KR100918714B1 - 전극 내장형 서셉터 및 그 제조 방법 - Google Patents
전극 내장형 서셉터 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 산화알루미늄계 소결체제(燒結體製)의 서셉터 기체(基體)와, 상기 서셉터 기체 중에 내장된 내부 전극과, 이 내부 전극에 접하도록 설치된 급전용 단자로 이루어지고, 상기 내부 전극이 탄화몰리브덴을 30∼95체적%, 산화알루미늄을 7O∼5체적% 포함하는 산화알루미늄-탄화몰리브덴계 복합 소결체로 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 전극 내장형 서셉터.
- 제1항에 있어서, 상기 서셉터 기체가 산화알루미늄계 소결체제의 제1 기체와, 이 제1 기체와 접합 일체화된 산화알루미늄계 소결체제의 제2 기체로 이루어진 것을 특징으로 하는 전극 내장형 서셉터.
- 제2항에 있어서, 상기 내부 전극의 형성 부분 이외의 영역에, 상기 제1 기체와 상기 제2 기체를 구성하는 재료와 동일 조성의 또는 주성분이 동일한 재료 분말로 이루어진 절연재층을 형성한 전극 내장형 서셉터.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 급전용 단자가 산화알루미늄-탄화몰리브덴계 복합 소결체, 산화알루미늄-탄화탄탈륨계 복합 소결체, 산화알루미늄-텅스텐계 복합 소결체, 산화알루미늄-탄화규소계 복합 소결체 중 어느 하나로 형성되어 이루어진 전극 내장형 서셉터.
- 제3항에 있어서, 상기 급전용 단자가 산화알루미늄-탄화몰리브덴계 복합 소결체, 산화알루미늄-탄화탄탈륨계 복합 소결체, 산화알루미늄-텅스텐계 복합 소결체, 산화알루미늄-탄화규소계 복합 소결체 중 어느 하나로 형성되어 이루어진 전극 내장형 서셉터.
- 산화알루미늄계 소결체제의 제2 기체에 구멍을 형성하고, 이 구멍에 제2 기체를 관통하도록 급전용 단자를 고정하며, 이어서 이 급전용 단자를 유지하는 제2 기체 위에, 급전용 단자에 접하도록, 탄화몰리브덴을 30∼95체적% 및 산화알루미늄을 70∼5체적% 포함하는 산화알루미늄-탄화몰리브덴계 복합재를 포함하는 도포재를 도포하고 건조시키고, 이 도포재의 도포면을 개재하여 상기 제2 기체와 산화알루미늄계 소결체제의 제1 기체를 중첩시키고, 가압하에서 열처리하는 것에 의하여, 이들을 접합 일체화함과 동시에, 이들 제1 기체와 제2 기체 사이에 산화알루미늄-탄화몰리브덴계 복합 소결체로 이루어진 내부 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 전극 내장형 서셉터의 제조 방법.
- 산화알루미늄계 분말로부터 소결 후에 각각 제1 기체 및 제2 기체가 되는 제1 그린체 및 제2 그린체를 제작하고, 제2 그린체에 구멍을 형성하고, 이 구멍에 제2 그린체를 관통하도록 급전용 단자를 고정하고, 이어서 이 급전용 단자를 유지하는 그린체 위에, 탄화몰리브덴을 30∼95체적%, 산화알루미늄을 70∼5체적% 포함하는 산화알루미늄-탄화몰리브덴계 복합재를 포함하는 도포재를, 급전용 단자에 접하도록 도포하고 건조시키고, 그리고나서 이 도포재의 도포면을 개재하여 상기 제2 그린체와 제1 그린체를 중첩시키고, 가압하에서 열처리하여, 소결하는 것에 의하여, 접합 일체화된 제1 기체 및 제2 기체를 형성함과 동시에, 제1 및 제2 기체 사이에 산화알루미늄-탄화몰리브덴계 복합 소결체로 이루어진 내부 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 전극 내장형 서셉터의 제조 방법.
- 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 내부 전극의 형성 부분 이외의 영역에, 상기 제1 기체 및 상기 제2 기체를 구성하는 재료와 동일 조성의 또는 주성분이 동일한 재료 분말로 이루어진 절연재층을 형성하는 것을 특징으로 하는 전극 내장형 서셉터의 제조 방법.
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