KR100900961B1 - Inkjet head and manufacturing method there of - Google Patents

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Abstract

잉크젯 헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 격벽에 의하여 구분되는 복수의 챔버(chamber); 복수의 챔버의 일면을 커버하는 소정 두께의 멤브레인(membrane); 챔버의 위치에 상응하여 상기 멤브레인에 결합되는 복수의 압전소자; 복수의 압전소자 사이에, 격벽의 위치에 상응하여, 멤브레인의 두께 방향으로 함몰되어 형성되는 홈; 및 홈에 충전된 방진재를 포함하는 잉크젯 헤드가 개시된다. 이에 의하면, 챔버를 구획하는 격벽에 방진재가 충전된 홈을 형성함으로써 크로스토크(crosstalk) 현상을 방지할 수 있다.An inkjet head and a method of manufacturing the same are disclosed. A plurality of chambers separated by partition walls; A membrane of a predetermined thickness covering one surface of the plurality of chambers; A plurality of piezoelectric elements coupled to the membrane corresponding to the position of the chamber; A groove formed between the plurality of piezoelectric elements, the recess being formed in the thickness direction of the membrane corresponding to the position of the partition wall; And an anti-vibration material filled in a groove. According to this, the crosstalk phenomenon can be prevented by forming the groove | channel filled with the dustproof material in the partition which partitions a chamber.

잉크젯 헤드, 크로스토크, crosstalk, 방진재, 홈 Inkjet head, crosstalk, crosstalk, dustproof, groove

Description

잉크젯 헤드 및 그 제조방법{inkjet head and manufacturing method there of}Inkjet head and manufacturing method thereof

본 발명은 잉크젯 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inkjet head and a method of manufacturing the same.

도 1은 종래기술에 따른 잉크젯 헤드의 구조를 나타내는 단면도이고, 도 2는 종래기술에 의한 잉크젯 헤드의 사시도이다.1 is a cross-sectional view showing the structure of an ink jet head according to the prior art, and FIG. 2 is a perspective view of the ink jet head according to the prior art.

도 1에서 보여지는 바와 같이 잉크젯 헤드는 노즐(11)과 리저버(21)와 유로(31)와 리스트릭터(41)와 챔버(51)를 포함한다. 이러한 구조를 형성하기 위해 잉크젯 헤드는 복수의 판으로 이루어진다. 잉크젯 헤드는 노즐판(10), 리저버판(20), 유로판(30), 리스트릭터판(40) 및 챔버판(50)을 포함한다. 한편, 유로판(30)과 챔버판(50)의 사이로 적층되는 리스트릭터 판(40)을 생략하고 유로판(30)을 챔버판(50)에 직접 적층하여 잉크젯 헤드를 형성할 수 있다. 잉크젯 헤드는 진동판(60), 하부전극(70), 압전체(80) 및 상부전극(90)을 포함하는 액추에이터에 의하여 구동된다.As shown in FIG. 1, the inkjet head includes a nozzle 11, a reservoir 21, a flow path 31, a restrictor 41, and a chamber 51. In order to form such a structure, the inkjet head is composed of a plurality of plates. The inkjet head includes a nozzle plate 10, a reservoir plate 20, a flow path plate 30, a restrictor plate 40, and a chamber plate 50. Meanwhile, the restrictor plate 40 stacked between the flow path plate 30 and the chamber plate 50 may be omitted, and the flow path plate 30 may be directly stacked on the chamber plate 50 to form an inkjet head. The inkjet head is driven by an actuator including a diaphragm 60, a lower electrode 70, a piezoelectric body 80, and an upper electrode 90.

전술한 헤드의 구조는 각각의 판 구조를 별도로 제작하여 이들을 서로 접착제등에 의해 접합시키거나 하나의 판 구조를 먼저 제작한 후 스크린 프린팅이나 금속 확산법을 사용하여 다른 판 구조를 적층하여 형성된다. 이는 잉크젯 헤드의 제조공정을 복잡하게 하고 각 판 구조들을 정확히 정렬(alignment)시키기 어렵다. The above-described head structure is formed by separately manufacturing each plate structure and bonding them to each other by an adhesive or the like, or by manufacturing one plate structure first and then laminating other plate structures using screen printing or metal diffusion. This complicates the manufacturing process of the inkjet head and it is difficult to align each plate structure correctly.

