KR101023866B1 - 도포 방법 및 도포 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 기체를 분출하는 다수의 분출구와 기체를 흡입하는 다수의 흡인구가 혼재하여 설치된 제1 부상 영역을 갖는 스테이지와,피처리 기판을 상기 스테이지 상에서 띄운 상태로 소정의 반송 방향으로 상기 제1 부상 영역을 통과시키는 기판 반송부와,상기 제1 부상 영역의 상방에 배치되는 노즐을 갖고, 상기 기판 상에 처리액의 도포막을 형성하기 위해 상기 노즐로부터 상기 처리액을 토출시키는 처리액 공급부와,상기 분출구 또는 상기 흡인구의 상단부로부터 상기 반송 방향에 대해 평행 또는 예각의 각도로 경사진 제1 방향으로 연장되도록 상기 제1 부상 영역 내의 상기 스테이지 상면에 형성된 긴 홈을 갖는 도포 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 긴 홈이, 상기 제1 방향에 있어서 상기 분출구 또는 상기 흡인구의 상단부로부터 상기 반송 방향을 따르는 방향으로 연장되는 동시에 상기 반송 방향에 역행하는 방향으로 연장되는 도포 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 긴 홈이, 상기 반송 방향에 있어서 상기 노즐의 토출구보다도 상류측의 장소에서는 상기 분출구 또는 상기 흡인구의 상단부로부터 상기 반송 방향에 역행하는 방향으로 연장되고, 상기 노즐의 토출구보다도 하류측의 장 소에서는 상기 분출구 또는 상기 흡인구의 상단부로부터 상기 반송 방향을 따르는 방향으로 연장되는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 부상 영역 내의 모든 상기 분출구 및 상기 흡인구에 상기 긴 홈이 형성되어 있는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 긴 홈이, 당해 분출구 또는 흡인구와 근접하는 적어도 1개의 다른 분출구 또는 흡인구를 상기 제1 방향에 있어서 지나가는 위치까지 연장되는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 긴 홈은, 상기 분출구 또는 상기 흡인구의 상단부로부터 홈 선단부를 향해 점차 얕아지는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 방향의 일직선 상에 제1 간격을 두고 상기 분출구만을 다수개 배치하는 분출 라인이, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 제1 간격을 두고 복수개 배열되고,상기 제1 방향의 일직선 상에 제2 간격을 두고 상기 흡인구만을 다수개 배치하는 흡인 라인이, 상기 제2 방향으로 상기 분출 라인으로부터 오프셋되고, 또한 제2 간격을 두고 복수개 배열되는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 방향의 일직선 상에 제1 간격을 두고 상기 분출구와 상기 흡인구를 교대로 다수개 배치하는 분출·흡인 혼재 라인이, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 제2 간격을 두고 복수개 배열되는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지 상에서 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되는 임의의 직선 상에 위치하는 상기 분출구 및 상기 흡인구의 개수가, 상기 제1 방향으로부터 보아 그것과 직교하는 제2 방향으로 일렬로 배열되는 상기 분출구 및 상기 흡인구의 개수보다도 적은 도포 장치.
- 제9항에 있어서, 상기 스테이지 상에서 상기 제2 방향으로 연장되는 임의의 직선 상에 위치하는 상기 분출구 및 상기 흡인구의 개수가, 상기 제1 방향으로부터 보아 상기 제2 방향으로 일렬로 배열되는 상기 분출구 및 상기 흡인구의 개수의 1/2 이하인 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 노즐의 토출구의 바로 아래에 있어서의 상기 기판의 부상 높이를 가변 제어하기 위해, 상기 분출구에 공급하는 기체의 압력 및 상기 흡인구에 공급하는 진공의 압력 중 적어도 한쪽을 제어하는 부상 압력 제어부를 갖는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은 직사각형이고,상기 기판 반송부는, 상기 기판의 한 쌍의 변이 반송 방향과 평행하고 다른 한 쌍의 변이 반송 방향과 직교하도록 하여 상기 기판을 상기 스테이지 상에서 반송하는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 노즐을 연직 방향에서 승강 이동시키기 위한 노즐 승강부를 갖는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지가, 상기 반송 방향에 있어서 상기 제1 부상 영역의 상류측에 상기 기판을 띄우는 제2 부상 영역을 갖는 도포 장치.
