KR100882512B1 - 프로브 카드 - Google Patents

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Abstract

복수개의 니들과 전기적으로 연결되는 하부기판과 하부기판 상면에 니들과 독립적으로 연결되는 복수개의 하부단자를 포함하는 하부구조가 제공되며, 하부구조와 분리 가능하도록 형성되는 상부구조를 포함하는 프로브 카드가 개시된다. 프로브 카드의 하부구조는 니들 고정체, 니들 고정체에 고정되는 복수개의 니들, 니들 고정체 상에 제공되며 니들과 전기적으로 연결되는 하부기판을 포함하며, 하부기판은 각각의 니들과 독립적으로 연결되도록 상면에 형성되는 복수개의 하부단자를 포함할 수 있으며, 메인 기판 및 각각의 하부단자에 대응하여 저면에 형성되는 복수개의 상부단자를 포함하며, 하부구조에 분리 가능하게 연결되는 상부구조가 제공될 수 있다.
프로브 카드, 니들, 상부구조, 하부구조

Description

프로브 카드{PROBE CARD}
도 1은 종래 프로브 카드의 구조를 도시한 단면도이다.
도 2은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 카드를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에서 A영역을 확대한 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 카드를 도시한 단면도이다.
도 6은 도 5에서 블록화된 하부구조를 도시한 사시도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 검사 셀(detecting cell)을 포함하는 프로브 카드를 도시한 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10, 30 : 프로브 카드 100, 300 : 상부구조
200, 400: 하부구조 130, 330 : 상부단자
230, 430 : 하부단자 450 : 검사 셀
본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 분리 가능한 니들 을 제공하여 유지 및 보수의 용이성을 제공하며, 작업성 및 생산성을 향상 시킬 수 있는 프로브 카드에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 디바이스는 웨이퍼(wafer) 상에 패턴(pattern)을 형성시키는 패브리케이션(Fabrication)공정과 패턴이 형성된 웨이퍼를 각각의 검사 셀(Chip)으로 조립하는 어셈블리(Assembly)공정을 통해서 제조된다.
그리고 패브리케이션공정과 어셈블리공정 사이에는 웨이퍼를 구성하고 있는 각각의 검사 셀의 전기적 특성을 검사하는 (Electrical Die Sorting : EDS)라는 공정이 있는데, 이 EDS 공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 검사 셀등 중에서도 불량검사 셀을 판별하기 위하여 수행하는 것으로 여기서 EDS공정은 웨이퍼를 구성하는 검사 셀들에 전기적 신호를 인가시켜 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해서 불량을 판단하게 되는 검사장치를 주로 이용한다.
웨이퍼를 구성하는 검사 셀들의 전기적 검사는 이들 각 검사 셀의 패턴과 접촉되면서 전기적 신호를 인가하게 되는 다수의 니들을 구비한 프로브 카드라는 검사장치를 주로 이용한다. 즉, 반도체 웨이퍼의 전기적 특성검사는 통상 반도체 웨이퍼의 전극패드 또는 회로단자에 프로브 카드의 니들을 접촉시키고, 이 니들을 통해 특정의 전류를 통전 시킴으로서 그때의 전기적 특성을 측정하게 되는 것이다.
프로브 카드를 이용한 테스트의 결과가 양품으로 판정되면 반도체 디바이스는 패키징 등의 후공정에 의해서 완성품으로서 제작된다.
도 1은 종래 프로브 카드의 구조를 도시한 단면도이다.
도 1에서 도시한 바와 같이, 종래 프로브 카드(20)는 상면에 프로브 회로패 턴이 형성된 메인기판(30), 측정대상물인 웨이퍼(10) 상에 존재하는 복수개의 전극패드(또는 회로단자)에 수직으로 접촉할 수 있도록 메인기판(30) 상에 장착되는 복수개의 니들(needle)(50)을 포함하여 구성되어 있다. 아울러 상기 각 니들(50)은 메인기판(30)과 전기적으로 연결된 상태로 메인기판(30)의 저면에 고정 설치되는 니들고정블록(40)을 통해 지지 고정되도록 구성되어 있다.