한편, 도 2에서 보여지는 바와 같이, 잉크젯 헤드는 복수의 챔버와 그에 상응하는 구동부를 포함할 수 있다. 이 경우, 한 챔버의 구동을 위한 진동이 인접한 다른 챔버로 전달되어 구동신호가 인가되지 않은 주변 챔버에도 진동이 발생하는 크로스토크(Crosstalk)의 문제가 발생할 수 있다. 이에 따라 불안정한 잉크 액적 분사가 진행되어 인쇄품질이 나빠지는 문제점이 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the inkjet head may include a plurality of chambers and a corresponding driving part. In this case, the vibration for driving one chamber may be transferred to another adjacent chamber, so that a problem of crosstalk may occur, in which the vibration occurs in the surrounding chamber to which the driving signal is not applied. Accordingly, there is a problem that unstable ink droplet injection proceeds and print quality deteriorates.

본 발명은 복수의 챔버를 포함하는 잉크젯 헤드에서, 방진재가 충전된 크로스토크 방지 홈을 형성함으로써 챔버의 구동을 위한 진동이 인접한 다른 챔버로 전달되는 것을 방지하여 크로스토크(crosstalk)를 방지할 수 있는 잉크젯 헤드를 제공하는 것이다. In the inkjet head including a plurality of chambers, the present invention can prevent crosstalk by forming a crosstalk prevention groove filled with a dustproof material, thereby preventing vibration for driving the chamber from being transferred to another adjacent chamber. It is to provide an inkjet head.

본 발명의 일 측면에 따르면, 격벽에 의하여 구분되는 복수의 챔버(chamber); 복수의 챔버의 일면을 커버하는 소정 두께의 멤브레인(membrane); 챔 버의 위치에 상응하여 멤브레인에 결합되는 복수의 압전소자; 복수의 압전소자 사이에, 격벽의 위치에 상응하여, 멤브레인의 두께 방향으로 함몰되어 형성되는 홈; 및 홈에 충전된 방진재를 포함하는 잉크젯 헤드가 제공된다. According to an aspect of the invention, a plurality of chambers (chamber) separated by a partition; A membrane of a predetermined thickness covering one surface of the plurality of chambers; A plurality of piezoelectric elements coupled to the membrane corresponding to the position of the chamber; A groove formed between the plurality of piezoelectric elements, the recess being formed in the thickness direction of the membrane corresponding to the position of the partition wall; And an anti-vibration material filled in the groove.

홈의 깊이는 멤브레인의 두께 이상의 값을 가질 수 있고, 홈에 충전되는 방진재는 폴리우레탄 및 실리콘 고무로 구성되는 군에서 선택된 하나의 물질로 이루질 수 있다. The depth of the groove may have a value greater than or equal to the thickness of the membrane, and the dustproof material filled in the groove may be made of one material selected from the group consisting of polyurethane and silicone rubber.

또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 격벽으로 구획된 복수의 챔버를 포함하는 챔버부를 제공하는 단계; 상기 챔버를 구획하는 상기 격벽과 상응하는 위치에 홈을 형성하는 단계; 및 홈에 방진재를 충전하는 단계를 포함하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법이 제공된다. In addition, according to another aspect of the invention, providing a chamber portion including a plurality of chambers partitioned by a partition; Forming a groove at a position corresponding to the partition wall defining the chamber; And it provides an inkjet head manufacturing method comprising the step of filling the dust-proof material in the groove.

홈에 방진재를 충전하는 단계는 스크린 프린팅 방법으로 수행될 수 있고, 액상의 방진재를 사용하는 것을 특징으로 할 수 있다. Filling the dustproof material in the groove may be performed by a screen printing method, it may be characterized by using a liquid-proof dustproof material.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면 격벽으로 구획된 복수의 챔버를 포함하는 잉크젯 헤드에서 챔버를 구획하는 격벽에 방진재가 충전된 홈을 형성함으로써 크로스토크(Crosstalk) 현상을 방지할 수 있다.According to a preferred embodiment of the present invention, a crosstalk phenomenon can be prevented by forming a groove filled with a dustproof material in a partition wall partitioning a chamber in an inkjet head including a plurality of chambers partitioned by partition walls.

