KR20050077859A - 캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의제조방법. - Google Patents

캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의제조방법. Download PDF

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Abstract

접착물질의 제거가 용이한 캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의 제조방법이 개시되어있다. 캐리어 기판은 연성 기판과 분리되기 위해 접착물질을 제거하는 공정시, 연성 기판과 캐리어 기판 사이에 존재하는 접착물질에 유기용매의 침투 및 유기용매에 용해된 접착물질을 배출이 용이하도록 접착물질의 노출을 증가시키기 위해 하나 이상의 관통공을 포함한다. 상술한 구조를 갖는 캐리어 기판은 연성기판으로부터 보다 쉽게 제거될 수 있어 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있을 뿐만 아니라 현재 액정 표시 장치를 양산하는 설비의 변형 없이 유연한 디스플레이를 형성하는 공정에 적용 가능하다.

Description

캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.{CARRIER PLATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE FLEXIBLE DISPLAY DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연성 기판을 부착시키는 접착물질을 용이하게 제거할 수 있는 캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 기술의 발달과 인터넷의 보편화 및 소통되는 정보의 양이 폭발적으로 늘어남에 따라 언제 어디서나 정보를 접할 수 있는 유비퀴토스 디스플레이 (ubiquitous display) 환경이 창출되고 있다. 따라서 정보를 출력하는 매개체인 디스플레이 장치의 역할이 보다 중요시되고, 그 사용 범위도 더욱더 광범위해지고 있는 실정이다.
이러한, 유비퀴토스 디스플레이 환경을 구현하기 위해서는 디스플레이 장치의 휴대성을 향상시킴과 동시에 각종 멀티미디어 정보를 표시가 가능하면서 가볍고, 표시면적이 넓고, 해상도가 우수하며, 표시속도가 빠른 디스플레이 장치의 특성이 요구되어야 한다.
이러한 요구에 부응하여 디스플레이 장치의 대형화 및 상기 장치를 구성하는 유리 기판의 밀도 및 유리 기판의 두께를 감소시키는 방향으로 활발하게 연구되어 왔다. 그러나, 상기 디스플레이 장치 즉, 액정 표시 패널에 적용되는 유리 기판의 유리 밀도가 감소될 경우 유리 기판을 구성하는 이산화실리콘(SiO2)이 실질적으로 유리 기판의 모든 물리적 특성 값을 결정하기 때문에 상기 유리기판 밀도를 더 낮추는 기술은 한계에 직면하였다.
또한, 상술한 휴대성이 어려운 문제점을 해결하기 위해서 디스플레이 장치의 크기를 줄여야 하지만은 이는 대화면의 디스플레이 장치를 원하는 소비자들의 욕구에 상충되는 문제점을 갖는다.
따라서, 대화면이라는 특성과 가벼워 휴대성이 우수한 특성을 동시에 만족시키기 위해서는 디스플레이 장치를 플라스틱 기판에 형성하는 플라스틱 디스플레이 장치의 필요성이 대두되고 있는 실정이다.
상술한 플라스틱 디스플레이 장치는 궁극적으로 롤투롤(Roll-to-Roll) 방식으로 제조될 수 있다. 그러나 상술한 방식으로 유연성을 갖는 플라스틱 디스플레이 장치를 생산하기 위해서는 생산 단계의 모든 공정에서 플라스틱 기판을 적용하기 위한 전용 설비가 개발되어야 할 뿐만 아니라 많은 투자비용이 요구되는 문제점을 갖는다.
현재, 샤프(Sharp)나 필립스(Philips)와 같은 기존의 LCD 제조사들은 플라스틱 디스플레이에 대한 연구를 진행하고 있으나 대부분 플라스틱 기판을 적용하기 위해 전용 척을 고안하여 플라스틱 디스플레이 장치를 제조하는 연구를 진행하고 있는 실정이다. 그러나, 이러한 연구는 기존의 LCD 양산 설비를 그대로 이용할 수 없는 단점을 가지고 있기 때문에 현재 양산 설비를 대폭 변경되어야 하는 단점을 가지고 있다.
