KR100989561B1

KR100989561B1 - Ｌｅｄ 및 웨이퍼 검사장치 및 이를 이용한 검사방법

Info

Publication number: KR100989561B1
Application number: KR1020100054749A
Authority: KR
Inventors: 이의용; 임중재
Original assignee: 주식회사 창성에이스산업
Priority date: 2010-06-10
Filing date: 2010-06-10
Publication date: 2010-10-25
Also published as: CN102280394B; CN102280394A

Abstract

본 발명은 LED 및 웨이퍼의 표면검사 및 내부검사를 하나의 장치에서 연속적으로 실시할 수 있도록 한 LED 및 웨이퍼 검사장치 및 이를 이용한 LED 및 웨이퍼 검사방법에 관한 것으로,
복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부; 상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치를 제공한다.
본 발명에 따르면, LED 및 웨이퍼의 표면검사와 내부검사를 하나의 LED 및 웨이퍼LED 및 웨이퍼이블에서 연속적으로 실시하게 됨에 따라 작업효율 및 공간활용도가 향상될 수 있다.

Description

ＬＥＤ 및 웨이퍼 검사장치 및 이를 이용한 검사방법{LED and Wafer Inspection Apparatus and Inspection Method of the same}

본 발명은 LED 및 웨이퍼 검사장치, 및 이를 이용한 LED 및 웨이퍼 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LED 및 웨이퍼의 표면검사 및 내부검사를 하나의 장치에서 연속적으로 실시할 수 있도록 한 웨이퍼 검사장치 및 이를 이용한 LED 및 웨이퍼 검사방법에 관한 것이다.

일반적으로 태양전지는 반도체 성질을 이용하여 태양 빛을 전기에너지로 변환하는 소자이다. 최근 들어 휴대전화기나 PDA와 같은 휴대용 정보기기의 보조 전원, 자동차등 이동수단의 구동 전원, 발전 및 온수의 생산용으로 사용되고 있으며, 현재 큰 전력을 얻기 위한 방편으로 여러 개의 태양전지 셀을 직, 병렬로 연결하여 소형화 및 고출력을 발생시키는 태양 전지 모듈이 활발하게 연구되고 있는 실정이다.

상기 태양전지 셀(이하 '웨이퍼'라 통칭함)은 제조 과정에서 표면 및 내부검사, 즉 셀의 균일성, 핫 스팟, 배열 불균일 및 표면 오염도 등의 필수 검사를 순차적으로 진행하게 되는데, 이러한 표면 및 내부검사는 각각 독립된 검사장치에서 이루어지게 된다. 즉 표면검사장치에서 웨이퍼의 표면검사가 완료되고 나면 작업자는 웨이퍼카세트를 또 다른 검사장치로 들어 옮긴 후 웨이퍼 내부검사를 실시하는 방식이다.

또한, 발광소자인 LED(Light Emitting Diode)는 최근 발광 효율의 향상으로 그 응용범위가 초기의 신호 표시용에서 휴대폰용 백라이트 유닛(Back Light Unit, BLU)이나 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD)와 같은 대형 표시장치의 광원 및 조명용으로 더욱 넓어지고 있다. 그 이유는 LED가 종래의 조명인 전구나 형광등에 비해 소모전력이 적고 수명이 길기 때문이다.

최근 고휘도 발광용 소자로 많이 사용되고 있는 LED의 검사방법으로는 LED를 단품으로 사전에 검사하는 방법과, PCB에 조립(실장)이 완료된 상태에서 테스트전원을 인가하여 부품(LED)의 상태를 검사하는 방법이 있다. 여기서, 단품 상태로 검사하는 것은 웨이퍼 상에서 검사를 하는 것을 의미하며, 일반적으로 반도체 생산업체에서 등에서 출하전에 실시되는 검사를 말한다.

그러나 상기와 같이 LED 및 웨이퍼를 검사하기 위한 일련의 작업은 주요생산라인에서 독립적으로 구분되어 있어 작업의 연계성이 떨어지게 됨에 따라 생산효율이 감소하게 된다.

또한 상기 검사과정을 진행하기 위해서는 다수의 LED 또는 다수의 셀이 형성된 다수의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼카세트를 작업자가 손수 들고 옮겨야 하는 번거로움이 있으며, 이러한 LED 및 웨이퍼카세트의 운반 과정에서 작업자의 부주의로 인해 LED 및 웨이퍼가 파손되거나 파티클에 의해 오염되는 경우가 발생하는 문제점이 있다.

따라서, LED 및 웨이퍼의 검사중 웨이퍼의 파손 또는 오염을 줄이기 위해서는 검사과정에서 LED 및 웨이퍼가 이동하는 것을 최소화할 필요성이 있다.

또한, 종래의 LED 및 웨이퍼 검사장치는 비교적 크기가 크기 때문에 설치 및 운용에 있어서 공간적 제약이 따른다. 따라서, 공간활용도를 극대화하기 위하여 검사장치의 소형화가 요구된다.

나아가, 웨이퍼의 검사과정에서 불량으로 판정된 웨이퍼를 파괴하지 않고 분리수거하여 재활용할 필요성도 제기되고 있다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, LED 및 태양전지 셀의 표면검사 및 내부검사를 하나의 장치에서 연속적으로 실시함으로써 작업효율을 향상시킬 수 있는 LED 및 웨이퍼 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 검사할 LED 및 웨이퍼의 이동을 최소화하여 검사 과정에서 발생할 수 있는 LED 및 웨이퍼의 파손 또는 오염을 줄일 수 있는 LED 및 웨이퍼 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

나아가, 본 발명은 공간활용도를 높일 수 있는 소형화된 LED 및 웨이퍼 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

나아가, 본 발명은 검사과정에서 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 원상 그대로 분리수거할 수 있는 웨이퍼 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 웨이퍼이송부; 상기 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치를 제공한다.