이하, 본 발명에 따른 게시물 제공방법의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the post providing method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. In addition, in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components will be given the same reference numerals and redundant description thereof will be omitted.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 단면도이다. 도 3 및 4를 참조하면, 챔버(300), 노즐(301), 유로(302), 챔버부(310), 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노 즐기판(313), 압전소자(320), 격벽(330), 홈(340), 방진재(341)가 도시되어 있다.3 is a perspective view of the ink jet head according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the ink jet head according to the first embodiment of the present invention. 3 and 4, the chamber 300, the nozzle 301, the flow path 302, the chamber part 310, the membrane 311, the chamber substrate 312, the furnace plate 313, and the piezoelectric element ( 320, a partition 330, a groove 340, and a dustproof material 341 are shown.

챔버(300)는 챔버부(310) 내의 공간을 의미한다. 챔버(300)는 잉크젯 헤드에서 잉크가 저장되는 공간이다. 챔버(300)는 잉크젯 헤드에서 복수개가 일렬로 정렬된 형태로 형성될 수 있다. 각 챔버(300)는 격벽(330)에 의하여 구획된다.The chamber 300 refers to a space in the chamber 310. The chamber 300 is a space in which ink is stored in the inkjet head. The chamber 300 may be formed in a shape in which a plurality of the inkjet heads are arranged in a line. Each chamber 300 is partitioned by a partition 330.

챔버부(310)는 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313)이 결합하여 형성된다. 멤브레인(311)은 챔버(300)를 커버한다. 멤브레인(311)은 챔버(300)로 잉크가 유입되는 유로(302)에 상응하는 구조를 포함할 수 있다. 멤브레인(311)은 별도의 구조물로서 형성될 수 있으나, 챔버기판(312)의 일부를 식각하는 방법 등에 의하여 형성될 수 도 있다. The chamber 310 is formed by combining the membrane 311, the chamber substrate 312, and the nozzle substrate 313. Membrane 311 covers chamber 300. The membrane 311 may include a structure corresponding to the flow path 302 into which ink is introduced into the chamber 300. The membrane 311 may be formed as a separate structure, but may also be formed by a method of etching a part of the chamber substrate 312.

노즐기판(313)은 잉크젯 헤드에서 잉크가 토출되는 부분인 노즐(301)에 상응하는 구조를 포함한다. 노즐(301)은 노즐기판(313)을 식각하는 방법 등에 의하여 형성될 수 있다. The nozzle substrate 313 includes a structure corresponding to the nozzle 301 which is a portion where ink is discharged from the inkjet head. The nozzle 301 may be formed by a method of etching the nozzle substrate 313.

압전소자(320)는 멤브레인(311) 상에서 챔버(300)와 상응하는 위치에 결합된다. 압전소자(320)는 전기적 신호에 의하여 멤브레인(311)을 진동시켜 챔버(300) 내의 압력을 변화시킨다. 챔버(300) 내의 압력이 변화되면 잉크가 노즐(301)을 통하여 토출된다.The piezoelectric element 320 is coupled to a position corresponding to the chamber 300 on the membrane 311. The piezoelectric element 320 vibrates the membrane 311 by an electrical signal to change the pressure in the chamber 300. When the pressure in the chamber 300 changes, ink is discharged through the nozzle 301.

압전소자(320)에 의한 멤브레인(311)의 진동이 이웃하는 챔버(300)에 전달될 경우, 크로스토크 현상이 유발될 수 있다. When the vibration of the membrane 311 by the piezoelectric element 320 is transmitted to the adjacent chamber 300, crosstalk may occur.

홈(340)은 챔버(300)를 구획하는 격벽(330)에 위치한다. 본 실시예에서 격벽(330)이라 함은 별도의 구조물을 의미하는 것이 아니라, 멤브레인(311), 챔버기 판(312), 노즐기판(313)에 의하여 형성되고 챔버(300)를 구획하는 구조를 통칭하는 것으로 이해될 수 있다. 홈(340)은 멤브레인(311)을 관통하여 멤브레인(311)의 두께방향으로 격벽(330)에 매립되어 있다.The groove 340 is located in the partition wall 330 that partitions the chamber 300. In the present embodiment, the partition wall 330 does not mean a separate structure, but a structure formed by the membrane 311, the chamber substrate 312, and the nozzle substrate 313 and partitions the chamber 300. Can be understood as generic. The groove 340 is buried in the partition wall 330 in the thickness direction of the membrane 311 through the membrane 311.

