reflecting film are different, in the relationship with the effective reflecting area of the reflecting mirror, if the light is reflected by the reflecting mirror, the predetermined light on the light irradiation surface This is because light that can be reflected within the range may be irradiated outside the range by being reflected by the reflective film.
However, as the light source lamp 20, the light source lamp 20 having the reflective film 25 formed in an appropriate range in the outer surface region of the envelope 21 is used. Thus, the light emitted from the light source lamp 20 toward the opening 31 of the reflection mirror 30 can be efficiently reflected without obstructing the effective reflection area of the reflection mirror 30. Can be increased. Specifically, it is possible to obtain an illuminance distribution in which the illuminance level within a predetermined range including the position (center position) immediately below the light source lamp on the light irradiation surface A is increased (see, for example, FIG. 5). In practice, according to such an illuminance distribution, the entire object to be processed can be reliably covered, and a predetermined light irradiation process for the object to be processed can be performed with high processing efficiency.
In addition, since the light radiated in the direction of the opening 31 of the reflection mirror 30 is prevented from being directly applied to the nozzle portion 18 that forms the cooling air passage 19, the required amount of cooling air is required. Without increasing the amount, it is possible to prevent the nozzle portion 18 from being overheated and to save energy.
以下、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
＜実験例１＞
図１に示す構成に従って本発明に係る光照射装置を作製した。この光照射装置の具体的な仕様は以下に示す通りである。
光源ランプは、封体の外径がφ２３ｍｍ、発光長が１２５ｍｍ、定格電力が１．５ｋＷ、ランプ入力電力が１２０Ｗ／ｃｍである高圧水銀ランプであって、封体における管軸を中心とした９０°の角度範囲の外表面領域に反射膜を形成したものである。
反射膜は、酸化タンタル層と二酸化ケイ素層とを蒸着により交互に約２０層積層した多層蒸着膜である。
反射ミラーは、楕円面反射面を有し、第１焦点から第２焦点までの離間距離が約１２０ｍｍであるものである。
排気ファンは、光照射器内を流過する風量が１．５〜２ｍ3 ／ｍｉｎとなるよう設定可能な能力を有するものである。
ランプハウスおよびノズル部はアルミニウム製であり、ノズル部の反射ミラー保持部と光源ランプとの最近接距離が４．５ｍｍである。
Hereinafter, experimental examples performed for confirming the effects of the present invention will be described.
<Experimental example 1>
A light irradiation apparatus according to the present invention was produced according to the configuration shown in FIG. The specific specification of this light irradiation apparatus is as follows.
The light source lamp is a high-pressure mercury lamp whose outer diameter is 23 mm, light emission length is 125 mm, rated power is 1.5 kW, and lamp input power is 120 W / cm, and is 90 around the tube axis in the envelope. A reflective film is formed on the outer surface area in the angle range of °.
The reflective film is a multilayer deposited film in which about 20 tantalum oxide layers and silicon dioxide layers are alternately laminated by vapor deposition.
The reflecting mirror has an ellipsoidal reflecting surface, and the separation distance from the first focal point to the second focal point is about 120 mm.
The exhaust fan has a capacity that can be set so that the amount of air flowing through the light irradiator is 1.5 to 2 m 3 / min.
The lamp house and the nozzle part are made of aluminum, and the closest distance between the reflection mirror holding part of the nozzle part and the light source lamp is 4.5 mm.
また、反射膜を有さないものであることの他は上記光源ランプと同様の仕様の高圧水銀ランプを用いたことの他は上記光照射装置と同一の構成を有する比較用の光照射装置を作製した。 In addition, a comparative light irradiation apparatus having the same configuration as the light irradiation apparatus except that a high-pressure mercury lamp having the same specifications as the light source lamp is used except that it does not have a reflective film. Produced.