또한, 상기 회전테이블에는 상기 웨이퍼를 로딩하기 위한 4개의 공간부가 형성되며, 상기 공간부에는 상기 로딩된 웨이퍼를 지지하는 2개의 웨이퍼지지대가 각각 형성되며, 상기 2개의 웨이퍼지지대는 상기 웨이퍼를 낙하시키기 위하여 각각 좌우로 이동할 수 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 표면검사용 카메라, 및 상기 표면검사용 카메라의 양 측에 배치된 2개의 표면검사용 자외선 조명을 포함하며, 상기 제1불량수납부는 상기 제1비젼모듈 및 상기 회전테이블의 하방에 위치하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제2비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 내부검사용 카메라, 및 상기 내부검사용 카메라와 대향되도록 상기 회전테이블의 하측에 배치된 2개의 내부검사용 적외선 조명을 포함하며, 상기 제2불량수납부는 상기 제2비젼모듈 및 상기 회전테이블의 하방에 위치하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 2개의 내부검사용 적외선 조명은, 상기 웨이퍼의 내부 검사 중에는 상호 인접하게 위치하며, 상기 웨이퍼의 낙하시에는 상기 웨이퍼가 통과할 수 있도록 각각 좌우로 이동하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 웨이퍼지지대는 사파이어 재질로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 검사장치는 상기 제1비젼모듈 및 제2비젼모듈에 의해 획득된 이미지가 현시 및 저장되는 표시저장부; 및 상기 표시저장부에 저장된 이미지를 입출력하기 위한 입출력부;를 더 포함하여, 작업자가 상기 표시부에 현시된 상기 이미지를 실시간으로 모니터링할 수 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 양태에 따르면, 본 발명은 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 웨이퍼이송부; 상기 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치를 이용한 웨이퍼 검사방법으로서, 상기 로딩부로부터 상기 웨이퍼를 상기 회전형 웨이퍼이송부에 로딩하는 단계; 로딩된 상기 웨이퍼를 상기 표면검사부로 이송하여 표면검사를 실시한 후 불량으로 판정된 웨이퍼를 상기 제1불량수납부로 분리배출하는 단계; 상기 표면검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 웨이퍼를 상기 내부검사부로 이송하여 내부검사를 실시한 후 불량으로 판정된 웨이퍼를 상기 제2불량수납부로 분리배출하는 단계; 상기 내부검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 웨이퍼를 상기 언로딩부로 이송하는 단계; 및 상기 언로딩부로 이송된 웨이퍼를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법을 제공한다.

본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 본 발명은 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전테이블을 포함하는 회전형 웨이퍼이송부; 상기 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치를 제공한다.

또한, 상기 회전테이블에는 상기 웨이퍼를 로딩하기 위한 4개의 공간부가 형성되고, 상기 4개의 공간부에 대응하여 상기 회전테이블의 외측방향으로 상기 로딩된 웨이퍼를 밀어주는 푸쉬수단이 각각 제공되며, 상기 공간부에는 상기 로딩된 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼지지대가 각각 제공되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 표면검사용 카메라, 및 상기 표면검사용 카메라의 양 측에 배치된 2개의 표면검사용 자외선 조명을 포함하며, 상기 제1불량수납부는 상기 회전테이블의 외측에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제2비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 내부검사용 카메라, 및 상기 내부검사용 카메라와 대향되도록 상기 회전테이블의 하측에 배치된 내부검사용 적외선 조명을 포함하며, 상기 제2불량수납부는 상기 회전테이블의 외측에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 본 발명은 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전테이블을 포함하는 회전형 웨이퍼이송부; 상기 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치를 이용한 웨이퍼 검사방법으로서, 상기 로딩부로부터 상기 웨이퍼를 상기 회전형 웨이퍼이송부에 로딩하는 단계; 로딩된 상기 웨이퍼를 상기 표면검사부로 이송하여 표면검사를 실시한 후 불량으로 판정된 웨이퍼를 상기 제1불량수납부로 분리수거하는 단계; 상기 표면검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 웨이퍼를 상기 내부검사부로 이송하여 내부검사를 실시한 후 불량으로 판정된 웨이퍼를 상기 제2불량수납부로 분리수거하는 단계; 상기 내부검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 웨이퍼를 상기 언로딩부로 이송하는 단계; 및 상기 언로딩부로 이송된 웨이퍼를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법을 제공한다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 LED 및 웨이퍼 검사장치는, 검사 대상물의 표면검사와 내부검사를 하나의 이송테이블에서 연속적으로 실시하게 됨에 따라 작업효율 및 공간활용도가 향상될 수 있다. 또한, 검사과정에서 검사 대상물이 이송되는 거리를 줄임으로써 검사도중 발생할 수 있는 검사 대상물의 손상 또는 오염을 줄일 수 있다.

또한, 표면검사 및 내부검사에서 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 단순한 방법으로 신속하게 분리배출함으로써 생산량을 증가시킬 수 있는 장점이 있으며, 선택적으로 표면검사 및 내부검사에서 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 원상 그대로 분리수거함으로써 불량 LED 및 웨이퍼를 재활용할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 LED 및 웨이퍼 검사장치의 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 평면도,
도 3은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 구성을 나타내는 모식도,
도 4는 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 로딩부를 나타내는 사시도,
도 5는 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 푸쉬수단을 설명하는 평면도,
도 6은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제1비젼모듈을 나타내는 개략도,
도 7은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 불량수납부를 나타내는 사시도,
도 8은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 웨이퍼 지지대의 작동을 나타내는 평면도,
도 9는 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제2비젼모듈을 나타내는 개략도,
도 10은 도 1에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 언로딩부를 나타내는 사시도,
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 및 웨이퍼 검사장치의 사시도,
도 12는 본 발명의 도 11에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 평면도,
도 13은 본 발명의 도 11에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제1불량수납부를 나타내는 사시도,
도 14은 본 발명의 도 11에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제2비젼모듈을 나타내는 개략도,
도 15는 본 발명의 도 11에 도시된 LED 및 웨이퍼 검사장치의 제2불량수납부를 나타내는 사시도이다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세하게 설명한다.