홈(340)에는 방진재(341)가 충전된다. 본 실시예에서 방진재(341)는 폴리 우레탄 및 실리콘 고무로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질로 이루어질 수 있다. 방진재(341)는 압전소자(320)에 의하여 야기된 멤브레인(311)의 진동을 흡수한다. The groove 340 is filled with the dustproof material 341. In the present embodiment, the vibration damper 341 may be made of one material selected from the group consisting of polyurethane and silicone rubber. The dustproof material 341 absorbs vibration of the membrane 311 caused by the piezoelectric element 320.

한편, 방진재(341)를 이루는 물질이 본 실시예에서 언급한 물질로 한정되는 것은 아니며, 이웃하는 챔버(300) 사이에서 전달되는 진동을 효과적으로 차단할 수 있는 물질이라면 다른 소재가 사용될 수 있다.On the other hand, the material forming the dustproof material 341 is not limited to the material mentioned in the present embodiment, other materials may be used as long as it is a material that can effectively block the vibration transmitted between the adjacent chamber (300).

본 발명의 일 측면에 따른 잉크젯 헤드는, 복수의 챔버(300)를 구획하는 격벽(330)에 방진재(341)가 충전되는 홈(340)을 형성함으로써 크로스토크를 방지하는 것에 특징이 있다. The inkjet head according to an aspect of the present invention is characterized by preventing crosstalk by forming a groove 340 in which the dustproof material 341 is filled in the partition wall 330 partitioning the plurality of chambers 300.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 공정도이고, 도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 순서도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 챔버(300), 노즐(301), 챔버부(310), 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313), 압전소자(320), 격벽(330), 홈(340), 방진재(341)가 도시되어 있다.5 is a flowchart of a method of manufacturing an inkjet head according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a flowchart of a method of manufacturing an inkjet head according to a second embodiment of the present invention. 5 and 6, the chamber 300, the nozzle 301, the chamber part 310, the membrane 311, the chamber substrate 312, the nozzle substrate 313, the piezoelectric element 320, and the partition wall ( 330, groove 340, and vibration damper 341 are shown.

챔버부를 제공하는 단계(S610)는 도 5의 (a) 내지 (b)를 참조하여 설명된다. 챔버부(310)는 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313)을 포함한다. 멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313)은 같은 재질의 실리콘 웨이퍼를 가공하여 형성될 수 있다. Providing the chamber portion (S610) is described with reference to FIGS. 5A to 5B. The chamber part 310 includes a membrane 311, a chamber substrate 312, and a nozzle substrate 313. The membrane 311, the chamber substrate 312, and the nozzle substrate 313 may be formed by processing a silicon wafer of the same material.

챔버부(310)를 형성하는 데 사용되는 결합방법으로서, 실리콘 기판에 대해서는 실리콘 다이렉트 본딩이 사용될 수 있다. 실리콘-글래스 기판의 경우에는 어노딕 본딩 등의 방법이 사용될 수 있다. As a bonding method used to form the chamber portion 310, silicon direct bonding may be used for the silicon substrate. In the case of a silicon-glass substrate, a method such as anodical bonding may be used.

한편, 본 발명이 앞서 언급된 챔버부(310)의 형성공정으로 한정되는 것은 아니며, 도 1에서 보여진 바와 같이 복수의 판을 적층함으로써 형성되는 구조의 잉크젯 헤드의 경우도 포함한다. On the other hand, the present invention is not limited to the above-described process of forming the chamber portion 310, as shown in Figure 1 also includes the case of the inkjet head of the structure formed by stacking a plurality of plates.

챔버를 구획하는 격벽과 상응하는 위치에 홈을 형성하는 단계(S620)는 도 5의 (c)를 참조하여 설명된다.Forming a groove (S620) at a position corresponding to the partition wall partitioning the chamber (S620) is described with reference to FIG.

본 실시예에서 챔버부(310)는 실리콘 기판으로 형성되므로, 에칭 공정을 사용하여 홈(340)이 형성될 수 있다. 홈(340)의 깊이는 에칭 공정의 조건에 따라 조절될 수 있다. Since the chamber 310 is formed of a silicon substrate in the present embodiment, the groove 340 may be formed using an etching process. The depth of the groove 340 may be adjusted according to the conditions of the etching process.

