KR100972945B1 - 광학 디바이스 검사 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (28)
- (a) 제 1 파장 대역 및 제 2 파장 대역을 포함하는 광으로 광학 디바이스 및 주변 배경을 조명하는 단계로서,상기 제 1 파장 대역 및 상기 제 2 파장 대역은 상이한 파장들로 이루어지며, 상기 제 1 파장 대역은 제 1 강도(intensity)를 가지고 상기 제 2 파장 대역은 제 2 강도를 가지는 상기 조명단계와;(b) 상기 광을 상기 광학 디바이스를 통해 투과시키는 동안에 상기 제 1 파장 대역의 51% 내지 100%가 상기 광학 디바이스에 의해 흡수되고 상기 제 2 파장 대역의 51% 내지 100%가 상기 광학 디바이스를 통해 투과되며, 렌즈를 투과한 광을 감광성 픽셀 어레이(photo-sensitive pixel array)상에 포착하는 단계와;(c) 상기 광을 상기 주변 배경을 통해 투과시키는 동안에 상기 제 1 파장 대역 및 상기 제 2 파장 대역의 51% 내지 100%가 투과되며, 상기 배경을 투과한 광을 감광성 픽셀 어레이상에 포착하는 단계와;(d) 상기 (b) 단계 및 상기 (c) 단계로부터 발생된 픽셀들을 판독하고 상기 판독의 그레이 스케일(gray scale) 값들을 비교하는 단계를 포함하고,상기 배경을 투과한 광 및 상기 렌즈를 투과한 광으로부터 발생된 상기 픽셀들의 상기 그레이 스케일 값들 사이의 차이는 상기 광학 디바이스 내의 기공들과 상기 주변 배경 내의 기포들을 구별하기에 충분한 값으로 이루어지는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 파장 대역은 80% 내지 100%가 상기 광학 디바이스에 의해 흡수되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 파장 대역은 98% 내지 100%가 흡수되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 파장 대역은 340㎚ 내지 360㎚인 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 파장 대역은 80% 내지 100%가 투과되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 파장 대역은 98% 내지 100%가 투과되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 파장 대역은 385㎚ 내지 405㎚인 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 강도 대 상기 제 2 강도의 비율은 2:1인 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 강도 대 상기 제 2 강도의 비율은 1.5:1인 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 주변 배경의 상기 그레이 스케일들과 상기 광학 디바이스의 결함이 없는 구역 사이의 차이는 120 내지 180인 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 주변 배경의 상기 그레이 스케일들과 상기 광학 디바이스의 결함이 없는 구역 사이의 차이는 140인 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 (b) 단계 및 상기 (c) 단계에서 투과되며 상기 감광성 픽셀 어레이상에 입사되는 상기 광의 강도는 상기 광학 디바이스의 결함이 없는 구역의 상기 포착된 이미지가 상기 감광성 픽셀 어레이의 감광도의 중간 범위에 이르도록 추가로 조절되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 파장 대역 및 상기 제 2 파장 대역은 하나의 광원 및, 상기 제1파장 대역 또는 상기 제2파장 대역내에 들어가지 않는 광의 파장들을 제거하기 위한 하나 이상의 필터에 의해 생성되는 광학 디바이스 검사 방법.