본 명세서에서, 도면에 도시된 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.

이하, 설명의 편의를 위하여 'LED 및 웨이퍼 검사장치'를 단순하게 '웨이퍼 검사장치'로 기재한다.

실시예 1

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치(1)는 로딩부(10), 표면검사부(30), 회전형 웨이퍼이송부(50), 내부검사부(70), 언로딩부(90) 및 제어부(110)를 포함한다.

상기 로딩부(10)는 검사를 위하여 카세트(11) 내에 적재된 웨이퍼(W)를 한 장씩 순차적으로 인출해 주는 부분으로서, 상기 카세트(11)의 내부에는 복수의 슬롯이 형성되며, 상기 복수의 슬롯에 웨이퍼(W)가 적재된다. 또한, 상기 로딩부(10)는 상기 카세트(11)를 승강시키는 승강수단(13), 및 상기 카세트(11)의 일측에 수평방향으로 전·후진 작동되도록 고정설치되어 카세트(11) 내에 적재된 웨이퍼(W)를 외부로 한 장씩 밀어주는 푸쉬수단(15)을 포함한다.

상기 승강수단(13)은 엘리베이터 등 상기 카세트를 승강시킬 수 있는 것이면 어느 것이든 무방하다. 카세트(11) 내에 적재된 웨이퍼(W)를 후술할 회전테이블(51)에 로딩시키기 위하여, 상기 승강수단(13)은 인출 대상 웨이퍼(W)를 상기 회전테이블(51) 및 상기 푸쉬수단(15)과 동일한 평면에 위치시킨다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 푸쉬수단(15)은 공압을 이용한 에어실린더(15a), 상기 에어실린더(15a)의 내부에 전·후진가능하게 결합되고 선단에 수평왕복부재(15c)가 결합된 푸쉬로드(15b)로 이루어진다. 상기 카세트(11) 내에 적재된 웨이퍼(W)를 외부로 인출하기 위하여, 상기 수평왕복부재(15c)는 전·후진하면서 상기 웨이퍼(W)를 상기 회전테이블(51)을 향해 수평방향으로 밀어낸다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 회전테이블(51)은 모터(미도시) 등의 동력으로 회전가능하며, 웨이퍼(W)가 로딩되는 다수의 공간부(53)가 회전축(52)을 중심으로 일정각도 이격되어 형성된다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 공간부(53)의 개수는 4개이며, 상기 공간부가 상호 이격된 각도는 90°이다. 상기 4개의 공간부(53)는 각각 로딩부, 표면검사부, 내부검사부 및 언로딩부에 대응한다.

본 발명에 따르면, 상기 공간부(53)의 사이즈를 조정함으로써 다양한 사이즈의 웨이퍼(W)를 검사하는 것이 가능하다. 이를 위하여, 상기 회전테이블(51)을 탈부착식으로 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 도 8을 참조하면, 상기 4개의 공간부(53)에는 검사시에는 웨이퍼를 지지하며, 웨이퍼가 불량으로 판단되면 상기 웨이퍼를 분리배출시킬 수 있도록 양측으로 확장되는 2개의 웨이퍼지지대(33)가 형성된다. 상기 웨이퍼지지대(33)는 투과율 및 강도가 우수한 사파이어 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 공간부(53)에는 상기 웨이퍼지지대(33)에 의해 지지된 웨이퍼(W)를 상기 공간부(53) 외측으로 밀어내기 위한 푸쉬수단(55)이 형성된다. 상기 푸쉬수단(55)은 상기 회전테이블(51)의 중심방향에 위치하는 것이 바람직하다.

상기 2개의 웨이퍼지지대(33)에는 웨이퍼 감지센서(33c)가 각각 제공된다. 상기 웨이퍼 감지센서(33c)는 프리즘 센서 등 임의의 센서를 사용할 수 있다. 상기 웨이퍼 감지센서(33c)로부터 얻은 정보는 제어부(110)로 보내지고, 상기 제어부(110)는 상기 감지된 정보를 바탕으로 상기 로딩부(10)의 카세트(11)의 높이를 조절한다. 즉, 상기 제어부(110)는 상기 웨이퍼 감지센서(33c)로부터 웨이퍼의 적재가 감지되면 상기 로딩부(10)의 카세트의 높이를 하나의 슬롯높이만큼 상승시켜 다음번 웨이퍼(W)의 적재를 준비하도록 프로그래밍되는 것이 바람직하다.

도 6을 참조하면, 표면검사부(30)는 상기 로딩부(10)로부터 상기 회전테이블(51)로 로딩된 웨이퍼(W) 표면의 스크래치, 깨짐, 오염 등의 유무를 검사하는 부분이다. 아울러 웨이퍼(W)의 표면에 이상이 있는 경우 웨이퍼(W)를 분리배출할 수도 있다.

구체적으로, 상기 표면검사부(30)는 상기 회전테이블(51)의 상측에 고정되는 표면검사용 카메라(35a) 및 상기 표면검사용 카메라(35a)의 양측에 설치되는 표면검사용조명(35b)으로 이루어진 제1비젼모듈(35)을 포함한다. 상기 표면검사용 카메라(35a)에는 별다른 제한이 없으나, 고품질의 전자적 이미지를 얻을 수 있는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 상기 표면검사용 자외선 조명(35b)으로는 LED 조명을 사용하는 것이 바람직하다. 여기서 자외선 조명을 사용하는 이유는 자외선의 파장이 짧아 침투력이 약한 대신 표면의 미세한 크랙 등을 발견하는 특성이 있기 때문이다.