멤브레인(311), 챔버기판(312), 노즐기판(313)의 물성이 서로 다른 경우에는 그 물성에 상응하는 에처를 사용함으로써 홈(340)의 깊이를 조절할 수 도 있다.When the physical properties of the membrane 311, the chamber substrate 312, and the nozzle substrate 313 are different from each other, the depth of the groove 340 may be adjusted by using an etchant corresponding to the physical properties.

멥브레인(311)만이 에칭되는 경우 홈(340)의 깊이는 멤브레인(311)의 두께와 실질적으로 같은 값을 가질 수 있다. 또한, 챔버기판(312), 노즐기판(313)까지 에칭되는 경우에는 홈(340)의 깊이는 멤브레인(311)의 두께보다 큰 값을 가지게 된다.When only the bibrain 311 is etched, the depth of the groove 340 may have a value substantially the same as the thickness of the membrane 311. In addition, when the chamber substrate 312 and the nozzle substrate 313 are etched, the depth of the groove 340 has a larger value than the thickness of the membrane 311.

이와 같이 홈(340)의 깊이를 조절함으로써 인접한 챔버(300)간에 전달되는 진동을 효율적으로 차단할 수 있다.As such, by controlling the depth of the groove 340, vibrations transmitted between adjacent chambers 300 may be effectively blocked.

한편, 에칭 공정 이외에도 레이저 가공 등의 방법을 사용하여 홈(340)을 형성할 수 도 있다. In addition to the etching process, the groove 340 may be formed using a method such as laser processing.

한편, 챔버부(310)가 도1에서 보여진 바와 같이 복수의 기판을 적층하여 형성되는 경우에는 각 기판에 홈(340)의 형상에 상응하는 구조가 미리 형성되고, 이들의 결합으로 홈(340)이 형성될 수 있다. Meanwhile, when the chamber 310 is formed by stacking a plurality of substrates as shown in FIG. 1, a structure corresponding to the shape of the groove 340 is formed in each substrate in advance, and the grooves 340 are formed by the combination thereof. This can be formed.

홈에 방진재를 충전하는 단계(S630)는 도 5의 (d)를 참조하여 설명된다. 방진재(341)는 스크린 프린팅 기법에 의하여 홈(340)에 충전될 수 있다. 홈(340)의 위치에 상응하는 개구부를 가진 마스크를 사용하여 멤브레인(311)을 커버한 후, 방진재를 적용하여 홈(340)을 충전할 수 있다.Filling the dustproof material in the groove (S630) will be described with reference to FIG. The dustproof material 341 may be filled in the groove 340 by a screen printing technique. After the membrane 311 is covered using a mask having an opening corresponding to the position of the groove 340, a dustproof material may be applied to fill the groove 340.

또한, 상대적으로 깊은 홈(340)을 충전하는 경우, 액상의 방진재를 사용하는 것이 유리할 수 있다. 이 경우, 액상의 방진재를 건조하는 추가적인 공정이 요구될 수 있다.In addition, when filling the relatively deep groove 340, it may be advantageous to use a liquid dustproof material. In this case, an additional process of drying the liquid dustproof material may be required.

한편, 방진재(341)가 홈(340)을 가득 채울 필요는 없으며, 본 발명의 목적범위 내에서 홈(340)의 일부만을 충전하는 것도 가능하다. On the other hand, the dustproof material 341 does not need to fill the groove 340, it is also possible to fill only a portion of the groove 340 within the scope of the present invention.

구동부를 형성하는 단계(S640)는 도 5의 (e)를 참조하여 설명된다. 본 실시예에서 구동부는 압전소자(320)이다. Forming the driving unit (S640) is described with reference to FIG. In this embodiment, the driving unit is the piezoelectric element 320.

완성된 형태의 압전소자(320)는 상부전극, 하부전극, 압전층을 포함할 수 있 다. 완성된 형태의 압전소자(320)를 멤브레인(311)에 부착하는 방법으로 구동부를 형성할 수 있다. 한편, 압전소자(320)의 하부전극을 멤브레인(311) 상에 형성하고, 압전층 및 상부전극을 차례로 형성하는 방법이 사용될 수도 있다. The completed piezoelectric element 320 may include an upper electrode, a lower electrode, and a piezoelectric layer. The driving unit may be formed by attaching the completed piezoelectric element 320 to the membrane 311. Meanwhile, a method of forming the lower electrode of the piezoelectric element 320 on the membrane 311 and sequentially forming the piezoelectric layer and the upper electrode may be used.