- (a) 제 1 파장 대역 및 제 2 파장 대역을 포함하는 광으로 광학 디바이스 및 주변 배경을 조명하는 단계로서,상기 제 1 파장 대역 및 상기 제 2 파장 대역은 상이한 파장들로 이루어지며, 상기 제 1 파장 대역은 제 1 강도를 가지고 상기 제 2 파장 대역은 제 2 강도를 가지는 상기 조명단계와;(b) 상기 광을 상기 광학 디바이스를 통해 투과시키는 동안에 상기 제 1 파장 대역의 51% 내지 100%가 상기 광학 디바이스에 의해 흡수되고 상기 제 2 파장 대역의 51% 내지 100%가 상기 광학 디바이스를 통해 투과되며, 렌즈를 투과한 광을 감광성 픽셀 어레이상에 포착하는 단계와;(c) 상기 광을 상기 주변 배경을 통해 투과시키는 동안에 상기 제 1 파장 대역 및 상기 제 2 파장 대역의 51% 내지 100%가 투과되며, 상기 배경을 투과한 광을 감광성 픽셀 어레이상에 포착하는 단계와;(d) 상기 광학 디바이스 및 상기 주변 배경의 이미지를 생성하는 단계를 포함하고,상기 (c) 단계 및 상기 (b) 단계에 의해 생성된 이미지의 그레이 스케일 값들 사이의 차이는 상기 광학 디바이스 내의 기공들과 상기 주변 배경 내의 기포들을 구별하기에 충분한 값으로 이루어지는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 파장 대역은 98% 내지 100%가 흡수되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 2 파장 대역은 80% 내지 100%가 투과되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 2 파장 대역은 385㎚ 내지 405㎚인 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 강도 대 상기 제 2 강도의 비율은 1.5:1인 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 파장 대역 및 상기 제 2 파장 대역은 하나의 광원 및, 상기 제1파장 대역 또는 상기 제2파장 대역내에 들어가지 않는 광의 파장들을 제거하기 위한 하나 이상의 필터에 의해 생성되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제1파장 대역은 상기 광학 디바이스의 중심 구역을 조명하고,상기 제2파장 대역은 상기 광학 디바이스의 에지를 조명하는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 중심 구역은 상기 광학 디바이스의 상기 에지로부터 2㎜까지 연장되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 중심 구역은 상기 광학 디바이스의 상기 에지로부터 4㎜까지 연장되는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 제 1 대역폭을 갖는 광은 370㎚ 내지 405㎚의 파장을 갖는 가시광을 포함하는 광학 디바이스 검사 방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 제 2 대역폭을 갖는 광은 330㎚ 내지 367㎚의 파장을 갖는 자외광을 포함하는 광학 디바이스 검사 방법.
- (a) 제 1 파장 대역 및 제 2 파장 대역을 포함하는 광으로서, 상기 제 1 파장 대역 및 상기 제 2 파장 대역은 상이한 파장들로 이루어지며, 상기 제 1 파장 대역은 제 1 강도를 가지고 상기 제 2 파장 대역은 제 2 강도를 가지는 광을 사용하여 광학 디바이스 및 주변 배경을 조명하는 수단과;(b) 상기 광을 상기 광학 디바이스를 통해 투과시키는 동안에 상기 제 1 파장 대역의 51% 내지 100%가 상기 광학 디바이스에 의해 흡수되고 상기 제 2 파장 대역의 51% 내지 100%가 상기 광학 디바이스를 통해 투과되며, 렌즈를 투과한 광을 감광성 픽셀 어레이상에 포착하는 수단과;(c) 상기 광을 상기 주변 배경을 통해 투과시키는 동안에 상기 제 1 파장 대역 및 상기 제 2 파장 대역의 51% 내지 100%가 투과되며, 상기 배경을 투과한 광을 감광성 픽셀 어레이상에 포착하는 수단과;(d) 상기 (b) 수단 및 상기 (c) 수단으로부터 발생된 픽셀들을 판독하고 상기 판독의 그레이 스케일 값들을 비교하는 수단을 포함하고,상기 배경을 투과한 광 및 상기 렌즈를 투과한 광으로부터 발생된 상기 픽셀들의 상기 그레이 스케일 값들 사이의 차이는 상기 광학 디바이스 내의 기공들과 상기 주변 배경 내의 기포들을 구별하기에 충분한 값으로 이루어지는 광학 디바이스 검사 장치.
- 제25항에 있어서, 사용시에 상기 제 1 파장 대역은 상기 광학 디바이스의 중심 구역을 조명하고,사용시에 상기 제 2 파장 대역은 상기 광학 디바이스의 에지를 조명하는 광학 디바이스 검사 장치.
- 제 26 항에 있어서, 상기 조명 수단은 상기 중심 구역을 조명하기 위한 광원 및 제 1 필터 소자를 포함하고, 상기 제 1 필터 소자는 가시 영역 내의 광을 투과시키는 광학 디바이스 검사 장치.
- 제 26 항에 있어서, 상기 조명 수단은 상기 에지를 조명하기 위한 광원 및 제 2 필터 소자를 포함하고, 상기 제 2 필터 소자는 자외선 영역 내의 광을 투과시키는 광학 디바이스 검사 장치.
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