제어부(110)는 상기 제1비젼모듈(35)에 의해 촬영된 이미지를 전송받아, 상기 전송받은 이미지를 미리 저장된 소정의 기준 데이터와 비교하여 웨이퍼(W)의 표면불량여부를 판정한다. 이때, 불량으로 판정되면 상기 제어부(110)는 해당 웨이퍼(W)를 분리배출시키며, 이상이 없는 것으로 판정되면 해당 웨이퍼(W)를 다음 스테이지인 내부검사부(70)로 이송한다.

도 7을 참조하면, 표면검사의 결과 불량으로 판정된 웨이퍼를 분리배출하기 위하여, 상기 제1비젼모듈(35)이 위치하는 상기 회전테이블(51)의 하단에는 제1불량수납부(37)가 위치한다. 상기 제1불량수납부(37)는 상기 회전테이블(51)과 소정 간격을 두고 상기 회전테이블(51)의 하방까지 연장된다.

구체적으로, 도 7 및 도 8을 참조하면, 상기 공간부(53)에서, 웨이퍼(W)는 에어실린더(33b)의 작동에 따라 양측으로 이동가능한 2개의 웨이퍼지지대(33a)에 의해 지지된다. 따라서, 제어부(110)가 불량으로 판정하여 상기 제1불량수납부(37)로 불량웨이퍼를 분리 배출해야 할 경우에는 상기 에어실린더(33b)가 작동하여 상기 지지대(33a)를 각각 좌우로 이동시킴으로써, 양 지지대(33a) 사이의 거리가 확장된다. 결국 상기 지지대에 의해 지지되던 상기 웨이퍼(W)는 상기 제1불량수납부(37)로 낙하한다.

이때, 상기 제1불량수납부(37)에 회수되는 웨이퍼(W)의 개수에 제한이 있기 때문에, 제어부(110)가 상기 제1불량수납부(37)로 낙하한 불량 웨이퍼(W)의 개수를 카운트하여, 미리 설정된 소정의 개수에 도달하면 웨이퍼검사장치(1)의 작동을 중지시키고 알람을 울릴 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

경우에 따라, 상기와 같은 양측으로 이동가능한 2개의 웨이퍼지지대(33a)를 사용하지 않고, 상기 회전테이블(51)에 형성된 푸쉬수단을 이용하여 불량 웨이퍼(W)를 상기 제1불량수납부(37)로 낙하시키는 것도 가능하다. 이 경우, 상기 웨이퍼지지대(33a)를 확장시키지 않고, 상기 푸쉬수단이 상기 웨이퍼지지대(33a)에 위치한 불량 웨이퍼(W)를 상기 공간부(53)의 외측으로 밀어 상기 제1불량수납부로(37) 낙하시키는 것이 가능하다.

표면검사부(30)에서 표면검사가 완료된 웨이퍼(W), 즉 표면검사시 이상이 없는 것으로 판단된 웨이퍼(W)는 상기 회전형 웨이퍼이송부(50)에 의해 다음 스테이지인 내부검사부(70)로 이송된다. 동시에, 로딩부(10)에서 새로 로딩된 웨이퍼가 상기 표면검사부(30)로 이송된다.

상기 내부검사부(70)는 회전형 웨이퍼이송부(50)에 의해 이송된 웨이퍼(W)의 내부에 존재하는 크랙, 보이드 등의 내부결함의 유무를 검사하는 부분이다. 또한, 상기 웨이퍼(W)의 이상 여부에 따라 웨이퍼(W)를 분리배출할 수도 있다.

도 9를 참조하면, 상기 내부검사부(70)는 내부검사용 카메라(75a) 및 2개의 내부검사용 적외선 조명(75b)으로 이루어진 제2비젼모듈(75)을 포함한다. 상기 내부검사용 카메라(75a)에는 별다른 제한이 없으나, 고품질의 전자적 이미지를 얻을 수 있는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 상기 내부검사용 적외선 조명(75b)으로는 LED 조명을 사용하는 것이 바람직하다. 여기서 적외선을 사용하는 이유는 적외선의 파장이 길기 때문에, 침투력이 우수하기 때문이다.

또한, 상기 내부검사용 카메라(75a)와 내부검사용 적외선 조명(75b)은 소정 공간 이격설치되어 상호 대향하도록 설치하는 것이 바람직하다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 내부검사용 카메라(75a)는 상기 회전테이블(51)의 상측에 위치하며, 상기 내부검사용 적외선 조명(75b)은 상기 회전테이블(51)의 하측에 위치한다.

또한, 상기 2개의 내부검사용 적외선 조명(75b)의 경우, 검사시에는 상호 인접하게 위치하여 이미지 획득을 보조하며(도 9의(a) 참조), 검사결과 불량으로 판단된 웨이퍼(W)를 낙하시키기 위해서 각각 좌우로 이동하여 상기 웨이퍼가 통과할 수 있는 공간을 형성(도 9의(b) 참조)한다.

제어부(110)는 상기 제2비젼모듈(75)에 의해 촬영된 이미지를 전송받아, 상기 전송받은 이미지를 미리 저장된 소정의 기준 데이터와 비교하여 웨이퍼(W)의 내부불량여부를 판정한다. 이때, 불량으로 판정되면 상기 제어부(110)는 해당 웨이퍼(W)를 분리배출시키며, 이상이 없는 것으로 판정되면 해당 웨이퍼(W)를 다음 스테이지인 언로딩부로 이송한다.