本発明に係る光照射装置および比較用の光照射装置の各々について、反射ミラーの第１焦点の位置から光照射方向に対して４００ｍｍ離れた位置に設置した光照射面において、波長３６５ｎｍに中心感度を有する紫外線照度を測定した。結果を図５に示す。図５における縦軸は、比較用の光照射装置を基準にした相対値で表された照度の大きさを示し、横軸は、光源ランプの直下位置（中心位置、０ｍｍ）からランプ管軸に直交する方向における距離で表された測定位置を示し、本発明に係る光照射装置の結果を□印、比較用の光照射装置の結果を△印で示してある。 About each of the light irradiation apparatus which concerns on this invention, and the light irradiation apparatus for a comparison, in the light irradiation surface installed in the position 400 mm away from the position of the 1st focus of a reflective mirror with respect to the light irradiation direction, center sensitivity is set to wavelength 365nm. The ultraviolet illuminance having The results are shown in FIG. The vertical axis in FIG. 5 indicates the magnitude of illuminance expressed as a relative value with reference to a comparative light irradiation apparatus, and the horizontal axis indicates the position immediately below the light source lamp (center position, 0 mm) from the lamp tube axis. The measurement position represented by the distance in the orthogonal direction is shown, the result of the light irradiation device according to the present invention is indicated by □, and the result of the comparative light irradiation device is indicated by Δ.
図５に示す結果から明らかなように、光源ランプの直下位置である中心位置（測定位置０ｍｍ）における照度の大きさは、本発明に係る光照射装置と比較用の光照射装置とで大差はないが、本発明に係る光照射装置においては、照度分布における中心位置の両側位置に、照度が高い部分を有し、中心位置から左右６００ｍｍの範囲内において、紫外線照射量（図５における照度の積分値）が比較用の光照射装置に比して約２０％高くなることが確認された。
この理由は、次のように考えられる。すなわち、光源ランプに形成された反射膜は、断面が円形の棒状の光源ランプの封体の表面に形成されており、反射膜の反射面の断面も円形状であることから、例えば光が光源ランプの中心から出射すると考えると、光は反射膜によって出射した方向とは１８０°反対の方向に反射されることとなる。
しかし、実際の光源ランプにおける発光部は、ある太さを有しており、光はその太さを持った発光部の表面から放射される。すなわち、光が出射する位置がランプの中心からややずれることになり、図１の「反射膜による反射光Ｉ２」として示した光線のように、反射膜によって反射された光は、１８０°反対側ではなく、やや中心よりに反射されて照射されることとなる。従って、照度分布における中心位置の両側に照度の高い部分が生じると考えられる。
以上のように、本発明に係る光照射装置によれば、比較用の光照射装置であれば有効に利用することができなかった、冷却風路方向に放射される光を、反射膜および反射ミラーによって反射させて有効に利用することができ、光照射量を高くすることができることが確認された。
そして、光照射面における光照射量を大きくすることができる範囲が中心位置から左右６００ｍｍの範囲内であれば、実際上、被処理対象物の全体をカバーすることができ、実用上、十分な効果が得られるものと期待される。
As is apparent from the results shown in FIG. 5, the magnitude of illuminance at the central position (measurement position 0 mm), which is the position immediately below the light source lamp, is largely different between the light irradiation apparatus according to the present invention and the comparative light irradiation apparatus. However, in the light irradiation apparatus according to the present invention, there are portions with high illuminance on both sides of the center position in the illuminance distribution, and within the range of 600 mm on the left and right sides of the center position, the ultraviolet irradiation amount (the illuminance of FIG. It was confirmed that the integrated value was about 20% higher than that of the light irradiation device for comparison.
The reason is considered as follows. That is, the reflection film formed on the light source lamp is formed on the surface of the sealing body of the rod-shaped light source lamp having a circular cross section, and the cross section of the reflection surface of the reflection film is also circular. Assuming that the light is emitted from the center of the lamp, the light is reflected in a direction opposite to 180 ° from the direction emitted by the reflective film.
