KR100880937B1 - 스핀 현상 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전기 발생량을 억제할 수 있는 스핀현상장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 스핀 현상장치는 기판과, 상기 기판이 안착되는 진공척과, 상기 진공척의 기판 안착면 상에서 동심원 형태로 돌출되는 진공라인들과, 상기 진공라인들 사이에서 동심원 형태로 형성되어 상기 기판을 진공 흡착하기 위한 다수의 진공홀들과, 상기 기판과 상기 진공라인들의 접촉으로 인해 발생되는 정전기량을 줄이기 위해 상기 진공라인들 상에 비주기적으로 형성되는 다수의 미세홈들을 구비하고, 상기 미세홈들은 상기 진공홀들보다 낮은 깊이로 형성된다.

Description

스핀 현상 장치{Spin Developing Device}
도 1은 통상적인 박막 트랜지스터를 나타내는 단면도.
도 2는 종래의 스핀현상 장치의 진공척을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 스핀현상 장치를 나타내는 도면.
도 4는 도 3에 도시된 진공척을 나타내는 도면.
도 5는 종래와 본 발명에 따른 진공척 사용시 발생되는 정전기량을 나타내는 그래프.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1,24 : 기판 14,26 : 진공척
16 : 진공홀 18,42 : 진공라인
20,40 : 홀 22 : 현상액공급기
28 : 회전축 30,34 : 풀리
32 : 벨트 36 : 모터
본 발명은 액정표시소자의 제조장치에 관한 것으로, 특히 정전기 발생량을 억제할 수 있는 스핀 현상장치에 관한 것이다.
액정표시소자는 소형 및 박형화와 저전력 소모의 장점을 가지며, 노트북 PC, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등으로 이용되고 있다. 특히, 스위치 소자로서 박막 트렌지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 이용되는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 동적인 이미지를 표시하기에 적합하다.
액정표시소자는 화소들이 게이트라인들과 데이터라인들의 교차부들 각각에 배열되어진 화소메트릭스(Pixel Matrix)에 텔레비젼 신호와 같은 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 화소들 각각은 데이터라인으로부터의 데이터신호의 전압레벨에 따라 투과광량을 조절하는 액정셀을 포함한다. TFT는 게이트라인과 데이터라인의 교차부에 설치되어 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 액정셀쪽으로 전송될 데이터신호를 절환하게 된다.
도 1을 참조하면, 하부기판(1) 상에는 TFT가 형성된다. TFT는 하부기판(1) 상에 형성되는 게이트전극(4)과, 게이트절연막(2) 및 반도체층(7,8)을 사이에 두고 소스 및 드레인전극(5,6)으로 이루어진다. 이러한 TFT를 보호하기 위해 보호층(3)이 형성되며, TFT의 드레인전극(6)은 보호층(3)을 관통하는 접촉홀(10)을 통해 화소전극(9)과 접속된다.
이러한 액정표시소자의 제조공정은 세정공정, 패터닝공정, 배향막형성공정, 합착/액정주입공정 등으로 나뉘어진다.
이 중 패터닝공정은 상/하부기판 상에 증착물질을 형성한 후, 포토레지스트를 형성한다. 이후, 포토레지스트가 도포된 기판을 노광 및 현상한 다음 식각하여 하부기판(1) 상에 게이트전극(4), 게이트라인(도시하지 않음), 소스전극(5), 데이터라인(도시하지 않음), 드레인전극(6), 화소전극(9)이 형성되며, 도시하지 않은 상부기판 상에 컬러필터 및 블랙 매트릭스가 형성된다.
노광된 포토레지스트가 형성된 기판을 현상하기 위한 스핀 현상장치의 진공척(14)에는 도 2에 도시된 바와 같이 소정간격을 사이에 두고 형성되는 진공라인(18)과, 진공척(14)의 중심에 형성되는 진공홀(16)을 구비한다.
진공라인(18)은 원형 평면을 이루는 진공척(14) 상에 다수의 동심원형태로 돌출되어 소정간격의 홀(20)을 사이에 두고 형성된다. 진공라인(18)은 기판(1)을 진공척(14) 상에 흡착시키는 역할을 한다.
진공라인(18)에 흡착된 기판(1) 상에 현상액을 도포하여 현상공정을 실행하게 된다. 현상공정이 끝난 후, 기판(1) 상에 잔존하는 현상액을 제거하기 위해 스핀 현상장치의 진공척(14)에 연결되는 회전축(미도시)은 모터의 구동에 의해 회전된다. 이 때, 기판(1)이 진공척(14)과 함께 회전하여 기판(1) 상에 잔존하는 현상액이 상대적으로 빨리 제거된다.
이러한 현상액이 제거된 후 기판(1)을 다음 공정으로 옮기기 위해 스핀현상장치의 진공척(14)으로부터 기판(1)이 박리된다. 그러나, 기판(1)과 진공라인(18)이 접촉되는 부분(H)으로 인해 정전기가 발생하는 문제점이 있다. 이 정전기는 진공척(14)에 기판(1)이 처음 접촉시 약 -1kV의 대전량을 발생하지만, 소정기간 사용하게 되면 약 -5~8kV의 대전량을 발생하게 된다. 이 정전기를 줄이기 위해서 기판(1)과 접촉되는 진공라인(18)의 표면적을 줄이면, 진공라인(18)의 기판진공흡착력이 줄어들어 기판(1)이 평탄하게 진공흡착되지 못한다. 이에 따라, 현상액이 불균일하게 도포되어 기판(1)상에 얼룩이 발생하는 문제점 등이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 정전기 발생량을 억제할 수 있는 스핀현상장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 스핀 현상장치는 기판과, 상기 기판이 안착되는 진공척과, 상기 진공척의 기판 안착면 상에서 동심원 형태로 돌출되는 진공라인들과, 상기 진공라인들 사이에서 동심원 형태로 형성되어 상기 기판을 진공 흡착하기 위한 다수의 진공홀들과, 상기 기판과 상기 진공라인들의 접촉으로 인해 발생되는 정전기량을 줄이기 위해 상기 진공라인들 상에 비주기적으로 형성되는 다수의 미세홈들을 구비하고, 상기 미세홈들은 상기 진공홀들보다 낮은 깊이로 형성된다.