상기 니들고정블록(40)은 메인기판(30)의 저면에 소정 간격을 두고 이격되게 배치되는 연결플레이트(42) 및 상기 연결플레이트(42)의 하측에 이격되게 배치되는 팁플레이트(44)를 포함하고, 각 플레이트(42,44)는 메인기판(30)에 대해 평행하게 배치되며 각 플레이트(42,44)를 관통하며 메인기판(30)에 체결되는 체결부재(45)를 통해 그 배치상태가 유지될 수 있다.
상기 각 니들(50)은 연결플레이트(42)와 팁플레이트(44)의 사이에 배치되어, 그 일단은 연결플레이트(42) 및 메인기판(30)을 통과하며 솔더링으로 연결되는 와이어(32)를 통해 메인기판(30)의 프로브 회로패턴과 전기적으로 연결되고, 다른 일단은 측정대상물에 접촉될 수 있도록 팁플레이트(44)를 통과하며 외부로 돌출된다. 이를 위해 각 플레이트(42,44) 및 메인기판(30)에는 각각 니들(50)이 통과될 수 있도록 관통공(42a, 44a, 31)이 형성되어 있으며, 각각의 관통공(42a,44a, 31)은 모두 동일 선상에 배치되도록 형성된다. 또, 상기 각 니들(50)의 배치 상태는 연결플레이트(42)의 상면에 형성되는 에폭시 등과 같은 수지층(46)에 의해 고정되도록 구성되어 있다.
아울러, 상기 연결플레이트(42)와 팁플레이트(44)의 사이에 해당되는 각 니 들(50)의 중앙부에는 탄성 유동 가능하게 소정 직경으로 절곡된 절곡부(52)가 형성되어 있으며, 이 절곡부(52)를 통해 각 니들(50)은 측정대상물에 탄성적으로 접촉될 수 있다.
그런데, 종래 프로브 카드(20)에 있어서는 복수개의 니들(50)이 연결플레이트(42)의 상면에 형성되는 별도의 수지층(46)에 의해 그 배치상태가 유지 고정되도록 구성됨에 따라 부품 및 제조공수가 증가되고, 이에 따라 원가가 상승되고 작업성 및 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
즉, 종래에는 니들(50)의 배치상태가 유지 고정될 수 있도록 연결플레이트(42)의 상면에 별도의 수지층(46)을 형성해야 하는 문제점이 있고, 수지층(46)을 형성하기 전에 니들고정블록(40) 상에 배치된 니들(50)을 임시적으로 고정시키기 위한 별도의 지그 등과 같은 고정수단을 필요로 했다.
한편, 반도체 웨이퍼와 같이 수백~수천개 이상의 검사개수를 가진 대상물을 검사하기 위해서는 수백~수천개 이상의 니들을 필요로 하게 된다. 이러한 니들은 검사 중 반복 하중이 가해 짐에 따라 응력을 받아 변형을 일으키거나 마모로 인해 사용할 수 없게 된다. 수백~수천개 니들 중에서 고장이 난 몇 개의 니들로 인해 고가의 프로브 카드를 사용할 수 없는 경우를 방지하기 위해서는 변형 및 파손된 니들을 쉽게 교체할 수 있어야 한다.
그러나, 종래 프로브 카드(20)의 각 니들(50)은 연결플레이트(42)의 상면에 형성되는 수지층(46)에 의해 그 배치상태가 유지 고정되고, 그 일단이 메인기판(30)의 프로브 회로패턴과 전기적으로 연결되는 와이어(31)와 솔더링으로 연결되 어 있어 유지 및 보수가 매우 곤란한 문제점이 있다.