- 제14항에 있어서, 상기 제2 부상 영역 내에, 상기 기판을 반입하기 위한 반입부가 설치되는 도포 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스테이지가, 상기 반송 방향에 있어서 상기 제1 부상 영역의 하류측에 상기 기판을 띄우는 제3 부상 영역을 갖는 도포 장치.
- 제16항에 있어서, 상기 제3 부상 영역 내에, 상기 기판을 반출하기 위한 반출부가 설치되는 도포 장치.
- 스테이지 상에 반송 방향을 따라, 피처리 기판보다도 사이즈가 큰 반입 영역 과, 상기 기판보다도 사이즈가 작은 도포 영역과, 상기 기판보다도 사이즈가 큰 반출 영역을 이 순서로 일렬로 설정하고, 상기 스테이지의 상면에 설치한 다수의 분출구로부터 분출되는 기체의 압력으로 상기 기판을 띄우고, 적어도 상기 도포 영역에서는 상기 스테이지의 상면에 상기 분출구와 혼재하는 다수의 흡인구를 설치하여, 상기 도포 영역을 통과하는 상기 기판에 대해 상기 분출구로부터 가해지는 수직 상향의 압력과 상기 흡인구로부터 가해지는 수직 하향의 압력과의 밸런스를 제어하여 상기 기판에 원하는 부상 압력을 부여하고, 상기 기판을 상기 반입 영역으로부터 상기 반출 영역까지 반송하는 도중에, 상기 도포 영역 내에서 상방에 배치한 노즐로부터 처리액을 토출시켜 상기 기판 상에 상기 처리액을 도포하는 도포 방법이며,상기 스테이지의 상면에, 상기 분출구 또는 상기 흡인구의 상단부로부터 상기 반송 방향에 대해 평행 또는 예각의 각도로 경사진 방향으로 연장되는 긴 홈이 형성되어 있는 도포 방법.
- 제18항에 있어서, 상기 노즐의 토출구의 바로 아래 부근에 설정된 기준 위치에 상기 기판의 선단부가 도착하기 전인 제1 기간 중에는 상기 기판에 대한 부상 압력을 제1 설정 압력 부근에 유지하는 공정과,상기 기판의 선단부가 상기 기준 위치로부터 반송 방향의 하류측으로 제1 거리만큼 이동할 때까지인 제2 기간 중에는 상기 기판에 대한 부상 압력을 상기 제1 설정 압력으로부터 그보다도 높은 제2 설정 압력까지 소정의 파형으로 높이는 공정 과,상기 제2 기간의 종료시로부터 상기 기판의 후단부가 상기 기준 위치보다 제2 거리만큼 상류측의 위치를 통과할 때까지인 제3 기간 중에는 상기 기판에 대한 부상 압력을 상기 제2 설정 압력 부근으로 유지하는 공정과,상기 제3 기간의 종료시로부터 상기 기판의 후단부가 상기 기준 위치를 통과할 때까지인 제4 기간 중에는 상기 기판에 대한 부상 압력을 상기 제2 설정 압력 부근으로부터 그보다도 낮은 제3 설정 압력까지 소정의 파형으로 낮추는 공정을 갖는 도포 방법.
- 제18항에 있어서, 상기 노즐의 토출구의 바로 아래 부근에 설정된 기준 위치에 상기 기판의 선단부가 도착하기 전인 제1 기간 중에는 상기 스테이지에 대한 상기 노즐 토출구의 높이를 제1 레벨로 유지하는 공정과,상기 기판의 선단부가 상기 기준 위치로부터 제1 거리만큼 이동할 때까지인 제2 기간 중에는 상기 스테이지에 대한 상기 노즐 토출구의 높이를 상기 제1 레벨보다도 낮은 제2 레벨까지 소정의 파형으로 감소시키는 공정과,상기 제2 기간의 종료시로부터 상기 기판의 후단부가 상기 기준 위치보다 제2 거리만큼 앞의 위치를 통과할 때까지인 제3 기간 중에는 상기 스테이지에 대한 상기 노즐 토출구의 높이를 상기 제2 레벨 부근으로 유지하는 공정과,상기 제3 기간의 종료시로부터 상기 기판의 후단부가 상기 기준 위치를 통과할 때까지인 제4 기간 중에는 상기 스테이지에 대한 상기 노즐 토출구의 높이를 상 기 제2 레벨 부근으로부터 그보다도 높은 제3 레벨까지 소정의 파형으로 증대시키는 공정을 갖는 도포 방법.
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