KR100863203B1 - 반도체 소자 제조용 도포장비의 노즐 충돌 인식장치 - Google Patents
반도체 소자 제조용 도포장비의 노즐 충돌 인식장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (4)
- 구동 유닛과;유체가 토출되는 노즐을 포함하여 구성되며 상기 구동 유닛의 구동력을 전달받아 움직이면서 이송 레일을 따라 이송된 테잎에 유체를 도포시키는 헤드와;상기 헤드에 장착되며, 상기 헤드의 움직임에 따라 상기 노즐이 움직이면서 상기 테잎에 상기 유체를 도포하는 과정에서 상기 노즐이 상대물과 충돌시 발생되는 상기 헤드의 진동을 감지하는 진동 감지유닛을 포함하는 반도체 소자 제조용 도포장비의 노즐 충돌 인식장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 진동 감지유닛에서 감지되는 진동이 설정된 값 이상이면 신호를 발생시키는 알림 유닛을 더 포함하는 반도체 소자 제조용 도포장비의 노즐 충돌 인식장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 알림 유닛은 설정된 진동 값 이상이면 온 상태가 되는 표시등인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 도포장비의 노즐 충돌 인식장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 진동 감지유닛은 상기 헤드를 구성하며 유체가 채워진 실린지를 장착하는 실린지 장착부에 장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 도포장비의 노즐 충돌 인식장치.
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