또한, 접착제가 도포된 유리 기판에 상기 플라스틱 기판을 부착시켜 현재 LCD 양산 설비에 플라스틱 기판을 적용하는 방법도 제시되고 있으나, 상술한 방법은 유리 기판과 플라스틱 기판을 서로 접착시키는 접착물질의 제거가 용이하지 않아 오랜 시간동안 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판을 유기용매에 침지 시켜야 하기 때문에 제조 공정의 스루풋이 감소되는 문제점을 갖는다.
또한, 오랜 시간 유기용매에 화상 표시소자가 형성된 플라스틱 기판을 침지시킬 경우 유기 용매에 녹은 접착물질로 인해 화상 표시소자의 오염을 초래할 수 있는 문제점을 갖고 있다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 유연한 디스플레이 장치의 형성 공정시 유연한 기판과 캐리어 기판을 서로 부착시키는 접착물질이 용이하게 제거될 수 있는 구조를 갖는 캐리어 기판을 제공하는데 있다.
또한, 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은 접착물질을 용이하게 제거할 수 있는 구조를 갖는 캐리어 기판을 이용하여 유연한 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 제공하는데 있다.
상술한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 캐리어 기판은 화상 표시 소자를 형성하기 위해 연성 기판을 지지하고, 상기 지지를 위해 채용된 접착물질의 제거를 통해 상기 연성 기판으로부터 분리되는 캐리어 기판으로서, 상기 연성기판을 부착시키는 접착물질의 노출을 증가시키기 위해 하나 이상의 관통공이 형성되어 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법은, (a) 유기용매의 침투 및 상기 유기용매에 용해된 접착물질을 배출시키기 위해 하나 이상의 관통공이 형성된 캐리어 기판 상에 접착제를 도포하는 단계; (b) 상기 단계(a)에 의한 캐리어 기판 상에 연성 기판을 적층하는 단계; (c) 상기 단계(b)에 의한 연성 기판 상에 화상 표시소자를 형성하는 단계; 및 (d) 상기 단계(c)에 의한 결과물을 유기용매에 침지시켜 상기 화상 표시 소자가 형성된 연성 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계를 포함한다.
이러한 구조를 갖는 캐리어 기판은 캐리어 기판 상에 접착물질로 인해 부착되어 있는 플라스틱 기판으로부터 사익 캐리어 기판을 보다 빨리 제거할 수 있는 특징을 가지고 있어 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 공정의 스루풋을 보다 증가시키는 효과를 갖는다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.
실시예 1
도 1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.
도 1a 및 도 1b에 도시된 캐리어 기판(150)은 연성 기판(110)이 부착되는 부착 영역(120)과 상기 부착 영역에 적어도 하나 이상의 원형의 관통공(130)이 형성되어 있는 구조를 갖는다.
캐리어 기판(150)은 화상 표시소자의 형성 공정시 연성 기판(110) 상에 화상 표시소자를 오류 없이 형성하기 위해 연성기판을 지지하는 유리 기판(150)이다. 상기 연성 기판(110)은 유연성을 갖는 플라스틱 기판(110)이다.
부착 영역(120)은 플라스틱 기판(110)을 접착시키기 위한 접착물질(Binding Matter ;B)이 도포되는 영역이고, 플라스틱 기판(110)의 저면이 부착되는 영역이다. 여기서, 부착 영역(120)의 넓이는 플라스틱 기판(110)과 동일한 넓이를 갖는다. 또한, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 부착 영역은 캐리어 기판과 동일한 크기를 갖을 수 있다.
원형의 관통공(130)은 캐리어 기판인 유리 기판(150)의 부착 영역(120)에 다수개가 형성되어 있고, 유리 기판(150)의 부착영역(120)에 플라스틱 기판(110)이 접착물질(B)에 의해 부착될 경우 유리기판 기판(150)으로부터 플라스틱 기판(110)의 저면을 일부를 노출한다.
이로 인해, 원형의 관통공(130)은 유리 기판(150)과 플라스틱 기판(110)을 서로 밀착되도록 부착시키는 접착물질에 유기용매가 용이하게 침투되고, 상기 유기용매에 의해 용해된 접착물질이 보다 용이하게 배출될 수 있도록 하여 표시소자가 형성된 플라스틱 기판(110)으로부터 캐리어 기판인 유리 기판(150)을 보다 빨리 분리시킬 수 있도록 한다.
