KR100948084B1 - 도포 방법 - Google Patents

Abstract

도포 장치 및 이를 이용한 도포 방법에서, 도포 장치에는 전공정 장비와 후공정 장비와 연계되어 있어서 전공정 장비로부터 기판을 입력받고, 도포 공정 이후에는 후공정 장비로 기판을 반송하는 이송 롤러를 구비한다. 이송 롤러를 통해서 기판이 유입되면, 얼라인 유닛을 이용하여 유입된 기판을 얼라인시키고, 도포 유닛을 이용하여 얼라인된 기판 상으로 실리콘을 도포한다. 따라서, 도포 장치로 기판을 로딩 및 언로딩시키기 위한 로더 및 언로더 장비를 제거할 수 있고, 그 결과 도포 장치를 구비하는 인라인 설비의 사이즈를 전체적으로 감소시킬 수 있다.

Description

도포 방법{COATING METHOD}

본 발명은 도포 장치 및 이를 이용한 도포 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 장비의 크기를 축소시킬 수 있고, 공정 시간을 단축시킬 수 있는 도포 장치 및 이를 이용한 도포 방법에 관한 것이다.

평판 디스플레이 제조장치 중 도포 장치는 평판 디스플레이 제조용 유리기판에 실리콘을 도포하는 장치이다. 일반적인 도포 장치는 기판의 상부에 구비되고, 일 방향으로 이동하면서 기판 표면 상에 실리콘을 도포하는 도포건으로 이루어진 도포 유닛을 포함한다.

일반적인 도포 공정은 외부로부터의 기판을 도로 유닛 측으로 로딩(loading)시키는 단계, 도포건을 기판의 상부에서 일정속도로 이동시키면서 기판 표면에 실리콘을 도포하는 단계, 그리고 도포가 완료된 기판을 도포 유닛으로부터 외부로 언로딩(unloading)시키는 단계를 포함한다.

도포 장치는 도포 유닛의 전단에 구비된 로더 핸더를 이용하여 도포 공정을 수행하는 위한 기판을 로딩시키고, 도포 유닛의 후단에 구비된 언로더 핸더를 이용 하여 도포 공정이 완료된 기판을 언로딩시킨다.

상기한 바와 같이, 기판을 이송하는데 있어서 로더 핸더 및 언로더 핸더를 이용하기 때문에 도포 장치는 도포 공정이 수행되는 도포 유닛 이외에 로더 핸더 및 언로더 핸더가 구비될 공간을 필요로하게 되고, 그 결과 도포 장치가 포함된 인라인 설비의 전체적인 사이즈도 증가한다.

뿐만 아니라, 도포 공정을 위해서는 로딩 과정이 선행되어야하고, 도포 공정 이후에는 언로딩 과정 이루어지기 때문에, 도포 공정을 하는데 소요되는 전체적인 시간이 증가하고, 그 결과 평판 디스플레이의 생산성이 저하된다.

따라서, 본 발명의 목적은 장비의 크기를 축소시킬 수 있고, 공정 시간을 단축시킬 수 있는 도포 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기한 도포 장치를 이용하는 도포 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일측면에 따른 도포 장치는 전공정 장비로부터 기판을 입력받아서 도포 공정후 후공정 장비로 상기 기판을 이송하는 이송 롤러, 상기 전공정 장비로부터 제공된 상기 기판의 얼라인 상태를 감지하는 얼라인 유닛, 및 상기 기판 상으로 처리액을 도포하는 도포 유닛을 포함한다.

본 발명의 일 실시예로, 상기 도포 장치는 상기 이송 롤러의 하부에 구비되고, 상기 이송 롤러를 통해 이송된 상기 기판을 상기 이송 롤러의 상부로 상승시켜 지지하는 지지유닛을 더 포함한다. 상기 지지유닛은 상기 기판을 직접적으로 지지하여 상기 기판을 상/하로 이동시키기 위한 다수의 지지막대 및 상기 다수의 지지막대를 상/하로 이동시키는 구동부로 이루어진다.

본 발명의 일 실시예로, 상기 얼라인 유닛은 상기 이송 롤러의 양측 하부에 위치하고, 상기 지지 유닛에 의해서 상기 기판이 지지되면, 상기 얼라인 유닛이 상승하여 상기 기판의 얼라인 상태를 감지한다. 상기 얼라인 유닛은 상기 기판을 촬영하는 얼라인 카메라를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예로, 상기 도포 유닛은 상기 지지 유닛에 의해서 상기 기판이 지지되면 상기 기판 상으로 상기 처리액을 도포하는 도포건을 포함한다.

본 발명의 다른 측면에 따른 도포 방법에 따르면, 이송 롤러를 통해서 전공정 장비로부터 기판을 입력받는다. 이송이 완료되면, 상기 전공정 장비로부터 제공된 상기 기판을 얼라인시킨다. 얼라인된 상기 기판 상으로 처리액을 도포한다. 상기 처리액이 도포된 상기 기판을 상기 이송 롤러를 이용하여 후공정 장비로 반송시킨다.

