KR100942841B1 - 액정표시소자의 검사 방법 및 장치와 리페어방법 및 장치 - Google Patents
액정표시소자의 검사 방법 및 장치와 리페어방법 및 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100942841B1 KR100942841B1 KR1020030035341A KR20030035341A KR100942841B1 KR 100942841 B1 KR100942841 B1 KR 100942841B1 KR 1020030035341 A KR1020030035341 A KR 1020030035341A KR 20030035341 A KR20030035341 A KR 20030035341A KR 100942841 B1 KR100942841 B1 KR 100942841B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- signal line
- magnetic sensor
- line pattern
- line
- substrate
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136254—Checking; Testing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
Description
Claims (15)
- 신호라인패턴들이 형성된 기판을 자기센서로 스캔하여 상기 신호라인패턴의 불량위치를 검출하는 단계와;상기 자기센서에 의해 검출된 상기 결함위치에 상기 신호라인 패턴을 따라 라인 카메라를 이동시켜 상기 자기센서에 의해 검출된 불량위치를 촬상하는 단계와;상기 라인 카메라의 이동거리에 기초하여 상기 불량위치의 좌표 데이터를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사방법.
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 신호라인패턴을 고배율의 현미경으로 촬상하는 단계를 더 포함하는 것 을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 신호라인패턴에 프로브핀을 접촉시켜 상기 신호라인패턴의 불량여부를 판정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사방법.
- 신호라인패턴들이 형성된 기판을 자기센서로 스캔하여 상기 신호라인패턴의 불량위치를 검출하는 단계와;상기 불량위치의 좌표 데이터를 생성하는 단계와;상기 좌표 데이터를 이용하여 상기 신호라인패턴에서 불량이 존재하는 기판에 대하여 리페어공정을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 리페어방법.
- 신호라인패턴들이 형성된 기판을 스캔하여 상기 신호라인패턴의 불량위치를 검출하는 자기센서와;상기 신호라인 패턴을 따라 이동하며 상기 자기센서에 의해 검출된 불량위치를 촬상하는 라인 카메라와;상기 라인 카메라의 이동거리에 기초하여 상기 불량위치의 좌표 데이터를 생성하는 영상처리회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
- 삭제
- 삭제
- 제 7 항에 있어서,상기 신호라인패턴을 고배율로 촬상하기 위한 현미경을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 신호라인패턴에 프로브핀을 접촉시켜 상기 신호라인패턴의 불량여부를 판정하기 위한 검사용 지그를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 액정표시소자는 IPS 모드의 액정표시소자인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
- 제 12 항에 있어서,상기 신호라인패턴은,스캔전압이 공급되는 게이트라인과;상기 게이트라인과 이웃하며 공통전압이 공급되는 공통전압라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
- 신호라인패턴들이 형성된 기판을 스캔하여 상기 신호라인패턴의 불량위치를 검출하는 자기센서와;상기 자기센서에 의해 검출된 상기 신호라인패턴을 촬상하기 위한 카메라와;상기 신호라인패턴에 프로브핀을 접촉시켜 상기 신호라인패턴의 불량여부를 검사하기 위한 검사용 지그와;상기 기판, 상기 자기센서 및 상기 카메라 중 적어도 어느 하나를 2축 방향으로 이송시키기 위한 이송 기구부와;상기 자기센서, 상기 카메라, 상기 검사용 지그 및 상기 이송 기구부를 제어하기 위한 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
- 신호라인패턴들이 형성된 기판을 스캔하여 상기 신호라인패턴의 불량위치를 검출하는 자기센서와;상기 불량위치의 좌표 데이터에 근거하여 상기 기판에 대하여 리페어를 실시 하기 위한 리페어장비를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 리페어장치.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030035341A KR100942841B1 (ko) | 2003-06-02 | 2003-06-02 | 액정표시소자의 검사 방법 및 장치와 리페어방법 및 장치 |
US10/847,288 US7545162B2 (en) | 2003-06-02 | 2004-05-18 | Method and apparatus for inspecting and repairing liquid crystal display device |
CNA2004100462007A CN1573482A (zh) | 2003-06-02 | 2004-06-02 | 检查和修补液晶显示器件的方法和装置 |
CN201110208171.XA CN102253550B (zh) | 2003-06-02 | 2004-06-02 | 检查液晶显示器件的方法和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030035341A KR100942841B1 (ko) | 2003-06-02 | 2003-06-02 | 액정표시소자의 검사 방법 및 장치와 리페어방법 및 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040103998A KR20040103998A (ko) | 2004-12-10 |
KR100942841B1 true KR100942841B1 (ko) | 2010-02-18 |
Family