내부검사의 결과 불량으로 판정된 웨이퍼를 분리배출하기 위하여, 상기 제2비젼모듈(75)이 위치하는 상기 회전테이블(51)의 하단에는 제2불량수납부(미도시)가 위치한다. 전술한 제1불량수납부와 마찬가지로, 상기 제2불량수납부는 상기 2개의 내부검사용 적외선 조명(75b)과 소정 간격을 두고 상기 2개의 내부검사용 적외선 조명(75b)의 하방까지 연장된다.

구체적으로, 도 9를 참조하면, 상기 공간부(53)에서, 웨이퍼(W)는 에어실린더(33b)의 작동에 따라 양측으로 이동가능한 2개의 웨이퍼지지대(33a)에 의해 지지된다. 따라서, 제어부(110)가 불량으로 판정하여 상기 제2불량수납부로 불량웨이퍼(W)를 분리 배출해야 할 경우에는 상기 에어실린더(33b)가 작동하여 상기 지지대(33a)를 각각 좌우로 이동시킴으로써, 양 지지대(33a) 사이의 거리가 확장된다. 이때, 상기 2개의 내부검사용 적외선 조명(75b)은 상기 웨이퍼 지지대(33a)의 연직방향 하방에 위치하기 때문에, 불량으로 판정된 웨이퍼(W)를 낙하시키기 위해서는 상기 2개의 내부검사용 적외선 조명(75b)도 상기 지지대(33a)의 확장과 동시에 확장되어야 한다. 결국 상기 지지대(33a)에 의해 지지되던 상기 웨이퍼(W)는 상기 제어부(110)에서 불량으로 판정됨과 동시에 상기 지지대 및 상기 내부검사용 적외선 조명(75b)을 통과하여 상기 제2불량수납부(47)로 낙하한다.

경우에 따라, 상기 지지대(33a)를 확장시키지 않고, 상기 회전테이블(51)에 형성된 푸쉬수단을 이용하여 불량 웨이퍼(W)를 상기 제2불량수납부(47)로 낙하시키는 것도 가능하다.

다음, 상기 내부검사부에서 내부검사가 완료된 웨이퍼(W), 즉 내부검사시 이상이 없는 것으로 판단된 웨이퍼(W)는 상기 회전형 웨이퍼이송부(50)에 의해 다음 스테이지인 언로딩부(90)로 이송된다. 동시에, 상기 표면검사부(30)에서 이상이 없는 것으로 판단된 웨이퍼가 상기 내부검사부(70)로 이송되고, 상기 로딩부(10)에 새로 로딩된 웨이퍼가 상기 표면검사부(30)로 이송되며, 로딩부(10)에 새로운 웨이퍼가 로딩된다.

상기 언로딩부(90)는 엘리베이터 등의 승강수단(93)에 의해 승강되는 카세트(91)를 포함한다. 내부검사가 완료된 상기 웨이퍼(W)는 상기 카세트(91)에 순차적으로 진입 적재된다.

구체적으로, 상기 회전테이블(51)의 공간부(53)에 형성된 내면 중 상기 회전테이블(51)의 중심(52)방향 내면에는 로딩된 웨이퍼를 밀어주는 푸쉬수단(55)이 장착된다. 상기 푸쉬수단(55)은 상기 로딩부(10)에서 사용되는 푸쉬수단(15)과 동일한 구성으로 이루어진다.

이 경우 상기 카세트(91)의 내부 슬롯에는 웨이퍼 감지센서(미도시)가 각각 구비되어 웨이퍼(W)의 적재 여부를 감지하고 제어부(110)에 감지 정보를 전송한다. 제어부(110)는 전송된 감지 정보를 바탕으로 상기 승강수단(93)을 이용하여 상기 카세트(91)의 높이를 조절한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 LED 및 웨이퍼 검사장치(1)는 제1비젼모듈(35) 및 제2비젼모듈(75)에 의해 획득된 이미지가 현시 및 저장되는 표시저장부(130); 및 상기 표시저장부(130)에 저장된 이미지를 입출력하기 위한 입출력부(150);를 더 포함한다. 따라서, 상기 검사장치(1)를 운용하는 작업자는 상기 표시부(130)에 현시된 상기 이미지를 실시간으로 모니터링 및 제어하는 것이 가능하다.

실시예 2

실시예 2는 전술한 실시예 1의 웨이퍼 검사장치를 이용한 웨이퍼 검사방법에 관한 것이다.

구체적으로, 본 발명은, 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 웨이퍼이송부; 상기 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치를 이용한 웨이퍼 검사방법으로서, 상기 로딩부로부터 상기 웨이퍼를 상기 회전형 웨이퍼이송부에 로딩하는 단계; 로딩된 상기 웨이퍼를 상기 표면검사부로 이송하여 표면검사를 실시한 후 불량으로 판정된 웨이퍼를 상기 제1불량수납부로 분리배출하는 단계; 상기 표면검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 웨이퍼를 상기 내부검사부로 이송하여 내부검사를 실시한 후 불량으로 판정된 웨이퍼를 상기 제2불량수납부로 분리배출하는 단계; 상기 내부검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 웨이퍼를 상기 언로딩부로 이송하는 단계; 및 상기 언로딩부로 이송된 웨이퍼를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법을 제공한다.

이하, 실시예 2에 따른 웨이퍼 검사방법을 상세하게 설명한다.

먼저, 회전테이블(51)에 설치된 복수의 공간부(53) 중 한 지점의 공간부(53)에 로딩부(10)로부터 웨이퍼(W)가 로딩되면, 제어부(110)가 웨이퍼 감지센서로부터 웨이퍼(W) 적재정보를 감지하여 회전테이블(51)을 반시계방향으로 90°회전시킨다.

이 경우 상기 공간부(53)에 첫 번째로 로딩된 웨이퍼(W)가 표면검사부(30)로 회전이송됨과 동시에 로딩부(10)의 공간부(53)에는 두 번째 웨이퍼(W)가 로딩되며, 이와 같은 웨이퍼(W) 로딩은 연속적으로 이루어진다.