본 발명의 일 실시예로, 이송된 상기 기판을 얼라인시키기 이전에 지지 유닛을 이용하여 상기 이송 롤러의 상부로 상기 기판을 상승시킨 후 지지하는 과정이 선행될 수 있다.

본 발명의 일 실시예로, 상기 기판을 얼라인시키는 단계는 상기 기판이 상기 지지유닛에 의해서 지지되면, 상기 이송 롤러 하부에 구비된 얼라인 유닛이 상승하여 상기 기판의 얼라인 상태를 감지하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일 실시예로, 상기 기판 상으로 처리액을 도포하는 단계에서는 상기 지지유닛에 의해서 지지된 상태에서 상기 기판 상으로 상기 처리액의 도포한다. 이후, 도포가 완료되면 상기 지지유닛이 하강하여 상기 기판을 상기 이송 롤러 상에 안착시키는 단계가 더 이루어질 수 있다.

이와 같은 도포 장치 및 이를 이용한 도포 방법에 따르면, 도포 장치 내에 전공정 장비와 후공정 장비와 연계되어 있어서 전공정 장비로부터 기판을 입력받 고, 도포 공정 이후에는 후공정 장비로 기판을 반송하는 이송 롤러를 구비함으로써, 도포 장치로 기판을 로딩 및 언로딩시키기 위한 로더 및 언로더 장비를 제거할 수 있고, 그 결과 도포 장치를 구비하는 인라인 설비의 사이즈를 전체적으로 감소시킬 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해지도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달되도록 하기 위해 제공되는 것이다. 또한, 본 실시예에서는 평판 디스플레이 제조용 유리 기판에 실리콘을 도포하는 장치를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 웨이퍼, 필름액정용 플레시블 기판, 포토마스크용 기판, 그리고 컬러 필터용 기판 등과 같은 다양한 종류의 기판에 처리액을 도포하는 모든 장치에 적용이 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 장치(100)는 기판(10) 상에 실리콘을 도포하기 위한 장치로써, 그 내부에 이송 롤러(110)를 구비한다. 따라서, 도포 장치(100)는 전공정 장비(30)로부터 이송 롤러(110)는 통해서 기판(10)을 공급받고, 도포 공정이 완료된 이후에는 다시 이송 롤러(110)를 통해서 후공정 장비(50)로 기판(10)을 반송한다.

이처럼, 전/후공정 장비(30, 50)와 연계되도록 도포 장치(100) 내에 구비된 이송 롤러(110)를 이용하여 기판(10)을 공급 및 반송할 수 있음으로써, 기존에 도포 장치(100) 전후에 전공정 장비(30)로부터 기판을 로딩하는 로더 핸더 및 후공정 장비(50)로 기판(10)을 언로딩하는 언로더 핸더가 불필요하게 되고, 그 결과 인라인 설비의 전체적인 사이즈를 감소시킬 수 있다.

또한, 도포 공정을 수행하기 이전 및 이후에 로딩 및 언로딩 과정이 이루어지지 않기 때문에, 전체적인 공정 시간이 단축되고, 그 결과 상기한 기판(10)을 채용하는 평판 디스플레이의 생산성이 향상될 수 있다.

이하, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 장치(100)의 내부 구조에 대해서 구체적으로 설명하기로 한다.

도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 도포 장치의 내부 구조를 나타낸 측면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 도포 장치(100)는 이송 롤러(110), 베이스 몸체(120), 지지 유닛(130), 얼라인 유닛(140) 및 도포 유닛(150)을 포함한다.

이송 롤러(110)는 일정 방향으로 회전하여 전공정 장비(30, 도 1에 도시됨)로부터 기판(10)을 공급받는다. 상기 이송 롤러(110)는 베이스 몸체(120)의 상면과 소정의 간격으로 이격되어 베이스 몸체(120)의 상부에 구비되고, 이송 롤러(110)는 베이스 몸체(120)의 상면을 지지하고 있는 지지부재(111)에 의해서 지지된다.

상기 베이스 몸체(120)에는 베이스 몸체(120)의 상면으로부터 돌출된 돌출부(121)가 구비되고, 상기 지지 유닛(130)은 돌출부(121) 상에 안착되고, 상기 이송 롤러(110)의 하부에 구비된다. 상기 지지 유닛(130)은 상/하로 이동하는 다수의 지지막대(131) 및 다수의 지지막대(131)를 상/하로 이동시키기 위한 구동부(132)로 이루어진다.

구체적으로, 상기 전공정 장비(30)로부터 도포 장치(100)로 기판(10)의 이송이 완료되면, 상기 다수의 지지막대(131)는 상기 구동부(132)에 의해서 상승하여 이송된 기판(10)을 상기 이송 롤러(110)의 상부로 들어올려 상기 이송 롤러(110)와 기판(10)을 이격시키고, 그 상태에서 상기 기판(10)을 지지한다. 상기 다수의 지지막대(131)는 도포 공정이 완료된 이후에는 하강하여 실리콘(11)이 도포된 기판(10)을 다시 이송 롤러(110)에 안착시킨다.

