KR100908589B1 - 막두께 측정장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 절연체기판 또는 반도체기판 상에 형성된 기지(旣知)의 비저항을 갖는 도전막 근방의 소정 위치에 배치 가능하게 구성되고, 상기 도전막에 대하여 소정의 와전류를 발생시키고, 또한 상기 와전류에 의한 자계를 검출하는 와전류 코일 센서,상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 변위를 측정하기 위한 변위 센서, 및기지의 막두께의 상기 도전막에 대하여, 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 거리와, 상기 거리에 있어서 상기 도전막에 발생시킨 와전류에 의한 상기 와전류 코일 센서의 인덕턴스 성분의 변화량을, 대응시켜 데이터 베이스로서 기억한 기억 수단을 구비하고,상기 도전막에 대하여, 와전류를 발생시킨 경우에 있어서, 상기 변위 센서로 측정된 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 변위량과, 상기 와전류 코일 센서의 인덕턴스 성분의 변화량을, 상기 기억 수단에 기억된 데이터 베이스와 비교함으로써, 상기 도전막의 두께를 측정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 와전류 코일 센서에 의해 와전류를 발생시키는 상기 도전막의 부위와, 상기 변위 센서에 의해 변위를 측정하는 상기 도전막의 부위가 일치하도록 구성되 는 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 변위 센서는, 상기 도전막에 대한 레이저 빔의 조사에 의해 변위를 측정하는 레이저 변위 센서인 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 변위 센서는, 상기 도전막 사이의 정전 용량을 검출함으로써 변위를 측정하는 정전 용량 변위 센서인 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 레이저 변위 센서의 레이저 빔이 상기 와전류 코일 센서를 관통하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 와전류 코일 센서와 상기 정전 용량 변위 센서가 동축(同軸) 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 절연체기판 또는 반도체기판 상에 형성된 기지(旣知)의 비저항을 갖는 도전막 근방의 소정 위치에 배치 가능하게 구성되고, 상기 도전막에 대하여 소정의 와 전류를 발생시키고, 또한 상기 와전류에 의한 자계를 검출하는 와전류 코일 센서,상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 사이의 변위를 측정하기 위한 변위 센서,기지의 막두께의 상기 도전막에 대하여, 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 거리와, 상기 거리에 있어서 상기 도전막에 발생시킨 와전류에 의한 상기 와전류 코일 센서의 인덕턴스 성분의 변화량을, 대응시켜 데이터 베이스로서 기억한 기억 수단, 및상기 변위 센서로 측정된 변위량을 이용하여, 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 사이의 상대적인 거리를 일정하게 조정하기 위한 이동 기구를 구비하고,상기 변위 센서에서 얻어진 결과에 기초하여 상기 도전막과 상기 와전류 코일 센서 사이의 상대적인 거리를 일정하게 유지한 상태에서, 상기 도전막에 대하여, 와전류를 발생시킨 경우에 있어서, 상기 변위 센서로 측정된 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 변위량과, 상기 와전류 코일 센서의 인덕턴스 성분의 변화량을, 상기 기억 수단에 기억된 데이터 베이스와 비교함으로써, 상기 도전막의 두께를 측정하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 와전류 코일 센서에 의해 와전류를 발생시키는 상기 도전막의 부위와, 상기 변위 센서에 의해 변위를 측정하는 상기 도전막의 부위가 일치하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 변위 센서는, 상기 도전막에 대한 레이저 빔의 조사에 의해 변위를 측정하는 레이저 변위 센서인 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 변위 센서는, 상기 도전막 사이의 정전 용량을 검출함으로써 변위를 측정하는 정전 용량 변위 센서인 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 레이저 변위 센서의 레이저 빔이 상기 와전류 코일 센서를 관통하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 와전류 코일 센서와 상기 정전 용량 변위 센서가 동축(同軸) 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 막두께 측정장치.
- 와전류 코일 센서와 변위 센서를 구비한 막두께 측정장치를 이용하여, 절연체기판 또는 반도체기판 상에 형성된 기지(旣知)의 비저항을 갖는 도전막의 막두께를 측정하는 방법으로서,상기 도전막에 대응하는 상이한 막두께의 막에 관하여, 그 막두께와, 상기 와전류 코일 센서에 의해 와전류를 발생시킨 경우에 있어서의 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 거리와, 상기 와전류 코일 센서의 인덕턴스 성분의 변화량을, 미리 측정하여 각각의 데이터를 대응시켜 데이터 베이스로서 기억해 두고,상기 변위 센서에 의해 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 변위를 측정하고,상기 와전류 코일 센서에 의해 상기 도전막에 대하여 와전류를 발생시켜 상기 와전류에 의한 자계를 검출하고,상기 와전류 발생시에 있어서의 상기 변위 센서로 측정된 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 변위량과, 상기 와전류 코일 센서의 인덕턴스 성분의 변화량을, 상기 데이터 베이스와 비교함으로써, 상기 도전막의 두께를 산출하는 단계를 갖는, 막두께 측정 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 와전류를 발생시킬 때, 상기 와전류 코일 센서와 상기 도전막 표면 사이의 거리가, 상기 데이터 베이스에 기억된 거리 데이터와 일치하도록, 상기 도전막과 상기 와전류 코일 센서를 상대적으로 이동시키는, 막두께 측정 방법.
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