KR100989561B1 - Led 및 웨이퍼 검사장치 및 이를 이용한 검사방법 - Google Patents
Led 및 웨이퍼 검사장치 및 이를 이용한 검사방법 Download PDFInfo
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Abstract
복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부; 상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치를 제공한다.
본 발명에 따르면, LED 및 웨이퍼의 표면검사와 내부검사를 하나의 LED 및 웨이퍼LED 및 웨이퍼이블에서 연속적으로 실시하게 됨에 따라 작업효율 및 공간활용도가 향상될 수 있다.
Description
도 2는 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 평면도,
도 3은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 구성을 나타내는 모식도,
도 4는 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 로딩부를 나타내는 사시도,
도 5는 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 푸쉬수단을 설명하는 평면도,
도 6은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제1비젼모듈을 나타내는 개략도,
도 7은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 불량수납부를 나타내는 사시도,
도 8은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 지지대의 작동을 나타내는 평면도,
도 9는 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제2비젼모듈을 나타내는 개략도,
도 10은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 언로딩부를 나타내는 사시도,
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 및 웨이퍼 검사장치의 사시도,
도 12는 본 발명의 도 11에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 평면도,
도 13은 본 발명의 도 11에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제1불량수납부를 나타내는 사시도,
도 14은 본 발명의 도 11에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제2비젼모듈을 나타내는 개략도,
도 15는 본 발명의 도 11에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제2불량수납부를 나타내는 사시도이다.
30: 표면검사부 50: 회전 테이블
70: 내부검사부 90: 언로딩부
110: 제어부
Claims (15)
- 복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부;
상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부;
상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부;
상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부;
상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및
순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 회전테이블에는 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하기 위한 4개의 공간부가 형성되며,
상기 공간부에는 상기 로딩된 LED 및 웨이퍼를 지지하는 2개의 LED 및 웨이퍼지지대가 각각 형성되며,
상기 2개의 LED 및 웨이퍼지지대는 상기 LED 및 웨이퍼를 낙하시키기 위하여 각각 좌우로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 제1비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 표면검사용 카메라, 및 상기 표면검사용 카메라의 양 측에 배치된 2개의 표면검사용 자외선 조명을 포함하며,
상기 제1불량수납부는 상기 제1비젼모듈 및 상기 회전테이블의 하방에 위치하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 제2비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 내부검사용 카메라, 및 상기 내부검사용 카메라와 대향되도록 상기 회전테이블의 하측에 배치된 2개의 내부검사용 적외선 조명을 포함하며,
상기 제2불량수납부는 상기 제2비젼모듈 및 상기 회전테이블의 하방에 위치하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 4항에 있어서,
상기 2개의 내부검사용 적외선 조명은, 상기 LED 및 웨이퍼의 내부 검사 중에는 상호 인접하게 위치하며, 상기 LED 및 웨이퍼의 낙하시에는 상기 LED 및 웨이퍼가 통과할 수 있도록 각각 좌우로 이동하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 2항에 있어서,
상기 LED 및 웨이퍼지지대는 사파이어 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 제1비젼모듈 및 제2비젼모듈에 의해 획득된 이미지가 현시 및 저장되는 표시저장부; 및
상기 표시저장부에 저장된 이미지를 입출력하기 위한 입출력부;를 더 포함하여,
작업자가 상기 표시부에 현시된 상기 이미지를 실시간으로 모니터링할 수 있는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부; 상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치를 이용한 LED 및 웨이퍼 검사방법으로서,
상기 로딩부로부터 상기 LED 및 웨이퍼를 상기 회전형 LED 및 웨이퍼이송부에 로딩하는 단계;
로딩된 상기 LED 및 웨이퍼를 상기 표면검사부로 이송하여 표면검사를 실시한 후 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 제1불량수납부로 분리배출하는 단계;
상기 표면검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 내부검사부로 이송하여 내부검사를 실시한 후 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 제2불량수납부로 분리배출하는 단계;
상기 내부검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 언로딩부로 이송하는 단계; 및
상기 언로딩부로 이송된 LED 및 웨이퍼를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사방법.
- 복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부;
상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부;
상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부;
상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부;
상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및
순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 9항에 있어서,
상기 회전테이블에는 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하기 위한 4개의 공간부가 형성되고, 상기 4개의 공간부에 대응하여 상기 회전테이블의 외측방향으로 상기 로딩된 LED 및 웨이퍼를 밀어주는 푸쉬수단이 각각 제공되며,
상기 공간부에는 상기 로딩된 LED 및 웨이퍼를 지지하는 LED 및 웨이퍼지지대가 각각 제공되는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 9항에 있어서,
상기 제1비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 표면검사용 카메라, 및 상기 표면검사용 카메라의 양 측에 배치된 2개의 표면검사용 자외선 조명을 포함하며,
상기 제1불량수납부는 상기 회전테이블의 외측에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 9항에 있어서,
상기 제2비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 내부검사용 카메라, 및 상기 내부검사용 카메라와 대향되도록 상기 회전테이블의 하측에 배치된 내부검사용 적외선 조명을 포함하며,
상기 제2불량수납부는 상기 회전테이블의 외측에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 10항에 있어서,
상기 LED 및 웨이퍼지지대는 사파이어 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
- 제 9항에 있어서,
상기 제1비젼모듈 및 제2비젼모듈에 의해 획득된 이미지가 현시 및 저장되는 표시저장부; 및
상기 표시저장부에 저장된 이미지를 입출력하기 위한 입출력부;를 더 포함하여,
작업자가 상기 표시부에 현시된 상기 이미지를 실시간으로 모니터링할 수 있는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치
- 복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부; 상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치를 이용한 LED 및 웨이퍼 검사방법으로서,
상기 로딩부로부터 상기 LED 및 웨이퍼를 상기 회전형 LED 및 웨이퍼이송부에 로딩하는 단계;
로딩된 상기 LED 및 웨이퍼를 상기 표면검사부로 이송하여 표면검사를 실시한 후 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 제1불량수납부로 분리수거하는 단계;
상기 표면검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 내부검사부로 이송하여 내부검사를 실시한 후 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 제2불량수납부로 분리수거하는 단계;
상기 내부검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 언로딩부로 이송하는 단계; 및
상기 언로딩부로 이송된 LED 및 웨이퍼를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사방법.
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