KR100891406B1 - 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법 - Google Patents
불휘발성 메모리 소자의 소거 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (15)
- 멀티 레벨 셀을 포함하는 블록을 하나 이상 포함하는 메모리 셀 어레이를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 있어서,소거를 위해 선택된 블록의 모든 멀티 레벨 셀에 대한 프로그램을 수행하여, 모든 멀티 레벨 셀의 문턱전압 레벨을 최상위 레벨로 이동시키는 프리 프로그램 단계;상기 프리 프로그램된 메모리 블록에 대한 소거 동작 및 검증을 수행하는 하드(hard) 소거 검증 단계;상기 하드 소거 검증이 패스된 경우, 상기 메모리 블록에 대한 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 제 1 소프트 프로그램 및 검증 단계;상기 검증결과가 패스되면, 상기 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 분할하는 단계;상기 제 1 그룹에 대해 검증을 수행하고, 패스가 되지 않은 경우 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계; 및상기 제 1 그룹에 대한 검증 결과가 패스되면, 상기 제 2 그룹에 대해 검증을 수행하고, 패스가 되지 않은 경우 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 검증은 소프트 프로그램에 대한 검증과 동일하게 수행되는 것을 특징으 로하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 프리 프로그램 단계는,선택된 블록의 모든 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 단계;상기 선택된 블록의 드레인 선택 라인에 전원전압을 인가하는 단계;상기 선택된 블록의 소오스 선택 라인에 0V를 인가하는 단계; 및상기 선택된 블록에 프로그램을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 소거 단계는,상기 선택된 블록의 워드라인에 0V를 인가하는 단계;상기 선택된 블록의 드레인 선택라인과 소오스 선택라인을 플로팅 상태로 만드는 단계; 및기판(또는 웰)에 고전압을 인가하여 소거를 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 소프트 프로그램은,선택된 블록에서 소프트 프로그램을 위해 선택된 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 단계;상기 선택된 워드라인을 제외한 비선택 워드라인에 패스 전압을 인가하는 단계; 및상기 선택된 블록의 드레인 선택 라인에 전원전압을 인가하고, 소오스 선택 라인에 0V를 인가하고, 프로그램을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 소프트 프로그램이후의 검증은,상기 선택된 블록 중에 소프트 프로그램을 수행한 선택된 워드라인에 0V를 인가하는 단계;상기 선택된 워드라인 이외의 비선택 워드라인에 패스 전압을 인가하는 단계: 및상기 선택된 블록의 드레인 선택라인과 소오스 선택라인에 전원전압을 인가하고, 검증을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 그룹을 각각 하위 그룹으로 분할하는 단계; 및상기 분할된 그룹들 중 어느 하나에 대해 검증을 수행하고, 패스되지 않은 경우 소프트프로그램 및 검증을 수행하여 패스가 된 후에 다음의 그룹에 대해 동일한 과정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 멀티 레벨 셀을 포함하는 블록을 하나 이상 포함하는 메모리 셀 어레이를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법에 있어서,소거를 위해 선택된 블록의 모든 멀티 레벨 셀에 대한 프로그램을 수행하여, 모든 멀티 레벨 셀의 문턱전압 레벨을 최상위 레벨로 이동시키는 프리 프로그램 단계;상기 프리 프로그램된 메모리 블록에 대한 소거 및 검증 동작을 수행하는 하드(hard) 소거 및 검증 단계;상기 하드 소거 검증이 패스되면, 상기 메모리 블록에 대한 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 제 1 소프트 프로그램 및 검증 단계;상기 검증결과가 패스되면, 상기 메모리 블록을 제 1 및 제 2 그룹으로 분할하는 단계;상기 제 1 및 제 2 그룹에 대한 검증을 수행하고, 패스되지 못한 그룹에 대해 플래그 표시를 하는 단계; 및상기 제 1 및 제 2 그룹 중 플래그 표시된 그룹에 대하여 소프트 프로그램 및 검증을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 8항에 있어서,상기 검증은 소프트 프로그램에 대한 검증과 동일하게 수행되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 8항에 있어서,상기 프리 프로그램 단계는,선택된 블록의 모든 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 단계;상기 선택된 블록의 드레인 선택 라인에 전원전압을 인가하는 단계;상기 선택된 블록의 소오스 선택 라인에 0V를 인가하는 단계; 및상기 선택된 블록에 프로그램을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 8항에 있어서,상기 소거 단계는,상기 선택된 블록의 워드라인에 0V를 인가하는 단계;상기 선택된 블록의 드레인 선택 라인과 소오스 선택 라인을 플로팅 상태로 만드는 단계; 및시판(또는 웰)에 고전압을 인가하여 소거를 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 8항에 있어서,상기 소프트 프로그램은,상기 선택된 메모리 블록의 플래그 표시된 그룹의 워드라인에 프로그램 전압을 인가하는 단계;상기 선택된 메모리 블록의 플래그 표시되지 않은 그룹의 워드라인에 패스전압을 인가하는 단계; 및상기 선택된 그룹의 드레인 선택 라인에 전원전압을 인가하고, 소오스 선택 라인에 0V를 인가하고, 프로그램을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 소프트 프로그램 이후의 검증은,상기 선택된 메모리 블록의 플래그 표시된 그룹의 워드라인에 0V를 인가하는 단계;상기 선택된 메모리 블록의 플래그 표시되지 않은 그룹의 워드라인에 패스전압을 인가하는 단계; 및상기 선택된 블록의 드레인 선택라인과 소오스 선택 라인에 전원전압을 인가하고, 검증을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 8항에 있어서,상기 플래그 표시된 그룹에 대한 소프트 프로그램의 검증 결과가 상기 제 1 및 제 2 그룹을 각각 하위 그룹으로 분할하는 단계;상기 분할된 각각의 그룹에 대해 순서대로 검증을 수행하고, 패스되지 않은 그룹에 대해 플래그 표시를 하는 단계; 및상기 플래그 표시된 그룹들에 대해 소프트 프로그램 및검증을 수행하는 단계를 포함하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
- 제 14항에 있어서,상기 플래그 표시된 그룹들에 대해 소프트 프로그램 및 검증을 수행하고, 패스된 그룹은 플래그 표시를 삭제하는 것을 특징으로 하는 불휘발성 메모리 소자의 소거 방법.
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