KR100900961B1 - 잉크젯 헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

잉크젯 헤드 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

잉크젯 헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 격벽에 의하여 구분되는 복수의 챔버(chamber); 복수의 챔버의 일면을 커버하는 소정 두께의 멤브레인(membrane); 챔버의 위치에 상응하여 상기 멤브레인에 결합되는 복수의 압전소자; 복수의 압전소자 사이에, 격벽의 위치에 상응하여, 멤브레인의 두께 방향으로 함몰되어 형성되는 홈; 및 홈에 충전된 방진재를 포함하는 잉크젯 헤드가 개시된다. 이에 의하면, 챔버를 구획하는 격벽에 방진재가 충전된 홈을 형성함으로써 크로스토크(crosstalk) 현상을 방지할 수 있다.
잉크젯 헤드, 크로스토크, crosstalk, 방진재, 홈

Description

잉크젯 헤드 및 그 제조방법{inkjet head and manufacturing method there of}
본 발명은 잉크젯 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 잉크젯 헤드의 구조를 나타내는 단면도이고, 도 2는 종래기술에 의한 잉크젯 헤드의 사시도이다.
도 1에서 보여지는 바와 같이 잉크젯 헤드는 노즐(11)과 리저버(21)와 유로(31)와 리스트릭터(41)와 챔버(51)를 포함한다. 이러한 구조를 형성하기 위해 잉크젯 헤드는 복수의 판으로 이루어진다. 잉크젯 헤드는 노즐판(10), 리저버판(20), 유로판(30), 리스트릭터판(40) 및 챔버판(50)을 포함한다. 한편, 유로판(30)과 챔버판(50)의 사이로 적층되는 리스트릭터 판(40)을 생략하고 유로판(30)을 챔버판(50)에 직접 적층하여 잉크젯 헤드를 형성할 수 있다. 잉크젯 헤드는 진동판(60), 하부전극(70), 압전체(80) 및 상부전극(90)을 포함하는 액추에이터에 의하여 구동된다.
전술한 헤드의 구조는 각각의 판 구조를 별도로 제작하여 이들을 서로 접착제등에 의해 접합시키거나 하나의 판 구조를 먼저 제작한 후 스크린 프린팅이나 금속 확산법을 사용하여 다른 판 구조를 적층하여 형성된다. 이는 잉크젯 헤드의 제조공정을 복잡하게 하고 각 판 구조들을 정확히 정렬(alignment)시키기 어렵다.
한편, 도 2에서 보여지는 바와 같이, 잉크젯 헤드는 복수의 챔버와 그에 상응하는 구동부를 포함할 수 있다. 이 경우, 한 챔버의 구동을 위한 진동이 인접한 다른 챔버로 전달되어 구동신호가 인가되지 않은 주변 챔버에도 진동이 발생하는 크로스토크(Crosstalk)의 문제가 발생할 수 있다. 이에 따라 불안정한 잉크 액적 분사가 진행되어 인쇄품질이 나빠지는 문제점이 있다.
본 발명은 복수의 챔버를 포함하는 잉크젯 헤드에서, 방진재가 충전된 크로스토크 방지 홈을 형성함으로써 챔버의 구동을 위한 진동이 인접한 다른 챔버로 전달되는 것을 방지하여 크로스토크(crosstalk)를 방지할 수 있는 잉크젯 헤드를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 격벽에 의하여 구분되는 복수의 챔버(chamber); 복수의 챔버의 일면을 커버하는 소정 두께의 멤브레인(membrane); 챔 버의 위치에 상응하여 멤브레인에 결합되는 복수의 압전소자; 복수의 압전소자 사이에, 격벽의 위치에 상응하여, 멤브레인의 두께 방향으로 함몰되어 형성되는 홈; 및 홈에 충전된 방진재를 포함하는 잉크젯 헤드가 제공된다.
홈의 깊이는 멤브레인의 두께 이상의 값을 가질 수 있고, 홈에 충전되는 방진재는 폴리우레탄 및 실리콘 고무로 구성되는 군에서 선택된 하나의 물질로 이루질 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 격벽으로 구획된 복수의 챔버를 포함하는 챔버부를 제공하는 단계; 상기 챔버를 구획하는 상기 격벽과 상응하는 위치에 홈을 형성하는 단계; 및 홈에 방진재를 충전하는 단계를 포함하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법이 제공된다.
홈에 방진재를 충전하는 단계는 스크린 프린팅 방법으로 수행될 수 있고, 액상의 방진재를 사용하는 것을 특징으로 할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면 격벽으로 구획된 복수의 챔버를 포함하는 잉크젯 헤드에서 챔버를 구획하는 격벽에 방진재가 충전된 홈을 형성함으로써 크로스토크(Crosstalk) 현상을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 게시물 제공방법의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 단면도이다. 도 3 및 4를 참조하면, 챔버(300), 노즐(301), 유로(302), 챔버부(310), 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노 즐기판(313), 압전소자(320), 격벽(330), 홈(340), 방진재(341)가 도시되어 있다.
챔버(300)는 챔버부(310) 내의 공간을 의미한다. 챔버(300)는 잉크젯 헤드에서 잉크가 저장되는 공간이다. 챔버(300)는 잉크젯 헤드에서 복수개가 일렬로 정렬된 형태로 형성될 수 있다. 각 챔버(300)는 격벽(330)에 의하여 구획된다.
챔버부(310)는 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313)이 결합하여 형성된다. 멤브레인(311)은 챔버(300)를 커버한다. 멤브레인(311)은 챔버(300)로 잉크가 유입되는 유로(302)에 상응하는 구조를 포함할 수 있다. 멤브레인(311)은 별도의 구조물로서 형성될 수 있으나, 챔버기판(312)의 일부를 식각하는 방법 등에 의하여 형성될 수 도 있다.
노즐기판(313)은 잉크젯 헤드에서 잉크가 토출되는 부분인 노즐(301)에 상응하는 구조를 포함한다. 노즐(301)은 노즐기판(313)을 식각하는 방법 등에 의하여 형성될 수 있다.
압전소자(320)는 멤브레인(311) 상에서 챔버(300)와 상응하는 위치에 결합된다. 압전소자(320)는 전기적 신호에 의하여 멤브레인(311)을 진동시켜 챔버(300) 내의 압력을 변화시킨다. 챔버(300) 내의 압력이 변화되면 잉크가 노즐(301)을 통하여 토출된다.