However, the light emitting portion in an actual light source lamp has a certain thickness, and light is emitted from the surface of the light emitting portion having the thickness. That is, the light emission position is slightly deviated from the center of the lamp, and the light reflected by the reflective film as shown by “reflected light I2 by the reflective film” in FIG. Instead, the light is reflected slightly from the center and irradiated. Therefore, it is considered that high illuminance portions are generated on both sides of the center position in the illuminance distribution.
As described above, according to the light irradiation device according to the present invention, the light radiated in the direction of the cooling air path, which could not be effectively used with the comparative light irradiation device, is reflected on the reflection film and the reflection film. It was confirmed that the light can be effectively used by being reflected by a mirror, and the amount of light irradiation can be increased.
If the range in which the amount of light irradiation on the light irradiation surface can be increased is within the range of 600 mm from the center position to the left and right, the entire object to be processed can be practically covered, which is practically sufficient. Expected to be effective.
また、光源ランプの点灯時におけるノズル部の温度を測定したところ、比較用の光照射装置においては、約１２０〜１３０℃であったのに対して、本発明に係る光照射装置においては、約１００℃程度であり、比較用の光照射装置に比べて２０℃以上低い温度状態であることが確認された。
この理由は、本発明に係る光照射装置においては、冷却風路方向に放射された光が反射膜によって反射されて光出射口を介して出射され、ノズル部に直接的に照射される光の照射量が低減されたためであると考えられる。従って、ノズル部が過熱状態となることを防止するために必要とされる冷却風の風量を大きくすることなしに、光照射装置を十分な冷却機能を有するものとして構成することができることが確認された。
Moreover, when the temperature of the nozzle part at the time of lighting of a light source lamp was measured, in the light irradiation apparatus for a comparison, it was about 120-130 degreeC, but in the light irradiation apparatus which concerns on this invention, about It was about 100 degreeC, and it was confirmed that it is a temperature state 20 degreeC or more lower than the light irradiation apparatus for a comparison.
The reason for this is that in the light irradiation device according to the present invention, the light emitted in the cooling air path direction is reflected by the reflection film and emitted through the light emission port, and the light directly irradiated on the nozzle portion. This is thought to be because the dose was reduced. Therefore, it is confirmed that the light irradiation device can be configured to have a sufficient cooling function without increasing the amount of cooling air required to prevent the nozzle portion from being overheated. It was.
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、上記実施例においては、排気ファンによってランプハウス内に冷却風を吸い込む排気冷却方式のものを例に挙げて説明したが、冷却風を冷却風路を介してランプハウス内に供給する送風冷却方式のものであってもよい。
また、本発明の光照射装置においては、光源ランプとの幅を設定するノズルは、光照射器のランプハウスの隔壁に一体に形成されたものでも、隔壁と別体に形成されたものでも、いずれであってもよい。
さらに、光照射器を構成する反射ミラーは、反射面が楕円面ではなく、放物面であるものであってもよい。
さらにまた、本発明の光照射装置においては、光照射器を構成する反射ミラーが、光源ランプの発光長の大きさと同等またはそれ以上の長さを有すると共に反射面を有する２つのミラーを組み合わせて樋状としたものであってもよい。この場合には、２つの反射ミラーの間に冷却風路が形成される。
また、反射ミラーの頂部に形成される開口部は、光源ランプに沿って互いに離間して並んだ位置に形成された複数の孔により形成されていてもよい。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to said embodiment, A various change can be added.
For example, in the above-described embodiment, the exhaust cooling method in which the cooling air is sucked into the lamp house by the exhaust fan has been described as an example. However, the cooling by which the cooling air is supplied into the lamp house through the cooling air passage is described. It may be of a system.
Further, in the light irradiation device of the present invention, the nozzle for setting the width with the light source lamp may be formed integrally with the partition wall of the lamp house of the light irradiator, or may be formed separately from the partition wall, Either may be sufficient.
Further, the reflecting mirror constituting the light irradiator may have a reflecting surface that is not an ellipsoid but a paraboloid.