즉, 본 발명의 캐리어 기판(150)은 기존의 통판의 사각형 형상을 갖는 유리 기판에 원 형의 다수개의 관통공(130)이 형성되어 있기 때문에 상기 유리 기판(150)의 부착 영역(120)상에 접착물질(B)을 도포한 후 플라스틱 기판(110)을 적층시키면, 상기 원형의 관통공(130)에 의해 플라스틱 기판(110) 저면 및 접착물질(B)의 일부가 노출된다. 이 때문에 이후 캐리어 기판인 유리 기판(150)을 분리하기 위해 접착물질(B)의 제거하는 공정을 용이하게 수행할 수 있어 플라스틱 디스플레이 장치 형성 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있다.
또한, 접착물질(B)을 제거하기 위해 유기용매에 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판인 유리 기판(150)의 함침 시간을 현저하게 감소시킬 수 있기 때문에 플라스틱 기판(110)에 형성되는 화상 표시소자의 손상을 최소화시킬 수 있다.
실시예 2
도 2a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 캐리어 기판(250)은 연성 기판(110)이 부착되는 부착 영역(220)과 상기 부착 영역에 적어도 하나 이상의 슬릿 형상을 갖는 관통공(130)이 형성된 구조를 갖는다.
캐리어 기판(250)은 화상 표시소자의 형성 공정시 연성 기판(110) 상에 화상 표시소자를 오류 없이 형성하기 위해 연성 기판(110)을 지지하는 실리콘 기판(250)이다. 상기 연성 기판(110)은 유연성을 갖는 플라스틱 기판(110)이다.
부착 영역(220)은 플라스틱 기판(110)을 접착시키기 위한 접착물질(Binding Matter ;B)이 도포되는 영역이고, 플라스틱 기판(110)의 저면이 부착되는 영역이다. 여기서, 부착 영역(220)의 넓이는 플라스틱 기판(110)과 동일한 넓이를 갖는다. 또한, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 부착 영역은 캐리어 기판과 동일한 크기를 갖을 수 있다.
슬릿 형상을 갖는 관통공(230)은 캐리어 기판인 실리콘 기판(250)의 부착 영역(220)에 다수개가 형성되어 있고, 실리콘 기판(250)의 부착영역(220)에 플라스틱 기판(110)이 접착물질(B)에 의해 부착될 경우 실리콘 기판(250)으로부터 플라스틱 기판(110)의 저면 일부를 노출한다.
이로 인해, 슬릿 형상을 갖는 관통공(230)은 실리콘 기판(250)과 플라스틱 기판(110)을 서로 밀착되도록 부착시키는 접착물질(B)에 유기용매가 용이하게 침투되고, 상기 유기용매에 의해 용해된 접착물질(B)이 보다 용이하게 배출될 수 있도록 함으로서, 표시소자가 형성된 플라스틱 기판(110)으로부터 캐리어 기판인 실리콘 기판(250)을 보다 빨리 분리시킬 수 있도록 한다.
즉, 본 발명의 캐리어 기판(250)은 기존의 통판의 사각형 형상을 갖는 유리 기판에 슬릿 형상의 다수개의 관통공(230)이 형성되어 있기 때문에 상기 유리 기판(250)의 부착 영역(220)상에 접착물질(B)을 도포한 후 플라스틱 기판(110)을 적층시키면, 상기 슬릿 형상을 갖는 관통공(230)에 의해 플라스틱 기판(110) 저면 및 접착물질(B)의 일부가 노출된다. 이 때문에 이후 캐리어 기판인 실리콘 기판(250)을 분리하기 위한 접착물질(B)을 제거하는 공정을 보다 용이하게 수행할 수 있어 플라스틱 디스플레이 장치 형성 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있다.
실시예 3
도 3a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 3b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.
