KR100981748B1 - 진공 척 및 이를 구비한 가공 장치 - Google Patents
진공 척 및 이를 구비한 가공 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 공기를 흡입하는 진공 펌프;상기 진공 펌프에 연결되고 서로 이격되어 가공 대상물을 지지하는 것으로, 공기가 흡입되는 흡기구(吸氣口)와, 상기 가공 대상물을 지지하는 지지면을 구비한 복수의 마운트(mount); 및,상기 복수의 마운트에 의해 지지된 가공 대상물이 처지지 않도록, 상기 복수의 마운트 사이의 간격이 이격되는 방향으로 각 마운트를 가압하는 장력(tension) 제공 수단;을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 척(vacuum chuck).
- 제1 항에 있어서,상기 복수의 마운트 사이의 간격이 이격되는 방향으로 각 마운트가 움직일 수 있게 상기 각 마운트를 안내하는 가이드(guide)를 더 구비한 것을 특징으로 하는 진공 척.
- 제1 항에 있어서,상기 장력 제공 수단은 상기 마운트를 탄성 가압하는 스프링(spring)을 구비한 것을 특징으로 하는 진공 척.
- 제1 항에 있어서,상기 복수의 마운트의 개수는 적어도 3개이고, 상기 복수의 마운트는 일직선 상에 배치되지 않은 것을 특징으로 하는 진공 척.
- 제4 항에 있어서,상기 장력 제공 수단은, 상기 복수의 마운트를 꼭지점으로 하는 가상의 도형 내부의 일 점을 피봇(pivot) 중심으로 제1 위치와 제2 위치로 피봇 가능한 피봇 부재와, 상기 피봇 부재에 지지되는 스프링을 구비하고,상기 피봇 부재가 제2 위치일 때 상기 스프링이 상기 마운트를 탄성 가압하도록 구성된 것을 특징으로 하는 진공 척.
- 제5 항에 있어서,상기 스프링은 판 스프링인 것을 특징으로 하는 진공 척.
- 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항의 진공 척; 및,상기 진공 척에 의해 고정된 가공 대상물을 가공하기 위한 가공 유닛;을 구비한 것을 특징으로 하는 가공 장치.
- 제7 항에 있어서,상기 가공 유닛은 광을 조사(照射)하여 상기 가공 대상물에 홈 또는 통공을 형성하기 위한 드릴링 유닛(drilling unit)인 것을 특징으로 하는 가공 장치.
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KR1020080084003A KR100981748B1 (ko) | 2008-08-27 | 2008-08-27 | 진공 척 및 이를 구비한 가공 장치 |
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KR1020080084003A KR100981748B1 (ko) | 2008-08-27 | 2008-08-27 | 진공 척 및 이를 구비한 가공 장치 |
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KR20100025295A KR20100025295A (ko) | 2010-03-09 |
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20060131261A (ko) * | 2005-06-15 | 2006-12-20 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조장치의 척 어셈블리 |
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- 2008-08-27 KR KR1020080084003A patent/KR100981748B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20060131261A (ko) * | 2005-06-15 | 2006-12-20 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조장치의 척 어셈블리 |
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KR20100025295A (ko) | 2010-03-09 |
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