압전소자(320)에 의한 멤브레인(311)의 진동이 이웃하는 챔버(300)에 전달될 경우, 크로스토크 현상이 유발될 수 있다.
홈(340)은 챔버(300)를 구획하는 격벽(330)에 위치한다. 본 실시예에서 격벽(330)이라 함은 별도의 구조물을 의미하는 것이 아니라, 멤브레인(311), 챔버기 판(312), 노즐기판(313)에 의하여 형성되고 챔버(300)를 구획하는 구조를 통칭하는 것으로 이해될 수 있다. 홈(340)은 멤브레인(311)을 관통하여 멤브레인(311)의 두께방향으로 격벽(330)에 매립되어 있다.
홈(340)에는 방진재(341)가 충전된다. 본 실시예에서 방진재(341)는 폴리 우레탄 및 실리콘 고무로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질로 이루어질 수 있다. 방진재(341)는 압전소자(320)에 의하여 야기된 멤브레인(311)의 진동을 흡수한다.
한편, 방진재(341)를 이루는 물질이 본 실시예에서 언급한 물질로 한정되는 것은 아니며, 이웃하는 챔버(300) 사이에서 전달되는 진동을 효과적으로 차단할 수 있는 물질이라면 다른 소재가 사용될 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 잉크젯 헤드는, 복수의 챔버(300)를 구획하는 격벽(330)에 방진재(341)가 충전되는 홈(340)을 형성함으로써 크로스토크를 방지하는 것에 특징이 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 공정도이고, 도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 순서도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 챔버(300), 노즐(301), 챔버부(310), 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313), 압전소자(320), 격벽(330), 홈(340), 방진재(341)가 도시되어 있다.
챔버부를 제공하는 단계(S610)는 도 5의 (a) 내지 (b)를 참조하여 설명된다. 챔버부(310)는 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313)을 포함한다. 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313)은 같은 재질의 실리콘 웨이퍼를 가공하여 형성될 수 있다.
챔버부(310)를 형성하는 데 사용되는 결합방법으로서, 실리콘 기판에 대해서는 실리콘 다이렉트 본딩이 사용될 수 있다. 실리콘-글래스 기판의 경우에는 어노딕 본딩 등의 방법이 사용될 수 있다.
한편, 본 발명이 앞서 언급된 챔버부(310)의 형성공정으로 한정되는 것은 아니며, 도 1에서 보여진 바와 같이 복수의 판을 적층함으로써 형성되는 구조의 잉크젯 헤드의 경우도 포함한다.
챔버를 구획하는 격벽과 상응하는 위치에 홈을 형성하는 단계(S620)는 도 5의 (c)를 참조하여 설명된다.
본 실시예에서 챔버부(310)는 실리콘 기판으로 형성되므로, 에칭 공정을 사용하여 홈(340)이 형성될 수 있다. 홈(340)의 깊이는 에칭 공정의 조건에 따라 조절될 수 있다.
멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313)의 물성이 서로 다른 경우에는 그 물성에 상응하는 에처를 사용함으로써 홈(340)의 깊이를 조절할 수 도 있다.
멥브레인(311)만이 에칭되는 경우 홈(340)의 깊이는 멤브레인(311)의 두께와 실질적으로 같은 값을 가질 수 있다. 또한, 챔버기판(312), 노즐기판(313)까지 에칭되는 경우에는 홈(340)의 깊이는 멤브레인(311)의 두께보다 큰 값을 가지게 된다.
이와 같이 홈(340)의 깊이를 조절함으로써 인접한 챔버(300)간에 전달되는 진동을 효율적으로 차단할 수 있다.
한편, 에칭 공정 이외에도 레이저 가공 등의 방법을 사용하여 홈(340)을 형성할 수 도 있다.
한편, 챔버부(310)가 도1에서 보여진 바와 같이 복수의 기판을 적층하여 형성되는 경우에는 각 기판에 홈(340)의 형상에 상응하는 구조가 미리 형성되고, 이들의 결합으로 홈(340)이 형성될 수 있다.
홈에 방진재를 충전하는 단계(S630)는 도 5의 (d)를 참조하여 설명된다. 방진재(341)는 스크린 프린팅 기법에 의하여 홈(340)에 충전될 수 있다. 홈(340)의 위치에 상응하는 개구부를 가진 마스크를 사용하여 멤브레인(311)을 커버한 후, 방진재를 적용하여 홈(340)을 충전할 수 있다.
또한, 상대적으로 깊은 홈(340)을 충전하는 경우, 액상의 방진재를 사용하는 것이 유리할 수 있다. 이 경우, 액상의 방진재를 건조하는 추가적인 공정이 요구될 수 있다.
한편, 방진재(341)가 홈(340)을 가득 채울 필요는 없으며, 본 발명의 목적범위 내에서 홈(340)의 일부만을 충전하는 것도 가능하다.
구동부를 형성하는 단계(S640)는 도 5의 (e)를 참조하여 설명된다. 본 실시예에서 구동부는 압전소자(320)이다.
완성된 형태의 압전소자(320)는 상부전극, 하부전극, 압전층을 포함할 수 있 다. 완성된 형태의 압전소자(320)를 멤브레인(311)에 부착하는 방법으로 구동부를 형성할 수 있다. 한편, 압전소자(320)의 하부전극을 멤브레인(311) 상에 형성하고, 압전층 및 상부전극을 차례로 형성하는 방법이 사용될 수도 있다.
한편, 본 실시예에서 방진재(341)가 홈(340)에 충전된 이후에 압전소자(320)가 형성되었으나, 압전소자(320)가 형성된 상태에서 홈(340)이 형성될 수도 있다. 이 경우, 레이저 드릴링 방법 등에 의한 기계적 가공 등이 사용될 수 있다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 실시예를 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예는 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 잉크젯 헤드의 구조를 나타내는 도면이다.
도 2는 종래기술에 따른 잉크젯 헤드의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 공정도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
300: 챔버 301: 노즐
302: 유로 310: 챔버부
311: 멤브레인 312: 챔버기판
313: 노즐기판 320: 압전소자
330: 격벽 340: 홈
341: 방진재