즉, 종래 프로브 카드(20)의 각 니들(50) 중 변형 및 파손된 니들을 교체하기 위해서는 변형 및 파손된 니들과 와이어(32)간의 솔더링에 의한 연결상태를 해제해야 할 뿐만 아니라 정상 니들과 와이어간에 연결상태까지도 모두 해제해야 한다. 그 후 수지층(46)을 제거하여 변형 및 파손된 니들을 교체하도록 되어 있다. 이와 같이 종래 프로브 카드(20)의 각 니들(50)이 수지층(46) 및 솔더링에 의해 고정됨에 따라 고장이 난 몇 개의 니들들로 인해 수백~수천개의 정상 니들들까지 함께 일련의 수리 공정을 거쳐야 했다. 이에 따라 유지 및 보수에 많은 인력과 시간이 소요되고 비용이 증가되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출한 것으로서, 니들을 분리 가능하게 형성하여 교체나 수리가 필요한 니들을 용이하게 교체 및 수리할 수 있도록 하는 프로브 카드를 제공하는데 그 목적이 있다. 즉, 상부구조는 하부구조와 분리 가능하도록 형성될 수 있으며, 이때 하부구조는 니들을 포함할 수 있다. 하부구조가 분리 가능하기 때문에 교체나 수리가 필요한 니들은 상부구조에서 용이하게 분리하여 수리 및 교체할 수 있는 프로브 카드를 제공한다.
또한, 본 발명은 웨이퍼 등의 칩을 검사 셀(detecting cell) 단위로 검사할 수 있으며, 검사 셀 단위로 수리 및 교체를 수행할 수 있는 프로브 카드를 제공한다. 즉, 본 발명은 하부기판을 검사 셀 단위로 나뉘어 프로빙 동작을 수행하도록 하고, 검사 셀은 하나 또는 2, 3개 칩 단위로 구분된 서브 인쇄회로기판을 포함할 수 있다. 이때, 하부구조는 분할 가능한 블록 단위로 분할될 수 있으며, 각 블록 단위에는 복수개의 검사 셀 단위로 나뉘어진 복수개의 하부기판이 장착될 수 있다. 검사 셀 단위의 하부기판이 불량인 경우 불량인 하부기판과 니들을 분리하여 수리 및 교체할 수 있으므로, 일부 검사 셀만 교체함으로써 프로브 카드의 수리나 교체가 용이해질 수 있다.
상술한 본 고안의 목적들을 달성하기 위한 본 고안의 바람직한 실시예에 따르면, 프로브 카드는 상부구조 및 하부구조를 포함한다. 하부구조는 니들 고정체, 니들 고정체에 고정되는 복수개의 니들 및 니들 고정체 상에 제공되며 니들과 전기적으로 연결되는 하부기판을 포함하며, 하부기판은 각각의 니들과 독립적으로 연결되도록 상면에 형성되는 복수개의 하부단자를 포함한다. 또한 상부구조는 메인 기판 및 각각의 하부단자에 대응하여 저면에 형성되는 복수개의 상부단자를 포함하며, 하부구조에 분리 가능하게 연결된다. 여기서 메인 기판은 상부단자 및 하부단자를 통해 각각의 니들과 독립적으로 연결될 수 있다.
상부구조와 하부구조가 분리 가능하게 장착되며, 이때 니들과 메인 기판이 직접 연결되는 것이 아니라 상부단자 및 하부단자를 통해 간접적으로 연결될 수 있다. 일반적으로 니들은 매우 촘촘하게 배치되기 때문에 잦은 분리 및 결합은 오작동을 유발할 수 있지만, 본 발명에서는 상부단자 및 하부단자를 통해 상대적으로 넓은 영역을 확보할 수 있으므로 분리 및 결합이 반복되어도 안정된 접속 및 분리를 형성할 수 있다.
하부단자는 하부기판의 상면에 형성될 수 있으며, 각각의 니들은 하부기판에 형성된 패턴을 통해 하부단자와 일대일로 연결될 수 있다. 이때, 하부기판 하부에는 니들을 지지 및 고정할 수 있는 니들 고정체가 제공될 수 있으며, 니들 고정체에 제공되는 니들은 하부단자와 일대일로 대응될 수 있다.