도 3a 및 도 3b에 도시된 캐리어 기판(350)은 연성 기판(110)이 부착되는 두개의 부착 영역(320a,320b)과 상기 부착 영역에 각각에 적어도 하나 이상의 사각 형상을 갖는 관통공(130)이 형성된 구조를 갖는다.
캐리어 기판(350)은 화상 표시소자의 형성 공정시 연성 기판(110) 상에 화상 표시소자를 오류 없이 형성하기 위해 연성 기판(110)을 지지하는 유리 기판(350)이다. 여기서, 연성 기판(110)은 유연성을 갖는 플라스틱 기판(110)이다.
부착 영역(320)은 두 개의 플라스틱 기판(110)을 접착시키기 위한 접착물질(Binding Matter; B)이 각각 도포되는 제1 부착 영역(320a)과 제2 부착 영역(320b)이고, 두 개의 플라스틱 기판(110)이 각각 독립적으로 부착되는 영역이다. 여기서, 제1 및 제2 부착 영역(320a,320b)은 각각의 플라스틱 기판(110)과 동일한 넓이를 갖는다.
사각 형상을 갖는 관통공(330)은 캐리어 기판인 유리 기판(350)의 제 1 및 제2 부착 영역(320)에 다수개가 형성되어 있고, 유리 기판(350)상에 플라스틱 기판(110)이 접착물질(B)에 의해 부착될 경우 유리 기판(350)으로부터 플라스틱 기판(110)의 저면 일부를 노출시킨다.
이로 인해, 사각 형상을 갖는 관통공(330)은 유리 기판(350)과 플라스틱 기판(110)을 서로 밀착되도록 부착시키는 접착물질(B)에 유기용매가 용이하게 침투되고, 상기 유기용매에 의해 용해된 접착물질(B)이 보다 용이하게 배출될 수 있도록 함으로서, 표시소자가 형성된 플라스틱 기판(110)으로부터 캐리어 기판인 유리 기판(350)을 보다 빨리 분리시킬 수 있도록 한다.
즉, 본 발명의 캐리어 기판(350)은 기존의 통판의 사각형 형상을 갖는 유리 기판(350)에 사각 형상의 다수개의 관통공(330)이 형성되어 있기 때문에 상기 유리 기판(350)의 두 개의 부착 영역(320)상에 접착물질(B)을 도포한 후 두 개의 플라스틱 기판(110)을 각각 적층시킨 후 표시 소자 공정을 수행할 수 있다.
이때, 사각 형상을 갖는 관통공(330)에 의해 플라스틱 기판(110) 저면 및 접착물질(B)의 일부가 노출된다. 이 때문에 이후 캐리어 기판인 유리 기판(350)을 분리하기 위한 접착물질(B)을 제거하는 공정을 보다 용이하게 수행할 수 있어 플라스틱 디스플레이 장치 형성 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있다.
실시예 4
도 4는 본 발명의 캐리어 기판을 이용하여 유연한 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 나타내는 공정흐름도이다.
도 4를 참조하면, 먼저 관통들이 형성된 제1 캐리어 기판인 제1 유리 기판 상에 접착물질(Bonding Matter)을 균일한 두께를 갖도록 도포한 후 소정의 온도 하에서 캐리어 기판 상에 제1 플라스틱 기판을 적층시킨다(단계 S110, S120).
이때, 제1 플라스틱 기판을 제1 유리 기판 상에 부착할 경우 기포(공기 방울)가 발생되지 않도록 부착해야 한다. 이는 제1 플라스틱 기판과 관통공들이 형성된 제1 유리 기판에 기포가 들어갈 경우 화상 표시 소자를 형성하는 고온의 공정시 접착력이 약화되어 제1 유리 기판과 제1 플라스틱 기판이 들뜨는 문제점이 발생하기 때문이다.
이어서, 다수개의 관통이 형성된 제1 유리 기판 상에 부착된 제1 플라스틱 기판의 표면에 컬러필터, 블랙 매트릭스, 오버 코팅막, 공통전극을 형성함으로서 다수개의 관통공들이 형성된 제1 유리 기판 상에 지지되는 컬러필터 기판을 형성한다(단계 S130).