Furthermore, in the light irradiation apparatus of the present invention, the reflection mirror constituting the light irradiator is combined with two mirrors having a length equal to or longer than the light emission length of the light source lamp and having a reflection surface. It may be a bowl. In this case, a cooling air path is formed between the two reflecting mirrors.
Further, the opening formed at the top of the reflecting mirror may be formed by a plurality of holes formed at positions spaced apart from each other along the light source lamp.
１０ 光照射器
１１ ランプハウス
１１Ａ 光照射口
１１Ｂ 貫通孔
１２ 隔壁
１３ 風洞
１４ ランプ配置用空間
１５ 冷却風流通用開口部
１５Ａ 貫通孔
１６ 排気ファン
１７ ダクト
１８ ノズル部
１８Ａ 反射ミラー保持部
１９ 冷却風路
２０ 光源ランプ
２１ 封体
２２ 電極
２３ 遮風部材
２５ 反射膜
３０ 反射ミラー
３１ 開口部
ｆ１ 第１焦点
ｆ２ 第２焦点
Ｉ１ 反射ミラーによる反射光
Ｉ２ 反射膜による反射光
４０ 光照射器
４１ ランプハウス
４２ 隔壁
４３ 風洞
４４ ランプ配置用空間
４５ 冷却風流通用開口部
４６ ノズル部
４６Ａ ノズル
４８ ダクト
４９ 排気ファン
５０ 光源ランプ
５５ 反射ミラー
５６ 開口部
６０ 冷却風路
Ｗ 被処理対象物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Light irradiator 11 Lamphouse 11A Light irradiation port 11B Through-hole 12 Bulkhead 13 Wind tunnel 14 Lamp arrangement space 15 Cooling air flow opening 15A Through-hole 16 Exhaust fan 17 Duct 18 Nozzle 18A Reflective mirror holder 19 Cooling air channel 20 Light source lamp 21 Enclosure 22 Electrode 23 Wind shield member 25 Reflective film 30 Reflective mirror 31 Aperture f1 First focal point f2 Second focal point I1 Reflected light by reflective mirror I2 Reflected light by reflective film 40 Light irradiator 41 Lamp house 42 Partition wall 43 Wind tunnel 44 Lamp arrangement space 45 Cooling air flow opening 46 Nozzle part 46A Nozzle 48 Duct 49 Exhaust fan 50 Light source lamp 55 Reflection mirror 56 Opening 60 Cooling air path W Object to be processed
Claims (3)
光源ランプにおける冷却風路の開口と対向する外表面領域には、当該光源ランプから放射される光を反射する反射膜が形成されていることを特徴とする光照射装置。 A rod-shaped light source lamp having a circular cross section includes a light irradiator having a tube axis aligned with the position of the first focal point of a bowl-shaped reflection mirror having a reflecting surface. A light irradiation device in which the light source lamp and the reflection mirror are cooled by cooling air when the lamp is turned on, and the cooling air that communicates with the space surrounded by the reflection mirror on the rear side of the light source lamp with respect to the light irradiation direction. A cooling air passage for circulation is formed,
A light irradiation apparatus, wherein a reflection film that reflects light emitted from a light source lamp is formed on an outer surface region of the light source lamp that faces the opening of a cooling air passage.
断面が円形状の棒状の封体を具えてなり、光照射器内における樋状の反射ミラーの第１焦点の位置に配置された状態において、上記反射ミラーによって囲まれた空間と連通する、冷却風を流通させるための冷却風路の開口と対向する封体の外表面領域に、反射膜が形成されていることを特徴とする光源ランプ。 A light source lamp used in the light irradiation device according to claim 1,
Cooling, comprising a rod-shaped envelope having a circular cross section and communicating with the space surrounded by the reflection mirror in the state of being disposed at the position of the first focal point of the bowl-shaped reflection mirror in the light irradiator A light source lamp, characterized in that a reflective film is formed on an outer surface region of a sealing body facing an opening of a cooling air passage for circulating air.