상부구조는 메인 인쇄회로기판을 제공할 수 있는 메인기판, 메인기판 하부에 하부단자와 대응되도록 제공되는 상부단자가 형성될 수 있다. 이때, 상부단자 및 하부단자 중 하나 또는 모두가 탄성전극으로 형성될 수 있으며, 일반적으로는 탄성전극으로서 포고 핀(pogo pin)이 사용될 수 있다. 경우에 따라서 상부단자와 하부단자는 상부구조와 하부구조를 전기적으로 연결 및 분리하기 위한 다양한 전극 형태로 제공될 수 있다. 이때, 상부단자와 하부단자의 접촉으로 상부구조와 하부구조는 각각 분리 또는 장착할 수 있는 구조로 형성될 수 있게 된다.
더불어 하부단자는 니들의 상부 외부 주변에 형성될 수 있다. 즉, 하부단자를 니들과 바로 상하로 위치시키지 않고 그 주변에 형성함으로써, 하부단자를 위한 영역을 넓게 확보할 수 있으며, 넓게 확보된 영역을 통해 상부단자와 하부단자는 안전한 전기적 연결을 수행할 수 있다. 상부단자와 하부단자 간의 연결로 니들과 메인 인쇄회로기판은 간접적으로 연결될 수 있다.
하부구조와 상부구조가 분리 또는 장착 가능한 구조로 형성될 수 있기 때문에 하부구조의 니들이 고장 또는 불량인 경우에 하부구조만을 분리하여 니들 또는 하부기판을 교체 및 수리할 수 있으며, 프로브 카드를 보수 또는 유지하는데 필요한 시간 및 인력을 저감할 수 있게 된다. 참고로 종래의 프로브 카드에서는 니들에 불량이 발생하는 경우 프로브 카드 전체를 교체해야 하는 경우가 있다.
본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따르면, 니들 고정체를 구비하는 하부구조, 하부구조에 형성되는 복수개의 검사 셀 및 하부구조와 검사 셀을 선택적으로 장착하기 위한 상부구조를 포함한다. 검사 셀은 복수개의 니들, 니들과 전기적으로 연결되는 하부기판 및 상기 하부기판에 형성되어 각각의 니들과 독립적으로 연결되는 복수개의 하부단자를 포함하며, 웨이퍼 상에 형성된 하나 또는 2개의 이상의 칩을 대상으로 검사를 수행할 수 있다. 또한, 상부구조는 메인 기판 및 각각의 하부단자에 대응하도록 상부구조의 저면에 형성되는 복수개의 상부단자를 포함하며, 상부단자는 하부단자와 선택적으로 연결되어 니들과 메인 기판을 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 상부구조 및 하부구조에 분리 가능하게 연결되며, 상호 연결된 상부 및 하부구조는 상부 및 하부 단자를 통해서 기능적으로 연결된다.
상부단자 및 하부단자 중 적어도 어느 하나는 탄성전극으로 형성될 수 있으며, 경우에 따라서는 상부단자 및 하부단자가 연결되어 상부구조와 하부구조가 전기적으로 연결될 수 있는 전극체이면 다양하게 제공될 수 있다.
하부구조와 상부구조는 분리 가능하도록 형성될 수 있으며, 이때, 하부구조에는 복수개의 검사 셀이 정의될 수 있다. 특히, 검사 셀은 하부구조에서 분리 가능하도록 형성될 수 있으며, 검사 셀이 분리될 수 있게 됨으로써 프로브 카드를 보수 및 유지하는데 용이해질 수 있다. 즉, 프로브 카드의 프로빙 동작이 문제가 생겼을 때, 하부구조를 상부구조로부터 분리하여 하부기판을 노출시킬 수 있다. 그 다음 하부구조로부터 해당되는 검사 셀만 분리한 후, 그 자리에 새로운 검사 셀을 장착할 수 있으며, 고장난 니들 또는 검사 셀만을 용이하게 교체 및 수리할 수 있으므로 니들 교체에 필요한 시간 및 인력을 절감할 수 있게 된다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 의해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략 수 있다.
도 2은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 카드를 설명하기 위한 단면도이며, 도 3 및 도 4는 도 2에서 A영역을 확대한 확대 단면도이다.