그리고 상기 표면검사부(30)에 설치된 제1비젼모듈(35)에 의해 로딩된 웨이퍼(W)의 표면검사가 이루어진다.

표면검사에서 불량으로 판단된 웨이퍼(W)는 공간부의 웨이퍼지지대(33a)가 양측으로 확장되면서 제1불량수납부(37)로 분리 배출된다. 경우에 따라, 상기 웨이퍼지지대(33a)를 확장시키지 않고 상기 회전테이블(51)에 형성된 푸쉬수단(55)을 이용하여 불량 웨이퍼(W)를 상기 제1불량수납부(37)로 낙하시키는 것도 가능하다.

표면검사에서 이상이 없는 웨이퍼(W)의 경우에는 다음 검사지점인 내부검사부(70)로 회전이송되고, 상기 내부검사부(70)에 설치된 제2비젼모듈(75)에 의해 로딩된 웨이퍼의 내부검사가 이루어지게 된다.

내부검사에서 불량으로 판단된 웨이퍼(W)는 공간부의 웨이퍼지지대(33a) 및 내부검사용 적외선 조명(75b)이 양측으로 확장되면서 제2불량수납부(47)로 분리 배출된다. 경우에 따라, 상기 웨이퍼지지대(33a) 및 상기 내부검사용 적외선 조명(75b)를 확장시키지 않고 상기 회전테이블(51)에 형성된 푸쉬수단(55)을 이용하여 불량 웨이퍼(W)를 상기 제2불량수납부(47)로 낙하시키는 것도 가능하다.

내부검사에서 이상이 없는 웨이퍼(W)의 경우에는 언로딩부(90)로 회전이송된다. 상기 언로딩부(90)로 이송된 웨이퍼는 푸쉬수단(55)에 의해 카세트(91)로 적재된다.

전술한 웨이퍼 검사과정에서, 제어부(110)는 로딩부(10)에서 웨이퍼의 감지 및 카세트의 승강, 표면검사부(30) 및 내부검사부(70)에서의 양부판정, 및 언로딩부(90)에서의 웨이퍼의 적재여부 등 일련의 모든 과정을 제어한다.

실시예 3

도 11 및 도 12를 참조하면, 본 발명의 실시예 3에 따른 웨이퍼 검사장치(1)는 전술한 실시예 1과 마찬가지로 로딩부(10), 회전형 웨이퍼이송부(50), 표면검사부(30), 내부검사부(70), 언로딩부(90) 및 제어부(110)를 포함한다.

상기 구성 이외에, 승강수단(93), 회전테이블(51), 푸쉬수단(15), 웨이퍼지지대(33)의 구성은 전술한 실시예 1과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

도 13을 참조하면, 표면검사의 결과 불량으로 판정된 웨이퍼(W)를 분리수거하기 위하여, 상기 제1비젼모듈(35)이 위치하는 상기 회전테이블의 외측에는 제1불량수납부(37)가 위치한다. 상기 제1불량수납부(37)는 상기 회전테이블(33)과 인접하게 배치된다.

상기 제1불량수납부(37)는 상기 로딩부의 웨이퍼적재 카세트(11)와 동일한 카세트 및 상기 카세트를 승강시킬 수 있는 승강수단(93)을 포함한다. 상기 카세트에는 복수의 슬롯이 수직방향으로 형성되며, 상기 슬롯에는 각각 웨이퍼 감지센서(미도시)가 구비된다. 상기 웨이퍼 감지센서에서 웨이퍼(W)의 적재가 감지되면, 제어부(110)는 상기 카세트의 높이를 조정한다.

따라서, 본 발명에 따르면, 표면검사 결과 불량으로 판정된 웨이퍼를 원상 그대로 분리수거하는 것이 가능하다.

선택적으로, 웨이퍼를 원상 그대로 분리수거할 필요가 없는 경우에는, 상기 제1불량수납부(37)에 카세트를 설치하지 않고 별도의 회수함 등을 설치하는 것도 가능하다.

이때, 제1불량수납부(37)에 위치한 카세트가 불량 웨이퍼로 가득 찰 경우에는 상기 제어부(110)가 웨이퍼검사장치(1)의 작동을 정지시키고 알람을 울릴 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 이를 위하여, 상기 제어부(110)는 불량으로 판정되어 상기 제1불량수납부(37)로 재차 로딩된 웨이퍼(W)의 개수를 카운트하도록 프로그래밍되는 것이 바람직하다.

상기 내부검사부(70)는 회전형 웨이퍼이송부(50)에 의해 이송되는 웨이퍼(W) 내부에 존재하는 크랙, 보이드 등의 내부결함의 유무를 순차적으로 검사하는 부분이다. 또한, 상기 웨이퍼(W)의 이상 여부에 따라 웨이퍼(W)를 분리수거할 수도 있다.

도 14를 참조하면, 상기 내부검사부(70)는 내부검사용 카메라(75a) 및 내부검사용 적외선 조명(75b)으로 이루어진 제2비젼모듈(75)을 포함한다. 상기 내부검사용 카메라(75a)에는 별다른 제한이 없으나, 고품질의 전자적 이미지를 얻을 수 있는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 상기 내부검사용 적외선 조명(75b)으로는 적외선(IR) 조명을 사용하는 것이 바람직하다.

이 경우, 상기 내부검사용 카메라(75a)와 상기 내부검사용 적외선 조명(75b) 사이에 웨이퍼 지지대(33)가 위치하게 된다. 따라서, 상기 웨이퍼 지지대(33)는 투광성 및 강도가 우수한 사파이어 또는 사파이어크리스탈 등의 소재를 이용하여 제작되는 것이 바람직하다.

