KR100980704B1 - 포토레지스트 공급 장치 및 방법 - Google Patents
포토레지스트 공급 장치 및 방법 Download PDFInfo
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- 포토레지스트 공급 장치에 있어서:포토레지스트를 웨이퍼로 토출하는 토출노즐;상기 토출노즐로 정량의 포토레지스트를 공급하는 펌프;상기 펌프로부터 상기 토출노즐로 공급될 포토레지스트가 일시 저장되는 트랩 탱크;상기 트랩 탱크에 저장되는 포토레지스트가 담겨있는 보틀; 및상기 펌프에서 상기 토출노즐로 공급되기 위해 대기하는 포토레지스트에 기포가 포함되어 있는가를 판별하는 기포 판별 부재;상기 기포 판별 부재가 기포를 체크하면 상기 펌프에서 대기중인 포토레지스트를 폐액탱크로 드레인시키기 위해 상기 펌프와 상기 폐액탱크를 연결하는 제1드레인 라인을 포함하되;상기 기포 판별 부재는,상기 펌프의 내부 압력을 감지하는 압력센서; 및상기 압력센서에서 감지된 상기 펌프의 측정 압력값과 기준 압력값을 비교하여 상기 펌프에서 공급될 포토레지스트의 기포 유무를 체크하여 상기 제1드레인 라인을 개폐하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 장치.
- 포토레지스트 공급 장치에 있어서:포토레지스트를 웨이퍼로 토출하는 토출노즐;상기 토출노즐로 정량의 포토레지스트를 공급하는 펌프;상기 펌프로부터 상기 토출노즐로 공급될 포토레지스트가 일시 저장되는 트랩 탱크;상기 트랩 탱크에 저장되는 포토레지스트가 담겨있는 보틀; 및상기 펌프에서 상기 토출노즐로 공급되기 위해 대기하는 포토레지스트에 기포가 포함되어 있는가를 판별하는 기포 판별 부재;상기 기포 판별 부재가 기포를 체크하면 상기 펌프에서 대기중인 포토레지스트를 폐액탱크로 드레인시키기 위해 상기 펌프와 상기 폐액탱크를 연결하는 제1드레인 라인을 포함하되;상기 보틀 및 상기 트랩탱크는상기 토출노즐을 통해 토출된 양만큼의 불활성가스가 채워지도록 불활성가스 공급라인이 연결되는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 장치.
- 포토레지스트 공급 방법에 있어서:보틀에 담겨있는 포토레지스트를 트랩 탱크에 임시 저장하는 단계;펌프의 흡입(suction) 동작을 통해 상기 트랩 탱크에 저장되어 있는 포토레지스트를 상기 펌프의 펌프실에 채우고, 상기 펌프의 배출 동작을 통해 상기 펌프실에 채워져 있는 포토레지스트를 토출 노즐로 공급하는 펌핑 단계를 포함하되;상기 펌핑 단계는상기 펌프의 펌프실에 채워져 있는 포토레지스트를 상기 토출노즐로 공급하기 전에 상기 펌프의 내부 압력을 감지한 측정 압력값과 기준 압력값을 비교하여 상기 펌프의 펌프실에 채워져 있는 포토레지스트 내의 기포 유무를 감지하는 단계를 포함하는 것을 포토레지스트 공급 방법.
- 제8항에 있어서,상기 펌핑 단계는상기 펌프의 펌프실에 채워져 있는 포토레지스트 내의 기포를 감지하면 상기 펌프의 배출 동작을 통해 상기 펌프실에 채워져 있는 포토레지스트를 드레인 라인을 통해 드레인하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 방법.
- 제8항에 있어서,상기 트랩탱크에는상기 펌핑 단계에서 사용된 양만큼 불활성가스가 채워지는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 공급 방법.
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