도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 제1실시예에 따른 프로브 카드(10)는 하부구조(200)와 상부구조(100)로 나뉠 수 있다. 이때. 하부구조(200)는 니들 고정체(240), 니들 고정체(240)에 고정되는 복수개의 니들(210), 니들 고정체(240) 상에 제공되며 니들(210)과 전기적으로 연결되는 하부기판(220)을 포함할 수 있다. 이때, 하부기판(220)은 각각의 니들(210)과 독립적으로 연결되도록 상면에 형성되는 복수개의 하부단자(230)를 포함할 수 있다. 또한, 상부구조(100)는 메인 인쇄회로기판(110) 메인기판(120) 및 각각의 하부단자(230)에 대응하여 메인기판(120) 저면에 형성되는 복수개의 상부단자(130)를 포함할 수 있으며, 이때 상부단자(130)는 하부구조(200)에 대해 분리 가능하게 형성될 수 있다.
이때, 니들 고정체(240)는 보강 고정 플레이트(243), 상부 고정 플레이트(245) 및 하부 고정 플레이트(247)로 형성될 수 있으며, 니들(210)은 하부 고정 플레이트(247) 하부로 연장되어 외부로 돌출된다. 즉, 니들(210)은 보강 고정 플레 이트(243), 상부 고정 플레이트(245) 및 하부 고정 플레이트(247) 사이에서 니들의 상단이 지지 및 고정될 수 있으며, 하부 고정 플레이트(247)를 통해 웨이퍼(10)와 전기적으로 접촉될 수 있도록 돌출될 수 있다.
이때, 보강 고정 플레이트(243) 상부에는 하부기판(220)이 제공될 수 있으며, 하부기판(220) 상부에는 하부단자(230)가 제공될 수 있다. 여기서, 하부단자(230)는 니들(210)과 일대일로 대응하도록 형성될 수 있으며, 하부기판(200)에 형성된 패턴을 통해 하부단자(230)와 전기적으로 연결될 수 있다. 니들(210)과 연결된 하부단자(230)는 뒤에서 설명할 상부단자(130)와 접촉되어 상부구조(100)와 연결될 수 있다.
또한, 하부단자(230)는 하부기판(220) 형성된 니들(210)의 주변에 형성될 수 있다. 즉, 도 2 내지 도 4에서 도시된 바와 같이, 하부단자(230)는 니들(210)을 중심으로 양 쪽으로 형성될 수 있으며, 이때, 하부단자(230)는 각각의 니들(210)과 일대일로 대응될 수 있다. 이러한 하부단자(230)의 형상은 니들(210)과 일대일로 대응될 수 있도록 형성되는 다양한 형상으로 제공될 수 있으며, 하부단자(230)가 제공되는 라인으로 본 발명은 제한하거나 한정하지는 않는다.
또한, 하부단자(230) 상면에는 각각의 하부단자(230)와 연결될 수 있는 상부단자(130)가 제공될 수 있으며, 상부단자(130) 상면으로는 메인 인쇄회로기판(110)을 포함하는 상부구조(100)가 형성될 수 있다. 이때, 상부단자(130)는 하부단자(230)와 일대일로 대응될 수 있도록 형성될 수 있으며, 상부에 형성되어 있는 메인 인쇄회로기판(110)과 연결될 수 있는 연결전극을 포함할 수도 있다. 또한, 상부 단자(130)가 제공되는 상부구조(100)와 하부단자(230)가 제공되는 하부구조(200)는 분리 가능한 형태로 형성될 수 있다. 더불어 상부단자(130) 및 하부단자(230)는 적어도 어느 하나는 탄성전극으로 형성될 수 있으며, 경우에 따라서 상부구조(100)와 하부구조(200)를 전기적으로 연결할 수 있는 다양한 형태로 제공될 수 있다. 일 예로 상부단자(130)는 포고 핀(pogo pin)과 같은 형태로 형성될 수 있으며, 상부단자(130)와 하부단자(230)가 접촉되면, 니들(210)이 프로빙 동작을 수행할 수 있게 된다
이때, 메인기판(120)은 대략 원판 형상을 가지며, 그 상면에는 프로브 회로패턴(미도시)이 형성될 수 있다. 이러한 메인기판(120)은 컴퓨터와 테스터가 연결되는 테스트 헤드 상에 설치될 수 있다. 또한, 앞서 설명한 바와 같이 상부구조(100)는 하부구조(200)에 대하여 분리 가능한 구조로 형성될 수 있으며, 분리 가능한 구조로 인하여 니들(210)의 파손 및 변형에 의해 용이하게 교체 및 수리 가능할 수 있다. 즉, 하부구조(200)의 니들(210)이 변형 및 파손에 의해 교체나 수리가 필요할 경우 니들이 상부구조(100)에 고정되지 않고 분리 가능하기 때문에 하부구조(200)만 교체할 수 있으므로, 교체 및 수리에 필요한 작업성 및 생산성을 향상 시킬 수 있게 한다.