제어부(110)는 상기 제2비젼모듈(73)에 의해 촬영된 이미지를 전송받아, 상기 전송받은 이미지를 미리 저장된 소정의 기준 데이터와 비교하여 웨이퍼(W)의 내부불량여부를 판정한다. 이때, 불량으로 판정되면 상기 제어부(110)는 해당 웨이퍼(W)를 분리수거하며, 이상이 없는 것으로 판정되면 해당 웨이퍼(W)를 다음 스테이지인 언로딩부(90)로 이송한다.

도 9를 참조하면, 내부검사의 결과 불량으로 판정된 웨이퍼를 분리수거하기 위하여, 상기 제2비젼모듈(35)이 위치하는 상기 회전테이블(51)의 외측에는 제2불량수납부(47)가 위치한다. 상기 제2불량수납부(47)는 상기 회전테이블(51)과 인접하게 배치된다.

상기 제2불량수납부(47)는 상기 로딩부(10)의 웨이퍼적재 카세트(11)와 동일한 카세트 및 상기 카세트를 승강시킬 수 있는 승강수단을 포함한다. 상기 카세트에는 복수의 슬롯이 수직방향으로 형성되며, 상기 슬롯에는 각각 웨이퍼 감지센서(미도시)가 구비된다. 상기 웨이퍼 감지센서에서 웨이퍼의 적재가 감지되면, 제어부(110)는 상기 카세트의 높이를 조정한다.

선택적으로, 웨이퍼를 원상 그대로 분리수거할 필요가 없는 경우에는, 상기 제2불량수납부(47)에 카세트를 설치하지 않고 별도의 회수함 등을 설치하는 것도 가능하다.

전술한 표면검사부(30)에서와 마찬가지로, 상기 내부검사부(70)에서도 상기 제어부(110)가 웨이퍼(W)의 양부를 판정한 후, 불량으로 판정된 웨이퍼(W)의 개수를 카운트하여 상기 제2불량수납부(47)에 적재될 수 있는 최대 개수에 도달하면 웨이퍼검사장치(1)의 작동을 중단시키고 알람을 울릴 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

다음, 상기 내부검사부에서 내부검사가 완료된 웨이퍼(W), 즉 내부검사시 이상이 없는 것으로 판단된 웨이퍼(W)는 상기 회전테이블(51)에 의해 다음 스테이지인 언로딩부(90)로 이송된다. 동시에, 상기 표면검사부(30)에서 이상이 없는 것으로 판단된 웨이퍼(W)가 상기 내부검사부(70)로 이송되고, 상기 로딩부(10)에 새로 로딩된 웨이퍼(W)가 상기 표면검사부(30)로 이송되며, 로딩부(10)에 새로운 웨이퍼(W)가 로딩된다.

이후의 과정은 전술한 실시예 1과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

실시예 4

실시예 4는 전술한 실시예 3의 웨이퍼 검사장치를 이용한 웨이퍼 검사방법에 관한 것이다.

본 발명의 실시예 4에 따르면, 복수의 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전테이블을 포함하는 회전형 웨이퍼이송부; 상기 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치를 이용한 웨이퍼 검사방법으로서, 상기 로딩부로부터 상기 웨이퍼를 상기 회전형 웨이퍼이송부에 로딩하는 단계; 로딩된 상기 웨이퍼를 상기 표면검사부로 이송하여 표면검사를 실시한 후 불량으로 판정된 웨이퍼를 상기 제1불량수납부로 분리수거하는 단계; 상기 표면검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 웨이퍼를 상기 내부검사부로 이송하여 내부검사를 실시한 후 불량으로 판정된 웨이퍼를 상기 제2불량수납부로 분리수거하는 단계; 상기 내부검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 웨이퍼를 상기 언로딩부로 이송하는 단계; 및 상기 언로딩부로 이송된 웨이퍼를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법을 제공한다.

이하, 실시예 4에 따른 웨이퍼 검사방법을 상세하게 설명한다.

먼저, 상기 회전테이블(51)에 설치된 복수의 공간부(53) 중 한 지점의 공간부(53)에 로딩부(10)로부터 푸쉬수단(15)에 의해 웨이퍼(W)가 로딩되면 회전테이블(51)이 반시계방향으로 90°회전한다.

표면검사에서 불량으로 판단된 웨이퍼(W)는 회전테이블의 푸쉬수단(55)에 의해 제1불량수납부(37)로 분리 회수된다.

내부검사에서 불량으로 판단된 웨이퍼(W)는 회전테이블의 푸쉬수단(55)에 의해 제2불량수납부(47)로 분리 회수된다.

실시예 2와 마찬가지로, 상기 웨이퍼 검사과정에서, 제어부(110)는 로딩부(10)에서 웨이퍼의 감지 및 카세트의 승강, 표면검사부(30) 및 내부검사부(70)에서의 양부판정, 및 언로딩부(90)에서의 웨이퍼의 적재여부 등 일련의 모든 과정을 제어한다.

본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치는 웨이퍼(태양전지 셀)의 표면 및 내부검사에 사용되는 것으로 예시하고 설명하였으나, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명은 휴대폰 카메라용 또는 디지털 카메라용 렌즈, CCTV용 렌즈, IR카메라용 렌즈(인조사파이어), 보석류 등의 표면 및 내부검사에도 사용될 수 있으며, 본 발명의 기술 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양하게 변경 또는 개조될 수 있다.