反射膜が、当該光源ランプの管軸に垂直な断面における当該管軸を中心としたノズルを見込む角度範囲の外表面領域に、発光領域の全域にわたって管軸に沿って伸びるよう形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光源ランプ。 In the cooling air passage formed to extend along the light source lamp at the top of the reflection mirror, a nozzle for setting the width with the light source lamp is provided,
The reflective film is formed to extend along the tube axis over the entire light emitting region in an outer surface region in an angle range in which a nozzle centering on the tube axis in a cross section perpendicular to the tube axis of the light source lamp is viewed. The light source lamp according to claim 2.
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Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010048237A2 (en) * | 2008-10-21 | 2010-04-29 | Applied Materials, Inc. | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method |
| JP2012198997A (en) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Ushio Inc | Long arc metal halide lamp and light irradiation device |
| CN103644470A (en) * | 2013-11-25 | 2014-03-19 | 湖州市妙西镇资产经营有限公司 | Fluorescent lamp structure |
| CN103644469A (en) * | 2013-11-25 | 2014-03-19 | 湖州市妙西镇资产经营有限公司 | Novel LED (light-emitting diode) lamp structure |
| JP2014075227A (en) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Iwasaki Electric Co Ltd | Irradiation device |
| CN103836596A (en) * | 2012-11-22 | 2014-06-04 | 上海微电子装备有限公司 | High-power mercury lamp lamphouse device |
| JP2015152662A (en) * | 2014-02-12 | 2015-08-24 | ウシオ電機株式会社 | Polarization light irradiation device and light orientation rod-like light source |
| JP2018085266A (en) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | ウシオ電機株式会社 | Excimer lamp unit and excimer lamp device |
| CN108591876A (en) * | 2018-01-17 | 2018-09-28 | 东莞市天合机电开发有限公司 | A kind of absorption type outdoor LED illuminator |
| JP2018176425A (en) * | 2017-04-03 | 2018-11-15 | 株式会社Ｇｓユアサ | Light radiation device |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130041756A (en) * | 2010-03-31 | 2013-04-25 | 가부시키가이샤 지에스 유아사 | Uv irradiation device and inkjet printer |
| US8823249B2 (en) * | 2011-11-15 | 2014-09-02 | Seiko Epson Corporation | Irradiation device and irradiation method |
| CN103292282B (en) * | 2012-03-05 | 2016-07-06 | 上海微电子装备有限公司 | For the cooling system of ellipsoidal reflector and the high power lighting source lamp chamber applying it |
| KR101991521B1 (en) * | 2012-04-20 | 2019-06-20 | 이와사키 덴끼 가부시키가이샤 | Polarizer unit, jig for adjusting, lamp replacement stage and irradiation apparatus |
| CN104141892B (en) * | 2013-05-08 | 2017-05-31 | 海洋王（东莞）照明科技有限公司 | Fitting structure |
| CN104141891B (en) * | 2013-05-08 | 2017-05-31 | 海洋王（东莞）照明科技有限公司 | Fitting structure |
| CN105216283A (en) * | 2015-08-28 | 2016-01-06 | 广州达意隆包装机械股份有限公司 | A kind of bottle blowing machine heating fluorescent tube |
| CN105487352B (en) * | 2016-02-16 | 2017-06-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | The replacing options of exposure machine and Exposing Lamp |
| CN106016974B (en) * | 2016-05-12 | 2018-07-06 | 绍兴中漂印染有限公司 | A kind of drying unit for fabric printing |
| EP4029532A1 (en) * | 2021-01-05 | 2022-07-20 | The Boeing Company | Ultraviolet device and methods of using the same |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5760656A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-12 | Mitsubishi Electric Corp | Forcefuly cooled super high pressure mercury lamp |
| JPH01209631A (en) * | 1988-02-15 | 1989-08-23 | Nec Corp | Very high pressure mercury-vapor lamp for phosphor film exposure |
| JPH08174567A (en) * | 1994-10-25 | 1996-07-09 | Ushio Inc | Illuminator |