한편, 본 실시예에서 방진재(341)가 홈(340)에 충전된 이후에 압전소자(320)가 형성되었으나, 압전소자(320)가 형성된 상태에서 홈(340)이 형성될 수도 있다. 이 경우, 레이저 드릴링 방법 등에 의한 기계적 가공 등이 사용될 수 있다. Meanwhile, although the piezoelectric element 320 is formed after the dustproof material 341 is filled in the groove 340 in the present embodiment, the groove 340 may be formed in the state where the piezoelectric element 320 is formed. In this case, mechanical processing by a laser drilling method or the like can be used.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

이제까지 본 발명에 대하여 그 실시예를 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예는 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.So far I looked at the center of the present invention with respect to the embodiment. Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be implemented in a modified form without departing from the essential features of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in descriptive sense only and not for purposes of limitation. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope will be construed as being included in the present invention.

도 1은 종래기술에 따른 잉크젯 헤드의 구조를 나타내는 도면이다. 1 is a view showing the structure of an inkjet head according to the prior art.

도 2는 종래기술에 따른 잉크젯 헤드의 사시도이다. 2 is a perspective view of an inkjet head according to the prior art.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 사시도이다. 3 is a perspective view of the inkjet head according to the first embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of the inkjet head according to the first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 공정도이다. 5 is a process chart of the inkjet head manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 순서도이다. 6 is a flowchart of a method of manufacturing an inkjet head according to a second embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

300: 챔버 301: 노즐300: chamber 301: nozzle

302: 유로 310: 챔버부302: Euro 310: chamber portion

311: 멤브레인 312: 챔버기판 311: membrane 312: chamber substrate

313: 노즐기판 320: 압전소자313: nozzle substrate 320: piezoelectric element

330: 격벽 340: 홈330: bulkhead 340: home

341: 방진재341: dustproof material

Claims (6)

격벽에 의하여 구분되는 복수의 챔버;A plurality of chambers separated by partition walls; 상기 복수의 챔버의 일면을 커버하는 소정 두께의 멤브레인;A membrane having a predetermined thickness covering one surface of the plurality of chambers; 상기 챔버의 위치에 상응하여 상기 멤브레인에 결합되는 복수의 압전소자; A plurality of piezoelectric elements coupled to the membrane corresponding to the position of the chamber; 상기 복수의 압전소자 사이에, 상기 격벽의 위치에 상응하여, 상기 멤브레인의 두께 방향으로 함몰되어 형성되는 홈; 및 A recess formed in the thickness direction of the membrane between the plurality of piezoelectric elements, corresponding to the position of the partition wall; And 상기 홈에 충전된 방진재를 포함하는 잉크젯 헤드.An inkjet head comprising a dustproof material filled in the groove. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 홈의 깊이는 상기 멤브레인의 두께 이상의 값을 가지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.And the depth of the groove is greater than or equal to the thickness of the membrane. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 방진재는 폴리우레탄 및 실리콘 고무로 구성되는 군에서 선택된 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.The dustproof material is an inkjet head, characterized in that made of one material selected from the group consisting of polyurethane and silicone rubber. 격벽으로 구획된 복수의 챔버를 포함하는 챔버부를 제공하는 단계;Providing a chamber unit including a plurality of chambers partitioned by partition walls; 상기 챔버를 구획하는 상기 격벽과 상응하는 위치에 홈을 형성하는 단계; 및 Forming a groove at a position corresponding to the partition wall defining the chamber; And 상기 홈에 방진재를 충전하는 단계를 포함하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법.Inkjet head manufacturing method comprising the step of filling the dust-proof material in the groove. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 방진재를 충전하는 단계는 스크린 프린팅 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.Filling the dustproof material is an inkjet head manufacturing method, characterized in that performed by the screen printing method. 제 5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 방진재를 충전하는 단계는 액상의 방진재를 사용하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.Filling the dustproof material is an inkjet head manufacturing method, characterized in that using a liquid-proof dustproof material.
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