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상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 스핀현상장치는 기판(24)에 현상액을 도포하기 위한 현상액공급기(22)와, 기판(24)을 진공으로 흡입 고정하는 진공척(26)과, 기판(24)을 회전시키기 위한 모터(36)를 구비한다.
현상액공급기(22)는 스핀현상장치가 정지된 상태에서 노광된 포토레지스트가 형성된 기판(24) 상에 현상액을 도포하게 된다.
모터(36)는 현상공정이 끝난 후, 기판(24) 상에 잔존하는 현상액을 제거하기 위해 회전력을 발생시킨다.
진공척(26)은 진공의 흡입력을 이용하여 기판(24)을 흡입고정시키도록 기판(24)의 하부에 위치하게 된다. 진공척(26)에 회전력을 전달하기 위해 진공척(26)에는 회전축(28)이 결합된다. 회전축(28)은 제1 및 제2 풀리(pully;30,34)와 연결되는 벨트(32)에 의해 모터(38)와 체결된다.
진공척(26)은 회전축(28)의 내부축선을 따라 진공홀(도시하지 않음)이 형성된다. 진공척(26) 상에는 도 4에 도시된 바와 같이 소정간격의 홀(40)을 사이에 두고 다수의 동심원형태로 돌출되는 진공라인(42)이 형성된다. 이 진공라인(42) 상에는 기판(24)과 직접 접촉하는 부위에 상대적으로 작은 미세홈(42a)과 미세돌기(42b)가 교번적으로 형성된다. 이 미세홈(42a)과 미세돌기(42b)는 홀(40) 형성시 사용되는 절삭날을 이용하여 주기적으로 형성된다.
절삭날 이외에도 미세홈(42a)과 미세돌기(42b)는 사포를 이용하여 형성할 수 있다. 종래의 평탄한 진공라인(42)을 사포작업을 할 경우, 표면이 상대적으로 거칠어져 미세홈(42a)들과 미세돌기(42b)들이 비주기적으로 형성된다.
이에 따라 진공라인(42)의 표면적은 종래와 동일한 반면에 종래보다 기판(24)과의 접촉면적이 상대적으로 줄어든다. 즉, 진공척(26)의 기판흡착력은 종래와 동일하며, 기판(24)과의 접촉면적을 줄여 정전기 발생량을 상대적으로 줄일 수 있다.
이러한 스핀현상장치의 동작과정을 살펴보면, 스핀현상장치가 정지된 상태에서 노광된 포토레지스트가 형성된 기판(24) 상에 현상액을 도포하게 된다. 그런 다음, 현상공정이 끝나면, 스핀현상장치에 연결된 모터(36)를 이용하여 기판(24)을 회전시킴으로써 기판(24) 상에 잔존하는 현상액을 제거하게 된다.
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도 5는 진공라인에 따라 발생되는 정전기량을 나타내는 도면이다.
도 5의 가로축(x)은 측정횟수를, 세로축(y)은 정전기량을, 제1 진공척(A)은 종래의 평탄한 진공라인을 갖는 진공척을, 제2 진공척(B)은 진공라인 상에 등간격의 미세홈을 갖는 진공척을, 제3 진공척(C)은 진공라인 상에 차등간격의 미세홈이 형성되는 진공척을 각각 나타낸다.
제1 내지 제3 진공척들(A,B,C)은 약 -5V의 정전기를 발생하는 동일한 진공척을 구비한다. 이 중 제2 진공척(B)은 진공라인(42)을 등간격으로 절삭가공하여 진공라인(42) 상에 등간격으로 미세홈을 생성하며, 제3 진공척(C)은 진공라인(42)의 표면을 사포로 이용하여 비방향성의 미세홈을 생성한다.
이 제2 및 제3 진공척(B,C)은 제1 진공척(A)보다 진공라인(42)과 기판(24)과의 접촉면적이 줄어든다.
측정횟수 A B C
1 -2.0 -0.7 -0.8
2 -3.3 -0.8 -0.9
3 -4.2 -0.8 -0.9
4 -4.8 -1.0 -1.1
5 -4.8 -1.0 -1.2
이에 따라, 제2 및 제3 진공척(B,C)은 표 1에 도시된 바와 같이 제1 진공척(A)보다 정전기량을 줄어들게 됨을 알 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스핀현상장치는 진공라인 상에 미세돌기를 형성한다. 이에 따라, 종래와 진공라인의 표면적은 동일하며, 기판과 진공라인의 접촉면적을 줄일 수 있어 정전기량을 줄일 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (5)

  1. 기판과,
    상기 기판이 안착되는 진공척과,
    상기 진공척의 기판 안착면 상에서 동심원 형태로 돌출되는 진공라인들과,
    상기 진공라인들 사이에서 동심원 형태로 형성되어 상기 기판을 진공 흡착하기 위한 다수의 진공홀들과,
    상기 기판과 상기 진공라인들의 접촉으로 인해 발생되는 정전기량을 줄이기 위해 상기 진공라인들 상에 비주기적으로 형성되는 다수의 미세홈들을 구비하고,
    상기 미세홈들은 상기 진공홀들보다 낮은 깊이로 형성되는 것을 특징으로 하는 스핀 현상장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
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