여기서, 컬러필터의 형성 방법을 상세히 설명하며, 먼저 적색(R)/녹색(G)/청색(B)컬러수지 중 적색을 띄는 컬러수지를 블랙 매트릭스가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 도포한 후 선택적으로 노광한 후 표시 영역에 적색(R) 컬러필터를 형성한다.(이때, 색을 입히는 순서는 임의로 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 순서로 정하여 설명한다). 이어서, 상기 적색 컬러필터가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 녹색 컬러수지를 도포한 후 선택적으로 노광하여, 녹색 컬러필터를 형성한다. 연속하여, 상기 적색(R) 및 녹색(G) 컬러필터가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 청색(B) 컬러수지를 도포한 후 선택적으로 노광하여, 청색 컬러필터를 형성한다.
이어서, 블랙 매트릭스 및 컬러필터의 단차를 제거하는 오버 코팅막을 형성한 후 상기 컬러필터가 대응되는 오버 코팅막 상에 공통전극을 형성한다. 이를 상세히 설명하면, 먼저 결과물 상에 소정의 두께를 갖는 공통전극막을 연속적으로 형성한다. 상기 공통전극막은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한 투명 도전성 물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 형성된다. 식각 마스크를 적용하여 상기 블랙 매트릭스 상에 존재하는 공통전극막을 식각하여 공통전극을 형성한다.
이어서, 컬러필터 기판을 지지하는 관통들이 형성된 제1유기 기판을 접착물질을 녹이는 유기용매에 함침시켜 상기 컬러필터 기판으로부터 제1 유리 기판을 분리한다(단계 S140). 이로 인해, 유연한 컬러필터 기판이 형성된다.
이때, 상기 유리 기판에 형성된 다수개의 관통공들은 유리 기판과 플라스틱 기판을 서로 밀착되도록 부착시키는 접착물질에 유기용매의 침투를 용이하게 하고, 상기 유기용매에 의해 용해된 접착물질이 보다 용이하게 배출될 수 있도록 함으로서, 표시소자가 형성된 플라스틱 기판으로부터 유리 기판이 보다 빨리 분리시킬 수 있도록 한다.
이어서, 관통들이 형성된 제2 캐리어 기판인 제2 유리 기판 상에 접착물질(Bonding Matter)을 균일한 두께를 갖도록 도포한 후 소정의 온도 하에서 제2 유리 기판 상에 제2 플라스틱 기판을 적층시킨다(단계 S150, S160).
이때, 제2 플라스틱 기판을 제2 유리 기판 상에 부착할 경우 기포가 발생되지 않도록 부착해야 한다.
이어서, 제2 플라스틱 기판 상에 스위칭 소자로 동작하는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor), 게이트 절연막, 패시베이션막, 유기막 및 화소 전극을 형성함으로서 다수개의 관통공들이 형성된 제2 유리 기판 상에 지지되어 있는 어레이 기판을 형성한다.(단계 S170)
상기 어레이 기판을 형성 방법을 구체적으로 설명하면, 제2 플라스틱 기판 상에 도전성 물질을 증착한다. 계속해서, 상기 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 게이트 전극을 형성한다. 이후에, 게이트 전극)이 형성된 제2 플라스틱 기판의 전면에 게이트 절연막을 증착한다. 상기 게이트 절연막은 투명한 절연물질인 실리콘 질화막(SiNx)으로 형성된다.
계속해서, 아몰퍼스 실리콘 및 N+ 아몰퍼스 실리콘을 증착 및 식각하여 상기 게이트 전극에 대응하는 게이트 절연막상에 반도체층을 형성한다. 이어서, 상기 반도체층이 형성된 상기 게이트 절연막 상에 도전성 물질을 증착한 후 상기 도전성 물질의 일부를 식각함으로서 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성한다.
이어서, 박막 트랜지스터가 형성된 제2 플라스틱 기판 상에 투명한 절연물질을 증착하여 패시베이션막을 형성한 후 상기 패시베이션막의 일부를 제거하여 상기 드레인 전극의 일부를 노출하는 개구부를 형성한다. 이때, 상기 개구부는 유기막을 형성한 이후에 형성할 수 있다.