제1실시예에서는 하부구조(200) 상에 하나의 하부기판(220)이 장착되지만, 경우에 따라서는 하부기판이 복수개의 단위로 분할되어 하부구조 상에 장착될 수 있으며, 각각의 하부기판에는 칩을 검사하기 위한 수직형 니들이 장착될 수 있다. 여기서 하부기판은 적어도 하나의 칩을 단위로 정의되어 각 검사 단위의 칩들과 메 인기판을 연결하기 위한 용도로 사용될 수 있다. 바람직하게는 하부기판이 하나의 칩에 각각 대응하도록 함으로써, 문제가 발생하는 검사 단위를 칩 단위로 교체하도록 할 수가 있다.
한편, 도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 카드를 도시한 단면도이고, 도 6은 도 5에서 블록화된 하부구조를 도시한 사시도이고, 도 7 및 도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 검사 셀(detecting cell)을 포함하는 프로브 카드를 도시한 단면도이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부부에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 6 내지 도 8 에서 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 프로브 카드(30)는 복수개의 니들(410), 니들(410)과 전기적으로 연결되는 하부기판(420), 하부기판(420)의 니들(410)과 독립적으로 연결되도록 하부기판(420)의 상면에 복수개의 하부단자(430)를 포함하는 검사 셀(detecting cell)(450)을 제공될 수 있다. 또한, 검사 셀(450)의 니들(410)을 지지 및 고정하는 니들 고정체(440)가 제공되는 하부구조(400)가 제공될 수 있으며, 하부구조(400) 상면에는 메인 인홰회로기판(310), 메인기판(320) 및 각각의 하부단자(430)에 대응하여 메인기판(320) 저면에 형성되는 복수개의 상부단자(330)가 제공되는 상부구조(300)가 제공될 수 있다.
이때, 하부기판(430)은 검사 셀(detecting cell)(450) 단위로 분리되어 프로빙 동작을 수행할 수 있다. 즉, 하부기판(420)은 하부구조(400)에서 분할 가능한 형상으로 제공될 수 있으며, 분할된 각각의 검사 셀(450)은 서브 인쇄회로기판을 포함할 수도 있다.
이때, 검사 셀(450)은 복수개의 니들(210), 니들(210)과 전기적으로 연결되는 하부기판(220) 및 하부기판(220)은 각각의 니들(210)과 독립적으로 연결되도록 상면에 형성되는 복수개의 하부단자(230)를 포함한다. 검사 셀(450)은 하부구조(400)에서 분리 가능하도록 형성될 수 있으며, 분리되는 검사 셀(450)은 프로브 카드(30)를 유지 및 보수하는데 용이하도록 할 수 있다.
즉, 하부단자(230)는 니들(210)과 일대일로 대응하도록 형성될 수 있으며, 니들(410)은 하부기판(220)에 형성된 패턴을 통해 하부단자(230)와 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 하부단자(430) 상면에는 하부단자(430)와 전기적은 연결 가능한 상부단자(330)가 제공될 수 있으며, 하부단자(430)가 제공되는 하부구조(400)와 상부단자(330)가 제공되는 상부구조(300)는 각각 분리 가능한 구조로 형성될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 프로브 카드(30)는 상부단자(330)와 하부단자(430) 간 별도의 와이어 등을 사용하지 않고 전기적으로 연결될 수 있지만 경우에 따라서는 상부단자(330)와 하부단자(430)는 와이어 등을 이용하여 전기적으로 연결될 수도 있다.