ID=33448338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030035341A KR100942841B1 (ko) | 2003-06-02 | 2003-06-02 | 액정표시소자의 검사 방법 및 장치와 리페어방법 및 장치 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7545162B2 (ko) |
KR (1) | KR100942841B1 (ko) |
CN (2) | CN1573482A (ko) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI270729B (en) * | 2004-07-07 | 2007-01-11 | Au Optronics Corp | A conductive line structure |
JP4688525B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2011-05-25 | 株式会社 日立ディスプレイズ | パターン修正装置および表示装置の製造方法 |
KR101146525B1 (ko) * | 2005-06-30 | 2012-05-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판 고정 지그 및 그 제조방법 |
KR20070038610A (ko) * | 2005-10-06 | 2007-04-11 | 삼성전자주식회사 | 표시 장치의 수리 장치 및 수리 방법 |
KR101303737B1 (ko) * | 2006-12-05 | 2013-09-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치 |
CN101650480B (zh) * | 2008-08-11 | 2011-04-13 | 北京京东方光电科技有限公司 | 液晶面板中离子浓度的分析方法和装置 |
US20100181847A1 (en) * | 2009-01-22 | 2010-07-22 | Shen-Yu Huang | Method for reducing supply voltage drop in digital circuit block and related layout architecture |
KR20110027979A (ko) * | 2009-09-11 | 2011-03-17 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 마스크 불량 검사 장치 |
TWI408382B (zh) * | 2009-11-13 | 2013-09-11 | 成像裝置的檢測方法及系統 | |
KR20120043850A (ko) | 2010-10-27 | 2012-05-07 | 삼성전자주식회사 | 레이저 광학계 및 이를 가지는 리페어 장치 및 방법 |
JP5323906B2 (ja) * | 2011-09-12 | 2013-10-23 | シャープ株式会社 | 配線欠陥検出方法および配線欠陥検出装置 |
CN102645435A (zh) * | 2012-04-19 | 2012-08-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板的检测方法和装置 |
CN102723311B (zh) | 2012-06-29 | 2014-11-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板制作方法 |
KR20140094723A (ko) * | 2013-01-21 | 2014-07-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판, 그것의 검사 방법 및 그것을 포함하는 액정 표시 장치 |
CN103293771B (zh) * | 2013-06-26 | 2015-11-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶配向检查机及方法 |
CN103885216A (zh) | 2014-02-10 | 2014-06-25 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种基板检测装置及方法 |
CN104570415B (zh) * | 2014-12-05 | 2017-07-18 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 金属线的修复方法及修复设备 |
CN104635113B (zh) * | 2015-02-09 | 2017-07-11 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种确定面板线路故障位置的方法及*** |
CN105907329B (zh) * | 2016-06-27 | 2019-01-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 粘合胶混合物、粘合胶检测装置、显示面板及制备方法 |
US10578937B2 (en) * | 2016-12-21 | 2020-03-03 | HKC Corporation Limited | Method and apparatus of repairing transistor |
JP2019184864A (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-24 | シャープ株式会社 | 表示装置 |
CN109545115A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-03-29 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 电性测试设备及电性测试设备十字线缺陷精确定位方法 |
CN114355690B (zh) * | 2022-03-16 | 2022-05-24 | 惠科股份有限公司 | 阵列基板及显示装置 |
CN114879389A (zh) * | 2022-05-23 | 2022-08-09 | 南京阿德庞斯信息科技有限公司 | 一种液晶显示器缺陷修复设备及其修复方法 |
CN115268128B (zh) * | 2022-08-04 | 2023-08-22 | 苏州华星光电技术有限公司 | 阵列基板、显示面板及其缺陷修复方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5073754A (en) | 1990-07-24 | 1991-12-17 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for testing LCD panel array using a magnetic field sensor |
JP2000055964A (ja) | 1998-08-10 | 2000-02-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄型表示装置用電極構造体の検査装置及びその検査方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3246704B2 (ja) * | 1995-02-27 | 2002-01-15 | シャープ株式会社 | 配線基板の検査装置 |
