KR100920968B1 - 테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- N(N은 복수)개의 진공유로를 가지는 본체; 및상기 본체에 형성된 상기 N개의 진공유로의 전부 또는 일부에 대응되는 M(1≤M≤N)개의 진공통로가 형성되어 있고, 상기 M개의 진공통로에 각각 대응되게 구비되며 상기 진공통로를 통해 전달되는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지 해제가 가능한 M개의 픽커를 가지는 키트; 를 포함하며,상기 키트는 상기 본체에 탈착 가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 진공력에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지 해제가 가능한 N(N은 복수)개의 픽커와, 상기 N개의 픽커 중 L(0≤L<N)개의 픽커를 나머지 M(N-L)개의 픽커보다 높이 위치시켜 별도로 구분되어지게 장착하는 것이 가능한 장착부재를 가지는 본체; 및상기 본체에 탈착 가능하게 장착되며, 상기 M개의 픽커들의 좌우 간격이 조절된 상태를 유지시키는 것이 가능한 키트; 를 포함하고,상기 키트는,상기 본체에 장착되기 위한 장착플레이트; 및상기 장착플레이트에 일체로 결합되어 있으며, 상기 M개의 픽커들 간의 좌우 간격이 조절된 상태를 유지시키기 위한 좌우 간격 조절 부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 제2항에 있어서,상기 N개의 픽커 각각에는 좌우 간격 조절용 돌기가 형성되어 있고,상기 키트에는 상기 좌우 간격 조절용 돌기 각각이 삽입되는 M개의 간격조절홈이 형성되어 있어서 상기 M개의 픽커들 간의 좌우 간격이 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 2항에 있어서,상기 N개의 픽커 각각에는 상기 장착부재에 장착되기 위한 장착용 돌기가 형성되어 있고,상기 장착부재에는 상기 M개의 픽커에 형성된 상기 장착용 돌기가 삽입될 수 있게 좌우방향으로 수평하고 길게 장착홈이 형성되되, 상기 장착홈의 적어도 일 측 끝 부분은 상기 L개의 픽커를 상기 M개의 픽커와 별도로 구분하여 장착시키기 위해 좌우방향으로 수평한 부분보다 높은 위치로 연장되게 형성되는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 삭제
- 제2항에 있어서,상기 좌우 간격 조절 부재에는 상기 M개의 픽커들 사이에 삽입되어 상기 M개의 픽커들 사이를 일정 간격씩 이격시키기 위한 격벽들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 제6항에 있어서,상기 N개의 픽커 각각에는 탄성부재가 장착되어 있어서 일 측 격벽에 탄성력을 가함으로써 픽커가 타 측 격벽에 밀착되어 정렬될 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 제2항에 있어서,상기 N개의 픽커 각각에는 상하 유동을 방지하기 위한 상하 유동 방지홈이 형성되어 있고,상기 좌우 간격 조절 부재에는 상기 상하 유동 방지홈 각각에 삽입될 수 있는 상하 유동 방지돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 제2항에 있어서,상기 장착부재에는 좌우방향으로 수평하고 길게 상하방향으로 뚫린 장착구가 형성되어 있고,상기 N개의 픽커 각각에는 픽커의 하방향으로의 이탈을 방지하기 위한 걸림턱이 형성되어 있어서 상기 장착구에 장착된 픽커의 하방 이탈을 방지시키도록 되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 제2항에 있어서,상기 장착부재는 상기 L개의 픽커를 상기 M개의 픽커와 별도로 구분하여 장착시키기 위한 구분 장착기를 가지는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 본체;진공력에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지 해제가 가능한 N(N은 복수)개의 픽커;상기 본체에 탈착 가능하게 장착되며, 상기 N개의 픽커 중 L(0≤L<N)개의 픽커를 나머지 M(N-L)개의 픽커보다 높이 위치시켜 별도로 구분하여 장착하는 것이 가능하고, 상기 M개의 픽커들의 좌우 간격이 조절된 상태를 유지시키는 것이 가능한 키트; 를 포함하며,상기 키트는 상기 L개의 픽커를 상기 M개의 픽커와 별도로 구분하여 장착시키기 위한 구분 장착기를 가지는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 제11항에 있어서,상기 키트에는 상기 M개의 픽커들 사이에 삽입되어 상기 M개의 픽커들 사이를 일정 간격씩 이격시키기 위한 격벽들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 제12항에 있어서,상기 격벽들에는 각각 탄성부재가 장착되어 있어서 픽커에 탄성력을 가함으로써 픽커가 타 측 격벽에 밀착되어 정렬될 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 제12항에 있어서,상기 N개의 픽커 각각에는 상하 유동을 방지하기 위한 상하 유동 방지홈이 형성되어 있고,상기 격벽들에는 상기 상하 유동 방지홈 각각에 삽입될 수 있는 상하 유동 방지돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는테스트핸들러용 픽앤플레이스모듈.
- 삭제
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