따라서, 하부구조(400)와 상부구조(300)가 분리될 수 있으며, 하부구조(400)에서 검사 셀(450)이 다시 분리 될 수 있으므로, 프로빙 동작에서 고장이 일어난 경우 하부구조(400)의 검사 셀(450)만을 교체 및 수리할 수 있게 된다. 다시 말해, 종래의 프로브 카드는 니들이 고장이 난 경우, 프로브 카드의 메인기판까지 전부 교체나 수리해야 했다. 따라서 사용 가능한 니들도 교체되거나 수리될 수 있어 프 로브 카드를 유지 및 보수하는데 시간 또는 인력이 낭비될 수 있으며, 프로브 카드에 필요한 수리비가 증가할 수 있다는데 문제가 있다. 그러나 본 발명에 따르면, 하부구조(400)에서 분리 가능한 검사 셀(450)만을 분리하게 되므로, 교체나 수리가 필요한 니들(410)만을 교체 및 수리하게 되어 프로브 카드(30) 유지 및 보수하는데 필요한 원가, 시간 및 인력을 절감할 수 있게 된다.
본 발명에 의하면, 프로브 카드를 상부구조와 하부구조로 나뉘어 상부구조와 하부구조를 분리 및 연결 가능한 구조로 형성할 수 있다. 즉, 상부구조와 하부구조가 분리 가능하여 니들이 고장난 경우 하부구조만을 교체나 수리할 수 있게 하여 프로브 카드 유지 및 보수에 필요한 시간 및 인력을 절감할 수 있게 한다. 더불어, 하부구조의 하부기판은 검사 셀(detecting cell) 단위로 형성가능하며, 이러한 검사 셀은 하부구조에서 분리 가능하게 형성될 수 있다. 다시 말해, 하부구조에서 검사 셀이 분리 될 수 있으므로 하부구조에서 필요한 영역만을 수리 및 교체하여 프로브 카드 유지 및 부수에 필요한 원가를 절감할 수 있으며, 나아가 프로브 카드 유지 및 보수에 필요한 시간 및 인력이 저감될 수 있게 된다.
이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 카드에 의하면, 니들을 분리 가능하게 형성하여 교체나 수리가 필요한 니들을 용이하게 교체 및 수리할 수 있도록 하는 프로브 카드를 제공하는데 그 효과가 있다.
즉, 니들과 연결되는 하부기판을 제공하고, 하부기판 상면에 각각의 니들과 일대일로 연결되는 하부단자가 포함되는 하부구조가 제공될 수 있다. 하부구조의 상면에는 하부구조와 분리 가능한 상부구조가 제공될 수 있으며, 상부구조와 하부구조는 분리 가능하도록 형성될 수 있다. 분리 가능한 하부구조로 인하여 프로브 카드에서 고장난 니들을 쉽게 교체 및 수리할 수 있으므로, 교체나 수리가 용이한 프로브 카드를 제공하는데 그 효과가 있다.
또한, 본 발명은 본 발명은 검사 셀(detecting cell) 단위로 검사할 수 있는 프로브 카드를 제공하는데 그 효과가 있다.