계속해서, 패시베이션막 상에 유기물질을 도포하여 유기막을 형성한다. 상기 유기물질은 포토레지스트(Photoresist) 성분을 포함한다. 이후에, 유기막을 노광 및 현상하여 상기 드레인 전극의 일부가 개구된 유기막을 형성한다.
이어서, 유기막 및 패시베이션막 상에 투명한 도전성 물질인 ITO, IZO, ZO 등을 증착한 후 투명한 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 화소영역 내에 화소 전극을 형성한다.
이어서, 어레이 기판을 지지하는 관통들이 형성된 제2 유리 기판을 접착물질을 녹이는 유기용매에 함침시켜, 상기 어레이 기판으로부터 제2 유리 기판을 분리한다(단계 S180). 이로 인해, 유연한 어레이 기판이 형성된다.
이어서, 상기 어레이 기판 또는 컬러필터 기판의 표면에 스페이서를 형성한다(단계 S190). 상기 스페이서는 비드 스페이서이다.
이어서, 유연한 컬러필터 기판과 유연한 어레이 기판을 대향하여 결합한 후 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 액정물질을 주입한 후에 밀봉부제(Seal)를 이용하여 밀봉함으로서, 액정층을 포함하는 유연한 디스플레이 장치를 형성한다 (단계 S200). 이때, 상기 밀봉부재가 도포된 컬러필터 기판 또는 어레이 기판 상에 액정을 적하한 후에 컬러필터 기판 및 어레이 기판을 대향하여 결합하여 액정층을 형성할 수도 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 기판은 화상 표시 소자가 형성된 플라스틱 기판을 캐리어 기판에 부착시키는 접착물질을 보다 용이하게 제거될 수 있도록 다수개의 관통공이 형성되어 있다.
따라서, 상기 캐리어 기판에 형성된 관통공은 접착물질에 유기 용액의 침투의 증가 및 상기 유기 용매에 녹은 접착물질의 배출을 보다 향상시켜 플라스틱 기판으로부터 캐리어 기판을 보다 빨리 분리시킬 수 있어 유연한 디스플레이 장치의 제조 공정의 스루풋을 증가시킨다.
또한, 상술한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법은 플라스틱 기판과 캐리어 기판을 접착시키는 접착물질을 보다 빨리 화상 표시소자의 손상 없이 캐리어 기판을 분리할 수 있기 때문에 제조 공정의 스루풋을 상승시킨다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 3b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 캐리어 기판을 이용하여 유연한 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 나타내는 공정흐름도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
110 : 플라스틱 기판 120, 220, 320 : 부착 영역
130, 230, 330 : 관통공 150, 250, 350 : 캐리어 기판

Claims (7)

  1. 화상 표시 소자를 형성하기 위해 연성 기판을 지지하고, 상기 지지를 위해 채용된 접착물질의 제거를 통해 상기 연성 기판으로부터 분리되는 캐리어 기판에서,
    상기 연성 기판을 부착시키는 접착물질의 노출을 증가시키기 위해 하나 이상의 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 관통공은 상기 연성 기판과 상기 부착 영역간에 존재하는 접착물질에 유기용매의 침투 및 상기 유기용매에 용해된 접착물질을 배출보다 증가시키는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 관통공은 평면에서 관찰할 때, 원 형상, 다각형 형상, 슬릿 형상 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  4. 제1항에 있어서, 상기 연성 기판은 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  5. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 유리 기판, 실리콘 기판 또는 형태 안정성이 높은 고내열성 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  6. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 하나 이상의 연성 기판이 적층되는 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  7. (a) 유기용매의 침투 및 상기 유기용매에 용해된 접착물질을 배출시키기 위해 하나 이상의 관통공이 형성된 캐리어 기판 상에 접착제를 도포하는 단계;
    (b) 상기 단계(a)에 의한 캐리어 기판 상에 연성 기판을 적층하는 단계;
    (c) 상기 단계(b)에 의한 연성 기판 상에 화상 표시소자를 형성하는 단계; 및
    (d) 상기 단계(c)에 의한 결과물을 유기용매에 침지시켜 상기 화상 표시 소자가 형성된 연성 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계를 포함하는 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법.
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