| JP2003187604A (en) * | 2001-12-17 | 2003-07-04 | Ushio Inc | Optical device |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0817457A (en) * | 1994-06-28 | 1996-01-19 | Tokyo Gas Co Ltd | Water treatment equipment for fuel cell |
| DE19814300B4 (en) * | 1998-03-31 | 2008-09-25 | Bernhard Weber | Headlight or light |
| JP2000206619A (en) * | 1999-01-18 | 2000-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Lamp and liquid crystal projection device |
| CA2267674C (en) * | 1999-03-31 | 2010-03-30 | Imax Corporation | Method for cooling an arc lamp |
| JP3846232B2 (en) * | 2000-12-08 | 2006-11-15 | ウシオ電機株式会社 | Circulating air cooling system for light irradiators |
-
2005
- 2005-12-07 JP JP2005353541A patent/JP4811000B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-09-20 TW TW095134845A patent/TWI391235B/en not_active IP Right Cessation
- 2006-10-19 KR KR1020060101923A patent/KR101030421B1/en active IP Right Grant
- 2006-12-07 CN CN2006101531253A patent/CN1978983B/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5760656A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-12 | Mitsubishi Electric Corp | Forcefuly cooled super high pressure mercury lamp |
| JPH01209631A (en) * | 1988-02-15 | 1989-08-23 | Nec Corp | Very high pressure mercury-vapor lamp for phosphor film exposure |
| JPH08174567A (en) * | 1994-10-25 | 1996-07-09 | Ushio Inc | Illuminator |
| JP2003187604A (en) * | 2001-12-17 | 2003-07-04 | Ushio Inc | Optical device |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010048237A3 (en) * | 2008-10-21 | 2010-07-15 | Applied Materials, Inc. | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method |
| US7964858B2 (en) | 2008-10-21 | 2011-06-21 | Applied Materials, Inc. | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method |
| CN102187441A (en) * | 2008-10-21 | 2011-09-14 | 应用材料股份有限公司 | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method |
| JP2012506622A (en) * | 2008-10-21 | 2012-03-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Ultraviolet reflector with holes for cooling gas and method |
| US8338809B2 (en) | 2008-10-21 | 2012-12-25 | Applied Materials, Inc. | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method |
| CN102187441B (en) * | 2008-10-21 | 2013-09-11 | 应用材料公司 | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method |
| WO2010048237A2 (en) * | 2008-10-21 | 2010-04-29 | Applied Materials, Inc. | Ultraviolet reflector with coolant gas holes and method |
| JP2012198997A (en) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Ushio Inc | Long arc metal halide lamp and light irradiation device |
| JP2014075227A (en) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Iwasaki Electric Co Ltd | Irradiation device |
| CN103836596A (en) * | 2012-11-22 | 2014-06-04 | 上海微电子装备有限公司 | High-power mercury lamp lamphouse device |
| CN103836596B (en) * | 2012-11-22 | 2016-06-01 | 上海微电子装备有限公司 | A kind of superpower mercury lamp room device |
| CN103644470A (en) * | 2013-11-25 | 2014-03-19 | 湖州市妙西镇资产经营有限公司 | Fluorescent lamp structure |
| CN103644469A (en) * | 2013-11-25 | 2014-03-19 | 湖州市妙西镇资产经营有限公司 | Novel LED (light-emitting diode) lamp structure |
| JP2015152662A (en) * | 2014-02-12 | 2015-08-24 | ウシオ電機株式会社 | Polarization light irradiation device and light orientation rod-like light source |
| JP2018085266A (en) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | ウシオ電機株式会社 | Excimer lamp unit and excimer lamp device |
| JP2018176425A (en) * | 2017-04-03 | 2018-11-15 | 株式会社Ｇｓユアサ | Light radiation device |
| CN108591876A (en) * | 2018-01-17 | 2018-09-28 | 东莞市天合机电开发有限公司 | A kind of absorption type outdoor LED illuminator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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