즉, 본 발명은 하부구조와 상부구조가 분리될 수 있으며, 하부구조에서 검사 셀이 다시 분리 될 수 있으므로, 프로빙 동작에서 고장이 일어난 경우 하부구조의 검사 셀만을 교체 및 수리할 수 있게 된다. 다시 말해, 종래의 프로브 카드는 니들이 고장이 난 경우, 프로브 카드의 메인기판까지 전부 교체나 수리해야 했다. 따라서 사용 가능한 니들도 교체되거나 수리될 수 있어 프로브 카드를 유지 및 보수하는데 시간 또는 인력이 낭비될 수 있으며, 프로브 카드에 필요한 수리비가 증가할 수 있다는데 문제가 있다. 그러나 본 발명에 따르면, 하부구조에서 분리 가능한 검사 셀만을 분리하게 되므로, 교체나 수리가 필요한 니들만을 교체 및 수리하게 되어 프로브 카드 유지 및 보수하는데 필요한 원가, 시간 및 인력을 절감할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (11)

  1. 복수개의 수직형 니들,
    상기 수직형 니들의 일부가 외부로 돌출되도록 상기 수직형 니들이 관통하고 있으며, 상기 수직형 니들의 상단을 지지 및 고정하는 니들 고정체,
    상기 니들 고정체 상부에 제공되며, 상기 수직형 니들과 연결되는 패턴이 형성되어 있는 하부기판 및
    상기 하부기판 상부에 상기 수직형 니들을 중심으로 양쪽으로 제공되며, 각각이 상기 패턴을 통해 각각의 상기 수직형 니들과 독립적으로 연결되는 복수개의 하부단자
    를 포함하는 하부구조; 및
    상기 하부단자 상면에 제공되어 각각이 상기 하부단자와 대응하는 복수개의 상부단자 및
    상기 상부단자 상면에 제공되는 메인 인쇄회로기판
    을 포함하는 상부구조;
    를 포함하며,
    상기 상부구조와 상기 하부구조는 분리 가능하게 연결되며, 상기 수직형 니들의 교체 또는 수리 시 상기 하부구조는 상기 상부구조로부터 분리할 수 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 니들 고정체는,
    상기 하부 기판 하부에 제공되는 보강 고정 플레이트,
    상기 보강 고정 플레이트 하부에 제공되는 상부 고정 플레이트 및
    상기 상부 고정 플레이트 하부에 제공되는 하부 고정 플레이트
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 수직형 니들은,
    상기 보강 고정 플레이트, 상기 상부 고정 플레이트 및 상기 하부 고정 플레이트 사이에서 상기 수직형 니들의 상단이 지지 및 고정되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 수직형 니들은,
    상기 하부 고정 플레이트를 통해 상기 수직형 니들의 일부가 외부로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 상부단자 및 상기 하부단자 중 적어도 하나는 탄성 전극 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 상부단자는 상기 하부단자와 일대일로 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 하부기판은 복수개인 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
  8. 메인 인쇄회로기판 및 상기 메인 인쇄회로기판의 저면에 제공되는 복수개의 상부단자를 가지는 상부구조를 포함하는 프로브 카드에 사용되는 하부구조에 있어서,
    복수개의 수직형 니들,
    상기 수직형 니들의 일부가 외부로 돌출되도록 상기 수직형 니들이 관통하고 있으며, 상기 수직형 니들의 상단을 지지 및 고정하는 니들 고정체,
    상기 니들 고정체 상부에 제공되며, 상기 수직형 니들과 연결되는 패턴이 형성되어 있는 하부기판 및
    상기 하부기판 상부에 상기 수직형 니들을 중심으로 양쪽으로 제공되고, 각각이 상기 패턴을 통해 각각의 상기 수직형 니들과 독립적으로 연결되어 있으며, 각각이 상기 상부단자와 대응하여 상기 상부단자와 일대일로 연결되는 하부단자
    를 포함하며,
    상기 상부구조와 분리 가능하게 연결되며, 상기 수직형 니들의 교체 또는 수리 시 상기 상부구조로부터 분리할 수 있는 것을 특징으로 하는 하부구조.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 니들 고정체는,
    상기 하부 기판 하부에 제공되는 보강 고정 플레이트,
    상기 보강 고정 플레이트 하부에 제공되는 상부 고정 플레이트 및
    상기 상부 고정 플레이트 하부에 제공되는 하부 고정 플레이트
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 하부구조.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 수직형 니들은,
    상기 보강 고정 플레이트, 상기 상부 고정 플레이트 및 상기 하부 고정 플레이트 사이에서 상기 수직형 니들의 상단이 지지 및 고정되는 것을 특징으로 하는 하부구조.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 수직형 니들은,
    상기 하부 고정 플레이트를 통해 상기 수직형 니들의 일부가 외부로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 하부구조.
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