KR100955116B1 - 수차측정방법 및 코마수차측정방법 - Google Patents
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Description
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- 원판 상에 형성된 패턴의 상을 투영광학계를 통해서 기판에 전사하는 노광장치의 상기 투영광학계의 구면수차의 측정방법이며,제 1 조명조건 및 제 2 조명조건 각각 하에서의 상기 투영광학계의 초점위치와, 상기 투영광학계의 구면수차 간의 관계를 나타내는 초점위치 데이터를 취득하는 스텝;상기 제 1 조명조건 하에서 상기 투영광학계의 초점위치를 계측하는 제 1 계측 스텝;상기 제 2 조명조건 하에서 상기 투영광학계의 초점위치를 계측하는 제 2 계측 스텝;상기 제 1 조명조건 하에서 계측한 상기 초점위치와 상기 제 2 조명조건 하에서 계측한 상기 초점위치 간의 차이를 취득하는 스텝; 및상기 초점위치 데이터로부터, 상기 초점위치들 간의 상기 차이에 대응하는 상기 투영 광학계의 구면 수차를 취득하는 스텝을 포함하고,상기 제 1 조명조건은, 상기 투영광학계의 구면수차의 변화에 따라 상기 투영 광학계의 초점위치가 둔감하게 변화하는 조건이고,상기 제 2 조명조건은, 상기 투영광학계의 구면수차의 변화에 따라 상기 투영 광학계의 초점위치가 민감하게 변화하는 조건인, 구면수차의 측정방법.
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- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 계측 스텝에서는, 상기 원판 측에 배치한 마크와 상기 기판 측에 배치한 마크를 통과한 광의 광량에 의거하여 상기 투영 광학계의 초점위치를 계측하는, 구면수차의 측정방법.
- 삭제
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- 원판 상에 형성된 패턴의 상을 투영광학계를 통해서 기판에 전사하는 노광장치의 상기 투영광학계의 코마수차의 측정방법이며,제 1 조명조건 하에서 상기 투영광학계의 초점위치에서의 상기 원판측에 배치된 마크와 상기 기판측에 배치된 마크의 상대위치와, 상기 투영광학계의 코마수차 간의 관계를 나타내는 제 1 시프트위치 데이터를 취득하는 스텝;제 2 조명조건 하에서 상기 초점위치로부터 디포커스한 위치에서의 상기 상대위치와, 상기 투영광학계의 코마수차 간의 관계를 나타내는 제 2 시프트위치 데이터를 취득하는 스텝;상기 초점위치에 있어서의 상기 상대위치를, 상기 제 1 조명조건 하에서 상기 투영광학계를 개재하여 계측하는 제 1 계측 스텝;상기 초점위치로부터 디포커스한 위치에 있어서의 상기 상대위치를, 상기 제 2 조명조건 하에서 상기 투영광학계를 개재하여 계측하는 제 2 계측 스텝;상기 제 1 계측 스텝에서 계측한 상기 상대위치와, 상기 제 2 계측 스텝에서 계측한 상기 상대위치 간의 차이를 취득하는 스텝; 및상기 제 1 시프트위치 데이터 및 제 2 시프트위치 데이터로부터, 상기 상대위치들 간의 상기 차이에 대응하는 상기 투영광학계의 코마수차를 취득하는 스텝을 포함하고,상기 제 1 조명 조건은, 상기 투영광학계의 코마수차의 변화에 따라 상기 상대위치가 둔감하게 변화하는 조건이고,상기 제 2 조명 조건은, 상기 투영광학계의 코마수차의 변화에 따라 상기 상대위치가 민감하게 변화하는 조건인, 코마수차의 측정방법.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 조명조건은 윤대의 조명조건인, 구면수차의 측정방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 제 1 조명조건은 윤대의 조명조건인, 코마수차의 측정방법.
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