JPH08292406A (ja) * | 1995-04-24 | 1996-11-05 | Advantest Corp | Lcdパネル検査装置 |
DE19714221A1 (de) * | 1997-04-07 | 1998-10-08 | Zeiss Carl Fa | Konfokales Mikroskop mit einem motorischen Scanningtisch |
US6107806A (en) * | 1997-07-30 | 2000-08-22 | Candescent Technologies Corporation | Device for magnetically sensing current in plate structure |
JP2002022789A (ja) | 2000-07-05 | 2002-01-23 | Oht Inc | 検査装置及び検査方法 |
JP4562938B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2010-10-13 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置 |
-
2003
- 2003-06-02 KR KR1020030035341A patent/KR100942841B1/ko active IP Right Grant
-
2004
- 2004-05-18 US US10/847,288 patent/US7545162B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-06-02 CN CNA2004100462007A patent/CN1573482A/zh active Pending
- 2004-06-02 CN CN201110208171.XA patent/CN102253550B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5073754A (en) | 1990-07-24 | 1991-12-17 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for testing LCD panel array using a magnetic field sensor |
JP2000055964A (ja) | 1998-08-10 | 2000-02-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄型表示装置用電極構造体の検査装置及びその検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102253550B (zh) | 2014-07-23 |
US7545162B2 (en) | 2009-06-09 |
CN1573482A (zh) | 2005-02-02 |
KR20040103998A (ko) | 2004-12-10 |
CN102253550A (zh) | 2011-11-23 |
US20040239364A1 (en) | 2004-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100942841B1 (ko) | 액정표시소자의 검사 방법 및 장치와 리페어방법 및 장치 | |
JP5106166B2 (ja) | フラットパネルディスプレイの検査方法及び検査装置 | |
CN103620482B (zh) | 缺陷检查装置和缺陷检查方法 | |
JP5628410B2 (ja) | 欠陥検査方法、欠陥検査装置、及び基板の製造方法 | |
TWI633300B (zh) | 薄膜電晶體面板缺陷之檢測方法及其裝置 | |
KR101384518B1 (ko) | 도전패턴 검사장치 및 검사방법 | |
KR100996549B1 (ko) | 액정표시소자의 패턴검사시스템과 이를 이용한 패턴검사및 패턴복원방법 | |
JP3273973B2 (ja) | アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の検査装置およびその検査方法並びに検査装置用電気光学素子 | |
JP2008541181A (ja) | 導体路構造体の検査方法 | |
JPH08105926A (ja) | 配線パターン検査装置及び配線パターン検査方法 | |
KR100528695B1 (ko) | 평판표시장치의 검사방법 및 장치 | |
JPH08327658A (ja) | 基板検査装置 | |
KR100909781B1 (ko) | 액정표시장치용 어레이 기판의 검사장치 및 검사방법 | |
JP2014153177A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
KR100627546B1 (ko) | 자기센서와 카메라를 이용한 평판회로 전극선의 단선/단락위치 검출 장치 및 그 방법 | |
KR100671513B1 (ko) | 액정표시소자의 단락위치검출방법 | |
JP2004045763A (ja) | 液晶表示パネル検査方法及びその検査装置 | |
KR100555308B1 (ko) | 평판표시장치의 검사방법 및 장치 | |
KR20060014581A (ko) | 기판의 리페어 장치와 이를 이용한 기판의 리페어 방법 | |
JP3177330B2 (ja) | アクティブマトリクス表示装置の検査装置及び検査方法 | |
KR100495057B1 (ko) | 평면 표시 장치의 전계 검사 장치 및 그 방법 | |
JP5893436B2 (ja) | 画像表示された線領域の先端位置を特定する先端位置特定方法および先端位置特定装置、並びに、短絡欠陥の位置を特定する位置特定方法および位置特定装置 | |
JPH02136761A (ja) | 液晶表示パネル検査装置 | |
JP2007316244A (ja) | 素子基板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法 | |
KR20070071706A (ko) | 액정표시장치의 검사방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121228 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131227 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150127 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160128 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170116 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190114 Year of fee payment: 10 |