Claims (6)

  1. 격벽에 의하여 구분되는 복수의 챔버;
    상기 복수의 챔버의 일면을 커버하는 소정 두께의 멤브레인;
    상기 챔버의 위치에 상응하여 상기 멤브레인에 결합되는 복수의 압전소자;
    상기 복수의 압전소자 사이에, 상기 격벽의 위치에 상응하여, 상기 멤브레인의 두께 방향으로 함몰되어 형성되는 홈; 및
    상기 홈에 충전된 방진재를 포함하는 잉크젯 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 홈의 깊이는 상기 멤브레인의 두께 이상의 값을 가지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 방진재는 폴리우레탄 및 실리콘 고무로 구성되는 군에서 선택된 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  4. 격벽으로 구획된 복수의 챔버를 포함하는 챔버부를 제공하는 단계;
    상기 챔버를 구획하는 상기 격벽과 상응하는 위치에 홈을 형성하는 단계; 및
    상기 홈에 방진재를 충전하는 단계를 포함하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 방진재를 충전하는 단계는 스크린 프린팅 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 방진재를 충전하는 단계는 액상의 방진재를 사용하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108649629B (zh) * 2018-05-05 2021-06-22 谢娟 一种具有防尘功能的充电设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06115070A (ja) * 1992-10-02 1994-04-26 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド製造方法
JP2002059544A (ja) 2000-08-17 2002-02-26 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
JP2002059554A (ja) 2000-08-18 2002-02-26 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
KR20060031075A (ko) * 2004-10-07 2006-04-12 삼성전자주식회사 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06115070A (ja) * 1992-10-02 1994-04-26 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド製造方法
JP2002059544A (ja) 2000-08-17 2002-02-26 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
JP2002059554A (ja) 2000-08-18 2002-02-26 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
KR20060031075A (ko) * 2004-10-07 2006-04-12 삼성전자주식회사 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법

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