1: 웨이퍼 검사장치 10: 로딩부
30: 표면검사부 50: 회전 테이블
70: 내부검사부 90: 언로딩부
110: 제어부

Claims

복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부;
상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부;
상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부;
상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부;
상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및
순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 1항에 있어서,
상기 회전테이블에는 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하기 위한 4개의 공간부가 형성되며,
상기 공간부에는 상기 로딩된 LED 및 웨이퍼를 지지하는 2개의 LED 및 웨이퍼지지대가 각각 형성되며,
상기 2개의 LED 및 웨이퍼지지대는 상기 LED 및 웨이퍼를 낙하시키기 위하여 각각 좌우로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 1항에 있어서,
상기 제1비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 표면검사용 카메라, 및 상기 표면검사용 카메라의 양 측에 배치된 2개의 표면검사용 자외선 조명을 포함하며,
상기 제1불량수납부는 상기 제1비젼모듈 및 상기 회전테이블의 하방에 위치하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 1항에 있어서,
상기 제2비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 내부검사용 카메라, 및 상기 내부검사용 카메라와 대향되도록 상기 회전테이블의 하측에 배치된 2개의 내부검사용 적외선 조명을 포함하며,
상기 제2불량수납부는 상기 제2비젼모듈 및 상기 회전테이블의 하방에 위치하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 4항에 있어서,
상기 2개의 내부검사용 적외선 조명은, 상기 LED 및 웨이퍼의 내부 검사 중에는 상호 인접하게 위치하며, 상기 LED 및 웨이퍼의 낙하시에는 상기 LED 및 웨이퍼가 통과할 수 있도록 각각 좌우로 이동하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 2항에 있어서,
상기 LED 및 웨이퍼지지대는 사파이어 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 1항에 있어서,
상기 제1비젼모듈 및 제2비젼모듈에 의해 획득된 이미지가 현시 및 저장되는 표시저장부; 및
상기 표시저장부에 저장된 이미지를 입출력하기 위한 입출력부;를 더 포함하여,
작업자가 상기 표시부에 현시된 상기 이미지를 실시간으로 모니터링할 수 있는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전 테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부; 상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치를 이용한 LED 및 웨이퍼 검사방법으로서,
상기 로딩부로부터 상기 LED 및 웨이퍼를 상기 회전형 LED 및 웨이퍼이송부에 로딩하는 단계;
로딩된 상기 LED 및 웨이퍼를 상기 표면검사부로 이송하여 표면검사를 실시한 후 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 제1불량수납부로 분리배출하는 단계;
상기 표면검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 내부검사부로 이송하여 내부검사를 실시한 후 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 제2불량수납부로 분리배출하는 단계;
상기 내부검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 언로딩부로 이송하는 단계; 및
상기 언로딩부로 이송된 LED 및 웨이퍼를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사방법.
복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부;
상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부;
상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부;
상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부;
상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및
순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 9항에 있어서,
상기 회전테이블에는 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하기 위한 4개의 공간부가 형성되고, 상기 4개의 공간부에 대응하여 상기 회전테이블의 외측방향으로 상기 로딩된 LED 및 웨이퍼를 밀어주는 푸쉬수단이 각각 제공되며,
상기 공간부에는 상기 로딩된 LED 및 웨이퍼를 지지하는 LED 및 웨이퍼지지대가 각각 제공되는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 9항에 있어서,
상기 제1비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 표면검사용 카메라, 및 상기 표면검사용 카메라의 양 측에 배치된 2개의 표면검사용 자외선 조명을 포함하며,
상기 제1불량수납부는 상기 회전테이블의 외측에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 9항에 있어서,
상기 제2비젼모듈은 상기 회전테이블의 상측에 위치한 내부검사용 카메라, 및 상기 내부검사용 카메라와 대향되도록 상기 회전테이블의 하측에 배치된 내부검사용 적외선 조명을 포함하며,
상기 제2불량수납부는 상기 회전테이블의 외측에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 10항에 있어서,
상기 LED 및 웨이퍼지지대는 사파이어 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치.
제 9항에 있어서,
상기 제1비젼모듈 및 제2비젼모듈에 의해 획득된 이미지가 현시 및 저장되는 표시저장부; 및
상기 표시저장부에 저장된 이미지를 입출력하기 위한 입출력부;를 더 포함하여,
작업자가 상기 표시부에 현시된 상기 이미지를 실시간으로 모니터링할 수 있는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치
복수의 LED 및 웨이퍼가 적재된 카세트가 승강수단에 의해 승강되고, 상기 LED 및 웨이퍼를 수평방향으로 한 장씩 인출시킬 수 있도록 일측에 푸쉬수단이 설치되는 로딩부; 상기 LED 및 웨이퍼를 로딩하여 후속공정으로 이송하기 위한 회전테이블을 포함하는 회전형 LED 및 웨이퍼이송부; 상기 LED 및 웨이퍼의 표면검사를 위한 제1비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제1불량수납부를 포함하는 표면검사부; 상기 LED 및 웨이퍼의 내부검사를 위한 제2비젼모듈 및 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 제2불량수납부를 포함하는 내부검사부; 상기 LED 및 웨이퍼를 순차적으로 적재하기 위하여 승강수단에 의해 승강되는 카세트를 포함하는 언로딩부; 및 순차제어프로그래밍에 따라 상기 LED 및 웨이퍼의 검사과정을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사장치를 이용한 LED 및 웨이퍼 검사방법으로서,
상기 로딩부로부터 상기 LED 및 웨이퍼를 상기 회전형 LED 및 웨이퍼이송부에 로딩하는 단계;
로딩된 상기 LED 및 웨이퍼를 상기 표면검사부로 이송하여 표면검사를 실시한 후 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 제1불량수납부로 분리수거하는 단계;
상기 표면검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 내부검사부로 이송하여 내부검사를 실시한 후 불량으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 제2불량수납부로 분리수거하는 단계;
상기 내부검사에서 이상이 없는 것으로 판정된 LED 및 웨이퍼를 상기 언로딩부로 이송하는 단계; 및
상기 언로딩부로 이송된 LED 및 웨이퍼를 언로딩하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED 및 웨이퍼 검사방법.