한편, 이송 롤러(110)의 양측 하부에는 상기 얼라인 유닛(140)이 구비된다. 얼라인 유닛(140)은 지지 유닛(130)에 의해서 기판(10)이 지지된 상태에서 기판(10)을 얼라인 상태를 감지하기 위한 얼라인 카메라(141)를 포함한다. 구체적으로, 얼라인 카메라(410)는 상기 지지 유닛(130)에 의해서 상기 기판(10)이 지지되면, 기 설정된 위치에서 지지된 기판(10)을 촬영하고, 얼라인 카메라(410)로부터 촬영된 영상을 공급받은 제어부(미도시)는 영상을 이용하여 기판(10)의 얼라인 상태를 판단한다. 즉, 기판(10)의 얼라인 상태가 양호하면 다음 공정(즉, 도포 공정)을 수행하도록 지시하고, 기판(10)의 얼라인 상태가 불량하면, 지지 유닛(130)을 제어하여 기판(10)을 얼라인 시키도록 지시한다.

도포 유닛(150)은 상기 기판(10)의 상부에 제공되고, 실리콘(11)을 상기 기판(10)의 표면 상에 공급하는 도포건을 구비한다. 상기 도포건은 일정 방향으로 일정한 속도로 이동하면서 상기 기판(10)의 표면 상에 실리콘(11)을 도포한다. 특히, 이러한 실리콘 도포 공정은 상기 기판(10)이 지지유닛(130)에 의해서 지지되고 있는 상태에서 이루어진다. 이와 같이, 실리콘 도포 공정이 완료된 기판(10)은 이후 이송 롤러(110)를 통해서 후공정 장비(50)로 반송된다.

도 4는 도 2 및 도 3에 도시된 도포 장치를 이용한 도포 과정을 나타낸 순서도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 도포 장치(100)는 도포 공정을 수행하기 위하여 이송 롤러(110)를 통해서 전공정 장비(30)로부터 기판을 공급받는다(S210).

기판(10)의 이송이 완료되면, 지지 유닛(130)의 다수의 지지막대(131)가 상승하여 이송 롤러(110)의 상부로 기판(10)을 들어올린 후 기판(10)을 지지한다(S220).

다음, 이송 롤러(110)의 양측 하부에 구비된 얼라인 유닛(140)을 상승시켜 지지 유닛(130)에 의해서 기판(10)이 지지되고 있는 상태에서 기판(10)의 얼라인 상태를 체크한다(S230). 즉, 얼라인 카메라를 이용하여 기판을 촬영하고, 촬영된 영상을 근거로 기판의 얼라인 상태를 감지한 후, 지지 유닛을 조절하여 기판을 얼라인시킬 수 있다.

상기와 같은 얼라인 공정이 완료되면, 도포 유닛(150)을 통해서 기판(10)의 표면 상에 실리콘(11)을 도포한다(S240). 실리콘 도포 공정은 여전히 지지 유닛(130)에 의해서 기판(10)이 지지되고 있는 상태에서 이루어지는 것이 바람직하다.

이후, 실리콘 도포 공정이 완료되면 상기 지지 유닛(130)의 다수의 지지막 대(131)가 하강하여 실리콘(11)이 도포된 기판(10)을 이송 롤러(110) 상에 안착시킨다. 따라서, 실리콘(11)이 도포된 기판(10)을 이송 롤러(110)를 통해서 후공정 장비로 반송된다(S250).

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 도포 장치의 내부 구조를 나타낸 측면도이다.

도 4는 도 2 및 도 3에 도시된 도포 장치를 이용한 도포 과정을 나타낸 순서도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10 : 기판 11 : 실리콘

30 : 전공정 장비 50 : 후공정 장비

100 : 도포 장치 110 : 이송 롤러

120 : 베이스 기판 130 : 지지 유닛

140 : 얼라인 유닛 150 : 도포 유닛

Claims (10)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 이송 롤러들을 통해서 전공정 장비로부터 기판을 입력받는 단계;

   상기 이송 롤러들의 하부에서 승하강되는 지지막대들을 갖는 지지유닛에 의해, 상기 이송 롤러들에 놓여진 상기 기판을 상기 이송 롤러들로부터 상승시키는 단계;

   상기 기판이 상기 이송 롤러들로부터 상승된 상태에서 상기 지지유닛에 놓여진 상기 기판 상으로 처리액을 도포하는 단계; 및

   도포가 완료된 후 상기 지지막대들을 동시에 하강시켜 상기 기판을 상기 이송 롤러들 상에 안착시키는 단계; 및

   상기 처리액이 도포된 상기 기판을 상기 이송 롤러들을 이용하여 후공정 장비로 반송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 지지유닛에 놓여진 상기 기판을 얼라인시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 기판을 얼라인시키는 단계는 상기 기판이 상기 이송 롤러들 상에서 상승된 상태에서 상기 이송 롤러들 하부에 배치된 얼라인 유닛을 상기 기판의 하면에 접근되도록 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
10. 삭제

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